JP3790562B2

JP3790562B2 - 薄板搬送処理装置

Info

Publication number: JP3790562B2
Application number: JP7792695A
Authority: JP
Inventors: 亮松野; 哲二 ▲高▼田; 道昌 ▲高▼橋
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 1995-04-03
Filing date: 1995-04-03
Publication date: 2006-06-28
Anticipated expiration: 2021-06-28
Also published as: JPH08268519A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は薄板搬送処理装置に係り、特にはプリント配線板の製造時において肉薄の銅張積層板などを搬送しながらエッチングを行うエッチング機等に代表される薄板搬送処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
サブトラクティブプロセスによるプリント配線板の製造時においては、銅張積層板表面の銅箔をパターン状にエッチングする工程が実施される。そして、近年においては、この種の工程を効率的・省力的に行うために、通常、エッチング機と呼ばれる装置が利用されている。
【０００３】
図８〜図１０には、従来におけるエッチング機の一例が示されている。この装置は、いわゆる自動水平スプレーエッチング機３１と呼ばれるものである。このエッチング機３１を構成する１つまたは複数のエッチングチャンバ３２は、水平方向へ銅張積層板３３を搬送するためのコンベア部３４を備えている。このコンベア部３４は、下側ロール群Ｒ1 と、その下側ロール群Ｒ1 の上方に位置する上側ロール群Ｒ2 とからなる。図９，図１０には、上述した下側ロール群Ｒ1 を構成するロール３５の配置が示されている。これらのロール３５の各ロールシャフト３６には、それぞれ複数枚のディスク３７が等間隔を隔てて（例えば約５０mmピッチで）固定されている。従って、ロールシャフト３６及び各ディスク３７は、図示しない駆動手段の駆動力によって一体的に回転する。なお、これらのディスク３７は、搬送方向であるロール３５の配列方向に沿って千鳥状に配置されている。また、前記ディスク３７は、前記配列方向に延びる同一の直線Ｌ1 上に乗るように規則的に配置されている。このことは上側ロール群Ｒ2 についても同様である。下側ロール群Ｒ1 の下方及び上側ロール群Ｒ2 の上方には、流体供給手段の一部を構成するシャワー管３８が設けられている。これらのシャワー管３８には、各々スプレーノズル３９が複数個かつほぼ等間隔に設けられている。
【０００４】
以上のように構成されたエッチング機３１では、銅張積層板３３は、両ロール群Ｒ1 ，Ｒ2 によって挟持された状態で搬送されるようになっている。その際、スプレーノズル３９から噴射されるエッチング液によって、銅張積層板３３の銅箔が連続的に除去されるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年においてはプリント配線板の小型化・肉薄化の要請が高まってきていることから、その材料である銅張積層板３３も、厚さ０．１mm以下というように極めて肉薄でフレキシブルなものになりつつある。
【０００６】
しかし、従来のエッチング機３１に肉薄の銅張積層板３３を流動すると、銅張積層板３３の上側表面に溜まった液重及びスプレー圧力によりその両端部が湾曲すること等によって、折れや曲がりの発生する確率が高くなる。従って、この場合には銅張積層板３３の搬送性の悪化につながってしまう。
【０００７】
そこで、搬送性の悪化を解消するためには、例えば前記ディスク３７の間隔を狭くすることにより、同一ロール３５内におけるディスク３７の数を増やすという対策が考えられる。しかしながら、この対策を行うと、エッチング液がエッチング面に充分に行き渡りにくくなり、同面に筋状にロール３５の跡が付いたり、処理ムラができたりする等の不具合が起こりやすくなる。このように、従来においては搬送性を向上させようとすると、逆にエッチング性が損なわれるという問題もあった。
【０００８】
