JP2008110490A - 感光性積層体の製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の長尺状感光性ウエブを基板に並列に貼り付ける場合、複数の長尺状感光性ウエブの相対的な貼り付け位置のずれを抑制し、良好な状態の感光性積層体を製造する。
【解決手段】感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの可撓性ベースフイルム２６に対するゴムローラ８０ａの静止摩擦係数μを、０．１≦μ≦１．０の範囲に設定し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に１枚のガラス基板２４を挿入するとともに、２枚の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの露出された感光性樹脂層２８をガラス基板２４側として感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に送り出し、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付ける。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた複数の長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、複数の前記感光材料層を前記基板に並列に貼り付けることで感光性積層体を製造する製造装置及び製造方法に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが、順次、積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図８に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａが、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションローラ４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着する一対のラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

一方、このように構成される製造装置を応用して、複数の積層体フイルム１ａを１枚の基板１１に並列に貼り付けようにした製造装置が開発されている（特許文献２参照）。

特開平１１−３４２８０号公報（図１） 特開２００４−３３３６１６号公報（図５）

ところで、積層体フイルム１ａには、所定のテンションが常時付加され、また、ラミネーションローラ１２ａ、１２ｂから熱が印加されるため、積層体フイルム１ａの長さが変動する。特に、複数の積層体フイルム１ａを１枚の基板１１に同時に貼り付ける場合、個々の積層体フイルム１ａの長さの変動量が異なっていると、基板１１に対する貼り付け位置がずれてしまい、場合によっては、製品不良となるおそれがある。

本発明は、この種の問題を解決するものであり、複数の長尺状感光性ウエブを基板に並列に貼り付ける場合、複数の長尺状感光性ウエブの相対的な貼り付け位置のずれを抑制し、良好な状態の感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた複数の長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、複数の前記感光材料層を前記基板に並列に貼り付けることで感光性積層体を製造する製造装置において、
前記長尺状感光性ウエブの前記支持体に当接する一方の前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数μを０．１≦μ≦１．０の範囲に設定することを特徴とする。

また、本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた複数の長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、複数の前記感光材料層を前記基板に並列に貼り付けることで感光性積層体を製造する製造方法において、
前記長尺状感光性ウエブの前記支持体に当接する一方の前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数μを０．１≦μ≦１．０の範囲に設定することを特徴とする。

本発明では、複数の長尺状感光性ウエブを基板に並列に貼り付ける場合、圧着ローラの長尺状感光性ウエブの支持体に対する静止摩擦係数μを０．１≦μ≦１．０の範囲に設定することにより、各長尺状感光性ウエブの延び率を所定の許容範囲内として、長尺状感光性ウエブの相対的な貼り付け位置のずれを抑制することができる。この結果、良好な状態の感光性積層体を製造することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをローラ状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、例えば、両側の前記ガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。なお、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。

第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出されるハーフカット部位３４の位置データは、リアルタイムで統計処理及びグラフ化が可能であり、ばらつき異常や偏りの発生時に警報を出すことができる。

また、ハーフカット部位３４を直接検出するのではなく、このハーフカット部位３４に対応して第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂの近傍で孔部や切り欠きを形成したり、レーザ加工やアクアジェット加工による孔開けや切り込みを設けたり、インクジェットやプリンタ等によるマーキングを設けたりしてマーク部を形成し、このマーク部を検出して境界位置信号としてもよい。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。基板搬送ローラ９２の下流側近傍には、搬送されたガラス基板２４の先端部を検知する基板先端検知センサ９４が配設される。

また、基板搬送ローラ９２の下流には、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。

ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤ等のカメラ１６０を備える。

また、ベース自動剥離機構１４２の下流には、測定器１５８によって感光性樹脂層２８にエリア位置の測定された複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２でベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

なお、以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。

図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部１００により全体が制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部１０２、基板加熱制御部１０４及びベース剥離制御部１０８等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより相互に接続されている。さらに、ラミネート工程制御部１００は、工場ネットワークに接続されており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。

基板加熱制御部１０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。

ラミネート制御部１０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。

ベース剥離制御部１０８は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性ウエブ２２ａ、２２ｂからベースフイルム２６を剥離し、感光性積層体１０６として下流に搬送する動作制御を行うとともに、前記感光性積層体１０６の情報をハンドリング制御する。

製造装置２０内は、仕切り壁１１０を介して第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム１１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム１１２ａと第２クリーンルーム１１２ｂとは、貫通部１１４を介して連通する。

以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。

各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。

この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、図４に示すように、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。

ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

また、ラミネート条件として、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの可撓性ベースフイルム２６に当接する上部のゴムローラ８０ａの可撓性ベースフイルム２６に対する静止摩擦係数μを、０．１≦μ≦１．０の範囲に設定する。静止摩擦係数μをこのように設定することにより、後述するように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの延び率を小さくし、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのガラス基板２４に対する相対的な位置ずれを許容範囲内とすることができる。

ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう。）が基板搬送ローラ９２によりクランプされる。

そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。

この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。

その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。

次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。

ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。

感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

ここで、本出願人は、ラミネート条件として、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの可撓性ベースフイルム２６に当接する上部のゴムローラ８０ａの可撓性ベースフイルム２６に対する静止摩擦係数μを、０．１≦μ≦１．０の範囲、好ましくは、０．１≦μ≦０．６、さらに好ましくは、０．１≦μ≦０．３の範囲に設定することで、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのガラス基板２４に対する相対的な位置ずれを許容範囲内とすることができることを見い出した。

図５は、貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂにより、ガラス基板２４に２枚の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを貼り付けた状態を示す。この場合、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性ウエブ２２ａの２個所のハーフカット部位３４間の貼り付け長さをＬａ、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性ウエブ２２ｂの２個所のハーフカット部位３４間の貼り付け長さをＬｂとする。

感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが延びないと仮定したときの各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け長さをＬ₀とし、感光性ウエブ２２ａの延び率α１（％）を、
α１＝（Ｌａ／Ｌ₀−１）×１００
と定義し、感光性ウエブ２２ｂの延び率α２（％）を、
α２＝（Ｌｂ／Ｌ₀―１）×１００
と定義し、ゴムローラ８０ａの可撓性ベースフイルム２６に対する静止摩擦係数μを変えて各延び率α１、α２を測定して評価を行った。なお、延び率α１、α２の許容範囲を０．１％〜１．０％とする。その結果を図６に示す。

静止摩擦係数μを１．０＜μの範囲に設定したとき、延び率α１、α２が許容範囲を超えており、例えば、第１及び第２加工機構３６ａ、３６によってハーフカット部位３４を調整する等の処理が必要となる。

静止摩擦係数μを０．６＜μ≦１．０の範囲に設定したとき、時々延び率α１、α２が許容範囲を超える場合があった。また、静止摩擦係数μを０．３＜μ≦０．６の範囲に設定したとき、延び率α１、α２が許容範囲内となる場合が多く、かなりの確率で良好な貼り付け状態を得ることができた。さらに、静止摩擦係数μを０．１≦μ≦０．３の範囲に設定したとき、延び率α１、α２が許容範囲内となり、良好な貼り付け状態を得ることができた。

以上の結果から、ゴムローラ８０ａの可撓性ベースフイルム２６に対する静止摩擦係数μを小さくすることにより、延び率α１、α２を許容範囲内とできることが了解される。そして、静止摩擦係数μを０．１≦μ≦０．３の範囲に設定すれば、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの相対的な貼り付け位置のずれが安定的に許容範囲内となり、極めて良好な貼り付け状態を得ることができる。

なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。

図７は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。

製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８を備える。

このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。

この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体１０６が製造される。

本発明の第１の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 ガラス基板に感光性樹脂層をラミネートする状態の説明図である。 圧着ローラにより基板に２枚の長尺状感光性ウエブを貼り付けた状態の説明図である。 静止摩擦係数と長尺状感光性ウエブの延び率評価との関係説明図である。 本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 特許文献１の製造装置の概略構成図である。

符号の説明

２０、３００…製造装置 ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板 ２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層 ３０…保護フイルム
４６…貼り付け機構 ７４…基板加熱部
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ

Claims (6)

1. 基板と、支持体上に感光材料層が設けられた複数の長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、複数の前記感光材料層を前記基板に並列に貼り付けることで感光性積層体を製造する製造装置において、
   前記長尺状感光性ウエブの前記支持体に当接する一方の前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数μを０．１≦μ≦１．０の範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、
   前記静止摩擦係数μを、０．１≦μ≦０．３の範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項１又は２記載の製造装置において、
   複数の前記長尺状感光性ウエブは、共通の前記一方の圧着ローラに対して送り出されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
4. 基板と、支持体上に感光材料層が設けられた複数の長尺状感光性ウエブとを同期させて一対の圧着ローラ間に送り出し、複数の前記感光材料層を前記基板に並列に貼り付けることで感光性積層体を製造する製造方法において、
   前記長尺状感光性ウエブの前記支持体に当接する一方の前記圧着ローラの前記支持体に対する静止摩擦係数μを０．１≦μ≦１．０の範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
5. 請求項４記載の製造方法において、
   前記静止摩擦係数μを、０．１≦μ≦０．３の範囲に設定することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
6. 請求項４又は５記載の製造方法において、
   複数の前記長尺状感光性ウエブは、共通の前記一方の圧着ローラに対して送り出されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。

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