KR20090017529A - 외층체의 박리 방법 및 박리 장치 - Google Patents

Abstract

지지체 박리 장치(122)에서는 척(142a, 142b)이 베이스 필름(26)을 파지하고, 우선 상기 척(142a, 142b)이 S자 커브의 속도 패턴을 따라 이동됨으로써 상기 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)으로부터 박리하기 시작한다. 이어서, 베이스 필름(26) 전체가 부착 기판(24a)으로부터 박리되기까지의 사이 척(142a, 142b)은 만곡되는 속도 패턴을 따라 이동됨으로써 상기 베이스 필름(26)의 박리 작업이 종료된다.

외층체, 박리 방법, 박리 장치,

Description

외층체의 박리 방법 및 박리 장치{STRIPPING METHOD AND STRIPPER OF OUTER LAYER BODY}

본 발명은 기판에 부착된 다층 필름의 외층체를 상기 기판으로부터 박리하는 외층체의 박리 방법 및 박리 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판에서는 감광 재료(감광성 수지)층을 갖는 감광성 시트체(감광성 웹)를 기판 표면에 부착하고 있다. 감광성 시트체는 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광 재료층과 보호 필름이 적층되어 있다.

이러한 종류의 감광성 시트체는 보호 필름이 부분적 또는 전면적으로 박리된 후, 감광 재료층이 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판에 부착되어 있다. 이어서, 지지체가 기판으로부터 박리됨으로써 감광 재료층이 부착된 부착 기판이 얻어지고 있다.

예를 들면, 일본 특허 공개 2002-234667호 공보에 개시되어 있는 필름의 박리 방법 및 박리 장치에서는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(1)을 흡착하여 이동하는 기판 흡착 핸드(2)와, 상기 유리 기판(1)에 부착되어 있는 필름(F)(외층체)을 협지하여 박리하는 제 1 클램퍼(3)와, 상기 제 1 클램퍼(3)를 도 15 중 좌 우로 이동시키는 실린더(4)와, 이 실린더(4)를 전후 방향으로 이동시키는 수평 가이드(5a), 및 상하 방향으로 이동시키는 수직 가이드(5b)와, 박리한 상기 필름(F)을 협지하는 제 2 클램퍼(6)와, 상기 박리된 상기 필름(F)을 수평 방향으로 확장시키는 필름 푸셔(film pusher)(7)를 구비하고 있다.

그래서, 우선 기판 흡착 핸드(2)가 도 15 중 2점쇄선으로 나타내는 수평 자세로 배치되어 유리 기판(1)이 놓여지면 이 기판 흡착 핸드(2)는 상기 유리 기판(1)을 흡착하여 기립된다.

이어서, 제 1 클램퍼(3)는 유리 기판(1)으로부터 외부로 돌출되는 필름(F)의 일부를 파지(把持)하고, 상기 제 1 클램퍼(3)가 실린더(4)를 통해 임의의 방향으로 이동된다. 이 때문에, 필름(F)은 유리 기판(1)의 코너부로부터 박리된다.

또한, 제 1 클램퍼(3)는 수평 가이드(5a) 및 수직 가이드(5b)의 안내 작용하에 화살표 방향으로 이동되어 유리 기판(1)으로부터 필름(F)을 박리한 후, 이 필름(F)이 제 2 클램퍼(6)에 옮겨진다. 그때, 박리된 필름(F)은 필름 푸셔(7)를 통해 수평 방향으로 확장되고, 각 필름(F)이 중합되어 수용된다.

상기의 종래 기술에서는, 도 16에 나타내는 바와 같이, 박리 개시로부터 시간(T1)까지의 사이, 유리 기판(1)은 속도(V1)로 상승하는 한편, 제 1 클램퍼(3)는 속도(V2-V1)로 하강하고 있다. 이로 인해, 필름(F)은 실질적으로 속도(V2)의 박리 속도로 박리되고 있다.

또한, 시간(T1)으로부터 시간(T3)까지의 사이는 제 1 클램퍼(3)가 정지되는 한편, 유리 기판(1)은 속도(V2)로 상승하고 있다. 이 때문에, 박리중의 상대 속 도(V2)가 유지되도록 하고 있다.

그러나, 상기의 종래 기술에서는 필름 박리 개시시(시간(0) 근방)에서는 유리 기판(1)의 상승과 제 1 클램퍼(3)의 하강에 의해 필름(F)에는 급격한 박리 개시 동작이 부여되고 있다. 이 때문에, 필름(F)에는 특히 감광성 수지층에 급격한 힘이 부여되면 이 감광성 수지층에 응집 파괴가 발생되기 쉽다. 또한, 감광성 수지층의 파손된 부분이 진애(塵埃)가 되어 기판 등에 부착될 우려가 있다.

또한, 필름(F)에는 굴곡부를 갖는 직선 형상의 박리 속도 패턴을 따라 박리 동작이 부여되고 있다. 따라서, 필름(F)의 박리 작업중에는 굴곡부에 대응하여 급격히 속도가 변화되는 변화점(P1, P2 및 P3)이 존재하고 있다. 이 때문에, 이들 변화점(P1, P2 및 P3)에서는 필름(F)의 박리 상태가 급격히 변화되어 감광성 수지층의 표면에 줄무늬가 발생한다. 이 문제는 가속도 또는 감속도를 일정하게 유지하여 필름(F)을 박리할 때에도 마찬가지로 발생하고 있다.

본 발명은 이러한 종류의 문제를 해결하는 것이고, 간단한 공정 및 구성으로 외층체를 기판으로부터 양호하게 박리함과 아울러 고품질인 박리면을 확실하게 얻는 것이 가능한 외층체의 박리 방법 및 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 기판에 부착된 다층 필름의 외층체를 상기 기판으로부터 박리하는 외층체의 박리 방법 및 박리 장치에 관한 것이다.

이 박리 방법은 파지 기구에 의해 외층체를 파지하고, 상기 파지 기구를 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키는 박리 개시 공정과, 상기 박리 개시 공정 후 상기 외층체 전체를 기판으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 파지 기구를 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키는 박리 공정을 갖고 있다.

