KR20070110385A

KR20070110385A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법

Info

Publication number: KR20070110385A
Application number: KR1020077021838A
Authority: KR
Inventors: 카즈요시 스에하라; 노부야스 아키요시; 켄이치 이모토; 료이치 스기하라; 료 모리; 치아키 스즈키
Original assignee: 후지필름 가부시키가이샤
Priority date: 2005-03-23
Filing date: 2006-01-05
Publication date: 2007-11-16
Also published as: WO2006100818A2; CN101146681B; WO2006100818A3; TW200633852A; CN101146681A; US20090078365A1; EP1863633A2

Abstract

제조 장치(20)는 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 기판 반송 기구(45), 접착 기구(46), 및 베이스 박리 기구(186)를 구비하고 있다. 접착 기판(24a)을 냉각하는 냉각 기구(122)는 접착 기구(46)와 베이스 박리 기구(186) 사이에 배치되고, 냉각된 접착 기판(24a)내의 수지층 예컨대, 쿠션층(27)을 가열 기구(182)가 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위로 가열하면서 보호 필름(30)이 박리된 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 접착하여 접착 기판(24a)이 이루어진다.

감광성 적층체

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 지지체상에 감광성 재료층과 보호 필름이 순차적으로 적층된 긴 형상의 감광성 웹을 포함하고, 보호 필름은 소정 길이마다 박리되고, 보호 필름의 박리에 의해 노출된 감광성 재료층이 기판에 접착되는 감광성 적층체의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.

예컨대, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, 및 PDP 패널용 기판은 감광성 재료(감광성 수지)층을 구비하고 기판 표면에 접착된 감광성 시트(감광성 웹)를 구비한다. 감광성 시트는 가요성 플라스틱 지지체상에 순차적으로 적층된 감광성 재료층, 및 보호 필름을 포함한다.

이러한 종류의 감광성 시트를 접착하는 접착 장치는 통상적으로 유리 기판, 수지 기판 등의 기판을 소정 간격으로 반송하고, 감광성 재료층이 각 기판에 접착될 범위에 대응하는 길이로 감광성 시트로부터 보호 필름을 박리한다.

예컨대, 일본 특허 공개 평11-34280호 공보에 개시된 필름 접착 장치 및 방법에 의하면, 첨부 도면 중 도 46에 도시된 바와 같이, 필름 롤(1)로부터 언릴링(unreeling)된 적층 필름(1a)은 가이드 롤러(2a, 2b) 주위에 트레이닝(training) 되어 수평 필름 반송면을 따라 연장된다. 가이드 롤(2b)은 적층 필름(1a)이 반송되는 길이에 의거한 수의 펄스를 출력하는 로터리 엔코더(rotary encoder)(3)와 조합된다.

가이드 롤(2a, 2b)로부터 수평 필름 반송면을 따라 연장된 적층 필름(1a)은 석션 롤(suction roll)(4) 주위에 트레이닝된다. 부분 절단 장치(5)와 커버 필름 박리 장치(6)는 가이드 롤(2b)과 석션 롤(4) 사이에 수평 필름 반송면을 따라 배치된다.

부분 절단 장치(5)는 한쌍의 디스크 커터(disc cutter)(5a, 5b)를 구비하고 있다. 디스크 커터(5a, 5b)는 적층 필름(1a)의 폭방향으로 이동하여 적층 필름(1a)의 커버 필름(도시되지 않음)을 그 배면상의 감광성 수지층과 함께 절단한다.

커버 필름 박리 장치(6)는 점착 테이프 롤(7)로부터 언릴링된 점착 테이프(7a)를 가압 롤러(8a, 8b) 사이의 커버 필름에 대하여 강하게 압착시키고, 이어서, 점착 테이프(7a)를 테이크업 롤(takeup roll)(9) 주위에 권회한다. 커버 필름은 점착 테이프(7a)에 의해 감광성 수지층으로부터 박리되어 테이크업 롤(9) 주위에 점착 테이프(7a)와 함께 권회된다.

석션 롤(4)의 하류에는 기판 반송 장치(10)에 의해 순차적이고 간헐적으로 반송되는 복수의 기판(11)의 상면에 대하여 적층 필름(1a)을 겹쳐서 압착하는 한쌍의 적층 롤(12a, 12b)이 배치된다. 적층 롤(12a, 12b)의 하류에는 지지 필름 테이크업 롤(13)이 배치된다. 각 기판(11)에 접착된 감광성 지지 필름(도시되지 않음)이 박리되어 지지 필름 테이크업 롤(13)에 의해 권회된다.

종래 기술에서는 부분 절단 장치(5)가 적층 필름(1a)의 절단을 개시하면 로터리 엔코더(3)에 의해 생성된 펄스수의 계수(計數)가 개시된다. 로터리 엔코더(3)로부터의 펄스의 계수값이 적층 필름(1a)이 절단될 소정 위치에 대응하는 값에 도달하면 기판 반송 장치(10)가 구동된다. 따라서, 기판(11)은 적층 필름(1a)과 동기하여 적층 롤(12a, 12b) 사이로 반송된다. 이러한 방식으로, 적층 필름(1a)은 각 기판(11)에 접착되도록 위치 결정된다.

종래 기술에서는 부분 절단 장치(5)가 절단을 개시하면 가이드 롤(2b)상의 로터리 엔코더(2)에 의해 생성된 펄스수의 계수가 개시된다. 계수값에 의거하여 부분 절단 부위가 적층 롤(12a, 12b) 사이의 소정 위치에 도달했다고 간주하고 기판(11)을 반송한다.

그러나, 이 경우에는 부분 절단 장치(5)와 적층 롤(12a, 12b) 사이의 길이가 상당히 길다. 따라서, 적층 유닛으로부터의 열로 인해 적층 필름(1a)의 길이가 변화되거나 로터리 엔코더(3)가 미끄러질 수 있다. 따라서, 적층 필름(1a)과 기판(11)을 적층 롤(12a, 12b)에 대하여 정확하게 위치 결정할 수 없다.

본 발명의 목적은 간단한 공정 및 구성으로 긴 형상의 감광성 웹과 기판을 정확하게 접착함으로써 고품질의 감광성 적층체를 제조하는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체 상에 배치된 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층 상에 배치되고 박리 부분과 잔존 부분을 구비한 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 송출하는 웹 송출 기구; 상기 웹 송출 기구에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에 상기 박리 부분과 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위를 형성하는 가공 기구; 상기 잔존 부분을 남기고 상기 박리 부분을 상기 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리하는 박리 기구; 소정 온도로 가열된 기판을 접착 위치로 반송하는 기판 반송 기구; 상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분을 상기 기판 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분이 박리된 상기 감광성 재료층의 노출 부위를 상기 기판에 접착하여 접착 기판을 제조하는 접착 기구; 상기 접착 기구로부터 하류에 배치되어 상기 접착 기판으로부터 상기 지지체를 박리하는 지지체 박리 기구; 상기 접착 기구와 상기 지지체 박리 기구 사이에 배치되어 상기 접착 기판을 냉각하는 냉각 기구; 및 상기 지지체상에 적층된 수지층을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내로 가열하는 가열 기구를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치가 제공된다.

또한, 상기 지지체 박리 기구는 상기 지지체가 박리되면 상기 기판과의 접착 방향을 따라 상기 지지체에 텐션(tension)을 부여하는 텐션 부여 구조를 포함할 수 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 지지체 박리 기구는 상기 지지체가 외주부를 따르게 하여 상기 기판으로부터 상기 지지체를 박리하는 박리 롤러, 및 상기 기판 사이에서 이동하면서 상기 박리 롤러의 외주부를 따라 상기 지지체를 가이드하는 박리 가이드 부재를 포함할 수 있는 것이 바람직하다.

더욱이, 상기 접착 기구는 소정 온도로 가열된 한쌍의 고무 롤러, 및 상기 한쌍의 고무 롤러와 슬라이딩 접촉하는 한쌍의 백업 롤러를 포함할 수 있고, 하나 이상의 상기 고무 롤러 및/또는 하나 이상의 상기 백업 롤러의 외주면은 크라운 형상으로 설정될 수 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체상에 배치된 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층상에 배치되고 박리 부분과 잔존 부분을 구비한 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 송출하는 웹 송출 기구; 상기 웹 송출 기구에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에 상기 박리 부분과 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 부분 절단 부위를 형성하는 가공 기구; 상기 잔존 부분을 남기고 상기 박리 부분을 상기 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리하는 박리 기구; 소정 온도로 가열된 기판을 접착 위치로 반송하는 기판 반송 기구; 상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분을 상기 기판 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분이 박리된 상기 감광성 재료층의 노출 부위를 상기 기판에 접착하여 접착 기판을 제조하는 접착 기구; 및 상기 접착 기구로부터 하류에 배치되어 상기 접착 기판으로부터 상기 지지체를 박리하는 지지체 박리 기구를 포함하고: 상기 가공 기구는 상기 긴 형상의 감광성 웹에 상기 부분 절단 부위를 형성하는 커터, 및 부분 절단이 이루어질 때 상기 부분 절단 부위를 상기 커터에 대응하는 소정 온도로 가열하는 히터를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체상에 배치된 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층상에 배치되고 박리 부분과 잔존 부분을 구비한 보호 필름을 각각 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 송출하는 공정; 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에 상기 박리 부분과 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위를 형성하는 공정; 상기 잔존 부분을 남기고 상기 박리 부분을 상기 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리하는 공정; 소정 온도로 가열된 기판을 접착 위치로 반송하는 공정; 상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분을 상기 기판 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분이 박리된 상기 감광성 재료층의 노출 부위를 상기 기판에 접착하여 접착 기판(24a)을 제조하는 공정; 상기 접착 위치로부터 하류 위치에서 상기 접착 기판을 냉각하는 공정; 및 상기 지지체상에 적층된 수지층을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내로 가열하는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법도 제공된다.

또한, 상기 감광성 적층체의 제조 방법은 상기 접착 위치의 하류에서 상기 긴 형상의 감광성 웹을 상기 접착 기판 사이에서 절단한 후 상기 각 지지체를 상기 접착 기판으로부터 박리하여 감광성 적층체를 얻는 공정; 및 상기 지지체가 박리되면 상기 기판과의 접착 방향을 따라 상기 지지체에 텐션을 부여하는 공정을 포함할 수 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 감광성 적층체의 제조 방법은 상기 지지체가 박리 롤러의 외주부를 따르게 하여 상기 지지체를 상기 기판으로부터 박리하는 공정; 및 박리 가이드 부재가 상기 기판 사이에서 이동하면서 상기 박리 롤러의 외주부를 따라 상기 지지체를 가이드하는 공정을 포함할 수 있는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체상에 배치된 감광성 재료층, 및 상기 감광성 재료층상에 배치되고 박리 부분과 잔존 부분을 구비한 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 송출하는 공정; 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹의 상기 보호 필름에 있어서의 상기 박리 부분과 상기 잔존 부분 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 부분 절단 부위를 커터에 대응하는 소정 온도로 가열하면서 상기 긴 형상의 감광성 웹을 부분 절단하는 공정; 상기 잔존 부분을 남기고 상기 박리 부분을 상기 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리하는 공정; 소정 온도로 가열된 기판(24)을 접착 위치로 반송하는 공정; 상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분을 상기 기판 사이에 위치시키고 상기 박리 부분이 박리된 감광성 재료층의 노출 부위를 상기 기판에 접착하여 접착 기판을 제조하는 공정; 및 상기 접착 위치의 상류 부근에서 상기 긴 형상의 감광성 웹을 소정 온도로 예열하는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법도 제공된다.

상기 특징의 결과로서, 감광성 재료층을 기판상에 효율적으로 전사할 수 있고, 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조할 수 있다. 또한, 긴 형상의 감광성 웹에 있어서, 수지층 내의 잔류 응력을 확실하게 완화시킬 수 있고, 지지체를 수지층으로부터 용이하고 양호하게 박리할 수 있다.

본 발명의 목적, 특징, 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시형태를 예시로서 나타낸 첨부 도면을 참조한 이하의 상세한 설명으로부터 더 명확해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 2는 제조 장치에 사용된 긴 형상의 감광성 웹의 확대 단면도이다.

도 3은 접착 라벨이 접착된 긴 형상의 감광성 웹의 평면도이다.

도 4는 제조 장치에 있어서의 접착 기구의 정면도이다.

도 5는 제조 장치에 있어서의 관통부의 단면도이다.

도 6은 초기 상태를 나타내는 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 7은 보호 필름이 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리되는 방식을 나타낸 측면도이다.

