JP2970745B2 - フィルム張付方法及び装置、フィルム付基板 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線用
等の基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張
付方法及び装置、並びに、フィルム付基板に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ム（ベースフィルム；通常はポリエステルに代表される
樹脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面
の導電層に張付ける工程がある。そして、この後工程で
は、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。

【０００３】同様のパターン形成は、液晶表示装置にお
ける液晶セルの障壁及びプラズマディスプレイパネルに
おける放電セルの障壁形成等に利用されている。

【０００４】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルム（原反フィルム）を、搬送手段に
より搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層が該基
板側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動
可能な仮付け手段によって該基板の先端に仮付けした
後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧
着しつつ、基板を搬送するようにされている。

【０００５】基板へのフィルム圧着張付けは、張付け長
さが基板長にほぼ対応した長さとなるように行われてお
り、その長さとなるように供給フィルムはフィルム仮付
け手段自体又はその近傍の部材に設けられたフィルム切
断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段の
前又は後で剥される。

【０００６】他のフィルム張付装置としては、間欠的に
搬送されてくる基板のフィルム張付け面に、予めカバー
フィルムを剥したフィルムの感光性樹脂層側を連続的に
同期して搬送しつつ張付けた後に、隣接する基板間でフ
ィルムを切断するようにしたものもある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような、基板長
にほぼ対応した長さにフィルムを切断して仮付け手段に
よって基板に張り付けていく場合は、各基板毎に仮付け
部材を往復動させなければならず、張付速度が低下して
しまうと共に、仮付け手段を頻繁に往復動させることに
よって故障が発生し易いという問題点がある。

【０００８】又、フィルムを連続的に基板に張付ける、
いわゆる連続張りの場合、予めカバーフィルムを剥がし
たフィルムをラミネーションロール及びそこから更に下
流側のロール間に張り渡した状態で運転を開始し、基板
に圧着していくので、フィルムの先端から張り始めの先
頭の基板までの部分のフィルムが無駄になってしまい、
コストがかかる（通常廃棄されるフィルム先端部分は金
額にして２〜３万円程度）という問題点がある。

【０００９】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、高速で基板に連続的にフィルムを張
付けることができると共に、張り始めのフィルムの無駄
な部分の発生を防止して、コスト低減を図ることができ
るフィルム張付方法及び装置を提供することを目的とす
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフ
ィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロ
ールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、搬
送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板の
フィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにし
て、基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーション
ロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・分
離するようにされたフィルム張付方法において、前記フ
ィルム供給ロールから巻き出された連続フィルムの先端
を、カバーフィルムを剥離した状態で仮付け部材の先端
に吸着し、該仮付け部材により前記連続的に搬送されて
くる基板のうちの先頭の基板の先端に仮付けしてから、
連続フィルムを基板と共に、前記ラミネーションロール
に送り込むようにして上記目的を達成するものである。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記連続フィルムの、前記基板への張付前に、該基
板への張付状態で該基板の搬送方向少なくとも一方の端
縁近傍となる位置で、該端縁に沿って、前記感光性樹脂
層の厚さ方向少なくとも一部を除去して断絶線を形成す
るようにしたものである。

【００１２】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記カバーフィルムの剥離前に、該カバーフィルム
側からフィルムを線状に押圧し、前記感光性樹脂層を該
線の外側に流動させて前記断絶線を形成するようにした
ものである。

【００１３】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、前記カバーフィルムの剥離前に、該カバーフィルム
と共に前記感光性樹脂層を切断して前記断絶線を形成
し、次に、該断絶線を跨いで、粘着テープにより前記カ
バーフィルムを繋いでから、該カバーフィルムを感光性
樹脂層から連続的に剥離するようにしたものである。

【００１４】又、装置発明は、請求項５のように、支持
フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層さ
れてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出
し、前記カバーフィルムを剥離させ、搬送手段により一
定間隔で連続的に搬送されてくる基板のフィルム張付面
側に感光性樹脂層側が位置するようにして、基板と同速
で、同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフ
ィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に、
分離用カッターにより基板間位置でフィルムを幅方向に
切断するようにされたフィルム張付装置において、前記
フィルム供給ロールから引き出され、先端が切り揃えら
れた連続フィルムの先端部を吸着すると共に、前記搬送
手段により搬送されてくる基板の先端に、前記ラミネー
ションロールよりも上流側で、該連続フィルムの先端部
を押付けて仮付けする仮付部材を設け、且つ、前記搬送
手段を、搬送する基板のうちの先頭の基板が、前記仮付
部材による仮付位置に停止するように構成することによ
り、上記目的を達成するものである。

