JPH1034861A

JPH1034861A - フィルム貼付方法及び装置

Info

Publication number: JPH1034861A
Application number: JP8192244A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Taguchi; 博田口; Koichi Kawakami; 高一川上
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1996-07-22
Filing date: 1996-07-22
Publication date: 1998-02-10
Anticipated expiration: 2016-07-22
Also published as: JP3721231B2

Abstract

(57)【要約】【課題】薄いフィルムの場合でも、気泡や皺を発生す
ることなく確実に基板に、連続的に貼付ける。【解決手段】フィルム貼付装置１０は、基板送りライ
ン１２に沿って間欠的に搬送されてくる基板１４の上面
に、ラミネーションロール１６Ａ、１６Ｂによって、積
層体フィルム１８を連続的に熱圧着し、その下流側で、
隣接する基板の対向する端面１４Ａ、１４Ｂ間での、積
層体フィルム１８の端面間の部分１９を、基板１４と同
期して送行する走間カッター装置２０でフィルム幅方向
に切断する。走間カッター装置２０の一対のディスクカ
ッター２４Ａ、２４Ｂは、前記端面１４Ａ、１４Ｂ間に
ライン下方から入り込んで、カッター台３８に積層体フ
ィルム１８を押し付けるようにして切断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板、液晶表示パネル用基板、プラズマディスプレイ
用基板等に例示される基板の表面にフィルムを貼付ける
ためのフィルム貼付方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ム（ベースフィルム；通常はポリエステルに代表される
樹脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥してプリント配線板用基板の表
面の導電層に貼付ける工程がある。そして、この後工程
では、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターン
フィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性
樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィル
ムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッ
チングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の
不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所
定の配線パターンを有するプリント配線板が形成され
る。

【０００３】同様のパターン形成は、液晶表示装置にお
ける液晶セルの障壁及びプラズマディスプレイパネルに
おける放電セルの障壁形成等に利用されている。

【０００４】上記のような積層体フィルムを貼付けるた
めのフィルム貼付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルム（原反フィルム）を、搬送手段に
より搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層が該基
板側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動
可能な仮付け手段によって該基板の先端に仮付けした
後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧
着しつつ、基板を搬送するようにされている。

【０００５】基板へのフィルム圧着貼付けは、貼付け長
さが基板長にほぼ対応した長さとなるように行われてお
り、その長さとなるように供給フィルムはフィルム仮付
け手段自体又はその近傍の部材に設けられたフィルム切
断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段の
前又は後で剥される。

【０００６】他のフィルム貼付装置としては、間欠的に
搬送されてくる基板のフィルム貼付け面に、予めカバー
フィルムを剥したフィルムの感光性樹脂層側を連続的に
搬送しつつ貼付けた後に、隣接する基板間でフィルムを
切断するようにしたものもある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような、基板長
にほぼ対応した長さにフィルムを切断して仮付け手段に
よって基板に貼付けていく場合は、各基板毎に仮付け部
材を往復動させなければならず、貼付工程全体の速度が
低下してしまうと共に、仮付け手段を頻繁に往復動させ
ることによる故障が発生し、仮付けできないことがある
という問題点もある。

【０００８】又、最近、基板上に形成されるパターンが
細密化されているために、フィルムの厚さがそのパター
ン精度に影響することから、非常に薄いフィルムが利用
されてきている。

【０００９】このように、従来と比較して薄いフィルム
をラミネーションロールによって基板に貼付ける場合、
フィルムに十分な引張り力、特に後端側に十分な引張り
力を与えた状態で圧着しないと、フィルムの感光性樹脂
層の特性によりフィルム貼付面に気泡や皺が発生すると
いう問題点がある。

【００１０】これに対して、フィルムを連続的に基板に
貼付ける、いわゆる連続張りの場合、フィルム引張力不
足による気泡、皺の発生は減少するが、予めカバーフィ
ルムを剥がしたフィルムをラミネーションロール及びそ
こから更に下流側のロール間に張り渡した状態で運転を
開始し、基板に圧着していくので、フィルムの先端から
張り始めの先頭の基板の先端までの部分のフィルムが無
駄になってしまい、コストがかかる（通常廃棄されるフ
ィルム先端部分は金額にして２〜３万円程度）という問
題点がある。

