JP2009226883A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板や長尺状感光性ウエブを無駄にすることなく、高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ゴムローラ８０ａ、８０ｂの交換後の貼り付け前期、貼り付け中期及び貼り付け後期の各期間において、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの前後の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与するテンションを、所定値よりも大きい設定、前記貼り付け前期での所定値よりも小さい設定、及び、前記貼り付け中期よりも大きい設定にそれぞれ切り替えて、貼り付け処理を連続的に行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰ用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図９に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ装置５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ装置５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分と残存部分との２個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションローラ４の下流には、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分とともに支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

ところで、図１０に示すように、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａを基板１１の端部からの距離ΔＬが一定となるように正確に貼り付けるためには、カバーフイルムの剥離部分と残存部分との境界部分を基準として、積層体フイルム１ａをラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間に高精度に送り出す必要がある。

しかしながら、積層体フイルム１ａは、可撓性の支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、前記境界部分の位置がずれてしまうおそれがある。また、図１１に示すように、１枚の基板１１に対して２枚の積層体フイルム１ａ、１ｂを同時に貼り付けるように構成した場合には、各積層体フイルム１ａ、１ｂの基板１１に対する貼り付け位置（距離ΔＬ１、ΔＬ２）の個々のずれだけでなく、積層体フイルム１ａ、１ｂ間の位置ずれも問題となる。

そこで、感光性積層体を高精度に製造するため、基板１１に対する積層体フイルム１ａの貼り付け位置のずれを検出して、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂに供給する基板１１の基板間距離Ｋを調整し、あるいは、ディスクカッタ５ａ、５ｂによる境界部分の加工位置を調整することが考えられる。

一方、基板１１に対して積層体フイルム１ａを圧着するラミネーションローラ１２ａ、１２ｂは、積層体フイルム１ａに対して所定の摩擦力を付与して搬送するため、外周面にゴムがライニングされている。ゴムのライニングは、製造中における積層体フイルム１ａとの摩擦や、積層体フイルム１ａからの転写物の付着等によって摩擦係数が変化するため、このような物理的条件変化の影響によっても、基板１１に対する積層体フイルム１ａの位置ずれが発生する。この場合、ゴムがライニングされたラミネーションローラ１２ａ、１２ｂは、摩擦係数を含む物理的条件を所定の範囲内とするため、定期的に交換する必要がある。

特開平１１−３４２８０号公報

しかしながら、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの交換を行った場合、表面状態が経時的に変化するため、上記の補正だけで位置ずれを直ちに修正することはできない。従って、高精度な感光性積層体が得られるまでに大量の基板１１や積層体フイルム１ａが無駄に廃棄されることが懸念される。

本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、基板や長尺状感光性ウエブを無駄にすることなく、高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記圧着ローラの上流側における前記長尺状感光性ウエブの上流側テンションＴＢを検出する上流側テンション検出手段と、
検出された前記上流側テンションＴＢを調整する上流側テンション調整手段と、
前記圧着ローラの下流側における前記長尺状感光性ウエブの下流側テンションＴＰを検出する下流側テンション検出手段と、
検出された前記下流側テンションＴＰを調整する下流側テンション調整手段と、
前記圧着ローラの交換後の前記感光性積層体の製造枚数が所定枚数以下である貼り付け前期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを所定値よりも大きく設定し、前記貼り付け前期の経過後であって、１枚の前記基板に前記長尺状感光性ウエブを貼り付けて前記感光性積層体を製造するのに要する前記圧着ローラの回転数が所定回転数以上である貼り付け中期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け前期の前記所定値よりも小さい所定値に設定し、前記貼り付け中期の経過後であって、前記回転数が前記所定回転数よりも少なくなる貼り付け後期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け中期の前記所定値よりも大きく設定して制御するテンション制御手段と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
前記圧着ローラの交換後の前記感光性積層体の製造枚数が所定枚数以下である貼り付け前期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを所定値よりも大きく設定し、
前記貼り付け前期の経過後であって、１枚の前記基板に前記長尺状感光性ウエブを貼り付けて前記感光性積層体を製造するのに要する前記圧着ローラの回転数が所定回転数以上である貼り付け中期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け前期の前記所定値よりも小さい所定値に設定し、
前記貼り付け中期の経過後であって、前記回転数が前記所定回転数よりも少なくなる貼り付け後期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け中期の前記所定値よりも大きく設定して制御することを特徴とする。

