JP2008110488A - 感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構成及び工程で、基板へのラミネート処理が良好且つ高品質に遂行され、ラミネート精度を向上させることを可能にする。
【解決手段】ベース自動剥離装置１４２は、ベースフイルム２６をガラス基板２４から剥離する前に、前記ガラス基板２４間に露呈する残存部分３０ｂを押圧して前記残存部分３０ｂを前記ガラス基板２４から剥離させるプレ剥離部１４４と、前記プレ剥離部１４４の下流側に配置され、前記ベースフイルム２６を前記ガラス基板２４から剥離する剥離ローラ１４６と、前記ガラス基板２４の搬送が一旦停止される際、前記剥離ローラ１４６を矢印Ｃ方向又は矢印Ｄ方向に搬送させる剥離ローラ移動部１４８とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離させる感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置（ラミネート装置）は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている感光層転写装置が知られている。この感光層転写装置は、基板を一定間隔で供給する基板供給手段と、前記基板の転写領域に合わせて感光層及びカバーフイルムを切断し、この切断された前記転写領域のカバーフイルムのみを剥離させるフイルム前処理手段と、前記フイルム前処理手段によりカバーフイルムが剥離された積層体フイルムを、前記基板供給手段からの基板に、前記カバーフイルムが剥離された感光層領域と前記転写領域とを一致させて供給し、前記感光層領域を前記転写領域に熱圧着する熱圧着手段と、前記熱圧着手段により積層体フイルムが熱圧着された各基板の間で、積層体フイルムを基板から剥離する方向に押し出して、少なくともカバーフイルムと基板とを剥離する予備剥離手段と、前記積層体フイルムを構成する支持体を基板から剥離する剥離手段とを備えている。

これにより、各基板の間で、少なくともカバーフイルムと基板とが予め剥離されるため、前記カバーフイルムが安定して支持体と一緒に剥離され、工程内で落下して異物不良となったり、前記基板に残って該基板の搬送異常や品質異常になったりすることを防止することができる。

特開２００３−３３７４１１号公報（図６）

本発明はこの種の支持層（支持体）の剥離に関するものであり、簡単な構成及び工程で、基板へのラミネート処理が良好且つ高品質に遂行され、ラミネート精度を向上させることが可能な感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離させる感光性ウエブの剥離装置及び剥離方法に関するものである。

剥離装置は、支持層を基板から剥離する前に、前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部を押圧して前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させるプレ剥離部と、前記プレ剥離部の下流に配置され、前記支持層を前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する剥離治具と、少なくとも前記基板の搬送が一旦停止される際、前記剥離治具を少なくとも基板搬送方向又は前記基板搬送方向とは逆方向に移動させる剥離治具移動部とを備えている。

また、プレ剥離部は、基板の搬送が一旦停止される際、前記基板間に露呈する感光性ウエブ側に進出する剥離部材と、前記剥離部材を基板搬送方向に進退可能な移動機構とを備えることが好ましい。

さらに、剥離治具の下流には、少なくとも基板に向かって除電ガスを噴出する除電機構が設けられることが好ましい。

さらにまた、剥離治具は、剥離ローラを備えることが好ましい。

また、剥離方法は、支持層を感光性ウエブの一部と一体に基板から剥離する前に、一旦搬送が停止される前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部を押圧し、前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させるプレ剥離工程を有するとともに、少なくとも前記基板の搬送が一旦停止される際、前記剥離治具を少なくとも基板搬送方向又は前記基板搬送方向とは逆方向に移動させている。

本発明では、プレ剥離部を介して基板間に露呈する感光性ウエブの一部がプレ剥離されるため、剥離治具を介して前記感光性ウエブの一部と共に支持層を前記基板から容易且つ確実に剥離することができる。