【００１１】更に、連続貼りの場合は、ラミネーション
ロール自体がフィルムのガイドロールとなり、フィルム
との接触時間が長いので、フィルムが薄い場合はラミネ
ーションロールからの熱により影響を受けて、フィルム
を基板に貼付けた状態でスポット状あるいは連続筋状の
圧着不良の部分が発生することがあるという問題点を生
じる。

【００１２】更に又、連続貼りの場合、フィルムを基板
に貼付けた後の工程で、各基板間においてフィルムを切
断しなければならないが、切断後に、基板からはみ出し
た部分におけるフィルムの感光性樹脂層が他の基板や、
あるいはこれに圧着されたフィルムに粘着してしまうと
いう問題点がある。

【００１３】又、連続貼りの場合、原反ロールから引き
出したフィルムの先端を手作業によりガイドロールやラ
ミネーションロール間を通してセットするようにしてい
るが、フィルムが薄い場合はそのセット作業が非常に困
難であり、特にラミネーションロール近傍の狭い空間に
手作業でフィルムを通すことが容易でないという問題点
があった。

【００１４】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、高速で基板に連続的にフィルムを
貼付けることができると共に、貼付後にフィルムを切断
した際に、感光性樹脂層等の粘着層が周囲に粘着したり
しないようにしたフィルム貼付方法及び装置を提供する
ことを目的とする。

【００１５】又、フィルムをセットする際に、作業者が
狭い空間に手を入れたりすることなく、迅速且つ容易に
セットすることができるようにしたフィルム貼付方法及
び装置を提供することを目的とする。

【００１６】更に、連続貼りにおいて、ラミネーション
ロールからの熱的影響を受けることなく、フィルムをラ
ミネーションロール間に案内することができるようにし
た、フィルムの貼付方法及び装置を提供することを目的
とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
記載のように、基板送りラインに沿って間欠的に順次搬
送されてくる複数の基板に対して、一対のラミネーショ
ンロールにより、基板の表面又は裏面に積層体フィルム
を連続的に貼着し、貼着後に、前記積層体フィルムの送
り方向に隣接する基板の端面間の部分を、該基板を搬送
しつつ、前記隣接する端面近傍位置の２個所で、基板の
表面側及び裏面側の一方から幅方向に切断するようにし
て、上記目的を達成するものである。

【００１８】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記積層体フィルムを、基板の上側に貼着し、該積
層体フィルムの前記隣接する基板端面間の部分を、カッ
ター台を兼ねる吸着部材により上側から吸着しつつ、下
側から、前記隣接する一対の端面に沿う２個所で幅方向
に切断し、切断後は前記吸着部材から下向きに圧縮空気
を噴出して、積層体フィルムの切断部分を、前記隣接す
る基板端面間の隙間を通って下方に排出するようにした
ものである。

【００１９】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記積層体フィルムの前記隣接する基板端面間の部
分を、積層体フィルム貼着側からカッター台を兼ねる吸
着部材により吸着しつつ、反対側から前記隣接する一対
の端面に沿う２個所で幅方向に切断し、切断後は前記吸
着部材を、積層体フィルムの切断部分を吸着したまま基
板搬送ライン外に移動させ、該切断部分を排出するよう
にしたものである。

【００２０】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、前記積層体フィルムの前記隣接する基板端面近傍
で、基板に貼着された部分を、積層体フィルム貼着側か
ら前記隣接する端面に沿う２個所で幅方向に切断し、切
断後は積層体フィルムの切断部分に下向きに圧縮空気を
噴出して、前記隣接する基板端面間の隙間を通って下方
に排出するようにしたものである。

【００２１】請求項５の発明は、請求項１乃至４のいず
れかの発明において、前記積層体フィルムの先端部分
を、前記基板送りラインと略直交する状態で横断して配
置し、貼着最初の基板の前に、ダミー基板を、その先端
の表裏に前記積層体フィルムの先端部を巻き付けるよう
に搬送しつつ、該先端部をダミー基板の先端に貼着する
ようにしたものである。

