KR20070106795A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

감광성 적층체의 제조 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20070106795A
KR20070106795A KR1020077021985A KR20077021985A KR20070106795A KR 20070106795 A KR20070106795 A KR 20070106795A KR 1020077021985 A KR1020077021985 A KR 1020077021985A KR 20077021985 A KR20077021985 A KR 20077021985A KR 20070106795 A KR20070106795 A KR 20070106795A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
peeling
substrate
photosensitive
attachment
support
Prior art date
Application number
KR1020077021985A
Other languages
English (en)
Inventor
카즈요시 스에하라
노부야스 아키요시
켄이치 이모토
료이치 스기하라
료 모리
치아키 스즈키
Original Assignee
후지필름 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2005192070A external-priority patent/JP4774243B2/ja
Application filed by 후지필름 가부시키가이샤 filed Critical 후지필름 가부시키가이샤
Publication of KR20070106795A publication Critical patent/KR20070106795A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/22—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of both discrete and continuous layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B32B38/1825—Handling of layers or the laminate characterised by the control or constructional features of devices for tensioning, stretching or registration
    • B32B38/1833—Positioning, e.g. registration or centering
    • B32B38/1841—Positioning, e.g. registration or centering during laying up
    • B32B38/185—Positioning, e.g. registration or centering during laying up combined with the cutting of one or more layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
    • B32B37/22—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of both discrete and continuous layers
    • B32B37/223—One or more of the layers being plastic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0004—Cutting, tearing or severing, e.g. bursting; Cutter details
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/10—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18—Handling of layers or the laminate
    • B32B2038/1891—Using a robot for handling the layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • B32B2457/08—PCBs, i.e. printed circuit boards
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2559/00—Photographic equipment or accessories

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

제조 장치(20)는 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 기판 반송 기구(45), 부착 기구(46) 및 베이스 박리 기구(186)를 구비한다. 냉각 기구(122)는 보호 필름(30)이 박리된 부착 기판(24a)에 부착된 유리 기판(24) 및 감광성 웹(22)으로 이루어진 부착 기판(24a)을 냉각시키기 위해 부착 기구(46) 및 베이스 박리 기구(186) 사이에 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내로 냉각된 부착 기판(24a) 내부에 수지층, 예컨대 쿠션층을 가열시키기 위한 가열 기구(182)와 함께 설치된다.
제조 장치, 송출 기구, 가공 기구, 라벨 부착 기구, 레저버 기구, 박리 기구, 기판 반송 기구, 부착 기구, 베이스 박리 기구, 냉각 기구, 가열 기구

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}
본 발명은 지지체에 순차적으로 적층되는 감광성 재료층 및 보호 필름을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹을 반송하며, 보호 필름을 박리하여 감광성 재료층을 노광하고, 노광된 감광성 재료층을 기판에 서로 병렬 부착함으로써 이루어지는 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
예컨대, 액정 패널용 기판, 프린트 배선판용 기판, PDP 패널용 기판은 감광성 재료(감광성 수지)층을 갖고 기판 표면에 부착된 감광성 시트(감광성 웹)를 가진다. 감광성 시트는 가요성 플라스틱 지지체에 순차적으로 적층된 감광성 재료층 및 보호 필름을 포함한다.
그러한 감광성 시트를 부착하는 점착 장치는 보통 유리 기판, 수지 기판 등과 같은 기판을 소정 간격으로 반송하고, 각 기판에 부착될 감광성 재료층의 범위에 대응하는 길이에 대해 감광성 시트로부터 보호 필름을 박리하도록 동작한다.
일본 공개 특허 출원 제11-34280호에 공지된 바와 같이 필름의 부착 방법 및 장치에 의하면, 예컨대, 첨부 도면의 도 50에 도시된 바와 같이, 필름 롤(1)로부터 풀린 적층 필름(1a)은 가이드 롤(2a, 2b) 둘레에 권취되어 수평의 필름 반송면을 따라 연장된다. 가이드 롤(2b)은 적층 필름(1a)이 반송되는 길이에 의거한 많은 펄스만큼 출력하는 로터리 인코더(rotary encoder, 3)와 결합된다.
가이드 롤(2a, 2b)로부터 수평의 필름 반송면에 따라 연장되는 적층체 필름(1a)은 석션 롤(4) 둘레에 권취된다. 부분 커터(5) 및 커버 필름 박리 기구(6)는 가이드 롤(2b) 및 석션 롤(4) 사이의 수평의 필름 반송면을 따라 구비된다.
부분 커터(5)는 한 쌍의 디스크 커터(5a, 5b)를 구비한다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층체 필름(1a)의 커버 필름(도시 생략)을 커버 필름의 반대측에 감광성 수지층(도시 생략)과 함께 절단하도록 적층체 필름(1a)을 폭 방향으로 이동할 수 있다.
커버 필름 박리 기구(6)는 점착 테이프 롤(7)로부터 풀린 점착 테이프(7a)를 프레스 롤러(8a, 8b) 사이의 커버 필름에 프레스한 후, 테이크업 롤(9) 둘레에 접착 테이프(7a)를 권취한다. 커버 필름은 점착 테이프(7a)에 의해 감광성 수지층으로부터 박리되고, 테이크업 롤(9) 둘레에 점착 테이프(7a)와 함께 권취된다.
석션 롤(4)은 기판 반송 기구(10)에 의해 순차적이고 간헐적으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상부면에 적층 필름(1a)을 겹쳐서 프레스하는 한 쌍의 적층 롤(12a, 12b)에 의해 하류에 구비된다. 지지 필름 테이크업 롤(13)은 적층 롤(12a, 12b)의 하류에 구비된다. 각 기판(11)에 부착된 투광성 지지 필름(도시 생략)은 지지 필름 테이크업 롤(13)에 의해 박리되어 권취된다.
액정 패널, 플라즈마 디스플레이 패널 및 다른 패널이 크기가 대형화됨에 따라, 이 패널에 사용하는 기판의 크기도 대형화되고 있다. 대형 기판은 감광성 수지 층이 전사될 폭 방향으로 큰, 즉 넓은 영역을 가지므로 사용하는 감광성 시트는 큰 폭 방향 치수, 즉 큰 폭을 가질 필요가 있다.
그러나, 롤 형상의 폭이 넓은 감광성 시트는 용이하게 효율적으로 취급될 수 없고 롤로부터 감광성 시트를 푸는 송출 기구도 크기가 더 커진다. 폭이 넓은 감광성 시트가 무거워지며, 감광성 시트 내에 쉽게 주름을 발생시키고 취급하기가 더 어렵다.
본 발명의 목적은 간단한 공정 및 구성으로 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹을 기판에 서로 병렬로 확실하게 부착함으로써 취급하기 용이한 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체에 적층되는 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부와 잔존부를 구비하는 보호 필름을 각각 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 동기시켜 송출하는 2개 이상의 웹 송출 기구, 상기 박리부와 상기 잔존부 사이의 각 경계 위치에 상기 웹 송출 기구에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에서 폭 방향으로 절단가능한 가공 영역을 형성하는 2개 이상의 가공 기구, 상기 잔존부를 남기고 상기 각 감광성 웹으로부터 상기 박리부를 박리하는 2개 이상의 박리 기구, 소정 온도로 가열되는 기판을 부착 위치로 반송하는 기판 반송 기구, 상기 부착 위치에서 상기 기판 사이에 상기 잔존부를 위치시키고, 박리부가 박리된 상기 감광성 재료층의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판에 병렬로 일체 부착하여 부착 기판을 제조하는 부착 기구, 상기 부착 기구의 하류에 위치되어 각 부착 기판으로부터 상기 지지체를 박리하기 위해 2개 이상의 지지 박리 기구, 상기 부착 기구와 상기 지지 박리 기구 사이에 위치되어 상기 부착 기판을 냉각하는 냉각 기구 및 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내에서 상기 지지체에 적층되는 수지층을 가열하는 가열 기구를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치를 제공한다.
또한, 상기 지지 박리 기구는 상기 지지체를 박리할 때 상기 지지체에 대하여 상기 기판과의 부착 방향을 따라 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지 박리 기구는, 상기 기판으로부터 상기 지지체를 외주부에 따르게 하여 박리하는 박리 롤러, 및 상기 기판 사이를 이동하면서 상기 박리 롤러의 외주를 따라 상기 지지체를 가이드하는 박리 가이드 부재를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 부착 기구는 소정 온도로 가열될 수 있는 한 쌍의 고무 롤러 및 상기 한 쌍의 고무 롤러와 슬라이딩 접촉하는 한 쌍의 백업 롤러를 포함하는 것이 바람직하고, 상기 고무 롤러 중 1개 이상 및/또는 상기 백업 롤러 중 1개 이상의 외주면은 크라운 형상으로 설정된다.
또한, 본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체에 적층되는 감광성 재료층 및 상기 감광성 재료층에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부와 잔존부를 구비하는 보호 필름을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹을 동기시켜 송출하는 2개 이상의 웹 송출 기구, 상기 박리부와 상기 잔존부 사이의 각 경계 위치에 상기 웹 송출 기구에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에서 폭 방향으로 절단가능한 가공 영역을 형성하는 2개 이상의 가공 기구, 상기 잔존부를 남기고 상기 각 감광성 웹으로부터 상기 박리부를 박리하는 2개 이상의 박리 기구, 소정 온도로 가열되는 기판을 부착 위치로 반송하는 기판 반송 기구, 상기 부착 위치에서 상기 기판 사이에 상기 잔존부를 위치시키고, 박리부가 박리된 상기 감광성 재료층의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판에 병렬로 일체 부착하여 부착 기판을 제조하는 부착 기구(46) 및 상기 부착 기구로부터의 하류에 위치되어 각 부착 기판으로부터 상기 지지체를 박리하는 2개 이상의 지지 박리 기구를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치를 제공하고, 상기 가공 기구는 상기 긴 형상의 감광성 웹에서 상기 가공부를 구성하는 부분 절단 영역을 형성하는 커터 및 상기 부분 절단이 상기 커터(294)에 대응하는 소정 온도로 이루어질 때 상기 부분 절단 영역을 가열하는 가열 기구를 포함한다.
본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체에 적층되는 감광성 재료층 및 상기 감광성 재료층에 적층되는 보호 필름(30)으로서, 박리부와 잔존부를 구비하는 보호 필름을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹을 동기시켜 송출하는 공정, 상기 박리부와 상기 잔존부 사이의 각 경계 위치에서, 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에서 폭 방향으로 절단가능한 가공 영역를 형성하는 공정, 상기 잔존부를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹으로부터 상기 박리부를 박리하는 공정, 소정 온도로 가열되는 기판을 부착 위치로 반송하는 공정, 상기 부착 위치에서 상기 기판 사이에 상기 잔존부를 위치시키고, 박리부가 박리된 상기 감광성 재료층의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판에 병렬로 일체 부착하여 상기 부착 기판을 제조하는 공정, 상기 부착 위치의 하류 위치에서 상기 부착 기판을 냉각하는 공정 및 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내에서 상기 지지체에 적층되는 수지층을 가열하는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법도 제공한다.
또한, 상기 방법은 상기 부착 위치로부터의 하류의 부착 기판 사이의 각 긴 형상의 감광성 웹을 절단한 후 감광성 적층체를 얻기 위해 상기 부착 기판으로부터 각 지지체를 박리하는 공정 및 상기 지지체가 박리될 때 상기 기판과 그 부착 방향을 따라 상기 지지체에 텐션을 부여하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 방법은 박리 롤러의 외주부에 따라 상기 기판으로부터 상기 지지체를 박리하고 박리 가이드 부재가 기판 사이를 이동하면서 박리 롤러의 외주부를 따라 상기 지지체를 가이드하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.
게다가, 본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체에 적층되는 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부와 잔존부를 구비하는 보호 필름을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹을 동기시켜 송출하는 공정, 상기 박리부와 상기 잔존부 사이의 각 경계 위치에서 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에서 폭 방향으로 절단가능한 커터에 대응하는 소정 온도로 부분 절단 영역을 가열하면서 상기 긴 형상의 감광성 웹에서 부분 절단을 하는 공정, 상기 잔존부를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹으로부터 상기 박리부를 박리하는 공정, 소정 온도로 가열되는 기판을 부착 위치로 반송하는 공정, 상기 부착 위치에서 상기 기판 사이에 상기 잔존부를 위치시키고, 박리부가 박리된 상기 감광성 재료층의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판에 병렬로 일체 부착하여 상기 부착 기판을 제조하는 공정 및 상기 부착 위치의 하류 근방에서 긴 형상의 감광성 웹을 소정 온도로 예비 가열하는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법도 제공한다.
상기 특징의 결과로서, 서로로부터 폭 방향으로 이간된 2개 이상의 감광성 재료층은 폭이 넓은 기판에 효율적으로 전사될 수 있고, 고품질의 감광성 적층체는 효율적으로 제조될 수 있다. 또한, 긴 형상의 감광성 웹에서, 수지층 내의 잔여 압력이 신뢰있게 완화되고 지지체는 수지층으로부터 용이하고 알맞게 박리될 수 있다.
본 발명의 상기 및 다른 목적, 특징 및 장점이 본 발명의 바람직한 실시형태가 표시 예로 도시되는 첨부 도면과 관련하여 얻어질 때 다음 설명으로부터 더 분명하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 제조 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 제조 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 확대 파편 단면도이다.
도 3은 접착 라벨이 접착된 긴 형상의 감광성 웹의 파편 평면도이다.
도 4는 제조 장치의 부착 기구의 정면도이다.
도 5는 필름 반송 롤러와 닙 롤러 그룹의 사시도이다.
도 6은 제조 장치의 관통부의 파편 단면도이다.
도 7은 초기 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 8은 보호 필름이 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리되는 상태를 도시하는 파편 구성도이다.
도 9는 유리 기판이 고무 롤러 사이에 진입하는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 10은 고무 롤러가 회전을 시작하는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 11은 제 1 유리 기판에 적층 공정의 완료시의 동작을 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 12는 고무 롤러와 기판 반송 롤러가 회전하는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 13은 감광성 수지층이 전사되는 유리 기판의 파편 단면도이다.