도 8은 고무 롤러 사이에 유리 기판이 삽입되는 방식을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 9는 고무 롤러의 회전이 개시되는 방식을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 10은 제 1 유리 기판상의 적층 처리 종료시의 동작을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 11은 고무 롤러와 기판 반송 롤러의 회전이 개시되는 방식을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 12는 감광성 수지층이 전사된 유리 기판의 단면도이다.

도 13은 기판 반송 롤러가 접착 기판으로부터 이격되는 방식을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 14는 긴 형상의 감광성 웹이 접착 기판 사이에서 절단되는 방식을 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 15는 정시 상태를 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 16은 종료 상태를 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 17은 긴 형상의 감광성 웹의 선단이 위치 설정된 상태를 나타낸 제조 장치의 일부 개략도이다.

도 18은 유리 기판에 대하여 감광성 수지층이 진행되는 방식을 나타낸 평면도이다.

도 19는 유리 기판에 대하여 감광성 수지층이 지연되는 방식을 나타낸 평면도이다.

도 20은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 21은 유리 기판에 규정 길이의 감광성 수지층이 접착되는 방식을 나타낸 평면도이다.

도 22는 유리 기판에 규정 길이보다 긴 감광성 수지층이 접착되는 방식을 나타낸 평면도이다.

도 23은 유리 기판에 규정 길이보다 짧은 감광성 수지층이 접착되는 방식을 나타낸 평면도이다.

도 24는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 25는 제 3 실시형태에 의한 제조 장치에 있어서의 프리필러의 확대 단면도이다.

도 26은 프리필러가 동작하는 방식을 나타낸 확대 단면도이다.

도 27은 유리 기판에 접착된 감광성 수지층의 위치가 검출되는 방식을 나타낸 도면이다.

도 28은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 29는 제조 장치에 사용되는 긴 형상의 감광성 웹의 단면도이다.

도 30은 온도와 tanδ 사이의 특성을 나타낸 도면이다.

도 31은 제조 장치의 일부를 형성하는 박리 기구의 개략 사시도이다.

도 32는 박리 기구의 요부 사시도이다.

도 33은 박리 기구의 동작을 나타낸 도면이다.

도 34는 베이스 필름의 표면 온도와 필름 박리 불량 사이의 관계를 나타낸 도면이다.

도 35는 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구의 개략 사시도이다.

도 36은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구의 개략 사시도이다.

도 37은 본 발명의 제 7 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 자동 베이스 박리 기구의 개략 사시도이다.

도 38은 자동 베이스 박리 기구의 동작을 나타낸 도면이다.

도 39는 자동 베이스 박리 기구의 동작을 나타낸 도면이다.

도 40은 자동 베이스 박리 기구의 동작을 나타낸 도면이다.

도 41은 테이퍼진 부분을 포함하는 박리 바를 나타낸 도면이다.

도 42는 본 발명의 제 8 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 접착 기구의 정면도이다.

도 43은 접착 기구의 일부를 형성하는 크라운 롤러를 나타낸 도면이다.

도 44는 본 발명의 제 9 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 가공 기구의 개략 사시도이다.

도 45는 가공 기구의 개략 측면도이다.

도 46은 종래의 필름 접착 장치의 개략 측면도이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 의한 감광성 적층체의 제조 장치(20)의 개략 측면도이다. 제조 장치(20)는 액정 또는 유기 EL 컬러 필터의 제작 공정에서 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사하는 작업을 행한다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용된 감광성 웹(22)의 단면도이다. 감광성 웹(22)은 가용성 베이스 필름(지지체)(26)의 적층 어셈블리, 가요성 베이스 필름(26)상에 배치된 감광성 수지층(감광성 재료층), 및 감광성 수지층(28)상에 배치된 보호 필름(30)을 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 감광성 웹(22)이 권회된 형태의 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고 감광성 웹 롤(22a)로부터 감광성 웹(22)을 송출하는 송출 기구(32), 감광성 웹 롤(22a)로부터 송출된 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)에 폭방향 절단 경계 위치에 위치된 부분 절단 부위(가공 부위)(34)를 형성하는 가공 기구(36), 및 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비하고 있다.

제조 장치(20)에 있어서, 라벨 접착 기구(40)의 하류에는 감광성 웹(22)의 반송 모드를 간헐 반송 모드로부터 연속 반송 모드로 변경하는 레저버 기구(reservoir mechanism)(42), 감광성 웹(22)으로부터 소정 길이의 보호 필름(30)을 박리시키는 박리 기구(44), 유리 기판(24)을 소정 온도로 가열하여 접착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45), 및 보호 필름(30)을 박리함으로써 노출된 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 접착하는 접착 기구(46)가 배치된다.

접착 기구(46)에 있어서의 접착 위치의 상류 근방에는 감광성 웹(22)의 경계 위치인 부분 절단 부위(34)를 직접 검출하는 검출 기구(47)가 배치된다. 접착 기구(46)의 하류에는 인접한 유리 기판(24) 사이에서 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)가 배치된다. 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에는 제조 장치(20)의 운전 시작 및 종료시에 사용되는 웹 절단 기구(48a)가 배치된다.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 본질적으로 사용되는 감광성 웹(22)의 후단과 새롭게 사용될 감광성 웹(22)의 선단을 접착하는 접착 베이스(49)가 배치된다. 접착 베이스(49)의 하류에는 감광성 웹 롤(22a)의 권회 불균일에 의한 감광성 웹(22)의 폭방향 시프트를 제어하는 필름 단부 위치 검출기(51)가 배치된다. 감광성 웹(22)에 있어서의 필름 단부의 위치는 송출 기구(32)를 폭방향으로 이동시킴으로써 조정된다. 그러나, 감광성 웹(22)에 있어서의 필름 단부의 위치를 롤러와 조합된 위치 조정 기구에 의해 조정할 수 있다. 송출 기구(32)는 감광성 웹 롤(22a)을 지지하고 감광성 웹(22)을 송출하는 2개 또는 3개의 언릴링 축(unreeling shaft)을 포함하는 다축 기구(multi-shaft mechanism)를 포함할 수 있다.

가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용된 감광성 웹 롤(22a)의 직경을 산 출하는 각각의 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 단일 원형 블레이드(single circular blade)(52)를 구비하고, 이 원형 블레이드(52)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 주행하여 감광성 웹(22)의 소정 위치에 부분 절단 부위(34)를 형성한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 부분 절단 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)내 그리고 보호 필름(30)을 교차하여 형성될 필요가 있다. 실제적으로 보호 필름(30)을 확실하게 절단하기 위해 감광성 수지층(28) 또는 베이스 필름(26)을 충분히 깊이 절단하도록 원형 블레이드(52)의 절단 깊이가 설정된다. 원형 블레이드(52)는 회전하지 않고 고정된 상태에서 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동하여 부분 절단 부위(34)를 형성하거나, 감광성 웹(22)상에서 미끄러지지 않고 회전하면서 폭방향으로 이동하여 부분 절단 부위(34)를 형성할 수 있다. 원형 블레이드(52)는 예컨대, 레이저 빔, 초음파 커터(ultrasonic cutter), 나이프 블레이드(knife blade), 또는 푸싱 블레이드(pushing blade)[톰슨 블레이드(Thomson blade)]로 교체될 수 있다.

잔존 부분(30b)이 개재된 2개의 부분 절단 부위(34)를 동시에 형성하기 위해 가공 기구(36)는 감광성 웹(22)이 반송되는 화살표(A) 방향으로 소정 간격으로 배치된 2개의 가공 기구를 포함할 수 있다.

보호 필름(30)내에 형성된 2개의 인접하여 이격된 부분 절단 부위(34)는 2개의 인접한 유리 기판(24) 사이에 간격을 설정하는 기능을 한다. 예컨대, 유리 기판(24)의 각 에지로부터 내측으로 10㎜ 이격된 위치에서 3개의 부분 절단 부위(34)가 보호 필름(30)에 형성된다. 보호 필름(30)에 있어서 부분 절단 부위(34) 사이에 개재되어 유리 기판(24) 사이에 노출된 부분은 후술하는 접착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 프레임으로서 접착될 때 마스크로서 기능한다.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)을 남겨두기 위해 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 처음에 박리될 전방 박리 부분(30aa)과 나중에 박리될 후방 박리 부분(30ab)은 잔존 부분(30b)의 양측에 각각 위치된다.

도 3에 도시된 바와 같이, 각 접착 라벨(38)은 직사각 스트립 형상이고, 보호 필름(30)과 동일한 재료로 이루어진다. 각 접착 라벨(38)은 중앙부에 접착제가 없는 비접착부(약한 접착부)(38a)를 구비하고, 비접착부(38a)의 양측 즉, 접착 라벨(38)의 길이 방향 양단부에 각각 배치된 제 1 접착부(38a)와 제 2 접착부(38b)를 구비하고, 제 1 접착부(38a)와 제 2 접착부(38b)는 각각 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)에 접착된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 5개의 접착 라벨(38)을 소정 간격으로 접착하는 석션 패드(suction pad)(54a∼54e)를 구비하고 있다. 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위해 승강 가능한 지지 베이스(56)는 석션 패드(54a∼54e)에 의해 접착 라벨(38)이 감광성 웹(22)에 접착된 위치에 배치된다.

레저버 기구(42)는 감광성 웹(22)이 레저버 기구(42)의 상류로 반송되는 간헐 반송 모드와 감광성 웹(22)이 레저버 기구(42)의 하류로 반송되는 연속 반송 모 드 사이의 속도 차이를 흡수한다. 레저버 기구(42)는 텐션의 변동을 방지하기 위해 회전 및 진동이 가능한 2개의 댄서 롤러(dancer roller)(60)를 포함하는 댄서 롤러 유닛(dancer roller unit)(61)을 구비하고 있다. 댄서 롤러 유닛(61)은 소망하는 웹의 레저버의 양에 따라 1개의 롤러 또는 3개 이상의 롤러를 포함할 수 있다.

레저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 저감하여 적층시의 감광성 웹(22)의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(suction drum)(62)을 구비하고 있다. 박리 기구(44)는 석션 드럼(62)의 근방에 배치된 박리 롤러(63)로 구비하고 있다. 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(30b)을 제외하고 보호 필름 테이크업 유닛(protective film takeup unit)(64)에 의해 권회된다.

박리 기구(44)의 하류에는 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)를 구비하고, 이 실린더(68)가 구동되어 텐션 댄서(tension dancer)(70)가 요동 변위됨으로써 텐션 댄서(70)가 롤링 접촉된 감광성 웹(22)의 텐션이 조정된다. 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용될 수 있고 제거될 수 있다.

검출 기구(47)는 부분 절단 부위(34)에 있어서의 쐐기형 홈, 보호 필름(30)의 상이한 두께에 의한 단차, 또는 이것들의 조합으로 인한 감광성 웹(22)에 있어서의 변화를 직접 검출하는 레이저 센서, 포토센서 등의 광전 센서(72)를 구비하고 있다. 광전 센서(72)로부터 검출된 신호는 보호 필름(30)에 있어서의 경계 위치를 나타내는 경계 위치 신호로서 사용된다. 광전 센서(72)는 백업 롤러(73)에 대향하 여 배치된다. 대안으로서, 비접촉 변위계나 CCD 카메라 등의 화상 검사 수단이 광전 센서(72)를 대신하여 사용될 수 있다.

검출 기구(47)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)의 위치 데이터는 실시간으로 통계 처리되고, 그래프 데이터로 변환될 수 있다. 검출 기구(47)에 의해 검출된 위치 데이터가 지나친 변동이나 바이어스(bias)를 나타내면 제조 장치(20)는 경보를 발생시킬 수 있다.

제조 장치(20)는 경계 위치 신호를 생성하기 위해 다른 시스템을 사용할 수 있다. 이러한 다른 시스템에 의하면, 부분 절단 부위(34)가 직접 검출되지 않지만 감광성 웹(22)에 마크가 부착된다. 예컨대, 가공 기구(36) 근방의 부분 절단 부위34)에 인접한 감광성 웹(22)에 홀 또는 오목부를 형성하거나, 레이저 빔 또는 아쿠아젯(aqua jet)에 의해 감광성 웹(22)을 슬릿팅(slitting)하거나, 잉크젯 또는 프린터에 의해 마크를 형성할 수 있다. 감광성 웹(22) 상의 마크를 검출하고, 검출된 신호를 경계 위치 신호로서 사용한다.

