JPH1051106A - 印刷配線板のエッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エッチングむらなしにエッチング加工をおこ
なえ、しかも、基板のサイズが不定であっても、エッチ
ング加工を装置の調整なしにおこなうことができる、印
刷配線板のエッチング装置を得ることにある。 【解決手段】 基板を搬送するコンベアは複数の搬送体
からなり、各々の搬送体は隣接する搬送体と反対方向を
向いて傾斜配置されている。基板は、隣接する搬送体に
よって搬送されるときに、ある方向に傾斜した状態で搬
送されたあと、反対方向に傾斜した状態にて搬送され
る。ノズルが基板上面に噴霧したエッチング液は基板の
傾斜によって基板における傾斜方向側の側縁から流れ落
ち、基板の上面にエッチング液の溜りを生じず、基板下
面に噴霧したエッチング液は基板の傾斜および重力によ
って基板から流れ落ちるため、エッチングむらを発生し
ない。そして、搬送体をたんに傾斜配置するだけでもっ
てこれをおこなえるため、サイズにかかわりなしに搬送
をおこなえ、基板サイズに応じたコンベア調整などの段
取り作業を必要としない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、印刷配線板のエ
ッチング装置にかかわり、さらに詳しくは、印刷配線板
のエッチングに際して、基板におけるエッチング液の液
溜まりをなくし、エッチングむらを防止する印刷配線板
用エッチング装置に関している。

【０００２】

【従来の技術】この種のエッチング装置は、たとえば、
特開平７−２６３８４０号公報に記載されている。この
エッチング装置はエッチング手段と水洗手段とを具備
し、ローラコンベアがこれらのエッチング手段および水
洗手段を貫通している。エッチング手段にはエッチング
液を噴霧するための多数のノズルがローラコンベアに沿
って組み込まれ、水洗手段には水を噴霧するための多数
のノズルがローラコンベアに沿って組み込まれている。
これらのノズルラインはローラコンベアの上部と下部と
に配置されている。加工は、基板をローラコンベアによ
って搬送し、基板がエッチング手段を通過するときに、
基板の両面にノズルラインからエッチング液を噴霧し
て、基板のエッチング処理をおこない、基板が水洗手段
を通過するときに、基板の両面にノズルから水を噴霧
し、エッチング液を洗い流すことによっておこなってい
る。

【０００３】さらに、このエッチング装置において、ロ
ーラコンベアにおけるエッチング手段に配置されている
ローラは、一定間隔ごとに直径を大きくさせられ、ある
いは一定間隔ごとに回転軸を高い位置に配置され、基板
がこれらのローラを通過するときに、これらの直径の大
きなローラあるいは高位置にあるローラを中心とするシ
ーソ運動を基板におこなわせている。基板に噴霧されか
つ液化したエッチング液は、このシーソ運動によって基
板の側縁から流れ落ちるため、エッチングむらの原因と
なるエッチング液の液溜りが基板下面のみならず、基板
の上面にも生じない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このようなエッチング
装置は、直径の大きなローラあるいは高位置にあるロー
ラ同志の距離を基板における搬送方向の長さよりも大き
くする必要があり、これが小さいと、基板における搬送
方向端がつぎの直径の大きなローラあるいは高位置ある
ローラにぶつかり、基板にシーソ運動をさせることがで
きない。一方、基板はサイズが一定していないため、様
々なサイズの基板の加工をおこなっているユーザがこの
エッチング装置を導入すると、基板のサイズが変わるご
とに、多数のローラの位置を変更をおこなわなければな
らない。

【０００５】本発明の目的は、エッチングむらなしにエ
ッチング加工をおこなえ、しかも、基板のサイズが不定
であっても、エッチング加工を装置の調整などなしにお
こなえる、印刷配線板のエッチング装置を提供すること
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の印刷配線板用エッチング装置は基板を搬送
する機構とこの搬送機構によって搬送されている基板に
エッチング液を噴霧する機構とを具備しているが、搬送
機構は複数の搬送体を具備し、各々の搬送体は隣接する
搬送体と反対方向を向いて傾斜配置されている。