本発明では、圧着ローラの交換後の感光性積層体の製造枚数、及び、感光性積層体を製造するのに要する前記圧着ローラの回転数に従い、圧着ローラ前後における長尺状感光性ウエブのテンションを調整することにより、圧着ローラの交換後において、基板や長尺状感光性ウエブを無駄にすることなく、貼り付け位置が適切に調整されるとともに、皺や気泡のない高精度な感光性積層体を製造することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０では、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業が行われる。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ（加工位置調整手段）と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５（貼り付け位置調整手段）と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構（加工部位位置検出手段）４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に残存部分３０ｂの幅に対応した距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、テンションローラ６５を含むテンション制御機構６６ａ、６６ｂ（上流側テンション調整手段）が配設される。テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。

貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂの位置を基準としてハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、搬送ローラ７３と搬送ローラ７１ａ、７１ｂとの間の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが直線状となる部分に配設される。第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、ハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像を撮影するＣＣＤカメラ（後述）により構成される。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の１枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。基板搬送ローラ９２の下流側近傍には、搬送されたガラス基板２４の先端部を検知する基板先端検知センサ９４が配設される。基板先端検知センサ９４は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の後端部のハーフカット部位３４が貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されたとき、ガラス基板２４の先端部を検知する位置に配置される（図４参照）。

また、基板搬送ローラ９２の下流には、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂとが設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂは、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの長尺なベースフイルム２６を、ガラス基板２４から連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に所定のテンションを付与する。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。

ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂの下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤカメラ１６０を備える。

また、測定器１５８の下流には、複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが、貫通部１１４を有する隔壁１１０を隔てて貼り付け機構４６の上部クリーンルーム１１２ａに配置される一方、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ、貼り付け機構４６、冷却機構１２２、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂ、測定器１５８が下部クリーンルーム１１２ｂに配置される。なお、上部クリーンルーム１１２ａ及び下部クリーンルーム１１２ｂに配置される各機構を上下逆に配置してもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。

図５は、テンション制御機構６６ａ、６６ｂ及びベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂを制御することで、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上流側テンション及び下流側テンションを調整するための回路ブロック図である。なお、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂの上流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションを上流側テンション（バックテンションＴＢ）とし、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの下流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションを下流側テンション（ピールテンションＴＰ）とする。

テンション制御機構６６ａ、６６ｂを構成する各テンションローラ６５には、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを検出するバックテンション検出器１７０（上流側テンション検出手段）が接続される。また、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂを構成する各巻き取り軸１４８は、巻き取り用トルクモータ１７２（下流側テンション調整手段）によって回転制御される。巻き取り用トルクモータ１７２には、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与されるテンションを巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから算出するピールテンション算出部１７４（下流側テンション検出手段）が接続される。

テンション制御部１７６（テンション制御手段）は、テンション設定部１７８で設定されたテンションに基づき、バックテンション検出器１７０によって検出されたバックテンションＴＢと、ピールテンション算出部１７４によって算出されたピールテンションＴＰとを制御する。テンション設定部１７８は、製造枚数カウンタ１８０により計数した感光性積層体１０６の製造枚数、又は、ゴムローラ回転数検出器１８２により検出したゴムローラ８０ａ、８０ｂの回転数に基づき、テンション設定テーブル記憶部１８４に記憶されたバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰを読み出してテンション制御部１７６に設定する。なお、製造枚数カウンタ１８０は、例えば、感光性積層体ストッカー１３２に積層される感光性積層体１０６の枚数を計数するカウンタにより構成することができ、ゴムローラ回転数検出器１８２は、バックアップローラ８２ａの回転軸に連結されたエンコーダにより構成することができる。

