JP2008149642A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板に対する長尺状感光性ウエブの貼り付け位置を調整し、高品質な感光性積層体を効率的に製造する。
【解決手段】ゴムローラ８０ａ、８０ｂによってガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の貼り付け位置を貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃによって検出して位置ずれ量を算出し、その位置ずれ量に従い、加工部３６ａ、３６ｂによるハーフカット部位３４の形成位置を修正した後、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを所定量搬送して、加工部位検出部４７ａ、４７ｂでハーフカット部位３４の位置修正を確認し、位置ずれのある長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４に貼り付けることなく搬送した後、位置ずれが修正された長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けて感光性積層体を製造する。
【選択図】図４

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図１７に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ装置５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ装置５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分と残存部分との２個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションローラ４の下流には、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分とともに支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

特開平１１−３４２８０号公報（図１）

ところで、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を基板１１の所望の範囲に正確に貼り付けるためには、カバーフイルムの剥離部分と残存部分との境界部分を基準として、積層体フイルム１ａをラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間に高精度に送り出す必要がある。

しかしながら、積層体フイルム１ａは、可撓性の支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、前記境界部分の位置がずれてしまうおそれがある。また、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂは、積層体フイルム１ａと基板１１とを加熱した状態で貼り付けるため、特に、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの近傍での積層体フイルム１ａの延びが大きくなってしまう。

従って、積層体フイルム１ａの貼り付けられた基板を検査し、積層体フイルム１ａの貼り付け位置が許容範囲外であるとき、その貼り付け位置を調整する処理を行う必要がある。

本発明は、基板に対する長尺状感光性ウエブの貼り付け位置を調整し、高品質な感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、加工部により前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に加工部位を形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記圧着ローラの下流側に配置され、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前記基板に対する貼り付け位置を検出する貼り付け位置検出部と、
検出された前記貼り付け位置を所望の貼り付け位置とすべく、前記加工部を制御し、前記保護フイルムに形成される前記加工部位の位置を調整する加工部制御部と、
前記長尺状感光性ウエブを搬送制御するウエブ搬送制御部と、
を備え、
前記ウエブ搬送制御部は、前記貼り付け位置検出部によって検出された前記貼り付け位置に従い、前記加工部制御部によって前記加工部の位置が調整された後、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブを、前記基板に貼り付けることなく搬送制御することを特徴とする。

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、加工部により前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に加工部位を形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前記基板に対する貼り付け位置を検出するステップと、
検出された前記貼り付け位置を所望の貼り付け位置とすべく、前記加工部を制御し、前記保護フイルムに形成される前記加工部位の位置を調整するステップと、
前記加工部位の位置を調整した後、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブを、前記基板に貼り付けることなく排出するステップと、
前記長尺状感光性ウエブを排出後、前記長尺状感光性ウエブを前記基板に貼り付けるステップと、
からなることを特徴とする。

本発明では、基板に対する長尺状感光性ウエブの貼り付け位置を検出し、貼り付け位置が許容範囲外であるとき、長尺状感光性ウエブの加工部位の位置を調整し、貼り付け位置がずれる最小限の長尺状感光性ウエブを基板に貼り付けることなく搬送した後、基板の所望の位置に長尺状感光性ウエブを貼り付ける処理を行うことにより、高品質な感光性積層体を効率的に製造することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する加工部３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４の位置を検出する加工部位検出部４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

加工部３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工部３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、加工部３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に残存部分３０ｂの幅に対応した距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

ハーフカット部位３４の位置を検出する加工部位検出部４７ａ、４７ｂは、図４に示すように、搬送ローラ７３と搬送ローラ７１ａ、７１ｂとの間の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが直線状となる部分に配設されており、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向に延在する検出域を有する二次元センサである、例えば、ＣＣＤカメラ（検出部）７２ａ、７２ｂと、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを介してＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂに対向配置され、照明光を長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに照射する二次元光源６９ａ、６９ｂとを備える。なお、二次元光源６９ａ、６９ｂから出力される照明光は、感光性樹脂層２８を感光することのない波長からなる光、例えば、赤色光からなる。

ＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂの検出域の基準位置には、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂの位置を基準として位置決めされた基準片６７ａ、６７ｂが配設される。基準片６７ａ、６７ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられた先行する感光性樹脂層２８の後端部のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａ、８０ｂの中心線上に位置しているとき、前記後端部のハーフカット部位３４から後行する次の感光性樹脂層２８の後端部のハーフカット部位３４までの基準長さとなる位置に配設される。