【００２２】請求項６の発明は、請求項１乃至５のいず
れかの発明において、前記積層体フィルム貼着側のラミ
ネーションロールの入側外周に隣接する位置で、フィル
ム吸着部材により積層体フィルムを引張りつつ、前記ラ
ミネーションロールと基板間に案内するようにしたもの
である。

【００２３】本装置発明は、請求項７記載のように、基
板送りラインに沿って間欠的に順次搬送されてくる複数
の基板に対して、その表面又は裏面に、一対のラミネー
ションロールにより積層体フィルムを連続的に貼着する
フィルム貼付位置において、前記ラミネーションロール
の下流側に配置され、前記基板と同期して移動しつつ、
送り方向に隣接する基板の対向する端面間の積層体フィ
ルムを、前記対向する端面に沿う２個所で、基板の裏面
側又は表面側から、フィルム幅方向に切断する走間カッ
ター装置を設けたものである。

【００２４】請求項８の発明は、請求項７の発明におい
て、前記ラミネーションロールの下流側に配置され、前
記基板及び走間カッター装置と同期して移動しつつ、送
り方向に隣接する基板の対向する端面間で、前記貼着さ
れた積層体フィルムを吸着するカッター台を設け、前記
走間カッター装置を、積層体フィルム貼着面の反対側か
ら、前記対向する端面間に入り込むように配置したもの
である。

【００２５】請求項９の発明は、請求項８の発明におい
て、前記カッター台を、切断された積層体フィルムに向
けて、フィルム吸着解除後に圧縮空気噴出可能としたも
のである。

【００２６】請求項１０の発明は、請求項８の発明にお
いて、前記カッター台を、切断されたフィルムを吸着し
た状態で、前記基板送りライン外へ移動可能としたもの
である。

【００２７】請求項１１の発明は、請求項７の発明にお
いて、前記走間カッター装置を、積層体フィルム貼付面
側から、該積層体フィルムの、基板に貼着された部分を
切断するように配置し、且つ、切断された積層体フィル
ムを基板搬送ライン外に排出するフィルム排出装置を設
けたものである。

【００２８】請求項１２の発明は、請求項１１の発明に
おいて、前記フィルム排出装置を、前記切断された積層
体フィルムに、前記対向する基板端面間で、裏面方向又
は表面方向に圧縮空気を吹き付けるエアージェットとし
たものである。

【００２９】請求項１３の発明は、請求項７乃至１１の
いずれかの発明において、前記一対のラミネーションロ
ールの入側に配置され、積層体フィルムの先端部を、前
記基板搬送ラインと略直交する状態で、進行する基板先
端により引張られる程度に保持するフィルム保持装置を
設けたものである。

【００３０】請求項１４の発明は、請求項１３の発明に
おいて、前記フィルム保持装置を、負圧により積層体フ
ィルム先端部を吸着する吸着手段としたものである。

【００３１】請求項１５の発明は、請求項７乃至１４の
いずれかの発明において、前記積層体フィルム貼着側の
前記ラミネーションロールの入側外周面に沿って、該ラ
ミネーションロールと基板間に入り込む積層体フィルム
を吸着により引張り力を付与しつつ案内するテンション
バーを設けたものである。

【００３２】請求項１６の発明は、請求項１５の発明に
おいて、前記テンションバーを、前記ラミネーションロ
ールから積層体フィルムへの熱伝達を抑制するヒートア
イソレータを兼ねたものとしたものである。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。

【００３４】この実施の形態の例に係るフィルム貼付装
置１０は、基板送りライン１２に沿って間欠的に順次搬
送されてくる複数の基板１４に対して、一対のラミネー
ションロール１６Ａ、１６Ｂにより、基板１４の上面
に、積層体フィルム１８を連続的に貼着し、貼着後に、
前記積層体フィルム１８の送り方向に隣接する基板１
４、１４の端面間の部分１９を、基板１４を搬送しつ
つ、基板送りライン１２の下方から、走間カッター装置
２０により切断するようにしたものである。