여기에서, 만곡되는 속도 패턴이란 속도의 급격한 변화점이 없는, 즉 굴곡부가 없는 속도 패턴을 말한다. 또한, 만곡되는 가속도 패턴 및 만곡되는 감속도 패턴도 마찬가지이다.

또한, 박리 장치는 기판을 수평 자세로 유지하는 기판 유지 기구와, 외층체를 파지하여 상기 외층체를 상기 기판으로부터 박리하는 파지 기구와, 박리 개시시에 상기 파지 기구를 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키는 한편, 상기 박리 개시 공정 후 상기 외층체 전체를 상기 기판으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 파지 기구를 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키는 이동 제어 기구를 구비하고 있다.

본 발명에서는 외층체의 박리 개시시에 파지 기구를 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키고 있다. 이 때문에, 외층체를 급격히 박리하기 시작할 일이 없어서, 예를 들면 감광성 수지층의 응집 파괴를 양호하게 저지함과 아울러 파손에 의한 진애의 발생을 가급적으로 저지할 수 있다. 한편, 외층체가 박리되기 시작한 후에 속도 또는 가속도가 S자 커브를 따라 급속하게 상승하여 양호한 박리 작업이 수행되는 것 외에 박리 작업의 효율화가 도모된다. 따라서, 간단한 공정 및 구성으로 감광성 수지층의 응집 파괴를 발생시키는 일 없이 외층체를 유효하게 박리함과 아울러 박리 작업의 효율화가 용이하게 수행 가능해진다.

또한, 박리 개시 공정 후, 외층체 전체를 기판으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 파지 기구를 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키고 있다. 이로 인해, 외층체의 박리 동작중에 박리 상태가 급격하게 변화될 일이 없어서, 예를 들면 감광성 수지층의 표면에 줄무늬 등이 발생하는 것을 양호하게 방지할 수 있고, 고품질인 박리면(감광성 수지층)을 확실하게 얻는 것이 가능해진다.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시 형태예의 설명으로부터 상기의 목적 및 타목적, 특징 및 이점이 보다 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치가 장착되는 제조 장치의 개략 구성도이다.

도 2는 상기 제조 장치에 사용되는 장척 형상 감광성 웹의 단면도이다.

도 3은 상기 장척 형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.

도 4는 상기 지지체 박리 장치의 개략 사시 설명도이다.

도 5는 상기 지지체 박리 장치의 주요부 사시 설명도이다.

도 6은 상기 지지체 박리 장치의 동작 설명도이다.

도 7은 고무 롤러 사이에 유리 기판이 배치될 때의 동작 설명도이다.

도 8은 상기 유리 기판의 후단이 상기 고무 롤러 사이로부터 이간될 때의 동작 설명도이다.

도 9는 제 1 실시 형태에 따른 박리 속도 패턴의 설명도이다.

도 10은 종래 방법과 제 1 실시 형태의 품질 평가 설명도이다.

도 11은 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 외층체의 박리 방법에 적용되는 박리 속도 패턴의 설명도이다.

도 12는 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 외층체의 박리 방법에 적용되는 박리 속도 패턴의 설명도이다.

도 13은 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치의 개략 사시 설명도이다.

도 14는 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치의 개략 사시 설명도이다.

도 15는 종래 기술에 개시되어 있는 필름의 박리 방법 및 박리 장치의 설명도이다.

도 16은 상기 종래 기술의 속도 패턴 설명도이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시 형태에 따른 외층체의 박리 장치가 장착되는 제조 장치(20)의 개략 구성도이다. 이 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 장척 형상 감광성 웹(장척 형상 웹)(22)의 감광성 수지층(29)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(외층체)(26), 쿠션층(열가소성 수지층)(27), 중간층(산소 차단막)(28), 감광성 수지층(29) 및 보호 필름(30)을 적층하여 구성된다. 또한, 감광성 웹(22)은 베이스 필름(26), 감광성 수지층(29) 및 보호 필름(30)에 의해 구성되어 있어도 좋다.

베이스 필름(26)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 형성되고, 쿠션층(27)은 에틸렌과 산화비닐 공중합체로 형성되며, 중간층(28)은 폴리비닐알코올로 형성되고, 감광성 수지층(29)은 알칼리 가용성 바인더와 모노머와 광중합 개시재와 착색제를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물로 형성되며, 보호 필름(30)은 폴리에틸렌 또는 폴리프로필렌 등으로 형성된다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 장치(20)는 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권취한 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고, 이 감광성 웹 롤(22a)로부터 상기 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 상기 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)에 폭 방향으로 절단 가능한 하프 컷 부위(34)를 형성하는 하프 컷 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다. 또한, 하프 컷 기구(36)는 화살표(A) 방향으로 소정 간격만큼 이간되어 2세트 배치되고, 동시에 2개소의 하프 컷 부위(34)를 형성해도 좋다.

라벨 접착 기구(40)의 하류에는 감광성 웹(22)을 택트 반송으로부터 대략 연속 반송으로 변경하기 위한 리저버 기구(42)와, 상기 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정 길이 간격으로 박리시키는 보호 필름 박리 기구(44)와, 유리 기판(24)을 소정 온도로 가열한 상태에서 부착 위치로 반송하는 가열 기구(45)와, 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(29)을 상기 유리 기판(24)에 부착하는 부착 기구(46)가 배치된다. 또한, 부착 기구(46)에 의해 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 부착된 적층체를 이하, 부착 기판(24a)이라고 한다.

부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치인 하프 컷 부위(34)를 직접 검출하는 검출 기구(47)가 배치됨과 아울러 상기부착 기구(46)의 하류에는 각 유리 기판(24) 사이의 상기 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)가 배치된다. 이 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에는 운전 개시시 및 운전 종료시에 사용되는 웹 절단 기구(48a)가 설치된다.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용 완료된 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 감광성 웹(22)의 선단을 접합시키는 접합대(49)가 설치된다. 이 접합대(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(22a)의 권취 어긋남에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해 필름단 위치 검출기(51)가 배치된다.

