JP4516460B2 - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを備え、前記保護フイルムが剥離されるとともに、露出した前記感光材料層には、所定間隔毎にマスキングテープが貼り付けられる感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼付装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離した後、前記基板に感光材料層を貼り付ける方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されているドライフイルムの接着方法では、図３２に示すように、ドライフイルム１が供給ドラム２に巻き付けられている。このドライフイルム１は、保護フイルム１ａとベースフイルム１ｂとにより接着剤１ｃを挟持して構成されている。

ドライフイルム１が供給ドラム２から繰り出される際、保護フイルム１ａが保護フイルム巻き取りドラム３に巻き取られるとともに、この保護フイルム１ａが剥離されて露呈した接着剤１ｃには、シリンダ４によって進退可能なテープ貼り機５を介してマスキングテープ６が貼り付けられる。

次いで、プリント配線基板７の表面には、接着剤１ｃがベースフイルム１ｂとともに加熱ローラ８を介して熱圧着される。一方、マスキングテープ６は、プリント配線基板７間に対応して配置されている。

接着剤１ｃが熱圧着されたプリント配線基板７は、冷却ファン９によって冷却されて接着状態が安定化された後、ベースフイルム１ｂが、ベースフイルム巻き取りドラム１０に巻き取られる。その際、マスキングテープ６及び該マスキングテープ６とベースフイルム１ｂ間に介装される接着剤１ｃとが、前記ベースフイルム１ｂと一体となってベースフイルム巻き取りドラム１０に巻き取られている。

上記の特許文献１では、プリント配線基板７を挟持して搬送する搬送枠（図示せず）の搬送スピードと、ドライフイルム１の送り出しスピードとは、同一となるとともに、シリンダ４の動作と前記搬送枠へのプリント配線基板７の送り出しのタイミングとには、一定の同期関係を持たせている。その結果、マスキングテープ６は、プリント配線基板７の隣接する部分の上周縁表面に跨って位置するようになる、としている。

特許第３３１４４１８号明細書（図２）

しかしながら、上記の構成では、加熱ローラ８の熱によってベースフイルム１ｂ及び接着剤１ｃの長さが変化するおそれがある。このため、接着剤１ｃに貼り付けられたマスキングテープ６が、プリント配線基板７間からずれた位置に配置されてしまう。

その際、特許文献１では、マスキングテープ６の貼り付け位置と、プリント配線基板７との相対位置を調整する構造を備えていない。これにより、マスキングテープ６とプリント配線基板７との相対位置を高精度に維持することができず、高品質な接合作業が遂行されないという問題がある。

本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程及び構成で、長尺状感光性ウエブに貼り付けられるマスキングテープと基板とを高精度に位置決めすることができ、高品質な感光性積層体を効率的に得ることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、前記長尺状感光性ウエブから前記保護フイルムを連続して剥離させる剥離機構と、前記長尺状感光性ウエブの表面に露呈する前記感光材料層に、送り出し方向に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープを貼り付けるマスキングテープ貼付機構と、基板を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構と、前記接合位置で、前記マスキングテープを前記基板間に配設するとともに、前記感光材料層を前記基板に接合して接合基板を得る接合機構と、前記長尺状感光性ウエブに貼り付けられた前記マスキングテープの位置を検出する検出機構と、前記検出機構の検出情報に基づいて、前記接合位置における前記マスキングテープと前記基板との相対位置を調整する制御機構とを備え、前記接合機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、一方のゴムローラを進退させるローラクランプ部とを備え、前記ローラクランプ部は、前記一方のゴムローラにクランプ圧を付与するシリンダと、アクチュエータの作用下に前記シリンダを進退させるカム部とを備えている。

また、検出機構は、接合位置の上流近傍に配設され、マスキングテープを直接検出するセンサを備えることが好ましい。これにより、接合位置の近傍で、マスキングテープの位置を直接検出することができる。一方、検出機構は、マスキングテープ貼付機構から電気的にトラッキングすることが好ましい。これらの検出機構が採用されることにより、マスキングテープと基板との相対位置調整が、簡単な制御で高精度に遂行される。

さらに、剥離機構と接合機構との間には、長尺状感光性ウエブにテンションを付与可能なテンション制御機構が配設されることが好ましい。これにより、例えば、長尺状感光性ウエブの伸び調整が可能になり、マスキングテープを接合位置に容易に位置調整することができる。

また、接合機構の下流で、長尺状の支持体を接合基板間で切断する切断機構と、前記切断機構の下流で、前記接合基板からマスキングテープと一体に前記支持体を剥離して感光性積層体を得る支持体剥離機構とが配設されることが好ましい。

さらにまた、接合機構の下流で、接合基板から長尺状の支持体をマスキングテープと一体且つ連続的に剥離して感光性積層体を得る支持体剥離機構が配設されることが好ましい。このため、支持体及びマスキングテープを切断する必要がなく、切削屑等の塵埃の発生を防止することが可能になる。

さらに、接合機構の上流近傍には、長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部が配設されることが好ましい。

さらにまた、マスキングテープ貼付機構は、送り出し方向に位置調整可能な移動部を備え、制御機構は、前記移動部を制御して前記マスキングテープ貼付機構によるマスキングテープの貼付位置を調整可能であることが好ましい。これにより、簡単な構成及び制御で、マスキングテープの貼付位置の調整が良好に遂行される。

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出す工程と、送り出された前記長尺状感光性ウエブから前記保護フイルムを連続して剥離させる工程と、前記長尺状感光性ウエブの表面に露呈する前記感光材料層に、送り出し方向に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープを貼り付ける工程と、前記長尺状感光性ウエブに貼り付けられた前記マスキングテープの位置を検出する工程と、所定の温度に加熱されている基板を接合位置に向かって搬送する工程と、得られた検出情報に基づいて、前記接合位置における前記マスキングテープと前記基板との相対位置を調整する工程と、前記接合位置で、前記マスキングテープを前記基板間に配設するとともに、前記感光材料層を前記基板に接合して接合基板を得る工程とを有し、前記接合基板を得る工程では、一対のゴムローラの間に前記感光材料層と前記基板とを配置した状態で、アクチュエータの作用下にカム部によりシリンダを進行させて、一方のゴムローラを他方のゴムローラに向かって進行させることにより、所定温度で加熱された前記一対のゴムローラによって前記感光材料層と前記基板とを挟み込み接合する。

本発明では、長尺状感光性ウエブに貼り付けられたマスキングテープの位置を直接又は間接的に検出するため、前記長尺状感光性ウエブが伸縮しても、前記マスキングテープを前記接合位置に対して高精度に位置決めすることができる。しかも、得られた検出情報に基づいて、マスキングテープと基板との相対位置が調整される。従って、簡単な工程及び構成で、長尺状感光性ウエブの感光材料層を基板の所望の部位に対して正確に接合することが可能になり、高品質な感光性積層体を効率的に得ることができる。