기판 반송 기구(45)는 유리 기판(24)을 샌드위칭(sandwiching)하고 가열하기 위해 배치된 복수의 기판 가열 유닛(예컨대, 히터)(74), 유리 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송부(76)를 구비하고 있다. 기판 가열 유닛(74)에서 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시한다. 감시된 유리 기판(24)의 온도가 비정상이면 반송부(76)가 정지되어 경보가 발생되고, 비정상 유리 기판(24)을 후공정으로 리젝팅 및 배출하기 위해 비정상 정보가 발신되고, 또한, 품질 관리 또는 생산 관리를 위해 사용된다. 반송부(76)는 화살표(C) 방향으로 유리 기판(24)을 부상시켜서 반 송하기 위한 에어-부상 플레이트(air floated plate)(도시되지 않음)를 구비하고 있다. 그 대신에, 반송부(76)는 유리 기판(24)을 반송하는 롤러 콘베이어를 포함할 수 있다.

유리 기판(24)의 온도는 기판 가열 유닛(74)에서 측정되거나 접촉 처리(예컨대, 열전쌍을 사용함) 또는 비접촉 처리에 의한 접착 위치 직전에 측정되는 것이 바람직하다.

기판 가열 유닛(74)의 상류에는 복수의 유리 기판(24)이 수용되는 기판 스토리지 프레임(substrate storage frame)(71)이 배치된다. 기판 스토리지 프레임(71)에 수용된 유리 기판(24)은 로보트(75)의 핸드부(75a)상의 석션 패드(79)에 의해 하나씩 접착되고, 기판 스토리지 프레임(71)으로부터 꺼내져서 기판 가열 유닛(74)에 삽입된다.

기판 가열 유닛(74)의 하류에는 유리 기판(24)의 선단에 접하고, 유리 기판(24)을 유지하는 스토퍼(stopper)(77), 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(78)가 배치된다. 위치 센서(78)는 유리 기판(24)의 접착 위치를 향하는 도중에 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한다. 위치 센서(78)가 유리 기판(24)의 선단 위치를 검출한 후 유리 기판(24)이 소정 거리 반송되어 접착 기구(46)의 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 위치된다. 유리 기판(24)이 위치 센서(78)의 각 위치에 도달하는 시간을 감시하기 위해 반송로를 따라 소정 간격으로 복수의 위치 센서(78)를 배치함으로써 유리 기판(24)의 반송이 개시되면 유리 기판(24)의 미끄러짐 등으로 인한 지연을 체킹하는 것이 바람직하다. 도 1에서는 유리 기판(24)을 반송하면 서 기판 가열 유닛에 의해 가열한다. 그러나, 유리 기판(24)을 로보트에 의해 배치-히팅 오븐(batch-heating oven)에서 가열하여 반송할 수 있다.

접착 기구(46)는 소정 온도로 가열될 수 있는 한쌍의 상하로 이격된 적층 고무 롤러(80a, 80b)를 구비하고 있다. 접착 기구(46)는 고무 롤러(80a, 80b)와 각각 롤링 접촉으로 유지되는 한쌍의 백업 롤러(82a, 82b)도 구비하고 있다. 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프 유닛(roller clamp unit)(83)에 의해 고무 롤러(80b)에 대하여 가압된다.

도 4에 도시된 바와 같이, 롤러 클램프 유닛(83)은 구동 모터(93)를 구비하고, 이 구동 모터(93)의 구동축에 연결된 감속기(93a)의 구동축(93b)에 볼 나사(94)가 동축상으로 접속된다. 너트(95)는 볼 나사(94)에 나사 결합되고, 슬라이드 베이스(slide base)(96)에 고정된다. 슬라이드 베이스(96)의 각 양단에는 화살표(B)로 표시된 감광성 웹(22)의 폭방향으로 테이퍼진 캠(tapered cam)(97a, 97b)이 고정, 장착된다. 테이퍼진 캠(97a, 97b)은 화살표(B) 방향으로 점점 높아진다. 롤러(98a, 98b)는 테이퍼진 캠(97a, 97b) 상에 각각 위치되고, 가압 실린더(84a, 84b)의 하단에 각각 유지되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)가 고무 롤러(80a) 근방에 이동 가능하게 배치되어 감광성 웹(22)과 고무 롤러(80a)의 접촉이 방지된다. 접착 기구(46)의 상류 근방에는 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예열하는 예열 유닛(87)이 배치된다. 예열 유닛(87)은 자외선 바 히터(infrared bar heater) 또는 열 접착 수단을 포함한다.

유리 기판(24)은 화살표(C) 방향으로 연장된 반송로(88)를 따라 기판간 웹 절단 기구(48)를 통해 접착 기구(46)로부터 반송된다. 반송로(88)는 웹 절단 기구(48a)가 개재된 필름 반송 롤러(90)와 기판 반송 롤러(92)를 포함하는 롤러의 어레이를 포함한다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92) 사이의 거리는 유리 기판(24)의 길이보다 작거나 같다.

제조 장치(20)에 있어서, 접착 기구(46)상에는 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66), 및 검출 기구(47)가 배치된다. 반대로, 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 텐션 제어 기구(66), 및 검출 기구(47)를 접착 기구(46)의 하방에 배치하여 감광성 웹(22)의 상하가 반대가 되고, 유리 기판(24) 하방에 감광성 수지층(28)이 접착된다. 대안으로서, 제조 장치(20)의 모든 기구를 직선상으로 배치할 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 적층 공정 제어부(100)에 의해 전체적으로 제어된다. 제조 장치(20)는 제조 장치(20)의 각 기능부를 제어하기 위한 예컨대, 적층 제어부(102) 또는 기판 가열 제어부(104)도 구비하고 있다. 이러한 제어부들이 공정내 네트워크에 의해 연결되어 있다. 적층 공정 제어부(100)는 제조 장치(20)와 일체화된 공장 네트워크에 연결되어 있고, 도시되지 않은 공장 CPU로부터의 지시 정보(조건 설정이나 생산 정보)에 의거하여 생산 관리나 기구 동작 관리 등 생산을 위한 정보 처리를 수행한다.

기판 가열 제어부(104)는 상류 공정으로부터 유리 기판(24)을 받아 소망하는 온도로 가열하는 기판 가열 유닛(74)을 제어하고, 가열된 유리 기판(24)을 접착 기구(46)로 반송하는 반송부(76)를 제어하고, 유리 기판(24)에 대한 정보의 핸들링(handling)도 제어한다.

적층 제어부(102)는 제조 장치(20)의 각 기능부를 제어하는 공정 마스터로서 기능한다. 적층 제어부(102)는 검출 기구(47)에 의해 검출된 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)의 위치 정보에 의거하여 예컨대, 기판 반송 기구(45)를 제어하는 제어 기구로서 동작한다.

제조 장치(20)의 설치 공간은 분할벽(110)에 의해 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)로 분할되어 있다. 제 1 클린룸(112a)에는 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 및 텐션 제어 기구(66)가 수용된다. 제 2 클린룸(112b)에는 검출 기구(47)와 검출 기구(47) 이후의 다른 구성요소들이 수용된다. 제 1 클린룸(112a)과 제 2 클린룸(112b)은 관통부(114)에 의해 서로 연통되어 있다.

도 5에 도시된 바와 같이, 관통부(114)는 제 1 클린룸(112a)에 배치된 디더스터(deduster)(115)와 제 2 클린룸(112b)에 배치된 에어 실부(air sealer)(116)를 구비하고 있다.

디더스터(115)는 감광성 웹(22)의 양면에 대향하여 배치되는 한쌍의 석션 노즐(suction nozzle)(117a, 117b)과 석션 노즐(117a)에 각각 배치된 한쌍의 이젝션 노즐(ejection nozzle)(118)을 구비하고 있다. 이젝션 노즐(118)은 에어(air)를 감광성 웹(22)으로 이젝팅(ejecting)하여 감광성 웹(22)으로부터 먼지 입자를 제거하 고, 석션 노즐(117a)은 이젝팅된 에어와 제거된 먼지 입자를 흡인한다. 대안으로서, 이젝션 노즐(118) 없이 석션 노즐(117a)만 배치할 수 있다.

에어 씰부(116)는 감광성 웹(22)의 양면에 대항하여 배치되는 한쌍의 석션 노즐(117b)을 구비하고 있다. 석션 노즐(117b)은 에어를 흡인하여 관통부(114)를 밀봉한다. 디더스터(115)와 에어 씰부(116)의 위치를 스위칭하거나 복수의 디더스터(115)와 복수의 에어 씰부(116)를 서로 조합시킬 수 있다. 감광성 웹(22)에 있어서의 감광성 수지층(28)이 노출된 면에 대향하여 이젝션 노즐(118) 없이 석션 노즐(117a)만 배치할 수 있다.

제조 장치(20)에 있어서, 분할벽(110)은 접착 기구(46)로부터의 가열된 에어가 감광성 웹(22)에 열적 영향을 주어서 예컨대, 감광성 웹(22)의 주름, 변형, 열수축, 또는 스트레칭(stretching)을 방지한다. 분할벽(110)은 먼지 입자가 발생하여 낙하하기 쉬운 제조 장치(20)의 상부 즉, 제 1 클린룸(112a)을 제조 장치(20)의 하부 즉, 제 2 클린룸(112b)으로부터 차단함으로써 접착 기구(46)를 특히 깨끗하게 유지한다. 제 2 클린룸(112b) 내의 압력을 제 1 클린룸(112a) 내의 압력보다 높게 유지함으로써 먼지 입자가 제 1 클린룸(112a)으로부터 제 2 클린룸(112b)으로 유입되는 것을 방지하는 것이 바람직하다.

제 2 클린룸(112b)의 상부에 클린 에어를 하방을 향해 공급하기 위한 에어 공급부(도시되지 않음)가 배치된다.

본 발명에 의한 제조 방법을 수행하는 제조 장치(20)의 동작을 이하에 설명한다.

초기에 감광성 웹(22)을 적소에 위치시키기 위해 감광성 웹(22)은 송출 기구(32)에 수용된 감광성 웹 롤(22a)로부터 언릴링된다. 감광성 웹(22)은 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 레저버 기구(42), 박리 기구(44), 및 접착 기구(46)을 통해 필름 반송 롤러(90)로 반송된다. 감광성 웹(22)의 선단은 필름 반송 롤러(90)에 의해 핀칭(pinching)된다.

부분 절단 부위(34)가 광전 센서(72)에 의해 검출되면 광전 센서(72)로부터의 검출 신호에 의거하여 필름 반송 롤러(90)가 회전한다. 감광성 웹(22)이 필름 반송 롤러(90)에 의해 접착 위치로 소정 거리 반송된다. 부분 절단 부위(34)는 접착 위치에 대응하여 위치 결정된다. 대안으로서, 부분 절단 부위(34)는 접착 위치의 하류에서 검출될 수 있고, 감광성 웹(22)은 소정 위치에 정지될 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)가 하강하여 감광성 웹(22)과 고무 롤러(80a)의 접촉이 방지된다. 유리 기판(24)은 접착 위치 직전에서 대기하고 있다. 감광성 웹(22)은 제조 장치(20)의 초기 상태에 있게 된다.

적층 모드에 있어서의 제조 장치(20)의 기능부의 동작을 하기에 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 가공 기구(36)에서는 원형 블레이드(52)가 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동하여 보호 필름(30), 감광성 수지층(28), 및 베이스 필름(26)으로 절단함으로써 부분 절단 부위(34)를 형성한다(도 2 참조). 이어서, 감광성 웹(22)은 보호 필름(30)의 잔존 부분(30b)의 수치에 대응하는 거리로 화살표(A) 방향으로 다시 반송되고, 정지되어서 원형 블레이드(52)에 의해 다른 부분 절단 부위(34)가 형성된다. 도 2에 도시된 바와 같이, 전방 박리 부분(30aa)과 후 방 박리 부분(30ab)이 잔존 부분(30b)이 사이에 개재된 감광성 웹(22)에 형성된다.

이어서, 라벨 접착 기구(40)로 반송되어 지지 베이스(56)상에 보호 필름(30)의 소정 접착 부위가 위치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정수의 접착 라벨(38)이 석션 패드(54a∼54b)의 흡인 및 유지하에 접착되고, 잔존 부분(30b)을 넘어 전방 박리 부분(30aa)과 후방 박리 부분(30ab)에 확실하게 접착된다(도 3 참조).

예컨대, 5개의 접착 라벨(38)이 접착된 감광성 웹(22)은 레저버 기구(42)에 의해 공급된 감광성 웹(22)이 서브젝팅되는 텐션의 변동으로부터 아이솔레이팅(isolating)되어 박리 기구(44)로 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는, 도 7에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 접착되고, 보호 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 보호 필름(30)은 예각으로 박리되어 보호 필름 테이크업 유닛(64)에 의해 권회된다(도 1 참조).