本発明は上記の課題を解決するためなされたものであり、その目的は、処理流体による薄板の処理性を維持しつつ薄板の搬送性の向上を図ることができる薄板搬送処理装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、複数枚のディスクを持つロールを配列してなる下側ロール群と、その下側ロール群の上方に前記ロールを配列してなる上側ロール群と、両ロール群によって挟持される薄板に処理流体を供給する流体供給手段とを備え、前記ロールの配列方向に沿って前記薄板を搬送する薄板搬送処理装置において、同一ロール内に存在する複数のディスクのうち、前記薄板の端部を保持するディスクを、前記薄板の中央部を保持するディスクよりも相対的に密に配置し、かつ前記流体供給手段に第１及び第２の流体供給領域を設けるとともに、第１の流体供給領域により前記薄板の端部に供給される前記処理流体の単位時間あたりの量を、第２の流体供給領域により前記薄板の中央部に供給される前記処理流体の単位時間あたりの量よりも相対的に多くするように設定し、さらに前記第１及び第２の流体供給領域が前記薄板の搬送方向であるエッチングチャンバの長手方向に対して角度を有することを特徴とする薄板搬送処理装置をその要旨とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、請求項１において、前記流体供給手段は複数のシャワー管とそれらに設けられたスプレーノズルとからなることをその要旨とする。
【００１１】
請求項３に記載の発明では、請求項１において、前記上側ロール群を構成するロールを１つおきに間引いたことをその要旨とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明では、薄板をエッチング処理するエッチングチャンバと、前記薄板の上下に互いに平行に配置され、該薄板の搬送方向である前記エッチングチャンバの長手方向に対して角度を有する複数のシャワー管と、前記各シャワー管に配置され、エッチング液を供給するための複数のスプレーノズルと、を備えることをその要旨とする。
【００１３】
【作用】
請求項１〜４に記載の発明によると、処理性を維持しつつ搬送性を向上できる。
【００１６】
【実施例】
〔実施例１〕
以下、本発明をプリント配線板製造プロセスにおいて使用される自動水平スプレーエッチング機１に具体化した一実施例を図１〜図４に基づき詳細に説明する。
【００１７】
このエッチング機１は、箱状をした金属製のエッチングチャンバ２を複数個直列に配置することによって構成されている。また、これらのエッチングチャンバ２の後方には、通常、図示しない水洗チャンバ等が設置される。図１（ａ），図１（ｂ）に示されるように、前記エッチングチャンバ２の上半分は、薄板としての銅張積層板３を水平方向に搬送するためのコンベア部４になっている。一方、このエッチングチャンバ２の下半分は、噴射されたエッチング液を一時的に溜めておくための図示しない液溜め部になっている。
【００１８】
図１，図３，図４に示されるように、前記コンベア部４は、下側ロール群Ｒ1 と上側ロール群Ｒ2 とからなる。下側ロール群Ｒ1 を構成する個々のロール５は、エッチングチャンバ２の長手方向に沿って皆同じ高さとなるように水平に配列されている。また、上側ロール群Ｒ2 を構成する個々のロール６は、前記下側ロール群Ｒ1 を構成する各ロール５の上方において、エッチングチャンバ２の長手方向に沿って皆同じ高さとなるように水平に配列されている。
【００１９】
前記各ロール５，６を構成する金属製のロールシャフト７には、ポリエチレン製のディスク８が複数個設けられている。また、このロールシャフト７は、エッチングチャンバ２の壁面に設けられた軸受けによって回転可能に挿通されている。前記ロールシャフト７の一方の端部には、ギア９が固定されている。このギア９には、ロールシャフト７に駆動力を伝達するための図示しないプーリが巻装されている。従って、ロールシャフト７が回転すると、それに伴って各ディスク８も一体的に回転する。図１（ａ）に示されるように、銅張積層板３は、下側ロール群Ｒ1 の各ロール５と上側ロール群Ｒ2 の各ロール６とによって挟持された状態で水平方向に搬送される。
【００２０】
図１（ａ），図１（ｂ）に示されるように、下側ロール群Ｒ1 の下方及び上側ロール群Ｒ2 の上方には、それぞれ処理流体としてのエッチング液を供給するための流体供給手段が設けられている。本実施例における流体供給手段は、複数本のシャワー管１０と、それらのシャワー管１０に固定された供給口としての複数個のスプレーノズル１１と、図示しないポンプとによって成り立っている。図３に概略的に示されるように、本実施例のシャワー管１０は全部で上下に７本づつあり、それらは互いに平行な関係にある。また、前記各シャワー管１０は、いずれも搬送方向であるエッチングチャンバ２の長手方向に対して所定の角度（本実施例では３°）をなしている。