図６は、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂによって検出されたハーフカット部位３４の位置に基づき、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整するための回路ブロック図である。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、それぞれＣＣＤカメラ１８６を有する。ハーフカット位置算出部１８８は、各ＣＣＤカメラ１８６によって撮影されたハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像に基づき、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの位置を基準とするハーフカット部位３４の位置を算出する。ハーフカット位置補正部１９２は、ハーフカット位置算出部１８８により算出された各ハーフカット部位３４の位置に基づき、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成するハーフカット部位３４の位置の補正量を算出する。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、算出された補正量に従ってハーフカット部位３４の形成位置を修正し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにハーフカット部位３４を形成する。

以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

なお、残存部分３０ｂの幅Ｍは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定されるものとする。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４は、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さＬ（図４参照）の間隔で長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成される。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってバックテンションＴＢが調整され、次いで、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにおいてハーフカット部位３４が検出される。

貼り付け機構４６は、検出されたハーフカット部位３４に先行する剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａ、８０ｂに配置されるように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを搬送して停止させる一方、ガラス基板２４を、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。

次いで、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。そして、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する。この結果、並列されている各感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

基板先端検知センサ９４がガラス基板２４の先端を検知し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう。）が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、保護フイルム３０の後方の剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板２４ａが連続的に製造される。

その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。

次いで、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでは、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。この場合、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与されるピールテンションＴＰは、巻き取り軸１４８を回転させる巻き取り用トルクモータ１７２によって制御される。

ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のＣＣＤカメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。

感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

ところで、ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを貼り付けるためのゴムローラ８０ａ、８０ｂは、長期間使用していると、ライニングされたゴムが摩耗したり、表面に長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂからの転写物が付着する等により摩擦係数が変化し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを適切な状態で搬送できなくなってしまうため、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを定期的に交換する必要がある。

一方、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを新品に交換すると、表面状態が交換直後から経時的に変化するため、ガラス基板２４に貼り付けられるハーフカット部位３４間の感光性樹脂層２８の位置や基準長さＬ（図４参照）が変化するとともに、図１１に示すように、２列に貼り付けられる長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各貼り付け位置（距離ΔＬ１、ΔＬ２）がずれてしまう。

そこで、図７のフローチャートに従い、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを新品に交換した後の処理について説明する。

ゴムローラ８０ａ、８０ｂの交換が行われると（ステップＳ１）、テンション制御部１７６は、先ず、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの上流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを１００Ｎ／ｍに調整するとともに、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの下流側のピールテンションＴＰを８０Ｎ／ｍに調整し、貼り付け前期における貼り付け基板２４ａの製造処理を行う（ステップＳ２）。

すなわち、図５において、テンション設定部１７８は、テンション設定テーブル記憶部１８４よりバックテンションＴＢ＝１００Ｎ／ｍ及びピールテンションＴＰ＝８０Ｎ／ｍの各データを読み出し、テンション制御部１７６に設定する。一方、テンション制御機構６６ａ、６６ｂを構成するテンションローラ６５に接続された各バックテンション検出器１７０は、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを検出し、その検出値をテンション制御部１７６に供給する。また、ピールテンション算出部１７４は、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８を介して貼り付けられたベースフイルム２６を巻き取る巻き取り軸１４８を回転させる巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰを算出し、その算出値をテンション制御部１７６に供給する。テンション制御部１７６は、これらの検出値及び算出値が設定されたバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰとなるように、シリンダ６８を駆動してテンションダンサー７０を制御するとともに、巻き取り用トルクモータ１７２を制御する。

なお、バックテンションＴＢは、１００±５Ｎ／ｍの範囲、ピールテンションＴＰは、８０±５Ｎ／ｍの範囲で設定してもよい。また、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰは、巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから算出して制御する代わりに、バックテンションＴＢを制御するテンション制御機構６６ａ、６６ｂと同様に、剥離ローラ１４６と自動貼り付け機１５０との間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰを検出し、この間に配設したテンションダンサーを駆動して制御してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出したハーフカット部位３４の位置に基づき、必要に応じて、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整する（ステップＳ３）。

