JP2006023407A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】長期間に渡り安定した状態でむらのない転写処理を継続し、高い稼働率を確保してコストダウンに貢献することのできる感光性積層体製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１４に対して感光性シートフイルム１２を圧着するための圧着ローラ６４ａ、６４ｂの外周部に被覆されるゴム層６５ａ、６５ｂのうち、少なくとも感光性シートフイルム１２に接するゴム層６５ａの感光性シートフイルム１２に対する静止摩擦係数を、０．１〜０．７の範囲に設定することにより、ゴム層６５ａと感光性シートフイルム１２との間で適度な滑りが発生し、それによって、感光性シートフイルム１２を安定して搬送し、濃淡むらのないカラーフィルタ基板を製造する。
【選択図】図１

Description

本発明は、支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造装置及び製造方法に関する。

例えば、感光性積層体製造装置を用いて、透光性ベースフイルム（支持体）に塗布された感光性顔料分散液（感光材料層）をガラス基板や樹脂基板に貼付し、あるいは、転写溶融することで感光性積層体が製造されている（特許文献１、２参照）。感光材料層が転写されたガラス基板等の感光性積層体は、支持体が剥離された後、フォトリソグラフィ法により露光・現像され、次いで、同様の処理が異なる色の感光材料層毎に行われることにより、液晶パネルやＰＤＰパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。なお、感光性積層体製造装置は、例えば、導電性の感光材料層を用いて配線回路を基板上に形成してなるプリント基板の製造にも適用することができる。

図６は、感光性積層体製造装置の概略構成を示す。この装置では、一対の圧着ローラ２ａ、２ｂ間に、ガラス基板４と感光性シートフイルム６とが供給される。感光性シートフイルム６は、所定温度に加熱された圧着ローラ２ａによって加熱されることで、支持体に塗布されている感光材料層が溶融し、圧着ローラ２ａ、２ｂの加圧力によりガラス基板４に転写される。

特開２００２−１４８７９４号公報 特開平８−１６０２１５号公報

ここで、ガラス基板４と感光性シートフイルム６とを圧着する際、これらの間に気泡が混入し、あるいは、感光性シートフイルム６に皺が発生すると、高品質なカラーフィルタ基板を製造することができなくなってしまう。そのため、圧着ローラ２ａ、２ｂにより適度な加圧力をガラス基板４及び感光性シートフイルム６に付与するとともに、感光性シートフイルム６をたるみが生じない適度な張力で引張して製造が行われる。

ところで、感光性積層体製造装置では、通常、ガラス基板４を損傷することなく、且つ、気泡や皺を発生させることなく感光性シートフイルム６をガラス基板の凹凸面に追従させて圧着させるとともに、これらを滑ることなく一定速度で搬送させるため、圧着ローラ２ａ、２ｂの表面にゴム層３ａ、３ｂを設けている。この場合、ガラス基板４に対する感光材料層の転写処理を繰り返すと、図７の概念図に示すように、ガラス基板４に転写された感光材料層に濃淡むらである筋むら８が出現し、品質の低下する事態が生じることがある。

筋むら８が出現する理由としては、例えば、以下のことが推定される。すなわち、図８に示すように、圧着ローラ２ａ、２ｂがガラス基板４及び感光性シートフイルム６を加圧すると、ゴム層３ａ、３ｂが変形し、いわゆる、バルジ部５ａ、５ｂが発生する。このバルジ部５ａ、５ｂにおいては、局部的ではあるが、圧着ローラ２ａ、２ｂのゴム層３ａ、３ｂを加えた実質半径（Ｒ２とする。）がバルジ部５ａ、５ｂのない部分の実質半径（Ｒ１とする。Ｒ１＜Ｒ２）よりも大きくなる。そのため、周速が速くなり、バルジ部５ａの部分では、実質半径Ｒ２の部分の感光性シートフイルム６が直前の実質半径Ｒ１の感光材料層６を引っ張ることが考えられる。