도 14는 기판 반송 롤러가 부착 기판의 단부로부터 이간되는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 15는 긴 형상의 감광성 웹이 부착 기판 사이에서 절단되는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 16은 정지 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 17은 완료 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 18은 긴 형상의 감광성 웹이 위치에 설정된 선단을 갖는 상태를 도시하는 제조 장치 일부의 개략도이다.
도 19는 감광성 수지층이 유리 기판에 대하여 진행되는 상태를 도시하는 평 면도이다.
도 20은 감광성 수지층이 유리 기판에 대하여 연장되는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 21은 감광성 수지층이 유리 기판에 대하여 다른 위치에 선단을 갖는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 22는 감광성 수지층이 유리 기판에 대하여 다른 길이를 갖는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 23은 감광성 수지층이 유리 기판에 대하여 다른 길이 및 다른 위치에 선단을 갖는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 24는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조 장치의 개략적인 구성도가다.
도 25는 규정 길이의 감광성 수지층이 유리 기판에 부착되는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 26은 규정 길이보다 긴 형상의 감광성 수지층이 유리 기판에 부착되는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 27은 규정 길이보다 짧은 감광성 수지층이 유리 기판에 부착되는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 28은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 제조 장치의 개략적인 구성도가다.
도 29는 제 3 실시형태에 따른 제조 장치의 이전 박리기의 확대 단면도이다.
도 30은 이전 박리기가 동작하는 상태를 도시하는 확대 단면도이다.
도 31은 유리 기판에 부착된 감광성 수지층의 위치가 검출되는 상태를 도시 하는 도면이다.
도 32는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 제조 장치의 개략적인 구성도가다.
도 33은 제조 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 단면도이다.
도 34는 온도와 tanδ 사이의 특성을 도시하는 도면이다.
도 35는 제조 장치를 일부를 구성하는 박리 기구를 도시하는 개략적인 사시도이다.
도 36은 박리 기구 주요부의 사시도이다.
도 37은 박리 기구의 동작을 도시하는 도면이다.
도 38은 베이스 필름 표면 온도와 필름 박리의 불량 사이의 관계를 나타내는 도면이다.
도 39는 본 발명의 제 5 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구의 개략적인 사시도이다.
도 40은 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구의 개략적인 사시도이다.
도 41은 본 발명의 제 7 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 자동 베이스 박리 기구의 개략적인 사시도이다.
도 42는 자동 베이스 박리 기구의 동작을 도시하는 도면이다.
도 43은 자동 베이스 박리 기구의 동작을 도시하는 도면이다.
도 44는 자동 베이스 박리 기구의 동작을 도시하는 도면이다.
도 45는 테이퍼부를 포함하는 박리 바를 도시하는 도면이다.
도 46은 본 발명의 제 8 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 부착 기구의를 도시하는 정면도이다.
도 47은 부착 기구의 일부를 구성하는 크라운 롤러를 도시하는 도면이다.
도 48은 본 발명의 제 9 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 제 1 및 제 2 가공 기구의 개략적인 사시도이다.
도 49는 제 1 및 제 2 가공 기구의 개략적인 구성도가다.
도 50은 종래 필름 부착 기구의 개략적인 구성도가다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략적인 구성도이다. 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL 칼라 필터의 제조 공정에서 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)의 각 감광성 수지층(28)[후술]을 유리 기판(24)에 서로 병렬로 열전사하도록 동작한다. 감광성 웹(22a, 22b)은 예컨대, 긴 형상의 감광성 웹(22a)이 감광성 웹(22b)보다 폭이 넓은 각각의 폭을 갖는다.
도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 각 감광성 웹(22a, 22b)의 단면도이다. 각 감광성 웹(22a, 22b)은 가요성 베이스 필름(26)[지지체]의 적층 어셈블리, 가요성 베이스 필름(26)에 적층된 감광성 수지층(28)[감광성 재료층] 및 감광성 수지층(28)에 적층된 보호 필름(30)을 포함한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 롤형상의 감광성 웹(22a, 22b)으로 2개(또는, 그 이상)의 감광성 웹 롤(23a, 23b)을 수용하고 감광성 웹 롤(23a, 23b)로부터 감광성 웹(22a, 22b)을 동기시켜 송출하는 제 1 및 제 2 송출 기 구(32a, 32b), 감광성 웹 롤(23a, 23b)로부터 송출된 감광성 웹(22a, 22b)의 보호 필름(30)에서 폭 방향으로 절단가능한 경계 위치에 위치된 부분 절단 영역(34)[공정된 영역]을 형성하는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b) 및 보호 필름(30)의 비접착부(38a)를 각각 갖는 접착 라벨(38)[도 3 참조]을 접착시키는 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)를 구비한다.
또한, 제조 장치는 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)의 하류에 위치된, 감광성 웹(22a, 22b)의 반송 모드를 간헐적 반송 모드로부터 순차적 반송 모드로 변경시키는 제 1 및 제 2 레저버(reservoir) 장치(42a, 42b), 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 보호 필름(30)의 소정 길이를 박리시키는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 소정 온도로 가열되는 유리 기판(24)을 부착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45) 및 보호 필름(30)의 박리에 의해 노광된 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 서로 일체로 병렬 부착하는 부착 기구(46)를 구비한다.
감광성 웹(22a, 22b)의 경계 위치에서 부분 절단 영역(34)을 직접 검출하는 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)는 부착 기구(46)에 있어서의 부착 위치에 가까운 상류에 설치된다. 인접한 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22a, 22b)을 절단하는 기판간 웹 절단 장치(48)는 부착 기구(46)의 하류에 설치된다. 제조 장치(20)가 동작을 시작하고 완료할 때 사용되는 웹 절단 장치(48a)는 기판간 웹 절단 장치(48)의 상류에 설치된다.
필수적으로 사용된 감광성 웹(22a, 22b)의 후단 및 새롭게 사용될 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 부착하는 부착대(49)는 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b) 에 가까운 하류에 설치된다. 부착대(49)는 감광성 웹 롤(23a, 23b)의 불규칙한 권취 때문에 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로의 시프트를 제어하는 각 필름 단부 위치 검출기(51)에 의해 하류에 설치된다. 감광성 웹(22a, 22b)의 필름 단부는 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)를 폭 방향으로 이동시켜서 위치 조정된다. 그러나, 감광성 웹(22a, 22b)의 필름 단부는 롤러와 조합된 위치 조정 장치에 의해 조정될 수 있다. 각 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)는 감광성 웹 롤(23a, 23b) 중 하나를 지지하고 감광성 웹(22a, 22b) 중 하나를 반송하는 2개 또는 3개의 풀림 축을 구성하는 다수의 축기구를 구비할 수 있다.
제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 각 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)에 수용된 감광성 웹 롤(23a, 23b)의 직경을 산출하는 각 롤러 쌍(50)의 하류에 설치된다. 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 이동하는 각각의 단일 원형 칼날(52)을 구비해서 감광성 웹(22a, 22b)의 소정 위치에 부분 절단 영역(34)을 형성한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 부분 절단 영역(34)은 적어도 보호 필름(30)에 폭 방향으로 형성될 필요가 있다. 실제로, 원형 칼날(52)은 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해 감광성 수지층(28) 또는 베이스 필름(26)을 절단하기에 충분히 큰 절단 깊이로 설정된다. 원형 칼날(52)은 회전되지 않게 고정되고 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 이동해서 부분 절단 영역(34)을 형성하거나, 감광성 웹(22a, 22b)에 미끄러지지 않고 회전하면서 감광성 웹(22a, 22b)을 폭 방향으로 이동해서 부분 절단 영역(34)을 형성할 수 있다. 원형 칼날(52)은 예컨대, 레이저 빔 또는 초음파 커터, 나이프 칼날 또는 강행 칼날(톰슨 칼날)로 대체될 수 있다.
각 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)는 그 사이에 개재된 잔존부(30b)와 2개의 부분 절단 영역(34)을 동시에 형성하는 감광성 웹(22a, 22b)이 반송되는 화살표(A) 방향에 소정 간격으로 설치된 2개의 가공 기구를 구비할 수 있다.
보호 필름(30)에 형성된 가까이 이간된 2개의 부분 절단 영역(34)은 2개의 인접한 유리 기판(24) 사이에 이간 간격을 설정한다. 예컨대, 이 부분 절단 영역(34)은 양측의 유리 기판(24)으로부터 내부로 10㎜씩의 위치에서의 보호 필름(30)에 형성된다. 부분 절단 영역(34) 사이에 개재되고 유리 기판(24) 사이에 노광된 보호 필름(30)의 일부는 감광성 수지층(28)이 후술될 부착 기구(46)에 있어서의 유리 기판(24)에 프레임으로서 부착될 때 마스크로서 기능한다.
제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)는 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존부(30b)를 남기기 위해 전면 박리부(30aa)와 후면 박리부(30ab)를 연결하는 접착 라벨(38)을 제공한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 처음으로 박리될 전면 박리부(30aa) 및 순차적으로 박리될 후면 박리부(30ab)는 잔존부(30b)의 양측에 위치된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 각 접착 라벨(38)은 사각 띠 형상이고 보호 필름(30)과 동일한 부재로 이루어진다. 각 접착 라벨(38)은 접착제가 도포되지 않은 중앙부에 위치된 비접착부(38a)[약간의 접착제], 및 이 비접착부(38a)의 반대측(접착측)의 길이 방향 양단부에, 즉 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부 위치에 각각 배치된 제 1 접착부(38b) 및 제 2 접착부(38c)를 갖고, 제 1 접착부(38b) 및 제 2 접착부(38c)는 전면 박리부(30aa) 및 후면 박리부(30ab)에 각각 접착된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 각 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)는 최대 5매의 접착 라벨(38)을 소정 간격으로 부착하는 흡착 패드(54a 내지 54e)를 구비한다. 감광성 웹(22a, 22b)을 하부에서 각각 유지하는 수직 이동가능한 지지대(56)는 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54a 내지 54e)에 의해 감광성 웹(22a, 22b)에 부착되는 각 위치에 설치된다.
제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b)는 감광성 웹(22a, 22b)이 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b)의 상류에 반송되는 간헐 반송 모드와 감광성 웹(22a, 22b)이 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b)의 하류에 반송되는 연속 반송 모드 사이의 속도차를 완화시키기 위해 회전가능하고 스윙가능한 각 댄서 롤러(60)를 구비한다. 또한, 제 2 레저버 기구(42b)는 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)로부터 부착 기구(46)로 이동하는 감광성 웹(22a, 22b)에 대한 반송로장을 동일하게 하는 댄서 롤러(61)를 구비한다.
각 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b)의 하류에 설치되는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)는 공급된 감광성 웹(22a, 22b)이 순차적으로 적층될 시에 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션을 안정화하기 위해 텐션의 변동을 차단하는 각 석션 드럼(62)을 구비한다. 또한, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)는 석션 드럼(62)의 근방에 설치된 각 박리 롤러(63)를 구비한다. 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존부(30b)를 제외하고 각 보호 필름 테이크업 유닛(64)에 의해 권취된다.
감광성 웹(22a, 22b)에 텐션을 부여하는 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)는 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)의 하류에 설치된다. 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)는 각 텐션 댄서(70)를 회전 변위할 수 있는 각 실린더(68)를 구비하여 텐션 댄서(70)가 회전 접촉으로 유지되는 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션을 조정한다. 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)는 필요시에만 사용될 수 있고, 제거될 수도 있다.
제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)는 부분 절단 영역(34)의 웨지 형상의 홈, 보호 필름(30)의 다른 두께에 의해 발생된 단차, 또는 이들의 조합 때문에 감광성 웹(22a, 22b)의 변화를 직접 검출하는 레이저 센서, 포토 센서 등의 광전 센서(72a, 72b)을 구비하고 있다. 광전 센서(72a, 72b)로부터 검출된 신호는 보호 필름(30)의 경계 위치를 나타내는 경계 위치 신호로 사용된다. 광전 센서(72a, 72b)는 각 백업 롤러(73a, 73b)에 대향해서 설치된다. 대안으로, 비접촉 변위계 또는 CCD 카메라 등과 같은 화상 검사 수단은 광전 센서(72a, 72b) 대신에 사용될 수 있다.
제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)에 의해 검출되는 부분 절단 영역(34)의 위치 데이터는 실제 시간에서 통계 처리되고 및 그래픽 데이터로 전환될 수 있다. 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)에 의해 검출된 위치 데이터가 과도한 변동 또는 바이어스를 나타낼 때 제조 장치(20)는 경보를 발생할 수 있다.
제조 장치(20)는 경계 위치 신호를 발생시키는 다른 시스템을 사용할 수 있다. 그러한 다른 시스템에 의하면, 부분 절단 영역(34)은 직접 검출되지 않지만 마 크는 감광성 웹(22a, 22b)에 적용된다. 예컨대, 홈 또는 오목부는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)의 근처의 부분 절단 영역(34) 가까이 감광성 웹(22a, 22b)에 형성될 수 있거나 감광성 웹(22a, 22b)은 레이저 빔 또는 아쿠아 젯에 의해 경사지거나 잉크 젯 또는 프린터에 의해 마킹될 수 있다. 감광성 웹(22a, 22b)에 마크가 검출되고 그 검출된 신호는 경계 위치 신호로 사용된다.
기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 사이에 끼워 가열하기 위해 설치된 복수의 기판 가열 유닛(74)[예컨대, 가열 기구], 및 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비한다. 기판 가열 유닛(74)에서 유리 기판(24)의 온도는 항상 감시된다. 유리 기판(24)의 감시된 온도가 비정상일 때 반송부(76)가 정지하고 경보가 발생하며, 이상 정보는 후속 공정에서의 비정상 유리 기판(24)을 반출하기 위해 보내지고 품질 관리 및 생산 관리에도 사용된다. 반송부(76)는 화살표(C) 방향으로 유리 기판(24)을 부상하여 반송하는 공기 부상판(도시 생략)을 구비한다. 대신에, 반송부(76)는 유리 기판(24)을 반송하는 롤러 컨베이어를 구비할 수 있다.
유리 기판(24)의 온도는 접촉 공정(예컨대, 열전대를 사용하는) 또는 비접촉 공정에 따른 기판 가열 유닛(74)에서, 또는 부착 위치 직전에 측정되는 것이 바람직하다.
