JPWO2008072403A1

JPWO2008072403A1 - 非接触液シール装置及び方法

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Publication number: JPWO2008072403A1
Application number: JP2008549217A
Authority: JP
Inventors: 一夫大原; 憲一郎新井
Original assignee: Nichiyo Engineering Corp
Current assignee: Nichiyo Engineering Corp
Priority date: 2006-12-14
Filing date: 2007-09-25
Publication date: 2010-03-25
Also published as: TW200831719A; WO2008072403A1; KR20090101174A

Abstract

幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワーク１２が通過するスリット２０が側壁１８に設けられ、処理液が満たされる浸漬槽１０に対して、スリット２０の両側に配置され、スリット２０を通過するワーク１２へ向けてワーク１２の両側から処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部２４を有する非接触液シール装置２２が設けられている。

Description

本発明は、プリント基板の基材等の対象物にめっき等の湿式処理を施す湿式処理装置の液シール装置及び方法に関する。

ＩＣカード等に用いられるプリント基板には、搭載される素子の電気的な接続をとるためにめっきが施される。プリント基板にめっきを施す方法としては、プリント基板の基材を切断した状態でめっき液に浸漬する枚葉式の方法、或いは帯状のフレキシブルプリント基板自体を連続的にめっき液に浸漬する連続式の方法が用いられている。

このように、被処理物（ワークともいう）にめっき等の処理を施す湿式処理には、ワークの態様に応じて、枚葉式や連続式の方法が用いられている。

枚葉式の方法の場合、ワークは搬送手段により処理液が満たされた浸漬槽の上方に搬送され、次いで浸漬槽内に下降され、処理液に浸漬される。処理が終了したワークは、浸漬槽から上昇され次の工程に搬送される。この方法は、枚葉のワークに使用されるが、帯状の連続したワークに適用することはできない。

これに対し、連続式の方法の場合、浸漬槽の対向する側壁にスリット形状の出入口を設け、このスリットを通過させてワークを浸漬槽に搬入出する。この方法は、枚葉のワークのみならず、帯状のワークにも利用することができる。しかしながら、この方法では、浸漬槽内の処理液がスリットから流出する量が多く、浸漬槽内の処理液の液面を高くすることができない。スリットの幅を狭くすれば処理液の流出量を低減することができるが、単にスリットの幅を狭くするだけではワークがスリット内面に接触してしまう。このため、スリットには、１０ｍｍ前後のある程度の幅が必要である。このように、浸漬槽内の液面を高くすることができないため、幅広のワークを処理することが困難であり、処理可能なワークの幅は最大でも２００ｍｍ程度である。加えて、浸漬槽内の処理液の液面高さを維持するために流出液の戻しポンプに能力の大きいものが必要となるなど流体機器に要するエネルギーも大きい。

さらに、この方法では、スリットを通過するワークの位置が不安定になりやすい。ワークがスリット間隙の中央位置から一方のスリット内面に偏ると、スリットより流出する処理液の慣性力によりワークは更に中心から隔たる方向に動く。この結果、ワークは、最終的に一方のスリット内面に接触した状態で安定するようになる。このような状態になると、スリット内面との接触によりワーク面に擦り傷が発生し、品質の劣化等の原因となる。ワークをスリット内面に接触し難くするためには、スリット間隙の幅を広くする必要があるが、処理液の流出量を減少させることが困難となる。スリットの厚さを厚くしたり、スリット内面を波形など流体摩擦の大きい形状とすることで、スリットからの処理液の流出量をある程度低減することはできる。しかしながら、ワークとスリット内面との接触を完全に防止することは困難である。

また、スリットからの処理液の流出を抑制ないしは低減する方法として、スリット部分に樹脂製やゴム製等のシート状、スポンジ状或いはヘラ状の液切り手段をワークを挟み込むように設ける方法も知られている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、ワークとこれら液切り手段との摩擦によるワーク面の傷付きという問題は依然として残る。

さらに、浸漬槽の対向する側壁に設けたスリットの近傍に、スリットに対応した部分を挟んで対向する２本の回転可能なロール（シールロール）を設け、ワークを２本のシールロールの間を走行させて処理槽に搬入出させる方法が知られている（例えば、特許文献２〜４参照）。この方法も帯状のワークに利用できる方法である。２本のシールロールの間にワークを走行させると、シールロールの回転によりワークとシールロールとの密着性が増し、処理槽から処理液の流出を効果的に抑制ないしは低減することができる。このため、浸漬槽内の処理液の液面を高くすることができ、幅広のワークの処理が可能となる。この方法では、最大６００ｍｍ程度までの幅を有するワークを処理することができる。加えて、ポンプ等の流体機器に要するエネルギーも少ないというメリットがある。また、この方法においては、ワークとシールロールはスリップしないのでシールロールによるワークの擦り傷の発生を抑制でき、ワークがロールにより位置決めされているのでワークを安定して走行させることができる。しかしながら、ワークと接触するシールロールの表面は時間とともに劣化するので、ロールの保守管理を行うことが必要となる。
実開昭５９−１７７６５号公報特開平２−１８２８９５号公報特開２００２−２７５６８１号公報特開２００３−１４７５８２号公報実開昭６１−１５５３７１号公報

上述のように、プリント配線基板及びそれらに用いられる基材等の枚葉又は帯状のワークを、処理液が満たされた浸漬槽に側壁に設けられたスリットを介して搬入出する場合においては、浸漬槽からの処理液の流出を抑制ないしは低減するためにシールが行われている。