【０００７】基板は、隣接する搬送体によって搬送され
るときに、ある方向に傾斜した状態で搬送されたあと、
反対方向に傾斜した状態にて搬送される。基板の上面に
噴霧されたエッチング液はこれらの基板の傾斜によって
基板上面から流し落され、基板の上面にエッチング液の
液溜りを生じず、基板下面に噴霧されたエッチング液は
基板の傾斜および重力によって基板から流れ落ち、基板
下面にエッチング液の液溜りを生じないため、むらなし
にエッチング加工をおこなえる。そして、これは、搬送
体をたんに傾斜配置するだけで得られる、いいかえれ
ば、従来の装置における基板のシーソ運動を必要としな
いため、加工をおこなう基板のサイズを制限されない。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の印刷配線板用エッチング
装置の実施例は、以下に、図面を参照して説明する。

【０００９】このエッチング装置は、図１および図２に
示すように、エッチング手段１０、水洗手段１１および
搬入手段１２を具備している。

【００１０】エッチング手段１０は板材や型材を溶接組
立した構造物からなる本体１３を具備している。本体１
３は、仕切壁１０Ａによって、第一のセクションＥＳ1
および第二のセクションＥＳ2 に区画されている。本体
１３における各々のセクションＥＳ1 ，ＥＳ2 の下部と
なる領域はエッチング液Ｅの受槽１４として構成されて
いる。水洗手段１１も、本体１４が板材や型材を溶接組
立した構造物からなるもので、側面壁をエッチング手段
１０の側面壁と共有して、エッチング手段１０と一列に
配置されている。水洗手段自体は三つのセクションＷＳ
1 〜ＷＳ3 に区画されている。各々のセクションＷＳ1
〜ＷＳ3 は上部室１６、下部室１７およびこれらを接続
する接続管１８からなっている。上部室１６および下部
室１７はそれぞれ一体に形成され、水洗手段１１の本体
１４の内部に組み込まれている。下部室１７の各々には
水Ｗが容れられた水槽となっている。

【００１１】基板の搬送機構２０が、エッチング手段１
０のエッチング液槽１４および水槽１７の上部に位置し
て、エッチング手段１０の両側面壁および仕切壁にある
開口と、水洗手段１１の上部室１６の側面壁の各々にあ
る開口を貫通している。各々の開口にはエアカーテンな
どのシール機構２１が取り付けられている。搬送機構自
体は、基板の厚みに関連するすき間を形成して配置され
た一対のローラを間隔をおいて多数並べ、両端にある軸
を本体１３，１４にある軸受に保持させたローラコンベ
アからなっていて、各々のローラ対の一方のローラをモ
ータなどによって回転させることによって、各々のロー
ラ対が基板を摩擦駆動し、各々のローラ対によって形成
される搬送ラインに沿って基板を移動させている。

【００１２】さらに、エッチング手段１０のセクション
ＥＳ1 ，ＥＳ2 には、ローラコンベア２０によって搬送
されている基板に、エッチング液を噴霧する機構が組み
込まれている。この噴霧機構は一対のノズル管２２，２
３を具備している。ノズル管２２はコンベア２０の上部
に、ノズル管２３はコンベア２０の下部にそれぞれ配置
されている。ノズル管２２には多数のノズル孔がコンベ
ア２０の上面を向きかつこのノズル管の長手方向に沿っ
て設けられている。ノズル管２３にも多数のノズル孔が
コンベア２０の下面を向きかつこのノズル管の長手方向
に沿って設けられている。ノズル管２２，２３の両端
は、各々のセクションＥＳ1 ，ＥＳ2 ごとにこの装置の
外部に引き出されたあと集合され、装置外部に位置して
セクションＥＳ1 ，ＥＳ2 ごとに設けられたポンプ２４
の吐き出し口にそれぞれ接続されている。ポンプ２４の
吸い込み口は管２５によってエッチング手段１０におけ
るエッチング液槽１４にそれぞれ接続されている。冷却
コイル２６が各々のセクションＥＳ1 ，ＥＳ2 のエッチ
ング液槽１４に組み込まれている。さらに、図示してい
ないが、ヒータも各々のエッチング液槽１４に組み込ま
れている。冷却コイル２６は装置外部にある冷凍機に、
ヒータは電源装置にそれぞれつながれている。また、水
洗手段１１のセクションＷＳ1 〜ＷＳ3 の各々にはコン
ベア２０によって搬送されている基板に水を噴霧する機
構が組み込まれている。この噴霧機構はコンベア２０の
上部に位置するノズル管列と下部に位置するノズル列管
とを具備している。コンベア上部にあるノズル管列を構
成する各々のノズル管２７はコンベア２０の上部を向い
たノズル孔を、コンベア下部にあるノズル管列を構成す
る各々のノズル管２８はコンベア２０の下部を向いたノ
ズル孔を具備している。ポンプ２９が各々のセクション
ＷＳ1 〜ＷＳ3 にたいする水槽１７に組み込まれてい
る。このポンプは、吸い込み口を水槽１７の内部に開放
され、吐き出し口をノズル管２７，２８に接続されてい
る。