【００２１】
図３にて概略的に示されるように、前記シャワー管１０のうち外側にある２本には、スプレーノズル１１が３つ設けられている。それ以外の５本には、スプレーノズル１１が９個設けられている。同一シャワー管１０上に存在する各スプレーノズル１１は、いずれも等間隔に（本実施例では１３０mmピッチで）配置されている。また、異なるシャワー管１０上に存在するスプレーノズル１１も、搬送方向Ａ1 に直交する方向に沿って整列している。これらのスプレーノズル１１は同一直線上に５個または６個存在しており、いずれも等間隔に（本実施例では１３０mmピッチで）整列している。
【００２２】
シャワー管１０内を圧送されてきたエッチング液は、スプレーノズル１１の部分から噴射する。その際、噴射したエッチング液は、スプレーノズル１１のオシレーション（首振り）によってエッチング面に均等に降り注ぐようになっている。この後、エッチング液は前記液溜め部に一時的に保持された後、ポンプによって吸い上げられ、再びシャワー管１０内に圧送される。なお、前記エッチング液としては、例えば塩化第二銅、塩化第二鉄、過硫酸塩類、過酸化水素／硫酸、アルカリエッチャントなどの水溶液がある。
【００２３】
次に、この実施例のコンベア部４を構成する各部材の寸法や配置等について詳細に説明する。
まず、下側ロール群Ｒ1 を構成するロール５について説明する。図２（ａ），図４に示されるように、これらのロール５が有するディスク８は、搬送方向であるロール５の配列方向Ａ1 に沿って千鳥状に配置されるとともに、互いに少しずつずらした状態で配置されている。よって、従来における完全千鳥状の配置方法とは異なるものである。
【００２４】
ここで、図２（ａ）において、搬送方向Ａ1 に直交する直線Ｌ1 を仮想し、かつ複数本あるロール５のうち特定のロール５Ａを基準として選択する。この場合、各ディスク８には次のような関係が成立する。即ち、特定のロール５Ａのディスク８とそのロール５Ａの近傍に存在する他のロール５Ｂ，５Ｃのディスク８とが、同一の直線Ｌ1 上に乗らないようになっている。本実施例の場合、少なくとも特定のロール５Ａの５つ隣のロール５について、このような関係が成り立っている。
【００２５】
なお、本実施例ではディスク８の幅は４mmに設定されている。ディスク８の直径は４０mm（ちなみに従来は５０mm）に設定されている。ロールシャフト７の間隔は３５mm（ちなみに従来は４５mm）に、直径は１３mmに設定されている。隣接しているロール５間のディスク８のオーバーラップ量ｗ3 は５mmに設定されている。同一ロール５内に存在するディスク８の間隔ｗ1 は一律に５０mmに設定されている。また、隣接しているロール５におけるディスク８のずらし量は５mmに設定されている。従って、このずらし量のほうが前記ディスク８の幅よりも若干大きいことになる。
【００２６】
次に、上側ロール群Ｒ2 を構成するロール６について説明する。図２（ｂ）に示されるように、これらのロール６が有するディスク８も、搬送方向であるロール６の配列方向Ａ1 に沿って千鳥状に配置されるとともに、互いに少しずつずらした状態で配置されている。ただし、同一ロール６内に存在するディスク８の間隔ｗ2 は、下側ロール群Ｒ1 のそれよりも大きく、７５mmに設定されている。なお、その他の寸法については下側ロール群Ｒ1 のそれと等しくなっている。
【００２７】
さて、本実施例のエッチング機１においては、上述のようにディスク８が千鳥状にかつ少しずつずらした状態で配置されている。従って、前記各ディスク８はほとんどロール５，６の配列方向Ａ1 に沿った直線Ｌ1 上に乗っていない。一方、従来のエッチング機においては、ディスク８は同じく千鳥状に配置されているものの、前記各ディスク８は前記直線Ｌ1 上に乗るように規則的に配置されている。このため、従来では銅張積層板３の特定部分に何度もディスク８が接触するという特徴がある。ゆえに、接触頻度の多い部分とそうでない部分とでエッチング液の行き渡り具合に差が生じ、これが筋状のローラ跡や処理ムラ等の原因となる。その反面、実施例では銅張積層板３の特定部分に何度もディスク８が接触するということがないため、エッチング面にエッチング液を均等に行き渡らせることができる。従って、完全千鳥状にディスク８を配置していた従来に比べて、筋状のローラ跡や処理ムラ等が生じにくなる。その結果として、好適なエッチング性が維持される。さらに、本実施例のようにディスク８の配置の変更を主とする改良方法であると、既存の設備の大幅な改造を伴わないため、実施が比較的容易であるというメリットがある。
