JP2009226884A - 感光性積層体の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】むらのない高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴムローラ８０ａ、８０ｂの前段に配設される基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを構成する基板搬送ローラ８９は、ガラス基板２４の搬送方向（矢印Ｃ方向）の同一部分に当接することのないよう、搬送方向と直交する方向に互いにずらせて配設される。これにより、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄの前段において所定温度に加熱されたガラス基板２４は、当接する基板搬送ローラ８９による温度変動の影響を殆ど受けることなく、均一な温度を維持した状態で後段の貼り付け機構に供給される。
【選択図】図５

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が積層されてなる感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置に関する。

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰ用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。

例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図８に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドローラ２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドローラ２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションローラ４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドローラ２ｂと前記サクションローラ４との間には、ハーフカッタ装置５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。

ハーフカッタ装置５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分と残存部分との２個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。

カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ローラ８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。

サクションローラ４の下流には、ヒータ１４により所定温度に加熱され、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を重ねて圧着する一対の加熱されたラミネーションローラ１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションローラ１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分とともに支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。

特開平１１−３４２８０号公報

ところで、ヒータ１４により加熱された基板１１は、基板搬送装置１０を構成する搬送ローラ１５によってラミネーションローラ１２ａ、１２ｂ間に供給される際、図９に示すように、搬送ローラ１５が基板１１の搬送方向と直交する方向に長尺なローラで構成されていると、基板１１と搬送ローラ１５との接触面積が大きいため、基板１１の熱が搬送ローラ１５に奪われて温度が低下し、基板１１に対する積層体フイルム１ａの適切な貼り付け状態が得られなくなるおそれがある。

そこで、図１０に示すように、長尺な搬送ローラ１５に代えて、円盤形状からなる複数の搬送ローラ１６を用いて基板１１を搬送するように構成することが考えられる。この場合、基板１１と搬送ローラ１６との接触面積が少なくなるため、基板１１の温度変化も小さくなる。

しかしながら、基板１１の搬送方向に隣接する搬送ローラ１６が搬送方向と直交する方向の同位置に配列されていると（一点鎖線参照）、搬送ローラ１６が当接している基板１１の温度がその周囲の温度よりも低くなるため、製造された感光性積層体にすじ状のむらが発生してしまう。

本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、むらのない高精度な感光性積層体を製造することのできる感光性積層体の製造装置を提供することを目的とする。

本発明は、支持体上に感光材料層が積層されてなる感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出すとともに、基板加熱部により加熱された基板を、所定の間隔で前記一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板に前記感光材料層を貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記一対の圧着ローラの前段に配設され、前記基板を前記基板加熱部から前記一対の圧着ローラ間に送り出す複数の基板搬送ローラと、
前記一対の圧着ローラの後段に配設され、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板を搬送する複数の貼り付け基板搬送ローラと、
を備え、複数の前記基板搬送ローラ及び／又は複数の前記貼り付け基板搬送ローラは、前記基板の搬送方向に配列されるとともに、前記搬送方向に少なくとも隣接して配列される前記基板搬送ローラ及び／又は前記貼り付け基板搬送ローラが、前記搬送方向と直交する方向に位置を所定量ずらせて配設されることを特徴とする。

本発明では、圧着ローラの前段に配列される複数の基板搬送ローラ、及び／又は、圧着ローラの後段に配列される複数の貼り付け基板搬送ローラの中、搬送方向に少なくとも隣接して配列されるローラを、基板の搬送方向と直交する方向に位置をずらせて配設することにより、基板搬送ローラ及び／又は貼り付け基板搬送ローラが基板の同じ位置に接触することによる搬送方向に対する温度低下を抑制し、むらのない感光性積層体を製造することができる。

図１は、本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０では、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業が行われる。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されている。

図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。

図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。

貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。

第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４を形成する。

図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。

なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に残存部分３０ｂの幅に対応した距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。

ハーフカット部位３４は、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。

第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。

図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。

図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。

第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、テンションローラ６５を含むテンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。

貼り付け機構４６を構成するゴムローラ８０ａ、８０ｂの位置を基準としてハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、搬送ローラ７３と搬送ローラ７１ａ、７１ｂとの間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが直線状となる部分に配設される。第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、例えば、ハーフカット部位３４を含む感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像を撮影するＣＣＤカメラにより構成される。

基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。

ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。

基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。

貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。

基板搬送機構４５を構成する下流側最終段の基板加熱部７４と貼り付け機構４６との間には、図４及び図５に示すように、加熱されたガラス基板２４をゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に送り出す４列の基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄが配設される。