この際、ワークとは非接触で浸漬槽からの処理液の流出を抑制ないしは低減することができれば、ワークの不良の発生を確実に防止することができる。

また、浸漬槽からの処理液の流出を十分に抑制ないしは低減することができれば、浸漬槽に満たされた処理液の液面を高くすることができるため、幅広のワークに対しても処理液による処理を行うことが可能となる。

本発明の目的は、処理液が満たされた浸漬槽の側壁のスリットを介して、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークを浸漬槽に搬入出する際における浸漬槽からの処理液の流出を、ワークとは非接触で十分に抑制ないしは低減することができる非接触液シール装置及び方法を提供することにある。

本願発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、液体が満たされた浸漬槽の開口部を、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する際に、浸漬槽の開口部に対応する範囲において、開口部を通過するワークへ向けてワークの両側から流体の噴流を噴出することにより、ワークの位置を安定化し、非接触で浸漬槽にワークを搬入出することができ、且つ、浸漬槽からの液体の流出を十分に抑制ないしは低減することができることを見出し、本発明を完成させるに至った。

なお、例えばワークの両面に処理を施すのではなくワークの片方の面にのみ処理を施す場合等においては、必ずしもワークの両側から流体の噴流を噴出する必要はなく、開口部を通過するワークへ向けてワークの処理面側から流体の噴流を噴出する一方、ワークの非処理面側には、ワークの非処理面に接触して液シールを行う液シール手段を配置すればよい。

上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール装置であって、前記開口部の一方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記一方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部と、前記開口部の他方の側に配置され、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部とを有することを特徴とする非接触液シール装置により達成される。

また、上記の非接触液シール装置において、前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記他方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部であってもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記開口部の一方の側に配置された前記噴流噴出部と前記開口部の前記他方の側に配置された前記噴流噴出部との間の間隙は、下方ほど幅が狭くなっていてもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記ワークの前記他方の側の面に接触する円柱状部材であってもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記噴流噴出部は、前記流体が供給される噴流体管路と、前記噴流体管路の前記ワーク側に設けられ、前記噴流を噴出する噴流ノズルとを有するようにしてもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向に対して前記浸漬槽側に傾斜した方向を向いているようにしてもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向を向いているようにしてもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、
前記噴流噴出部は、上下方向に配列された複数の前記噴流ノズルを有するようにしてもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記複数の噴流ノズルの穴は、それぞれ円形であってもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記複数の噴流ノズルの穴は、下方の前記噴流ノズルの穴ほど穴径が大きくてもよい。

また、上記の非接触液シール装置おいて、上下方向に配列された前記複数の噴流ノズルの穴のピッチは、下方ほど密であってもよい。

また、上記の非接触液シール装置において、前記開口部は、下方ほど幅が狭くなっていてもよい。

また、上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記ワークの両側から流体の噴流を噴出し、前記噴流により前記開口部を非接触でシールすることを特徴とする非接触液シール方法により達成される。

また、上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、前記開口部の一方の側に、前記ワークの前記一方の側の面に接触し、前記開口部の前記一方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部を配置し、前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記開口部の他方の側から流体の噴流を噴出し、前記噴流により、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出を非接触でシールすることを特徴とする非接触液シール方法により達成される。

本発明によれば、液体が満たされた浸漬槽の開口部を、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する際に、開口部を通過するワークへ向けてワークの両側から流体の噴流を噴出するので、浸漬槽からの液体の流出を、ワークとは非接触で十分に抑制ないしは低減することができる。したがって、本発明によれば、周辺部材、部品とワークとの接触を防止し、損傷、変形、変色等のワークの不良の発生を確実に防止することができる。また、本発明によれば、浸漬槽に満たされた液体の液面を高くすることができ、幅広のワークをも浸漬槽に満たされた液体により処理することができる。

また、本発明によれば、流体の噴流を噴出するために可動部品を用いる必要がないため、容易に保守管理を行うことができる。

また、本発明によれば、液体が満たされた浸漬槽の開口部の一方の側に、ワークの一方の側の面に接触し、開口部の一方の側からの液体の流出をシールする液シール部を配置し、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが開口部を通過する際に、開口部を通過するワークへ向けて開口部の他方の側から流体の噴流を噴出するので、ワークの他方の側の面の傷付き、変色等のワークの不良の発生を確実に防止しつつ、浸漬槽からの液体の流出を、更に十分に抑制ないしは低減することができる。

図１は、本発明の第１実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置の構造を示す概略図（その１）である。図２は、本発明の第１実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置の構造を示す概略図（その２）である。図３は、本発明の第１実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置の構造を示す概略図（その３）である。図４は、本発明の第１実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略図（その１）である。図５は、本発明の第１実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略図（その２）である。図６は、本発明の第２実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略図である。図７は、本発明の第３実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略図である。図８は、本発明の第４実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。図９は、本発明の第５実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。図１０は、本実施形態の第６実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。図１１は、本実施形態の第６実施形態による非接触液シール装置におけるシールロールの他の例を示す概略図である。図１２は、本発明の第７実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。図１３は、本発明の第８実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。図１４は、本発明による非接触液シール装置の構造の他の例を示す断面図である。