この場合、バルジ部５ａ、５ｂのゴム層３ａ、３ｂの表面が新しく、あるいは、清掃や研磨処理後であって摩擦係数が大きいときには、転写されるまでの間にゴム層３ａに当接する感光性シートフイルム６が伸ばされながら搬送され、その表面の感光材料層がガラス基板４に転写される。なお、感光性シートフイルム６が圧着ローラ２ａによって加熱されていると、圧着ローラ２ａのゴム層３ａに接触している感光性シートフイルム６が軟化するため、さらに伸ばされ易くなる。

しかしながら、転写処理が繰り返されることで、ゴム層３ａ、３ｂの表面が劣化し、あるいは、感光性シートフイルム６の支持体から塗布膜の組成物の一部がゴム層３ａに付着して汚れると、摩擦係数が低下することがある。このとき、実質半径Ｒ１の部分の感光性シートフイルム６が実質半径Ｒ２の部分の感光性シートフイルム６によって引っ張られることにより、感光性シートフイルム６とゴム層３ａとの間で微小な断続的スリップ現象、いわゆる、スティックスリップ現象が発生し、この現象に起因して、感光材料層に筋むら８が出現するものと考えられる。

なお、ゴム層３ａの摩擦係数がさらに低下すると、実質半径Ｒ１の部分において、感光性シートフイルム６が常時スリップする状態となって感光性シートフイルム６の搬送速度の変動が小さくなり、筋むら８が出現することがなくなる。

このような筋むら８の出現を抑制するための対策としては、例えば、圧着ローラ２ａ、２ｂに装着されたゴム層３ａ、３ｂを定期的に交換して安定した状態のゴム層３ａ、３ｂを確保し、あるいは、ゴム層３ａ、３ｂの表面を定期的に清掃、あるいは、研磨することにより、感光性シートフイルム６に対するゴム層３ａ、３ｂの摩擦係数を所定範囲内に維持することが考えられる。

しかしながら、このような作業は非常に煩雑であるため、稼働率の低下を来すととともに、コストアップに繋がるという問題がある。また、どの程度の使用頻度でゴム層３ａ、３ｂのメンテナンスを行えばよいかを判断することが極めて困難であり、判断を誤って不良品を出荷してしまうことが懸念される。

本発明は、前記の不具合を解消するためになされたものであり、長期間に渡り安定した状態でむらのない転写処理を継続し、高い稼働率を確保してコストダウンに貢献することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明の感光性積層体の製造装置及び製造方法では、感光材料層を支持する支持体に対する圧着ローラの静止摩擦係数を０．１〜０．７の範囲に設定し、圧着ローラを回転させて支持体を介して感光材料層を基板に圧着させることにより、圧着ローラと支持体との間で適度な滑りを発生させ、支持体及び基板を長期間安定した状態で搬送し、感光材料層をむらのない状態で基板に転写することができる。

この場合、圧着ローラの表面にゴム層を形成し、このゴム層のＪＩＳ Ｋ ６２５３タイプＡ（ＩＳＯ ７６１９タイプＡ）での硬度を３０〜９０度に設定すると好適である。ゴム層の硬度が３０度以上であれば、ゴム層が変形しても、安定した状態で感光材料層を基板に転写することができる。また、ゴム層の硬度が９０度を越えると、基板の損傷や、基板の凹凸面に対する感光材料層の転写性が劣化するため、好ましくない。

圧着ローラは、８０〜１５０℃の範囲で加熱されることにより、感光材料層を溶融して基板に転写する。圧着ローラの温度が８０℃よりも低いと、感光材料層が十分に溶融しないため、転写が好適に行われないおそれがある。また、圧着ローラの温度が１５０℃よりも高いと、感光材料層が過剰に溶融し、あるいは、支持体も熱変形してしまうおそれがある。

感光材料層は、圧着ローラにより８０〜１５０℃の範囲で加熱されたとき、３０〜３００００Ｐａ・ｓの範囲の粘度特性を示す熱可塑性感光樹脂層とすると好適である。粘度特性が３０〜３００００Ｐａ・ｓの範囲を超えると、感光材料層が基板に対して良好に転写されない場合がある。

圧着ローラにより付与される圧力は、圧着ローラの軸線方向に対する線圧として３０〜３００Ｎ／ｃｍの範囲に設定すると好適である。この圧力が３０〜３００Ｎ／ｃｍの範囲を越えると、感光材料層が基板に対して良好に転写されない場合がある。