이때, 감광성 웹(22)은 석션 드럼(62)에 의해 확실히 유지되고, 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)이 박리될 때 생성된 충격이 석션 드럼(62) 하류의 감광성 웹(22)에 전달되지 않는다. 따라서, 이러한 충격이 접착 기구(46)에 전달되지 않기 때문에 유리 기판(24)의 적층 부분에 스트립 형상의 불량 개소가 발생하는 것을 양호하게 저지된다.

박리 기구(44)에 의해 보포 필름(30)이 잔존 부분(30b)을 남기고 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66)에 의해 텐션 조정이 이루어지고, 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출 기구(47)의 광전 센 서(72)에 의해 검출된다.

부분 절단 부위(34)의 검출 정보에 의거하여 필름 반송 롤러(90)이 회전하여 감광성 웹(22)이 접착 기구(46)로 소정 거리 반송된다. 이때, 접촉 방지 롤러(86)는 감광성 웹(22) 상에서 대기하고, 고무 롤러(80b)는 감광성 웹(22)의 하방에 배치된다.

도 8에 도시된 바와 같이, 예열된 제 1 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)에 의해 접착 위치로 반송된다. 유리 기판(24)은 감광성 웹(22)의 접착된 감광성 수지층(28)과 일직선상으로 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 임시 배치된다.

이어서 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)에 의해 볼 나사(94)가 소정 방향으로 회전하고, 볼 나사(94)에 나사 결합된 너트(95)와 일체적으로 슬라이드 베이스(96)가 화살표(B2) 방향으로 이동한다. 따라서, 테이퍼진 캠(97a, 97b)은 롤러(98a, 98b)와의 접촉면이 높아져서 롤러(98a, 98b)를 상방으로 변위시킨다. 가압 실린더(84a, 84b)가 상승하고, 백업 롤러(82b)와 고무 롤러(80b)를 상승시켜서 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 프레싱 압력으로 유리 기판(24)을 샌드위칭한다. 이때, 프레싱 압력은 가압 실린더(84a, 84b)에 공급된 에어의 압력에 의해 조정된다. 고무 롤러(80a)가 회전하여 열에 의해 용융된 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)에 전사, 즉 적층된다.

감광성 수지층(28)이 1.0m/분∼10.0m/분의 범위의 속도로 반송되고, 고무 롤러(80a, 80b)가 100℃∼150℃의 범위의 온도와 40∼90 범위의 강도를 갖고, 50N/㎝∼400N/㎝의 압력(선압)을 가하는 조건하에서 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24) 상에 적층된다.

도 9에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24)의 선단이 필름 반송 롤러(90)의 근방에 도달하면 필름 반송 롤러(90)는 유리 기판(24)으로부터 멀리 이동한다. 화살표(C)로 표시된 유리 기판(24)의 전방으로 돌출된 감광성 웹(22)의 선단이 웹 절단 기구(48a)에 대하여 소정 위치에 도달하면 웹 절단 기구(48a)가 구동되어 감광성 웹(22)의 선단을 절단한다. 웹 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 선단을 절단했을 때, 동작이 정지된 때, 및 감광성 웹(22)의 절단에 트러블이 발생한 때를 제외하고 대기 위치로 복귀된다. 웹 절단 기구(48a)는 제조 장치(20)의 보통 동작시에는 사용되지 않는다.

도 10에 도시된 바와 같이, 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 감광성 웹(22)이 그 후단까지 유리 기판(24)에 적층되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지되고, 감광성 웹(22)이 적층된 유리 기판(24)[이하, 접착 기판(24a)이라 함]은 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램핑(clamping)된다.

고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 멀리 후퇴하여 접착 기판(24a)이 언클램핑(unclamping)된다. 구체적으로는 도 4에 도시된 바와 같이, 구동 모터(93)에 연결된 감속기(93a)가 역방향으로 되어 볼 나사(94)와 너트(95)가 슬라이드 베이스(96)를 화살표(B1) 방향으로 이동시킨다. 따라서, 테이퍼진 캠(97a, 97b)이 롤러(98a, 98b)에 접촉하는 면의 높이가 낮아져서 가압 실린더(84a, 84b)를 하방으로 변위시킨다. 백업 롤러(82b)와 고무 롤러(80b)가 하강하여 접착 기판(24a)이 언클램핑된다.

기판 반송 롤러(92)의 회전이 개시되어 접착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 소정 거리 반송된다. 2개의 인접한 감광성 웹(22)의 사이에 놓이게 될 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(80a)의 하방 위치로 이동한다. 다음 유리 기판(24)은 기판 반송 기구(45)에 의해 접착 위치로 반송된다. 다음 유리 기판(24)의 선단이 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 위치되면 고무 롤러(80b)가 상승하여 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 다음 유리 기판(24)과 감광성 웹(22)이 클램핑된다. 동시에, 기판 반송 롤러(92)가 접착 기판(24a)을 클램핑한다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)가 회전하여 유리 기판(24)상의 감광성 웹(22)의 적층이 개시되고, 접착 기판(24a)이 화살표(C) 방향으로 반송된다(도 11 참조).

이때, 도 12에 도시된 바와 같이, 접착 기판(24)의 양단은 각각의 잔존 부분(30b)으로 커버링된다.

도 13에 도시된 바와 같이, 제 1 접착 기판(24a)의 후단이 기판 반송 롤러(92)에 도달하면 상부의 기판 반송 롤러(92)가 상승하여 제 1 접착 기판(24a)이 언클램핑되고, 하부의 기판 반송 롤러(92)와 반송로(88)의 다른 롤러가 연속적으로 회전하여 접착 기판(24a)을 반송한다. 다음 즉, 제 2 접착 기판(24a)의 후단이 고무 롤러(80a, 80b) 근방에 도달하면 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 회전이 정지된다. 상부의 기판 반송 롤러(92)가 하강하여 제 2 접착 기판(24a)을 클램핑하고, 고무 롤러(80b)가 하강하여 제 2 접착 기판(24a)을 언클램핑한다. 이어서, 기판 반송 롤러(92)가 회전하여 제 2 접착 기판(24a)을 반송한다. 2개의 인접한 유리 기판(24) 사이에 놓이게 될 감광성 웹(22)의 위치(22b)가 고무 롤 러(80a)의 하방 위치로 이동하여 제 3 및 후속 유리 기판(24)상에 감광성 웹(22)이 반복적으로 적층된다.

도 14에 도시된 바와 같이, 2개의 인접한 접착 기판(24a) 사이의 위치가 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 도달하면 기판간 웹 절단 기구(48)는 접착 기판(24a)과 동일한 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 접착 기판(24a) 사이에서 감광성 웹(22)을 절단한다. 그 후, 기판간 웹 절단 기구(48)는 대기 위치로 복귀하고, 베이스 필름(26)과 잔존 부분(30b)이 리딩 접착 기판(leading attached substrate)(24a)으로부터 박리되어 감광성 적층체(106)가 제조된다.

적층 처리가 임시로 정지되면, 도 15에 도시된 바와 같이, 필름 반송 롤러(90)와 고무 롤러(80b)가 언클램핑 위치에 놓이고, 접촉 방지 롤러(86)가 하강하여 감광성 웹(22)과 고무 롤러(80a)의 접촉을 방지한다.

제조 장치(20)의 동작이 종료되면 기판 반송 롤러(92)가 회전하여 접착 기판(24a)을 화살표(C) 방향으로 반송하고, 필름 반송 롤러(90)가 감광성 웹(22)을 클램핑한다. 필름 반송 롤러(90)가 회전하면서 감광성 웹(22)을 클램핑한 상태에서 웹 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 주행하여 감광성 웹(22)을 절단한다.

따라서, 도 16에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이를 통과하고, 필름 반송 롤러(90)에 의해 샌드위칭되고, 하강된 접촉 방지 롤러(86)에 의해 고무 롤러(80a)로부터 이격되어 지지된다. 웹 절단 기구(48a)는 대기 위치에 놓이게 된다.

기판간 웹 절단 기구(48)와 웹 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)을 절단할 때 감광성 웹(22)과 동기하여 화살표(C) 방향으로 이동한다. 그러나, 기판간 웹 절단 기구(48)와 웹 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)의 폭방향으로만 이동하여 감광성 웹(22)을 절단할 수 있다. 웹의 정지시에는 감광성 웹(22)을 톰슨 블레이드로 절단할 수 있거나, 또는 웹의 이동중에는 감광성 웹(22)을 로터리 블레이드(rotary blade)로 절단할 수 있다.

제조 장치(20)의 초기 개시 동작에서는, 도 17에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(86)가 하방에 위치되고, 고무 롤러(80b)가 고무 롤러(80a)로부터 이격된다. 이어서, 필름 반송 롤러(90)가 회전하여 감광성 웹(22)이 웹 폐기 콘테이너(web disposal container)(도시되지 않음)로 배출된다. 이때, 감광성 웹(22)은 웹 절단 기구(48a)에 의해 소정 길이로 절단된다.

검출 기구(47)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출하면 감광성 웹(22)이 검출 위치로부터 소정 길이 반송된다. 구체적으로는, 접촉 방지 롤러(86)가 상승하면 감광성 웹(22)이 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 적층될 위치에 부분 절단 부위(34)가 도달할 때까지 감광성 웹(22)이 반송된다. 감광성 웹(22)의 선단이 적소에 위치된다.

제 1 실시형태에서는 접착 기구(46)의 상류 근방에서 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출 기구(47)에 의해 직접 검출된다. 검출 기구(47)로부터 고무 롤러(80a, 80b)에 의해 부분 절단 부위(34)가 정지되는 위치까지의 거리는 적층될 감광성 웹(22)의 최단 길이보다 짧을 필요가 있다. 이것은 검출된 부분 절단 부 위(34)의 정보를 피드백을 통해 다음 적층 처리에 사용하기 위함이다.

검출 기구(47)는 후술하는 2종류의 측량을 수행한다. 제 1 측량 방법에 의하면, 고무 롤러(80a, 80b)는 유리 기판(24)을 클램핑하고, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전 개시시로부터 유리 기판(24)이 반송된 거리를 나타내는 고무 롤러(80a, 80b)를 회전시키기 위한 구동 모터(도시되지 않음)와 조합된 엔코더에 의해 생성된 펄스수와 부분 절단 부위(34)가 검출 기구(47)에 의해 검출될 때 생성되는 펄스수를 비교함으로써 부분 절단 부위(34)의 변위를 측량한다. 미리 설정된 펄스수에 도달하기 전에 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되면 펄스수 간의 차이에 의해 표시된 거리만큼 유리 기판(24)상의 소정 위치의 전방에 부분 절단 부위(34)가 배치된 것으로 판단된다. 반대로, 미리 설정된 펄스수에 도달한 후에 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 검출되면 유리 기판(24)의 소정 위치의 후방에 부분 절단 부위(34)가 배치된 것으로 판단된다.

제 2 측량 방법에 의하면, 고무 롤러(80a, 80b)를 회전시키기 위한 구동 모터(도시되지 않음)와 조합된 엔코더에 의해 생성된 펄스수를 부분 절단 부위(34)의 검출로부터 다음 부분 절단 부위(34)의 검출까지 측량함으로써 감광성 웹(22)의 적층 길이(H)를 측량한다. 통상적인 조건하에서의 감광성 웹(22)의 적층 길이(H)에 대응하는 미리 설정된 펄스수를 실제로 측량된 펄스수와 비교한다. 실제로 측량된 펄스수가 미리 설정된 펄스수보다 크면 펄스수간의 차이에 의해 표시된 거리만큼 감광성 웹(22)이 열 등에 의해 스트레칭된 것으로 판단된다. 실제로 측량된 펄스수가 미리 설정된 펄스수보다 적으면 감광성 웹(22)이 짧은 것으로 판단된다.

감광성 수지층(28)의 선단이 도 18에 도시된 바와 같이, 제 1 측량 방법에 의해 유리 기판(24)의 접착 범위(P1-P2)에 대하여 동일 또는 거일 동일한 거리로 변위된 것으로 검출되면 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)와 유리 기판(24)의 상대 위치가 조정된다.