さらに、長尺状感光性ウエブは、保護フイルムが連続して剥離された後、前記長尺状感光性ウエブの表面に露呈する感光材料層にマスキングテープが貼り付けられている。このため、例えば、長尺状感光性ウエブに保護フイルムを部分的に残すために、前記長尺状感光性ウエブにハーフカットやミシン目等の加工部位を形成する際のように、加工による塵埃等の発生がない。これにより、接合基板の汚れを確実に阻止し、高品質な感光性積層体を効率的且つ経済的に製造することが可能になる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶、ＰＤＰ又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写する作業を行う。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２の断面図である。この感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２２ａを収容し、この感光性ウエブロール２２ａから前記感光性ウエブ２２を送り出すウエブ送り出し機構３２と、前記感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を連続して剥離させる剥離機構３４と、前記感光性ウエブ２２の表面に露呈する感光性樹脂層２８に、送り出し方向（矢印Ａ方向）に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープ３６を貼り付けるマスキングテープ貼付機構３８と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構４０と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に接合する接合機構４２とが配設される。

接合機構４２における接合位置の上流近傍には、感光性ウエブ２２の境界位置であるマスキングテープ３６を直接検出する検出機構４４が配設されるとともに、前記接合機構４２の下流には、各ガラス基板２４間の前記感光性ウエブ２２を切断する基板間ウエブ切断機構４８が配設される。この基板間ウエブ切断機構４８の上流には、運転開始時、トラブル発生時あるいは不良品フイルム排出時に使用されるウエブ先端切断機構４８ａが設けられる。

ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２の先端とを接合させる接合台４７が配設される。この接合台４７の下流には、感光性ウエブロール２２ａの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端位置検出器４９が配設される。ここで、フイルム端位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、ウエブ送り出し機構３２は、感光性ウエブロール２２ａを装填して感光性ウエブ２２を繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

剥離機構３４は、感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を低減し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム４６を備える。サクションドラム４６の近傍には、剥離ローラ４６ａが配置されるとともに、この剥離ローラ４６ａを介して感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、保護フイルム巻き取り部５０に連続的に巻き取られる。

剥離機構３４の下流側には、感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構５２が配設される。テンション制御機構５２は、シリンダ５４を備え、このシリンダ５４の駆動作用下に、テンションダンサー５６が揺動変位することにより、このテンションダンサー５６が摺接する感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構５２は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

マスキングテープ貼付機構３８は、図３に示すように、保護フイルム３０が剥離された感光性樹脂層２８に、基板間隔Ｔを跨いでマスキングテープ３６を貼り付ける。このマスキングテープ３６は、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製基材の一面（感光性樹脂層２８との接着面）側に、例えば、アクリル系、シリコーン系、アクリル及びシリコーン系又はゴム系の接着剤５８が設けられている。

マスキングテープ３６の他方の面には、接着剤が設けられておらず、好適には、フッ素樹脂コーティング等の非着性の表面処理を行う。接着剤５８は、後述するラミネート時に、この接着剤５８がマスキングテープ３６の端面から染み出すのを防ぐため、厚さを薄くするとともに、前記マスキングテープ３６のテープ幅よりも狭い範囲に設けられることが望ましい。また、マスキングテープ３６は、長尺状感光性ウエブ２２のウエブ幅よりも少し幅広に構成され、後述するゴムローラ９０ａの汚れを取ることができることが望ましい。

図４及び図５に示すように、マスキングテープ貼付機構３８は、マスキングテープ送り出し部６０と、マスキングテープ吸着搬送部６２とを備える。図４に示すように、予め、所定の長さに打ち抜き又はカットされたマスキングテープ３６が離型紙６４に貼り付けられており、マスキングテープ送り出し部６０は、この離型紙６４がロール状に巻回される回転軸６５を備える。回転軸６５は、矢印方向に回転することにより、離型紙６４を矢印Ｂ方向に繰り出す。離型紙６４は、感光性ウエブ２２の幅方向一端から幅方向他端に延在した後、巻き取り軸６６に巻き取られる。

感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８側には、この感光性ウエブ２２の幅方向に延在して吸着台６８が配設される。この吸着台６８の長手方向両端には、ガイドローラ７０ａ、７０ｂが離型紙６４に対して進退自在に配設される。

マスキングテープ吸着搬送部６２は、図４及び図５に示すように、感光性ウエブ２２の送り出し方向（矢印Ａ１方向）に延在する左右一対の第１直動ガイド（又は直動ロボット）７２ａに沿って矢印Ａ１方向に進退可能な第１移動架台７４ａと、前記第１直動ガイド７２ａよりも短尺で、且つ、矢印Ａ１方向に延在する第２直動ガイド７２ｂに沿って矢印Ａ１方向に進退可能な第２移動架台７４ｂとを備える。

第１移動架台７４ａには、直動アクチュエータ、例えば、シリンダ７６が装着されるとともに、このシリンダ７６のロッド７６ａには、吸着部材７８が取り付けられる。この吸着部材７８は、図４に示すように、マスキングテープ３６の矢印Ｂ方向の長さに対応して延在している。

吸着部材７８は、第１移動架台７４ａによって第１位置Ｓ１と第２位置Ｓ２とに配置される（図５参照）。第１位置Ｓ１は、マスキングテープ送り出し部６０からマスキングテープ３６を受け取る位置であり、第２位置Ｓ２は、吸着部材７８に吸着されている前記マスキングテープ３６を感光性ウエブ２２に貼り付ける位置である。

第２移動架台７４ｂには、直動アクチュエータ、例えば、シリンダ８０が装着されるとともに、このシリンダ８０のロッド８０ａには、貼付受台７９が設けられる。この貼付受台７９は、吸着部材７８の第２位置Ｓ２に対応する位置に配置可能である。

図１及び図５に示すように、検出機構４４は、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ８２を備えており、前記光電センサ８２は、マスキングテープ３６が透過光を遮蔽することによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ８２は、バックアップローラ８３に対向して配置される。

なお、光電センサ８２に代えて、非接触変位計でテープ厚さの段差を検出したり、ＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。

検出機構４４により検出されるマスキングテープ３６の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。

基板搬送機構４０は、図１に示すように、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）８４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部８６とを備える。基板加熱部８４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部８６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部８６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部８４内さらには接合位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部８４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー８１が設けられる。この基板ストッカー８１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット８５のハンド部８５ａに設けられた吸着パッド８９に吸着されて取り出され、基板加熱部８４に挿入される。

基板加熱部８４の下流には、ガラス基板２４の先端に当接してこのガラス基板２４を保持するストッパ８７と、前記ガラス基板２４の先端位置を検出する位置センサ８８とが配設される。位置センサ８８は、ガラス基板２４が接合位置に向かう途中でガラス基板先端を検出し、そこから定量送ることで、ゴムローラ９０ａ、９０ｂ間の所定の位置に位置決めするためにある。ここで、位置センサ８８は、複数個配設して各位置におけるガラス基板２４の到着タイミングを監視し、基板搬送開始時のスリップ等による遅れをチェックするのが好ましい。なお、ガラス基板２４の加熱は、上記のような搬送加熱の他、バッチ式のオーブンを使用してロボット搬送してもよい。

接合機構４２は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるラミネート用ゴムローラ９０ａ、９０ｂを備える。ゴムローラ９０ａ、９０ｂには、バックアップローラ９２ａ、９２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ９２ｂは、ローラクランプ部９３を介してゴムローラ９０ｂ側に押圧される。