すなわち、図６において、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂを構成するＣＣＤカメラ１８６は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置にハーフカット部位３４が到達した時点で、ハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像を撮影する。ハーフカット位置算出部１８８は、撮影された画像からハーフカット部位３４を抽出し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの位置を基準とするハーフカット部位３４の位置を算出する。

ハーフカット位置補正部１９２は、ハーフカット部位３４の位置ずれ量が所定量を超えているとき、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂを制御して、ガラス基板２４の端部から各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの端部までの距離ΔＬ１、ΔＬ２が距離ΔＬとなるように、各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに対するハーフカット部位３４の形成位置を修正する。

以上のようにしてガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整しながら、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け処理を継続する（ステップＳ４）。

長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがガラス基板２４の所定部位に貼り付けられた貼り付け基板２４ａは、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂによってベースフイルム２６が剥離された後、測定器１５８に供給され、感光性積層体１０６の貼り付け状態、例えば、貼り付け位置、ガラス基板２４と感光性樹脂層２８との間に気泡が混入しているか否か等について画像検査処理が行われる（ステップＳ５）。

ここで、図８は、製造装置２０により製造される感光性積層体１０６の製造枚数と、１枚のガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを貼り付けて感光性積層体１０６を製造するのに要する上部のゴムローラ８０ａの回転数との関係を示す。この場合、ゴムローラ８０ａの交換直後から感光性積層体１０６が所定枚数製造されるまでの貼り付け前期では、１枚の感光性積層体１０６を製造するのに要するゴムローラ８０ａの回転数が急激に上昇した後、一旦安定した状態となる挙動を呈する。この間、バックテンションＴＢ＝１００Ｎ／ｍ、ピールテンションＴＰ＝８０Ｎ／ｍに設定した状態で貼り付けを行うことにより、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置変動を好適に抑制することができる。しかも、基板搬送機構４５及びテンション制御機構６６ａ、６６ｂによって、必要に応じて貼り付け位置が調整されるため、貼り付け状態の良好な感光性積層体１０６を連続的に製造することができる。

バックテンションＴＢ＝１００Ｎ／ｍ、ピールテンションＴＰ＝８０Ｎ／ｍでの貼り付け前期での処理を継続し、製造枚数カウンタ１８０により計数された感光性積層体１０６の製造枚数ｎが所定枚数Ｎ１に達すると（ステップＳ６）、テンション制御部１７６は、テンション設定テーブル記憶部１８４から次のデータを読み出し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを８０Ｎ／ｍに調整するとともに、ピールテンションＴＰを６０Ｎ／ｍに調整する（ステップＳ７）。

なお、バックテンションＴＢは、８０±５Ｎ／ｍの範囲、ピールテンションＴＰは、６０±５Ｎ／ｍの範囲で設定してもよい。また、所定枚数Ｎ１は、例えば、ゴムローラ８０ａ、８０ｂのライニングであるゴムをシリコーンゴムとし、ゴムローラ８０ａ、８０ｂに接触する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの可撓性ベースフイルム２６をＰＥＴ（PolyEthyleneTerephthalate）とした場合、４２０±１００枚の範囲で設定することができる。

前記のテンションを維持した状態で、ステップＳ３〜Ｓ５と同様に、貼り付け位置の調整処理（ステップＳ８）、貼り付け処理（ステップＳ９）、画像検査処理（ステップＳ１０）を行う。これらの処理（ステップＳ８〜Ｓ１０）は、ガラス基板２４に対する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置が安定するまで行われる（ステップＳ１１）。

ここで、製造枚数ｎがＮ１以上であって、バックテンションＴＢ＝８０Ｎ／ｍ、ピールテンションＴＰ＝６０Ｎ／ｍで製造を継続する貼り付け中期前半では、１枚の感光性積層体１０６を製造するのに要するゴムローラ８０ａの回転数が急激に低下した後、回転数特性の変曲点近傍において回転数が不安定となる挙動を呈する場合がある。このような挙動があると、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置や貼り付け状態に不具合の生じるおそれがある。