구체적으로는, 광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)가 소정 위치보다 앞서 있는 것으로 검출되면, 도 10에 도시된 바와 같이, 기판 반송 롤러(92)는 적층후의 감광성 웹(22)의 비접착 부위를 미리 설정된 거리와 앞선 거리 사이의 차이에 의해 표시된 거리만큼 반송한다. 이에 따라, 부분 절단 부위(34)는 위치 조정되어 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 배치된다. 그 후, 유리 기판(24)은 정상 반송 제어하에 고무 롤러(80a, 80b) 사이로 반송되고, 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 정상 위치 즉, 유리 기판(24)의 접착 범위(P1-P2)에서 접착된다.

도 19에 도시된 바와 같이, 광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)가 유리 기판(24)의 접착 범위(P1-P2)로부터 지연된 것으로 검출되면 기판 반송 롤러(92)는 적층후의 감광성 웹(22)의 비접착 부위를 미리 설정된 거리와 지연된 거리의 합에 의해 표시된 거리만큼 반송한다.

접착 기판(24a)이 반송되는 거리를 기판 반송 롤러(92)에 의해 조정하지 않고 기판 반송 기구(45)를 제어하여 유리 기판(24)이 정지될 위치를 앞서거나 지연된 거리만큼 조정할 수 있다.

광전 센서(72)에 의해 검출된 부분 절단 부위(34)간의 거리 즉, 유리 기 판(24)에 접착될 감광성 수지층(28)의 길이(H)를 제 2 측량 방법에 의해 측량한다. 길이(H)가 접착 범위보다 크면 가공 기구(36)에 의해 부분 절단 부위(34)의 위치를 변경하여 부분 절단 부위(34)간의 거리 즉, 길이(H)를 차이만큼 감소시킨다. 상기 길이(H)가 접착 범위보다 작으면 가공 기구(36)에 의해 부분 절단 부위의 위치를 변경하여 부분 절단 부위(34)간의 거리 즉, 길이(H)를 차이만큼 증가시킨다. 이러한 방식으로 감광성 수지층(28)의 접착 길이를 소정 길이로 조정한다.

텐션 제어 기구(66)의 텐션 댄서(70)에 의해 감광성 웹(22)의 텐션을 조정함으로써 감광성 웹(22)의 스트레칭량(amount of stretch)을 변경하는 것도 가능하다.

따라서, 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 접착 위치에 대하여 고정밀도로 위치 결정할 수 있고, 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 소망하는 부위에 정확하게 접착할 수 있다. 이에 따라, 간단한 공정 및 구성으로 고품질의 감광성 적층체(106)를 효율적으로 제조할 수 있다.

도 20은 본 발명의 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(120)의 개략 측면도이다. 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)와 동일한 제 2 실시형태에 의한 제조 장치(120)의 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고 그 상세한 설명은 생략한다.

도 20에 도시된 바와 같이, 제조 장치(120)는 검출 기구(47a), 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류에 배치된 냉각 기구(122), 및 냉각 기구(122)의 하류에 배치된 베이스 박리 기구(124)를 구비하고 있다. 검출 기구(47a)는 소정 거리(L)만큼 서로 이격되어 각각 백업 롤러(73a, 73b)에 대향하여 배치된 광전 센서(72a, 72b)를 구 비하고 있다.

냉각 기구(122)는 기판간 웹 절단 기구(48)에 의해 접착 기판(24a)과 후속 접착 기판(24a) 사이에서 감광성 웹(22)이 절단된 후 접착 기판(24a)에 냉풍을 공급하여 접착 기판(24a)을 냉각시킨다. 구체적으로는, 냉각 기구(122)가 10℃의 냉풍을 1.0m/분∼2.0m/분의 속도로 공급한다. 대안으로서, 냉각 기구(122)를 사용하지 않을 수 있고, 모든 공개된 냉각용 기구를 사용하지 않고 감광성 적층체 스토리지 프레임(photosensitive laminated body storage frame)(132)(후술함)에서 접착 기판(24a)을 냉각할 수 있다.

냉각 기구(122)의 하류에 배치된 베이스 박리 기구(124)는 접착 기판(24a)의 저면을 흡착하는 복수의 석션 패드(126)를 구비하고 있다. 석션 패드(126)에 의한 석션하에 접착 기판(24a)을 흡착하면서 로보트 핸드(robot hand)(128)에 의해 베이스 필름(26)과 잔존 부분(30b)을 접착 기판(24a)으로부터 박리한다. 석션 패드(126)의 상류, 하류, 및 양측에는 접착 기판(24a)의 접착 부분에 있어서의 4측면으로 이온 에어(ion air)를 이젝팅하기 위한 일렉트릭 뉴트럴라이징 블로워(electric neutralizing blower)(도시되지 않음)가 배치된다. 먼지를 제거하기 위해 접착 기판(24a)을 지지하는 테이블을 수직으로, 비스듬하게, 또는 뒤집으면서 베이스 필름(26)과 잔존 부분(30b)을 접착 기판(24a)으로부터 박리할 수 있다.

베이스 박리 기구(124)의 하류에는 복수의 감광성 적층체(106)를 수용하는 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)이 배치된다. 베이스 박리 기구(124)에 의해 베이스 필름(26)과 잔존 부분(30b)을 접착 기판(24a)으로부터 박리할 때 제조되는 감광성 적층체(106)는 로보트(134)의 핸드(134a)상의 석션 패드(136)에 의해 흡착되고, 베이스 박리 기구(124)로부터 테이킹 아웃(taking out)되어 감광성 적층체 스토리지 프레임(132) 내에 배치된다.

기판 스토리지 프레임(71)과 감광성 적층체 스토리지 프레임(132)은 각각 유리 기판(24) 또는 감광성 적층체(136)가 배치되고, 테이킹 아웃되는 측을 제외한 3측상에 디더스팅 팬 유닛(dedusting fan unit)[또는 덕트 유닛(duct unit)]을 구비하고 있다. 팬 유닛(137)은 기판 스토리지 프레임(71) 및 감광성 적층체 스토리지 프레임(132) 내에 깨끗한 일렉트릭 뉴트럴라이징 에어(electric neutralizing air)를 불어넣는다.

적층 공정 제어부(100)에는 적층 제어부(102), 기판 가열 제어부(104), 및 베이스 박리 제어부(138)도 연결되어 있다. 베이스 박리 제어부(138)는 베이스 박리 기구(124)를 제어하여 접착 기구(46)로부터 공급된 접착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 또한, 감광성 적층체(106)를 후공정으로 배출한다. 베이스 박리 제어부(138)는 접착 기판(24a)과 감광성 적층체(106)에 대한 정보도 핸들링한다.

제 2 실시형태에 의한 검출 기구(47a)에서는 우선, 광학 센서(72)의 상류에 배치된 광전 센서(72a)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출한다. 그 후, 하류 광전 센서(72b)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출한다. 백업 롤러(73a, 73b) 사이의 거리(L)는 유리 기판(24)에 접착되어 있는 감광성 수지층(28)의 길이에 대응한다.

상류 광전 센서(72a)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출한 시간과 하류 광전 센서(72b)가 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 검출한 시간 사이의 차이로부터 감광성 수지층(28)의 실제 접착 길이가 정확하게 산출될 수 있다. 산출된 감광성 수지층(28)의 실제 접착 길이에 의거하여 감광성 웹(22)이 반송되는 속도를 조정하여 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 중앙에 접착한다.

따라서, 제 2 실시형태에 의하면 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34) 사이의 거리 즉, 유리 기판(24)에 접착된 감광성 수지층(28)의 길이(H)를 정확하게 검출하여 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 중앙에 접착한다(도 21 참조).

검출 기구(47a)에 의해 검출된 감광성 수지층(28)의 길이(H1)가 정규 길이(H)보다 길면, 도 22에 도시된 바와 같이, 감광성 수지층(28)의 양단이 접착 길이(L)의 단부로부터 외측으로 등거리로 이격되도록 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 중앙에 접착된다.

검출 기구(47a)에 의해 검출된 감광성 수지층(28)의 길이(H2)가 정규 길이(H)보다 짧으면, 도 23에 도시된 바와 같이, 감광성 수지층(28)의 양단이 접착 길이(L)의 단부로부터 내측으로 등거리로 이격되도록 감광성 수지층(28)이 유리 기판(24)의 중앙에 접착된다. 이 경우에 감광성 수지층(28)의 접착 위치의 목표 변위는 감광성 수지층(28)의 양단이 접착 길이(L)의 양단으로부터 내측으로 등거리로 이격되지 않으면 발생하는 변위의 약 1/2이 된다.

또한, 제 2 실시형태에서는 송출 기구(32)로부터 언릴링된 감광성 웹(22)에 부분 절단 부위(34)를 형성하고, 잔존 부분(30b)을 남겨서 보호 필름(30)을 박리한 후 유리 기판(24)에 감광성 웹(22)을 적층하여 감광성 수지층(28)을 전사하고, 이어서, 베이스 박리 기구(124)에 의해 베이스 필름(26)과 잔존 부분(30b)을 박리함으로써 감광성 적층체(106)를 제조한다. 감광성 적층체(106)를 용이하게 자동적으로 제조할 수 있다.

도 24는 본 발명의 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(140)의 개략 측면도이다. 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)와 동일한 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(120)의 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고 그 상세한 설명은 생략한다.

제조 장치(140)는 트러블이 발생시에 감광성 웹(22)을 절단하고, 불량품을 배출하기 위해 감광성 웹(22)을 분리하는 경우 이외에 통상적으로 사용되지 않는 기판간 웹 절단 기구(48)를 포함한다. 제조 장치(140)는 웹 절단 기구(48a)의 하류에 배치된 냉각 기구(122)와 자동 베이스 박리 기구(142)를 구비하고 있다. 자동 베이스 박리 기구(142)는 소정 간격으로 이격된 유리 기판(24)이 서로 접착된 긴 형상의 베이스 필름(26)을 연속적으로 박리하는 기능을 한다. 자동 베이스 박리 기구(142)는 프리필러(prepeeler)(144), 비교적 직경이 작은 박리 롤러(146), 테이크업 롤(takeup roll)(148), 및 자동 접착 유닛(150)을 구비하고 있다. 테이크업 롤(148)은 베이스 필름(26)에 텐션을 인가하기 위한 동작중의 토크 제어를 수행한다. 예컨대, 박리 롤러(146)내에 배치된 텐션 검출기(도시되지 않음)에 의해 텐션 피드백 제어를 수행하는 것이 바람직하다.

도 25 및 도 26에 도시된 바와 같이, 프리필러(144)는 한쌍의 닙 롤러 어셈블리(nip roller assembly)(152, 154)와 박리 바(peeling bar)(156)를 구비하고 있 다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 유리 기판(24)이 반송되는 방향으로 서로를 향해 그리고 서로 이격되는 방향으로 이동 가능하다. 닙 롤러 어셈블리(152, 154)는 승강 가능한 상부 롤러(152a, 154a)와 하부 롤러(152b, 154b)를 구비하고 있다. 상부 롤러(152a, 154a)가 하강하면 상부 롤러(152a, 154a)와 하부 롤러(152b, 154b)는 그 사이의 유리 기판(24)을 그립핑(gripping)한다. 박리 바(156)는 인접한 유리 기판(24) 사이에서 승강 가능하다. 상부 롤러(152a, 154a)는 압착 바(presser bar) 또는 압착 핀(presser pin)으로 교체될 수 있다.

감광성 웹(22)을 박리 롤러(146)에 의해 또는 박리 롤러(146) 직전 위치에서 30℃∼120℃ 범위 내의 온도로 재가열한다. 이렇게 감광성 웹(22)이 재가열되면 베이스 필름(26)의 박리시에 컬러 재료층(28)의 박리가 방지되어 고품질의 적층면을 유리 기판(24)상에 제조할 수 있다. 온수에 의해 가열된 롤러 등의 가열 롤러로서도 기능하는 박리 롤러(146)에 의해 재가열이 수행된다. 대안으로서, 세퍼레이트 바 히터(separate bar heater) 또는 IR 히터(IR heater)에 의해 재가열을 수행할 수 있다.

자동 베이스 박리 기구(142)의 하류에는 유리 기판(24)에 실제로 접착되는 감광성 수지층(28)의 에어리어(area)를 측정하는 측정기(158)가 배치된다. 측정기(158)는 CCD 등을 각각 포함하는 복수의 이격된 카메라(160)를 구비하고 있다. 도 27에 도시된 바와 같이, 측정기(158)는 예컨대, 감광성 수지층(28)이 접착된 유리 기판(24)의 네 모서리(K1∼K4)의 화상을 캡쳐링하는 4개의 카메라(160)를 구비하고 있다. 대안으로서, 네 모서리(K1∼K4)가 아닌 유리 기판(24)의 종측면 및 횡 측면의 각 화상을 캡쳐링하는 2개 이상의 카메라를 구비할 수 있다.