しかも、少なくとも基板の搬送が一旦停止される際、剥離治具は、基板搬送方向又は逆方向に移動されている。従って、剥離治具は、停止している基板上の感光性ウエブに部分的に圧接した状態を維持することがなく、例えば、前記感光性ウエブにスジ等が発生することを確実に阻止することが可能になる。これにより、簡単な構成及び工程で、基板へのラミネート処理が良好且つ高品質に遂行され、ラミネート精度を向上させることができる。

図１は、本発明の実施形態に係る剥離装置を組み込む感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。

この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から搬送路８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ９２とが配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

貼り付け機構４６の下流に、冷却機構１２２と本実施形態に係る剥離装置であるベース自動剥離装置１４２と設けられる。ベース自動剥離装置１４２は、ガラス基板２４間に露呈する保護フイルム３０の残存部分３０ｂを押圧して前記残存部分３０ｂをハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８と一体に前記ガラス基板２４から剥離させるプレ剥離部１４４と、前記プレ剥離部１４４の下流に配置され、ベースフイルム２６を前記ガラス基板２４から連続的に剥離する剥離ローラ（剥離治具）１４６と、前記剥離ローラ１４６を矢印Ｃ方向及び矢印Ｃ方向とは逆方向（矢印Ｄ方向）に移動させる剥離ローラ移動部（剥離治具移動部）１４８とを備える。

プレ剥離部１４４は、図４に示すように、ガラス基板２４間に露呈する保護フイルム３０の残存部分３０ｂを押圧して前記残存部分３０ｂを前記ガラス基板２４から剥離させる剥離部材１５０と、前記剥離部材１５０を矢印Ｃ方向（基板搬送方向）に進退可能な移動機構１５２と、前記剥離部材１５０による前記残存部分３０ｂの押圧位置を検出するための検出器、例えば、ＣＣＤカメラ１５４（図１参照）とを備える。

移動機構１５２は、図４に示すように、矢印Ｃ方向に進退可能な一軸ロボット１５６を備え、この一軸ロボット１５６に連結されるケーシング１５８は、ガイドレール（例えば、ＬＭガイド）１６０を介して矢印Ｃ方向に進退可能に配置される。

ケーシング１５８には、複数の受けローラ１６２が回転自在に装着されており、前記受けローラ１６２間には、昇降シリンダ１６４が配置される。昇降シリンダ１６４から上方に延在するロッド１６６には、剥離部材１５０が装着される。剥離部材１５０は、図５に示すように、矢印Ｃ方向に交差する矢印Ｅ方向に長尺に構成される。

図４に示すように、ケーシング１５８には、剥離ローラ１４６側からベースフイルム２６に接触可能な基板持ち上がり防止用押さえ部材１６７が装着される。この押さえ部材１６７は、剥離部材１５０による残存部分３０ｂの押し上げ時に、ガラス基板２４が必要以上に押し上げられることを阻止する機能を有している。なお、押さえ部材１６７は、図示しないが、例えば、シリンダを介して昇降自在に構成し、剥離部材１５０の押し上げ時に前記押さえ部材１６７をベースフイルム２６に接触させてガラス基板２４の変位を可及的に抑制することもできる。

剥離ローラ移動部１４８は、剥離ローラ１４６の両端を回転自在に支持するフレーム１６８ａ、１６８ｂを備え、前記フレーム１６８ａ、１６８ｂは、一軸ロボット１７０ａ、１７０ｂを介して矢印Ｃ方向及び矢印Ｄ方向に移動自在である。

図１に示すように、剥離ローラ１４６で剥離されるベースフイルム２６は、巻き取り軸１７２により巻き取られる。この巻き取り軸１７２は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する。

図４に示すように、剥離ローラ１４６の下流には、ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４に向かって除電ガスを噴出する複数の除電機構１７４が配置されるとともに、前記剥離ローラ１４６により剥離された前記ベースフイルム２６に向かって除電ガスを噴出する複数の除電機構１７６が、前記ベースフイルム２６に沿って配置される。