本発明の感光性積層体の製造装置及び製造方法では、長期間に渡り安定した状態で感光材料層を基板にむらなく転写することができる。この結果、圧着ローラのメンテナンス等の作業頻度が著しく低くなり、装置の稼働率を向上させてコストダウンに貢献することができる。

図１は、本実施形態の感光性積層体製造装置１０の概略構成を示す。感光性積層体製造装置１０には、図２に示す積層構造からなる感光性シートフイルム１２とガラス基板１４とが供給され、図３に示すように、これらが加熱圧着されることで液晶パネルやＰＤＰパネル用のカラーフィルタ基板が製造される。

感光性シートフイルム１２は、ベースフイルム１６（支持体）と、所定の色に着色された感光性樹脂層１８（感光材料層）と、保護フイルム２０とを積層して構成される。ベースフイルム１６は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を素材とし、その外表面に帯電防止剤を含むアクリル系下塗剤が塗布されている。感光性樹脂層１８は、後述する圧着ローラにより８０〜１５０℃の範囲で加熱溶融されたとき、３０〜３００００Ｐａ・ｓ（＝３００〜３０００００ポアズ）の範囲の粘度特性を示す熱可塑性フイルムである。なお、感光性シートフイルム１２には、後述する丸刃により所定間隔でハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成される。

感光性積層体製造装置１０には、上流側から、感光性シートフイルム１２を供給するフイルムロール２２と、供給された感光性シートフイルム１２の保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８の所定部位を、ベースフイルム１６を残して切断することでハーフカット部２７ａ、２７ｂを形成する加工機構２６とが配設される。

加工機構２６は、感光性シートフイルム１２の幅方向に走行する丸刃２４を有し、図２、図３に示すように、保護フイルム２０ａが除去されてガラス基板１４に感光性樹脂層１８が転写される長さＬの範囲と、ガラス基板１４間に残存させる保護フイルム２０ｂの幅Ｍの範囲とに対応した間隔で、保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８にハーフカット部２７ａ、２７ｂを形成する。なお、感光性樹脂層１８は、ガラス基板１４の端部から所定の隙間δだけシフトさせた位置よりガラス基板１４に転写されるものとする。

加工機構２６の下流側には、保護フイルム２０ｂを介して隣接する保護フイルム２０ａに両端部が接着する一方、中間部が保護フイルム２０ｂに対して非接着状態に形成された図示しないラベルを吸着する吸着パッド３２を有し、このラベルを保護フイルム２０ａに接着させるラベル接着機構３４が配設される。

ラベル接着機構３４のさらに下流側には、感光性シートフイルム１２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構３６と、感光性シートフイルム１２から保護フイルム２０ａを剥離させる剥離機構３８と、感光性シートフイルム１２に対して所定のテンションを付与するテンション制御機構４０と、加工機構２６により感光性シートフイルム１２に形成されたハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出する検出機構４２と、感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８をガラス基板１４に対して加熱圧着させる圧着機構４４とが順に配設される。

リザーバ機構３６は、上流側の感光性シートフイルム１２のタクト搬送と、下流側の感光性シートフイルム１２の連続搬送との速度差を吸収するため、上下に揺動自在なローラ４６を有する。剥離機構３８は、感光性シートフイルム１２のテンション変動を低減するサクションドラム４８を有し、サクションドラム４８の近傍に剥離ローラ５０が配置される。この剥離ローラ５０を介して感光性シートフイルム１２から保護フイルム２０ａが連続的に剥離され、巻き取り部５２に巻き取られる。テンション制御機構４０は、シリンダ５４を備え、このシリンダ５４の駆動作用下にテンションダンサ５６が揺動変位することで、感光性シートフイルム１２のテンションが調整可能である。

検出機構４２は、テンション制御機構４０と圧着機構４４との間に配設され、感光性シートフイルム１２を保護フイルム２０側に湾曲させるフイルム湾曲ローラ５８と、フイルム湾曲ローラ５８に対向し、感光性シートフイルム１２に形成したハーフカット部２７ａ、２７ｂを検出する検出部６０とを備える。