【００３５】前記積層体フィルム１８は、図２に拡大し
て示されるように、透光性支持フィルム１８Ａ上に感光
性樹脂層１８Ｂを形成し、且つ、これをカバーフィルム
１８Ｃによって覆って構成したものであり、カバーフィ
ルム１８Ｃを剥して基板１４の上面に貼付けられる。

【００３６】前記走間カッター装置２０は、図３に拡大
して示されるように、基板送りライン１２の下側で、基
板送り方向と直交する方向（フィルム幅方向）に往復動
自在に配置された移動台２２と、この移動台２２に、基
板１４の隣接する端面間の幅よりも僅かに小さい幅を持
って平行に取り付けられた一対のディスクカッター２４
Ａ、２４Ｂと、前記移動台２２を、前記基板送りライン
１２に沿って基板１４と同期して移動可能に支持する同
期移動台２６と、を備えて構成されている。

【００３７】前記同期移動台２６は、基板送りライン１
２と平行に配置された送り方向ガイド２８に沿って移動
自在に支持され、且つ、この送り方向ガイド２８に形成
されているラック２８Ａと噛み合うピニオン２６Ａと、
このピニオン２６Ａを駆動するパルスモータ２６Ｂを備
え、基板１４と同期して移動できるようにされている。

【００３８】又、前記移動台２２は、同期移動台２６に
支持されたフィルム幅方向の走行ガイド３０に、フィル
ム幅方向往復動自在に支持され、且つエアシリンダ３２
によってフィルム幅方向に往復動できるようにされてい
る。

【００３９】図４の符号３４は、前記パルスモータ２６
Ｂ及びエアシリンダ３２を制御するための制御装置を示
す。前記走間カッター装置２０の上流側位置には、基板
送りライン１２の下方に、搬送されてくる基板１４の後
端又はこれに隣接する先端を検出するための基板端部セ
ンサ３６が配置され、制御装置３４は、そのセンサ出力
信号によって、前記ディスクカッター２４Ａ、２４Ｂ
を、搬送中の隣接する基板１４、１４における対向する
端面１４Ａ、１４Ｂに同期するように、前記同期移動台
２６の移動開始タイミング及び移動速度を制御するよう
にされている。

【００４０】前記走間カッター装置２０に対向して、前
記基板送りライン１２の上側にカッター台３８が前記デ
ィスクカッター２４Ａ、２４Ｂと、基板送り方向に同期
して移動するように配置されている。

【００４１】このカッター台３８は、図５に拡大して示
されるように、基板送り方向には、前記隣接する基板１
４、１４における端面１４Ａ、１４Ｂよりも、それぞれ
上流側及び下流側に僅かに突出する長さとされ、又、基
板送り方向と直交する方向には、基板１４の全幅よりも
長く形成され、その下側面には、空気室３９Ａを介して
空気圧管路３９Ｂから伝達される空気圧又は負圧が印加
される多数の吸引孔３９が形成されている。

【００４２】又、カッター台３８は、図３に示されるよ
うに、同期移動装置４０によって、基板送り方向に移動
される前記ディスクカッター２４Ａ、２４Ｂと同期し
て、基板送り方向に往復動できるように支持され、且つ
カッター作動位置では、図１、図５に示されるように、
基板１４に貼着された積層体フィルム１８の上面に吸着
して、これを定位置に保つカット位置にまで降下し、且
つフィルムカット終了後には上方に離間するように上下
動装置４２によって支持されている。

【００４３】この同期移動装置４０及び上下動装置４２
は、共に前記制御装置３４によって制御され、又、吸引
孔３９に印加される負圧のオン・オフ及び正圧のオン・
オフが制御されるようになっている。

【００４４】ここで、前記カッター台３８の、下流方向
への移動範囲は、前記ディスクカッター２４Ａ、２４Ｂ
の下流方向への移動範囲よりも大きく設定され、その延
長部分の下方には、カットフィルム受け４４が配置され
ている。

【００４５】前記一対のラミネーションロール１６Ａ、
１６Ｂ間には、積層体フィルム１８が、原反ロール４６
から略鉛直方向のフィルム供給ライン４８に沿って供給
されるが、上側のラミネーションロール１６Ａの基板送
りライン１２側且つ上流側の略１／４円弧の範囲では、
積層体フィルム１８がラミネーションロール１６Ａに接
触することなく、ラミネーションロール１６Ａ、１６Ｂ
間に供給されるように、テンションバー５０が設けられ
ている。