図１に示すように、ベース自動剥離装置１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１８０が配設される。この測定器１８０は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１８２を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１８２が配設される。

ベース剥離機構１２４の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離装置１４２で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。

製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。

ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。

ベース剥離制御部２０６は、さらにＣＣＤカメラ１５４により撮像された貼り付け基板２４ａの画像情報に基づいてガラス基板２４間の押圧位置を測定し、前記ガラス基板２４が停止する際の前記押圧位置を演算する。この演算結果に基づいて、剥離部材１５０のプレ剥離用停止位置が得られ、移動機構１５２が制御される。

製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。

このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。

さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図６に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。

各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。

この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。

その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

一方、ラミネート時の熱によって、感光性樹脂層２８のハーフカット部位３４に液だれが惹起し、前記感光性樹脂層２８がガラス基板２４に接着されるおそれがある。これにより、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離する際に、ハーフカット部位３４に対応してガラス基板２４に接着する感光性樹脂層２８及び残存部分３０ｂが前記ガラス基板２４から剥離されない場合がある。

ここで、本実施形態では、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。以下、本実施形態に係る剥離方法が、図７に示すタイミングチャートに沿って行われる。

貼り付け機構４６では、各ガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが断続的にラミネートされ、各ラミネート処理が終了する毎にゴムローラ８０ａの回転が停止されるとともに、ガラス基板２４の搬送が一旦停止される。

そして、ガラス基板２４の搬送が停止された後、貼り付け機構４６で前記ガラス基板２４間に対応して、すなわち、保護フイルム３０の残存部分３０ｂに対応して前記ガラス基板２４が微少送りされるまでの間に、プレ剥離部１４４が駆動される。

図４及び図５に示すように、昇降シリンダ１６４の駆動作用下に、ロッド１６６と一体的に剥離部材１５０が上昇する。このため、剥離部材１５０は、ガラス基板２４間に挿入されて残存部分３０ｂを鉛直上方向に押圧する（図８参照）。従って、ガラス基板２４間に露呈する残存部分３０ｂは、ハーフカット部位３４に対応して前記ガラス基板２４に接着し易い感光性樹脂層２８と一体に前記ガラス基板２４の端部から剥離される。

一方、プレ剥離部１４４の下流側では、巻き取り軸１７２の回転作用下に、剥離ローラ１４６を介して貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られている（図１参照）。その際、剥離ローラ１４６は、図７に示すように、ガラス基板２４への感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのラミネート処理が終了する前に、剥離ローラ移動部１４８を構成する一軸ロボット１７０ａ、１７０ｂを介して矢印Ｄ方向（上流側）に移動している。

次いで、ラミネート処理が終了してガラス基板２４が一旦停止された後、残存部分３０ｂに対応して微少送りが行われるまでの間、剥離ローラ１４６は、矢印Ｄ方向に移動しながらベースフイルム２６の剥離処理を行っている。さらに、ガラス基板２４が微少送りを開始すると、剥離ローラ１４６は、矢印Ｃ方向（下流側）に移動を開始し、前記ガラス基板２４が微少送りを完了し、一旦停止し、新たなガラス基板２４へのラミネート処理が開始された後、前記剥離ローラ１４６の矢印Ｃ方向への移動が停止されている。

このように、本実施形態では、ガラス基板２４の搬送が一旦停止されている間、剥離ローラ１４６は矢印Ｄ方向及び／又は矢印Ｃ方向に移動されている。従って、剥離ローラ１４６は、停止しているガラス基板２４上の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに部分的に圧接した状態を維持することがなく、例えば、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにスジ等が発生することを確実に阻止することができる。

これにより、簡単な構成及び工程で、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８を高精度且つ良好にラミネートすることができ、ラミネート精度を向上させることが可能になるという効果が得られる。

しかも、剥離ローラ１４６によるベースフイルム２６の剥離処理直前において、プレ剥離部１４４を介して残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８をガラス基板２４から剥離している。このため、残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８をベースフイルム２６と一体にガラス基板２４から容易且つ確実に剥離することができるという利点がある。