しかしながら、バックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰは、貼り付け中期前半において、貼り付け前期よりも小さく設定されているため、このような挙動が抑制され、且つ、変動の期間も短くなり、変動による不良品の発生が抑制される。

画像検査処理でガラス基板２４と感光性樹脂層２８との間に気泡が混入する等の不具合が検出されることなく（ステップＳ１２）、ゴムローラ回転数検出器１８２によって検出される１枚の感光性積層体１０６を製造するのに要するゴムローラ８０ａの回転数ｒが所定の回転数Ｒ１以下になったとき（ステップＳ１３）、又は、気泡の混入等の不具合が回転数Ｒ１に達する前に検出されたとき（ステップＳ１２）、テンション制御部１７６は、テンション設定テーブル記憶部１８４から次のデータを読み出し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを１００Ｎ／ｍに戻すとともに、ピールテンションＴＰを８０Ｎ／ｍに戻し、貼り付け中期後半の製造を継続する（ステップＳ１４）。この場合、不良品の発生を最小限とすることができる。

なお、バックテンションＴＢは、１００±５Ｎ／ｍの範囲、ピールテンションＴＰは、８０±５Ｎ／ｍの範囲で設定してもよい。また、回転数Ｒ１は、６．０５±０．０３回／枚の範囲に設定することができる。

次いで、ステップＳ３〜Ｓ５と同様に、貼り付け位置の調整処理（ステップＳ１５）、貼り付け処理（ステップＳ１６）、画像検査処理（ステップＳ１７）を行う。

画像検査処理でガラス基板２４と感光性樹脂層２８との間に気泡が混入する等の不具合が検出されることがなく（ステップＳ１８）、ゴムローラ回転数検出器１８２によって検出されるゴムローラ８０ａの回転数ｒが所定の回転数Ｒ２以下になったとき（ステップＳ１９）、テンション設定部１７８は、ゴムローラ８０ａの表面が安定状態になったと判定し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを１２０Ｎ／ｍに調整するとともに、ピールテンションＴＰを１００Ｎ／ｍに調整する（ステップＳ２０）。この場合、ガラス基板２４と感光性樹脂層２８との間には、気泡等が混入することなく、安定した状態で感光性積層体１０６を製造することができる。

なお、バックテンションＴＢは、１２０±５Ｎ／ｍの範囲、ピールテンションＴＰは、１００±５Ｎ／ｍの範囲で設定してもよい。また、回転数Ｒ２は、６．０３±０．０３回／枚の範囲に設定することができる。

次いで、ステップＳ３〜Ｓ５と同様に、貼り付け位置の調整処理（ステップＳ２１）、貼り付け処理（ステップＳ２２）、画像検査処理（ステップＳ２３）を行いながら、貼り付け後期の処理を継続し、所望の製造枚数に達した時点で製造を終了する（ステップＳ２４）。

以上のようにして、感光性積層体１０６の製造枚数と、ゴムローラ８０ａの回転数とに従い、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに対するバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰを調整して貼り付け処理を行うことにより、不良品の発生を最小限として、高精度な感光性積層体１０６を連続的に製造することができる。この場合、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂやガラス基板２４を無駄に廃棄してしまうこともない。

なお、上述した実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。

本発明の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 貼り付け機構からベース自動剥離機構に至る製造装置の説明図である。 圧着ローラの前後における長尺状感光性ウエブのテンションを調整するための回路ブロック図である。 ハーフカット部位の加工位置を調整するための回路ブロック図である。 圧着ローラの交換後におけるテンション調整処理のフローチャートである。 感光性積層体の製造枚数と、１枚の感光性積層体の製造に要する圧着ローラの回転数との関係説明図である。 従来技術の製造装置の概略構成図である。 基板に１枚の感光性樹脂層を貼り付けた状態の説明図である。 基板に２枚の感光性樹脂層を貼り付けた状態の説明図である。