検出機構４２の下流側に配設される圧着機構４４は、基板搬送機構６２から供給されるガラス基板１４の上面部に対して感光性シートフイルム１２の感光性樹脂層１８を加熱圧着させるための圧着ローラ６４ａ、６４ｂを備える。なお、ガラス基板１４を供給する基板搬送機構６２は、ガラス基板１４を挟持するように配設される基板加熱部６６と、ガラス基板１４を搬送する搬送部６８とを有する。

圧着機構４４を構成する圧着ローラ６４ａ、６４ｂは、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を３０〜３００Ｎ／ｃｍの範囲の線圧で圧着させ、８０〜１５０℃の範囲で加熱する加熱ローラであり、その外周部には、ゴム層６５ａ、６５ｂが形成されている。圧着ローラ６４ａ、６４ｂには、バックアップローラ７０ａ、７０ｂが摺接する。下部に配設されるバックアップローラ７０ｂは、加圧シリンダ７２により上部のバックアップローラ７０ａ側に押圧される。

圧着ローラ６４ａ、６４ｂは、上部の圧着ローラ６４ａが駆動側、下部の圧着ローラ６４ｂが従動側として構成される。なお、駆動側は、感光性シートフイルム１２と接する側とすることが望ましいが、圧着ローラ６４ａ及び６４ｂの両方を回転駆動させてもよい。圧着ローラ６４ａ、６４ｂは、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を圧着させた状態で１．０〜１０ｍ／分の速度で搬送する。

ゴム層６５ａ、６５ｂは、ＪＩＳ Ｋ ６２５３タイプＡ（ＩＳＯ ７６１９タイプＡ）での硬度が３０〜９０度の耐熱性ゴム、例えば、シリコーンゴム、ＣＲ（クロロプレンゴム）、ＩＩＲ（ブチルゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、ＣＳＭ（クロロスルホン化ポリエチレンゴム）、フッ素ゴム等からなり、感光性シートフイルム１２のベースフイルム１６に対する静止摩擦係数を０．１〜０．７の範囲に設定すべく、表面に低摩擦化処理が施されている。

この場合、ゴム層６５ａ、６５ｂの低摩擦化処理としては、例えば、表面コーティング処理、含浸処理、チューブ掛け、表面研磨処理等を挙げることができる。

表面コーティング処理とは、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：米国デュポン社登録商標）系、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテルコポリマー）系、ＦＥＰ（フッ化エチレンプロピレンテトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体）系、ＥＴＦＥ（エチレンテトラフルオロエチレン共重合体）系、ＥＣＴＦＥ（エチレンクロロトリフルオロエチレン共重合体）系、エポキシ変性系、フッ素系等の低摩擦性の塗料をゴム層６５ａ、６５ｂの表面に塗布して加熱焼き付ける処理である。

含浸処理とは、ゴム層６５ａ、６５ｂを膨潤化し、分子間に上記表面コーティング処理で使用するような低摩擦性材料を含浸させる処理である。

チューブ掛けとは、滑り性のあるＰＴＦＥ系や他の樹脂からなるチューブを圧着ローラ６４ａ、６４ｂのゴム層６５ａ、６５ｂに直接被覆させる処理であり、チューブを熱収縮させ、あるいは、接着剤を使用することで圧着ローラ６４ａ、６４ｂに固定することができる。

なお、これらの処理は、少なくとも感光性シートフイルム１２に接する圧着ローラ６４ａに施されていればよく、必ずしも圧着ローラ６４ａ、６４ｂの両方に施す必要はない。

圧着機構４４の下流側には、運転開始時において感光性シートフイルム１２の先端部を切断する先端切断機構７４と、ガラス基板１４間の感光性シートフイルム１２を切断する基板間切断機構７６とが配設される。また、圧着ローラ６４ａ、６４ｂと先端切断機構７４との間には、運転開始時において感光性シートフイルム１２を引き出すためのフイルム搬送ローラ７８が配設され、先端切断機構７４の下流側には、感光性シートフイルム１２が圧着されたガラス基板１４を搬送する基板搬送ローラ８０が配設される。