なお、プレ剥離部１４４では、ＣＣＤカメラ１５４を介して撮影された貼り付け基板２４ａの画像情報に基づいて、一軸ロボット１５６が矢印Ｃ方向、あるいは、矢印Ｄ方向に位置調整されている（図７参照）。このため、剥離部材１５０は、順次送られてくる各ガラス基板２４間の剥離位置に対応して容易且つ確実に配置され、残存部分３０ｂ及びハーフカット部位３４に対応する感光性樹脂層２８を効率的に剥離することが可能になる。

上記のように、ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、図４に示すように、矢印Ｃ方向に搬送されるとともに、除電機構１７４から噴出される除電ガスによって除電された後、測定器１８０に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、図１に示すように、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１８２によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。その後、感光性積層体２０８は、ロボット１９２を介して感光性積層体ストッカー１９０に収容される。

一方、ガラス基板２４から剥離されたベースフイルム２６には、図４に示すように、除電機構１７６から噴出される除電ガスにより除電された後、巻き取り軸１７２に巻き取られる（図１参照）。

なお、本実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。

本発明の実施形態に係る剥離装置を組み込む感光性積層体の製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 ベース自動剥離装置の構成説明図である。 前記ベース自動剥離装置の側面説明図である。 前記感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。 本発明の剥離方法を説明するタイミングチャートである。 プレ剥離部の動作説明図である。

符号の説明

２０…製造装置 ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール
２４…ガラス基板 ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構 ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構 ４６…貼り付け機構
６３…剥離ローラ ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
１４２…ベース自動剥離装置 １４４…プレ剥離部
１４６…剥離ローラ １４８…剥離ローラ移動部
１５０…剥離部材 １５２…移動機構
１５４…ＣＣＤカメラ １６２…受けローラ
１６４…昇降シリンダ

Claims (6)

1. 支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離させる感光性ウエブの剥離装置であって、
   前記支持層を前記基板から剥離する前に、前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部を押圧して前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させるプレ剥離部と、
   前記プレ剥離部の下流に配置され、前記支持層を前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する剥離治具と、
   少なくとも前記基板の搬送が一旦停止される際、前記剥離治具を少なくとも基板搬送方向又は前記基板搬送方向とは逆方向に移動させる剥離治具移動部と、
   を備えることを特徴とする感光性ウエブの剥離装置。
2. 請求項１記載の剥離装置において、前記プレ剥離部は、前記基板の搬送が一旦停止される際、前記基板間に露呈する前記感光性ウエブ側に進出する剥離部材と、
   前記剥離部材を基板搬送方向に進退可能な移動機構と、
   を備えることを特徴とする感光性ウエブの剥離装置。
3. 請求項１又は２記載の剥離装置において、前記剥離治具の下流には、少なくとも前記基板に向かって除電ガスを噴出する除電機構が設けられることを特徴とする感光性ウエブの剥離装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の剥離装置において、前記剥離治具は、剥離ローラを備えることを特徴とする感光性ウエブの剥離装置。
5. 支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、剥離治具を介して前記支持層を前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離させる感光性ウエブの剥離方法であって、
   前記支持層を前記感光性ウエブの一部と一体に前記基板から剥離する前に、一旦搬送が停止される前記基板間に露呈する前記感光性ウエブの一部を押圧し、前記感光性ウエブの一部を前記基板から剥離させるプレ剥離工程を有するとともに、
   少なくとも前記基板の搬送が一旦停止される際、前記剥離治具を少なくとも基板搬送方向又は前記基板搬送方向とは逆方向に移動させることを特徴とする感光性ウエブの剥離方法。
6. 請求項５記載の剥離方法において、前記剥離治具により前記感光性ウエブが剥離された前記基板に向かって除電ガスを噴出する工程を有することを特徴とする感光性ウエブの剥離方法。

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