図６に示すように、ローラクランプ部９３は、駆動モータ１０３を備え、この駆動モータ１０３の駆動軸に連結された減速機１０３ａの駆動軸１０３ｂにボールねじ１０４が軸着される。ボールねじ１０４には、ナット部材１０５が螺合するとともに、このナット部材１０５は、スライドベース１０６に固定される。スライドベース１０６のウエブ幅方向（矢印Ｂ方向）両端には、テーパカム１０７ａ、１０７ｂが固着される。テーパカム１０７ａ、１０７ｂの高さは、矢印Ｂ１方向に向かって高くなるように設定される。テーパカム１０７ａ、１０７ｂ上には、ローラ１０８ａ、１０８ｂが載置されており、このローラ１０８ａ、１０８ｂは、加圧シリンダ９４ａ、９４ｂの下部に保持されている。

図１に示すように、ゴムローラ９０ａの近傍には、感光性ウエブ２２が前記ゴムローラ９０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ９６が移動可能に配設される。接合機構４２の上流近傍には、感光性ウエブ２２を予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部９７が配設される。この予備加熱部９７は、例えば、赤外線バーヒータや熱加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、接合機構４２から基板間ウエブ切断機構４８を通ってさらに矢印Ｃ方向に延在する搬送路９８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路９８には、フイルム搬送ローラ１００と基板搬送ローラ１０２とが、ウエブ先端切断機構４８ａを介装して配設される。ゴムローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ１０２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

製造装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、剥離機構３４、テンション制御機構５２、マスキングテープ貼付機構３８及び検出機構４４が、接合機構４２の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記検出機構４４を前記接合機構４２の下方に配置し、感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に接合されてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。

製造装置２０は、ラミネート工程制御部１１０を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１１２や基板加熱制御部１１４等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部１１０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部１１４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して接合機構４２に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ラミネート制御部１１２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、検出機構４４により検出された感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６の位置情報に基づいて、例えば、基板搬送機構４０やマスキングテープ貼付機構３８を制御する制御機構を構成している。

製造装置２０内は、仕切り壁１２０を介して第１クリーンルーム１２２ａと第２クリーンルーム１２２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１２２ａには、ウエブ送り出し機構３２からマスキングテープ貼付機構３８までが収容されるとともに、第２クリーンルーム１２２ｂには、検出機構４４以降が収容される。第１クリーンルーム１２２ａと第２クリーンルーム１２２ｂとは、貫通部１２４を介して連通する。

図７に示すように、貫通部１２４は、第１クリーンルーム１２２ａに配設される除塵部１２５と、第２クリーンルーム１２２ｂに配設されるエアシール部１２６とを備える。

除塵部１２５は、感光性ウエブ２２の両面に対向して配置される一対の吸引ノズル１２７ａを備えるとともに、前記吸引ノズル１２７ａ内に吹き出しノズル１２８が配置される。吹き出しノズル１２８は、エアを吹き出して除塵を行う一方、吸引ノズル１２７ａは、吹き出されたエア及び塵埃を吸引する。

エアシール部１２６は、感光性ウエブ２２の両面に対向して配置される一対の吸引ノズル１２７ｂを備える。吸引ノズル１２７ｂによりエアを吸引することによって、貫通部１２４をシールする。なお、除塵部１２５とエアシール部１２６の位置を入れ替えたり、前記除塵部１２５と前記エアシール部１２６を複数組み合わせてもよい。また、感光性樹脂層２８が露出している面に対向する側には、吹き出しノズル１２８を設けずに吸引ノズル１２７ａのみを設けてもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁１２０を設けることにより、接合機構４２での加熱による熱気が上昇して感光性ウエブ２２への熱影響、例えば、表面の皺、変形、熱収縮又は延びを防止する。さらに、塵埃の発生や該塵埃が落下し易い上部（第１クリーンルーム１２２ａ）と下部（第２クリーンルーム１２２ｂ）とを遮断して、特に接合機構４２のクリーン度を確保する。

なお、第２クリーンルーム１２２ｂの圧力を第１クリーンルーム１２２ａの圧力よりも高圧に設定し、前記第２クリーンルーム１２２ｂに塵埃が流入することを阻止することが望ましい。また、第２クリーンルーム１２２ｂの上方には、クリーンエアを下方に向かって供給するためのエア供給部（図示せず）が配設される。

このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、イニシャル（頭出し）開始時には、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２２ａから感光性ウエブ２２が繰り出される。この感光性ウエブ２２は、剥離機構３４、マスキングテープ貼付機構３８及び接合機構４２を通ってフイルム搬送ローラ１００に先端部が挟持される。

次いで、光電センサ８２によりマスキングテープ３６が検出されると、この検出信号に基づいて、フイルム搬送ローラ１００が回転駆動され、感光性ウエブ２２が接合位置に向かって定量搬送される。このため、マスキングテープ３６は、所定の接合位置に対応して位置決めされる。なお、接合位置の下流でマスキングテープ３６を検出し、感光性ウエブ２２を所定の位置に停止させてもよい。

その際、図８に示すように、接触防止ローラ９６が下降して、感光性ウエブ２２がゴムローラ９０ａに接触することを防止している。また、ガラス基板２４は、接合位置の直前で待機している。これにより、イニシャル開始状態が得られる。

次に、ラミネート運転時における製造装置２０を構成する各機能部の動作について説明する。

先ず、図１に示すように、感光性ウエブ２２は、ウエブ送り出し機構３２から繰り出されて剥離機構３４に連続的に搬送される。剥離機構３４では、図９に示すように、感光性ウエブ２２のベースフイルム２６がサクションドラム４６に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が前記感光性ウエブ２２から連続的に剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ４６ａを介して鋭角の剥離角で剥離されて保護フイルム巻き取り部５０に巻き取られる（図１参照）。

その際、感光性ウエブ２２は、サクションドラム４６により強固に保持されており、この感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を剥離する時の衝撃が下流の前記感光性ウエブ２２に作用することがない。これにより、接合機構４２に剥離の衝撃が伝わることがなく、ガラス基板２４のラミネート部分にスジ状の不良個所等が発生することを良好に阻止することができる。

剥離機構３４の作用下に、保護フイルム３０がベースフイルム２６から連続して剥離された後、感光性ウエブ２２は、テンション制御機構５２によってテンション調整が行われ、さらにマスキングテープ貼付機構３８に送られる。

マスキングテープ貼付機構３８では、図５に示すように、第１移動架台７４ａが第１位置Ｓ１に配置される（二点鎖線参照）一方、この第１位置Ｓ１では、マスキングテープ送り出し部６０から繰り出されている離型紙６４が、吸着台６８に吸着保持される。そこで、シリンダ７６の作用下に吸着部材７８が矢印Ｄ１方向に進出し、この吸着部材７８が離型紙６４に貼り付けられているマスキングテープ３６を吸着する。

次いで、吸着部材７８がマスキングテープ３６を吸着した状態で、シリンダ７６を介して前記吸着部材７８が吸着台６８から離間した後（矢印Ｄ２方向）、第１移動架台７４ａは、第１位置Ｓ１から第２位置Ｓ２へ移動する。この第２位置Ｓ２では、吸着部材７８が、貼付受台７９に対向して配置され、第１及び第２移動架台７４ａ、７４ｂは、同期して矢印Ａ１方向に移動しながらシリンダ７６、８０が駆動される。このため、吸着部材７８及び貼付受台７９は、感光性ウエブ２２と同期して矢印Ａ１方向に移動しながら、この感光性ウエブ２２を保持して感光性樹脂層２８にマスキングテープ３６を貼り付ける。