【００２８】
続いて、上記のエッチング機１を用いた評価試験の方法及び結果について説明する。この評価試験では、Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのくし歯パターンが形成された試験用の銅張積層板３を用いて、搬送性を調査した。前記銅張積層板３のサイズは３４０mm×５１０mmとし、銅箔の厚さは３５μｍとした。銅張積層板３の厚さは３段階（０．８mm，０．４mm，０．１mm）に設定した。ここでは、搬送性の良否を判断するうえで、パターン断線の有無及び端部３ａの屈曲等に起因する折れ・破れの有無の二点を考慮した。表１にその結果を示す。なお、エッチング性は一定となるように設定した（パターンの形成精度σ_n-1＝６．３μｍ，粗密差の平均値＝１０μｍ）。粗密差とは、配線パターン間のスペースが密である箇所の銅箔と、疎である箇所の銅箔との厚さの差を意味する。エッチング機１の他の運転条件は以下の通りである。
【００２９】
・オシュレーションの揺動回数：最大５０ｒｐｍ，
・スプレー流量：５．２リットル／分，
・総流量：５４７リットル／分，
・スプレー圧：２kgf/cm²，・ラインスピード：２．８ｍ／分．
【００３０】
【表１】

表１からも明らかなように、このエッチング機１によると、板厚が０．１mmのときであっても、パターン断線や折れ・破れが発生することもなく、好適な搬送性が確保されていた。以上のように、本実施例によると、エッチング性を維持しつつ搬送性を向上させることができる。
〔実施例２〕
図５〜図７には、実施例２の自動水平スプレーエッチング機２１が示されている。このエッチング機２１も、実施例１と同じく４つのエッチングチャンバ２を備えている。ここでは、実施例１との相違点を中心に説明することとし、共通部分については同じ部材番号を付してその詳細な説明を省略する。また、４つあるエッチングチャンバ２のうち、主に後段の２つの構成について述べる。
【００３１】
実施例２のエッチング機２１の場合、コンベア部２２を構成する各部材の寸法や配置等が実施例１の場合と相違している。
まず、下側ロール群Ｒ1 を構成するロール５について説明する。図７に示されるように、これらのロール５が有するディスク８は、搬送方向であるロール５の配列方向Ａ1 に沿って千鳥状に配置されるとともに、互いに少しずつずらした状態で配置されている。この点については実施例１と何ら変わりはない。
【００３２】
ただし、本実施例では、同一ロール５内に存在する複数のディスク８のうち、銅張積層板３の端部３ａを保持するディスク８が、銅張積層板３の中央部３ｂを保持するディスク８よりも相対的に密に配置されている。具体的には、図５（ｂ），図７に示されるように、銅張積層板３の端部３ａを保持するディスク８のロール５の間隔ｗ1 が２５mmに設定されている。一方、銅張積層板３の中央部３ｂを保持するディスク８の間隔ｗ1 が５０mmまたは５５mmに設定されている。従って、銅張積層板３の端部３ａを保持する部分のディスク８は、銅張積層板３の中央部３ｂを保持する部分のディスク８の約２倍の密度で設置されていることになる。上側ロール群Ｒ2 を構成する各ロール６についてこのような配置方法を採用してもよく、採用しなくてもよい。本実施例では、基本的に前記配列方法を採用している（図５(b) 参照）。
【００３３】
さらに、図５（ａ）に示されるように、上側ロール群Ｒ2 を構成するロール６は１つおきに間引きされている。その理由は、上面側のエッチング性の維持をより確実に図るためである。なお、下側ロール群Ｒ1 については、このような間引きは行われていない。また、上側ロール群Ｒ2 における間引きは、４つあるエッチングチャンバ２のうち前段の２つについてのみ実施され、後段の２つについては実施されていない。これは、エッチング機２１の前段と後段とでは、搬送される銅張積層板３の状態に微妙な変化が生じることに起因する。即ち、後段になるほどエッチングが進むため銅箔が薄くなり、銅張積層板３がより屈曲・変形しやすくなるからである。
【００３４】
次に、本実施例における流体供給手段について説明する。このエッチング機２１も、上下７本のシャワー管１０、前記各シャワー管１０に固定された複数個のスプレーノズル１１及び図示しないポンプとからなる流体供給手段を備えている。この点については実施例１と同じである。