【００４６】このテンションバー５０は、図６に拡大し
て示されるように、積層体フィルム１８が摺接する範囲
の外側円弧状部５０Ａには、多数の吸引孔５０Ｂが形成
され、ここに、負圧源（図示省略）からの負圧が印加さ
れるようになっている。

【００４７】この負圧に基づく吸引孔５０Ｂによる積層
体フィルム１８の吸引力は、ラミネーションロール１６
Ａ、１６Ｂ間で基板１４に熱圧着されつつ積層体フィル
ム１８が引張られるとき、その移動を許容する程度とさ
れている。

【００４８】又、前記フィルム供給ライン４８の、前記
基板送りライン１２を越えた下方への延長線上であっ
て、且つ下側のラミネーションロール１６Ｂの入側近傍
位置には、略鉛直の吸着面５２Ａを有する吸着手段５２
が配置されている。図６の符号５２Ｂは吸着面５２Ａに
多数形成された負圧を印加するための吸引孔を示す。

【００４９】又、図１の符号５４は積層体フィルム１８
からカバーフィルム１８Ｃを剥がすためのフィルム分離
手段、５６は分離されたカバーフィルム１８Ｃを巻き取
るためのカバーフィルム巻取りロール、５８はガイドロ
ールをそれぞれ示す。

【００５０】次に、上記フィルム貼付装置１０により基
板１４に積層体フィルム１８を貼付ける工程について説
明する。

【００５１】まず、原反ロール４６から積層体フィルム
１８を巻き出し、カバーフィルム１８Ｃを、フィルム分
離手段５４を経て、カバーフィルム巻取りロール５６に
導き、且つ、カバーフィルム１８Ｃを引き剥がした積層
体フィルム１８の先端部１８Ｄの、透光性支持フィルム
１８Ａ側を、前記吸着手段５２の吸着面５２Ａに吸着保
持させる。

【００５２】この状態で、基板１４を基板送りライン１
２に沿って搬送させるのであるが、その先頭に、基板１
４と同一厚さ且つ同一幅であって、送り方向寸法が小さ
いダミー基板１５を配置する。

【００５３】ダミー基板１５は、その先端において、先
端部１８Ｄが吸着手段５２に吸着されている積層体フィ
ルム１８に、直角に当接した後、図６に示されるよう
に、該積層体フィルム１８を更に、図の右方向に押すの
で、積層体フィルム１８は、ダミー基板１５の進行方向
先端の裏面及び表面に感光性樹脂層１８Ｂが粘着して、
該先端をカバーするように巻き付く。

【００５４】この状態で、ラミネーションロール１６
Ａ、１６Ｂ間に入り、積層体フィルム１８はダミー基板
１５の上面に熱圧着され、更に、ラミネーションロール
１６Ａ、１６Ｂの回転による送り力によって、ダミー基
板１５が進行する。

【００５５】このラミネーションロール１６Ａ、１６Ｂ
によるダミー基板１５及び積層体フィルム１８の進行方
向への送り力が強いので、積層体フィルム１８の先端部
１８Ｄは前記吸着手段５２から引き剥がされてダミー基
板１５と共に進行する。

【００５６】一方、積層体フィルム１８はダミー基板１
５の進行と共に、前記原反ロール４６から巻き出され、
前記テンションバー５０に沿ってラミネーションロール
１６Ａ、１６Ｂ間に供給される。

【００５７】このようにして、積層体フィルム１８は、
ダミー基板１５に続く基板１４に、順次、ラミネーショ
ンロール１６Ａ、１６Ｂにより熱圧着される。

【００５８】積層体フィルム１８は、ラミネーションロ
ール１６Ａ、１６Ｂの入側において、テンションバー５
０に摺接し、このとき、その外側円弧状部５０Ａに形成
された吸引孔５０Ｂに印加されている負圧によって吸引
されるので、ラミネーションロール１６Ａ、１６Ｂ間に
巻き込まれるとき引張り力を受ける。