하프 컷 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권취되어 있는 감광성 웹 롤(22a)의 롤 지름을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 하프 컷 기구(36)는 감광성 웹(22)의 반송 방향[화살표(A) 방향]에 직교되는 방향으로 진퇴 가능한 슬라이드대(52)를 구비한다. 이 슬라이드대(52)에는 회전 원형날(커터)(54)이 고착됨과 아울러 상기 회전 원형날(54)에 대향되는 위치에는 감광성 웹(22)을 사이에 두고 커팅 받침대(56)가 배치된다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 하프 컷 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)을 절단할 필요가 있고, 실질적으로 이 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해 감광성 수지층(29)~중간층(28)까지 커팅되도록 회전 원형날(54)의 커팅 깊이가 설정된다. 하프 컷 부위(34)는 회전 원형날(54) 대신에 예를 들면 고정 원형날이나 초음파를 이용한 컷 방식 외에 나이프날, 후술하는 띠 형상 작두날(톰슨 날) 등으로 형성하는 방식을 채용해도 좋다. 또한, 작두날은 수직 방향의 작두 구성 외에 경사 방향의 작두 구성을 포함한다.

하프 컷 부위(34)는 유리 기판(24)의 간격을 설정하는 것이고, 예를 들면 양측의 상기 유리 기판(24)에 각각 10㎜씩 들어간 위치에 설정된다. 유리 기판(24) 사이의 하프 컷 부위(34)로 끼워진 부분은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(29)을 상기 유리 기판(24)에 프레임 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응하여 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남기기 때문에 박리측 전방의 박리 부분(30aa)과 박리측 후방의 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 사이에 두고, 먼저 박리되는 부분을 전방의 박리 부분(30aa)으로 하는 한편, 나중에 박리되는 부분을 후방의 박리 부분(30ab)으로 한다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 직사각형 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중 앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미점착을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러 이 비접착부(38a)의 양측, 즉 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 전방의 박리 부분(30aa)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(30ab)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 5장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간하여 부착 가능한 흡착 패드(58a~58e)를 구비함과 아울러 상기 흡착 패드(58a~58e)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 받침대(59)가 승강 가능하게 배치된다.

리저버 기구(42)는 상류측의 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하지만, 또한 텐션 변동을 막기 위해 요동 가능한 2개의 롤러(60)로 구성되는 댄서(61)를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 롤러(60)는 리저버량에 따라 1련 또는 3련 이상이어도 좋다.

보호 필름 박리 기구(44)는 리저버 기구(42)의 하류에 배치됨과 아울러 석션 드럼(62)과, 감광성 웹(22)을 사이에 두고 이 석션 드럼(62)에 접하는 박리 롤러(64)를 구비한다. 박리 롤러(64)를 통해 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리 각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 보호 필름 권취축(66)에 권취된다. 보호 필름 권취축(66)은 보호 필름(30)에 소정의 텐션을 부여하기 위해, 예를 들면 토크 모터(68)에 연결된다.

보호 필름 박리 기구(44)의 하류측에는 감광성 웹(22)에 텐션을 부여 가능한 텐션 제어 기구(76)가 배치된다. 텐션 제어 기구(76)는 실린더(78)를 구비하고, 이 실린더(78)의 구동 작용하에 텐션 픽 업 롤러(80)가 요동 변위됨으로써 이 텐션 픽 업 롤러(80)가 미끄럼 접촉되는 감광성 웹(22)의 텐션이 조정 가능하다. 또한, 텐션 제어 기구(76)는 필요에 따라 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.

검출 기구(47)는 레이저 센서나 포토 센서 등의 광전 센서(82)를 구비하고 있고, 상기 광전 센서(82)는 하프 컷 부위(34)의 쐐기 형상의 홈 형상부나, 보호 필름(30)의 두께에 의한 단차, 또는 이들의 조합에 의한 변화를 직접 검출하고, 이 검출 신호를 경계 위치 신호로 한다. 광전 센서(82)는 백 업 롤러(83)에 대향되어 배치된다. 또한, 광전 센서(82) 대신 비접촉 변위계나 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단 등을 이용해도 좋다.

가열 기구(45)는 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하기 위한 반송 기구(84)를 구비하고, 이 반송 기구(84)는 화살표(C) 방향으로 배열되는 복수의 수지제 원판 형상 반송 롤러(86)를 갖는다. 반송 기구(84)의 화살표(C) 방향 상류측에는 유리 기판(24)을 수취하는 수취부(88)가 설치된다. 수취부(88)의 하류측에는 복수의 가열로(90)가 배열된다.

가열 기구(45)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토커(100)가 설치된다. 기판 스토커(100)에는 투입 및 인출구 이외의 3방면의 측면에 제진용 팬 유닛(또는 덕트 유닛)(102)이 부설된다. 팬 유닛(102)은 기판 스토커(100)내에 제전 크린 에어의 분출을 행한다. 기판 스토커(100)에 수용되어 있는 각 유리 기판(24)은 로봇(104)의 핸드부(104a)에 설치된 흡착 패드(106)에 흡착되어 인출되고, 수취부(88)에 반입된다.

부착 기구(46)는 상하로 배치됨과 아울러 소정 온도로 가열되는 라미네이트용 고무 롤러(110a, 110b)를 구비한다. 고무 롤러(110a, 110b)에는 백 업 롤러(112a, 112b)가 미끄럼 접촉됨과 아울러 상기 백 업 롤러(112b)는 롤러 클램프부(114)를 통해 고무 롤러(110b)측에 압박된다.

고무 롤러(110a)의 근방에는 감광성 웹(22)이 상기 고무 롤러(110a)에 접촉되는 것을 방지하기 위한 접촉 방지 롤러(116)가 배치된다. 이 접촉 방지 롤러(116)는 도시하지 않은 액츄에이터를 통해 이동 가능하다.

부착 기구(46)와 기판간 웹 절단 기구(48)의 사이에는 필름 반송 롤러(118a)와 기판 반송 롤러(118b)가 배치된다. 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류측에는 복수의 롤러(119a)가 배열되는 반송계(119)를 따라 냉각 기구(120)가 배치됨과 아울러 이 냉각 기구(120)의 하류측에는 제 1 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치(122)가 배치된다.