측정기(158)는 유리 기판(24)의 단면을 검출하는 컬러 센서 또는 레이저 센서를 포함하거나, 유리 기판(24)의 단면을 검출하는 LED 센서, 포토다이오드 센서, 또는 라인 센서의 조합을 포함할 수 있다. 각 단면의 화상을 캡쳐링하여 각 단면의 직선도를 검출하기 위해 이러한 2개 이상의 센서를 사용하는 것이 바람직하다.

표면 검사기(도시되지 않음)를 사용하여 감광성 웹(22) 자체에 기인하는 표면 불균일, 제조 설비에 기인하는 적층 필름 밀도 불균일, 주름, 스트립 패턴(striped pattern), 먼지 입자, 및 이물질 등의 감광성 적층체(106)의 표면 결함을 검출할 수 있다. 이러한 표면 결함을 검출하면 제조 장치(140)는 경보를 발생시키고, 불량품을 배출하고, 검출된 표면 결함에 의거하여 후공정을 관리한다.

제 3 실시형태에 의하면, 감광성 웹(22)이 접착된 접착 기판(24a)은 냉각 기구(122)에 의해 냉각되어 프리필러(144)로 반송된다. 프리필러(144)에서는 닙 롤러 어셈블리(152, 154)가 2개의 인접한 유리 기판(24)의 후단과 선단을 파지하고, 닙 롤러 어셈블리(152)는 유리 기판(24)과 동일한 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하고, 닙 롤러 어셈블리(154)의 화살표(C) 방향으로의 이동 속도가 감속된다.

따라서, 도 26에 도시된 바와 같이, 유리 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)은 닙 롤러 어셈블리(152, 154) 사이에 고정된다. 이어서, 박리 바(156)가 상승하여 감광성 웹(22)을 상방으로 푸싱(pushing)하고, 2개의 인접한 유리 기판(24)의 후단과 선단으로부터 보호 필름(30)이 박리된다.

자동 베이스 박리 기구(142)에서는 테이크업 롤(148)이 회전하여 접착 기 판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 연속적으로 권회한다. 트러블 발생시에 감광성 웹(22)이 절단되고 불량품을 배출하기 위해 분리된 후 감광성 웹(22)이 적층되기 시작한 접착 기판(24a)상의 베이스 필름(26)의 선단과 테이크업 롤(148)상에 권회된 베이스 필름(26)의 후단은 자동 접착 유닛(150)에 의해 서로 자동적으로 접착된다.

베이스 필름(26)이 박리된 유리 기판(24)은 측정기(158)와 조합된 검사 스테이션내에 위치된다. 검사 스테이션에서 유리 기판(24)이 적소에 고정되고, 4개의 카메라(160)가 유리 기판(24)과 감광성 수지층(28)의 화상을 캡쳐링한다. 캡쳐링된 화상을 처리하여 접착 위치(a∼d)를 결정한다.

검사 스테이션에서는 유리 기판(24)을 정지시키지 않고 반송하고, 유리 기판(24)의 폭방향 단부를 카메라 또는 화상 스캐닝에 의해 검출하고, 유리 기판(24)의 종방향 단부는 타이밍 센서에 의해 검출된다. 이어서, 유리 기판(24)을 카메라나 화상 스캐닝 및 센서에 의해 생성된 검출 데이터에 의거하여 측정한다.

제 3 실시형태에서는 감광성 웹(22)을 유리 기판(24)에 적층한 후 2개의 인접한 접착 기판(24a) 사이의 감광성 웹(22)을 절단하지 않는다. 대신, 박리 롤러(146)에 의해 접착 기판(24a)을 가압하면서 베이스 필름(26)을 접착 기판(24a)으로부터 연속적으로 박리하여 회전하는 테이크업 롤(148) 주위에 권회한다. 또한, 박리된 베이스 필름(26)이 용이하게 처리된다.

제 3 실시형태에서는 제 2 실시형태와 동일한 효과 즉, 감광성 적층체(106)를 자동적이고 효율적으로 제조할 수 있는 효과가 얻어진다. 또한, 제조 장치(140) 가 간단하게 구성된다.

도 28은 본 발명의 제 4 실시형태에 의한 제조 장치(180)의 개략 측면도이다.

도 29에 도시된 바와 같이, 제조 장치(180)에 사용되는 감광성 웹(22)은 베이스 필름(26), 쿠션층(열가소성 수지층)(27), 중간층(산소 차단막)(29), 감광성 수지층(28), 및 보호 필름(30)을 적층하여 구성된다.

베이스 필름(26)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)으로 형성되고, 쿠션층(27)은 에틸렌과 산화 비닐 코폴리머(oxidized-vinyl copolymer)로 형성되고, 중간층(29)은 폴리비닐 알콜로 형성되고, 감광성 수지층(28)은 알칼리 가용성 바인더(alkaline soluble binder), 모노머(monomer), 포토-폴리머라이징 이니시에이터(photo-polymerizing initiator), 및 착색제를 포함하는 착색 감광성 수지 조성물로 형성되고, 보호 필름(30)은 폴리프로필렌으로 형성된다.

제조 장치(180)는 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류에 보호 필름(30)이 박리된 감광성 웹(22)과 유리 기판(24)이 접착된 접착 기판(24a)을 냉각하는 냉각 기구(122), 냉각된 상기 접착 기판(24a) 내의 수지층 예컨대, 쿠션층(27)을 유리 전이 온도(Tg) 이하의 소정 온도 범위(후술함)로 가열하는 가열 기구(182), 및 복수의 석션 패드(184)에 의한 석션하에 지지되는 상기 접착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리함으로써 감광성 적층체(106)를 제조하는 베이스 박리 기구(186)를 포함한다.

냉각 기구(122)는 접착 기판(24a)을 향하여 냉각된 에어 스트림(chilled air stream)을 공급하여 냉각 처리를 실시한다. 더 구체적으로는, 냉각 온도를 10℃로, 바람 또는 에어 스트림의 속도를 0.5m/분∼2.0m/분으로 설정함으로써 이러한 냉각을 수행한다. 가열 기구(182)는 접착 기판(24a)측 베이스 필름(26)상에 배치된 가열 롤러(188), 및 이 가열 롤러(188)로부터 반대측 유리 기판(24)상에 배치된 리시빙 롤러(receiving roller)(190)를 구비하고 있다.

가열 롤러(188)는 전자 유도 가열 방식에 의해 내부적 및 외부적 가열을 수행하고, 베이스 필름(26)과의 직접 접촉을 통해 베이스 필름(26)측으로부터 쿠션층(27)을 가열한다. 전자 유도 가열 방식을 대신하여 시스 히터(sheathed heater)를 사용한 가열 방식 또는 온수(액체) 가열 방식을 이용할 수도 있다. 또한, 가열 롤러(188)는 고무 롤러, 금속 롤러, 섬유 권회 롤러, 또는 수지 롤러 등으로 구성될 수 있음과 아울러 멀티플 롤러를 화살표(C) 방향을 따라 배치할 수 있다.

리시빙 롤러(190)는 가열될 필요가 없고, 필요에 따라 내부에서 냉각 유체가 순환되는 냉각 롤러로서 리시빙 롤러(190)를 구성할 수 있다.

가열 롤러(188)는 쿠션층(27)을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내로 가열한다. 이러한 경우에 쿠션층(27)의 유리 전이 온도는 예컨대, 점탄성 측정에 의해 tanδ(손실 계수)를 검출하고, 이 tanδ가 최대가 되는 값으로부터 얻어진다.

적층체 필름상에 토요 볼드윈 가부시키가이샤에 의해 제조된 점탄성 측정기를 사용하여 온도 대 tanδ의 특성을 검출함으로써 도 30에 도시된 결과가 얻어졌다. 이 결과로부터 쿠션층(27)의 유리 전이 온도는 37.8℃로 판정되었다.

도 31에 도시된 바와 같이, 베이스 박리 기구(186)는 프레임 부재(192)를 구 비하고 있다. 프레임 부재(192)에는 접착 기판(24a)의 반송 방향에 직교하는 화살표(D) 방향으로 연장된 상부 가이드 레일(194a, 194b)은 소정의 고정된 거리로 서로 평행하게 연장되어 있다. 상부 가이드 레일(194a, 194b)의 하방에는 이보다 짧은 하부 가이드 레일(195a, 195b)이 마찬가지로 화살표(D) 방향으로 서로 평행하게 연장되어 있다. 상부 가이드 레일(194a, 194b)상에는 모터(196a, 196b)에 의해 화살표(D) 방향으로 왕복 운동이 가능한 가동 부재(198a, 198b)가 지지되어 있다.

도 31 및 도 32에 도시된 바와 같이, 가동 부재(198a, 198b)는 연직 방향[화살표(E) 방향]으로 연장되어 있고, 서로 대향하는 양단을 따라 연직 방향으로 연장된 가이드 레일(200a, 200b)이 배치되어 있다. 가이드 레일(200a, 200b)상에는 승강대(202a, 202b)가 지지되고, 이 승강대(202a, 202b)는 모터(204a, 204b)에 의해 승강된다.

승강대(202a, 202b)에는 회전 구동원(206a, 206b)이 수평 방향으로 장착된다. 회전 구동원(206a, 206b)의 회전축(도시되지 않음)에는 척(chuck)(208a, 208b)이 고정되어 있다. 척(208a, 208b)은 회전 가능하게 형성되어 있고, 접착 기판(24a)의 베이스 박리 위치에 있어서 상기 접착 기판(24a)을 구성하는 유리 기판(24)의 반송 방향에 있어서의 양단으로부터 외측으로 돌출된 베이스 필름(26)의 양측부를 그래스핑(grasping)하기 위한 위치로 위치 조정된다.

도 31에 도시된 바와 같이, 하부 가이드 레일(195a, 195b)상에는 슬라이드 베이스(210a, 210b)가 지지되어 있고, 슬라이드 베이스(210a, 210b)에는 프로파일링 롤러(profiling roller)(212)의 양단이 승강 가능하게 지지되어 있다. 슬라이드 베이스(210a, 210b)는 가동 부재(198a, 198b)와 일체적으로 화살표(D) 방향의 소정 위치 간격으로 왕복 운동 가능하다.

도 28에 도시된 바와 같이, 제 4 실시형태에서는 기판간 웹 절단 기구(48)에 의해 분리된 각 접착 기판(24a)은 냉각 기구(122)로 반송되고, 공급된 냉각 에어의 작용하에 강제적으로 예컨대, 실온(약 20℃)으로 냉각된 후 가열 기구(182)로 계속해서 반송된다. 가열 기구(182)에서는 가열 롤러(188)와 리시빙 롤러(190) 사이에서 접착 기판(24a)이 그립핑되어 가열 롤러(188)로부터 접착 기판(24a)의 베이스 필름(26)까지 직접 열 전달이 이루어진다.

따라서, 베이스 필름(26)에 의해 쿠션층(27)을 소정 온도로 가열한 후 접착 기판(24a)을 베이스 박리 기구(186)로 반송한다. 베이스 박리 기구(186)에서는 접착 기판(24a)의 유리 기판(24)측이 석션 패드(184)의 석션 작용하에 지지되면서 유리 기판(24)이 반송되는 방향의 양단으로부터 내측으로 돌출된 베이스 필름(26)의 일단측을 향한 화살표(D) 방향으로 척(208a, 208b)이 각각 배치된다(도 33 참조).

이어서, 가동 부재(198a, 198b)는 모터(196a, 196b)의 작용하에 접착 기판(24a)을 향해 이동하고, 각 척(208a, 208b)은 베이스 필름(26)의 반송 방향 양단부를 그립핑하기 위해 폐쇄된다. 또한, 척(208a, 208b)은 회전 구동원(206a, 206b)의 작용하에 회전하고, 승강대(202a, 202b)와 가동 부재(198a, 198b)는 소정 방향으로 제어 가능하게 구동된다.

따라서, 도 32 및 도 33에 도시된 바와 같이, 척(208a, 208b)은 소정 박리 궤적을 따라 이동하고, 척(208a, 208b)에 의해 그립핑된 베이스 필름(26)은 쿠션 층(27)으로부터 분리되어 접착 기판(24a)으로부터 박리된다. 이때, 프로파일링 롤러(212)가 소정 위치에 도달할 때까지 가동 부재(198a, 198b)와 일체적으로 화살표(D) 방향으로 이동함으로써 베이스 필름(26)이 원활하고 양호하게 박리된다. 베이스 필름(26)을 접착 기판(24a)으로부터 박리함으로써 감광성 적층체(106)가 얻어진다.