【００１３】搬入手段１２はコンベア３１を具備してい
る。コンベア３１は、ローラコンベアからなっていて、
コンベア２０のローラ対の下部ローラによって形成され
るローラ列に接続するように、溶接構造物からなる本体
３２に組み込まれている。

【００１４】基板にたいするエッチング加工は、基板を
外部からコンベア３１によってコンベア２０に送り込
み、コンベア２０がエッチング手段１０と水洗手段１１
とを通って、このエッチング装置につながる後処理装置
に向かって搬送することによってなされる。基板は、エ
ッチング手段１０を構成する二つのセクションＥＳ1 ，
ＥＳ2 を通過するときに、ノズル管２２，２３にあるノ
ズル孔から噴霧されたエッチング液によってエッチング
処理を施されたあと、水洗手段１１にある三つのセクシ
ョンＷＳ1 〜ＷＳ3 を通過するときに、ノズル管２７，
２８のノズル孔から噴霧される水によってエッチング液
を洗い落される。エッチング手段１０においてノズル管
２２，２３から噴霧されかつ基板に触れるなどして液化
されたエッチング液は、槽１４に流れ落ち、ポンプ２４
によってノズル管２２，２３にもどされ、ふたたびノズ
ル管２２，２３から噴霧される。エッチング液槽１４の
エッチング液Ｗの温度管理は各々の槽に組み込まれた冷
却コイル２６およびヒータによってなされている。ノズ
ル管２７，２８から噴霧されかつ液化した水は、接続管
１８を通って水槽１４の各々に流れ、ポンプ２９によっ
てノズル管２７，２８にもどされている。

【００１５】基板のエッチング加工に際して、エッチン
グ液の液溜まりが基板に生じないようにするために、本
発明によるエッチング装置では、ローラコンベア２０に
おける第一のセクションＥＳ1 にあるローラ群２０Ａ
は、図３によく示されているように、回転中心軸が第二
のセクションＥＳ2 あるいは水洗手段１１に向かうほど
水平面から次第に低くなる直線Ｌ1 あるいはコンベア２
０の搬送終端に向かって斜め下方に傾斜する直線Ｌ1 の
上に位置するように、エッチング手段１０の本体１３に
ある軸受に両端にある軸をそれぞれ保持されている。ま
た、ローラコンベア２０における第二のセクションＥＳ
2 にあるローラ群２０Ｂは、回転中心軸が水洗手段１１
に向かうほど水平面から次第に高くなる直線Ｌ2 あるい
はコンベア２０の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜す
る直線Ｌ2 の上に位置するように、本体１３にある軸受
に両端にある軸をそれぞれ保持されている。ローラ群２
０Ａによって形成される基板の搬送ラインとローラ群２
０Ｂによって形成される基板の搬送ラインとは谷を形成
し、谷底においてたがいに接続している。