냉각 기구(120)는 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해 부착 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22)이 절단된 후, 이 부착 기판(24a)에 냉풍을 공급하여 냉각 처리를 실시한다. 구체적으로는, 냉풍 온도가 10℃이고, 풍속이 1.0~2.0m/min으로 설정된다. 또한, 냉각 기구(120)를 사용하는 일 없이 후술하는 감광성 적층체 스토커(156)로 자연 냉각해도 좋다.

지지체 박리 장치(122)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 프레임부재(124)를 구비하고, 이 프레임부재(124)에는 부착 기판(24a)의 반송 방향[화살표(C) 방향]과 직교되는 화살표(D) 방향으로 연장되는 상부 가이드 레일(126a, 126b)이 서로 소정 간격만큼 이간되어 평행하게 연장된다. 상부 가이드 레일(126a, 126b)의 하측에는 이들보다 단척의 하부 가이드 레일(128a, 128b)이 마찬가지로 화살표(D) 방향으로 연장되어 서로 평행하게 설치된다. 상부 가이드 레일(126a, 126b)에는 모터(130a, 130b)를 통해 화살표(D) 방향을 따라 진퇴 가능한 자주식 가동부재(132a, 132b)가 지지된다.

도 4~도 6에 나타내는 바와 같이, 가동부재(132a, 132b)는 연직 방향[화살표(E) 방향]으로 연장되어 있고, 서로 대향되는 측면에는 연직 방향으로 연장되는 가이드 레일(134a, 134b)이 설치된다. 가이드 레일(134a, 134b)에는 승강대(136a, 136b)가 지지됨과 아울러 상기 승강대(136a, 136b)는 모터(138a, 138b)를 통해 승강 가능하다.

승강대(136a, 136b)에는 모터(140a, 140b)가 수평 방향을 향해 장착되고, 상기 모터(140a, 140b)의 회전축(도시하지 않음)에는 척(파지 기구)(142a, 142b)이 고착된다. 척(142a, 142b)은 선회 가능하게 구성됨과 아울러 부착 기판(24a)의 베이스 필름 박리 위치에 있어서 상기 부착 기판(24a)을 구성하는 유리 기판(24)의 반송 방향 양단으로부터 외부로 돌출되는 베이스 필름(26)의 양 측부를 파지 가능한 위치로 위치 조정 가능하다.

모터(130a, 130b, 138a, 138b, 140a 및 140b)는 속도 또는 가속도의 제어가 가능한 여러가지 회전 구동원이 사용된다. 예를 들면, 서보모터나 직동 리니어 모터 외에 직동 로봇 등이 채용된다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 하부 가이드 레일(128a, 128b)에는 슬라이드 베 이스(144a, 144b)가 지지됨과 아울러 상기 슬라이드 베이스(144a, 144b)에는 카피 롤러(copy roller)(146)의 양단이 승강 가능하게 지지된다. 슬라이드 베이스(144a, 144b)는 가동부재(132a, 132b)와 일체적으로 화살표(D) 방향의 소정 위치 사이를 진퇴 가능하게 구성된다. 또한, 카피 롤러(146)는 필요에 따라 설치되어 있고, 필요하지 않을 수도 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 지지체 박리 장치(122)는 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리할 때에 상기 부착 기판(24a)을 수평 자세로 흡착 유지하는 복수의 흡착 패드(148)를 설치하는 기판 유지 기구(149)를 구비한다. 이 지지체 박리 장치(122)의 근방에는 유리 기판(24)으로부터 박리된 베이스 필름(26)을 파지하여 소정의 배출 트레이(도시하지 않음) 등에 배출하기 위한 로봇 핸드(도시하지 않음)가 배치된다.

지지체 박리 장치(122)의 하류에는 복수의 적층체 기판(150)이 수용되는 감광성 적층체 스토커(156)가 설치된다. 지지체 박리 장치(122)에 의해 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26) 및 잔존 부분(30b)이 박리된 적층체 기판(150)은 로봇(152)의 핸드부(152a)에 설치된 흡착 패드(154)에 흡착되어 인출되고, 감광성 적층체 스토커(156)에 수용된다.

감광성 적층체 스토커(156)에는 투입 및 인출구 이외의 3방면의 측면에 제진용 팬 유닛(또는 덕트 유닛)(102)이 부설된다. 팬 유닛(102)은 감광성 적층체 스토커(156) 내에 제전 크린 에어의 분출을 행한다.

제조 장치(20)에서는 웹 송출 기구(32), 하프 컷 기구(36), 라벨 접착 기 구(40), 리저버 기구(42), 보호 필름 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(76) 및 검출 기구(47)가 부착 기구(46)의 상측에 배치되어 있지만, 이와는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 검출 기구(47)를 상기 부착 기구(46)의 하측에 배치하고, 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(29)이 유리 기판(24)의 하측에 부착되어도 좋고, 또한 상기 제조 장치(20) 전체를 직선상에 구성해도 좋다.

제조 장치(20)는 라미네이트 공정 제어부(160)를 통해 전체 제어되고 있고, 이 제조 장치(20)의 각 기능부마다, 예를 들면 라미네이트 제어부(162), 기판 가열 제어부(164) 및 베이스 박리 제어부(166) 등이 설치되며, 이들이 공정 내 네트워크에 의해 연결되어 있다.

라미네이트 공정 제어부(160)는 공장 네트워크에 연결되어 있고, 도시하지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)의 생산 관리나 가동 관리 등, 생산을 위한 정보 처리를 행한다.

라미네이트 제어부(162)는 공정 전체의 마스터로서 각 기능부의 제어를 행하는 것이고, 검출 기구(47)에 의해 검출된 감광성 웹(22)의 하프 컷 부위(34)의 위치 정보에 기초하여, 예를 들면 가열 기구(45)를 제어하는 제어 기구를 구성하고 있다.

베이스 박리 제어부(166)는 부착 기구(46)로부터 공급되는 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 또한 하류 공정에 적층체 기판(150)을 배출하는 동작의 제어를 행함과 아울러 상기 부착 기판(24a) 및 상기 적층체 기판(150)의 정보를 핸들링 제어한다.