符号の説明

１０…浸漬槽
１２…ワーク
１２ａ…処理面
１２ｂ…非処理面
１４…処理液貯留槽
１６…ポンプ
１８…側壁
２０…スリット
２２…非接触液シール装置
２４…噴流噴出部
２６…流量調整バルブ
２８…ＦＩＣ
３０…受け皿
３２…噴流体管路
３４…噴流ノズル板
３６…噴流ノズル
３８…突出部
４０…噴流スリット
４２…スロート部
４４…スロート部
４６…噴流ノズル
４８…噴流ノズル
５０…平坦部
５２…めっき処理部
５４…ワーク巻き出し部
５６…ワーク巻き取り部
５８…アンコイラー
６０…アキューム装置
６０ａ、６０ｂ、６０ｂ、６０ｃ…ローラー
６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ…めっき槽
６４…Ｕターン部
６６…給電ロール部
６６ａ、６６ｂ、６６ｃ…給電ロール
６８…前処理槽
７０…洗浄室
７２…乾燥室
７４…リコイラー
７６…駆動装置
７６ａ、７６ｂ、７６ｃ…ローラー
７８…非接触液シール装置
８０…シール槽
８２…シールロール
８４…ギヤドモーター
８６ａ、８６ｂ…ベアリング

［第１実施形態］
本発明の第１実施形態による非接触液シール装置及び方法について図１乃至図５を用いて説明する。図１乃至図３は本実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置の構造を示す概略図、図４及び図５は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略図である。

まず、本実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置について図１乃至図３を用いて説明する。図１は本実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置の構造を示す平面図、図２は図１のＡ−Ａ′断面図、図３は図１のＢ−Ｂ′矢視図である。

浸漬槽１０には、枚葉のワーク１２に対して所定の処理を行うため処理液が満たされている。浸漬槽１０には、処理液が貯留された処理液貯留槽１４からポンプ１６を介して処理液が供給されるようになっている。

処理液で満たされた浸漬槽１０の対向する側壁１８には、枚葉のワーク１２を搬入出するためのスリット２０が略鉛直方向に設けられている。ワーク１２は、一方の側壁１８のスリット２０から幅方向を略鉛直にして浸漬槽１０内に搬入されるようになっている。浸漬槽１０内に搬入されたワーク１２は、そのまま幅方向を略鉛直にして他方の側壁１８のスリット２０から浸漬槽１０外に搬出されるようになっている。

スリット２０が設けられた浸漬槽１０の対向する側壁１８には、本実施形態による非接触液シール装置２２が設けられている。非接触液シール装置２２は、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部２４を有している。

一対の噴流噴出部２４は、スリット２０両側の側壁１８の端部の外面に、スリット２０を通過するワーク１２を介して対向するように配置されている。一対の噴流噴出部２４から噴出される処理液は、処理液貯留槽１４から、ポンプ１６、流量調整バルブ２６、流量指示調節計（ＦＩＣ：Flow Indicator and Controller）２８を介して供給されるように
なっている。

浸漬槽１０の搬入側及び搬出側の側壁１８の下方には、スリット２０から流出した処理液、及び非接触液シール装置２２から噴出された処理液を回収するための受け皿３０が設けられている。受け皿３０に溜まった処理液は、処理液貯留槽１４に回収されるようになっている。

こうして、非接触液シール装置２２を備えた湿式処理装置が構成されている。

ワーク１２は、例えば、プリント配線基板、プリント配線基板に用いられる基材等である。ワーク１２の厚さは、例えば、３〜２００μｍの範囲であり、具体的には、主流の３８μｍ、次いで多い２５μｍ、特殊用途向けの５０μｍ、１００μｍ等である。なお、ワーク１２の形状は、枚葉に限定されるものではなく、ロールから巻き出される連続条材のような帯状であってもよい。

浸漬槽１０は、例えば、処理液としてめっき液が満たされためっき槽である。なお、浸漬槽１０は、めっき槽に限定されるものではなく、前処理槽、後処理槽、洗浄槽等であってもよい。浸漬槽１０で行われる処理は、めっき処理のほか、エッチング処理、脱脂処理、防錆処理、洗浄処理等であってもよく、処理に応じた処理液を選択することができる。

浸漬槽１０において、ワーク１２の搬入側及び搬出側の側壁１８に設けられたスリット２０の幅は、例えば、上下方向に略一定になっている。

浸漬槽１０には、ワーク１２に対して処理液による処理を行う間、処理液貯留槽１４からポンプ１６を介して処理液が適宜供給され、浸漬槽１０における反応液の液面の高さが略一定に保たれる。

本実施形態による非接触液シール装置２２は、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部２４を有することに主たる特徴がある。ここで、本実施形態による非接触液シール装置２２について図１乃至図５を用いて詳述する。図４は図２及び図３のＣ−Ｃ′断面図、図５（ａ）は噴流噴出部２４の平面図、図５（ｂ）は噴流噴出部２４のワーク側側面図である。なお、図４では、浸漬槽１０のワーク１２の搬出側の側壁１８に設けられた非接触液シール装置２２の構造を示しているが、浸漬槽１０のワーク１２の搬入側の側壁１８に設けられた非接触液シール装置２２も同様の構造を有している。

図４に示すように、スリット２０両側の側壁１８端部の外面に、スリット２０を通過するワーク１２を介して対向するように一対の噴流噴出部２４が配置されている。一対の噴流噴出部２４は、それぞれ、噴流として噴出される処理液の流路である噴流体管路３２と、噴流体管路３２内の処理液が噴流として噴出する複数の噴流ノズル３６が設けられた噴流ノズル板３４とにより構成されている。