복수의 유리 기판(24)을 수용되는 기판 수용 프레임(71)이 기판 가열 유닛(74)의 상류에 설치된다. 기판 수용 프레임(71)에 수용되는 유리 기판(24)은 로봇(75) 핸드부(75a)의 흡착 패드(79)에 의해 하나씩 부착되어 기판 수용 프레 임(71)으로부터 꺼내지고 기판 가열 유닛(74)에 삽입된다.
기판 가열 유닛(74)의 하류에 유리 기판(24)의 선단과 접촉하고 유리 기판(24)을 유지하는 스토퍼(77) 및 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(78)가 설치되어 있다. 위치 센서(78)는 부착 위치를 향하는 중에 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한다. 위치 센서(78)가 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한 후 유리 기판(24)은 소정 거리로 반송되고 부착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 위치된다. 바람직하게, 복수의 위치 센서(78)는 유리 기판(24)이 위치 센서(78)의 각 위치에 도달시를 감시하는 반송 경로를 따라서 소정 간격으로 배치되어 유리 기판(24)이 반송되기 시작할 때 유리 기판(24)의 미끄러짐 등 때문에 발생된 지연을 체크한다. 도 1에서, 유리 기판(24)이 반송되면서 기판 가열 유닛에 의해 가열된다. 그러나, 유리 기판(24)은 일괄식 가열 오븐으로 가열되고 로봇에 의해 반송될 수 있다.
부착 기구(46)는 소정 온도로 가열될 수 있는 한 쌍의 수직 이간되어 적층하는 고무 롤러(80a, 80b)를 구비한다. 또한, 부착 기구(46)는 고무 롤러(80a, 80b)와 각각 회전 접촉하여 유지된 한 쌍의 백업 롤러(82a, 82b)를 구비한다. 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프 유닛(83)의 가압 실린더(84a, 84b)에 의해 고무 롤러(80b)에 대향하여 프레스된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 롤러 클램프 유닛(83)은 볼 나사(94)에 축 으로 연결된 구동축(93b)을 갖는 감속기에 결합된 구동축을 갖는 구동 모터(93)를 구비한다. 너트(95)는 볼 나사(94)에 나사 결합되고 슬라이드 베이스(96)에 고정된다. 테이퍼 캠(97a, 97b)은 화살표(B) 방향의 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 슬라이드 베이스(96)의 각 양단에 고정 설치된다. 테이퍼 캠(97a, 97b)은 화살표(B1) 방향으로 더 높아지도록 되어 있다. 롤러(98a, 98b)는 각 테이퍼 캠(97a, 97b)상에 설치되고 가압 실린더(84a, 84b)의 각 하단부에 유지된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)는 고무 롤러(80a) 가까이 이동가능하게 설치되어 감광성 웹(22a, 22b)이 고무 롤러(80a)에 접촉하는 것을 방지한다. 감광성 웹(22a, 22b)을 소정 온도로 예비 가열하는 예비 가열 유닛(87)은 부착 기구(46)의 가까운 상류에 설치된다. 예비 가열 유닛(87)은 예컨대 적외선 바 가열 기구 또는 열 부여 수단을 구비한다.
유리 기판(24)은 기판간 웹 절단 장치(48)를 통해 화살표(C) 방향으로 연장한 반송로(88)를 따라 부착 기구(46)로부터 반송된다. 반송로(88)는 필름 반송 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(92)를 포함하는 롤러의 어레이, 그 사이에 개재된 웹 절단 장치(48a)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92) 사이의 거리는 1개의 유리 기판(24)의 길이와 같거나 보다 작다.
도 5에 도시된 바와 같이, 필름 반송 롤러(90a, 90b)는 부착 기구(46)로부터 서로 병렬로 공급되는 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 연장된다. 필름 반송 롤러(90a, 90b)는 서로 독립적으로 회전하도록 구동된다. 필름 반송 롤러(90a, 90b)는 각각의 닙 롤러 그룹(89a, 89b)과 연관된다.
닙 롤러 그룹(89a)은 필름 반송 롤러(90a)를 따라, 즉 화살표(D) 방향으로 소정 간격으로 설치되는 복수의, 예컨대 5개의 닙 롤러(91a)를 구비한다. 닙 롤 러(91a)는 각 실린더(99a)에 의해 필름 반송 롤러(90a)에 대해 개별적으로 전후 방향으로 이동가능하다. 유사하게, 닙 롤러 그룹(89b)은 필름 반송 롤러(90b)를 따라, 즉 화살표(D) 방향으로 소정 간격으로 설치되는 복수의, 예컨대 5개의 닙 롤러(96b)를 구비한다. 닙 롤러(9lb)는 각 실린더(99b)에 의해 필름 반송 롤러(90b)에 대해 개별적으로 전후 방향으로 이동가능하다.
제조 장치(20)에서, 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b) 및 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)는 부착 기구(46)의 상부에 설치된다. 반대로, 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b) 및 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)는 부착 기구(46) 하부에 설치될 수 있어서, 감광성 웹(22a, 22b)이 거꾸로 다루어져 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 하부면에 부착된다. 대안으로, 제조 장치(20)의 장치 전체는 선형 배열될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 적층 공정 제어부(100)에 의해 전체 제어된다. 제조 장치(20)는 제조 장치(20)의 다른 기능부를 제어하는 적층 제어부(102), 기판 가열 제어부 (104) 등도 구비한다. 이 제어부는 공정 내 네트워크에 의해 상호 연결된다. 적층 공정 제어부(100)는 제조 장치(20)를 일체화하는 공장 네트워크에 연결되고, 공장 CPU(도시 생략)로부터의 지시 정보(조건 설정 및 생 산 정보)에 의거하여 생산, 즉 생산 관리 및 장치 작동 관리를 위한 정보 처리를 행한다.
기판 가열 제어부(104)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 수용하고 그 수용된 유리 기판(24)을 원하는 온도까지 가열하며, 가열된 유리 기판(24)을 부착 기구(46)로 반송하는 반송부(76)를 제어하고 유리 기판(24)에 대한 정보의 핸들링(handling)도 제어하는 기판 가열 유닛(74)을 제어한다.
적층 제어부(102)는 제조 장치(20)의 기능부를 제어하는 공정 마스터로서 역할한다. 적층 제어부(102)는 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)에 의해 검출된 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)의 위치 정보에 의거하여 부착 위치에 있어서의 경계 위치와 유리 기판(24)의 상대적 위치 및 경계 위치 간의 상대적 위치를 제어하는 제어 장치로서 동작한다.
제조 장치(20)의 설치 공간은 분리 벽(110)에 의해 제 1 클린룸(112a) 및 제 2 클린룸(112b)으로 나눠진다. 제 1 클린룸(112a)은 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b), 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b), 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)를 내에 수용한다. 제 2 클린룸(112b)은 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b) 및 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)를 따르는 다른 구성을 내에 수용한다. 제 1 클린룸(112a) 및 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)에 의해 서로 연결된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 관통부(114)는 제 1 클린룸(112a)에 설치되는 제 진부(115)와 제 2 클린룸(112b)에 설치되는 공기 밀봉부(116)를 구비한다.
제진부(115)는 감광성 웹(22a, 22b)의 양면에 대향해서 설치되는 한 쌍의 흡인 노즐(117a) 및 흡인 노즐(117a) 내에 각각 설치된 한 쌍의 배출 노즐(118)을 구비한다. 배출 노즐(118)은 감광성 웹(22a, 22b)에 공기를 배출해서 진애를 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 제거하고, 흡인 노즐(117a)은 배출된 공기를 드로우하고 및 진애를 제거한다. 배출 노즐(118)로부터의 공기는 전기 중성화(또는, 정전기 방지) 공기일 수 있다.
공기 밀봉부(116)는 감광성 웹(22a, 22b)의 양면에 대향해서 설치되는 한 쌍의 흡인 노즐(117b)을 구비한다. 흡인 노즐(117b)은 공기를 드로우해서 관통부(114)를 밀봉한다. 제진부(115)와 공기 밀봉부(116)의 위치가 스위치될 수 있거나 복수의 제진부(115)와 복수의 공기 밀봉부(116)가 서로 조합될 수 있다. 배출 노즐(118)이 아니라 흡인 노즐(116)만이 감광성 수지층(28)이 노광되는 감광성 웹(22a, 22b)의 측에 대향해서 설치될 수 있다.
제조 장치(20)에서, 분리 벽(110)은 부착 기구(46)로부터의 가열된 공기가 감광성 웹(22a, 22b)에 열적 영향을 미쳐, 예컨대 감광성 웹(22a, 22b)을 주름지게하고, 변형, 열적 수축 또는 연신하는 것을 방지한다. 분리 벽(110)은 제조 장치의 상부 영역, 즉 진애가 발생하고 낙하하기 쉬운 제 1 클린룸(112a)을 제조 장치의 하부 영역, 즉 제 2 클린룸(112b)과 분리하여 부착 기구(46)를 특별히 깨끗하게 유지한다. 제 2 클린룸(112b)의 압력을 제 1 클린룸(112a)의 압력보다 고압으로 유지하여 제 1 클린룸(112a)으로부터 제 2 클린룸(112b)으로 진애가 유입하는 것을 방 지하는 것이 바람직하다.
깨끗한 공기의 하부 유입을 공급하는 공기 공급기(도시 생략)는 제 2 클린룸(112b)의 상부에 설치된다.
본 발명에 따른 제조 방법을 수행하는 제조 장치(20)의 동작이 이하 설명될 것이다.
우선, 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 위치 결정하기 위해, 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)에 수용된 각 감광성 웹 롤(23a, 23b)으로부터 풀린다. 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b), 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b), 제 1 및 제 2 레저버 기구(42a, 42b), 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b) 및 부착 기구(46)를 통해 필름 반송 롤러(90a, 90b)로 반송된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 폭이 넓은 감광성 웹(22a)이 3개의 닙 롤러(91a)와 필름 반송 롤러(90a) 사이에 끼워질 때까지 닙 롤러 그룹(89a) 중, 폭이 넓은 감광성 웹(22a) 상부에 설치된 3개의 닙 롤러(91a)가 각 실린더(99a)에 의해 필름 반송 롤러(90a)를 향해 변위된다.
폭이 좁은 감광성 웹(22b)이 2개의 닙 롤러(9lb)와 필름 반송 롤러(90b) 사이에 끼워질 때까지 롤러 그룹(89b) 중, 폭이 좁은 감광성 웹(22b) 상부에 설치된 2개의 닙 롤러(9lb)가 각 실린더(99b)에 의해 필름 반송 롤러(90b)를 향해 변위된다.
닙 롤러 그룹(89a) 중 잔여 2개의 닙 롤러(91a)가 필름 반송 롤러(90a)로부 터 이간되고, 닙 롤러 그룹(89b) 중 잔여 3개의 닙 롤러(9lb)가 필름 반송 롤러(90b)로부터 이간된다.
감광성 웹(22a)의 부분 절단 영역(34)이 제 1 검출 장치(47a)의 광전 센서(72a)에 의해 검출될 때 필름 반송 롤러(90a)는 광전 센서(72a)로부터 검출된 신호에 의거하여 회전된다. 감광성 웹(22a)은 감광성 웹(22a)을 사이에 끼운 필름 반송 롤러(90a)와 3개의 닙 롤러(91a)에 의해 부착 위치에 소정 간격으로 반송된다.
감광성 웹(22b)의 부분 절단 영역(34)이 제 2 검출 장치(47b)의 광전 센서(72b)에 의해 검출될 때 필름 반송 롤러(90b)는 광전 센서(72b)로부터 검출된 신호에 의거하여 회전된다. 감광성 웹(22b)은 감광성 웹(22b)을 사이에 끼운 필름 반송 롤러(90b)와 2개의 닙 롤러(91b)dp 의해 부착 위치에 소정 간격으로 반송된다. 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)은 부착 위치에 위치된다. 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)은 부착 위치의 하류에서 검출될 수 있고, 감광성 웹(22a, 22b)은 소정 위치에서 정지될 수 있다.
감광성 웹(22a, 22b)이 소정 거리로 반송된 후 도 7에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)는 감광성 웹(22a, 22b)이 고무 롤러(80a)를 접촉하는 것을 방지하기 위해 하강한다. 유리 기판(24)은 부착 위치의 직전에서 대기하고 있다. 이제, 감광성 웹(22a, 22b)은 제조 장치(20)의 초기 상태에 있다.
적층 모드에 있어서의 제조 장치(20)의 기능부의 동작이 이하 설명될 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)에서, 원형 칼 날(52)은 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 이동하여 보호 필름(30), 감광성 수지층(28) 및 베이스 필름으로 절단해서 부분 절단 영역(34)을 형성한다(도 2 참조). 그리고, 감광성 웹(22a, 22b)은 보호 필름(30)의 잔존부(30b)의 치수에 대응하는 거리로 화살표(A) 방향으로 다시 반송된 후 정지되자마자, 다른 부분 절단 영역(34)이 원형 칼날(52)에 의해 내에 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 전면 박리부(30aa) 및 후면 박리부(30ab), 그 사이에 개재된 잔존부(30b)와 함게 각 감광성 웹(22a, 22b)에 제공된다.
그리고, 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)로 반송되어 보호 필름(30)의 각 소정 접착 영역을 지지대(56)에 배치한다. 제 1 및 제 2 라벨 부착 기구(40a, 40b)에서, 소정 매수의 접착 라벨(38)은 흡착 패드(54b 내지 54e)에 의해 흡착되어 지지되고, 보호 필름(30)의 잔존부(30b)를 가로질러 전면 박리부분(30aa)과 후면 박리부분(30ab)에 안정하게 접착된다(도 3 참조).
예컨대, 5개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 레저버 기구레저버 기구레저버 기구레저버 기구22a, 22b)에 발생된 텐션의 변동을 막은 후, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)로 순차적으로 반송된다. 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22a, 22b)의 베이스 필름(26)은 석션 드럼(62)에 흡착되고 보호 필름(30)은 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리되어 잔존부(30b)를 남긴다. 보호 필름(30)은 예각의 박리각으로 박리되어서 보호 필름 테이크업 유닛(64)에 의해 권취된다(도 1 참조). 바람직하게, 전기 중성화 공기가 박리된 부분에서 블로우될 수 있다.