吸着部材７８及び貼付受台７９が、感光性ウエブ２２と一体的に矢印Ａ１方向に移動した後、前記吸着部材７８及び前記貼付受台７９は、シリンダ７６、８０の駆動作用下に感光性ウエブ２２から離脱した後、それぞれ矢印Ａ２方向に移動する。そして、吸着部材７８は、第１位置Ｓ１に配置される。一方、貼付受台７９は、第２位置Ｓ２に配置される。

一方、マスキングテープ送り出し部６０では、図４に示すように、離型紙６４からマスキングテープ３６が離脱された後、ガイドローラ７０ａ、７０ｂが進出して前記離型紙６４を吸着台６８から離間させる。この状態で、離型紙６４が回転軸６５から繰り出されるとともに、巻き取り軸６６に巻き取られ、この離型紙６４に貼り付けられている新たなマスキングテープ３６が吸着台６８上に配置される。次に、回転軸６５及び巻き取り軸６６の回転が停止され、ガイドローラ７０ａ、７０ｂが退動動作して離型紙６４が吸着台６８に吸着保持される。

このように、離型紙６４が回転軸６５から繰り出される際には、ガイドローラ７０ａ、７０ｂの保持作用下に、前記離型紙６４が吸着台６８に摺接することがない。従って、離型紙６４の損傷や摩耗粉の発生等を良好に阻止することができる。なお、ガイドローラ７０ａ、７０ｂが退動動作に代えて、吸着台６８を進退動作させてもよい。

上記のように、感光性樹脂層２８の所定の部位のマスキングテープ３６が貼り付けられた感光性ウエブ２２は、検出機構４４に送られる。この検出機構４４では、光電センサ８２によりマスキングテープ３６の境界部位が検出される。感光性ウエブ２２は、マスキングテープ３６の位置検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ１００の回転作用下に、接合機構４２に定量搬送される。その際、接触防止ローラ９６が上方に待機するとともに、ゴムローラ９０ｂが下方に配置されている。

図１０に示すように、ガラス基板２４は、基板搬送機構４０の作用下に、予め加熱された状態で接合位置に搬送される。このガラス基板２４は、感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８とマスキングテープ３６との接合部分に対応してゴムローラ９０ａ、９０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、図６に示すように、駆動モータ１０３に連結された減速機１０３ａの作用下にボールねじ１０４が所定方向に回転すると、このボールねじ１０４に螺合するナット部材１０５と一体的にスライドベース１０６が矢印Ｂ２方向に移動する。このため、テーパカム１０７ａ、１０７ｂは、ローラ１０８ａ、１０８ｂとの接触面が高くなり、前記ローラ１０８ａ、１０８ｂを上方に変位させる。従って、加圧シリンダ９４ａ、９４ｂが上昇し、バックアップローラ９２ｂ及びゴムローラ９０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ９０ａ、９０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。その際、プレス圧力は、加圧シリンダ９４ａ、９４ｂのエアー圧力により調整される。さらに、ゴムローラ９０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、感光性樹脂層２８が加熱溶融により転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ９０ａ、９０ｂの温度が１１０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ９０ａ、９０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ９０ａ、９０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

そして、図１１に示すように、ガラス基板２４の先端がフイルム搬送ローラ１００の近傍に至ると、このフイルム搬送ローラ１００が前記ガラス基板２４から離間する方向に移動する。さらに、ガラス基板２４から前方（矢印Ｃ方向）に突出する感光性ウエブ２２の先端が、ウエブ先端切断機構４８ａに対して所定の位置に至ると、このウエブ先端切断機構４８ａが駆動されて前記感光性ウエブ２２の先端が切断される。ウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２の先端部を切断した後、基の待機位置に復帰しており、通常運転時には、使用されない。

図１２に示すように、ゴムローラ９０ａ、９０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ９０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２がラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、接合基板２４ａともいう）が基板搬送ローラ１０２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ９０ｂが、ゴムローラ９０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。具体的には、図６に示すように、駆動モータ１０３に連結された減速機１０３ａが前記とは逆方向に回転駆動され、ボールねじ１０４及びナット部材１０５を介してスライドベース１０６が矢印Ｂ１方向に移動する。このため、テーパカム１０７ａ、１０７ｂは、ローラ１０８ａ、１０８ｂに接触する面の高さが低くなり、加圧シリンダ９４ａ、９４ｂが下降する。これにより、バックアップローラ９２ｂ及びゴムローラ９０ｂが下降してクランプの解除が行われる。

この状態で、基板搬送ローラ１０２の回転が開始されて、接合基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２の基板間位置２２ｂがゴムローラ９０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４０を介して次なるガラス基板２４が接合位置に向かって搬送される。この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ９０ａ、９０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ９０ｂが上昇して、前記ゴムローラ９０ａ、９０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２とがクランプされる。同時に基板搬送ローラ１０２が接合基板２４ａをクランプする。そして、ゴムローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ１０２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、接合基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される（図１３参照）。

その際、接合基板２４ａは、図１４に示すように、それぞれの端部同士がマスキングテープ３６によって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、額縁状に転写を行うことができる。

図１５に示すように、基板搬送ローラ１０２が一枚目の接合基板２４ａの搬送方向後端部に至ると、前記基板搬送ローラ１０２を構成する上方ローラが上昇してクランプを解除するとともに、下方ローラと搬送路９８の回転が継続されて前記接合基板２４ａが搬送される。さらに、二枚目の接合基板２４ａの後端部がゴムローラ９０ａ、９０ｂの近傍に至ると、前記ゴムローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ１０２の回転が停止される。

そして、基板搬送ローラ１０２の上方ローラが下降して二枚目の接合基板２４ａをクランプする一方、ゴムローラ９０ｂが下降してクランプを解除する。次に、基板搬送ローラ１０２の回転作用下に二枚目の接合基板２４ａが挟持搬送され、基板間位置２２ｂがゴムローラ９０ａの下方付近の所定位置に移動し、三枚目以降のラミネート処理が繰り返される。

図１６に示すように、接合基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記接合基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該接合基板２４ａ間、すなわち、マスキングテープ３６の中間で感光性ウエブ２２を切断する。この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、接合基板２４ａでは、ベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が剥離されて感光性積層体１１６が製造される（図１参照）。

なお、ラミネート処理が一旦停止される際には、図１７に示すように、フイルム搬送ローラ１００及びゴムローラ９０ｂがアンクランプ位置に配置されるとともに、接触防止ローラ９６が下降して感光性ウエブ２２がゴムローラ９０ａに接触することを防止する。

また、製造装置２０の運転が終了される際には、基板搬送ローラ１０２の回転作用下に、接合基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送され、ウエブ先端切断機構４８ａが感光性ウエブ２２をクランプする。そして、フイルム搬送ローラ１００が回転しながら感光性ウエブ２２をクランプした状態で、ウエブ先端切断機構４８ａがウエブ幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２を切断する。

このため、図１８に示すように、感光性ウエブ２２は、ゴムローラ９０ａ、９０ｂ間を通ってフイルム搬送ローラ１００により挟持されるとともに、接触防止ローラ９６が下降して前記感光性ウエブ２２がゴムローラ９０ａから離間して支持される。ウエブ先端切断機構４８ａは、接合基板２４ａのクランプを解除して、基板の待機位置に配置されている。