噴流体管路３２は、例えば角管状のものである。噴流体管路３２には、処理液貯留槽１４から、浸漬槽１０に満たされた処理液と同じ処理液が配管を介して供給される。噴流体管路３２には、１箇所から処理液を供給してもよいし（図５（ｂ）参照）、複数箇所から処理液を供給してもよい。複数箇所から処理液を供給する場合においては、噴流体管路３２を例えば上下２段、上中下３段等の複数の室に区分し、区分した室ごとに処理液を供給するようにしてもよい。

噴流体管路３２に供給される処理液の流量は、ＦＩＣ２８により検知される。ＦＩＣ２８は、流量の検知結果に基づき、ワーク１２を介して対向する一対の噴流噴出部２４から噴出される処理液の流量が均等になるように、流量調整バルブ２６を制御する。

噴流ノズル板３４は、噴流体管路３２のワーク１２側に設けられている。噴流ノズル板３４には、噴流体管路３２の上下方向に沿ってワーク１２側に突出した突出部３８を有している。突出部３８のワーク１２に対向する面は、ワーク１２の移動方向に略平行な平坦面となっている。突出部３８の浸漬槽１０側の側面は、浸漬槽１０の側壁１８に略平行な面となっている。突出部３８の浸漬槽１０と反対側の側面は、傾斜面となっている。噴流ノズル板３４の突出部３８の両側の面は、ワーク１２の移動方向に略平行な面となっている。

複数の噴流ノズル３６は、浸漬槽１０のスリット２０に対応する範囲に、噴流ノズル板３４の突出部３８に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路３２に接続されている。

複数の噴流ノズル３６の穴は、図５（ｂ）に示すように、例えば上下方向に略一定のピッチで突出部３８のワーク１２に対向する平面に一列に配列されている。また、複数の噴流ノズル３６の穴は、例えば、同一径の円形状となっている。噴流ノズル３６の穴の直径は、例えば０．５〜３ｍｍ程度、具体的には、例えば２ｍｍ程度である。

各噴流ノズル３６は、図４に示すように、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いている。このように傾斜した方向を向いた各噴流ノズル３６は、ワーク１２に向けて、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向に略水平に、噴流体管路３２から供給される処理液を噴流として噴出する。

ワーク１２を介して対向して配置された一対の噴流噴出部２４の噴流ノズル板３４間には、突出部３８のワーク１２に対向する面に挟まれた噴流スリット４０が構成されている。噴流スリット４０の幅は、浸漬槽１０のスリット２０の幅よりも狭く、上下方向に略一定になっており、例えば１〜３ｍｍ程度である。噴流スリット４０の厚さ、すなわち突出部３８のワーク１２に対向する面のワーク１２の移動方向における長さは、例えば３ｍｍ程度である。

さらに、一対の噴流噴出部２４の噴流ノズル板３４間には、噴流スリット４０の浸漬槽１０側に、噴流スリット４０よりも幅広のスロート部４２が構成されている。また、噴流スリット４０の浸漬槽１０と反対側に、噴流スリット４０よりも幅広のスロート部４４が構成されている。

浸漬槽１０側のスロート部４２は、浸漬槽１０のスリット２０の幅よりも狭い略一定の幅を有している。浸漬槽１０と反対側のスロート部４４は、噴流スリット４０側から離れるに従って幅が拡大していき、途中から浸漬槽１０側のスロート部４２とほぼ同じ幅になっている。ワーク１２の移動方向における長さは、浸漬槽１０側のスロート部４２よりも浸漬槽１０と反対側のスロート部４４の方が長くなっている。

こうして、ワーク１２が通過する一対の噴流ノズル板３４の間に、浸漬槽１０のスリット２０に沿ってスリット２０に対応する範囲に、スロート部４２と、噴流スリット４０と、スロート部４４とが構成されている。噴流スリット４０においては、ワーク１２の両側の複数の噴流ノズル３６から、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

次に、本実施形態による非接触液シール装置２２を用いた液シール方法について図１乃至図５を用いて説明する。

処理液が満たされた浸漬槽１０には、ワーク１２が、搬入側の側壁１８のスリット２０から幅方向を略鉛直にして搬入され、そのまま幅方向を略鉛直にして搬出側の側壁１８のスリット２０から搬出される。ワーク１２の移動速度は、例えば、０．１ｍ〜３０ｍ／分程度の範囲の比較的遅い速度であり、通常、０．１〜２ｍ／分である。

ワーク１２が搬入出される間、噴流体管路３２には処理液が供給され、噴流ノズル板３４の複数の噴流ノズル３６から処理液の噴流が噴出する。噴流体管路３２に供給される処理液の流量は、ワーク１２を介して対向する一対の噴流ノズル板３４の噴流ノズル３６から噴出する処理液の流量が均等になるように、ＦＩＣ２８により制御される。こうして、ワーク１２を介して対向する一対の噴流ノズル板３４の噴流ノズル３６から、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

ワーク１２に対して略垂直な方向の噴流の速度成分は、噴流の慣性力としてワーク１２の表面に働き、一対の噴流ノズル板３４の間隙の中央にワーク１２を押し返す。この噴流によるワーク１２を押し返す力は、噴流ノズル３６とワーク１２との隙間が狭いほど大きくなる。このため、ワーク１２は噴流スリット４０の中央の位置で安定し、噴流ノズル板３４との非接触状態が維持される。

こうして、一対の噴流ノズル板３４の噴流ノズル３６からワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に噴出する処理液の噴流により、ワーク１２は、浸漬槽１０のスリット２０内面及び噴流ノズル板３４に接触することなく、安定して浸漬槽１０へ搬入出される。