베이스 박리 제어부(166)는, 후술하는 바와 같이, 베이스 필름(26)의 박리 개시시에 척(142a, 142b)을 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키는 한편, 상기 박리 개시 공정 후 상기 베이스 필름(26) 전체를 부착 기판(24a)으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 척(142a, 142b)을 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키는 이동 제어 기구를 구성한다.

또한, 이하 베이스 필름(26)의 박리 속도, 박리 가속도 및 박리 감속도란 실질적으로 척(142a, 142b)이 이동되는 속도, 가속도 및 감속도를 말한다.

제조 장치(20) 내는 칸막이벽(170)을 통해 제 1 크린 룸(172a)과 제 2 크린 룸(172b)으로 구획된다. 제 1 크린 룸(172a)에는 웹 송출 기구(32)로부터 텐션 제어 기구(76)까지가 수용됨과 아울러 제 2 크린 룸(172b)에는 검출 기구(47) 이후가 수용된다. 제 1 크린 룸(172a)과 제 2 크린 룸(172b)은 관통부(174)를 통해 연통된다.

이 제조 장치(20)의 동작에 대해서 제 1 실시 형태에 따른 박리 방법과 관련하여 이하에 설명한다.

우선, 도 1에 나타내는 바와 같이, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹 롤(22a)로부터 감광성 웹(22)이 풀려지고, 이 감광성 웹(22)은 하프 컷 기구(36)에 보내진다.

하프 컷 기구(36)에서는 슬라이드대(52)가 감광성 웹(22)의 폭 방향(반송 방향과 직교되는 방향)으로 이동된다. 이 때문에, 회전 원형날(54)은 감광성 웹(22) 의 하프 컷 부위(34)에 원하는 깊이까지 커팅한 상태로 이동하면서 회전된다. 이로 인해, 감광성 웹(22)에는 보호 필름(30)으로부터 원하는 깊이로 커팅된 하프 컷 부위(34)가 형성된다(도 2 참조).

하프 컷 처리된 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 치수에 대응하여 화살표(A) 방향으로 반송된 후, 일단 정지되어 회전 원형날(54)의 주행 작용하에 다음 하프 컷 부위(34)가 형성된다. 이 때문에, 감광성 웹(22)에는 잔존 부분(30b)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)이 형성된다(도 2 참조).

또한, 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)에 반송되어 보호 필름(30)의 소정 부착 부위가 받침대(59) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(58a~58e)에 의해 흡착 유지되고, 각 접착 라벨(38)이 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)에 걸쳐서 전방의 박리 부분(30aa)과 후방의 박리 부분(30ab)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).

예를 들면, 5개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 보호 필름 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다.

보호 필름 박리 기구(44)에서는 감광성 웹(22)이 석션 드럼(62)과 박리 롤러(64)에 협지되고, 상기 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)이 상기 석션 드럼(62)에 흡착 유지되고 있다. 이 상태에서, 석션 드럼(62)이 회전됨과 아울러 보호 필름(30)에는 토크 모터(68)를 통해 소정의 토크가 부여되고 있다.

따라서, 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 남기고 감광성 웹(22)으로부터 박리되고, 박리 롤러(64)를 통해 보호 필름 권취축(66)에 권취된다. 또한, 박리 부위에는 제전 에어를 분사하는 것이 바람직하다.

보호 필름 박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(76)에 의해 텐션 조정이 행해지고, 또한 검출 기구(47)에서 광전 센서(82)에 의해 하프 컷 부위(34)의 검출이 행해진다.

감광성 웹(22)은 하프 컷 부위(34)의 검출 정보에 기초하여 운전 개시시에는 필름 반송 롤러(118a)의 회전 작용하에, 그 후에는 부착 기판(24a)을 협지하는 기판 반송 롤러(118b)의 회전 작용하에 부착 기구(46)에 정량 반송된다. 그때, 접촉 방지 롤러(116)가 상측에 대기함과 아울러 고무 롤러(110b)가 하측에 배치되어 있다.

한편, 가열 기구(45)에서는 부착 기구(46)에 있어서의 라미네이트 온도에 대응하여 각 가열로(90) 내의 가열 온도가 설정되고 있다. 그래서, 로봇(104)은 기판 스토커(100)에 수용되어 있는 유리 기판(24)을 파지하고, 이 유리 기판(24)을 수취부(88)에 반입한다. 유리 기판(24)은 반송 기구(84)를 구성하는 반송 롤러(86)의 회전 작용하에 수취부(88)로부터 각 가열로(90)에 순차 택트 반송된다.

화살표(C) 방향 후단에 배치되어 있는 가열로(90)에서는 유리 기판(24)이 소정의 정지 위치에 정확하게 정지됨과 아울러 이 유리 기판(24)은 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(29)의 부착 부분에 대응하여 고무 롤러(110a, 110b) 사이에 일단 배 치된다(도 7 참조).

이 상태에서, 롤러 클램프부(114)를 통해 백 업 롤러(112b) 및 고무 롤러(110b)를 상승시킴으로써 고무 롤러(110a, 110b) 사이에 유리 기판(24)이 소정의 프레스 압력으로 끼워진다. 또한, 고무 롤러(110a)의 회전 작용하에 이 유리 기판(24)에는 감광성 수지층(29)이 가열 용융에 의해 전사(라미네이트)된다.

여기에서, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(110a, 110b)의 온도가 80℃~140℃, 상기 고무 롤러(110a, 110b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(110a, 110b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.

도 8에 나타내는 바와 같이, 고무 롤러(110a, 110b)를 통해 유리 기판(24)에 감광성 웹(22) 1장분의 라미네이트가 종료되면, 상기 고무 롤러(110a)의 회전이 정지된다. 한편, 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 라미네이트된 부착 기판(24a)은 기판 반송 롤러(118b)에 의해 클램프된다. 그리고, 고무 롤러(110b)는 고무 롤러(110a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피하여 클램프가 해제된다.