이때, 감광성 웹(22a, 22b)은 석션 드럼(62)에 의해 견고하게 유지되므로 보호 필름(30)이 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 박리될 때 발생된 충격은 석션 드럼(62)의 하류의 감광성 웹(22a, 22b)으로 전달되지 않는다. 그 결과, 그러한 충격은 부착 기구(46)로 전달되지 않으므로 유리 기판(24)의 적층 부분은 띠 형상의 불량 영역이 발생되는 것을 효율적으로 방지한다.
보호 필름(30)이 베이스 필름(26)으로부터 박리되어 잔존부(30b)을 남긴 후, 제 1 및 제 2 박리 기구(44a, 44b)에 의해 감광성 웹(22a, 22b)은 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)에 의해 텐션이 조정되고, 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)은 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)의 광전 센서(72a, 72b)에 의해 검출된다.
부분 절단 영역(34)의 검출된 정보에 의거하여, 필름 반송 롤러(90a, 90b)는 부착 기구(46)에 소정 길이로 감광성 웹(22a, 22b)을 반송하기 위해 회전된다. 이때, 접촉 방지 롤러(86)는 감광성 웹(22a, 22b)의 상부에 대기하고 있고 고무 롤러(80b)는 감광성 웹(22a, 22b)의 하부에 설치된다.
도 9에 도시된 바와 같이, 예비 가열된 제 1 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)에 의해 부착 위치로 반송된다. 유리 기판(24)은 서로 병렬로 있는 감광성 웹(22a, 22b)의 부착된 감광성 수지층(28)과 정렬하여 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 일단 배치된다.
그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 볼 나사(94)는 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)에 의해 어느 방향으로 회전하며, 볼 나사(94)에 나사 결합된 너트 부 재(95)와 일제히 슬라이드 베이스(96)를 화살표(B2) 방향으로 이동시킨다. 그러므로, 테이퍼 캠(97a, 97b)은 롤러(98a, 98b)와 접촉하는 캠 면을 갖고, 롤러(98a, 98b)를 상부 방향으로 변위시킨다. 가압 실린더(84a, 84b)는 상승하고, 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)를 상승시켜 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 소정 가압 압력 하에서 유리 기판(24)을 사이에 끼운다. 이때, 프레스 압력은 가압실린더(84a, 84b)에 공급된 공기의 압력에 의해 조정된다. 고무 롤러(80a)는 가열 용융된 병렬의 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 전사하기 위해, 즉 적층하기 위해 회전된다.
감광성 수지층(28)은 1.0m/min 내지 10m/min 범위의 속도로 공급되는 조건하에 유리 기판(24)에 적층되며, 고무 롤러(80a, 80b)는 100℃ 내지 150℃ 범위의 온도와 40 내지 80 범위의 경도를 갖고, 50N/㎝ 내지 400N/㎝ 범위의 압력(선형 압력)을 가한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24)의 선단이 필름 반송 롤러(90a, 90b)의 근처 위치에 이를 때 닙 구동 롤러(91a, 9lb)는 필름 반송 롤러(90a, 90b)으로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 화살표(C) 방향으로의 유리 기판(24)의 전방으로 돌출하는 감광성 웹(22a, 22b)의 선단이 웹 선단 절단 장치(48a)에 대해 소정 위치에 이를 때 웹 선단 절단 장치(48a)는 도 10에 쇄선에 의해 나타난 바와 같이, 감광성 웹(22a, 22b)의 선단을 절단하도록 구동된다. 웹 선단 절단 장치(48a)는 감광성 웹(22a, 22b)의 선단부의 절단시, 동작 종료시 및 문제의 경우에 감광성 웹(22a, 22b)의 절단시를 제외하고 대기 위치로 복귀한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22a, 22b)이 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 후단까지 거쳐서 유리 기판(24)에 적층될 때 고무 롤러(80a)는 회전을 정지하고, 적층된 감광성 웹(22a, 22b)의 유리 기판(24)[부착 기판(24a)으로 칭함]이 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램프된다.
고무 롤러(80b)는 고무 롤러(80a)로부터 멀어지는 방향으로 후퇴하고 부착 기판(24a)을 클램프 해제한다. 구체적으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)는 리버스되고, 볼 나사(94) 및 너트 부재(95)가 화살표(B1) 방향으로 슬라이드 베이스(96)를 이동하도록 한다. 그러므로, 테이퍼 캠(97a, 97b)은 하강된 롤러(98a, 98b)와 접촉하는 캠 표면을 갖고 가압 실린더(84a, 84b)를 하부로 변위시킨다. 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 하강해서 부착 기판(24a)을 클램프 해제한다.
기판 반송 롤러(92)가 회전하기 시작하여 화살표(C) 방향으로 부착 기판(24a)을 소정 거리로 반송한다. 2개의 인접한 유리 기판(24) 사이로 가져올 감광성 웹(22a, 22b)의 위치는 고무 롤러(80a)의 하부 위치로 변위된다. 후속 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)에 의해 부착 위치를 향해서 반송된다. 후속 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 위치될 때 고무 롤러(80b)는 상승하고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 후속 유리 기판(24) 및 감광성 웹(22a, 22b)을 클램프한다. 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92)는 유리 기판(24)에 감광성 웹(22a, 22b)을 적층하기 시작하고 화살표(C) 방향으로 부착 기판(24a)을 반송하도록 회전된다(도 12 참조).
이때, 도 13에 도시된 바와 같이, 부착 기판(24a)은 각 잔존부(30b)에 의해 커버된 양단부를 갖는다. 그러므로, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)으로 전사될 때 고무 롤러(80a, 80b)는 감광성 수지층(28)에 의해 손상되지 않는다.
도 14에 도시된 바와 같이, 제 1 부착 기판(24a)의 후단이 기판 반송 롤러(92)에 이를 때 기판 반송 롤러(92)의 상부 롤러는 제 1 부착 기판(24a)을 클램프 해제하도록 상승되고, 기판 반송 롤러(92)의 하부 롤러 및 반송로(88)의 다른 롤러는 부착 기판(24a)을 반송하도록 순차적으로 회전된다. 후속, 즉 제 2 부착 기판(24a)의 후단이 고무 롤러(80a, 80b)의 근처 위치에 이를 때 고무 롤러(80a, 80b) 및 기판 반송 롤러(92)는 회전을 정지한다. 기판 반송 롤러(92)의 상부 롤러가 하강해서 제 2 부착 기판(24a)을 클램프하고 고무 롤러(80b)가 하강해서 제 2 부착 기판(24a)을 클램프 해제한다. 그리고, 기판 반송 롤러(92)는 제 2 부착 기판(24a)을 반송하기 위해 회전된다. 2개의 인접한 유리 기판(24) 사이로 가져온 감광성 웹(22a, 22b)은 고무 롤러(80a)의 하부 위치로 변위되고 감광성 웹(22a, 22b)은 제 3 유리 기판(24)에 반복적으로 적층된다.
도 15에 도시된 바와 같이, 2개의 인접한 부착 기판(24a) 사이의 위치가 기판간 웹 절단 장치(48)에 대응하는 위치에 이를 때 기판간 웹 절단 장치(48)는 부착 기판(24a)과 동일한 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 부착 기판(24a) 사이에서 함께 2개의 감광성 웹(22a, 22b)을 절단한다. 이후, 기판간 웹 절단 장치(48)는 대기 위치로 복귀하고 베이스 필름(26) 및 잔존부(30b)는 선단 부착 기판(24a)으로부터 박리되어 감광성 적층체(106)를 제조한다(도 1 참조).
적층 공정이 일시적으로 정지될 때 도 166에 도시된 바와 같이, 닙 롤러 그룹(89a, 89b) 및 고무 롤러(80b)는 클램프 해제 위치에 배치되고 접촉 방지 롤러(86)는 하강해서 2개의 감광성 웹(22a, 22b)이 고무 롤러(80a)와 접촉하는 것을 방지한다.
제조 장치(20)가 종료되는 때 기판 반송 롤러(92)는 화살표(C) 방향으로 부착 기판(24a)을 반송하기 위해 회전되고 필름 반송 롤러(90)는 감광성 웹(22a, 22b)을 클램프한다. 회전 중의 필름 반송 롤러(90a, 90b)가 감광성 웹(22a, 22b)을 클램프하면서 웹 선단 절단 장치(48a)는 감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향으로 이동해서 감광성 웹(22a, 22b)을 절단한다.
그 결과, 도 17에 도시된 바와 같이, 2개의 감광성 웹(22a, 22b)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이로 통과하고 필름 반송 롤러(90a, 90b)에 의해 사이에 끼워지며, 하강된 접촉 방지 롤러(86)에 의해 고무 롤러(86)로부터 멀어지는 방향으로 지지된다. 웹 절단 장치(48a)는 대기 위치에 위치된다.
기판간 웹 절단 장치(48) 및 웹 절단 장치(48a)가 감광성 웹(22a, 22b)을 절단할 때 화살표(C) 방향으로 감광성 웹(22a, 22b)과 동기시켜 이동한다. 그러나, 기판간 웹 절단 장치(48) 및 웹 절단 장치(48a)는 감광성 웹(22a, 22b)을 절단하기 위해 감광성 웹(22a, 22b)의 폭방향으로만 이동할 수 있다. 감광성 웹(22a, 22b)은 정지 상태로 유지되는 중 톰슨 칼날에 의해 절단되거나 이동 중에 로터리 칼날에 의해 절단될 수 있다.
제조 장치(20)가 초기 상태에서 동작할 때 도 10에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)는 하부 위치에 설치되고 고무 롤러(80b)는 고무 롤러(80a)로부터 멀어지는 방향으로 이간된다. 그리고, 필름 반송 롤러(90a)는 감광성 웹(22a, 22b)을 웹 폐기부(도시 생략)로 배출하기 위해 회전된다. 이때, 감광성 웹(22a, 22b)은 웹 절단 장치(48a)에 의해 어느 길이로 절단된다.
제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)가 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 검출할 때 감광성 웹(22a, 22b)은 검출된 위치로부터 소정 길이로 반송된다. 구체적으로, 접촉 방지 롤러(86)가 상승될 때 감광성 웹(22a, 22b)은 이것이 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 적층될 위치에 부분 절단 영역(34)이 이를 때까지 반송된다. 감광성 웹(22a, 22b)의 선단은 위치된다.
제 1 실시형태에서, 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)은 부착 기구(46)의 가까이 상부로 각 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)에 의해 직접 검출된다. 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)로부터 부분 절단 영역(34)이 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 정지되는 위치까지의 거리는 적층될 감광성 웹(22a, 22b)의 가장 짧은 길이보다 더 작을 필요가 있다. 이는 검출된 부분 절단 영역(34)의 정보가 피드백을 통해 후속 적층 공정에 사용되기 때문이다.
제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)는 이하 설명되는 바와 같이 2개의 측정 공정을 행한다. 제 1 측정 공정에 의하면, 고무 롤러(80a, 80b)는 유리 기판(24)을 클램프하고, 고무 롤러(80a, 80b)를 회전시키는 구동 모터(도시 생략)와 조합된 인커더에 의해 발생된 펄스의 수는 유리 기판(24)이 고무 롤러(80a, 80b)의 회전의 시작으로부터 반송된 거리를 나타내는 바와 같이, 각 부분 절단 영역(34)이 제 1 및 제 2 검출 장치(47a, 47b)에 의해 검출될 때 발상된 펄스의 설정 수와 비교하여 부분 절단 영역(34)의 어긋남을 측정한다. 각 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)이 펄스의 설정 수에 이르기 전에 검출되면, 부분 절단 영역(34)은 펄스 수 사이의 차이에 의해 나타낸 거리에 의해 유리 기판(24)에 소정 위치의 전방으로 변위되어 있음이 판단된다. 반대로, 각 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)이 펄스의 설정 수에 이른 후에 검출되면, 부분 절단 영역(34)은 유리 기판(24)의 소정 위치의 후방으로 변위되어 있음이 판단된다.
제 2 측정에 의하면, 고무 롤러(80a, 80b)를 회전시키는 구동 모터(도시 생략)와 조합된 인코더에 의해 발생된 펄스의 수는 부분 절단 영역(34)의 검출로부터 후속 부분 절단 영역의 검출까지 측정되어 각 감광성 웹(22a, 22b)의 적층된 길이를 측정한다. 각 감광성 웹(22a, 22b)의 보통 조건 하의 적층된 길이에 대응하는 펄스의 설정 수는 실제로 측정된 펄스의 수와 비교된다. 실제로 측정된 펄스의 수가 펄스의 설정 수보다 많으면 감광성 웹(22a, 22b)은 펄스 수 사이의 차이에 의해 나타낸 거리에 의해 가열 등으로 인해 연신되어 있음이 판단된다. 실제로 측정된 펄스의 수가 펄스의 설정 수보다 적으면 감광성 웹(22a, 22b)은 수축되어 있음이 판단된다.
감광성 수지층(28)의 선단이 도 19에 도시된 바와 같이, 제 1 측정 공정에 따른 유리 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)에 대해 동일한 거리 또는 실질적으로 동일한 거리로 변위됨이 검출되면 유리 기판(24)과 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)의 상대적 위치는 조정된다.
구체적으로, 광전 센서(72a, 72b)에 의해 검출된 부분 절단 영역(34)이 소정위치보다 앞서있다고 검출되면 도 11에 도시된 바와 같이, 기판 반송 롤러(92)는 현재 거리와 앞서의 거리 사이의 거리에 의해 나타내는 거리에 의해 적층된 후 감광성 웹(22a)의 비부착 부분을 반송한다. 그 결과, 부분 절단 영역(34)은 위치 조정 되어서 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 배치된다. 그 후에, 유리 기판(24)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 보통 반송 제어 하에 반송되고 감광성 수지층(28)은 유리 기판(24)의 보통 위치에, 즉 유리 기판(24)의 부착된 범위(P1 내지 P2)에 부착된다.
광전 센서(72a, 72b)에 의해 검출된 부분 절단 영역(34)이 유리 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)로부터 지연된다고 검출되면 기판 반송 롤러(92)는 현재 거리와 지연된 거리의 합계에 의해 나타내는 거리에 의해 적층된 후 감광성 웹(22a, 22b)의 비부착 부분을 반송한다. 그 결과, 부분 절단 영역(34)은 위치 조정 되어서 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 배치된다. 그 후에, 유리 기판(24)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 보통 반송 제어 하에 반송되고 감광성 수지층(28)은 유리 기판(24)의 보통 위치에, 즉 유리 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)에 부착된다.