したがって、本実施形態による非接触液シール装置２２によれば、浸漬槽１０のスリット２０内面や噴流ノズル板３４等の周辺部材、部品とワーク１２との接触を防止し、損傷、変形、変色等のワーク１２の不良の発生を確実に防止することができる。

このようにワーク１２が非接触で浸漬槽１０に搬入出される間、浸漬槽１０側のスロート部４２には、浸漬槽１０のスリット２０を介して浸漬槽１０内の処理液が流入している。しかしながら、噴流スリット４０内においては、噴流ノズル板３４の表面に流体摩擦が存在する。このため、噴流ノズル３６から噴出される噴流により、噴流スリット４０内の圧力が高くなる。このような噴流スリット４０内の高い圧力が、浸漬槽１０側の方向に向かう速度成分を有する噴流の慣性力と相俟って、浸漬槽１０側のスロート部４２から浸漬槽１０と反対側のスロート部４４への処理液の流出が十分に抑制ないしは低減される。

こうして、本実施形態による非接触液シール装置２２によれば、噴流スリット４０においてワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に噴出する処理液の噴流により噴流スリット４０を非接触でシールし、浸漬槽１０からの処理液の流出を十分に抑制ないしは低減することができる。したがって、浸漬槽１０に満たされる処理液の液面を高くすることができ、幅広のワーク１２に対しても処理液による処理を行うことができる。本実施形態によれば、例えば１０００ｍｍ程度の幅を有する幅広のワーク１２に対しても浸漬槽１０において処理液による処理を行うことができる。

また、本実施形態による非接触液シール装置２２は、処理液の噴流を噴出する噴流噴出部２４にローラー、ベアリング等の可動部品を用いる必要がないため、保守管理を容易に行うことができる。

さらに、本実施形態による非接触液シール装置２２によれば、浸漬槽１０からの処理液の流出を十分に抑制ないしは低減することができるので、省エネルギー、省資源、省スペースを図ることができる。

なお、上述した湿式処理装置のように、プリント基板、フレキシブルプリント基板等の枚葉又は帯状のワークを、その断面を略鉛直にしてめっき槽等の浸漬槽へ水平方向に搬入出する処理方法においては、ワークの移動速度は比較的に遅い。上述のように、ワークの移動速度は、例えば、０．１ｍ〜３０ｍ／分程度の範囲であり、通常、０．１〜２ｍ／分である。このようにワークの移動速度が遅い場合には、ワークを例えば３００ｍ／分などの高速で移動する場合と異なり、ワークの移動速度による流体潤滑をあまり期待することができない。このため、本発明においては、ワークに対して処理液の噴流を噴出することにより、この流体作用によりワークの位置を安定化し、非接触でのワークの搬入出を実現している。

また、本発明においては、浸漬槽のスリットが設けられた側壁に非接触液シール装置を設け、噴流を噴出することにより、ワークの位置の安定化による非接触でのワークの搬入出を実現するとともに、浸漬槽からの処理液の流出を抑制ないしは低減している。これに対して、流出液の飛散防止、或いはワークに付着した処理液が次の浸漬槽に持ち越されることを防止することを目的として、浸漬槽のスリットから離れた位置から、スリットからの流出液、ワークに対して流体を吹き付ける構成が知られている。しかし、このような構成では、ワークの位置を安定化したり、浸漬槽からの処理液の流出を抑制したりすることは不可能であり、本発明の構成とは全く異なるものである。

なお、非接触液シール装置２２の形状及び寸法は、流体工学に基づく噴流スリット４０周りの流体の慣性力及び粘性力の解析、有限要素法による液圧分布解析、流線シミュレーション等により適宜設定することが望ましい。非接触液シール装置２２の形状及び寸法の具体例としては、ワーク１２を介して対向する一対の噴流ノズル板３４間の間隔、噴流スリット４０の厚さ、スロート部４２、４４の長さ及び形状、噴流ノズル３６の形状、穴径、個数等である。これは、ワーク１２の材質等に基づく機械的物性、ワーク１２の寸法、浸漬槽１０内の処理液の密度や粘度等の物性、浸漬槽１０内の処理液の液面の高さ、噴流ノズル３６から噴出される噴流体の密度や粘度等の物性、並びに噴流ノズル３６から噴出される噴流体の流速や液圧等の条件が相互に影響しあうためである。流体工学を用いた解析等の手法により、噴流スリット４０近傍の全域において噴流スリット４０の間隙の中央にワーク１２の位置が安定化され、且つ、噴流スリット４０を通して浸漬槽１０から流出する液量を最小にするための噴流条件の最適解を見出すことにより、非接触液シール装置２２の形状及び寸法を実用的に設定することができる。

このように、本実施形態によれば、処理液が満たされた浸漬槽１０のスリット２０を介して、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワーク１２を浸漬槽１０に搬入出する際に、噴流スリット４０において、ワーク１２の両側の複数の噴流ノズル３６から、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流を噴出するので、浸漬槽１０からの処理液の流出を、ワーク１２とは非接触で十分に抑制ないしは低減することができる。

［第２実施形態］
本発明の第２実施形態による非接触液シール装置について図６を用いて説明する。図６（ａ）は本実施形態による非接触液シール装置における噴流噴出部の平面図、図６（ｂ）は噴流噴出部のワーク側側面図である。なお、第１実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第１実施形態による非接触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、噴流ノズル板３４の突出部３８に上下方向に配列して設けられた複数の噴流ノズル３６において、下方に配置された噴流ノズル３６の穴ほど、上下方向に長い長円形になっていることに主たる特徴がある。