本実施形態の感光性積層体製造装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

フイルムロール２２から供給された感光性シートフイルム１２は、加工機構２６に搬送され、ベースフイルム１６を残して保護フイルム２０及び感光性樹脂層１８が丸刃２４により所定長毎に切断される。すなわち、感光性シートフイルム１２には、加工機構２６により、図４に示すように、ガラス基板１４に圧着される感光性樹脂層１８の長さＬと、ガラス基板１４間に残存させる保護フイルム２０ｂの幅Ｍとに対応した間隔で、スリット状のハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成される（図２参照）。

次いで、ラベル接着機構３４において、ハーフカット部２７ａ、２７ｂが形成された感光性シートフイルム１２の保護フイルム２０に対して、吸着パッド３２に吸着されたラベルが接着される。この場合、ラベルは、中間部が保護フイルム２０ｂに対して非接着状態で、両端部が感光性シートフイルム１２から剥離される保護フイルム２０ａに接着される。

ラベルが接着された感光性シートフイルム１２は、リザーバ機構３６を構成するローラ４６を介して剥離機構３８に供給される。剥離機構３８では、感光性シートフイルム１２のベースフイルム１６がサクションドラム４８によって吸着される一方、ラベルによって連結された保護フイルム２０ａが剥離ローラ５０を介して巻き取り部５２により巻き取られる。この結果、感光性シートフイルム１２からは、ガラス基板１４間に対応する幅Ｍの保護フイルム２０ｂを残存させた状態で保護フイルム２０ａが連続的に剥離される。

保護フイルム２０ａが剥離され、感光性樹脂層１８が部分的に露出した感光性シートフイルム１２は、テンション制御機構４０を構成するテンションダンサ５６と、検出機構４２を構成するフイルム湾曲ローラ５８とを介して、離間状態にある圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に供給される。なお、感光性シートフイルム１２の頭出し時（運転開始時）においては、感光性シートフイルム１２の先端部を圧着ローラ６４ａ、６４ｂの下流側に配設されたフイルム搬送ローラ７８で挟持して搬送する。

一方、ガラス基板１４は、基板搬送機構６２を構成する基板加熱部６６において所定温度まで加熱され、離間状態にある圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間に供給される。

検出機構４２により検出された感光性シートフイルム１２のハーフカット部２７ｂが圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に臨入するとともに、ガラス基板１４の先端部が圧着ローラ６４ａ、６４ｂ間の所定の位置に臨入すると、加圧シリンダ７２によりバックアップローラ７０ｂが押圧されて圧着ローラ６４ｂが上部の圧着ローラ６４ａと共同して感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４が挟持される。次いで、前記の状態から、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４が圧着ローラ６４ａ、６４ｂにより加圧加熱されながら搬送されることにより、保護フイルム２０ａの剥離された部分の感光性樹脂層１８がガラス基板１４の所定位置に圧着される。

圧着ローラ６４ａ、６４ｂにより感光性樹脂層１８が転写された最初のガラス基板１４の先端部がフイルム搬送ローラ７８に接近すると、フイルム搬送ローラ７８が感光性シートフイルム１２から離間し、ガラス基板１４から前方に突出する感光性シートフイルム１２の先端部が先端切断機構７４により切断される。次いで、感光性樹脂層１８が転写されたガラス基板１４は、先端切断機構７４の下流に配設された基板搬送ローラ８０によって挟持搬送される。

なお、以上のようにして感光性樹脂層１８が転写されて連続的に搬送されるガラス基板１４とそれに続くガラス基板１４との間の感光性シートフイルム１２は、基板搬送ローラ８０の下流側に配設されている基板間切断機構７６によって切断されることで分離される。

感光性樹脂層１８が転写されたガラス基板１４である感光性積層体は、ベースフイルム１６が剥離された後、フォトリソグラフィ法により所定のパターンで露光・現像され、次いで、異なる色の感光性樹脂層１８を前記感光性積層体に同様にして転写させる処理を繰り返すことで、所望のカラーフィルタ基板が製造される。