이 경우 제 4 실시형태에서는 냉각 기구(122)를 통해 강제적으로 냉각된 접착 기판(24a)의 쿠션층(27)이 가열 기구(182)의 작용하에 베이스 필름(26)측으로부터 유리 전이 온도 부근의 온도로 가열된 후 베이스 박리 기구(186)에 의해 베이스 필름(26)의 박리가 수행된다.

더 구체적으로는, 접착 기구(46)에 있어서 감광성 웹(22)은 소정 텐션이 부여된 상태에서 열압착에 의해 유리 기판(24)에 접착되어 있고, 쿠션층(27)에 잔존 응력이 발생하기 쉽다. 또한, 접착 기판(24a)은 냉각 기구(122)에 의해 강제적으로 냉각되기 때문에 쿠션층(27)에 잔류 응력이 발생하기 쉽다. 따라서, 이 상태에서 접착 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)이 박리되면 쿠션층(27)내의 잔류 응력에 의해 쿠션층(27)이 찢어지거나 파손되기 쉽다. 따라서, 쿠션층(27)에 요철 또는 구멍 등의 불량 부위가 형성되어 품질 저하를 야기한다.

제 4 실시형태에서는 베이스 필름(26)의 박리 전에 베이스 필름(26)측으로부터 쿠션층(27)의 유리 전이 온도 부근의 온도 이하로 가열이 수행되고, 이에 따라 쿠션층(27)내의 잔류 응력이 완화된다.

베이스 필름(26)의 표면 온도를 다양하게 변경하고, 베이스 필름(26)의 박리 시에 박리 불량의 유무를 검출하기 위한 실험을 행하였다. 이 실험의 결과를 도 34에 도시한다. 이 실험에 의해 베이스 필름(26)의 표면 온도를 쿠션층(27)의 유리 전이 온도(37.8℃) 이하인 소정 온도 범위에 상당하는 32℃∼38℃의 온도 범위 내로 설정함으로써 양호한 박리 처리가 수행되어 고품질의 감광성 적층체(106)가 얻어졌다.

또한, 가열 기구(182)는 접착 기판(24a)을 베이스 필름(26)측으로부터 가열한다. 따라서, 베이스 필름(26)과 쿠션층(27) 사이의 박리 부위는 유리 기판(24)측으로부터 가열하는 경우에 비해 보다 신속하고 정확하게 소망하는 온도로 가열되기 때문에 박리 부위에 있어서 고정밀도의 박리 처리가 달성될 수 있다.

또한, 베이스 박리 기구(186)는 가열 기구(182)로부터 소정 간격으로 이격되어 있다. 따라서, 일단 가열되어 잔류 응력이 완화된 접착 기판(24a)은 베이스 박리 기구(186)로 반송되면서 냉각된다.

또한, 베이스 박리 기구(186)를 구성하는 프로파일링 롤러(212)를 도시되지 않은 가열 기구를 통해 가열하여 베이스 필름(26)에 접촉하게 할 수 있다. 따라서, 베이스 필름(26)을 가열하면서 쿠션층(27)으로부터 박리할 수 있다. 또한, 프로파일링 롤러(212)를 복수의 롤러로서 배열할 수도 있다.

제 4 실시형태에서는 베이스 박리 기구(186)를 접착 기판(24a)의 반송 방향[화살표(C) 방향]과 교차하는 화살표(D) 방향으로 박리하도록 구성한다. 그러나, 베이스 필름(26)의 박리 방향을 접착 기판(24a)의 반송 방향과 평행한 화살표(C) 방향으로 설정할 수도 있다.

또한, 가열 기구(182)의 상류측에는 접착 기판(24a)의 보조 가열을 수행하는 예열 기구(도시되지 않음)를 설치할 수 있다. 예컨대, 코일이나 카본, 할로겐 소스를 포함하는 적외선 파워 히터, 세라믹 IR 히터, 또는 각종 접촉식 가열 롤러를 예열 기구로서 사용할 수 있다.

또한, 제 4 실시형태에서는 기본적으로 제 1 실시형태에 의한 제조 장치(20)를 사용한다. 그러나, 본 발명은 이러한 방식에 한정되지 않고, 본 실시형태의 특징을 제 2 및 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(120, 140)에 적용할 수도 있다.

도 35는 본 발명의 제 5 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구(220)의 개략 사시도이다. 제 4 실시형태에 의한 제조 장치(180)를 구성하는 베이스 박리 기구(186)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

베이스 박리 기구(220)는 베이스 필름(26)을 접착 기판(24a)으로부터 박리할 때 베이스 필름(26)에 유리 기판(24)과의 접착 방향[화살표(C) 방향]으로 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조(222)를 포함한다.

텐션 부여 구조(222)는 접착 기판(24a)의 반송 방향 선단측으로부터 외측으로 돌출된 베이스 필름(26)의 단부(26a)를 그립핑할 수 있는 가동 척 부재(224a, 226a, 228a, 230a), 및 접착 기판(24a)의 반송 방향 후단측을 향해 돌출된 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립핑할 수 있는 가동 척 부재(224b, 226b, 228b, 230b)를 포함한다.

척 부재(224a, 224b)는 화살표(C) 방향으로 서로 대향하고 있고, 다른 척 부 재(226a, 226b, 228a, 228b, 및 230a, 230b)는 각각 서로 대향하여 화살표(C) 방향으로 배치된다. 척 부재(224a∼230a, 및 224b∼230b)는 개별적으로 개폐 가능하고, 또한, 베이스 필름(26)을 향해 그리고 베이스 필름(26)으로부터 멀리 이동 가능하다.

제 5 실시형태에서는 접착 기판(24a)이 베이스 박리 위치에 배치되면 텐션 부여 구조(222)를 구성하는 척 부재(224a∼230a)가 베이스 필름(26)의 전단부(26a)를 그립핑하고, 척 부재(224b∼230b)가 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립핑한다. 이 상태에서 척 부재(224a∼230a)와 척 부재(224b∼230b)를 서로 분리하는 방향으로의 토크 제어로 인해 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향으로 소정 텐션이 부여된다.

따라서, 척(208a, 208b)이 베이스 필름(26)의 전단부(26a) 및 후단부(26b)를 그립핑하고, 소정 박리 궤적을 따라 화살표(D1) 방향으로 이동한다. 이때, 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향으로 소정 텐션이 부여되어 베이스 필름(26)을 유리 기판(24)으로부터 원활하고 확실하게 박리할 수 있다.

또한, 프로파일링 롤러(212)가 화살표(D1) 방향으로 이동하여 척 부재(224a, 224b)에 근접하면 베이스 필름(26)의 전단부(26a)와 후단부(26b)상의 그립핑 작용을 해제한 후 척 부재(224a, 224b)가 서로 이격되는 방향(즉, 화사표 방향)으로 이동한다. 따라서, 척 부재(224a, 224b)는 프로파일링 롤러(212)를 간섭하지 않는다. 프로파일링 롤러(212)가 화살표(D1) 방향으로 계속 이동함에 따라 척 부재(226a, 226b)가 베이스 필름(26)으로부터 분리되고, 연속해서 척 부재(228a, 228b) 및 척 부재(230a, 230b)가 순차적으로 베이스 필름(26)으로부터 분리되어 베이스 필름(26)의 박리 작업이 종료된다.

도 36은 본 발명의 제 6 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 베이스 박리 기구(230)의 개략 사시도이다.

베이스 박리 기구(230)는 베이스 필름(26)을 접착 기판(24a)으로부터 박리할 때 베이스 필름(26)에 대하여 접착 기판(24a)과의 접착 방향으로 텐션을 부여하는 텐션 부여 기구(232)를 구비하고 있다.

텐션 부여 기구(232)는 접착 기판(24a)의 전단측 반송 방향을 향해 돌출된 베이스 필름(26)의 전단부(26a)를 그립핑할 수 있는 전단 척(234), 및 접착 기판(24a)의 반송 방향의 후방으로 돌출된 베이스 필름(26)의 후단부(26b)를 그립핑할 수 잇는 후단 척(236)을 포함한다. 전단 척(234)과 후단 척(236)은 각각 베이스 필름(26)의 전단부(26a)와 후단부(26b)의 거의 전체 폭치수를 그립핑하기 위해 화살표(D) 방향으로 넓게 형성된다.

전단 척(234)은 회전 구동원(206a, 206b)에 장착되어 있고, 그 밖의 구조는 제 4 실시형태의 베이스 박리 기구(186)와 동일한 방식으로 형성되어 있다. 이 경우 전단 척(234)의 이동 방향은 척(208a, 208b)의 이동 방향[화살표(D) 방향]과 직교하는 화살표(C) 방향으로 설정된다.

제 6 실시형태에서는 접착 기판(24a)이 베이스 박리 위치로 반송되면 접착 기판(24a)의 전단측을 향해 돌출된 베이스 필름의 전단부(26a)가 전단 척(234)에 의해 그립핑된다. 한편, 접착 기판(24a)의 후단측을 향해 돌출된 베이스 필름(26) 의 후단부(26b)는 후단 척(236)에 의해 그립핑된다.

이어서, 후단 척(236) 또는 후단 척(236)과 전단 척(234)이 토크 제어되어 그립핑된 베이스 필름(26)에 화살표(C) 방향을 따라 텐션이 부여된다. 이 상태에서 소정 텐션이 부여된 베이스 필름(26)은 소정 박리 궤적을 따라 전단 척(234)을 이동시킴으로써 유리 기판(24)으로부터 원활하고 확실하게 박리된다.

도 37은 제 7 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 베이스 자동 박리 기구(250)의 개략도이다. 제 3 실시형태에 의한 제조 장치(140)를 구성하는 베이스 자동 박리 기구(142)와 동일한 구성 요소에는 동일한 참조 번호를 붙이고, 그 상세한 설명은 생략한다.

베이스 자동 박리 기구(250)는 접착 기판(24a) 사이를 이동하면서 박리 롤러(146)의 외주부를 따라 베이스 필름(26)을 가이드하는 박리 바(박리 가이드 부재)(252)를 구비하고 있다. 박리 바(252)는 실린더(256)의 작용하에 상하 방향[화살표(E) 방향]으로 진퇴 가능하다. 실린더(254)에는 화살표(C) 방향으로의 왕복 운동을 위해 모터(256)에 연결된 볼 나사(258)가 나사 결합된다. 박리 롤러(146)는 도시되지 않은 열원(heat source)에 의해 가열되는 것이 바람직하다.

제 7 실시형태에서는, 도 38에 도시된 바와 같이, 각 접착 기판(24a) 사이에 박리 바(252)가 배치되면 박리 롤러(146)의 외주면상의 잔존 부분(30b)측으로부터 베이스 필름(26)을 가압하기 위해 박리 바(252)가 실린더(254)의 작용하에 상방으로 돌출된다. 또한, 모터(256)의 작용하에 볼 나사(258)가 회전하고, 실린더(254)가 화살표(C) 방향으로 이동함으로써 박리 바(252)가 실린더(254)를 통해 박리 롤 러(146)에 대하여 가압된다(도 39 참조).

따라서, 박리 바(252)는 박리 롤러(146)의 외주면을 따라 잔존 부분(30b)을 가이드한다. 따라서, 도 40에 도시된 바와 같이, 박리 롤러(146)의 외주면상의 소정 위치까지 박리 바(252)가 이동함으로써 전방의 접착 기판(24a)의 후단부로부터 잔존 부분(30b)이 확실하게 박리되어 베이스 필름(26)과 일체적으로 권회된다. 따라서, 베이스 필름(26)이 접착 기판(24a)으로부터 박리되면 접착 기판(24a)에 잔존 부분(30b)이 남겨지지 않고, 양호환 자동 박리 처리가 수행될 수 있다.

또한, 박리 바(252)는 팁(tip)이 원형으로 형성되지만 본 발명은 이 구조에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 41에 도시된 바와 같이, 박리 롤러(146)측상에 테이퍼진 면을 갖는 테이퍼진 팁부(tapered tip portion)(260a)를 구비한 박리 바(260)를 사용할 수도 있다.

도 42는 본 발명의 제 8 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 접착 기구(270)의 정면도이다.

접착 기구(270)는 고무 롤러(80a, 80b)와 백업 롤러(272a, 272b)를 포함하고, 백업 롤러(272a, 272b)의 외주는 크라운(crown) 형상으로 설정된다. 또한, 하나 이상의 백업 롤러(272a, 272b) 및/또는 하나 이상의 고무 롤러(80a, 80b)를 크라운 롤러(crown roller)로 형성할 수 있다.