【００１６】このため、基板がエッチング手段１０の第
一のセクションＥＳ1 を搬送されるときに、基板Ｐは、
搬送方向側の側縁あるいは搬送終端側の側縁が図３にお
いて右下がりになった状態にてローラ群２０Ａによって
搬送されつつノズル管２２，２３のノズル孔からエッチ
ング液を噴霧され、エッチング処理を施される。このと
きに、基板Ｐの上面に触れるなどして液化したエッチン
グ液は、基板上面を搬送終端側にある側縁に向かって流
れて、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、基板
Ｐの下面に噴霧されたエッチング液は基板の搬送終端側
の側縁に向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４
に流れ落ちるとともに、重力によって基板下面からエッ
チング液槽１４に滴下し、基板の両面にエッチング液の
液溜まりを生じない。

【００１７】そして、基板Ｐは、エッチング手段１０の
第二のセクションＥＳ2 を搬送されるときに、搬送方向
側の側縁あるいは搬送終端側の側縁が図３において右上
がりになった状態にてローラ群２０Ｂによって搬送され
つつノズル管２２，２３のノズル孔からエッチング液を
噴霧され、エッチング処理を施される。このときに、基
板Ｐの上面に触れるなどして液化したエッチング液は、
逆に、基板上面を搬送始端側にある側縁に向かって流
れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、基板Ｐ
の下面に噴霧されたエッチング液は基板の搬送始端側の
側縁に向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４に
流れ落ちるとともに、重力によって基板下面からエッチ
ング液槽１４に滴下し、基板Ｐの両面にエッチング液の
液溜まりを生じない。

【００１８】本発明によるエッチング装置は、このよう
に、コンベア２０を傾斜配置して、基板のサイズにかか
わりなしに、エッチング液の液溜まりが基板Ｐに生じな
いようにさせている、いいかえれば、従来の装置におけ
る基板のシーソ運動を必要とせずに、各々の基板Ｐの上
面および下面にたいするエッチング加工をむらなくおこ
なえるようにしているため、ワークの変更にともなう段
取りを短時間かつ低コストでおこなえ、しかも、コンベ
ア２０を構成するローラはすべて同一直径のものを採用
することができるため、コンベア２０の製造コストが低
下し、装置の組立コストも低下する。

【００１９】本発明において、ローラコンベアにおける
エッチング手段の各々のセクションＥＳ1 ，ＥＳ2 にあ
るローラ群は、逆方向に傾斜配置しても、同じ効果を得
ることができる。図４はそのようなエッチング装置にお
けるローラコンベアのみを示している。

【００２０】このローラコンベア１２０において、エッ
チング手段１０の第一のセクション１２に配置されたロ
ーラ群１２０Ａは、回転中心軸がこのローラコンベア１
２０の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜する直線Ｌ3
の上に位置するようにエッチング手段１０の本体１３に
ある軸受に両端から延びる軸を保持されている。エッチ
ング手段１０の第二のセクションＥＳ2 に配置されたロ
ーラ群１２０Ｂは、回転中心軸がコンベア１２０の搬送
終端に向かって斜め下方に傾斜する直線Ｌ4 の上に位置
するように、エッチング手段１０の本体１３に組み込ま
れている。そこで、ローラ群１２０Ａによって形成され
る基板の搬送ラインとローラ群１２０Ｂによって形成さ
れる基板の搬送ラインとは山を形成し、そして、山頂に
おいてたがいに接続している。

【００２１】このようなローラコンベア１２０を備える
エッチング装置では、基板Ｐは、エッチング手段１０の
第一のセクションＥＳ1 を搬送されるときに、搬送終端
側の側縁が図４にて右上がりになった状態においてロー
ラ群１２０Ａによって搬送されつつノズル管２２，２３
のノズル孔からエッチング液を噴霧され、第二のセクシ
ョンＥＳ2 を搬送されるときに、搬送終端側の側縁が右
下がりになった状態においてローラ群１２０Ａによって
搬送されつつノズル管２２，２３のノズル孔からエッチ
ング液を噴霧され、エッチング処理を施される。