なお、加工部位検出部４７ａ、４７ｂは、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送路に沿って移動可能に構成することで、異なる基準長さに対応して基準片６７ａ、６７ｂの位置を調整することができる。また、ハーフカット部位３４の基準位置を示す基準片６７ａ、６７ｂの位置を、ＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂの検出域内で基準長さに対応して調整可能としてもよい。さらに、基準片６７ａ、６７ｂを使用する代わりに、ＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂを構成する検出画素を特定し、その検出画素の位置を基準位置としてもよい。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。

基板搬送ローラ９２の下流側近傍には、図５に示すように、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８のガラス基板２４に対する貼り付け位置を検出するための貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃが配設される。貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃは、ガラス基板２４の幅方向に所定距離離間して配置される二次元センサであるＣＣＤカメラ９４ａ〜９４ｃと、感光性樹脂層２８を感光することのない、例えば、赤色光からなる照明光をガラス基板２４及び感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを介してＣＣＤカメラ９４ａ〜９４ｃに照射する二次元光源９５ａ〜９５ｃとから構成される。

また、基板搬送ローラ９２の下流には、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。

ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤ等のカメラ１６０を備える。

また、ベース自動剥離機構１４２の下流には、測定器１５８によって感光性樹脂層２８にエリア位置の測定された複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２でベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

なお、以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、加工部３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに加工部位検出部４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記加工部位検出部４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。

製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム１１２ｂには、加工部位検出部４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。

製造装置２０は、図６に示すように、ラミネート工程制御部１００により全体が制御されており、このラミネート工程制御部１００により、例えば、基板加熱制御部１０４、ウエブ搬送制御部１２６、ラミネート制御部１０２、加工部制御部１０８、加工部位検出部４７ａ、４７ｂ、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃ、及び、位置ずれ量算出部１２０の制御が行われる。

基板加熱制御部１０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ウエブ搬送制御部１２６は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを、貼り付け機構４６を介して所定のタイミング及び所定の送り量で搬送する制御を行う。

ラミネート制御部１０２は、貼り付け機構４６に供給された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを、ハーフカット部位３４を基準として、基板搬送機構４５から供給されるガラス基板２４に貼り付ける制御を行う。

加工部制御部１０８は、加工部３６ａ、３６ｂを制御し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。この場合、加工部制御部１０８は、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃによって検出されたガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置に従い、ハーフカット部位３４の加工位置を調整して加工部３６ａ、３６ｂを制御する。

位置ずれ量算出部１２０は、加工部位検出部４７ａ、４７ｂによって検出されたハーフカット部位３４の基準位置からの位置ずれ量、及び、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃによって検出された感光性樹脂層２８のガラス基板２４の所望の位置からの位置ずれ量を算出する。

以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、図７〜図１１に基づき、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから貼り付け機構４６まで通して、製造装置２０の初期調整を行う手順（フイルム通し）について説明する。なお、図７〜図１１において、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付した括弧付き数字は、加工部３６ａ、３６ｂによって感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成されたハーフカット部位３４の位置及びその形成順を示す。また、このフイルム通しの作業では、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０の剥離部分３０ａａを剥離する作業は行わない。

図７において、作業者は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを引き出し、加工部３６ａ、３６ｂ、サクションドラム６２、加工部位検出部４７ａ、４７ｂ、貼り付け機構４６を介して、基板搬送ローラ９２間まで感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを通す。なお、図７において、ハーフカット部位３４の位置（−１）〜（−４）には、ハーフカット部位３４が形成されていない。

次いで、加工部３６ａ、３６ｂから加工部位検出部４７ａ、４７ｂまでの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの長さが基準設定値Ｌとなるように、ダンサーローラ６０や加工部３６ａ、３６ｂの位置等を調整する。この場合、加工部３６ａ、３６ｂから加工部位検出部４７ａ、４７ｂまでの間には、ハーフカット部位３４の位置（１）、（−１）〜（−３）で示すように、３枚のガラス基板２４に貼り付けられる長さの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが配置され、また、加工部位検出部４７ａ、４７ｂと貼り付け機構４６との間には、ハーフカット部位３４の位置（−４）で示すように、１枚のガラス基板２４に貼り付けられる長さの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが配置されるように、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送路の長さが設定されるものとする。