이로 인해, 1장분의 라미네이트 처리가 종료되고, 다음 라미네이트 처리가 개시될 때까지의 시간 중에 가열 기구(45)를 통해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)이 고무 롤러(110a, 110b) 사이에 반송되어 배치됨과 아울러 상기 고무 롤러(110a)에 미끄럼 접촉되는 감광성 웹(22)의 미동 반송이 행해진다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)이 부착된 부착 기판(24a)은 화살표(C) 방향으로 정량 반송된다. 그리고, 각 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)이 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해 절단된 부착 기판(24a)은 냉각 기구(120)를 통과하여 냉각된 후, 지지체 박리 장치(122)에 이송된다.

지지체 박리 장치(122)에서는 부착 기판(24a)의 유리 기판(24)측이 흡착 패드(148)의 흡인 작용하로 유지되는 한편, 각 척(142a, 142b)은 유리 기판(24)의 반송 방향 양단으로부터 내부로 돌출되는 베이스 필름(26)의 화살표(D) 방향 일단측에 배치된다(도 6 참조).

그래서, 가동부재(132a, 132b)는 모터(130a, 130b)의 작용하에 부착 기판(24a)측으로 이동됨과 아울러 각 척(142a, 142b)은 개폐되어 베이스 필름(26)의 반송 방향 양단부를 파지한다. 또한, 척(142a, 142b)은 모터(140a, 140b)의 작용하에 선회되는 한편, 승강대(136a, 136b) 및 가동부재(132a, 132b)는 소정 방향으로 구동 제어된다.

이 때문에, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 척(142a, 142b)이 소정 박리 궤적을 따라 이동되고, 상기 척(142a, 142b)에 파지되는 베이스 필름(26)은 쿠션층(27)으로부터 분리되어 부착 기판(24a)으로부터 박리된다. 그때, 카피 롤러(146)는 가동부재(132a, 132b)와 일체적으로 화살표(D) 방향으로 소정 위치까지 이동되어 베이스 필름(26)을 원활하고 또한 양호하게 박리시킨다. 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 박리됨으로써 적층체 기판(150)이 얻어진다..

이 경우, 제 1 실시 형태에서는 척(142a, 142b)에 의해 베이스 필름(26)을 파지한 후, 이 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)으로부터 박리할 때의 박리 속도가 도 9에 나타내는 속도 패턴을 따라 아래와 같이 제어된다.

우선, 베이스 필름(26)의 박리 개시시에는 척(142a, 142b)은 시간(0)으로부 터 시간(T1)까지의 사이, S자 커브(180a)의 속도 패턴을 따라 이동된다. 이어서, 박리 개시 공정 종료후에 시간(T1)으로부터 시간(T2)까지의 사이, 속도가 연속해서 상승하는 방향으로 변경되는 변화 영역이 설정되고, 이 변화 영역에서 척(142a, 142b)은 만곡되는 속도 패턴(이하, 만곡 속도 패턴이라고 함)(180b)을 따라 이동된다.

또한, 시간(T2)으로부터 시간(T3)까지의 사이, 속도가 연속해서 감소하는 방향으로 변경되는 변화 영역이 설정되고, 이 변화 영역에서 척(142a, 142b)은 만곡 속도 패턴(180c)을 따라 이동 제어된다. 또한, 만곡 속도 패턴(180c)에 의한 이동 도중의 시간(T3)에 있어서 베이스 필름(26) 전체가 부착 기판(24a)으로부터 박리되어 있다. 또한, 시간(T4)으로부터 시간(T5)까지의 사이, 즉 박리 동작 종료 공정에서는 척(142a, 142b)은 S자 커브(180d)의 속도 패턴을 따라 이동되어 정지된다.

그래서, 도 9에 나타내는 속도 제어를 행할 경우(제 1 실시 형태)와, 일본 특허 공개 2002-234667호 공보(종래)에 의한 속도 제어를 행할 경우에 의한 품질 평가를 행하는 실험을 행한 결과, 도 10에 나타내는 결과가 얻어졌다.

즉, 제 1 실시 형태에서는 베이스 필름(26)의 박리 개시시에 박리 속도인 척(142a, 142b)의 이동 속도가 S자 커브(180a)를 따라 제어되고 있다. 이 때문에, 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)으로부터 급격하게 박리하기 시작할 일이 없어서 감광성 수지층(29)에 급격하게 힘이 부여될 일은 없다. 따라서, 감광성 수지층(29)은 특히 하프 컷 부위(34)가 형성되어 있는 단면부의 약한 개소로부터 응집 파괴가 발생하는 것을 가급적으로 저지할 수 있다.

이에 대하여, 종래 방법에서는 베이스 필름(26)의 박리 초기에 급격한 박리 속도 패턴으로 설정되어 있다. 이 때문에, 감광성 수지층(29)은 하프 컷 부위(34)가 형성되어 있는 단면부로부터 응집 파괴가 발생했다. 또한, 감광성 수지층(29)의 파괴에 의해 진애가 발생하고, 이 진애가 예를 들면 부착 기판(24a) 상에 부착되었다.

또한, 제 1 실시 형태에서는 S자 커브(180a)에 의한 박리 개시 공정 후, 척(142a, 142b)은 연속해서 변경되는 만곡 속도 패턴(180b, 180c)을 따라 이동됨으로써 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)로부터 완전히 박리하고 있다.

따라서, 베이스 필름(26)의 박리 작업중에 박리 속도의 급격한 변화가 없어서 상기 베이스 필름(26)의 박리 상태를 일정하게 유지할 수 있다. 이로 인해, 예를 들면 감광성 수지층(29)의 표면에 줄무늬 등이 발생할 일이 없어서 이 감광성 수지층(29)의 표면을 고품질로 유지하는 것이 가능해진다.

한편, 종래 방법에서는 척(142a, 142b)이 굴곡부를 갖는 직선 형상 속도 패턴을 따라 이동되기 때문에 베이스 필름(26)의 박리 도중에 상기 굴곡부에 대응하는 급격한 속도 변화점[도 16 중 변화점(P1, P2 및 P3) 참조]이 발생되고 있고, 감광성 수지층(29)의 표면에 줄무늬가 발생했다.