【００１５】請求項６の発明は、請求項５の発明におい
て、前記カバーフィルムを剥離する前の位置に配置さ
れ、連続フィルムの、前記基板への張付状態で、該基板
の搬送方向少なくとも一方の端縁近傍となる部位を、前
記カバーフィルム側から支持フィルムに向けて、フィル
ム幅方向の線に沿って押圧し、前記感光性樹脂層を、前
記フィルム幅方向の線の外側に流動させて、その厚さ方
向少なくとも一部を除去する線状押圧装置を設けたもの
である。

【００１６】請求項７の発明は、請求項６の発明におい
て、前記カバーフィルムを剥離する前の位置に配置さ
れ、連続フィルムの、前記基板への張付状態で、該基板
の搬送方向少なくとも一方の端縁近傍となる部位を、前
記カバーフィルム側から、これを前記感光性樹脂層と共
に、フィルム幅方向の線に沿って切断するハーフカット
装置と、このハーフカット装置により切断された前記カ
バーフィルムを、その切断線を跨いで粘着テープより繋
ぐ接続装置と、を設け、該粘着テープにより繋がれたカ
バーフィルムを連続的に剥すようにしたものである。

【００１７】更に、フィルム付基板の発明は、請求項８
のように、基板と、支持フィルム上に感光性樹脂層が積
層されていて、該感光性樹脂層側が前記基板の一方の面
に張付けられたフィルムと、を有してなり、前記フィル
ムは前記基板の少なくとも一つの端縁からはみ出した長
さとされ、且つ、前記端縁の近傍位置の該端縁と略平行
な断絶線を有し、該断絶線は、前記感光性樹脂層の厚さ
方向少なくとも一部が除去されて形成されたフィルム付
基板により、上記目的を達成するものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。

【００１９】まず本発明に係るフィルム張付装置１０の
概略構成を図１を参照して説明する。

【００２０】このフィルム張付装置１０によって切断し
て張付けられるフィルム１２は、図２に示されるよう
に、透光性支持フィルム１２Ａ上に感光性樹脂層１２Ｂ
及びカバーフィルム１２Ｃが積層された３層構造であ
り、供給ロール１４に連続的に巻回されている。

【００２１】供給ロール１４から巻き出されたフィルム
１２は、フィルム分離部材１６によりカバーフィルム１
２Ｃが剥がされて、感光性樹脂層１２Ｂの接着面が露出
された状態となり、テンションロール１８を経て仮付け
部材２０の一部を構成するメインバキュームプレート２
２に供給されるようになっている。前記剥がされたカバ
ーフィルム１２Ｃは、巻取りロール２４により巻き取ら
れるように構成されている。

【００２２】前記供給ロール１４、フィルム分離部材１
６、テンションロール１８、仮付け部材２０、巻取りロ
ール２４等は、基板搬送面Ｉ−Ｉの、図１において上側
に設けられていて、フィルム１２が基板２６の上面に張
付けられるようにされている。

【００２３】前記メインバキュームプレート２２は、図
３に示されるように、負圧が印加される多数の吸引溝２
２Ａ及び吸引孔２２Ｂが表面に設けられ、カバーフィル
ム１２Ｃが剥されたフィルム１２（以下特に指定しなけ
ればフィルム１２とする）を吸着できるようにされ、且
つ、図において上下方向のガイドレール２８に摺動自在
に支持され、エアシリンダ、サーボモータ等の駆動装置
３０によってガイドレール２８に沿って、フィルム張付
位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち基板搬送面Ｉ
−Ｉに対して近接、離反することができるようにされて
いる。

【００２４】又、前記メインバキュームプレート２２の
基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプ
レート２２の表面から連続して湾曲し、且つ表面にフィ
ルム吸着溝（図示省略）が形成されたフィルム仮付け部
材本体２１が連結されている。このフィルム仮付け部材
本体２１のフィルム送り方向の先端部２１Ａ近傍にはヒ
ータ（図示省略）が埋め込まれ、該先端部２１Ａを加熱
するようにされている。

【００２５】前記仮付け部材２０は、前記基板搬送Ｉ−
Ｉ上の基板２６の上面に、その先端が接触する位置か
ら、図１において実線で示される待機位置との間で移動
可能とされているが、この待機位置と前記基板搬送面Ｉ
−Ｉとの間には、フィルム１２の送り面に沿って、仮付
け部材２０側から先端巻付用フィルム保持部材３４及び
ロータリーカッター３６がこの順で配置されている。