浸漬槽１０内に満たされた処理液の液圧は、液面から下方ほど高くなる。このため、浸漬槽１０から流出しようとする処理液の液圧は、浸漬槽１０の下方ほど高くなる。したがって、浸漬槽１０からの処理液の流出を抑制する作用は、浸漬槽１０の下方ほど強くすることが好ましい。

そこで、本実施形態では、図６（ｂ）に示すように、噴流ノズル板３４の突出部３８に上下方向に配列して設けられた複数の噴流ノズルにおいて、下方に配置された噴流ノズル３６の穴ほど、上下方向に長い長円形になっている。

このように、複数の噴流ノズル３６の穴の形状が上下方向で変化しているので、下方に配置された噴流ノズル３６ほど、噴流として噴出される処理液の流量を多くすることができる。したがって、本実施形態によれば、浸漬槽１０からの処理液の流出を抑制する作用を浸漬槽１０の下方ほど強くすることができ、浸漬槽１０からの処理液の流出を更に十分に抑制ないしは低減することができる。

なお、下方に配置された噴流ノズル３６ほど、噴流として噴出される処理液の流量を多くする構成は、上記の構成に限定されるものではない。例えば、下方に配置された噴流ノズル３６ほど穴径を大きくしてもよい。また、上下方向に配列された複数の噴流ノズル３６の穴のピッチを下方ほど密にしてもよい。また、上下方向に配列する噴流ノズル３６の穴の列数を高さに応じて変更し、下方ほど噴流ノズル３６の穴の列数を多くしてもよい。また、噴流体管路３２を上下方向に複数の室に区分し、複数の室ごとに噴流ノズル３６から噴出される処理液を供給し、下方の室ほど供給する処理液の流量を多くしてもよい。

［第３実施形態］
本発明の第３実施形態による非接触液シール装置について図７を用いて説明する。図７（ａ）は本実施形態による非接触液シール装置における噴流噴出部の平面図、図７（ｂ）は噴流噴出部のワーク側側面図である。なお、第１及び第２実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第１実施形態による非接触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、穴が円形状の複数の噴流ノズル３６に代えて、スリット状の噴流ノズル４６が噴流ノズル板３４に設けられていることに主たる特徴がある。

図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、噴流ノズル板３４には、上下方向にスリット状の噴流ノズル４６が設けられている。スリット状の噴流ノズル４６の幅は、例えば下方ほど広くなっている。なお、スリット状の噴流ノズル４６の幅は、上下方向に略一定であってもよい。スリット状の噴流ノズル４６の幅は、例えば０．１〜１ｍｍ程度である。スリット状の噴流ノズル４６は、噴流体管路３２に接続されている。

ワーク１２を介して対向する一対の噴流ノズル板３４のスリット状の噴流ノズル４６は、複数の噴流ノズル３６と同様に、ワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流を噴出する。

このように、穴が円形状の複数の噴流ノズル３６に代えて、スリット状の噴流ノズル４６を設けてもよい。

［第４実施形態］
本発明の第４実施形態による非接触液シール装置について図８を用いて説明する。図８は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。なお、第１乃至第３実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第１実施形態による非接触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いた複数の噴流ノズル３６に代えて、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノズル４８が噴流ノズル板３４に設けられていることに主たる特徴がある。

図８に示すように、非接触液シール装置２２において、噴流体管路３２のワーク１２側に設けられた噴流ノズル板３４は、ワーク１２に対向する面がワーク１２の移動方向に略平行な平坦部５０を有している。噴流ノズル板３４の平坦部５０の両側の面は、傾斜面となっている。

複数の噴流ノズル４８は、浸漬槽１０のスリット２０に対応する範囲に、平坦部５０の浸漬槽１０側に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路３２に接続されている。

複数の噴流ノズル４８の穴は、例えば上下方向に略一定のピッチで平坦部５０のワーク１２に対向する平面に一列に配列されている。複数の噴流ノズル４８の穴は、例えば、同一径の円形状となっている。

各噴流ノズル４８は、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いている。各噴流ノズル４８は、ワーク１２に向けて、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向に略水平に、噴流体管路３２から供給される処理液を噴流として噴出する。

ワーク１２を介して対向して配置された一対の噴流噴出部２４の噴流ノズル板３４間には、平坦部５０のワーク１２に対向する面に挟まれた噴流スリット４０が構成されている。

さらに、一対の噴流噴出部２４の噴流ノズル板３４間には、噴流スリット４０の浸漬槽１０側に、浸漬槽１０側に向かって幅が拡大するスロート部４２が構成されている。また、噴流スリット４０の浸漬槽１０と反対側に、浸漬槽１０と反対側に向かって幅が拡大するスロート部４４が構成されている。ワーク１２の移動方向における長さは、浸漬槽１０と反対側のスロート部４４よりも浸漬槽１０側のスロート部４４の方が長くなっている。

こうして、ワーク１２が通過する一対の噴流ノズル板３４の間に、浸漬槽１０のスリット２０に沿ってスリット２０に対応する範囲に、スロート部４２と、噴流スリット４０と、スロート部４４とが構成されている。噴流スリット４０においては、ワーク１２の両側の複数の噴流ノズル４８から、ワークに向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

このように、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いた複数の噴流ノズル３６に代えて、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノズル４８が噴流ノズル板３４に設けられていてもよい。