기판 반송 롤러(92)에 의해 부착 기판(24a)이 반송되는 거리를 조정하는 것보다, 기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)이 앞서거나 지연된 거리로 정지될 위치를 조정하도록 제어될 수 있다.
광전 센서(72a, 72b)에 의해 검출된 부분 절단 영역(34) 사이의 거리, 즉 유 리 기판(24)에 부착될 감광성 수지층(28)의 길이(H)는 제 2 측정 공정에 따라 측정된다. 길이(H)가 동일한 길이 또는 실질적으로 동일한 길이로 부착 범위(P1 내지 P2)보다 크면 부분 절단 영역(34)은 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)에 의해 변화되어 부분 절단 영역(34) 사이의 거리, 즉 길이(H)는 차이만큼 감소된다. 길이(H)가 부착 범위(P1 내지 P2)보다 작으면 부분 절단 영역(34)의 위치는 제 1 및 제 2 가공 기구(36a, 36b)에 의해 변화되어 부분 절단 영역(34) 사이의 거리, 즉 길이(H)가 차이만큼 증가된다. 이 방법으로, 감광성 수지층(28)의 부착 길이는 소정 길이로 조정된다.
또한, 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)의 텐션 댄서(70)에 의한 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션을 조정함으로써, 감광성 웹(22a, 22b)의 신장량을 변화시킬 수 있다.
도 21에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)의 선단 위치가 제 1 측정 공정에 따른 유리 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)로부터 변위됨이 판단되면 유리 기판(24)은 감광성 웹(22a, 22b)이 유리 기판(24)에 적층된 직후 고무 롤러(80a, 80b)로부터 클램프 해제되고, 기판 반송 롤러(92)는 감광성 웹(22a, 22b)이 절단될 수 있는 위치로 감광성 웹(22a, 22b)을 반송하도록 부착 기판(24a)을 반송한다. 감광성 웹(22a, 22b)이 절단된 후 감광성 웹(22a, 22b)은 각 필름 반송 롤러(90a, 90b)를 이용하여 위치된다.
유리 기판(24)에 부착될 감광성 수지층(28)은 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)의 한측 또는 양측을 위치 조정함으로써 위치 조정될 수 있다. 이때, 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 상대적 위치는 편차가 보정될 때까지 화살표(C) 방향으로 감광성 수지층(28)의 편차의 중간 위치로 정렬된 부착 범위(P1 내지 P2)를 위치시키도록 설정될 수 있다. 상대적 위치가 적층된 후 감광성 웹(22a 또는 22b)의 비부착 위치의 기판 반송 롤러(92)에 의해 반송을 조정함으로써 또는 기판 반송 롤러(92)의 제어 하에 유리 기판(24)의 정지된 위치를 조정함으로써 설정될 수 있다.
도 22에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22a)의 감광성 수지층(28)의 길이와 감광성 웹(22b)의 감광성 수지층(28)의 길이가 제 2 측정 공정에 따라 서로 다르다고 판단되면 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)의 한쪽 또는 양쪽의 위치가 조정될 수 있다. 대안으로, 부분 절단 영역(34)의 한쪽 또는 양쪽의 위치를 조정하는 것보다 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션이 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)에 의해 조정될 수 있다.
도 23에 도시된 바와 같이, 감광성 수지층(28)의 길이 및 선단의 위치가 제 1 및 제 2 측정 공정에 따라 서로 다름이 판단되면 감광성 웹(22a, 22b)이 적층된 직후 부착 기판(24a)은 고무 롤러(80a, 80b)로부터 클램프 해제된 후 감광성 웹(22a, 22b)이 절단될 수 있는 위치로 반송된다. 감광성 웹(22a, 22b)이 절단된 후 감광성 웹(22a, 22b)은 필름 반송 롤러(90a, 90b)에 의해 위치 배열된다. 또한, 감광성 수지층(28)의 길이는 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)의 한쪽 또는 양쪽 위치를 조정함으로써 또는 제 1 및 제 2 텐션 제어 장치(66a, 66b)에 의한 감광성 웹(22a, 22b)의 텐션을 조정함으로써 동일화될 수 있다.
감광성 웹(22a, 22b)의 폭 방향의 위치는 필름 단부 위치 검출기(51) 및 단부 위치 조정 장치(도시 생략)에 의해 제어될 수 있다. 유리 기판(24)의 폭 방향의 위치는 부착 위치 직전에 설치된 폭 위치 조정 장치(도시 생략)에 의해 보정될 수 있다.
그 결과, 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)은 부착 위치에 대해 고정밀도로 위치 결정될 수 있고, 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 원하는 영역에 정확하게 서로 병렬로 부착되도록 한다. 간단한 공정 및 구성을 통해 고품질의 감광성 적층체(106)를 효율적으로 제조할 수 있다.
제 1 실시형태에 의하면, 서로 폭 방향으로 이간된 2개의 감광성 수지층(28)이 넓은 유리 기판(24)으로 전사될 수 있으므로 감광성 웹(22a, 22b)은 se당 넓게 될 필요가 없다. 그러므로, 감광성 웹(22a, 22b)은 더 용이하게 취급될 수 있어서 전체 제조 공정은 효율적으로 수행되고 제조 설비의 비용은 용이하게 삭감될 수 있다.
도 1의 제 1 실시형태는 2개의 감광성 웹(22a, 22b)의 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 일체즉으로 부착되도록 구성되지만, 본 발명은 이 구성에 필수적으로 한정되지 않는다. 예컨대, 3개 또는 4개의 다른 감광성 웹으로부터의 각 수지층은 유리 기판(24)에 일체로 부착된다.
도 24는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 제조 장치(120)를 구성도로 개략적으로 도시한다. 제 1 실시형태에 따른 제조 장치(20)와 동일한 제 2 실시형태에 따른 제조 장치(120)의 일부는 동일한 참조 부호로 나타내고, 이하 상세히 설명되지 않을 것이다.
도 24에 도시된 바와 같이, 제조 장치(120)는 제 1 및 제 2 검출 장치(121a, 12lb), 기판간 웹 절단 장치(48)의 하류에 설치되는 냉각 기구(122), 냉각 기구(122)의 하류에 설치되는 베이스 박리 기구(124)를 구비한다. 제 1 및 제 2 검출 장치(121a, 12lb)는 소정 거리(L)로 서로 이간되고 백업 롤러(73a, 73c 및 73b, 73d)에 대해 대향하여 설치된 광전 센서(123a, 123b, 123c 및 123d)를 구비한다.
냉각 기구(122)는 부착 기판(24a)에 차가운 공기를 공급하여 감광성 웹(22a, 22b)이 기판간 웹 절단 장치(48)에 의해 부착 기판(24a) 및 후속 부착 기판(24a) 사이에서 절단된 후 부착 기판(24a)을 냉각시킨다. 구체적으로, 냉각 기구(122)는 1.0 내지 2.0m/min 범위의 비율로 10℃의 온도를 갖는 차가운 공기를 공급한다.
냉각 기구(122)의 하류에 설치된 베이스 박리 기구(124)는 부착 기판(24a)의 하부면을 부착하는 흡착 패드(126)를 구비한다. 부착 기판(24a)이 흡착 패드(126)에 의해 흡착되면서 베이스 필름(26) 및 잔존부(30b)는 로봇손(128)에 의해 부착 기판(24a)으로부터 박리된다. 부착 기판(24a)의 적층된 영역의 4개의 측에 이온 공기를 배출하는 전기 중화 송풍기(도시 생략)는 흡착 패드(126)의 상류, 하류 및 양측에 설치된다. 베이스 필름(26) 및 잔존부(30b)는 부착 기판(24a)dmf 지지하는 테이블이 제진 제거를 위해 수직, 경사 또는 거꾸로 향하면서 부착 기판(24a)으로부터 박리될 수 있다.
베이스 박리 기구(124)는 복수의 감광성 적층체(106)를 수용하는 감광성 적층체 수용 프레임(132)에 의해 하류에 설치된다. 베이스 필름(26) 및 잔존부(30b) 가 베이스 박리 기구(124)에 의해 부착 기판(24a)으로부터 박리될 때 제조된 감광성 적층체(106)는 흡착 패드(136)에 의해 로봇(134)의 핸드부(134a)에 흡착되며, 베이스 박리 기구(124)로부터 꺼내지고 감광성 적층체 수용 프레임(132)에 수용된다.
적층 공정 제어부(100)에, 적층 제어부(102), 기판 가열 제어부(104) 및 베이스 박리 제어부(138)도 연걸되어 있다. 베이스 박리 제어부(138)는 부착 기구(46)로부터 공급되는 부착 기판(24a)으로부터의 베이스 필름(26)을 박리하고, 또한 하류 공정으로 감광성 적층체(106)를 배출하기 위해 베이스 박리 기구(124)를 제어한다. 베이스 박리 제어기(138)는 부착 기판(24a) 및 감광성 적층체(106)에 관한 정보도 취급한다.
제 2 실시형태에 따른 제 1 및 제 2 검출 장치(121a, 12lb)에서, 우선 광전 센서(123b, 123d)의 하류에 위치된 광전 센서(123a, 123c)가 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 검출한다. 이후, 하류 광전 센서(123b, 123d)는 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 검출한다. 백업 롤러(73a, 73c) 및 백업 롤러(73b, 73d) 사이의 거리(L)는 유리 기판(24)에 부착된 각 감광성 수지층(28)의 길이에 대응한다.
감광성 수지층(28)의 실제 부착 길이는 상류 광전 센서(123a, 123c)가 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 검출할 시와 하류 광전 센서(123b, 123d)가 감광성 웹(22a, 22b)의 동일한 부분 절단 영역(34)을 검출할 시의 차로부터 정확하게 산출될 수 있다. 감광성 수지층(28)의 산출된 실제 부착 길이에 의거하여 감광성 웹(22a, 22b)이 반송되는 속도는 유리 기판(24)의 중앙부에 감광성 수지층(28)을 부착하도록 조정된다.
제 2 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34) 사이의 거리, 즉 유리 기판(24)에 부착된 각 감광성 수지층(28)의 길이(H)가 정확하게 검출되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 중앙부에 부착한다(도 25 참조).
도 26에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 검출 장치(121a, 12lb)에 의해 검출된 각 감광성 수지층(28)의 길이(H1)가 정규 길이(H)보다 길 경우에는 감광성 수지층(28)은 유리 기판(24)의 중앙부에 부착되어 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 단부로부터 외부로 향하여 동일 거리로 이동된다.
도 27에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 검출 장치(121a, 121b)에 의해 검출된 각 감광성 수지층(28)의 길이(H2)가 정규 길이(H)보다 짧을 경우에는 감광성 수지층(28)은 유리 기판(24)의 중앙부에 부착되어 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 단부로부터 내부로 동일 거리로 이동된다. 이 경우에, 감광성 수지층(28)의 부착 위치의 목표 변위는 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 단부로부터 내부로 동일 거리로 이동되지 않으면 발생하는 약 1/2의 변위가 된다.
제 2 실시형태에 의하면, 또한, 부분 절단 영역(34)은 제 1 및 제 2 송출 기구(32a, 32b)로부터 풀리는 감광성 웹(22a, 22b)에 형성된 후 보호 필름(30)은 박리되어 잔존부(30b)를 남기고, 감광성 웹(22a, 22b)이 유리 기판(24)에 적층되어 감광성 수지층(28)을 전사한 후, 베이스 필름(26) 및 잔존부(30b)는 베이스 박리 기구(124)에 의해 박리되어 감광성 적층체(106)를 제조한다. 감광성 적층체(106)는 용이하게 자동적으로 제조될 수 있다.
도 28은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 제조 장치(140)의 구성도로 개략적으로 도시한다. 제 1 실시형태에 따른 제조 장치(20)의 것과 동일한 제 3 실시형태에 따른 제조 장치(140)의 일부는 동일한 참조 번호로 나타내고 이하 상세히 설명되지 않을 것이다.
제조 장치(140)는 문제 발생시에 감광성 웹(22a, 22b)을 절단하고 불량품을 배출하기 위해 감광성 웹(22a, 22b)을 분리하는 것을 제외하고 보통 사용되지 않는 기판간 웹 절단 장치(48)를 구비한다. 제조 장치(140)는 웹 절단 장치(48a)의 하류에 설치된 냉각 기구(122) 및 자동 베이스 박리 기구(142)를 구비한다. 자동 베이스 박리 기구(142)는 소정 간격으로 이간된 유리 기판(24)이 함께 부착된 긴 베이스 필름(26)을 순차적으로 박리하도록 한다. 자동 베이스 박리 기구(142) 예비 박리부(144), 비교적 작은 직경을 갖는 박리 롤러(146), 테이크업 롤(148) 및 자동부착 유닛(150)을 구비한다. 테이크업 롤(148)은 구동시에 베이스 필름(26)에 텐션을 부여하기 위해 토크를 제어한다. 예컨대, 텐션 피드백 제어는 박리 롤러(146)에 설치된 텐션 검출 장치(도시 생략)에 따라 수행되는 것이 바람직하다.
도 29 및 도 30에 도시된 바와 같이, 예비 박리부(144)는 한 쌍의 닙 롤러 어셈블리(152, 154) 및 박리 바(156)를 구비한다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 유리 기판(24)이 반송되는 방향으로 서로 전후 이동가능하다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 수직 이동가능한 상부 롤러(152a, 154a) 및 하부 롤러(152b, 154b)를 구비한다. 상부 롤러(152a, 154a)가 하강할 때 상부 롤러(152a, 154a) 및 하부 롤러(152b, 154b)는 그 사이의 유리 기판(24)을 그립한다. 박리 바(156)는 인접한 유리 기판(24) 사이에 수직 이동가능하다. 상부 롤러(152a, 154a)는 프레스 바 또는 프레스 핀으로 대체될 수 있다.
감광성 웹(22a, 22b)은 박리 롤러(146) 또는 박리 롤러(146) 직전 위치에서 30℃ 내지 120℃의 범위의 온도로 재가열된다. 감광성 웹(22a, 22b)이 재가열될 때 칼라 재료층은 베이스 필름(26)이 박리될 때 박리되는 것이 방지되어 고품질의 적층면이 유리 기판(24)에 제조될 수 있다.