【００２２】第一のセクションＥＳ1 において噴霧さ
れ、基板Ｐの上面に触れるなどして液化したエッチング
液は基板上面を搬送始端側の側縁に向かって流れ、第二
のセクションＥＳ2 において噴霧されたエッチング液は
基板上面を搬送終端側の側縁に向かって流れ、各々の側
縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、基板上面にエッ
チング液の液溜まりを生じない。また、第一のセクショ
ンＥＳ1 において基板Ｐの下面に噴霧されたエッチング
液も基板の搬送始端側の側縁に向かい、第二のセクショ
ンＥＳ2 にて基板Ｐの下面に噴霧されたそれも搬送終端
側の側縁に向かってそれぞれ流れ、各々の側縁からエッ
チング液槽１４に流れ落ちるとともに、重力によって基
板下面から直接にエッチング液槽１４に滴下するため、
基板下面にもエッチング液の液溜まりを生じない。

【００２３】さらに、ローラコンベアは、これらの配置
のみならず、エッチング手段を形成する各々のセクショ
ンに位置するローラを複数のローラからなる複数のロー
ラ群に分け、各々のローラ群に山および谷を形成させる
ことによって、エッチングむらの発生をさらに確実に防
止することができる。図５および図６はそのようなロー
ラコンベアをもつエッチング装置を示している。

【００２４】図５はエッチング装置におけるローラコン
ベアのみを示し、他の構成要素は図１ないし図３に関連
して説明したエッチング装置と同じである。

【００２５】ローラコンベア２２０に四組のローラ群２
２０Ａ〜２２０Ｄからなっている。ローラ群２２０Ａ，
２２０Ｂはエッチング手段１０の第一のセクションＥＳ
1 に配置され、ローラ群２２０Ｃ，２２０Ｄは第二のセ
クションＥＳ2 に配置されている。ローラ群２２０Ａは
回転中心軸が第二のセクションＥＳ2 あるいは水洗手段
１１に向かうほど水平面から次第に高くなる直線Ｌ5 あ
るいはコンベア２２０の搬送終端に向かって斜め上方に
傾斜する直線Ｌ5 の上に、ローラ群２２０Ｂは回転中心
軸が第二のセクションＥＳ2 あるいは水洗手段に１１向
かうほど水平面から次第に低くなる直線Ｌ6 あるいはコ
ンベア２２０の搬送終端に向かって斜め下方に傾斜する
直線Ｌ6 の上にそれぞれ位置するようにエッチング手段
１０の本体１３に組み込まれている。ローラ群２２０Ｃ
は回転中心軸が水洗手段１１に向かうほど水平面から次
第に高くなる直線Ｌ7 あるいはコンベア２２０の搬送終
端に向かって斜め上方に傾斜する直線Ｌ7 の上に、ロー
ラ群２２０Ｄは回転中心軸が水洗手段１１に向かうほど
水平面から次第に低くなる直線Ｌ8 あるいはコンベア２
２０の搬送終端に向かって斜め下方に傾斜する直線Ｌ8
の上にそれぞれ位置するように本体１３に組み込まれて
いる。そこで、ローラ群２２０Ａによって形成される基
板の搬送ラインとローラ群２２０Ｂによって形成される
基板の搬送ラインとは山を形成しかつ山頂にてたがいに
接続し、ローラ群２２０Ｃによって形成される基板の搬
送ラインとローラ群２２０Ｄとによって形成される基板
の搬送ラインとは山を形成しかつ山頂にてたがいに接続
しており、セクションＥＳ1 ，ＥＳ2 におけるたがいに
隣接するローラ群２２０Ｂとローラ群２２０Ｃとよって
形成される基板の搬送ラインは谷を形成しかつ谷底にて
たがいに接続している。

【００２６】このような基板搬送のコンベア２２０を備
えるエッチング装置において、基板Ｐは、エッチング手
段１０のセクションＥＳ1 を搬送されるときに、搬送終
端側の側縁が右上がりになった状態にてローラ群２２０
Ａによって搬送されつつノズル管２２，２３のノズル孔
からエッチング液を噴霧され、つぎに、搬送終端側の側
縁が右下がりになった状態にてローラ群２２０Ｂによっ
て搬送されつつノズル管２２，２３のノズル孔からエッ
チング液を噴霧される。基板Ｐの上面に噴霧され、液化
したエッチング液は、基板Ｐがローラ群２２０Ａによっ
て搬送されているときに、基板上面を搬送始端側の側縁
に向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ
落ち、ローラ群２２０Ｂによって搬送されているとき
に、基板上面を搬送終端側の側縁に向かって流れ、該側
縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、基板上面にエッ
チング液の液溜まりを発生させない。そして、基板Ｐの
下面に噴霧されたエッチング液は、ローラ群２２０Ａに
よって搬送されたときに、基板の搬送始端側の側縁に向
かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち
るとともに、重力によって基板下面から直接にエッチン
グ液槽１４に滴下し、ローラ群２２０Ｂによって搬送さ
れたときに、基板の搬送終端側の側縁に向かって流れ
て、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ちるととも
に、重力によって基板下面からエッチング液槽１４に滴
下し、基板下面にもエッチング液の液溜まりを発生させ
ない。