【００２６】前記ロータリーカッター３６は、前記供給
ロール１４から巻き出され、且つカバーフィルム１２Ｃ
が剥がされたフィルム１２の先端を切り揃えて、該先端
が基板２６の先端縁と平行になるようにするものであ
る。

【００２７】又、前記先端巻付用フィルム保持部材３４
のフィルム通過面側の端面には、負圧が印加される吸引
溝及び吸引孔（共に図示省略）が設けられていて、該端
面にフィルム１２の先端を吸着することができるように
され、ロータリーカッター３６により切り揃えられたフ
ィルム１２の先端部を吸着し、これを図１において右方
向に引張ることによって、仮付け部材２０の仮付け部材
本体２１に巻付け、且つその先端部２１Ａにおけるフィ
ルム吸着溝によって、該仮付け部材本体２１にフィルム
先端部を吸着させるものである。

【００２８】前記ロータリーカッター３６は、フィルム
通過面と平行で、且つフィルム１２の幅方向に配置され
た略直線状の固定刃３６Ａと、回転中心軸線が固定刃３
６Ａと略平行に配置された円筒状部材の外周に切刃を螺
旋状に巻付てなる回転刃３６Ｂとから構成され、固定刃
３６Ａに対して、回転刃３６Ｂがフィルム通過面上で接
触しつつ回転することによって、該フィルム通過面上の
フィルム１２をその位置で幅方向に切断するものであ
る。

【００２９】ここで、前記固定刃３６Ａは、回転刃３６
Ｂに対してフィルム通過面と直交する方向に進退自在と
され、供給ロール１４から巻き出され、カバーフィルム
１２Ｃが剥離されたフィルム１２の先端を切り揃えると
きのみ回転刃３６Ｂと接触する位置にまで前進し、その
後は、回転刃３６Ｂから離間する退避位置となるように
されている（駆動機構図示省略）。図の符号４０は基板
搬送機構における駆動用ローラ、４２は同従動用ロー
ラ、４４は基板押え部材、４６は基板先端位置検出光セ
ンサをそれぞれ示す。

【００３０】前記基板押え部材４４は、基板押えローラ
４４Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシ
リンダ４４Ｂとから構成されている。

【００３１】前記ラミネーションロール３２、駆動用ロ
ーラ４０、基板押え部材４４及び基板先端位置検出光セ
ンサ４６の相互関係は次の如くである。

【００３２】基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた前記
基板先端位置検出光センサ４６により、図１において左
から右方向に搬送されてくる先頭の基板２６の先端が検
知され、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板２
６が搬送されると、駆動用ローラ４０の回転が停止され
る。これと同時に前記基板押え部材４４により基板２６
を押えるように、基板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂ
により、基板押えローラ４４Ａが駆動される。

【００３３】前記基板押えローラ４４Ａにより、基板２
６の動きが確実に停止され、仮付け部材２０の先端部で
あるフィルム仮付け部材本体２１が基板２６に当接して
も、該基板２６が動かず、フィルム１２に仮付けが確実
に行われる。

【００３４】前記基板押えローラ４４Ａによる基板２６
の押えは、ラミネーションロール３２が基板２６に当接
するまで行われ、ラミネーションロール３２の当接タイ
ミングと同調して、基板押えローラ用エアシリンダ４４
Ｂが解除作動される。

【００３５】図１、図４の符号４８は分離用カッターを
示す。この分離用カッター４８は、ロータリーカッター
であって、回転刃４８Ａと固定刃４８Ｂとからなり、固
定刃４８Ｂは揺動自在であって、基板２６の通過時には
これと干渉しないように下方に揺動し、フィルム切断時
に上方に揺動してフィルム送り面上で回転刃４８Ａと接
触し、フィルム１２を、各基板間で切断するようにされ
ている。

【００３６】次に上記フィルム張付装置１０の作用につ
いて説明する。

【００３７】まず、ラミネーションロール３２は図１の
実線に示される退避位置、先端巻付用フィルム保持部材
３４はその先端面がフィルム通過面から離間した位置、
ロータリーカッター３６の固定刃３６Ａは回転刃３６Ｂ
から離間した位置にそれぞれセットし、フィルム１２を
供給ローラ１４から引き出し、先端からカバーフィルム
１２Ｃを剥離して、巻き取りロール２４に巻き取らせつ
つ、フィルム１２を、仮付け部材２０及び先端巻付用フ
ィルム保持部材３４の図において左側のフィルム通過面
に沿って引き下げ、且つロータリーカッター３６の固定
刃３６Ａと回転刃３６Ｂの間を通す。