なお、基板間ウエブ切断機構４８及びウエブ先端切断機構４８ａは、感光性ウエブ２２を切断する際に、この感光性ウエブ２２と同期して矢印Ｃ方向に移動しているが、これに限定されるものではない。例えば、ウエブ停止時には、ウエブ幅方向にのみ走行して感光性ウエブ２２の切断を行ってもよい。また、ウエブ停止中にトムソン刃による切断、ウエブ移動中にロータリカットによる切断方法も可能である。

さらにまた、製造装置２０のイニシャル開始動作では、図１９に示すように、接触防止ローラ９６が下方位置に配置されるとともに、ゴムローラ９０ｂがゴムローラ９０ａから離間する。この状態で、フイルム搬送ローラ１００の回転作用下に、感光性ウエブ２２が廃棄部（図示せず）に排出される。その際、ウエブ先端切断機構４８ａの作用下に、感光性ウエブ２２が一定長さ毎に切断される。

そして、検出機構４４でマスキングテープ３６の位置検出が行われると、この検出位置から定量送りが行われる。具体的には、接触防止ローラ９６が上昇された際に、マスキングテープ３６がゴムローラ９０ａ、９０ｂによるラミネート位置に至る位置まで、前記マスキングテープ３６の搬送が行われる。これにより、感光性ウエブ２２の頭出し処理が終了する。

この場合、第１の実施形態では、感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６が、接合機構４２の上流近傍で検出機構４４により直接検出されている。なお、検出機構４４とゴムローラ９０ａ、９０ｂのマスキングテープ３６までの距離は、最も短いラミネート長よりも短いことが必要である。これは、検出した結果をラミネート処理にフィードバックするためである。

検出機構４４では、以下に示す２種類の計測が行われる。先ず、第１の計測は、ゴムローラ９０ａ、９０ｂでガラス基板２４をクランプし、前記ゴムローラ９０ａ、９０ｂの回転開始からの基板送り量を、ゴムローラ駆動用モータ（図示せず）に付随したエンコーダで計測したパルス数と設定上のマスキングテープ検出タイミングのパルス数とで比較し、マスキングテープ３６の位置を計測する。設定上の検出タイミングのパルス数に到達するよりも早くマスキングテープ３６を検出した場合、前記マスキングテープ３６は、早い分のパルス数だけガラス基板２４の所定の位置より前方にずれていると判断できる。逆に検出が遅い場合、マスキングテープ３６は、ガラス基板２４の所定の位置より後方にずれていると判断できる。

一方、第２の計測は、マスキングテープ３６の検出から次のマスキングテープ３６の検出までのゴムローラ駆動用モータに付随したエンコーダパルス数を計測し、ラミネート長Ｈを計測する。通常設定条件でのラミネート長Ｈに相当する設定パルス数と実際のパルス数とを比較し、パルス数が多ければその多いパルス数分だけ加熱等の影響で感光性ウエブ２２が余計に延びていることが判断できる。逆にパルス数が少ない場合、感光性ウエブ２２が通常よりも短いことが判断できる。

上記第１の計測結果に基づき、例えば、図２０に示すように、ガラス基板２４の接合範囲Ｐ１、Ｐ２間に対して感光性樹脂層２８の先端位置が前方にずれる（進む）ことが検出されると、前記ガラス基板２４と感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６との相対位置が調整される。

すなわち、光電センサ８２により検出されたマスキングテープ３６の位置が、所定位置よりも進んでいると判断されると、図１２に示すように、ラミネート後の基板搬送ローラ１０２によるガラス基板２４に接合しない部分の感光性ウエブ２２の送りで、送り量をその設定量よりもズレ分を差し引いた量で送る。この結果、マスキングテープ３６は、位置調整されてゴムローラ９０ａ、９０ｂ間の所定の位置に一旦配置される。その後、ガラス基板２４は、定常の送り制御によってゴムローラ９０ａ、９０ｂ間に送られ、このガラス基板２４に感光性樹脂層２８が正しい位置、すなわち、ガラス基板２４の所定の接合範囲Ｐ１、Ｐ２に感光性樹脂層２８が接合される。

一方、光電センサ８２により検出されたマスキングテープ３６の位置が、図２１に示すように、ガラス基板２４の接合範囲Ｐ１、Ｐ２間に対して遅れると判断されると、ラミネート後の基板搬送ローラ１０２によるガラス基板２４に接合しない部分の感光性ウエブ２２の送りで、送り量をその設定量よりもズレ分を足した量で送る。

なお、基板搬送ローラ１０２による接合基板２４ａの送り量を調整する方法の他、基板搬送機構４０を制御してガラス基板２４の停止位置をズレ分だけ前後させて調整する方法を採用してもよい。また、マスキングテープ貼付機構３８において、第１及び第２移動架台７４ａ、７４ｂの第２位置Ｓ２の位置を調整すること等によっても、マスキングテープ３６の位置調整が可能である。

上記第２の計測結果に基づき、光電センサ８２により検出されたマスキングテープ３６間の距離、すなわち、ガラス基板２４に接合される感光性樹脂層２８の接合長さＨを計測する。接合長さＨが長い場合、長い分だけマスキングテープ３６間の長さを短くする一方、前記接合長さＨが短い場合、短い分だけ前記マスキングテープ３６間の長さを長くする。これにより、感光性樹脂層２８の接合長を所定の長さに調整することができる。

なお、テンション制御機構５２を構成するテンションダンサー５６による感光性ウエブ２２へのテンションを調整することによって、感光性ウエブ２２の伸び量を変更させることも可能である。

このため、感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６を接合位置に対して高精度に位置決めすることができ、前記感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８をガラス基板２４の所望の部位に対し正確に接合することが可能になる。これにより、簡単な工程及び構成で、高品質な感光性積層体１１６を効率的に得ることができるという効果が得られる。

さらに、感光性ウエブ２２は、保護フイルム３０が連続して剥離された後、前記感光性ウエブ２２の表面に露呈する感光性樹脂層２８にマスキングテープ３６が貼り付けられている。このため、例えば、感光性ウエブ２２に保護フイルム３０を部分的に残すために、前記感光性ウエブ２２にハーフカットやミシン目等の加工部位を形成する際のように、加工による塵埃等の発生がない。これにより、接合基板２４ａの汚れを確実に阻止し、高品質な前記接合基板２４ａを効率的且つ経済的に製造することが可能になる。

図２２は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置を構成するマスキングテープ貼付機構１３０の概略斜視図であり、図２３は、前記マスキングテープ貼付機構１３０の側面図である。なお、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。また、以下に説明する第３〜第４の実施形態においても同様に、その詳細な説明は省略する。

マスキングテープ貼付機構１３０は、マスキングテープ３６を貼り付けた離型紙６４がロール状に巻回されたテープロール１３２を装着するとともに、移動部１３３を介して矢印Ａ方向に進退可能なラベル送り出し部１３４を備える。ラベル送り出し部１３４は、テープロール１３２の軸心が装着されてモータ１３６の作用下に回転駆動される回転軸１３８を設け、この回転軸１３８が回転することにより、前記テープロール１３２からマスキングテープ３６を有する離型紙６４が送り出される。