크라운 형상은 사인 곡선, 2차 곡선, 또는 4차 곡선이 될 수 있다. 예컨대, 도 43에 도시된 바와 같이, 롤러 표면 길이(L) = 1000㎜∼3000㎜, 롤 직경(φ) = 200㎜∼300m, 크라운 량(crown rate)(d)(=2d1) = 0.1㎜∼3.0㎜, 및 적층 선 압(laminate linear pressure)은 100N/㎝∼200N/㎝이다.

도 44는 본 발명의 제 9 실시형태에 의한 제조 장치를 구성하는 가공 기구(290)의 개략 사시도이다. 도 45는 상기 가공 기구(290)의 개략 측면도이다.

가공 기구(290)는 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 소정 온도(후술함)로 가열하는 가열 기구(292), 및 소정 온도로 가열된 부분 절단 부위(34)를 따라 부분 절단하는 절단 기구(294)를 포함한다.

절단 기구(294)는 감광성 웹(22)의 반송 방향[화살표(A) 방향]과 직교하는 화살표(B) 방향으로 연장된 리니어 가이드(linear guide)(296)를 포함하고, 리니어 가이드(296)상에 슬라이드 테이블(slide table)(298)이 지지된다. 슬라이드 테이블(298)에는 모터(300)가 내장되고, 이 모터(300)의 회전 구동축(300a)에는 피니언(pinion)(302)이 축방향으로 끼워 맞춰진다. 피니언(302)과 맞물린 랙(rack)(304)은 리니어 가이드(296)를 따라 화살표(B) 방향으로 연장되고, 슬라이드 테이블(298)은 모터(300)의 작용하에 화살표(B) 방향으로 왕복 운동 가능하다.

슬라이드 테이블(298)에는 피니언(302)이 배치된 측의 반대측으로부터 돌출된 회전축(306)이 배치된다. 회전 원형 블레이드(커터)(308)는 회전축(206)과 일체적으로 장착된다. 회전 원형 블레이드에 대향하는 위치에는 그 사이에 감광성 웹(22)이 샌드위칭된 커팅 테이블(cutting table)(310)이 배치된다.

커팅 테이블(310)은 2개의 플라이 금속 플레이트(two-ply metal plate)를 포함하고, 화살표(B) 방향으로 연장된다. 오목홈(312)이 커팅 테이블(310)의 상면에 형성되어 회전 원형 블레이드(308)의 이동 범위를 따라 화살표(B) 방향으로 연장되 고, 이 오목홈(312)에 수지제 수용부(314)가 수용된다.

가열 기구(292)는 커팅 테이블(310) 내에 매설되고, 더 구체적으로는, 2개의 금속 플레이트 사이에 샌드위칭된 시트형 히터(sheet type heater)(316)를 포함한다. 커팅 테이블(310)은 이 커팅 테이블(310)과 접촉하는 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 직접 가열하는 가열 부재로서 기능한다. 시트형 히터(316)를 오목홈(312)과 수용부(314) 사이에 설치할 수도 있다.

회전 원형 블레이드(308)를 대신하여 슬라이드 테이블(298)로부터 연장된 고정축(318)에 고정된 고정 원형 블레이드(320)를 사용할 수도 있다. 이러한 고정 원형 블레이드(320)는 고정축(318)에 대하여 소정 각도를 형성하는 각도 위치가 각각 조정될 수 있다.

부분 절단 부위(34)는 적어도 보호 필름(30)을 절단하기 위해 형성되고, 실제적으로는 보호 필름(30)을 확실하게 절단하도록 회전 원형 블레이드(308)[또는, 고정 원형 블레이드(320)]의 절단 깊이가 설정된다. 부분 절단 부위(34)에 있어서 회전 원형 블레이드(308[또는, 고정 원형 블레이드(320)]를 대신하여 초음파를 사용한 절단 방식, 나이프 블레이드, 밴드형 푸시 커팅 블레이드(band-shaped push cutting blade)(톰슨 블레이드) 등으로 형성하는 방식을 사용할 수 있다. 푸시 커팅 블레이드는 수직 푸시 커팅 구성(vertical push cuting-structure)에 더하여 기울어진 푸시 커팅 구성(slanted push cutting structure)을 포함한다.

제 9 실시형태에서는 가열 기구(292)를 형성하는 시트형 히터(316)가 구동되고, 시트형 히터(316)를 포함하는 커팅 테이블(310)이 소망하는 소정 온도로 가열 된다. 따라서, 화살표(A) 방향으로 반송되는 감광성 웹(22)은 이 감광성 웹(22)과 동기하여 이동하는 커팅 테이블(310)과 접촉하여 직접 가열됨으로써 부분 절단 부위(34)가 회전 원형 블레이드(308)에 대응하는 소정의 고정 온도로 가열되면서 절단 기구(294)를 통해 부분 절단이 이루어진다. 감광성 웹(22)이 정지된 상태에서 부분 절단이 이루어지는 것도 가능하다.

구체적으로는, 슬라이드 테이블(298)에 배치된 모터(300)의 구동 작용하에 피니언(302)이 회전하면 이 피니언(302)과 랙(304)의 맞물림 작용하에 슬라이드 테이블(298)이 리니어 가이드(304)에 의해 지지되어 화살표(B) 방향으로 이동한다. 따라서, 회원 원형 블레이드(308)는 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)를 소망하는 깊이로 절단한 상태에서 화살표(B) 방향으로 이동하면서 회전한다. 따라서, 감광성 웹(22)에는 보호 필름(30)으로부터 소망하는 깊이로 절단된 부분 절단 부위(34)가 형성된다.

이 경우, 가열 기구(292)를 통해 감광성 웹(22)의 부분 절단 부위(34)가 가열되면서 부분 절단 부위(34)가 절단 기구(294)에 의해 부분 절단된다. 이때, 회전 원형 블레이드(308) 또는 고정 원형 블레이드(320)에 대하여 감광성 웹(22)의 가열 온도를 각각 설정함으로써 절단 파편이나 층간 박리의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다.

상기 제 9 실시형태에서는 커팅 테이블(310)에 오목홈(312)을 형성하고, 이 오목홈(312)에 수용부(314)를 수용하고 있다. 그러나, 오목홈을 형성하지 않고 커팅 테이블의 상면에 수지제 수용 필름(resin receiving film)을 형성하는 것도 가 능하다. 또한, 시트형 히터(316)를 대신하여 시스 히터 또는 관형 히터(tubular type heater)를 사용할 수 있다. 더욱이, 절단 기구(294) 및 부분 절단 부위(34)를 수용하는 가열 박스(heating box)를 형성하고, 이 가열 박스내에 열풍을 공급할 수 있다. 또한, 부분 절단 전에 감광성 웹(22)을 가열하기 위해서 절단 기구(294)의 상류에 가열 플레이트(heating plate), 바 히터, 또는 가열 박스 등을 형성하는 것도 가능하다.

본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 도시하고 설명했지만, 청구범위의 범위로부터 벗어나지 않는 다양한 변경 및 수정이 가능하다는 것을 이해해야 한다.

Claims

지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비한 보호 필름(30)을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32);

상기 웹 송출 기구(32)에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상기 보호 필름(30)에 상기 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위(34)를 형성하는 가공 기구(36);

상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 박리 부분(30aa)을 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리하는 박리 기구(44);

소정 온도로 가열된 기판(24)을 접착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45);

상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분(30aa)이 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 노출 부위를 상기 기판(24)에 접착하여 접착 기판(24a)을 제조하는 접착 기구(46);

상기 접착 기구(46)로부터 하류에 배치되어 상기 접착 기판(24a)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 지지체 박리 기구(186);

상기 접착 기구(46)와 상기 지지체 박리 기구(186) 사이에 배치되어 상기 접착 기판(24a)을 냉각하는 냉각 기구(122); 및

상기 지지체(26)상에 적층된 수지층(27)을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위 내로 가열하는 가열 기구(182)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 지지체 박리 기구(186)는 상기 지지체(26)가 박리되면 상기 기판(24)과의 접착 방향을 따라 상기 지지체(26)에 텐션을 부여하는 텐션 부여 구조(222)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 지지체 박리 기구(250)는 상기 지지체(26)가 외주부를 따르게 하여 상기 기판(24)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 박리 롤러(146), 및 상기 기판(24) 사이에서 이동하면서 상기 박리 롤러(146)의 외주부를 따라 상기 지지체(26)를 가이드하는 박리 가이드 부재(252)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 접착 기구(270)는 소정 온도로 가열된 한쌍의 고무 롤러(80a, 80b), 및 상기 한쌍의 고무 롤러(80a, 80b)와 슬라이딩 접촉하는 한쌍의 백업 롤러(272a, 272b)를 포함하고,

하나 이상의 상기 고무 롤러(80a) 및/또는 하나 이상의 상기 백업 롤러(272a)의 외주면은 크라운 형상으로 설정되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체 의 제조 장치.
지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비한 보호 필름(30)을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32);

상기 웹 송출 기구(32)에 의해 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상기 보호 필름(30)에 상기 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 부분 절단 부위(34)를 형성하는 가공 기구(290);

상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 박리 부분(30aa)을 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리하는 박리 기구(44);

소정 온도로 가열된 기판(24)을 접착 위치로 반송하는 기판 반송 기구(45);

상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분(30aa)이 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 노출 부위를 상기 기판(24)에 접착하여 접착 기판(24a)을 제조하는 접착 기구(46); 및

상기 접착 기구(46)로부터 하류에 배치되어 상기 접착 기판(24a)으로부터 상기 지지체(26)를 박리하는 지지체 박리 기구(186)를 포함하고:

상기 가공 기구(290)는 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)에 상기 부분 절단 부위(34)를 형성하는 커터(294), 및 부분 절단이 이루어질 때 상기 부분 절단 부위(34)를 상기 커터(294)에 대응하는 소정 온도로 가열하는 히터(292)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비한 보호 필름(30)을 각각 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 공정;

송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상기 보호 필름(30)에 상기 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 가공 부위(34)를 형성하는 공정;

상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 박리 부분(30aa)을 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리하는 공정;

소정 온도로 가열된 기판(24)을 접착 위치로 반송하는 공정;

상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 위치시키고, 상기 박리 부분(30aa)이 박리된 상기 감광성 재료층(28)의 노출 부위를 상기 기판(24)에 접착하여 접착 기판(24a)을 제조하는 공정;

상기 접착 위치로부터 하류 위치에서 상기 접착 기판(24a)을 냉각하는 공정; 및

상기 지지체(26)상에 적층된 수지층(27)을 유리 전이 온도 이하의 소정 온도 범위내로 가열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
제 6 항에 있어서,

상기 접착 위치의 하류에서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 상기 접착 기판(24a) 사이에서 절단한 후 상기 각 지지체(26)를 상기 접착 기판(24a)으로부터 박리하여 감광성 적층체(106)를 얻는 공정; 및

상기 지지체(26)가 박리되면 상기 기판(24)과의 접착 방향을 따라 상기 지지체(26)에 텐션을 부여하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 지지체(26)가 박리 롤러(146)의 외주부를 따르게 하여 상기 지지체(26)를 상기 기판(24)으로부터 박리하는 공정; 및

박리 가이드 부재(252)가 상기 기판(24) 사이에서 이동하면서 상기 박리 롤러(146)의 외주부를 따라 상기 지지체(26)를 가이드하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28), 및 상기 감광성 재료층(28)상에 배치되고 박리 부분(30aa)과 잔존 부분(30b)을 구비한 보호 필름(30)을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 공정;

송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 상기 보호 필름(30)에 있어서의 상기 박리 부분(30aa)과 상기 잔존 부분(30b) 사이의 경계 위치에서 폭방향으로 절단 가능한 부분 절단 부위(34)를 커터(294)에 대응하는 소정 온도로 가열하면서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 부분 절단하는 공정;

상기 잔존 부분(30b)을 남기고 상기 박리 부분(30aa)을 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리하는 공정;

소정 온도로 가열된 기판(24)을 접착 위치로 반송하는 공정;

상기 접착 위치에서 상기 잔존 부분(30b)을 상기 기판(24) 사이에 위치시키고 상기 박리 부분(30aa)이 박리된 감광성 재료층(28)의 노출 부위를 상기 기판(24)에 접착하여 접착 기판(24a)을 제조하는 공정; 및

상기 접착 위치의 상류 부근에서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예열하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.