【００５９】従って、基板１４上のどの位置でも、積層
体フィルム１８は後方への引張り力を受けて、皺や気泡
が発生することなく、基板１４の上面に熱圧着されるこ
とになる。

【００６０】更に、該積層体フィルム１８が非常に薄い
場合でも、テンションバー５０が、ラミネーションロー
ル１６Ａからの熱を遮断すると共に、吸引によって、テ
ンションバー５０内で発生した熱も外部に排出されるの
で、積層体フィルム１８は、ラミネーションロール１６
Ａの入側で過剰に加熱されたりすることがない。従っ
て、基板１４への貼着状態も安定したものとなる。

【００６１】積層体フィルム１８を貼付けたダミー基板
１５、及びそれに継続する基板１４が、更に下流に進行
し、その端面が、前記基板端部センサ３６によって検出
されると、制御装置３４は、同期移動台２６及び同期移
動装置４０を、該端面１４Ａ又は１４Ｂと同期するタイ
ミングで且つ同速で基板進行方向に駆動する。

【００６２】このとき、制御装置３４は、同期移動装置
４０における上下動装置４２を駆動して、図５に示され
るように、カッター台３８を、基板又はダミー基板の隣
接する端面１４Ａ、１４Ｂ間の位置で降下させ、隣接す
る基板又はダミー基板間を橋渡しするような状態で、積
層体フィルム１８に上方から圧着させる。

【００６３】このとき、カッター台３８の吸引孔３９に
は負圧が印加され、隣接する基板の端面１４Ａ、１４Ｂ
間における端面間の部分１９を吸着保持することにな
る。

【００６４】同時に、制御装置３４により、基板送りラ
イン１２の幅方向外側位置にあった移動台２２が移動を
開始され、そのディスクカッター２４Ａ、２４Ｂが、隣
接する基板の端面１４Ａ、１４Ｂ間に入り込んで、積層
体フィルム１８をカッター台３８に押し付けるような状
態で、これをフィルム幅方向に切断する。

【００６５】切断終了後は、移動台２２は、基板送りラ
イン１２の反対側に出て、基板１４と干渉しない位置で
待機される。

【００６６】同時に、カッター台３８の吸引孔３９に印
加されていた負圧が正圧に切り換えられ、前記カットフ
ィルム受け４４の上方位置で圧縮空気が噴出され、これ
によって、積層体フィルム１８の端面間の部分１９が、
端面１４Ａ、１４Ｂ間の隙間を通って下方に吹き飛ばさ
れ、カットフィルム受け４４内に落ち込んで回収され
る。

【００６７】以上のような工程を繰り返して、基板１４
への積層体フィルム１８の貼付け、その後工程での端面
間の部分１９の切断除去がなされる。

【００６８】なお、ダミー基板１５に貼着された積層体
フィルム１８は、該ダミー基板１５と共に廃棄される。
従って、積層体フィルム１８の、原反ロール４６から巻
き出された先端部１８Ｄは、基板に貼付けて利用される
ものではないので、フィルム幅方向に直角に切断された
ものではなくてもよい。又、該積層体フィルム１８の巻
き出し先端が、正確に吸着手段５２の吸着面５２Ａに吸
着されなくても、これを越えた位置で吸着させてもよい
ので、積層体フィルム１８の先端を直角に切り揃えて、
且つ正確に吸着面５２Ａに吸着させる必要はない。

【００６９】なお、上記フィルム貼付装置１０におい
て、切断された端面間の部分１９は、カッター台３８の
吸引孔３９から噴出される圧縮空気によって下方に吹き
飛ばされることにより除去されているが、本発明はこの
除去手段に限定されるものでなく、例えば、カッター台
３８の吸引孔３９に負圧を印加したままの状態、即ち、
切断された端面間の部分１９を吸着したままの状態で、
基板送りライン１２外へ搬出するようにしてもよい。

【００７０】又、図７に示されるように、カッター台を
設けることなく、且つ図１の場合と反対側、即ち貼着さ
れた積層体フィルム１８側から、一対のディスクカッタ
ー５８Ａ、５８Ｂにより、基板１４を移動させつつフィ
ルム幅方向にこれを切断するようにしてもよい。この場
合、積層体フィルム１８が貼られている基板１４そのも
のがカッター台の機能を果たすことになる。