なお、噴流ノズル４８について、第２実施形態よる場合と同様に、穴の形状、ピッチ、列数を変更したり、噴流体管路３２を複数の室に区分して複数の室ごとに噴流ノズル４８から噴出される処理液を供給してもよい。

［第５実施形態］
本発明の第５実施形態による非接触液シール装置について図９を用いて説明する。図９は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。なお、第１乃至第４実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第１実施形態による非接触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いた複数の噴流ノズル３６に加えて、第４実施形態による非接触液シール装置と同様に、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノズル４８が噴流ノズル板３４に設けられていることに主たる特徴がある。

図９に示すように、非接触液シール装置２２において、噴流体管路３２のワーク１２側に設けられた噴流ノズル板３４は、ワーク１２に対向する面がワーク１２の移動方向に略平行な平坦部５０を有している。平坦部５０の浸漬槽１０側の噴流ノズル板３４の面は、平坦部５０のワーク１２に対向する面よりもワーク１２の位置から離間し、ワーク１２の移動方向と略平行な面となっている。平坦部５０の浸漬槽１０と反対側の噴流ノズル板３４の面は、傾斜面となっている。

噴流ノズル板３４は、平坦部５０の浸漬槽１０側に設けられた複数の噴流ノズル３６と、平坦部５０の噴流ノズル３６よりも浸漬槽１０から離間した位置に設けられた複数の噴流ノズル４８とを有している。

複数の噴流ノズル３６は、浸漬槽１０のスリット２０に対応する範囲に、噴流ノズル板３４の平坦部５０の浸漬槽１０側に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路３２に接続されている。

複数の噴流ノズル３６の穴は、例えば上下方向に略一定のピッチで平坦部５０のワーク１２に対向する角部に一列に配列されている。複数の噴流ノズル３６の穴は、例えば、同一径の円形状となっている。

各噴流ノズル３６は、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いている。各噴流ノズル３６は、ワーク１２に向けて、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向に略水平に、噴流体管路３２から供給される処理液を噴流として噴出する。

他方、複数の噴流ノズル４８は、浸漬槽１０のスリット２０に対応する範囲に、平坦部５０の噴流ノズル２６よりも浸漬槽１０から離間した位置に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路３２に接続されている。

さらに、一対の噴流噴出部２４の噴流ノズル板３４間には、噴流スリット４０の浸漬槽１０側に、幅が略一定のスロート部４２が構成されている。また、噴流スリット４０の浸漬槽１０と反対側に、浸漬槽１０と反対側に向かって幅が拡大するスロート部４４が構成されている。

こうして、ワーク１２が通過する一対の噴流ノズル板３４の間に、浸漬槽１０のスリット２０に沿ってスリット２０に対応する範囲に、スロート部４２と、噴流スリット４０と、スロート部４４とが構成されている。

噴流スリット４０においては、ワーク１２の両側の傾斜方向を向いた複数の噴流ノズル３６からワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流が噴出されるとともに、ワーク１２の両側の略垂直方向を向いた複数の噴流ノズル４８からワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

このように、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いた複数の噴流ノズル３６とともに、ワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノズル４８が噴流ノズル板３４に設けられていてもよい。

なお、噴流ノズル３６、４８について、第２実施形態よる場合と同様に、穴の形状、ピッチ、列数を変更したり、噴流体管路３２を複数の室に区分して複数の室ごとに噴流ノズル３６、４８から噴出される処理液を供給してもよい。

［第６実施形態］
本発明の第６実施形態による非接触液シール装置及び方法について図１０及び図１１を用いて説明する。図１０は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図、図１１は本実施形態による非接触液シール装置におけるシールロールの他の例を示す概略図である。なお、第１乃至第５実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

上記第１乃至第５実施形態による非接触液シール装置では、スリット２０両側の側壁１８端部の外面に、スリット２０を通過するワーク１２を介して対向するように一対の噴流噴出部２４が配置されていた。一対の噴流噴出部２４からワーク１２に向けてワーク１２の両側から均等に噴出される処理液の噴流により、ワーク１２は、その両面が浸漬槽１０のスリット２０内面及び噴流ノズル板３４に接触することなく、安定して浸漬槽１０へ搬入出される。

このようにワーク１２の両面と周辺部材、部品との接触を防止することができる上記第１乃至第５実施形態による非接触液シール装置によれば、ワーク１２の両面がメッキ処理等の処理を施すべき処理面である場合において、両処理面のいずれについても傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止することができる。

これに対して、例えば、ワーク１２の一方の面がメッキ処理等の処理を施すべき処理面であり、他方の面が処理を施す必要のない又は処理を行わない非処理面である場合には、スリット２０両側に必ずしも一対の噴流噴出部２４を配置する必要はない。すなわち、スリット２０のワーク１２の処理面側に噴流噴出部２４を配置する一方、スリット２０のワーク１２の非処理面側にはワーク１２の非処理面に接触する液シール手段を配置すればよい。

上記第１乃至第５実施形態による非接触液シール装置が、ワーク１２に両面について非接触状態を実現しつつ液シールを行う両面非接触型であるのに対して、本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク１２の片面について非接触状態を実現しつつ液シールを行う片面非接触型のものである。具体的には、本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク１２の一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂである場合において、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側に噴流噴出部２４を配置して処理面１２ａとの非接触を実現する一方、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側には、ワーク１２の非処理面に接触する液シール手段としてシールロール８２を配置したものである。