加工部３６ａ、３６ｂから加工部位検出部４７ａ、４７ｂまでの搬送路の長さが基準設定値Ｌとなるように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送路を調整した後、加工部３６ａ、３６ｂにより感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの位置（１）にハーフカット部位３４を形成する。続いて、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４の３枚分だけ搬送するとともに、ガラス基板２４の長さに従った間隔で位置（２）〜（４）にハーフカット部位３４を形成した後、一旦、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送を停止させる（図８）。

図８の状態において、加工部位検出部４７ａ、４７ｂにより、位置（１）のハーフカット部位３４が所定の位置に形成されているか否かを確認する。そこで、加工部位検出部４７ａ、４７ｂは、図４に示すように、二次元光源６９ａ、６９ｂから射出された赤色光を感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを介してＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂに照射する。ＣＣＤカメラ７２ａ、７２ｂは、加工部３６ａ、３６ｂと加工部位検出部４７ａ、４７ｂとの間の距離である基準設定値Ｌに対応した位置に配置されている基準片６７ａ、６７ｂとともにハーフカット部位３４の画像を取得し、位置ずれ量算出部１２０（図６）に供給する。位置ずれ量算出部１２０は、供給された画像に基づき、基準片６７ａ、６７ｂとハーフカット部位３４との位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂを算出する。

この場合、位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂがともに０であれば、加工部３６ａ、３６ｂと加工部位検出部４７ａ、４７ｂとの間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの長さが基準設定値Ｌに調整されていることが確認される。また、位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂが０でない場合には、搬送路の長さの再調整を行う。

加工部３６ａ、３６ｂと加工部位検出部４７ａ、４７ｂとの間の搬送路が基準設定値Ｌに設定されていることが確認された場合、位置ずれ量算出部１２０によって予め算出されているガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置の位置ずれ量ΔＳに従い、加工部３６ａ、３６ｂによるハーフカット部位３４の形成位置を加工部制御部１０８によって修正した後、ウエブ搬送制御部１２６により感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４の１枚分だけ搬送し、修正した位置（５）にハーフカット部位３４を形成する（図９）。

ここで、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、貼り付け機構４６における熱の影響により、加工部位検出部４７ａ、４７ｂと貼り付け機構４６との間で延びるため、加工部位検出部４７ａ、４７ｂと貼り付け機構４６との間の距離をガラス基板２４の１枚分の長さに対応させて正確に設定したとしても、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８をガラス基板２４の所定の位置に正確に貼り付けることはできず、図５に示すように、ガラス基板２４の基準位置９９に対して位置ずれ量ΔＳａ、ΔＳｂだけのずれが生じる。これらの位置ずれ量ΔＳａ、ΔＳｂは、基板搬送ローラ９２の下流側に配設された貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃを構成するＣＣＤカメラ９４ａ、９４ｂによってガラス基板２４及び感光性樹脂層２８の画像を取得し、その画像に基づき位置ずれ量算出部１２０により予め算出しておく。なお、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの位置ずれ量ΔＳａ、ΔＳｂは、特性の差異、搬送路の長さの誤差等によって一般に異なるため、これらの平均値である位置ずれ量ΔＳ（＝（ΔＳａ＋ΔＳｂ）／２）を修正量として加工部制御部１０８に供給し、加工部３６ａ、３６ｂの位置を修正する。

なお、加工部３６ａ、３６ｂによるハーフカット部位３４の形成位置を個別に制御できる場合には、各加工部３６ａ、３６ｂの位置を位置ずれ量ΔＳａ、ΔＳｂに従って個別に制御するようにしてもよい。

位置（５）のハーフカット部位３４を形成した後、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４の３枚分だけ搬送するとともに、位置（６）〜（８）にハーフカット部位３４を形成して図１０の状態とし、一旦、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送を停止させる。

次いで、加工部位検出部４７ａ、４７ｂにより位置（５）のハーフカット部位３４の位置を確認し、図９の状態で位置ずれ量ΔＳだけ修正して形成された位置（５）のハーフカット部位３４が所定の位置に形成されているか否かを確認する。この場合、位置（５）のハーフカット部位３４は、加工部３６ａ、３６ｂからガラス基板２４の３枚分だけ搬送されている。従って、加工部位検出部４７ａ、４７ｂによって検出された位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂ（図４）の平均値が、加工部３６ａ、３６ｂで修正された位置ずれ量ΔＳの３倍となっていれば、ハーフカット部位３４が適切な位置に形成されているものと判断することができる。