【００３５】
だだし、本実施例では、コンベア部２２の下方に設けられたシャワー管１０におけるスプレーノズル１１の配置に変更が加えられている。即ち、図６にて概略的に示されるように、前記各シャワー管１０のうち内側にある３本には、実施例１と同じく９個のスプレーノズル１１が等間隔に設けられている。これらのシャワー管１０に存在するスプレーノズル１１は１３０mmピッチである。前記各スプレーノズル１１は、その設置位置からして、主に銅張積層板３の中央部３ｂにエッチング液を噴射する。一方、それ以外の４本のシャワー管１０には、１７個のスプレーノズル１１が等間隔に設けられている。これらのシャワー管１０上に存在するスプレーノズル１１のピッチは約７０mmである。前記各スプレーノズル１１は、その設置位置からして、主に銅張積層板３の両端部３ａにエッチング液を噴射する。従って、図５（ｂ）に概略的に示されるように、エッチングチャンバ２の両端部にはその中央部よりも相対的に密にスプレーノズル１１が配置されていることになる。この場合、銅張積層板３の端部３ａに供給されるエッチング液の単位時間あたりの量は、銅張積層板３の中央部に供給されるそれに比べて相対的に多くなる。
【００３６】
さて、以上のような実施例２のエッチング機２１は、実施例１と基本構成を同じくしていることから、言うまでもなく同様の作用効果を奏する。また、本実施例によると、銅張積層板３の両端部３ａを保持するためのディスク８が相対的に密に配置されている。ゆえに、両端部３ａを保持する箇所が実施例１よりも多くなっている。このため、両端部３ａの屈曲が確実に防止され、結果として銅張積層板３の搬送性がいっそう向上する。さらに、本実施例では、両端部３ａにディスク８を密に配置するばかりでなく、当該部分についてスプレーノズル１１も密に配置することとしている。従って、ディスク８の増設により障害物が多くなったとしても、特に問題が起こることはない。つまり、スプレーノズル１１を増設したことによって、エッチング液を両端部３ａに充分に行き渡らせることができる。よって、好適なエッチング性が確実に維持される。また、本実施例では上側ロール群Ｒ2 が約半分に間引かれているため、その分だけ上面側へのエッチング液の行き渡りがよくなっている。このことは、上面側におけるエッチング性の維持、さらにはその向上にプラスに作用する。
【００３７】
続いて、このエッチング機２１を用い、実施例１の方法に準拠して評価試験を実施した結果を表２に示す。
【００３８】
【表２】

表２からも明らかなように、このエッチング機２１によると、板厚が０．１mm，０．０６mmのときであっても、パターン断線や折れ・破れが発生することもなく、好適な搬送性が確保されていた。以上のように、本実施例によると、エッチング性を維持しつつ搬送性をよりいっそう向上させることができる。
【００３９】
なお、本発明は例えば次のように変更することが可能である。
（１）実施例１において特定のロール５Ａを基準とした場合、少なくともその２つ隣以内に存在するロール５Ｂ，５Ｃのみについて、同一の直線Ｌ1 上にディスク８が乗らないように各ディスク８をずらすこととしてもよい。この場合でも実施例１に準ずる効果が得られる。なお、複数本あるロール５の全てについて上記関係が満たされていることが最も好ましい。
【００４０】
（２）流体供給手段の一部である供給口として、スプレーノズル１１以外のものを使用してもよい。また、スプレーノズル１１を使用した場合でも、例えばその設置密度はそのままにし、銅張積層板３の両端部３ａに噴射するエッチング液の単位時間あたりの量のみを相対的に増やすという方法を採ってもよい。
【００４１】
（３）実施例２において、上側ロール群Ｒ2 を構成するロール６を２つおきまたは３つおきに間引くこととしてもよい。このような構成は、上面側のエッチング性のさらなる維持・向上につながる。また、実施例１において上側ロール群Ｒ2 のロール６を間引いてもよい。
【００４２】
（４）上側ロール群Ｒ2 を構成するロール６のディスク８のうちの少なくとも一部のものは、下側ロール群Ｒ1 を構成するロール５のディスク８が疎である箇所（即ち、同一ロール５内にて隣接するディスク８の間隙）に対応して配置されることが好ましい。このようにすると、ディスク８によって銅張積層板３の上面が押さえられるため、下方から噴射されるエッチング液による銅張積層板３の部分的な吹き上がりが確実に防止される。従って、搬送性の向上が図られる。
【００４３】