【００２７】さらに、基板Ｐは、エッチング手段１０の
セクションＥＳ2 を搬送されるときにも、ローラ群２２
０Ｃによって搬送終端側の側縁が右上がりの状態にて搬
送されつつノズル管２２，２３のノズル孔からエッチン
グ液を噴霧されたあと、ローラ群２２０Ｄによって搬送
終端側の側縁が右下がりの状態にて搬送されつつノズル
管２２，２３のノズル孔からエッチング液を噴霧され
る。基板Ｐの上面に噴霧されたエッチング液は、ローラ
群２２０Ｃによって搬送されたときに、基板上面を搬送
始端側の側縁に向かって流れて、該側縁からエッチング
液槽１４に流れ落ち、ローラ群２２０Ｄによって搬送さ
れたときに、基板上面を搬送終端側の側縁に向かって流
れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、エッチ
ング液の液溜まりが基板上面に生じない。基板Ｐの下面
に噴霧されたエッチング液も、ローラ群２２０Ｃによっ
て搬送されたときに、基板の搬送始端側の側縁に向かっ
て流れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ちると
ともに、重力によって基板下面からエッチング液槽１４
に滴下し、ローラ群２２０Ｄによって搬送されたとき
に、基板の搬送終端側の側縁に向かって流れ、該側縁か
らエッチング液槽１４に流れ落ちるとともに、重力によ
って基板下面からエッチング液槽１４に滴下し、基板下
面にエッチング液の液溜まりが基板下面に生じない。

【００２８】また、図６に示すエッチング装置では、ロ
ーラコンベアにおけるエッチング手段１０の第一のセク
ションＥＳ1 にあるローラが二組のローラ群により、第
二のセクションＥＳ2 にあるローラも二組のローラ群に
よってそれぞれ構成されているが、各々のローラ群は図
５に示すコンベアと逆に傾斜配置されている。

【００２９】図６はローラ群のみを示しており、ローラ
群３２０Ａ，３２０Ｂはエッチング装置の第一のセクシ
ョンＥＳ1 に、ローラ群３２０Ｃ，３２０Ｄは第二のセ
クションＥＳ2 にそれぞれ配置されている。

【００３０】ローラ群３２０Ａは回転中心軸がコンベア
３２０の搬送終端に向かって斜め下方に傾斜する直線Ｌ
9 の上に、ローラ群３２０Ｂは回転中心軸がコンベア３
２０の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜する直線Ｌ10
の上にそれぞれ位置するようにエッチング手段の本体１
３に組み込まれている。また、ローラ群３２０Ｃは回転
中心軸がコンベア３２０の搬送終端に向かって斜め下方
に傾斜する直線Ｌ11の上に、ローラ群３２０Ｄは回転中
心軸がコンベア３２０の搬送終端に向かって斜め上方に
傾斜する直線Ｌ12の上にそれぞれ位置するように本体１
３に組み込まれている。このため、ローラ群３２０Ａに
よって形成される基板搬送ラインとローラ群３２０Ｂと
によって形成される基板搬送ラインとは谷を形成しかつ
谷底においてたがいに接続し、ローラ群３２０Ｃによっ
て形成される基板搬送ラインとローラ群３２０Ｄとによ
って形成される基板搬送ラインとは谷を形成しかつ谷底
にてたがいに接続し、セクションＥＳ1 ，ＥＳ2 におけ
るたがいに隣接するローラ群３２０Ｂとローラ群３２０
Ｃとよって形成される基板の搬送ラインは山を形成しか
つ山頂にてたがいに接続している。