【００３８】次に、仮付け部材２０に負圧を印加してフ
ィルム１２を吸着すると共に、先端巻付用フィルム保持
部材３４もフィルム通過面位置まで前進させて、負圧を
印加することによりフィルム１２を吸着する。

【００３９】この状態で固定刃３６Ａを前進させ、回転
刃３６Ｂを回転させることにより、フィルム通過面上で
フィルム１２を切断して、その先端を切り揃える。ロー
タリーカッター３６よりも先端側の切断されたフィルム
１２は廃棄する。次に、固定刃３６Ａを回転刃３６Ｂか
ら離間させ、先端巻付用フィルム保持部材３４は、その
先端面にフィルム１２の先端部を吸着したまま図１にお
いて右方向に移動させる。

【００４０】このとき、仮付け部材本体２１の先端部２
１Ａにおけるフィルム吸着溝には予め負圧を印加してお
き、この状態で、先端巻付用フィルム保持部材３４が図
において右方向に移動すると、吸着されているフィルム
１２の先端部が、仮付け部材本体２１における先端部２
１Ａに沿って巻き付けられ、そのフィルム吸着溝の負圧
により吸着され、先端巻付用フィルム保持部材３４から
離間する。

【００４１】次に、仮付け部材本体２１の先端部２１Ａ
にフィルム１２の先端部を吸着した状態のまま、駆動装
置３０により、仮付け部材２０をガイドレール２８に沿
って、先端部２１Ａがフィルム１２の先端部を介して仮
付け位置に停止している先頭の基板２６の先端位置上面
に当接するまで降下される。

【００４２】これにより、先頭の基板２６の先端上面に
フィルム１２の先端部が仮付けされ、しかる後、仮付け
部材２０は、仮付け部材本体２１を含み負圧が解除さ
れ、図１の実線にまで上昇し、次の仮付けまで待機され
る。

【００４３】なお、先頭の基板２６の停止、及びこの仮
付け位置での停止時における前記基板押えローラ４４Ａ
による拘束は前述の如くである。

【００４４】仮付け状態のフィルム１２の先端部に対し
て、ラミネーションロール３２は図１の実線位置から二
点鎖線の位置にまで駆動され、フィルム１２の先端部を
基板２６に押し付けることになる。この状態で、前記基
板押えローラ用エアシリンダ４４Ｂが解除される。次
に、ラミネーションロール３２は基板２６の搬送装置の
駆動用ローラ４０と同期して、該基板２６を図１の左側
から右方向に駆動するよう回転され、回転しつつフィル
ム１２を基板２６の上面に熱圧着する。

【００４５】これ以後は、間欠的に搬送されてくる基板
２６に、カバーフィルム１２Ｃが剥離されたフィルム１
２が、ラミネーションロール３２により等速で次々と熱
圧着されていく。なお、露出している感光性樹脂層１２
Ｂがラミネーションロール３２に粘着することを防止す
るために、一つの基板２６へのフィルム１２の熱圧着が
完了する毎に、ラミネーションロール３２がフィルム１
２が離間され、各基板間での熱圧着動作が解除され、次
の基板１２がラミネーションロール３２の位置に送られ
てくると、再び熱圧着動作がなされる。

【００４６】供給ロール１４の全部のフィルム１２が巻
き出され、新しい供給ロール１４に交換したとき、その
フィルム１２の巻き出し先端は、前述の如くロータリー
カッター３６によって切り揃えられた後、仮付け部材２
０によって、次のロットの先頭の基板２６の先端に仮付
けされる。

【００４７】前記間欠的に搬送されてくる複数の基板２
６は、図４に示されるように、熱圧着されたフィルム１
２を介して搬送方向に連続しているが、これはこの熱圧
着工程後に、分離用カッター４８によって、先行する基
板の後端と後行基板の先端との間の位置で切断され、各
基板２６が分離される。分離用カッター４８はロータリ
ーカッターに限定されずディスクカッター等であっても
よい。

【００４８】分離用カッター４８によって分離された各
基板２６の、搬送方向端部からは、張り付けられたフィ
ルム１２がはみ出した状態となっている。

【００４９】この状態で、例えば基板２６がプリント配
線盤の場合は、フィルム１２に配線パターンフィルム
（図示省略）を重ね、この配線パターンフィルム及び透
光性支持フィルム１２Ａを通して、感光性樹脂層１２Ｂ
を所定時間露光し、次いで透光性支持フィルム１２Ａを
剥がすことになる。