（５）実施例２において、密である箇所のディスク８を１軸ごとまたは２軸ほとに間引いてもよい。このような構成にすると、間引いたことによって液が充分に行き渡るようになり、エッチング性の維持・向上がよりいっそう確実に図られる。
【００４４】
（６）実施例２において、上側ロール群Ｒ2 を構成するロール６のディスク８の疎な箇所におけるピッチは、５０mm，５５mmに限定されることはなく、例えば７５mmなどにしてもよい。
【００４５】
（７）処理流体は実施例１，２のようなエッチング液のみに限定されることはなく、処理の目的に応じてそれ以外の液体や、さらには気体等を用いることも可能である。
【００４６】
（８）本発明は、実施例１，２にて示した自動水平スプレーエッチング機１，２１以外のエッチング機に適用することができるばかりでなく、例えば現像装置等のような他の自動水平スプレー処理装置にも適用することができる。
【００４９】
なお、本明細書中において使用した技術用語を次のように定義する。
「処理流体：被搬送物である薄板を処理するための液体や気体をいい、例えばエッチング液や現像液などを含む。」
【００５０】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜４に記載の発明によれば、処理流体による薄板の処理性を維持しつつ薄板の搬送性の向上を図ることができる薄板搬送処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は実施例１の自動水平スプレーエッチング機の主要部を示す部分概略正面図、（ｂ）は同じく部分概略側面図。
【図２】（ａ）は下側ロール群を示す部分拡大図、（ｂ）は上側ロール群を示す部分拡大図。
【図３】前記エッチング機のスプレーノズルの配置を説明するための概略平面図。
【図４】前記エッチング機における下側ロール群のディスクの配置を説明するための部分概略平面図。
【図５】（ａ）は実施例２の自動水平スプレーエッチング機の主要部を示す部分概略正面図、（ｂ）は同じく部分概略側面図。
【図６】前記エッチング機のスプレーノズルの配置を説明するための概略平面図。
【図７】前記エッチング機における下側ロール群のディスクの配置を説明するための部分概略平面図。
【図８】（ａ）は従来例の自動水平スプレーエッチング機の主要部を示す部分概略正面図、（ｂ）は同じく部分概略側面図。
【図９】従来のエッチング機における下側ロール群のディスクの配置を説明するための部分概略平面図。
【図１０】従来のエッチング機の下側ロール群を示す部分拡大図。
【符号の説明】
１，２１…薄板搬送処理装置としての自動水平スプレーエッチング機、３…薄板としての銅張積層板、３ａ…薄板の端部、３ｂ…薄板の中央部、５，６…ロール、８…ディスク、１１…流体供給手段としてのスプレーノズル、Ａ1 …ロールの配列方向、ｗ1 …（下側ロール群を構成する）ロールの間隔、ｗ2 …（上側ロール群を構成する）ロールの間隔、Ｒ1 …下側ロール群、Ｒ2 …上側ロール群、Ｌ1 …直線。

Claims

複数枚のディスクを持つロールを配列してなる下側ロール群と、その下側ロール群の上方に前記ロールを配列してなる上側ロール群と、両ロール群によって挟持される薄板に処理流体を供給する流体供給手段とを備え、前記ロールの配列方向に沿って前記薄板を搬送する薄板搬送処理装置において、同一ロール内に存在する複数のディスクのうち、前記薄板の端部を保持するディスクを、前記薄板の中央部を保持するディスクよりも相対的に密に配置し、かつ前記流体供給手段に第１及び第２の流体供給領域を設けるとともに、第１の流体供給領域により前記薄板の端部に供給される前記処理流体の単位時間あたりの量を、第２の流体供給領域により前記薄板の中央部に供給される前記処理流体の単位時間あたりの量よりも相対的に多くするように設定し、さらに前記第１及び第２の流体供給領域が前記薄板の搬送方向であるエッチングチャンバの長手方向に対して角度を有することを特徴とする薄板搬送処理装置。
前記流体供給手段は複数のシャワー管とそれらに設けられたスプレーノズルとからなる請求項１に記載の薄板搬送処理装置。
前記上側ロール群を構成するロールを１つおきに間引いた請求項１に記載の薄板搬送処理装置。
薄板をエッチング処理するエッチングチャンバと、前記薄板の上下に互いに平行に配置され、該薄板の搬送方向である前記エッチングチャンバの長手方向に対して角度を有する複数のシャワー管と、前記各シャワー管に配置され、エッチング液を供給するための複数のスプレーノズルと、を備えることを特徴とする薄板搬送処理装置。