【００３１】このような基板搬送コンベア３２０をもつ
エッチング装置においても、基板Ｐは、エッチング手段
１０の第一のセクションＥＳ1 を搬送されるときに、ロ
ーラ群３２０Ａによって搬送終端側の側縁が右上がりに
なった状態において搬送されつつノズル管２２，２３の
ノズル孔からエッチング液を噴霧され、それから、ロー
ラ群３２０Ｂによって搬送終端側の側縁が右下がりにな
った状態において搬送されつつノズル管２２，２３のノ
ズル孔からエッチング液を噴霧される。このときに、基
板Ｐの上面に噴霧されかつ液化したエッチング液は、ロ
ーラ群３２０Ａによって搬送されたときに、基板上面を
搬送終端側の側縁に向かって流れ、該側縁からエッチン
グ液槽１４に流れ落ち、ローラ群３２０Ｂによって搬送
されたときに、基板上面を搬送始端側の側縁に向かって
流れ、各々の側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、
エッチング液の液溜まりが基板上面に生じない。そし
て、基板Ｐの下面に噴霧されたエッチング液は、ローラ
群３２０Ａによって搬送されたときに、基板下面を搬送
終端側の側縁に向かって流れ、該側縁からエッチング液
槽１４に流れ落ちるとともに、重力によって基板下面か
らエッチング液槽１４に滴下し、ローラ群３２０Ｂによ
って搬送されたときに、基板下面を搬送始端側の側縁に
向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落
ちるとともに、重力によって基板下面からエッチング液
槽１４に滴下して、エッチング液の液溜まりが基板下面
に生じない。

【００３２】さらに、基板Ｐは、第二のセクションＥＳ
2 を搬送されるときにも、ローラ群３２０Ｃによって搬
送終端側の側縁が右下がりになった状態において搬送さ
れつつノズル管２２，２３のノズル孔からエッチング液
を噴霧され、そして、ローラ群３２０Ｄによって搬送始
端側の側縁が右上がりになった状態において搬送されつ
つノズル管２２，２３のノズル孔からエッチング液を噴
霧される。このときにも、基板Ｐの上面に噴霧されたエ
ッチング液は、ローラ群３２０Ｃによって搬送されたと
きに、基板上面を搬送終端側の側縁に向かって流れ、該
側縁からエッチング液槽１４に流れ落ち、ローラ群３２
０Ｃによって搬送されたときに、基板上面を搬送始端側
の側縁に向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４
に流れ落ち、基板上面にエッチング液の液溜まりを生じ
ない。基板Ｐの下面におけるエッチング液も、ローラ群
３２０Ｃによって搬送されたときに、基板の搬送終端側
の側縁に向かって流れ、該側縁からエッチング液槽１４
に流れ落ちるとともに、重力によって基板下面からエッ
チング液槽１４に滴下し、ローラ群３２０Ｄによって搬
送されたときに、基板の搬送始端側の側縁に向かって流
れ、該側縁からエッチング液槽１４に流れ落ちるととも
に、重力によって基板下面からエッチング液槽１４に滴
下し、エッチング液の液溜まりが基板下面に生じない。

【００３３】なお、以上説明した実施例において、ロー
ラコンベア２０，１２０，２２０，３２０におけるエッ
チング手段１０にあるローラ群のみを傾斜させている
が、水洗手段１１における各々のセクションにあるロー
ラ群も同様にして傾斜配置させることによって、水洗も
むらなくおこなえる。また、コンベア自体も、たとえば
エッチング手段１０における各々のセクションＥＣ1 ，
ＥＣ2 を単一あるいは複数のチェーンコンベア、網ベル
トをもつベルトコンベアなどによって構成するなど、必
要に応じて他の構造のものを採用してもよい。