【００７１】これらディスクカッター５８Ａ、５８Ｂに
より切断された端面間の部分１９の排除手段は、前述と
同様に、負圧が印加される吸着手段６０に吸着してライ
ン外に排出するようにしてもよく、又、基板の隣接する
端面１４Ａ、１４Ｂ間の中央位置に、下向きに圧縮空気
を噴き出すエアジェットノズル６２を設けて、切断され
た端面間の部分１９を、前記隣接する端面間から下方に
吹き飛ばして排出するようにしてもよい。

【００７２】更に、上記いずれの場合も、切断された端
面間の部分１９を負圧による吸着、圧縮空気による吹き
飛ばしによって排除するようにしているが、これは、空
気圧利用手段に限定されるものでなく、例えば、鋏状の
レバーにより挟み取って排出する等の機械的排出手段で
あってもよい。

【００７３】

【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、フ
ィルム張力不足による気泡、皺の発生を抑制しつつ、且
つ連続フィルムの先端の廃棄部分を多くすることなく、
フィルムを連続的に基板に確実に貼付けることができる
という優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係るフィルム貼付装
置を示す略示側面図

【図２】積層体フィルムを拡大して示す断面図

【図３】同フィルム貼付装置における走間カッター装置
及びカッター台部分を拡大して示す斜視図

【図４】同フィルム貼付装置における制御系を示すブロ
ック図

【図５】前記カッター台近傍を拡大して示す断面図

【図６】同フィルム貼付装置におけるテンションバー近
傍部分を拡大して示す側面図

【図７】走間カッターの他の実施の形態の例を示す略示
側面図

【符号の説明】

１０…フィルム貼付装置１２…基板送りライン１４…基板１４Ａ、１４Ｂ…端面１５…ダミー基板１６Ａ、１６Ｂ…ラミネーションロール１８…積層体フィルム１８Ａ…透光性支持フィルム１８Ｂ…感光性樹脂層１８Ｃ…カバーフィルム１９…端面間の部分２０…走間カッター装置２４Ａ、２４Ｂ…ディスクカッター２６…同期移動台３４…制御装置３６…基板端部センサ３８…カッター台３９…吸引孔４０…同期移動装置４６…原反ロール４８…フィルム供給ライン５０…テンションバー５０Ａ…外側円弧状部５０Ｂ…吸引孔５２…吸着手段５２Ａ…吸着面５８Ａ、５８Ｂ…ディスクカッター６０…吸着手段６２…エアジェットノズル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板送りラインに沿って間欠的に順次搬送
されてくる複数の基板に対して、一対のラミネーション
ロールにより、基板の表面又は裏面に積層体フィルムを
連続的に貼着し、貼着後に、前記積層体フィルムの送り
方向に隣接する基板の端面間の部分を、該基板を搬送し
つつ、前記隣接する端面近傍位置の２個所で、基板の表
面側及び裏面側の一方から幅方向に切断することを特徴
とするフィルム貼付方法。
【請求項２】請求項１において、前記積層体フィルム
を、基板の上側に貼着し、該積層体フィルムの前記隣接
する基板端面間の部分を、カッター台を兼ねる吸着部材
により上側から吸着しつつ、下側から、前記隣接する一
対の端面に沿う２個所で幅方向に切断し、切断後は前記
吸着部材から下向きに圧縮空気を噴出して、積層体フィ
ルムの切断部分を、前記隣接する基板端面間の隙間を通
って下方に排出することを特徴とするフィルム貼付方
法。
【請求項３】請求項１において、前記積層体フィルムの
前記隣接する基板端面間の部分を、積層体フィルム貼着
側からカッター台を兼ねる吸着部材により吸着しつつ、
反対側から前記隣接する一対の端面に沿う２個所で幅方
向に切断し、切断後は前記吸着部材を、積層体フィルム
の切断部分を吸着したまま基板搬送ライン外に移動さ
せ、該切断部分を排出することを特徴とするフィルム貼
付方法。
【請求項４】請求項１において、前記積層体フィルムの
前記隣接する基板端面近傍で、基板に貼着された部分