ここで、本出願人は、圧着ローラ６４ａの外周部に配設したゴム層６５ａのベースフイルム１６に対する静止摩擦係数を０．１〜０．７の範囲に設定することにより、図７に示すような濃淡むらである筋むら８の出現しないカラーフィルタ基板を長期間に渡り安定して製造できることを見出した。

表１は、前記静止摩擦係数を所定範囲に調整し、製造されたカラーフィルタ基板である各サンプルの濃淡むらを判定した結果を示す。

なお、圧着ローラ６４ａ、６４ｂの軸線方向に対する感光性シートフイルム１２の線圧１５０Ｎ／ｃｍ、圧着ローラ６４ａ、６４ｂによる感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４の搬送速度１．４ｍ／分、圧着ローラ６４ａ、６４ｂによる加熱温度１３０℃、圧着ローラ６４ａの外周部に掛かる感光性シートフイルム１２の当接角度９０゜、基板搬送機構６２の基板加熱部６６によるガラス基板１４の加熱温度１２０℃、ガラス基板１４のサイズ、幅５５０ｍｍ×長さ６５０ｍｍ×厚み０．７ｍｍ、感光性シートフイルム１２のテンション１４０Ｎ／幅５５０ｍｍにそれぞれ設定した。

また、静止摩擦係数は、図４に示すように、回転しない状態に保持した圧着ローラ６４ａの中心角９０゜の範囲の外周面に当接するように感光性シートフイルム１２を掛け、幅５５０ｍｍの感光性シートフイルム１２に１４０Ｎのテンションを与える重量からなる錘Ｗを一端部に連結するとともに、感光性シートフイルム１２の他端部に箱体５９を連結し、箱体５９にペレット６１を少しずつ投入し、錘Ｗが持ち上がった時点での箱体５９及びペレット６１の総重量と、錘Ｗの重量とから算出した。

この場合、静止摩擦係数を１．０以上又は０．７以下の範囲に設定したとき、いずれのサンプルにおいても濃淡むらのない良好な結果が得られた。また、静止摩擦係数を０．９〜１．０又は０．７〜０．８の範囲に設定したときには、サンプルによってはやや不良となる結果が得られた。さらに、静止摩擦係数を０．８〜０．９の範囲に設定したとき、何れのサンプルにおいても濃淡むらが問題となる不良の結果が得られた。

上記の結果に基づき、本出願人は、ガラス基板１４に圧着された感光性シートフイルム１２に発生する濃淡むらは、以下の原因で発生するものと推定した。

すなわち、静止摩擦係数が１．０以上のゴム層６５ａにより被覆された新品の圧着ローラ６４ａによる転写開始当初においては、濃淡むらの発生がないが、転写枚数の累積値が増加して静止摩擦係数が０．８〜０．９の範囲になると、濃淡むらが発生し、さらに転写を継続して静止摩擦係数が０．７以下になると、濃淡むらが再び発生しなくなる（図５の実線参照）。

この現象から、圧着ローラ６４ａに被覆したゴム層６５ａの表面が新しい場合、静止摩擦係数が大きいため、感光性シートフイルム１２のベースフイルム１６とゴム層６５ａとの間に滑りがなく、感光性シートフイルム１２が安定した搬送速度で搬送され、濃淡むらが発生しないものと考えられる。

一方、転写が繰り返されると、ベースフイルム１６、あるいは、それに塗布された帯電防止剤を含むアクリル系下塗剤等の物質がゴム層６５ａに付着する等の理由によって静止摩擦係数が次第に小さくなり、所定の静止摩擦係数の範囲において、ベースフイルム１６とゴム層６５ａとの間で断続的な滑り、いわゆる、スティックスリップ現象が発生する。このスティックスリップ現象は、感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を圧着ローラ６４ａ、６４ｂによって圧着させた際、ゴム層６５ａ、６５ｂの変形によって生じるバルジ部（図８参照）の影響により、ゴム層６５ａと感光性シートフイルム１２との間で断続的な滑りが生じ、感光性シートフイルム１２に濃淡むらが発生するものと考えられる。

さらに転写が繰り返されると、ベースフイルム１６とゴム層６５ａとの間の静止摩擦係数が小さくなってスティックスリップ現象が発生しなくなり、感光性シートフイルム１２が再び安定した搬送速度で搬送されるため、濃淡むらの発生もなくなるものと考えられる。