또한, 제 1 실시 형태에서는 부착 기판(24a)은 기판 유지 기구(149)를 통해 수평 자세로 유지되고 있다. 이 때문에, 비교적 대형인, 예를 들면 1100㎜×1350㎜(두께 0.7㎜)의 유리 기판(24)을 이용할 때에 상기 유리 기판(24)을 평면성을 유지하여 정확하고 또한 확실하게 유지할 수 있다.

또한, 제 1 실시 형태에서는 척(142a, 142b)에 의한 베이스 필름(26)의 박리 속도에 대해서 설명했지만, 상기 베이스 필름(26)의 박리 가속도 또는 박리 감속도를 마찬가지로 설정할 수 있다.

도 11은 본 발명의 제 2 실시 형태에 따른 외층체의 박리 방법에 적용되는 속도 패턴(또는 가속도 패턴, 또는 감속도 패턴)의 설명도이다.

이 제 2 실시 형태에서는 베이스 필름(26)의 박리 개시시에는 시간(T1)까지 S자 커브(182a)를 따라 척(142a, 142b)을 이동시킨 후, 속도가 연속해서 상승하는 방향으로 변경되는 만곡 속도 패턴(182b)을 따라 시간(T2)까지 이동된다.

또한, 시간(T2)으로부터 박리 동작 종료시의 시간(T3)까지 척(142a, 142b)은 속도가 연속해서 하강하는 방향으로 변경되는 만곡 속도 패턴(182c)을 따라 이동된다.

또한, 도 12는 본 발명의 제 3 실시 형태에 따른 외층체의 박리 방법이 적용되는 속도 패턴(또는 가속도 패턴, 또는 감속도 패턴)의 설명도이다.

이 제 3 실시 형태에서는 베이스 필름(26)의 박리 개시시에 S자 커브(184a)의 속도 패턴을 따라 척(142a, 142b)이 이동된 후, 시간(T1)으로부터 시간(T2)까지의 사이에 설정된 속도의 변화 영역에서 척(142a, 142b)은 만곡 속도 패턴(184b)을 따라 이동된다.

이어서, 박리 속도는 시간(T2)으로부터 시간(T3)까지의 사이, 정속도 패턴(184c)으로 일정한 속도(V2)로 유지된 후, 시간(T3)으로부터 시간(T4)까지의 사이에 설정된 속도의 변화 영역에서 척(142a, 142b)은 만곡 속도 패턴(184d)을 따라 이동된다. 즉, 시간(T2)으로부터 시간(T4)까지의 사이, 박리 속도는 만곡부를 갖는 직선 형상 속도 패턴으로 설정된다. 또한, 척(142a, 142b)은 S자 커브(184e)를 따라 시간(T4)으로부터 시간(T5)까지 이동되어 정지된다.

이와 같이, 제 2 및 제 3 실시 형태에서는 베이스 필름(26)을 S자 커브(182a, 184a)를 따라 박리하기 시작함과 아울러 이 베이스 필름(26)을 모두 박리하기까지의 사이에 속도(또는 가속도, 또는 감속도)의 급격한 변화가 없다. 이로 인해, 감광성 수지층(29)의 응집 파괴나 먼지의 발생, 및 상기 감광성 수지층(29)의 표면의 줄무늬 등의 불량이 가급적으로 저지되어 상기 제 1 실시 형태와 마찬가지의 효과가 얻어진다.

또한, 제 3 실시 형태에서는 베이스 필름(26)의 박리 종료시에 S자 커브(184e)를 설정하고 있지만, 이 S자 커브(184e)를 이용하는 일 없이 만곡 속도 패턴(184d)으로 척(142a, 142b)의 이동을 정지시켜도 좋다.

또한, 지지체 박리 장치(122)는 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)의 부착 방향인 반송 방향[화살표(C) 방향]에 교차되는 화살표(D) 방향으로 박리하도록 구성되어 있지만, 상기 베이스 필름(26)의 박리 방향을 상기 부착 기판(24a)의 반송 방향과 평행한 화살표(C) 방향으로 설정해도 좋다.

도 13은 본 발명의 제 4 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치(190)의 개략 사시 설명도이다. 또한, 제 1 실시 형태에 따른 지지체 박리 장치(122)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 첨부하고, 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에 설명하는 제 5 실시 형태에 있어서도 마찬가지로 그 상세한 설명은 생략한다.

지지체 박리 장치(190)는 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)으로부터 박리할 때, 상기 베이스 필름(26)에 대하여 유리 기판(24)과의 부착 방향[화살표(C) 방향]으로 장력을 부여하는 장력 부여 구조(192)를 구비한다.

장력 부여 구조(192)는 부착 기판(24a)의 반송 방향 선단측으로부터 외부로 돌출되는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)를 파지 가능한 가동 척 부재(194a, 196a, 198a 및 200a)와, 상기 부착 기판(24a)의 반송 방향 후방측으로 돌출되는 상기 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 파지 가능한 가동 척 부재(194b, 196b, 198b 및 200b)를 구비한다.

척 부재(194a, 194b)는 서로 화살표(C) 방향으로 대향되어 있고, 다른 척 부재(196a, 196b, 198a, 198b 및 200a, 200b)는 각각 서로 화살표(C) 방향으로 대향되어 배치된다. 척 부재(194a~200a 및 194b~200b)는 각각 개폐 가능하고, 또한 베이스 필름(26)에 대하여 진퇴 가능하게 구성된다. 또한, 제 4 실시 형태에서는 카피 롤러(146)는 이용하지 않아도 좋다.

이 제 4 실시 형태에서는 부착 기판(24a)이 베이스 박리 위치에 배치되면 장력 부여 구조(192)를 구성하는 척 부재(194a~200a)는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)를 파지함과 아울러 척 부재(194b~200b)는 상기 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 파지한다. 이 상태에서, 척 부재(194b~200b)와 척 부재(194b~200b)는 서로 이간되는 방향으로 토크 제어됨으로써 베이스 필름(26)에는 화살표(C) 방향으로 소정의 장력이 부여된다.