離型紙６４は、マスキングテープ３６を貼り付けた状態で、複数のガイドローラ１４０の案内作用下に、水平方向に一旦送り出された後、折り返し部材１４２によって鋭角状に折り返される。離型紙６４は、マスキングテープ３６が離脱された状態で、ガイドローラ１４４を介して巻き取り軸１４６に巻き取られる。この巻き取り軸１４６は、モータ１４８を介して回転駆動される。

折り返し部材１４２の上方には、ラベル吸着搬送部１５０が設けられる。このラベル吸着搬送部１５０は、水平方向（矢印Ｂ方向）に延在するレール部材１５２を備え、このレール部材１５２に沿って自走型の走行ベース１５４が進退可能に配設される。

走行ベース１５４には、シリンダ１５６ａ、１５６ｂが鉛直下方向に向かって装着されており、前記シリンダ１５６ａ、１５６ｂから下方に延在するロッド１５８ａ、１５８ｂには、吸着パッド１６０ａ、１６０ｂが装着される。吸着パッド１６０ａ、１６０ｂは、矢印Ｂ方向に沿ってマスキングテープ３６の長手方向の長さに対応して離間する。

走行ベース１５４には、シリンダ１５６ａ、１５６ｂの内方に位置してシリンダ１６２ａ、１６２ｂが装着される。このシリンダ１６２ａ、１６２ｂから下方に延在するロッド１６４ａ、１６４ｂには、吸着機能付き押えバー１６６が支持される。シリンダ１５６ｂの外方に近接して、カッター１６８が装着されている。このカッター１６８は、吸着パッド１６０ａ、１６０ｂに吸着保持されているマスキングテープ３６を所定の位置で切断する機能を有する。

吸着パッド１６０ａ、１６０ｂによるマスキングテープ３６の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２を下方から保持するための受台１７０が、シリンダ１７２ａ、１７２ｂを介して昇降自在に配置される。受台１７０は、移動部１７４を介して矢印Ａ方向に進退可能である。

このように構成される第２の実施形態では、テープロール１３２がラベル送り出し部１３４の回転軸１３８に装着されている。この回転軸１３８は、モータ１３６の駆動作用下に回転されるため、離型紙６４がマスキングテープ３６と一体的にテープロール１３２から送り出される。

離型紙６４及びマスキングテープ３６は、ガイドローラ１４０の案内作用下に水平方向に搬送された後、折り返し部材１４２により鋭角状に折り返される。このため、マスキングテープ３６の端部が離型紙６４から剥離され、前記マスキングテープ３６の先端が、吸着パッド１６０ａに吸着保持される。この状態で、折り返し部材１４２が、図２３中、左方向に移動することにより、マスキングテープ３６が離型紙６４から分離する。吸着パッド１６０ａは、シリンダ１５６ａを介して昇降することにより、マスキングテープ３６の表面を吸着してこのマスキングテープ３６を離型紙６４から分離した状態で保持する。

さらに、走行ベース１５４がマスキングテープ３６の吸着位置に対応して移動することにより、吸着パッド１６０ｂがマスキングテープ３６の後端位置に配置される。そして、吸着パッド１６０ｂが昇降することにより、前記吸着パッド１６０ｂがマスキングテープ３６の後端を吸着保持する。

その際、折り返し部材１４２により鋭角状に折り返された離型紙６４は、マスキングテープ３６が剥離された後、ガイドローラ１４４の案内作用下に巻き取り軸１４６に移送される。巻き取り軸１４６がモータ１４８を介して回転することにより、前記巻き取り軸１４６に離型紙６４が巻き取られる。

吸着パッド１６０ａ、１６０ｂによりマスキングテープ３６の両端が吸着保持されると、前記吸着パッド１６０ｂに近接して配置されているカッター１６８が駆動され、前記マスキングテープ３６の後端側が切断される。次いで、走行ベース１５４が矢印Ｂ方向に移動して、吸着パッド１６０ａ、１６０ｂに吸着保持されているマスキングテープ３６を、感光性ウエブ２２の貼り付け位置に対応して配置させる。

マスキングテープ３６が貼り付け位置に配置されると、ラベル送り出し部１３４及び受台１７０は、感光性ウエブ２２と同期して矢印Ａ方向に移動しながら、前記マスキングテープ３６の貼り付け作業を行う。

具体的には、受台１７０は、シリンダ１７２ａ、１７２ｂを介して上昇し、この受台１７０が感光性ウエブ２２の底面側を支持する。一方、吸着パッド１６０ａ、１６０ｂは、シリンダ１５６ａ、１５６ｂの作用下に下降して、マスキングテープ３６を感光性ウエブ２２に押し付けるとともに、シリンダ１６２ａ、１６２ｂの作用下に押えバー１６６が下降して前記マスキングテープ３６を前記感光性ウエブ２２に押し付ける。これにより、マスキングテープ３６は、感光性ウエブ２２に確実に貼り付けられる。

図２４は、本発明の第３の実施形態に係る製造装置１８０の概略構成図である。

製造装置１８０は、検出機構４４ａと、基板間ウエブ切断機構４８の下流側に配置される冷却機構１８２と、この冷却機構１８２の下流側に配置されるベース剥離機構１８４とを備える。検出機構４４ａは、光電センサ８２ａ、８２ｂを備えており、前記光電センサ８２ａ、８２ｂは、所定の距離Ｌだけ離間するとともに、それぞれバックアップローラ８３ａ、８３ｂに対向して配置される。

冷却機構１８２は、基板間ウエブ切断機構４８を介して接合基板２４ａ間の感光性ウエブ２２が切断された後、この接合基板２４ａに冷風を供給して冷却処理を施す。具体的には、冷風温度が１０℃で、風量が１．０〜２．０ｍ／ｍｉｎに設定される。なお、冷却機構１８２を使用することがなく、後述する感光性積層体ストッカー１９２で自然冷却してもよい。

冷却機構１８２の下流に配置されるベース剥離機構1８４は、接合基板２４ａを下方から吸着する複数の吸着パッド１８６を備え、この吸着パッド１８６に前記接合基板２４ａが吸着保持された状態で、ロボットハンド１８８を介してベースフイルム２６及びマスキングテープ３６を剥離する。吸着パッド１８６の上流、下流及び両側方には、接合基板２４ａのラミネート部分全体に４方向の側面からイオンエアを噴射する除電ブロー（図示せず）が配設されている。なお、剥離は、除塵のためテーブルを垂直にして、あるいは傾斜させて、又は裏返にして行ってもよい。

ベース剥離機構１８４の下流には、複数の感光性積層体１１６が収容される感光性積層体ストッカー１９２が設けられる。ベース剥離機構１８４で接合基板２４ａからベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が剥離された感光性積層体１１６は、ロボット１９４のハンド部１９４ａに設けられた吸着パッド１９６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９２に収容される。

基板ストッカー８１及び感光性積層体ストッカー１９２には、投入及び取り出し口以外の３方の側面に、除塵用ファンユニット（又はダクトユニット）１９７が付設される。ファンユニット１９７は、基板ストッカー８１及び感光性積層体ストッカー１９２内に除電クリーンエアの吹き出しを行う。