そこで、ゴム層６５ａの交換や研磨等のメンテナンスを頻繁に行い、図５の点線で示すように、ゴム層６５ａのベースフイルム１６に対する静止摩擦係数を１．０以上に維持することが考えられるが、この場合、生産効率が著しく低下するとともに、コストアップとなることは明らかである。

本出願人は、図５の二点鎖線に示すように、ベースフイルム１６とゴム層６５ａとの間の静止摩擦係数を当初から０．１〜０．７の範囲となるように設定することにより、ゴム層６５ａの交換や、清掃、研磨等のメンテナンスを不要とし、生産効率を低下させることなく長期間安定した状態で感光性シートフイルム１２及びガラス基板１４を搬送し、濃淡むらのない状態で安価に転写処理を繰り返すことができることを見出した。

また、比較例として、ゴム層６５ａと感光性シートフイルム１２との間の静止摩擦係数を０．９５に設定した場合において、感光性シートフイルム１２のテンションを変えて転写処理を行い、濃淡むらを判定した結果を表２に示す。

この場合、静止摩擦係数を０．９５とすると、１２０Ｎ／５５０ｍｍ以上のテンションを付与したとき、いずれのサンプルにおいても濃淡むらが出現する結果が得られた。

これに対して、静止摩擦係数を０．６に設定した場合、１００Ｎ／５５０ｍｍ以上のテンションのいずれの場合においても、濃淡むらのない良好な結果が得られた。なお、感光性シートフイルム１２に対するテンションを高く設定することにより、皺の発生や気泡の混入を好適に回避することができる。

本実施形態の感光性積層体製造装置の概略構成図である。 感光性シートフイルムの断面構造図である。 ガラス基板に対して感光性シートフイルムを転写させた状態の断面構造図である。 静止摩擦係数の測定装置の説明図である。 実施例及び比較例における圧着ローラの静止摩擦係数と転写枚数との関係説明図である。 従来技術における感光性積層体製造装置の説明図である。 従来技術における感光性積層体製造装置により発生した筋むらの説明図である。 筋むら発生原理の説明図である。

符号の説明

１０…感光性積層体製造装置 １２…感光性シートフイルム
１４…ガラス基板 １８…感光性樹脂層
６４ａ、６４ｂ…圧着ローラ ６５ａ、６５ｂ…ゴム層

Claims (10)

1. 支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造装置において、
   前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数を０．１〜０．７の範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の装置において、
   前記支持体に当接する前記圧着ローラの表面には、ゴム層が形成されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項２記載の装置において、
   前記ゴム層は、静止摩擦係数が０．１〜０．７の範囲となるよう、低摩擦化処理が施されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 請求項２記載の装置において、
   前記ゴム層は、ＪＩＳ Ｋ ６２５３タイプＡ（ＩＳＯ ７６１９タイプＡ）での硬度が３０〜９０度の耐熱性ゴムからなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
5. 請求項１記載の装置において、
   前記圧着ローラは、８０〜１５０℃の範囲で加熱されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
6. 請求項５記載の装置において、
   前記感光材料層は、前記圧着ローラにより８０〜１５０℃の範囲で加熱されたとき、３０〜３００００Ｐａ・ｓの範囲の粘度特性を示す熱可塑性感光樹脂層からなることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
7. 請求項１記載の装置において、
   前記圧着ローラにより前記感光材料層に付与される圧力は、前記圧着ローラの軸線方向に対する線圧として３０〜３００Ｎ／ｃｍの範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
8. 支持体上に設けられた感光材料層を圧着ローラを用いて基板に圧着させて感光性積層体を製造する製造方法において、
   前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数を０．１〜０．７の範囲に設定し、前記圧着ローラを回転させ、前記支持体を介して前記感光材料層を前記基板に圧着させることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
9. 請求項８記載の方法において、
   ８０〜１５０℃に加熱された前記圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に圧着させることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
10. 請求項８記載の方法において、
    軸線方向に対する線圧を３０〜３００Ｎ／ｃｍに設定した前記圧着ローラにより前記感光材料層を前記基板に圧着させることを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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