各基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄは、ガラス基板２４の搬送方向（矢印Ｃ方向）と直交する方向に延在する回転軸８７と、回転軸８７の所定位置に軸支される複数の基板搬送ローラ８９とを備える。この場合、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを構成する各基板搬送ローラ８９は、図５に示すように、いずれの基板搬送ローラ８９もガラス基板２４の矢印Ｃ方向の同じ位置に当接しないよう、矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量だけずらせて配設される。

各基板搬送ローラ８９は、図６及び図７に示すように、回転軸８７の延在する方向に対する幅が幅狭となる円盤形状に構成され、ガラス基板２４に当接する外周部９１は、ガラス基板２４との接触面積が少なくなるよう、回転軸８７の延在方向に円弧状に湾曲した形状に形成される。

ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４（以下、「貼り付け基板２４ａ」という）を冷却する冷却機構１２２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと冷却機構１２２との間の搬送路８８には、貼り付け基板２４ａを搬送する複数の貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎが配設される。各貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎは、図４〜図７に示す基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄと同様に構成され、いずれの基板搬送ローラ８９もガラス基板２４の矢印Ｃ方向の同じ位置に当接しないよう、矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量だけずらせて配設される。なお、貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎを貼り付け基板２４ａの搬送方向（矢印Ｃ方向）に対して複数のブロックに分割し、各ブロック内において、基板搬送ローラ８９がガラス基板２４の矢印Ｃ方向の同じ位置に当接しないよう、矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量だけずらせて配設するようにしてもよい。

ゴムローラ８０ａ、８０ｂと冷却機構１２２との間の所定位置には、ガラス基板２４の先端部を検知する基板先端検知センサ９４が配設される。基板先端検知センサ９４は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の後端部のハーフカット部位３４が貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されたとき、ガラス基板２４の先端部を検知する位置に配置される。

また、冷却機構１２２の下流には、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂが設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂは、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６を、ガラス基板２４から連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ローラ１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に所定のテンションを付与する。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。

ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂの下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤカメラ１６０を備える。

また、測定器１５８の下流には、複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが、貫通部１１４を有する隔壁１１０を隔てて貼り付け機構４６の上部クリーンルーム１１２ａに配置される一方、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ、貼り付け機構４６、冷却機構１２２、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂ、測定器１５８が下部クリーンルーム１１２ｂに配置される。なお、上部クリーンルーム１１２ａ及び下部クリーンルーム１１２ｂに配置される各機構を上下逆に配置してもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。

次に、以上のように構成される製造装置２０の動作について説明する。

先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。

第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。

なお、残存部分３０ｂの幅Ｍは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４は、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成される。

次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。

例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。

第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンションが調整され、次いで、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにおいてハーフカット部位３４が検出される。

貼り付け機構４６は、検出されたハーフカット部位３４に先行する剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａ、８０ｂに配置されるように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを搬送して停止させる。一方、基板搬送機構４５は、各基板加熱部７４によってガラス基板２４を所定温度まで加熱した後、最終段の基板加熱部７４とゴムローラ８０ａ、８０ｂとの間の基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを介して、ガラス基板２４をゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の貼り付け位置に搬送する。

ここで、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを構成する基板搬送ローラ８９は、図４及び図５に示すように、ガラス基板２４の搬送方向である矢印Ｃ方向の同じ位置に当接しないよう、矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量だけずらせて配設されている。また、ガラス基板２４に当接する基板搬送ローラ８９の外周部９１は、ガラス基板２４との接触面積が少なくなるよう、回転軸８７の延在方向に円弧状に湾曲した形状に形成されている。従って、例えば、基板搬送ローラ群８６ａを構成する基板搬送ローラ８９がガラス基板２４に当接することで、その部分の温度が若干低下したとしても、それに続く基板搬送ローラ群８６ｂ〜８６ｄを構成する基板搬送ローラ８９がガラス基板２４の同一部分に当接することがないため、基板搬送ローラ８９による温度低下の影響は、最小限に抑制されることになる。

なお、基板搬送ローラ８９によるガラス基板２４の温度低下の許容範囲内であれば、搬送方向に少なくとも隣接して配列される基板搬送ローラ８９の位置を矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量ずらせて配設すればよく、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを構成する全ての基板搬送ローラ８９の位置を矢印Ｃ方向の同一の位置に配設されないように構成する必要はない。また、基板搬送ローラ８９を構成する材料として、熱伝導率の小さいＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）材、ＰＳＵ（ポリサルホン）材等を選択することにより、基板搬送ローラ８９がガラス基板２４に当接することによる温度低下の影響をさらに少なくすることができる。

次いで、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。そして、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する。この結果、並列されている各感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。

なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。

基板先端検知センサ９４がガラス基板２４の先端を検知し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される。そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、搬送路８８を構成する貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎの回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、保護フイルム３０の後方の剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５から基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄを介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板２４ａが連続的に製造される。