【００５０】このとき、フィルム１２が基板２６の端部
からはみ出した状態であるので、透光性支持フィルム１
２Ａははみ出した端部をつかんで引張ることにより容易
に剥がすことができる。

【００５１】なお、上記フィルム張付装置１０におい
て、供給ロール１４から引き出されたフィルム１２は、
ロータリーカッター３６によって切り揃えられ、しかる
後先端巻付用フィルム保持部材３４によって仮付け部材
本体２１の先端部２１Ａに巻き付けられるようにされて
いるが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば
フィルム１２がその製造段階で先端が予め切り揃えられ
ているものであれば、ロータリーカッター３６等は不要
であり、又切り揃えられたフィルム１２の先端を手動に
よって仮付け部材本体２１に巻き付けるようにしてもよ
い。

【００５２】更に、先端を切り揃えるためのカッターは
ロータリーカッター３６に限定されるものでなく、ディ
スクカッター、ギロチンカッター等であってもよい。

【００５３】更に又、上記供給ロール１４は、全部のフ
ィルム１２を巻き出す毎に新しく交換するので、その都
度装置を停止しなければならないが、連続的フィルム供
給装置によってフィルムを供給すれば、必ずしも供給ロ
ールの交換毎に装置を停止させ、且つ仮付け部材２０に
よりフィルム１２の先端を仮付けする必要はない。

【００５４】又、上記フィルム張付装置１０は、基板２
６の上面にのみフィルム１２を張付けるものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、基板２６の下側
面あるいは上下両面にフィルムを張付ける場合にも当然
適用され得るものである。

【００５５】なお、上記フィルム張付装置において、分
離された各基板２６上の感光性樹脂層１２Ｂを露光した
後、透光性支持フィルム１２Ａを剥がす際に、感光性樹
脂層１２Ｂの基板２６に対する接着力が弱い場合、ある
いは透光性支持フィルム１２Ａの剥離の際の引張り角度
あるいは速度によっては、基板２６の端部からはみ出し
た部分の感光性樹脂層１２Ｂが引張られるとき、基板２
６に熱圧着されている感光性樹脂層１２Ｂも連続的に剥
がされてしまうことがある。

【００５６】図５は、基板２６に熱圧着されたフィルム
１２の、基板２６端部からはみ出した部分を剥がす際
に、基板２６に熱圧着された感光性樹脂層１２Ｂが剥が
されないようにするために、感光性樹脂層１２Ｂに断絶
線５２が形成されたフィルム付基板５０を示す。

【００５７】このフィルム付基板５０は、図７に示され
る方法・装置又は図８に示される方法・装置に基づい
て、カバーフィルム１２Ｃが剥離される前に次のように
して形成される。

【００５８】図７に示される方法・装置は、前記図１の
フィルム張付装置１０における、フィルム分離部材１６
の上流側位置に、前記カバーフィルム１２Ｃ剥離前のフ
ィルム１２を、カバーフィルム１２Ｃ側から支持フィル
ム１２Ａに向けて、フィルム幅方向の線に沿ってディス
ク５４の先端を回転させつつ押圧し、感光性樹脂層１２
Ｂを、カバーフィルム１２と透光性支持フィルム１２Ａ
の間で、前記フィルム幅方向の線の外側に流動させて、
該フィルム幅方向の線に沿って感光性樹脂層１２Ｂを薄
くするか又は除去することによって、前記断絶線５２を
形成する線状押圧装置５６を設けたものである。

【００５９】図７の符号５６Ａはディスク５４に対向し
てフィルム１２を支持する受け台、５７はディスク５４
をフィルム１２の幅方向に、該フィルム１２を押圧しつ
つ転動させるための、例えばロッドレスシリンダからな
るディスク駆動装置を示す。なお、前記ディスク５４及
び受け台５６Ａの少なくとも一方を加熱したり、または
／もしくは超音波振動を加えてもよい。

【００６０】上記のように、カバーフィルム１２Ｃ剥離
前のフィルム１２に対して、カバーフィルム１２Ｃ側か
らディスク５４をフィルム幅方向に駆動しつつ押圧する
と、カバーフィルム１２Ｃの内側の感光性樹脂層１２Ｂ
は、これが粘性のある軟らかい樹脂から形成されている
ため、カバーフィルム１２Ｃがディスク５４によって、
その反対側の受け台５６Ａに向かって押し出されて、局
部的に変形する際に、その両側に押し分けられ、ディス
ク５４が離間した後も、周囲に押し退けられた感光性樹
脂が戻ることがなく、図６に示されるような断絶線５２
が残されることになる。