ラミネート工程制御部１１０には、ラミネート制御部１１２及び基板加熱制御部１１４の他、ベース剥離制御部１９８が繋がっている。ベース剥離制御部１９８は、接合機構４２から供給される接合基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体１１６を排出する動作の制御を行うとともに、前記接合基板２４ａ及び前記感光性積層体１１６の情報をハンドリング制御する。

このように構成される第３の実施形態では、検出機構４４ａにおいて、先ず、上流側の光電センサ８２ａが、感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６の位置を検出した後、下流側の光電センサ８２ｂが前記マスキングテープ３６の位置を検出する。その際、バックアップローラ８３ａ、８３ｂ間の距離Ｌは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の貼り付け長さに略対応している。

このため、光電センサ８２ａ、８２ｂによりマスキングテープ３６が検出された間のパルス数から、実際の感光性樹脂層２８の貼り付け長さが正確に算出される。従って、この測定値からガラス基板２４の中央部に感光性樹脂層２８の貼り付け位置が設定されるように、感光性ウエブ２２の送り量が調整される。

これにより、第３の実施形態では、感光性ウエブ２２のマスキングテープ３６間、すなわち、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の長さＨが正確に検出され、この感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４の中央部に貼り付けることができる（図２５参照）。

ここで、検出機構４４ａにより検出された感光性樹脂層２８の長さＨ１が、正規の長さＨよりも長い場合には、図２６に示すように、前記感光性樹脂層２８の両端が貼り付け長さＬから外方に等距離ずつ振り分けられるようにして、ガラス基板２４の中央部に貼り付けられる。

一方、図２７に示すように、感光性樹脂層２８の長さＨ２が、正規の長さＨよりも短い場合には、前記感光性樹脂層２８の両端が貼り付け長さＬの内方に等距離ずつ振り分けられるようにして、ガラス基板２４の中央部に貼り付けられる。その際、貼り付け位置の目標ズレは、振り分けられない場合に比べて約１／２倍となる。

さらに、第３の実施形態では、ウエブ送り出し機構３２から繰り出される感光性ウエブ２２の保護フイルム３０が剥離され、感光性樹脂層２８にマスキングテープ３６が貼り付けられた後、ガラス基板２４にラミネートして感光性樹脂層２８が転写され、ベース剥離機構１８４を介してベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が剥離されて感光性積層体１１６が製造されている。これにより、感光性積層体１１６の製造工程全体の自動化が容易に遂行可能になるという効果が得られる。

図２８は、本発明の第４の実施形態に係る製造装置２００の概略構成図である。

製造装置２００は、トラブル停止時のウエブ切断や不良品を排出するための分離等の作業以外には、通常、基板間ウエブ切断機構４８を用いておらず、ウエブ先端切断機構４８ａの下流に、冷却機構１８２とベース自動剥離機構２０２とが設けられる。ベース自動剥離機構２０２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して接合されている長尺なベースフイルム２６をマスキングテープ３６と共に連続して剥離するものであり、プレ剥離部２０４と、比較的小径な剥離ローラ２０６と、巻き取り軸２０８と、自動接合機２１０とを備えている。

図２９及び図３０に示すように、プレ剥離部２０４は、ニップローラ２１２、２１４と、剥離バー２１６とを備える。ニップローラ２１２、２１４は、ガラス基板２４の搬送方向に進退可能であるとともに、上側ローラ２１２ａ、２１４ａは、昇降自在であり、下側ローラ２１２ｂ、２１４ｂと前記ガラス基板２４を挟持する。剥離バー２１６は、ガラス基板２４間で昇降可能である。なお、上側ローラ２１２ａ、２１４ａに代替えして、押さえバーや押さえピンを用いてもよい。

また、剥離ローラ２０６又はその直前でフイルム面を３０℃〜１２０℃程度まで再加熱することにより、剥離時の感光性樹脂層（色材層）２８の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。この場合の加熱方法は、剥離ローラ２０６を温水ローラ等の加熱ローラとして構成し、あるいは、バーヒータやＩＲヒータを付設してもよい。

ベース自動剥離機構２０２の下流には、ガラス基板２４に実際に接合された感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器２１８が配設される。この測定器２１８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ２２０を備え、図３１に示すように、感光性樹脂層２８が接合されたガラス基板２４の四隅Ｋ１〜Ｋ４を撮影するために４台の前記カメラ２２０が配設される。また、四隅Ｋ１〜Ｋ４に代えて縦及び横方向に少なくとも２台ずつ配設してもよい。

なお、測定器２１８は、カメラ２２０による画像処理を行う構成を採用するが、カラーセンサやレーザセンサにより端面位置を検出したり、ＬＥＤセンサ、フォトアレイ或いはラインセンサ等を組み合わせたりしてもよい。その際、各端面に少なくとも２台ずつ配設して該端面の直線度も検出することが望ましい。

また、面状検査器（図示せず）を付勢することにより、感光性ウエブ２２自体に起因するムラ、設備に起因するラミネートの濃度ムラ、皺、筋の他、塵埃や異物等の面状欠陥を検出し、警報を出すとともに、ＮＧ排出や後工程の管理に利用することができる。

このように構成される第４の実施形態では、接合機構４２でラミネートされた接合基板２４ａは、冷却機構１８２を通って冷却された後、プレ剥離部２０４に移送される。このプレ剥離部２０４では、ニップローラ２１２、２１４が隣接するガラス基板２４の後端と先端とを挟持した状態で、前記ニップローラ２１２が前記ガラス基板２４と同速度で矢印Ｃ方向に移動する一方、前記ニップローラ２１４の矢印Ｃ方向への移動速度が減速される。

従って、図３０に示すように、ニップローラ２１２、２１４間でガラス基板２４間の感光性ウエブ２２が撓み、剥離バー２１６が上昇することにより、マスキングテープ３６を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。

次いで、ベース自動剥離機構２０２では、巻き取り軸２０８の回転作用下に、接合基板２４ａからベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された接合基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸２０８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動接合機２１０を介して自動的に接合される。

ベースフイルム２６及びマスキングテープ３６が剥離されたガラス基板２４は、測定器２１８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のカメラ２２０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置ａ〜ｄが演算される。

なお、検査ステーションでは、ガラス基板２４を停止させずに搬送し、幅方向は端面位置をカメラやスキャンで検出する一方、進行方向はガラス基板２４の位置をタイミングセンサ等で検知して、画像の取り込みやセンサ検出による測定を行ってもよい。

このように、第４の実施形態では、ラミネート後に接合基板２４ａ間の感光性ウエブ２２を切断することがなく、巻き取り軸２０８の回転作用下に、前記接合基板２４ａからベースフイルム２６及びマスキングテープ３６を連続して巻き取ることができる。さらに、剥離したベースフイルム２６及びマスキングテープ３６の処理作業も容易である。ここで、マスキングテープ３６とベースフイルム２６とを同一の材料で構成することにより、処理が一層簡素化する。

また、マスキングテープ３６は、水溶性の材料、例えば、紙（クリーンペーパ）で構成することにより経済的なものとなる。さらに、マスキングテープ３６の接着剤として、例えば、水溶性、あるいは加熱剥離性のものを使用してもよい。

これにより、第４の実施形態では、感光性積層体１１６の製造作業全体が自動的且つ効率的に遂行される等、第３の実施形態と同様の効果が得られるとともに、構成が一層簡素化する。