ハーフカット部位３４が適切な位置に形成されていることが確認された場合、位置（５）のハーフカット部位３４を貼り付け機構４６の所定の位置まで搬送した後（図１１）、ガラス基板２４をゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に挿入し、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け処理を開始する。

なお、位置（５）のハーフカット部位３４を貼り付け機構４６まで搬送してから貼り付け処理を開始するのは、位置（５）、（６）間の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの熱の影響を受けているおそれがあるためである。従って、図１１に示すように、加工部３６ａ、３６ｂから貼り付け機構４６まで長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのフイルム通しを行ってから、貼り付け処理を開始するまでの間に、位置（−４）〜（５）のハーフカット部位３４間の８枚分の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがガラス基板２４に貼り付けられることなく排出される。

以上のようにして、加工部３６ａ、３６ｂ、加工部位検出部４７ａ、４７ｂ間の搬送路の長さを調整するとともに、ハーフカット部位３４の位置を調整した後、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け処理を行う。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、加工部３６ａ、３６ｂに搬送される。

加工部３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

なお、残存部分３０ｂの幅は、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定されるものとする。また、残存部分３０ｂを挟んで形成される一組のハーフカット部位３４は、１枚のガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の長さに対応した間隔で長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成される。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、次いで、加工部位検出部４７ａ、４７ｂにおいてハーフカット部位３４の検出が行われる。検出されたハーフカット部位３４の位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂは、位置ずれ量算出部１２０によって算出され、所定の位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂに設定されているか否かが確認される。

ハーフカット部位３４が所定の位置ずれ量ΔＬａ、ΔＬｂに設定されていることが確認された長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ウエブ搬送制御部１２６によって搬送され、ハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に配置される。一方、ガラス基板２４が、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。

次いで、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。ウエブ搬送制御部１２６（図６）は、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の範囲に対応したラミネート制御パルスに基づいてゴムローラ８０ａを回転させ、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する。この結果、並列されている各感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

感光性樹脂層２８がガラス基板２４に貼着されることで１枚の貼り付け基板２４ａが製造されると、ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

次いで、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃがガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の位置を検出し、位置ずれ量算出部１２０により貼り付け位置の位置ずれ量ΔＳが算出される（図５）。

位置ずれ量ΔＳが許容範囲内であるとき、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅に対応する距離だけ搬送され、保護フイルム３０の後方の剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板２４ａが連続的に製造される。

その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。

次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。

ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のカメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。

感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

ここで、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃによって検出されたガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け位置の位置ずれ量ΔＳが許容範囲外となっている場合、検出された位置ずれ量ΔＳに基づき、図７〜図１１に示すフイルム通しの処理の場合と同様の手順で、加工部３６ａ、３６ｂによるハーフカット部位３４の形成位置を修正し、不適切な長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを排出した後、貼り付け基板２４ａの製造を再開する。

なお、加工部３６ａ、３６ｂから加工部位検出部４７ａ、４７ｂまでの長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの長さが基準設定値Ｌに設定されており、その調整が不要と見なせる場合には、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを図８の状態に設定して基準設定値Ｌを確認する処理を行うことなく、ハーフカット部位３４の加工位置の調整を行うことができる。この場合の手順につき、図１２〜図１５に基づいて説明する。

図１２において、加工部３６ａ、３６ｂにより長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの位置（１）にハーフカット部位３４を形成した後、位置ずれ量算出部１２０で算出された位置ずれ量ΔＳに基づき、加工部３６ａ、３６ｂによるハーフカット部位３４の形成位置を加工部制御部１０８によって修正する。

次いで、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４の１枚分だけ搬送し、修正した位置（２）にハーフカット部位３４を形成する（図１３）。

位置（２）のハーフカット部位３４を形成した後、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをガラス基板２４の３枚分だけ搬送するとともに、位置（３）、（４）にハーフカット部位３４を形成して図１４の状態とし、一旦、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送を停止させる。

次に、加工部位検出部４７ａ、４７ｂにより位置（１）のハーフカット部位３４の位置を確認し、図１３の状態で位置ずれ量ΔＳだけ修正して形成された位置（２）のハーフカット部位３４が所定の位置に形成されているか否かを確認する。