자동 베이스 박리 기구(142)는 유리 기판(24)에 실제로 부착된 감광성 수지층(28)의 영역을 측정하는 측정 유닛(158)에 의해 하류에 설치된다. 측정 유닛(158)은 CCD 등을 각각 구비하는 복수의 이간된 카메라(160)를 구비한다. 도 31에 도시된 바와 같이, 측정 유닛(158)은 예컨대, 감광성 수지층(28)이 부착된 유리 기판(24)의 4개의 코너(K1 내지 K4)의 화상을 캡쳐하는 4개의 카메라(160)를 구비한다. 대안으로, 측정 유닛(158)은 4개의 코너(K1 내지 K4)보다 유리 기판(24)의 세로측 및 가로측 각각의 화상을 캡쳐하는 2개 이상의 카메라를 구비할 수 있다.
측정 유닛(158)은 유리 기판(24)의 단부면을 검출하는 칼라 센서 또는 레이저 센서를 구비할 수 있거나 유리 기판(24)의 단부면을 검출하는 LED 센서, 포토다이오더 센서, 또는 라인 센서의 조합을 구비할 수 있다. 2개 이상의 센서는 각 단부면의 선형성을 검출하는 각 단부면의 화상을 캡쳐하도록 바람직하게 사용되어야만 한다.
표면 검사 유닛(도시 생략)은 감광성 웹(22a, 22b) 자체에 의해 기인된 표면 불규칙, 제조 설비에 의해 기인된 적층 필름 밀도 불규칙, 주름, 띠 패턴, 진애, 및 다른 외부 문제와 같은 감광성 적층체(106)의 표면 불량을 검출하기 위해 사용될 수 있다. 그러한 표면 불량이 검출될 때 제조 장치(140)는 경보를 발생시키고 불량 제품을 배출하며, 검출된 표면 불량에 의거하여 후속 공정을 취급한다.
제 3 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22a, 22b)이 적층도니 부착 기구(46) 냉각 기구(122)에 의해 냉각된 후 예비 박리부(144)로 반송된다. 예비 박리부(144)에서, 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 2개의 인접한 유리 기판(24)의 후단과 선단을 그립하고 닙 롤러 어셈블리(152)는 유리 기판(24)과 같은 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하며, 닙 롤러 어셈블리(154)는 화살표(C) 방향으로의 이동이 감속된다.
그 결과, 도 30에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22a, 22b)은 닙 롤러 어셈블리(152, 154) 사이에서 휘어진다. 박리 바(156)는 감광성 웹(22a, 22b)을 밀도록 상부로 상승되고 2개의 인접한 유리 기판(24)의 후단과 선단으로부터 보호 필름(30)을 박리한다.
자동 베이스 박리 기구(142)에서, 테이크업 롤(148)은 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 순차적으로 권취하도록 회전된다. 감광성 웹(22a, 22b)이 문제의 발생시 절단되고 불량불를 배출하도록 분리된 후 감광성 웹(22a, 22b)이 적층되기 시작하는 베이스 필름(26)의 선단 및 테이크업 롤(148)에 권취된 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착 유닛(150)에 의해 서로 자동적으로 부착된다.
베이스 필름(26)이 박리된 유리 기판(24)은 측정 유닛(158)과 조합하는 검사 스테이션에 배치된다. 검사 스테이션에서, 유리 기판(24)은 위치에 고정되고, 4대 의 카메라(160)는 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 캡쳐한다. 캡쳐된 화상은 부착 위치(a 내지 d)를 결정하도록 처리된다.
검사 스테이션에서, 유리 기판(24)은 정지되지 않고 반송되고, 유리 기판(24)의 폭 방향 단부는 카메라나 화상 주사에 의해 검출될 수 있고, 그 길이 방향 단부는 타이밍 센서에 의해 검출될 수 있다. 그리고, 유리 기판(24)은 카메라나 화상 주사 및 센서에 의해 제작된 검출 데이터에 의거하여 측정될 수 있다.
제 3 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22a, 22b)이 유리 기판(24)에 적층된 후 2개의 인접한 부착 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22a, 22b)은 절단되지 않느나. 보다, 부착 기판(24a)이 박리 롤러(146)에 의해 프레스되면서 베이스 필름(26)은 부착 기판(24a)으로부터 순차적으로 박리되고 회전 중의 테이크업 롤(148) 둘레로 권취된다.
제 3 실시형태에 의하면, 제 2 실시형태와 동일한 장점이 달성되며, 감광성 적층체( 106)는 자동적이고 효율적으로 제조될 수 있다. 그러나, 제 2 실시형태 및 제 3 실시형태에 따른 제조 장치는 3개 이상의 감광성 웹 롤을 사용할 수 있다.
도 32는 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 제조 장치(180)의 개략적인 구성도이다.
도 33에 도시된 바와 같이, 제조 장치에 사용된 감광성 웹(22)은 베이스 필름(26), 쿠션층[열가소성 수지층](27), 중간층[산소 차단막](29), 감광성 수지층(28), 및 보호 필름(30)으로 적층되어 이루어진다.
베이스 필름(26)은 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET)로 형성되며, 쿠션 층(27)은 에틸렌과 산화 비닐 공중합체로 형성되며, 중간층(29)은 폴리비닐 알콜로 형성되며, 감광성 수지층(28)은 알칼리 가용성 바인더(binder), 모노머(monomer), 광 중합 시작재 및 착색제를 포함하는 칼라 감광성 수지 조성물로 형성되고, 보호 필름(30)은 폴리프로필렌으로 형성된다.
제조 장치(20)는 기판간 웹 절단 장치(48)의 하류 위치에서 보호 필름(30)이 박리된 부착 기판(24a), 즉 부착 기판(24a)에 부착된 유리 기판(24) 및 감광성 웹(22)을 냉각하는 냉각 기구(122), 수지층, 즉 유리 전이 온도(Tg) 이하의 소정 온도 범위(이하 설명) 내의 상기 냉각된 부착 기판(24a)의 내부에 쿠션층(27)을 가열하는 가열 기구(182) 및 복수의 흡착 패드(184)에 의해 흡착 하에 지지되는 상기 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하는 베이스 박리 기구(186)를 구비한다.
냉각 기구(122)는 부착 기판(24a)에 차가운 공기류를 공급함으로써 냉각 공정을 행한다. 더 구체적으로, 그러한 냉각이 10℃의 냉각 온도 및 0.5 내지 2.0m/min의 풍속 또는 공기류 속도를 설정함으로서 행해진다. 가열 기구(182)는 부착 기판(24a)의 베이스 필름(26) 측에 설치되는 가열 롤러(188), 및 가열 롤러(188) 반대의 유리 기판(24) 측에 설치되는 수용 롤러(190)를 구비한다.
가열 롤러(188)는 전자 유도 가열 방식에 따른 내부 및 외부 가열을 하고 베이스 필름(26)과 직접 접촉해서 베이스 필름(26)측으로부터 쿠션층(27)을 가열한다. 전자 유도 가열 대신에 시스(sheath) 가열 기구를 사용하는 가열 방법, 또는 온수(액체) 가열 방식도 사용될 수 있다. 또한, 가열 롤러(188)는 고무 롤러, 금속 롤러, 패브릭 권취 롤러 또는 수지 롤러 등으로 구성될 수 있으며 다수의 롤러가 화살표(C) 방향을 따라 설치될 수 있다.
수용 롤러(190)가 가열될 필요는 없고 필요하다면 수용 롤러(190)는 내에 순환된 냉각 액체를 갖는 냉각 롤러로 구성될 수 있다.
가열 롤러(188)는 유리 전이 온도 이하인 소정 온도 범위 내로 쿠션층(27)을 가열한다. 이 경우에, 쿠션층(27)의 유리 전이 온도에 대해, 예컨대, tanδ(손실 계수)는 점탄성을 측정함으로써 검출되고 유리 전이 온도는 tanδ가 최대가 되는 값으로부터 얻어진다.
Toyo Baldwin Co., Ltd. 제조의 점탄성 측정 장치는 tanδ에 대한 온도의 특성을 검출하는 적층체 필름에 사용되어 도 34에 도시된 결과를 얻을 수 있다. 이 결과로부터, 쿠션층(27)의 유리 전이 온도는 37.8℃로 결정된다.
도 35에 도시된 바와 같이, 베이스 박리 기구(186)는 프레임 부재(192)를 구비하나. 프레임 부재(192)에서, 부착 기판(24a)의 반송 방향[화살표(C) 방향]에 직교하는 화살표(D) 방향으로 연장한 상부 가이드 레일(194a, 194b)은 서로 소정의 고정 거리로 병렬로 연장된다. 상부 가이드 레일(194a, 194b)의 하부에, 더 짧은 하부 가이드 레일(195a, 195b)은 화살표(D) 방향으로 연장 병렬로 유사하게 연장된다. 모터(196a, 196b)로 화살표(D) 방향을 따라 왕복 이동가능한 이동 부재(198a, 198b)는 상부 가이드 레일(194a, 194b)에 지지된다.
도 35 및 도 36에 도시된 바와 같이, 이동 부재(198a, 198b)는 수직으로[화살표(E) 방향] 연장하고, 수직으로 연장한 가이드 레일(200a, 200b)은 서로 대향하 는 표면을 따라 배치된다. 승강대(202a, 202b)는 가이드 레일(200a, 200b)에 지지되고, 승강대(202a, 202b)는 모터(204a, 204b)로 승하강된다.
회전 구동원(206a, 206b)은 승강대(202a, 202b)에 수평으로 설치된다. 척(chuck, 208a, 208b)은 회전 구동원(206a, 206b)의 회전축(도시 생략)에 고정된다. 척(208a, 208b)은 자유롭게 회전가능하게 형성되고, 또한 부착 기판(24a)의 베이스 필름 박리 위치에서 상기 부착 기판(24a)이 구성되는 유리 기판(24)의 반송 방향으로의 양단으로부터 외부로 돌출하는 베이스 필름(26)의 양측부를 파지하는 위치를 얻기 위해 위치 조정될 수 있다.
도 35에 도시된 바와 같이, 슬라이드 베이스(210a, 210b)는 하부 가이드 레일(195a, 195b)에 지지되고 프로파일링(profiling) 롤러(212)의 양단은 슬라이드 베이스(210a, 210b)에 승하강되게 지지된다. 슬라이드 베이스(210a, 210b)는 가동 부재(198a, 198b)와 일체로 화살표(D) 방향의 고정 위치 간격 내에 왕복 이동될 수 있다.
도 32에 도시된 바와 같이, 제 4 실시형태에 의하면, 기판간 웹 절단 장치(48)에 의해 분리된 각 부착 기판(24a)은 냉각 기구(122)로 반송된 후 예컨대, 공급된 냉각 공기의 작용 하에 실온(약 20℃)으로 강제적으로 냉각되어 가열 기구(182)로 순차적으로 반송된다. 가열 기구(182)에서, 부착 기판(24a)은 가열 롤러(188) 및 수용 롤러(190) 사이에 그립되고 가열 롤러(188)로부터 부착 기판(24a)의 베이스 필름(26)으로 직접 열전도가 행해진다.
그 결과, 쿠션층(27)이 베이스 필름(26)에 의해 소정 온도로 가열되는 후 부 착 기판(24a)은 베이스 박리 기구(186)로 반송된다. 베이스 박리 기구(186)에서, 부착 기판(24a)의 유리 기판(24) 측이 흡착 패드(184)의 흡착 작용 하에 지지되고 척(208a, 208b)은 반송 방향으로의 유리 기판(24)의 양단으로부터의 내부로 돌출하는 베이스 필름(26)의 일단측으로 화살표(D) 방향으로 각각 배치된다(도 37 참조).
그리고, 이동 부재(198a, 198b)는 모터(196a, 196b)의 동작하에 부착 기판(24a)으로 이동되고, 각 척(208a, 208b)은 반송 방향으로 베이스 필름(26)의 양단을 파지하기 위해 폐쇄된다. 또한, 척(208a, 208b)은 회전 구동원(206a, 206b)의 동작하에 회전하고, 승강대(202a, 202b) 및 이동 부재(198a, 198b)는 소정 방향으로 구동 제어된다.
그 결과, 도 36 및 도 37에 도시된 바와 같이, 척(208a, 208b)은 고정된 박리 궤적을 따라 이동되고, 척(208a, 208b)에 의해 그립되는 베이스 필름(26)은 쿠션층(27)으로부터 분리되어 부착 기판(24a)으로부터 박리된다. 이때, 프로파일링 롤러(212)는 고정 위치에 이를 때까지 이동 부재(198a, 198b)와 일체로 화살표(D) 방향으로 이동되어 베이스 필름(26)이 원활하고 양호하게 박리된다. 감광성 적층체(106)는 부착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하여 얻을 수 있다.
이 경우, 제 4 실시형태에 의하면, 냉각 기구(122)을 통해 강제 냉각된 부착 기판(24a)의 쿠션층(27)이 가열 기구(182)의 동작하에 베이스 필름(26) 측으로부터 유리 전이 온도까지의 온도로 일단 가열된 후 베이스 필름(26)의 박리는 베이스 박리 기구(186)를 통해 행해진다.
특히, 부착 기구(46)에서, 감광성 웹(22)은 소정 텐션이 부여된 상태하에 유 리 기판(24)에 열압착되어 잔류 응력이 쿠션층(27) 내에 용이하게 발생된다. 또한, 부착 기판(24a)이 냉각 기구(122)에 의해 강제 냉각되므로 쿠션층(27)에도 잔류응력이 발생된다. 따라서, 이 상태에서, 베이스 필름(26)이 부착 기판(24a)으로부터 박리될 때 쿠션층(27)이 잔류 응력에 의해 쿠션층(27)에 붕괴나 파손이 발생되기 쉽다. 그러므로, 쿠션층(27)에는, 오목부와 같은 불량부가 쿠션층(27)에 형성될 수 있어서 품질의 저하를 야기한다.
제 4 실시형태에 의하면, 베이스 필름(26)의 박리 전에 쿠션층(27)의 유리 전이 온도까지 가열을 행하여 그 결과로서, 쿠션층(27)의 잔류 응력이 완화된다.