【００３４】

【発明の効果】本発明の印刷配線板用エッチング装置
は、以上説明したように、基板の両面に噴霧されたエッ
チング液の液溜まりを生じないため、むらのないエッチ
ング加工をおこなえるばかりか、基板のシーソ運動を必
要としないので、従来の装置において必須としていた基
板サイズに応じたコンベア調整作業が不要となって、基
板サイズの変更にともなう段取りをより短時間かつより
低コストでもっておこなえる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の印刷配線板用エッチング装置の一実施
例を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線にそう断面図である。

【図３】基板を搬送するコンベアの構成を説明するため
の図である。

【図４】本発明の印刷配線板用エッチング装置の他の実
施例における基板を搬送するコンベアの構成を説明する
ための図である。

【図５】本発明の印刷配線板用エッチング装置のさらに
他の実施例における基板を搬送するコンベアの構成を説
明するための図である。

【図６】本発明の印刷配線板用エッチング装置のさらに
他の実施例における基板を搬送するコンベアの構成を説
明するための図である。

【符号の説明】

２０，１２０，２２０，３２０…基板を搬送するコンベ
ア、２２，２３…エッチング液を噴霧するノズル、２０
Ａ，２０Ｂ，１２０Ａ，１２０Ｂ，２２０Ａ〜２２０
Ｄ，３２０Ａ〜３２０Ｄ…コンベアを形成するローラ
群。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を搬送する機構とこの搬送機構によ
   って搬送されている基板にエッチング液を噴霧する機構
   とを具備している印刷配線板のエッチング装置におい
   て、搬送機構が複数の搬送体を具備し、各々の搬送体が
   隣接する搬送体と反対方向を向いて傾斜配置されている
   こと、を特徴とする印刷配線板のエッチング装置。
2. 【請求項２】 各々の搬送体が基板の搬送方向に沿って
   前記傾斜配置をなされている請求項１に記載のエッチン
   グ装置。
3. 【請求項３】 基板を搬送する機構とこの搬送機構によ
   って搬送されている基板にエッチング液を噴霧する機構
   とを具備している印刷配線板のエッチング装置におい
   て、搬送機構が同じ直径をもつ複数のローラからなる二
   つのローラ群をもつローラコンベアからなり、一方のロ
   ーラ群のローラのすべてが基板の搬送終端に向かって斜
   め下方に傾斜する直線上に、他方のローラ群のローラの
   すべてが基板の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜する
   直線上に回転軸をそれぞれ配置され、谷形の搬送ライン
   を形成してなること、を特徴とする印刷配線板のエッチ
   ング装置。
4. 【請求項４】 基板を搬送する機構とこの搬送機構によ
   って搬送されている基板にエッチング液を噴霧する機構
   とを具備している印刷配線板のエッチング装置におい
   て、ローラコンベアが同じ直径をもつ複数のローラから
   なる二つのローラ群をもち、一方のローラ群のローラの
   すべてが基板の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜する
   直線上に、他方のローラ群のローラのすべてが基板の搬
   送終端に向かって斜め下方に傾斜する直線上に回転軸を
   それぞれ配置され、山形の搬送ラインを形成してなるこ
   と、を特徴とする印刷配線板のエッチング装置。
5. 【請求項５】 基板を搬送する機構とこの搬送機構によ
   って搬送されている基板にエッチング液を噴霧する機構
   とを具備している印刷配線板のエッチング装置におい
   て、搬送機構が同じ直径をもつ複数のローラからなる複
   数のローラ群をもつローラコンベアからなり、これらの
   ローラ群が交互に位置する基板の搬送終端に向かって斜
   め上方に傾斜する直線と斜め下方に傾斜する直線とに沿
   って回転軸を配置され、山形の搬送ラインと谷形の搬送
   ラインとが交互に並ぶ搬送ラインを形成してなること、
   を特徴とする印刷配線板のエッチング装置。
6. 【請求項６】 基板を搬送する機構とこの搬送機構によ
   って搬送されている基板にエッチング液を噴霧する機構
   とを具備している印刷配線板のエッチング装置におい
   て、搬送機構がローラコンベアからなるとともに、基板
   の搬送終端に向かって斜め上方に傾斜する直線上および
   斜め下方に傾斜する直線上に回転軸を配置され、複数の
   ローラからなる隣接ローラ群を具備してなること、を特
   徴とする印刷配線板のエッチング装置。