その際、貼り付け基板２４ａは、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。

また、貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎを構成する基板搬送ローラ８９は、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄと同様に、ガラス基板２４の搬送方向である矢印Ｃ方向の同じ位置に当接しないよう、矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量だけずらせて配設されている。従って、貼り付け基板２４ａは、ガラス基板２４の基板搬送ローラ８９による温度低下の影響が最小限に抑制され、可能な限り均一な温度が維持された状態で冷却機構１２２に供給される。

なお、貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎを構成する基板搬送ローラ８９は、基板搬送ローラ８９によるガラス基板２４の温度低下の許容範囲内であれば、搬送方向に少なくとも隣接して配列される基板搬送ローラ８９の位置を矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量ずらせて配設すればよく、全ての基板搬送ローラ８９の位置を矢印Ｃ方向の同一の位置に配設されないように構成する必要はない。また、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄ及び貼り付け基板搬送ローラ群９３ａ〜９３ｎを構成する基板搬送ローラ８９間において、搬送方向に少なくとも隣接して配列される基板搬送ローラ８９の位置を矢印Ｃ方向と直交する方向に所定量ずらせて配設するようにしてもよい。基板搬送ローラ８９を構成する材料として、熱伝導率の小さいＰＥＥＫ材、ＰＳＵ材等を選択することができる。

冷却機構１２２に供給されて冷却された貼り付け基板２４ａは、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。

次いで、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでは、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。

ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のＣＣＤカメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。

感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。

なお、上述した実施形態では、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの前後に配設される基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄ、９３ａ〜９３ｎを図４及び図５に示すように構成することで、ラミネート前後のガラス基板２４の温度むらを抑制するようにしているが、温度むらの許容範囲によっては、基板搬送ローラ群８６ａ〜８６ｄ又は９３ａ〜９３ｎのいずれか一方のみを図４及び図５に示すように構成してもよい。

また、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。

さらに、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂによって可撓性ベースフイルム２６を連続的に剥離することで感光性積層体１０６を製造する代わりに、冷却機構１２２により貼り付け基板２４ａを冷却させた後、貼り付け基板２４ａ間を切断分離し、分離された各貼り付け基板２４ａから可撓性ベースフイルム２６を剥離して感光性積層体１０６を製造するようにしてもよい。

本発明の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。 前記製造装置に使用される感光性ウエブの断面図である。 前記感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。 基板搬送機構と貼り付け機構との間に配設される基板搬送ローラ群の斜視構成図である。 図４に示す基板搬送ローラ群の平面構成図である。 基板搬送ローラ群を構成する基板搬送ローラの斜視図である。 基板搬送ローラ群を構成する基板搬送ローラの正面図である。 従来技術の製造装置の概略構成図である。 図９に示す搬送ローラの説明図である。 図９に示す搬送ローラの他の構成の説明図である。

符号の説明

２０…製造装置
２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２４ａ…貼り付け基板
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３４…ハーフカット部位
４５…基板搬送機構
４６…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ…検出機構
８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８６ａ〜８６ｄ、９３ａ〜９３ｎ…基板搬送ローラ群
８９…基板搬送ローラ
９１…外周部
１０６…感光性積層体
１４２ａ、１４２ｂ…ベース自動剥離機構

Claims (3)

1. 支持体上に感光材料層が積層されてなる感光性ウエブを、加熱された一対の圧着ローラ間に送り出すとともに、基板加熱部により加熱された基板を、所定の間隔で前記一対の圧着ローラ間に送り出し、前記基板に前記感光材料層を貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
   前記一対の圧着ローラの前段に配設され、前記基板を前記基板加熱部から前記一対の圧着ローラ間に送り出す複数の基板搬送ローラと、
   前記一対の圧着ローラの後段に配設され、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた貼り付け基板を搬送する複数の貼り付け基板搬送ローラと、
   を備え、複数の前記基板搬送ローラ及び／又は複数の前記貼り付け基板搬送ローラは、前記基板の搬送方向に配列されるとともに、前記搬送方向に少なくとも隣接して配列される前記基板搬送ローラ及び／又は前記貼り付け基板搬送ローラが、前記搬送方向と直交する方向に位置を所定量ずらせて配設されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
2. 請求項１記載の製造装置において、
   前記基板搬送ローラ及び／又は前記貼り付け基板搬送ローラは、円盤形状に構成されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
3. 請求項２記載の製造装置において、
   前記基板搬送ローラ及び／又は前記貼り付け基板搬送ローラは、前記基板に当接する外周部が前記搬送方向と直交する方向に円弧状に湾曲した形状に構成されることを特徴とする感光性積層体の製造装置。

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