베이스 필름(26)의 표면 온도는 여러 가지로 변경되고, 베이스 필름(26)의 박리시에 있어서의 벗겨짐 불량의 유무를 검출하는 실험이 행해진다. 이 실험의 결과는 도 38에 나타낸다. 이 실험에 의하면, 양호한 박리 공정이 이루어지고 고품질의 감광성 적층체(106)가 쿠션층(27)의 유리 전이 온도(37.8℃) 이하인 소정 온도 번위에 대응하는 32℃ 내지 38℃ 온도 범위 내로 베이스 필름(26)의 표면 온도를 설정함으로써 얻어진다.
또한, 가열 기구(182는 부착 기판(24a)을 베이스 필름(26) 측으로부터 가열한다. 따라서, 유리 기판(24) 측으로부터 가열하는 경우와 비교하여, 베이스 필름(26)과 쿠션층(27) 사이의 박리 영역이 원하는 온도로 신속하고 정확하게 가열될 수 있고 박리 영역에서 고정밀도의 박리 공정이 행해질 수 있다.
또한, 베이스 박리 기구(186)는 가열 기구(182)로부터 소정 간격으로 분리된다. 그러므로, 일단 가열되어 잔류 응력이 완화된 부착 기판(24a)은 베이스 박리 기구(186)에 반송되면서 냉각된다.
베이스 박리 기구(186)의 일부를 구성하는 프로파일링 롤러(212)을 도시 생략된 가열 기구를 통해 가열되고 베이스 필름(26)과 접촉하여 가져올 수 있다. 그 결과, 베이스 필름(26)은 가열하면서 쿠션층(27)으로부터 박리될 수 있다. 또한, 프로파일링 롤러(212)는 복수의 롤러로 설치될 수도 있다.
제 4 실시형태에서, 베이스 박리 기구(186)는 베이스 필름(26)을 부착 기판(24a)의 반송 방향[화살표(C) 방향]에 교차하는 화살표(D) 방향으로 박리하도록 구성된다. 그러나, 베이스 필름(26)의 박리 방향은 부착 기판(24a)의 반송 방향에 병렬인 화살표(C) 방향으로 설정될 수 있다.
또한, 예열 장치(도시 생략)는 부착 기판(24a)의 보조 가열을 행하는 가열 기구(182)의 상류에 설치될 수 있다. 예컨대, 코일, 탄소원, 할로겐원을 포함하는 적외선 파워 가열 기구 또는 세라믹 IR 가열 기구 또는 각종 접촉식 가열 롤러가 예열 장치로서 사용될 수 있다.
또한, 제 4 실시형태에서, 제 1 실시형태에 따른 기본적인 제조 장치(20)가 사용된다. 그러나, 본 발명은 이 방식에 한정되지 않고 본 실시형태의 특징은 제 2 및 제 3 실시형태에 따른 제조 장치(120, 140)에 적용될 수도 있다.
도 39는 본 발명의 제 5실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구(220)의 개략 사시도이다. 제 4실시형태에 따른 제조 장치(180)을 구성하는 베이스 박리 기구(186)와 동일한 구성 요소는 참조 부호에 의해 지정되고 그 상세한 설명은 생략한다.
베이스 박리 기구(220)는 베이스 필름(26)이 부착 기판(24a)으로부터 박리될 때 베이스 필름(26)에 유리 기판(24)과 그 부착 방향[화살표(C) 방향]으로 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조(222)를 구비한다.
텐션 부여 구조(222)는 부착 기판(24a)의 반송 방향 선단측에서 외부로 돌출하는 베이스 필름(26)의 단부(26a)를 그립가능한 이동 척 부재(224a, 226a, 228a 및 230a)와 부착 기판(24a)의 반송 방향 후단측에서 돌출하는 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립가능한 이동 척 부재(224b, 226b, 228b 및 230b)를 구비한다.
척 부재(224a, 224b)는 화살표(C) 방향으로 서로 대향하고, 다른 척 부재( 226a, 226b, 228a, 228b 및 230a, 230b)는 화살표(C) 방향으로 서로 각각 대향하여 배치된다. 척 부재(224a 내지 230a 및 224b 내지 230b)는 각각 개폐할 수 있고, 또한 베이스 필름(26)으로부터 전후 이동할 수 있다.
제 5 실시형태에서, 부착 기판(24a)이 베이스 박리 위치에 배치될 때 텐션 부여 구조(222)를 구성하는 척 부재(224a 내지 230a)는 베이스 필름(26)의 선단부 (26a)를 그립하고, 척 부재(224b 내지 230b)는 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립한다. 이 상태에서, 척 부재(224a 내지 230a)와 척 부재(224b 내지 230b)를 서로 분리하는 방향으로 토크 제어하므로 소정 텐션은 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향으로 부여된다.
그 결과, 척(208a, 208b)은 베이스 필름(26)의 선단부(26a) 및 후단부(26b)를 그립하고 소정 박리 궤적을 따라 화살표(D1) 방향으로 이동한다. 이때, 소정 텐션이 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향으로 부여되어 베이스 필름(26)이 유리 기 판(24)으로부터 원활하고 확실하게 박리될 수 있다.
또한, 프로파일링 롤러(212)는 화살표(D1) 방향으로 이동하고 척 부재(224a, 224b)에 근접하며 베이스 필름(26)의 선단부(26a) 및 후단부(26b)의 그립 동작을 해제한 후, 척 부재(224a, 224b)는 서로 분리되는 방향(즉, 화살표 방향)으로 이동된다. 그러므로, 척 부재(224a, 224b)는 프로파일링 롤러(212)에 간섭하지 않는다.프로파일링 롤러(212)가 화살표(D1) 방향으로 계속해서 이동함에 따라, 척 부재 (226a, 226b)는 베이스 필름(26)으로부터 분리되고, 이어서 척 부재(228a, 228b) 및 척 부재(230a, 230b)가 베이스 필름(26)으로부터 분리되어 베이스 필름(26)의 박리 동작이 완료된다.
도 40은 본 발명의 제 6 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구(230)의 개략 사시도이다.
베이스 박리 기구(230)는 베이스 필름(26)이 부착 기판(24a)으로부터 박리될 때 베이스 필름(26)에 부착 기판(24a)과 부착 방향으로 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조(232)를 구비한다.
텐션 부여 구조(232)는 부착 기판(24a)의 반송 방향 선단측으로 돌출하는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)를 그립할 수 있는 선단 척(234)과 부착 기판(24a)의 반송 방향 후단측으로 돌출하는 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립할 수 있는 후단 척(236)을 구비한다. 선단 척(234) 및 후단 척(236)은 각각 베이스 필름(26)의 선단부(26a) 및 후단부(26b)의 전체 폭 치수를 실질적으로 그립하기 위해 화살표(D) 방향으로 넓게 형성된다.
선단 척(234)은 회전 구동원(206a, 206b)에 설치되고 그 밖의 구성은 제 4 실시형태의 베이스 박리 기구(186)와 동일한 방법으로 구성된다. 이 경우, 선단 척(234)의 이동 방향은 척(208a, 208b)의 이동 방향[화살표(D) 방향]에 직교하는 화살표(C) 방향으로 설정된다.
제 6 실시형태에서, 부착 기판(24a)이 베이스 박리 위치에 반송될 때 부착 기판(24a)의 선단측으로 돌출하는 베이스 필름(26)의 선단부(26a)는 선단 척(234)에 의해 그립된다. 한편, 부착 기판(24a)의 후단측으로 돌출하는 베이스 필름(26)의 후단부(26b)는 후단 척(236)에 의해 그립된다.
이어서, 후단 척(236), 또는 후단 척(236) 및 선단 척(234)은 토크 제어되어 화살표(C) 방향을 따라 그립된 베이스 필름(26)에 텐션이 부여된다. 이 상태에서, 소정 텐션이 부여돈 베이스 필름(26)은 소정 박리 궤적을 따라 선단 척(234)을 이동함으로써 유리 기판(24)으로부터 원활하고 확실하게 박리된다.
도 41은 본 발명의 제 7 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 자동 베이스 박리 기구(250)의 개략도이다. 제 3 실시형태에 따른 제조 장치(140)를 구성하는 자동 베이스 박리 기구(142)와 동일한 구성 요소는 동일한 참조 부호로 지정되고 그 상세한 설명은 생략한다.
자동 베이스 박리 기구(250)는 부착 기판(24a) 사이를 이동하면서 박리 롤러(146)의 외주부를 따라 베이스 필름(26)을 가이드하는 박리 바[박리 가이드 부재](252)를 구비한다. 박리 바(252)는 실린더(254)의 동작하에 수직적으로 상하 방향[화살표(E) 방향] 이동할 수 있다. 모터(256)에 연결된 볼 나사(258)는 화살 표(C) 방향으로 왕복 이동하기 위해 실린더(254)와 나사 결합된다. 박리 롤러(146)가 도시 생략된 열원에 의해 가열되도록 하는 것이 바람직하다.
제 7 실시형태에 의하면, 도 42에 도시된 바와 같이, 박리 바(252)가 각 부착 기판(24a) 사이에 위치될 때 박리 바(252)는 박리 롤러(146)의 외주면에 잔존부(30b) 측으로부터 베이스 필름(26)을 압축하기 위해 실린더(254)의 동작하에 상부로 돌출된다. 또한, 볼 나사(258)가 모터(256)의 동작하에 회전되고 실린더(254)가 화살표(C) 방향으로 이동되어 박리 바(252)는 실린더(254)를 통해 박리 롤러(146)에 대향하여 압축된다(도 43 참조).
그 결과, 박리 바(252)는 박리 롤러(246)의 외주면을 따라 잔존부(30b)를 가이드한다. 따라서, 도 44에 도시된 바와 같이, 박리 롤러(146)의 외주부에 소정 위치까지 이동하는 박리 바(252)로 인해 잔존부(30b)는 전방의 부착 기판(24a)의 후단부로부터 확실하게 박리되고 베이스 필름(26)과 일체로 권취된다. 그러므로, 베이스 필름(26)이 부착 기판(24a)으로부터 박리될 때 잔존부(30b)는 부착 기판(24a)에 남지 않고, 양호한 자동 박리 공정이 이루어질 수 있다.
또한, 박리 바(252)는 구형상의 팁으로 구성되지만 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 45에 도시된 바와 같이, 박리 롤러(146)에 테이퍼면과 테이퍼 팁(260a)을 갖는 박리 바(260)가 사용될 수도 있다.
도 46은 본 발명의 제 8 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 부착 기구(270)를 도시하는 정면도이다.
부착 기구(270)는 고무 롤러(80a, 80b)와 백업 롤러(272a, 272b)를 구비하 고, 백업 롤러(272a, 272b)의 외주가 크라운 형상을 갖도록 구성된다. 또한, 백업 롤러(272a, 272b) 중 하나 이상 및/또는 고무 롤러(80a, 80b) 중 하나 이상은 크라운 롤러로 구성될 수 있다.
크라운 형상은 사인 곡선, 2차 곡선, 또는 4차 곡선일 수 있다. 예컨대, 도 47에 도시된 바와 같이, 롤러 표면 길이는 L = 1000㎜ 내지 3000㎜, 롤 직경은 φ = 200㎜ 내지 300㎜, 크라운 비율은 d(= 2d1) = 0.1㎜ 내지 3.0㎜ 및 적층 선형 압력은 100N/㎝ 내지 200N/㎝이다.
도 48은 본 발명의 제 9 실시형태에 따른 제조 장치를 구성하는 제 1 및 제 2 가공 기구(290a, 290b)의 개략 사시도이다. 도 49는 제 1 및 제 2 가공 기구(290a, 290b)의 개략 구성도이다.
제 1 및 제 2 가공 기구(290a, 290b)는 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 소정 온도(이후 설명)로 가열하는 가열 기구(292)와 소정 온도로 가열되는 부분 절단 영역(34)을 따라 부분 절단하는 절단 장치(294)를 구비한다.
절단 장치(294)는 감광성 웹(22)의 반송 방향[화살표(A) 방향]에 직교하는 화살표(B) 방향으로 연장하는 선형 가이드(296)를 구비하고, 슬라이드대(298)는 선형 가이드(296)에 지지된다. 모터(300)는 슬라이드대(298)의 내부에 설치되고 피니언(pinion, 302)은 모터(300)의 회전 축(300a)에 축 고정된다. 피니언(302)과 맞물리는 랙(304)은 선형 가이드(296)를 따라 화살표(B) 방향으로 연장하며, 슬라이드대(298)는 모터(300)의 동작하에 화살표(B) 방향으로 왕복이동할 수 있다.
회전축(306)은 피니온(302)이 설치된 측의 반대측으로부터 두영하는 슬라이 드대(298)에 설치된다. 회전 원형 칼날[커터](308)은 회전축(306)과 일체로 설치된다. 회전 원형 칼날(308)의 반대 위치에 절단대(310)가 사이에 끼워진 감광성 웹(22a, 22b)과 설치된다.
이 절단대(310)은 2매의 금속 플레이트 고조를 포함하고, 화살표(B) 방향으로 연장한다. 오목홈(312)은 화살표(B) 방향으로 회전 원형 칼날(308)의 이동 범위를 따라 연장하도록 절단대(310)의 상부면에 형성되어 오목홈(312)은 수지로 이루어진 수용부(314)를 구비한다.
가열 기구(292)는 절단대(310)에 구비되고 구체적으로, 2매의 금속 플레이트 사이에 끼워진 시트형 가열 기구(316)를 구비한다. 절단대(310)은 이에 접촉하는 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)을 직접 가열하는 가열 부재로서의 역할을 한다. 시트형 가열 기구(316)는 오목홈(312)과 수용부(314) 사이에 설치될 수도 있다.
회전 원형 칼날(308)의 대신에, 슬라이드대(298)로부터 연장하는 고정축(318)에 고정된 고정 원형 칼날(320)이 사용될 수도 있다. 그러한 고정 원형 칼날(320)은 고정축(318)에 대해 소정각을 형성하는 각각의 각 위치에 조정될 수 있다.