本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブにマスキングテープが接着された状態の説明図である。 マスキングテープ貼付機構の斜視説明図である。 前記マスキングテープ貼付機構の側面図である。 前記製造装置を構成する接合機構の正面説明図である。 前記製造装置を構成する貫通部の要部断面説明図である。 イニシャル開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。 ゴムローラ間にガラス基板が進入する状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ゴムローラの回転開始状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 一枚目のラミネート終了時の動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ゴムローラと前記基板搬送ローラとの回転動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。 前記基板搬送ローラが接合基板の端末から離間する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記接合基板間の前記感光性ウエブを切断する動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 停止状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 終了状態を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記感光性ウエブの頭出し動作を示す前記製造装置の一部説明図である。 前記ガラス基板に対して前記感光性樹脂層が進む場合の説明図である。 前記ガラス基板に対して前記感光性樹脂層が遅れる場合の説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る製造装置を構成するマスキングテープ貼付機構の概略斜視図である。 前記マスキングテープ貼付機構の側面図である。 本発明の第３の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記ガラス基板に規定長さの前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 前記ガラス基板に規定長さよりも長い前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 前記ガラス基板に規定長さよりも短い前記感光性樹脂層が貼り付けられた状態の説明図である。 本発明の第４の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置を構成するプレ剥離部の説明図である。 前記プレ剥離部の動作説明図である。 前記ガラス基板上の前記感光性樹脂層の貼り付け位置検出の説明図である。 特許文献１のドライフイルムの接着方法の説明図である。

符号の説明

２０、１８０、２００…製造装置 ２２…感光性ウエブ
２４…ガラス基板 ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３２…ウエブ送り出し機構 ３４…剥離機構
３６…マスキングテープ ３８、１３０…マスキングテープ貼付機構
４０…基板搬送機構 ４２…接合機構
４４、４４ａ…検出機構 ４６…サクションドラム
４８…基板間ウエブ切断機構 ５２…テンション制御機構
５８…接着剤 ６０…マスキングテープ送り出し部
６２…マスキングテープ吸着搬送部 ６４…離型紙
６８…吸着台 ７０ａ、７０ｂ…ガイドローラ
７２ａ、７２ｂ…直動ガイド ７４ａ、７４ｂ…移動架台
７６、８０…シリンダ ７８…吸着部材
８４…基板加熱部 ８６…搬送部
８９、１６０ａ、１６０ｂ、１８６、１９６…吸着パッド
９０ａ、９０ｂ…ゴムローラ ９３…ローラクランプ部
９６…接触防止ローラ ９８…搬送路
１００…フイルム搬送ローラ １０２…基板搬送ローラ
１１０…ラミネート工程制御部 １２０…仕切り壁
１３３、１７４…移動部 １３４…ラベル送り出し部
１５０…ラベル吸着搬送部 １６６…押えバー
１７０…受台 １８２…冷却機構
１８４…ベース剥離機構 １９８…ベース剥離制御部
２０２…ベース自動剥離機構 ２０４…プレ剥離部

Claims (15)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、
   前記長尺状感光性ウエブから前記保護フイルムを連続して剥離させる剥離機構と、
   前記長尺状感光性ウエブの表面に露呈する前記感光材料層に、送り出し方向に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープを貼り付けるマスキングテープ貼付機構と、
   基板を所定の温度に加熱した状態で接合位置に搬送する基板搬送機構と、
   前記接合位置で、前記マスキングテープを前記基板間に配設するとともに、前記感光材料層を前記基板に接合して接合基板を得る接合機構と、
   前記長尺状感光性ウエブに貼り付けられた前記マスキングテープの位置を検出する検出機構と、
   前記検出機構の検出情報に基づいて、前記接合位置における前記マスキングテープと前記基板との相対位置を調整する制御機構と、
   を備え、
   前記接合機構は、所定温度に加熱される一対のゴムローラと、一方のゴムローラを進退させるローラクランプ部とを備え、
   前記ローラクランプ部は、前記一方のゴムローラにクランプ圧を付与するシリンダと、アクチュエータの作用下に前記シリンダを進退させるカム部とを備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、前記検出機構は、前記接合位置の上流近傍に配設され、前記マスキングテープを直接検出するセンサを備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１記載の製造装置において、前記検出機構は、前記マスキングテープ貼付機構から電気的にトラッキングすることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の製造装置において、前記剥離機構と前記接合機構との間には、前記長尺状感光性ウエブにテンションを付与可能なテンション制御機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の製造装置において、前記接合機構の下流で、長尺状の前記支持体を前記接合基板間で切断する切断機構と、
   前記切断機構の下流で、前記接合基板から前記マスキングテープと一体に前記支持体を剥離して感光性積層体を得る支持体剥離機構と、
   が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
6. 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の製造装置において、前記接合機構の下流で、前記接合基板から長尺状の前記支持体を前記マスキングテープと一体且つ連続的に剥離して感光性積層体を得る支持体剥離機構が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の製造装置において、前記接合機構の上流近傍には、前記長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部が配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の製造装置において、前記マスキングテープ貼付機構は、前記送り出し方向に位置調整可能な移動部を備え、
   前記制御機構は、前記移動部を制御して前記マスキングテープ貼付機構による前記マスキングテープの貼付位置を調整可能であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
9. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出す工程と、
   送り出された前記長尺状感光性ウエブから前記保護フイルムを連続して剥離させる工程と、
   前記長尺状感光性ウエブの表面に露呈する前記感光材料層に、送り出し方向に所定の間隔ずつ離間してマスキングテープを貼り付ける工程と、
   前記長尺状感光性ウエブに貼り付けられた前記マスキングテープの位置を検出する工程と、
   所定の温度に加熱されている基板を接合位置に向かって搬送する工程と、
   得られた検出情報に基づいて、前記接合位置における前記マスキングテープと前記基板との相対位置を調整する工程と、
   前記接合位置で、前記マスキングテープを前記基板間に配設するとともに、前記感光材料層を前記基板に接合して接合基板を得る工程と、
   を有し、
   前記接合基板を得る工程では、一対のゴムローラの間に前記感光材料層と前記基板とを配置した状態で、アクチュエータの作用下にカム部によりシリンダを進行させて、一方のゴムローラを他方のゴムローラに向かって進行させることにより、所定温度で加熱された前記一対のゴムローラによって前記感光材料層と前記基板とを挟み込み接合することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
10. 請求項９記載の製造方法において、前記接合位置の上流近傍で前記検出情報を得ることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
11. 請求項９記載の製造方法において、前記マスキングテープ貼付機構から電気的にトラッキングすることにより前記検出情報を得ることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
12. 請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の製造方法において、前記長尺状感光性ウエブは、前記剥離機構と前記接合機構との間でテンションが付与可能であることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
13. 請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の製造方法において、前記接合機構の下流で、長尺状の前記支持体を前記接合基板間で切断する工程と、
    前記接合基板から前記マスキングテープと一体に前記支持体を剥離して感光性積層体を得る工程と、
    を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
14. 請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の製造方法において、前記接合機構の下流で、前記接合基板から長尺状の前記支持体を前記マスキングテープと一体且つ連続的に剥離して感光性積層体を得る工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
15. 請求項９乃至１４のいずれか１項に記載の製造方法において、前記接合機構の上流近傍で、前記長尺状感光性ウエブを予め所定温度に予備加熱する工程を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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