【００６１】この状態から、フィルム分離部材１６によ
ってカバーフィルム１２Ｃが剥がされて、ラミネーショ
ンロール３２、３２間に送られ、基板２６に熱圧着され
ても、該断絶線５２の部分は残っている。

【００６２】予めこの断絶線５２を、フィルム１２が基
板２６に張付けられたとき、その端縁２６Ａ近傍に位置
するように設定しておけば、基板２６に熱圧着され、且
つ分離用カッター４８によって切断されると図６に示さ
れるような状態となる。

【００６３】フィルム１２を、基板２６からはみ出した
部分を持って図６の上方に捲り上げるとき、感光製樹脂
層１２Ｂは断絶線５２において断絶されているので、感
光性樹脂層１２Ｂ全体が基板２６から剥がされてしまう
ようなことはない。

【００６４】又、図７の方法・装置はディスク５４によ
りフィルム１２を押圧するのみであるので、切屑等が発
生しないという利点がある。

【００６５】次に、図８に示される方法及び装置につい
て説明する。

【００６６】この方法は、図１に示されるフィルム張付
装置１０におけるフィルム分離部材１６の上流側位置
に、フィルム１２を、カバーフィルム１２Ｃ側から前記
感光性樹脂層１２Ｂと共に、フィルム幅方向の線に沿っ
て切断するハーフカット装置５８と、このハーフカット
装置５８により切断された前記カバーフィルム１２Ｃ
を、その切断線を跨いで粘着テープ６０によりつなぐ接
続装置６２と、を設け、該粘着テープ６０によりつなが
れたカバーフィルム１２Ｃを、前記フィルム分離部材１
６によって連続的に剥がすようにしたものである。

【００６７】図の符号５８Ａはハーフカット装置５８に
おけるディスクカッター、６４は前記切断線位置で、透
光性支持フィルム１２Ａ側に、フィルム幅方向に配置さ
れ、ディスクカッター５８Ａによってカバーフィルム１
２Ｃを切断する際にフィルムを支えるカッター台をそれ
ぞれ示す。

【００６８】前記カッター台６４は、その表面に多数の
吸引溝及び吸引孔（共に図示省略）が形成されていて、
負圧によりフィルム１２を、その透光性支持フィルム１
２Ａ側から吸着保持できるようにされている。

【００６９】又、前記接続装置６２は、ハーフカット装
置５８とフィルム分離部材１６の間に設けられ、フィル
ム１２の幅方向寸法に応じて、フィルム幅方向適宜間隔
で複数列の粘着テープ６０を、フィルム送り方向に、該
フィルム１２の移動に従って粘着させていくようにされ
ている。

【００７０】前記ハーフカット装置５８のディスクカッ
ター５８Ａは、フィルム１２が基板２６に熱圧着された
とき、その端縁２６Ａ近傍に位置する箇所を切断できる
位置に配置されている。

【００７１】従って、このハーフカット装置５８によれ
ば、ディスクカッター５８Ａの位置でフィルム１２にお
ける感光性樹脂層１２Ｂを、そのフィルム幅方向に線状
に完全に切除して、断絶線５２を形成することになる。

【００７２】しかる後、接続装置６２により、粘着テー
プ６０が前記断絶線５２を跨いでカバーフィルム１２Ｃ
をフィルム送り方向に接続するので、フィルム分離部材
１６におけるカバーフィルム１２Ｃの分離は支障無く行
われることになる。

【００７３】図８の方法及び装置によれば、感光性樹脂
層１２Ｂは断絶線５２に沿って完全に除去されているの
で、図５のような状態からフィルム１２のはみ出し部分
を持って透光性支持フィルム１２Ａを剥がすときに、基
板２６に張付けられた状態の感光性樹脂層１２Ｂまでを
剥がしてしまうことを完全に防止することができる。

【００７４】なお、上記断絶線５２は、基板２６の搬送
方向少なくとも一方の端縁の近傍に設けられるものであ
ればよく、又、図６のように、端縁２６Ａから内側に接
近した位置に限定されるものではない。