그래서, 척(142a, 142b)이 베이스 필름(26)의 선단부(26a) 및 후단부(26b)의 끝부를 파지하고, 소정의 박리 궤적을 따라 화살표(D1) 방향으로 이동된다. 그때, 베이스 필름(26)에는 화살표(C) 방향으로 소정의 장력이 부여되고 있어서 이 베이스 필름(26)을 유리 기판(24)으로부터 원활하고 또한 확실하게 박리할 수 있다.

도 14는 본 발명의 제 5 실시 형태에 따른 제조 장치를 구성하는 지지체 박리 장치(210)의 개략 사시 설명도이다.

지지체 박리 기구(210)는 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)으로부터 박리할 때에 상기 베이스 필름(26)에 대하여 상기 부착 기판(24a)과의 부착 방향으로 장력을 부여하는 장력 부여 구조(212)를 구비한다.

장력 부여 구조(212)는 부착 기판(24a)의 반송 방향 선단측으로 돌출되는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)를 파지 가능한 선단 척(214)과, 상기 부착 기판(24a)의 반송 방향 후방으로 돌출되는 상기 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 파지 가능한 후단 척(216)을 구비한다. 선단 척(214) 및 후단 척(216)은 화살표(D) 방향으로 폭넓게 구성되어 있어서 각각 베이스 필름(26)의 선단부(26a) 및 후단부(26b)를 대략 폭 방향 전면에 걸쳐 파지 가능하다.

선단 척(214)은 모터(140a, 140b)에 장착되어 있고, 선단 척(214)의 이동 방향은 척(142a, 142b)의 이동 방향[화살표(D) 방향]에 직교되는 화살표(C) 방향으로 설정된다. 또한, 제 5 실시 형태에서는 카피 롤러(146)는 이용되고 있다.

이 제 5 실시 형태에서는 부착 기판(24a)이 베이스 박리 위치로 반송되면 이 부착 기판(24a)의 선단측으로 돌출되는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)는 선단 척(214)에 파지된다. 또한, 부착 기판(24a)의 후단측으로 돌출되는 베이스 필 름(26)의 후단부(26b)는 후단 척(216)에 파지된다.

이어서, 후단 척(216), 또는 상기 후단 척(216) 및 선단 척(214)은 토크 제어되어서 이들에 협지되는 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향을 따라 장력이 부여된다. 이 상태에서, 선단 척(214)이 소정의 박리 궤적을 따라 이동됨으로써 소정의 장력이 부여되고 있는 베이스 필름(26)은 유리 기판(24)으로부터 원활하고 또한 확실하게 박리된다.

Claims (10)

1. 기판(24)에 부착된 다층 필름의 외층체(26)를 상기 기판(24)으로부터 박리하는 외층체의 박리 방법으로서:

   파지 기구(142a)에 의해 상기 외층체(26)를 파지하고, 상기 파지 기구(142a)를 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키는 박리 개시 공정; 및

   상기 박리 개시 공정 후, 상기 외층체(26) 전체를 상기 기판(24)으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 파지 기구를 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키는 박리 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 박리 개시 공정 후, 상기 외층체(26) 전체를 상기 기판(24)으로부터 박리하기까지의 사이에 상기 파지 기구(142a)의 속도, 가속도 또는 감속도가 연속해서 변경되는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 기판(24)은 수평 자세로 유지된 상태에서 상기 외층체(26)가 상기 기판(24)으로부터 박리되는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 외층체(26)에 대하여 상기 기판(24)과의 부착 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 외층체(26)를 상기 부착 방향에 교차되는 방향으로 박리하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 외층체(26)에 대하여 상기 기판(24)과의 부착 방향으로 장력을 부여한 상태에서 상기 외층체(26)를 상기 부착 방향으로 박리하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 다층 필름은 적어도 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층(29) 및 상기 외층체(26)인 베이스 필름(26)을 갖고,

   상기 기판(24)으로부터 상기 베이스 필름(26)을 박리하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 방법.
7. 기판(24)에 부착된 다층 필름의 외층체(26)를 상기 기판(24)으로부터 박리하는 외층체의 박리 장치로서:

   상기 기판(24)을 수평 자세로 유지하는 기판 유지 기구(149);

   상기 외층체(26)을 파지하여 상기 외층체(26)를 상기 기판(24)으로부터 박리하는 파지 기구(142a); 및

   박리 개시시에 상기 파지 기구(142a)를 S자 커브의 속도 패턴 또는 가속도 패턴을 따라 이동시키는 한편, 상기 박리 개시 공정 후 상기 외층체(26) 전체를 상 기 기판(24)으로부터 박리하기까지의 사이에 속도, 가속도 또는 감속도가 변화되는 변화 영역을 설정하고, 상기 변화 영역에서 상기 파지 기구(142a)를 만곡되는 속도 패턴, 가속도 패턴 또는 감속도 패턴을 따라 이동시키는 이동 제어 기구(166)를 구비하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 외층체(26)에 대하여 상기 외층체(26)의 박리 방향에 교차되는 상기 기판(24)과의 부착 방향으로 장력을 부여하는 장력 부여 구조(192)를 구비하고,

   상기 장력 부여 구조(192)는 상기 기판(24)의 반송 방향 선단측 및 반송 방향 후단측으로부터 외측으로 돌출되는 상기 외층체(26)의 선단부 및 후단부를 파지하는 각각 복수의 가동 척 부재(194a, 194b)를 구비하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 장치.
9. 제 7 항에 있어서, 상기 외층체(26)에 대하여 상기 외층체(26)의 박리 방향인 상기 기판(24)과의 부착 방향으로 장력을 부여하는 장력 부여 구조(212)를 구비하고,

   상기 장력 부여 구조(212)는 상기 기판(24)의 반송 방향 선단측 및 반송 방향 후단측으로부터 외측으로 돌출되는 상기 외층체(26)의 선단부 및 후단부를 파지하는 선단 척(214) 및 후단 척(216)을 구비하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 장치.
10. 제 7 항에 있어서, 상기 다층 필름은 적어도 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층(29) 및 상기 외층체(26)인 베이스 필름을 갖고,

    상기 기판(24)으로부터 상기 베이스 필름(26)을 박리하는 것을 특징으로 하는 외층체의 박리 장치.

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