부분 절단 영역(34)은 적어도 보호 필름(30)을 절단하기 위해 제공되고, 실제로 회전 원형 칼날(308)[또는 고정 원형 칼날(320)]의 절단 깊이는 보호 필름(30)을 확실하게 절단하도록 설정된다. 부분 절단 영역(34)에서, 초음파를 사용하는 절단 방식 또는 나이프 칼날에 의해 형성된 다른 방식, 밴드형상의 푸시 절단 칼날(톰슨 칼날) 등이 회전 원형 칼날(308)[또는, 고정 원형 칼날(320)] 대신에 사요될 수 있다. 푸시 절단 칼날은 수직 푸시 절단 구조 외에 경사 푸시 절단 구조를 포함할 수 있다.
제 9 실시형태에서, 가열 기구(292)를 구성하는 시트형 가열 기구(316)는 활성화되어 시트형 가열 기구(316)를 포함하는 절단대(310)이 소정 원하는 온도로 가열된다. 그 결과, 화살표(A) 방향으로 반송된 감광성 웹(22a, 22b)은 감광성 웹(22a, 22b)과 동시에 이동하고 직접 가열되는 절단대(310)과 접촉하고 부분 절단 영역(34)이 회전 원형 칼날(308)에 대응하는 소정 온도로 가열되면서 부분 절단이 절단 장치(294)를 통해 이루어진다. 또한, 감광성 웹(22a, 22b)을 정지 상태에 있을 때 부분 절단이 이루어진다.
구체적으로, 피니온(302)이 피니온(302) 및 랙(304)의 맞물림 동작하에, 슬라이드대(298)에 설치된 모터(300)의 구동 동작하에 회전되고, 슬라이드대(298)는 선형 가이드(296)에 의해 지지되고 화살표(B) 방향으로 이동한다. 그 결과, 회전 원형 칼날(308)은 칼날이 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)으로 절단한 상태 하에 화살표(B) 방향으로 이동하면서 회전한다. 그 결과, 보호 필름(30)으로부터 원하는 절단 깊이의 부분 절단 영역(34)이 감광성 웹(22a, 22b)에 형성된다.
이 경우, 감광성 웹(22a, 22b)의 부분 절단 영역(34)이 가열 기구(292)를 통해 가열되면서 부분 절단 영역(34)은 절단 장치(294)에 의해 부분 절단된다. 이때, 각 회전 원형 칼날(308) 및 고정 원형 칼날(320)에 대한 감광성 웹(22a, 22b)의 가열 온도를 설정하여 절단 파편의 발생 또는 층간 박리(미적층)의 발생이 효율적으 로 방지될 수 있다.
상술한 제 9 실시형태에서, 오목홈(312)은 절단대(310)에 형성되고 수용부(314)는 오목홈(312) 내에 수용된다. 그러나, 또한 어떤 오목홈(312)도 형성하지 않고 절단대의 상부면에 수지 수용 필름을 제공할 수 있다. 또한, 시트형 가열 기구(316) 대신에, 시트헤드형 가열 기구 또는 관형 가열 기구를 사용할 수 있다. 또한, 절단 장치(294) 및 부분 절단 영역(34)을 수용하는 가열 상자가 제공되고 가열된 공기는 가열 상자의 내부에 공급된다. 또한, 부분 절단 전에 감광성 웹(22a, 22b)을 가열하기 위해 절단 장치(294)의 상류에 가열 플레이트, 바 가열 기구 또는 가열 상자 등을 제공할 수 있다.
본 발명의 어느 바람직한 실시형태가 상세히 설명되더라도 다양한 변경 및 수정은 첨부 청구항의 범위를 벗어나지 않고 이루어져야만 할 것이다.

Claims (9)

  1. 지지체(26), 상기 지지체(26)에 적층되는 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부(30aa)와 잔존부(30b)를 구비하는 보호 필름(30)을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 동기시켜 송출하는 2개 이상의 웹 송출 기구(32a, 32b);
    상기 박리부(30aa)와 상기 잔존부(30b) 사이의 각 경계 위치에 상기 웹 송출 기구(32a, 32b)에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)의 상기 보호 필름(30)에서 폭 방향으로 절단가능한 가공 영역(34)를 형성하는 2개 이상의 가공 기구(36a, 36b);
    상기 잔존부(30b)를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 상기 박리부(30aa)를 박리시키는 2개 이상의 박리 기구(44a, 44b);
    소정 온도로 가열되는 기판(24)을 부착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45);
    상기 부착 위치에서 상기 기판(24) 사이에 상기 잔존부(30b)를 위치시키고, 박리부(30aa)가 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판(24)에 병렬로 일체 부착하여 부착 기판(24a)을 제조하는 부착 기구(46);
    상기 부착 기구(46)의 하류에 위치되어 각 부착 기판(24a)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 2개 이상의 지지 박리 기구(186);
    상기 부착 기구(46)와 상기 지지 박리 기구(186) 사이에 위치되어 상기 부착 기판(24a)을 냉각하는 냉각 기구(122); 및
    유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내에서 상기 지지체(26)에 적층되는 수지층(27)을 가열하는 가열 기구(182)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 박리 기구(186)는 상기 지지체(26)를 박리할 때 상기 지지체(26)에 대하여 상기 기판(24)과의 부착 방향을 따라 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조(22)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지 박리 기구(250)는, 상기 지지체(26)를 외주부에 따르게 하여 기판(24)으로부터 박리하는 박리 롤러(146), 및 상기 기판(24) 사이를 이동하면서 상기 박리 롤러(146)의 외주를 따라 상기 지지체(26)를 가이드하는 박리 가이드 부재(252)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 부착 기구(270)는,
    소정 온도로 가열되는 한 쌍의 고무 롤러(80a, 80b), 및
    상기 한 쌍의 고무 롤러(80a, 80b)와 슬라이딩 접촉하는 한 쌍의 백업 롤 러(272a, 272b)를 포함하고;
    상기 고무 롤러(80a) 중 1개 이상 및/또는 상기 백업 롤러(272a) 중 1개 이상의 외주면은 크라운 형상으로 설정되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  5. 지지체(26), 상기 지지체(26)에 적층되는 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부(30aa)와 잔존부(30b)를 구비하는 보호 필름(30)을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 동기시켜 송출하는 2개 이상의 웹 송출 기구(32a, 32b);
    상기 박리부(30aa)와 상기 잔존부(30b) 사이의 각 경계 위치에 상기 웹 송출 기구(32a, 32b)에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)의 상기 보호 필름(30)에서 폭 방향으로 절단가능한 부분 절단 영역(34)을 형성하는 2개 이상의 가공 기구(290a, 290b);
    상기 잔존부(30b)를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 상기 박리부(30aa)를 박리하는 2개 이상의 박리 기구(44a, 44b);
    소정 온도로 가열되는 기판(24)을 부착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45);
    상기 부착 위치에서 상기 기판(24) 사이에 상기 잔존부(30b)를 위치시키고, 박리부(30aa)가 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판(24)에 병렬로 일체 부착하여 부착 기판(24a)을 제조하는 부착 기구(46); 및
    상기 부착 기구(46)의 하류에 위치되어 각 부착 기판(24a)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 2개 이상의 지지 박리 기구(186)를 포함하고:
    상기 가공 기구(290a, 290b)는,
    상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)에서 상기 부분 절단 영역(34)을 형성하는 커터(294), 및
    상기 부분 절단이 상기 커터(294)에 대응하는 소정 온도로 이루어질 때 상기 부분 절단 영역(34)을 가열하는 가열 기구(292)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
  6. 지지체(26), 상기 지지체(26)에 적층되는 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부(30aa)와 잔존부(30b)를 구비하는 보호 필름(30)을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 동기시켜 송출하는 공정;
    상기 박리부(30aa)와 상기 잔존부(30b) 사이의 각 경계 위치에서 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)의 상기 보호 필름(30)에서 폭 방향으로 절단가능한 가공 영역(34)을 형성하는 공정;
    상기 잔존부(30b)를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 상기 박리부(30aa)를 박리하는 공정;
    소정 온도로 가열되는 기판(24)을 부착 위치로 반송하는 공정;
    상기 부착 위치에서 상기 기판(24) 사이에 상기 잔존부(30b)를 위치시키고, 박리부(30aa)가 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판(24)에 병렬로 일체 부착하여 상기 부착 기판(24a)을 제조하는 공정;
    상기 부착 위치의 하류 위치에서 상기 부착 기판(24a)을 냉각하는 공정; 및
    유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내에서 상기 지지체(26)에 적층된 수지층(27)을 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 부착 위치의 하류의 상기 부착 기판(24a) 사이에서 각 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 절단한 후 상기 부착 기판(24a)으로부터 각 지지체(26)를 박리하여 감광성 적층체(106)를 얻는 공정, 및
    상기 지지체(26)가 박리될 때 상기 지지체(26)에 대하여 상기 기판(24)과의 부착 방향을 따라 텐션을 부여하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 지지체(26)를 박리 롤러(146)의 외주부에 따르게 하여 상기 기판(24)으로부터 박리하는 공정; 및
    박리 가이드 부재(252)가 상기 기판(24) 사이를 이동하면서 상기 박리 롤러(146)의 외주를 따라 상기 지지체(26)를 가이드하는 공정을 더 포함하는 것을 특 징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
  9. 지지체(26), 상기 지지체(26)에 적층되는 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)에 적층되는 보호 필름(30)으로서 박리부(30aa)와 잔존부(30b)를 구비하는 보호 필름(30)을 각각 포함하는 2개 이상의 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 동기시켜 송출하는 공정;
    상기 박리부(30aa)와 상기 잔존부(30b) 사이의 각 경계 위치에서 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)의 상기 보호 필름(30)에서 폭 방향으로 절단가능한 커터(294)에 대응하는 소정 온도로 부분 절단 영역(34)을 가열하면서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)에서 부분 절단을 하는 공정;
    상기 잔존부(30b)를 남기고 상기 각 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)으로부터 상기 박리부(30aa)를 박리하는 공정;
    소정 온도로 가열되는 기판(24)을 부착 위치로 반송하는 공정;
    상기 부착 위치에서 상기 기판(24) 사이에 상기 잔존부(30b)를 위치시키고, 박리부(30aa)가 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 2개 이상의 노출 영역을 상기 기판(24)에 병렬로 일체 부착하여 상기 부착 기판(24a)을 제조하는 공정; 및
    상기 부착 위치의 하류 근방에서 긴 형상의 감광성 웹(22a, 22b)을 소정 온도로 예비 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
KR1020077021985A 2005-03-23 2006-01-05 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법 KR20070106795A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005083867 2005-03-23
JPJP-P-2005-00083867 2005-03-23
JP2005192070A JP4774243B2 (ja) 2004-07-06 2005-06-30 感光性積層体の製造装置及び製造方法
JPJP-P-2005-00192070 2005-06-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070106795A true KR20070106795A (ko) 2007-11-05

Family

ID=36582036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077021985A KR20070106795A (ko) 2005-03-23 2006-01-05 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20090050261A1 (ko)
EP (1) EP1881896A2 (ko)
KR (1) KR20070106795A (ko)
CN (1) CN101146682B (ko)
WO (1) WO2006100819A2 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012128468A2 (ko) * 2011-03-21 2012-09-27 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널용 필름 부착 장치 및 이를 이용한 필름 부착 방법

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4724742B2 (ja) * 2008-01-09 2011-07-13 日東電工株式会社 光学表示装置の製造システムおよび光学表示装置の製造方法
DE102009022962A1 (de) * 2009-05-28 2010-12-02 Siemens Aktiengesellschaft Überwachungssystem und Vorrichtung mit einem solchen Überwachungssystem
US8961718B2 (en) 2013-05-08 2015-02-24 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Apparatus and method for laminating anisotropic conductive film on flat display panel
CN103231572B (zh) * 2013-05-08 2015-11-11 深圳市华星光电技术有限公司 平面显示面板贴附异向导电膜的设备及方法
CN106863993A (zh) * 2016-12-30 2017-06-20 大连益盛达智能科技有限公司 一种用于液晶玻璃面板保护膜撕膜的撕膜胶带贴附机构

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5363179A (en) * 1993-04-02 1994-11-08 Rexham Graphics Inc. Electrographic imaging process
US6159327A (en) * 1996-04-12 2000-12-12 Polaroid Corporation Apparatus and method for applying heat bondable lamina to a substrate
JPH1134281A (ja) * 1997-07-14 1999-02-09 Somar Corp フィルム張付方法及び装置
JP3562468B2 (ja) * 1998-09-11 2004-09-08 日立化成工業株式会社 ラミネート装置及びラミネート方法
JP2002148794A (ja) * 2000-11-15 2002-05-22 Fuji Photo Film Co Ltd 感光層転写装置及び方法
JP2002166476A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Canon Inc ラミネート装置及びラミネート成品の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012128468A2 (ko) * 2011-03-21 2012-09-27 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널용 필름 부착 장치 및 이를 이용한 필름 부착 방법
WO2012128468A3 (ko) * 2011-03-21 2012-11-22 엘지전자 주식회사 디스플레이 패널용 필름 부착 장치 및 이를 이용한 필름 부착 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20090050261A1 (en) 2009-02-26
CN101146682B (zh) 2012-02-01
WO2006100819A3 (en) 2007-04-19
EP1881896A2 (en) 2008-01-30
CN101146682A (zh) 2008-03-19
WO2006100819A2 (en) 2006-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20090044900A1 (en) Method of and apparatus for laminated substrate assembly
KR20070110385A (ko) 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법
WO2006129870A2 (en) Method of and apparatus for partly cutting laminated film
JP4774243B2 (ja) 感光性積層体の製造装置及び製造方法
KR20070106795A (ko) 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법
WO2007034762A1 (en) Apparatus for and method of peeling laminated body
WO2007034991A1 (en) Method of applying web
WO2007034993A1 (en) Apparatus and method for manufacturing a photosensitive laminated body
EP1771772B1 (en) Method of manufacturing photosensitive laminated body and apparatus therefor
JP4881585B2 (ja) 感光性積層体の製造装置及び製造方法
WO2007122843A1 (en) Method of applying elongate web
TW200900225A (en) Apparatus for and method of peeling photosensitive web
TWI338619B (en) Apparatus for and method of manufacturing photosensitive laminated body
TWI356766B (en) Apparatus for and method of manufacturing photosen
JP2011140232A (ja) 感光性積層体の製造装置及び製造方法
KR100893327B1 (ko) 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법
JP2006264064A (ja) 積層体のラミネート方法及びラミネート装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application