【００７５】又、断絶線５２は、例えば、基板２６から
のフィルムのはみ出しが基板搬送方向一方のみの場合
は、該はみ出し側にのみ設ければよい。

【００７６】なお、上記基板２６からはみ出したフィル
ム１２では、粘着性のある感光性樹脂層１２Ｂが露出し
ていて、搬送ローラに付着してこれを汚したり、切断・
分離された後のニップ時にニップ部に粘着したりして取
扱いに不便であるので、感光性樹脂層１２ＢがＵＶ硬化
性の場合、図９に示される硬化装置７０により前記はみ
出し部分を予め硬化させるようにしてもよい。

【００７７】この硬化装置７０は、各々ＵＶ光源７２を
内蔵し、且つ、フィルム幅方向に配置された略半円筒状
の一対のカバー７４Ａ、７４Ｂを備え、これら一対のカ
バー７４Ａ、７４Ｂにより、フィルム１２のはみ出し部
分に相当する部位を表裏から挾み込み、ラミネーション
前に紫外線を照射して、ＵＶ硬化性樹脂からなる前記感
光性樹脂層１２ＢをＵＶ硬化させて粘着性を低下するよ
うにされている。

【００７８】前記硬化装置７０は、移動手段（図示省
略）によりフィルム１２と同期して移動しつつ、硬化に
必要な露光時間を得るようにされている。又、カバー７
４Ａ、７４Ｂは紫外線が透過しない金属等の材料からな
り、先端がフィルム１２に密着して、ＵＶ光が漏れない
露光状態と、フィルム１２から離間する待期状態との間
で移動できるようにされている。

【００７９】又、カバー７４Ａ、７４Ｂのフィルム１２
側の端面におけるフィルム送り方向の内周は、前記断絶
線５２が形成されるべき位置と一致するようにされてい
る。

【００８０】なお、ＵＶ硬化のタイミングは、カバーフ
ィルム１２Ｃの剥離前が、カバー７４Ｂの先端が感光性
樹脂層１２Ｂに粘着しないので、特に好都合であるが、
カバーフィルム１２Ｃの剥離後であってもよい。

【００８１】又、上記基板２６は長方形又は正方形であ
り、送り方向前後端縁が該送り方向と直交していて、前
記断絶線５２は該端縁と平行とされているが本発明はこ
れに限定されるものでなく、基板２６の端縁に沿ってい
て、且つ、基板２６のパターン形成領域外であれば傾い
ていてもよい。例えば、断絶線５２を、フィルム１２を
走行させつつ形成する場合は、ディスク５４あるいはデ
ィスクカッター５８Ａの速度にもよるが、ある程度の傾
きが生じる。

【００８２】又、基板２６が長方形又は正方形でない場
合も当然本発明が適用されるものである。例えば送り方
向端縁が傾斜線、円弧状線であってもよい。

【００８３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、間
欠的に搬送されてくる基板にフィルムを連続的に張付け
る場合に、フィルム先端を先頭の基板に張付けるまでの
廃棄しなければならないフィルムの量を大幅に削減し
て、コスト低減を図ることができると共に、基板長さに
対応して切断したフィルムを、各基板毎に仮付け部材に
よって仮付けする場合と比較して、張付速度を向上させ
ることができると共に、装置の故障、メンテナンス等の
負担を大幅に低減させることができるという優れた効果
を有する。

【００８４】又、本発明に係るフィルム付基板は、基板
からはみ出した部分を持って透光性支持フィルムを剥が
す際に、基板に張付けられている感光性樹脂層まで剥が
されることがないという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム張付装
置を示す略示側面図

【図２】上記フィルム張付装置により張付けられるフィ
ルムを拡大して示す断面図

【図３】同フィルム張付装置における仮付け部材を拡大
して示す斜視図

【図４】複数の基板に連続的に熱圧着されたフィルム及
び分離用カッターを示す略示側面図

【図５】同フィルム張付装置によりフィルムが張付けら
れ、分離用カッターによって分離されたフィルム付基板
の一部を示す拡大断面図

【図６】本発明の実施の形態の例に係るフィルム付基板
の一部を示す拡大断面図

【図７】同フィルム付基板の断絶線形成のための装置を
示す略示側面図

【図８】同他の断絶線形成のための装置を示す略示側面
図

【図９】上記装置に付加されて、感光性樹脂層の粘着性
を低下する装置を示す略示断面図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １２…フィルム １２Ａ…透光性支持フィルム １２Ｂ…感光性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １３…フィルム通過面 １４…供給ロール １６…フィルム分離部材 ２０…仮付け部材 ２１…仮付け部材本体 ２６…基板 ３２…ラミネーションロール ３６…ロータリーカッター ４８…分離用カッター ５０…フィルム付基板 ５２…断絶線 ５６…線状押圧装置 ５８…ハーフカット装置 ６０…粘着テープ ６２…接続装置 Ｉ−Ｉ…基板搬送面