符号の説明

２０…製造装置
２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３４…ハーフカット部位
３６ａ、３６ｂ…加工機構
４５…基板搬送機構
４６…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ…検出機構
６５…テンションローラ
６６ａ、６６ｂ…テンション制御機構
６８…シリンダ
７０…テンションダンサー
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
１０６…感光性積層体
１４２ａ、１４２ｂ…ベース自動剥離機構
１４８…巻き取り軸
１７０…バックテンション検出器
１７２…巻き取り用トルクモータ
１７４…ピールテンション算出部
１７６…テンション制御部
１７８…テンション設定部
１８０…製造枚数カウンタ
１８２…ゴムローラ回転数検出器
１８４…テンション設定テーブル記憶部
１８６…ＣＣＤカメラ
１８８…ハーフカット位置算出部
１９２…ハーフカット位置補正部

Claims (9)

1. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
   前記圧着ローラの上流側における前記長尺状感光性ウエブの上流側テンションＴＢを検出する上流側テンション検出手段と、
   検出された前記上流側テンションＴＢを調整する上流側テンション調整手段と、
   前記圧着ローラの下流側における前記長尺状感光性ウエブの下流側テンションＴＰを検出する下流側テンション検出手段と、
   検出された前記下流側テンションＴＰを調整する下流側テンション調整手段と、
   前記圧着ローラの交換後の前記感光性積層体の製造枚数が所定枚数以下である貼り付け前期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを所定値よりも大きく設定し、前記貼り付け前期の経過後であって、１枚の前記基板に前記長尺状感光性ウエブを貼り付けて前記感光性積層体を製造するのに要する前記圧着ローラの回転数が所定回転数以上である貼り付け中期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け前期の前記所定値よりも小さい所定値に設定し、前記貼り付け中期の経過後であって、前記回転数が前記所定回転数よりも少なくなる貼り付け後期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け中期の前記所定値よりも大きく設定して制御するテンション制御手段と、
   を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、
   前記テンション制御手段は、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを、ＴＢ＞ＴＰの関係で制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１記載の製造装置において、
   前記テンション制御手段は、前記貼り付け中期の後半での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを、前記貼り付け中期の前半での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰと、前記貼り付け後期での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰとの間の値に設定して制御することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 請求項３記載の製造装置において、
   前記テンション制御手段は、前記回転数が所定回転数以下になった時点で、前記貼り付け中期の前半と後半の前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを切り替えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
5. 請求項１記載の製造装置において、
   当該製造装置は、１枚の前期基板上に複数の前記長尺状感光性ウエブを貼り付けるように構成され、前記上流側テンション調整手段及び前記下流側テンション調整手段は、前記各長尺状感光性ウエブの前記各上流側テンションＴＢ及び前記各下流側テンションＴＰを独立に調整可能であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
6. 支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造方法において、
   前記圧着ローラの交換後の前記感光性積層体の製造枚数が所定枚数以下である貼り付け前期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを所定値よりも大きく設定し、
   前記貼り付け前期の経過後であって、１枚の前記基板に前記長尺状感光性ウエブを貼り付けて前記感光性積層体を製造するのに要する前記圧着ローラの回転数が所定回転数以上である貼り付け中期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け前期の前記所定値よりも小さい所定値に設定し、
   前記貼り付け中期の経過後であって、前記回転数が前記所定回転数よりも少なくなる貼り付け後期では、前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを前記貼り付け中期の前記所定値よりも大きく設定して制御することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
7. 請求項６記載の製造方法において、
   前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを、ＴＢ＞ＴＰの関係に設定して制御することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
8. 請求項６記載の製造方法において、
   前記貼り付け中期の後半での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを、前記貼り付け中期の前半での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰと、前記貼り付け後期での前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰとの間の値に設定して制御することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
9. 請求項８記載の製造方法において、
   前記製造枚数が所定値に達した時点で、前記貼り付け中期の前半と後半の前記上流側テンションＴＢ及び前記下流側テンションＴＰを切り替えることを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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