を、積層体フィルム貼着側から前記隣接する端面に沿う
２個所で幅方向に切断し、切断後は積層体フィルムの切
断部分に下向きに圧縮空気を噴出して、前記隣接する基
板端面間の隙間を通って下方に排出することを特徴とす
るフィルム貼付方法。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記
積層体フィルムの先端部分を、前記基板送りラインと略
直交する状態で横断して配置し、貼着最初の基板の前
に、ダミー基板を、その先端の表裏に前記積層体フィル
ムの先端部を巻き付けるように搬送しつつ、該先端部を
ダミー基板の先端に貼着することを特徴とするフィルム
貼付方法。
【請求項６】請求項１乃至５のいずれかにおいて、前記
積層体フィルム貼着側のラミネーションロールの入側外
周に隣接する位置で、フィルム吸着部材により積層体フ
ィルムを引張りつつ、前記ラミネーションロールと基板
間に案内することを特徴とするフィルム貼付方法。
【請求項７】基板送りラインに沿って間欠的に順次搬送
されてくる複数の基板に対して、その表面又は裏面に、
一対のラミネーションロールにより積層体フィルムを連
続的に貼着するフィルム貼付装置において、前記ラミネ
ーションロールの下流側に配置され、前記基板と同期し
て移動しつつ、送り方向に隣接する基板の対向する端面
間の積層体フィルムを、前記対向する端面に沿う２個所
で、基板の裏面側又は表面側から、フィルム幅方向に切
断する走間カッター装置を設けたことを特徴とするフィ
ルム貼付装置。
【請求項８】請求項７において、前記ラミネーションロ
ールの下流側に配置され、前記基板及び走間カッターと
同期して移動しつつ、前記送り方向に隣接する基板の対
向する端面間で、前記貼着された積層体フィルムを吸着
するカッター台を設け、前記走間カッター装置を、積層
体フィルム貼着面の反対側から、前記対向する端面間に
入り込むように配置したことを特徴とするフィルム貼付
装置。
【請求項９】請求項８において、前記カッター台は、フ
ィルム吸着解除後に、切断された積層体フィルムに向け
て圧縮空気噴出可能とされたことを特徴とするフィルム
貼付装置。
【請求項１０】請求項８において、前記カッター台は、
切断されたフィルムを吸着した状態で、前記基板送りラ
イン外へ移動可能とされたことを特徴とするフィルム貼
付装置。
【請求項１１】請求項７において、前記走間カッター装
置を、積層体フィルム貼付面側から、該積層体フィルム
の、基板に貼着された部分を切断するように配置し、且
つ、切断された積層体フィルムを基板搬送ライン外に排
出するフィルム排出装置を設けたことを特徴とするフィ
ルム貼付装置。
【請求項１２】請求項１１において、前記フィルム排出
装置は、前記切断された積層体フィルムに、前記対向す
る基板端面間で、裏面方向又は表面方向に圧縮空気を吹
き付けるエアージェットであることを特徴とするフィル
ム貼付装置。
【請求項１３】請求項７乃至１１のいずれかにおいて、
前記一対のラミネーションロールの入側に配置され、積
層体フィルムの先端部を、前記基板搬送ラインと略直交
する状態で、進行する基板先端により引張られる程度に
保持するフィルム保持装置を設けたことを特徴とするフ
ィルム貼付装置。
【請求項１４】請求項１３において、前記フィルム保持
装置は、負圧により積層体フィルム先端部を吸着する吸
着手段であることを特徴とするフィルム貼付装置。
【請求項１５】請求項７乃至１４のいずれかにおいて、
前記積層体フィルム貼着側の前記ラミネーションロール
の入側外周面に沿って、該ラミネーションロールと基板
間に入り込む積層体フィルムを吸着により引張り力を付
与しつつ案内するテンションバーを設けたことを特徴と
するフィルム貼付装置。
【請求項１６】請求項１５において、前記テンションバ
ーは、前記ラミネーションロールから積層体フィルムへ
の熱伝達を抑制するヒートアイソレータを兼ねることを
特徴とするフィルム貼付装置。