ハーフカット部位３４が適切な位置に形成されていることが確認された場合、位置（１）のハーフカット部位３４を貼り付け機構４６の所定の位置まで搬送した後（図１５）、ガラス基板２４をゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に挿入し、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け処理を開始する。

この場合、図１５に示すように、貼り付け位置検出部９３ａ〜９３ｃで位置ずれ量ΔＳを検出し、この位置ずれ量ΔＳを修正して貼り付け処理を開始するまでの間に、位置（−４）〜（１）のハーフカット部位３４間の４枚分の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがガラス基板２４に貼り付けられることなく排出される。

なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブローラや、３本以上の感光性ウエブローラを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。

図１６は、本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。

製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８を備える。

このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。

この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体１０６が製造される。

本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 ハーフカット部位の位置を検出する加工部位検出部、及び、ガラス基板に貼り付けられた感光性樹脂層の位置ずれを検出する貼り付け位置検出部の構成説明図である。 ガラス基板に貼り付けられた感光性樹脂層の位置ずれの説明図である。 製造装置の制御回路ブロック図である。 主としてフイルム通しにおける加工部位の調整処理の手順説明図である。 主としてフイルム通しにおける加工部位の調整処理の手順説明図である。 主としてフイルム通しにおける加工部位の調整処理の手順説明図である。 主としてフイルム通しにおける加工部位の調整処理の手順説明図である。 主としてフイルム通しにおける加工部位の調整処理の手順説明図である。 位置ずれが検出された場合における加工部位の調整処理の手順説明図である。 位置ずれが検出された場合における加工部位の調整処理の手順説明図である。 位置ずれが検出された場合における加工部位の調整処理の手順説明図である。 位置ずれが検出された場合における加工部位の調整処理の手順説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 特許文献１の製造装置の概略構成図である。

符号の説明

２０、３００…製造装置 ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板 ２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
３４…ハーフカット部位 ３６ａ、３６ｂ…加工部
４６…貼り付け機構 ４７ａ、４７ｂ…加工部位検出部
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ ９３ａ〜９３ｃ…貼り付け位置検出部
１００…ラミネート工程制御部 １０２…ラミネート制御部
１０４…基板加熱制御部 １０８…加工部制御部
１２０…位置ずれ量算出部 １２６…ウエブ搬送制御部

Claims (6)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、加工部により前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に加工部位を形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
   前記圧着ローラの下流側に配置され、前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前記基板に対する貼り付け位置を検出する貼り付け位置検出部と、
   検出された前記貼り付け位置を所望の貼り付け位置とすべく、前記加工部を制御し、前記保護フイルムに形成される前記加工部位の位置を調整する加工部制御部と、
   前記長尺状感光性ウエブを搬送制御するウエブ搬送制御部と、
   を備え、
   前記ウエブ搬送制御部は、前記貼り付け位置検出部によって検出された前記貼り付け位置に従い、前記加工部制御部によって前記加工部の位置が調整された後、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブを、前記基板に貼り付けることなく搬送制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、
   前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブの搬送路に配置され、前記加工部を基準とする前記加工部位の位置を検出する加工部位検出部を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１又は２記載の製造装置において、
   前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブの搬送路の長さは、前記加工部位の搬送方向の間隔を基本単位として、前記基本単位の整数倍となるように設定されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、加工部により前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に加工部位を形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
   前記基板に貼り付けられた前記感光材料層の前記基板に対する貼り付け位置を検出するステップと、
   検出された前記貼り付け位置を所望の貼り付け位置とすべく、前記加工部を制御し、前記保護フイルムに形成される前記加工部位の位置を調整するステップと、
   前記加工部位の位置を調整した後、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブを、前記基板に貼り付けることなく排出するステップと、
   前記長尺状感光性ウエブを排出後、前記長尺状感光性ウエブを前記基板に貼り付けるステップと、
   からなることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
5. 請求項４記載の製造方法において、
   前記感光材料層の前記基板に対する貼り付け位置を検出した後、前記長尺状感光性ウエブを所定量搬送し、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブの搬送路において、前記加工部を基準とする前記加工部位の位置を検出することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
6. 請求項４又は５記載の製造方法において、
   前記加工部位の位置を調整した後、前記長尺状感光性ウエブを所定量搬送し、前記加工部と前記圧着ローラとの間の前記長尺状感光性ウエブの搬送路において、前記加工部を基準とする前記加工部位の位置を検出することを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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