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
   フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
   ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
   搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板
   のフィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するように
   して、基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーショ
   ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
   送し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・
   分離するようにされたフィルム張付方法において、前記
   フィルム供給ロールから巻き出された連続フィルムの先
   端を、カバーフィルムを剥離した状態で仮付け部材の先
   端に吸着し、該仮付け部材により前記連続的に搬送され
   てくる基板のうちの先頭の基板の先端に仮付けしてか
   ら、連続フィルムを基板と共に、前記ラミネーションロ
   ールに送り込むことを特徴とするフィルム張付方法。
2. 【請求項２】請求項１において、前記連続フィルムの、
   前記基板への張付前に、該基板への張付状態で該基板の
   搬送方向少なくとも一方の端縁近傍となる位置で、該端
   縁に沿って、前記感光性樹脂層の厚さ方向少なくとも一
   部を除去して断絶線を形成することを特徴とするフィル
   ム張付方法。
3. 【請求項３】請求項２において、前記カバーフィルムの
   剥離前に、該カバーフィルム側からフィルムを線状に押
   圧し、前記感光性樹脂層を該線の外側に流動させて前記
   断絶線を形成することを特徴とするフィルム張付方法。
4. 【請求項４】請求項２において、前記カバーフィルムの
   剥離前に、該カバーフィルムと共に前記感光性樹脂層を
   切断して前記断絶線を形成し、次に、該断絶線を跨い
   で、粘着テープにより前記カバーフィルムを繋いでか
   ら、該カバーフィルムを感光性樹脂層から連続的に剥離
   することを特徴とするフィルム張付方法。
5. 【請求項５】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
   フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
   ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
   搬送手段により一定間隔で連続的に搬送されてくる基板
   のフィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するように
   して、基板と同速で、同方向に送り込み、ラミネーショ
   ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
   送し、圧着後に、分離用カッターにより基板間位置でフ
   ィルムを幅方向に切断するようにされたフィルム張付装
   置において、前記フィルム供給ロールから引き出され、
   先端が切り揃えられた連続フィルムの先端部を吸着する
   と共に、前記搬送手段により搬送されてくる基板の先端
   に、前記ラミネーションロールよりも上流側で、該連続
   フィルムの先端部を押付けて仮付けする仮付部材を設
   け、且つ、前記搬送手段を、搬送する基板のうちの先頭
   の基板を、前記仮付部材による仮付位置に停止するよう
   に構成したことを特徴とするフィルム張付装置。
6. 【請求項６】請求項５において、前記カバーフィルムを
   剥離する前の位置に配置され、連続フィルムの、前記基
   板への張付状態で、該基板の搬送方向少なくとも一方の
   端縁近傍となる部位を、前記カバーフィルム側から支持
   フィルムに向けて、フィルム幅方向の線に沿って押圧
   し、前記感光性樹脂層を、前記フィルム幅方向の線の外
   側に流動させて、その厚さ方向少なくとも一部を除去す
   る線状押圧装置を設けたことを特徴とするフィルム張付
   装置。
7. 【請求項７】請求項５において、前記カバーフィルムを
   剥離する前の位置に配置され、連続フィルムの、前記基
   板への張付状態で、該基板の搬送方向少なくとも一方の
   端縁近傍となる部位を、前記カバーフィルム側から、こ
   れを前記感光性樹脂層と共にフィルム幅方向の線に沿っ
   て切断するハーフカット装置と、このハーフカット装置
   により切断された前記カバーフィルムを、その切断線を
   跨いで粘着テープより繋ぐ接続装置と、を設け、該粘着
   テープにより繋がれたカバーフィルムを連続的に剥すよ
   うにされたことを特徴とするフィルム張付装置。
8. 【請求項８】基板と、支持フィルム上に感光性樹脂層が
   積層されていて、該感光性樹脂層側が前記基板の一方の
   面に張付けられたフィルムと、を有してなり、前記フィ
   ルムは、前記基板の少なくとも一つの端縁からはみ出し
   た長さとされ、且つ、前記端縁の近傍位置の該端縁と略
   平行な断絶線を有し、該断絶線は、前記感光性樹脂層の
   厚さ方向少なくとも一部が除去されて形成されたもので
   あるフィルム付基板。