図１０は、浸漬槽１０のワーク１２の搬入側の側壁１８に設けられた本実施形態による非接触液シール装置７８の構造を示している。なお、浸漬槽１０のワーク１２の搬出側の側壁１８に設けられた非接触液シール装置７８も同様の構造を有している。

図示するように、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側には、第１実施形態による非接触液シール装置と同様の噴流噴出部２４が配置されている。噴流噴出部２４は、噴流として噴出される処理液の流路である噴流体管路３２と、噴流体管路３２内の処理液が噴流としてワーク１２に向けて噴出する複数の噴流ノズル３６が設けられた噴流ノズル板３４とにより構成されている。なお、噴流噴出部２４は、第２乃至第５実施形態による非接触液シール装置と同様のものであってもよい。また、図１０では、噴流噴出部２４の浸漬槽１０側の側壁が浸漬槽１０の側壁を兼ねている場合について示しているが、例えば図４に示す場合と同様に、噴流噴出部２４の側壁と浸漬槽１０の側壁とを別個のものとしてもよい。

一方、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側の側壁１８外面には、ワーク１２側が開口したシール槽８０が設けられている。シール槽８０内には、円柱状又は円筒状のシールロール８２がその中心軸を回転軸として回転自在に収容されている。

シールロール８２は、例えば、ポリ塩化ビニルやテフロン（登録商標）等の樹脂製の中空のパイプ状の剛性体である。シールロール８２の外周面は、平滑面であってもよいし、外周面の全面にわたって、シールロール８２の軸方向に沿った複数の溝を設けてもよい。また、シールロール８２は、その上端及び下端近傍が径の太くなった大径部を有する段付きのものであってもよい。シールロール８２内部の底には、シールロール８２の姿勢を安定にするため、錘（図示せず）が設けられている。

シートロール８２の下端及び上端の中央部分には凹部が設けられている。下端の凹部には、シール槽８０底部に設けられた凸部が嵌合している。また、上端の凹部には、シール槽８０の上部に設けられた凸部が嵌合している。これら凹みと凸部との嵌合にはあそびとして適度な間隙が設けられている。こうして、シール槽８０内でのシールロール８２の転倒が防止され、回転中心軸は水平方向に移動できる。なお、このような凹部及び凸部を設けずに、あそびとして適度な間隙があるようにシール槽８０内にシールロール８２を収容し、シールロール８２の転倒を防止しつつ、シールロール８２が回転自在となるようにしてもよい。

このように、本実施形態による非接触液シール装置７８は、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側に配置された噴流噴出部２４と、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側に配置されたシールロール８２とを有することに主たる特徴がある。

ワーク１２が浸漬槽１０に搬入出される間、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側に配置された噴流噴出部２４においては、第１実施形態による場合と同様に、噴流体管路３２に処理液が供給され、噴流ノズル板３４の複数の噴流ノズル３６から処理液の噴流が噴出する。こうして、噴流噴出部２４において、噴流ノズル板３４の噴流ノズル３６から、ワーク１２の処理面１２ａに向けて処理液の噴流が噴出される。

このように、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側では、噴流噴出部２４から噴流が噴出されることにより、スリット２０からの処理液の流出が抑制ないし低減される。

一方、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側に配置されたシールロール８２を収容するシール槽８０には、スリット２０を介して浸漬槽１０内の処理液が満たされている。シールロール８２は、処理液の液圧により自動的にワーク１２の非処理面１２ｂに押し付けられるとともに、浸漬槽１０の側壁１８に対向するシール槽８０の側壁に押し付けられる。

こうして、シールロール８２が、ワーク１２の非処理面１２ｂと密着するとともに、シール槽８０の側壁と密着する。ワーク１２の非処理面１２ｂに密着したシールロール８２は、ワーク１２の移動に伴って回転する。

このように、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側においては、ワーク１２の非処理面１２ｂに密着するシールロール８２により、スリット２０からの処理液の流出が低減ないし抑制される。

ここで、シールロール８２がワーク１２に押し付けられる力と、噴流噴出部２４から噴出される処理液によりワーク１２が押される力とが均衡するように、噴流噴出部２４から噴出される処理液の流量を制御し、ワーク１２の処理面１２ａが噴流ノズル板３４等の周辺部材、部品と接触しないようにする。

また、噴流噴出部２４の各噴流ノズル３６は、処理液がシールロール８２のワーク１２との接触部に向けて噴出するように、その向きを適宜設定することが望ましい。例えば、第１実施形態による場合と同様に、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を各噴流ノズル３６が向いている場合において、各噴流ノズル３６から処理液がシールロール８２のワーク１２との接触部に向けて噴出するように、各噴流ノズル３６が浸漬槽１０側に傾斜する方向を設定する。処理液がシールロール８２のワーク１２との接触部に向けて噴出することにより、噴流噴出部２４とシールロール８２との間を移動するワーク１２の位置を更に安定させることができる。

このように、本実施形態による非接触液シール装置７８では、スリット２０のワーク１２の処理面１２ａ側において、噴流噴出部２４から噴流を噴出することにより、ワーク１２の処理面１２ａと噴流ノズル板３４等の周辺部材、部品との非接触状態を維持しつつスリット２０からの処理液の流出を抑制ないし低減する。一方、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側においては、ワーク１２の非処理面１２ｂに接触するシールロール８２によりスリット２０からの処理液の流出を低減ないし抑制する。

ワーク１２の非処理面１２ｂ側においてはワーク１２の非処理面１２ｂに接触するシールロール８２を用いて液シールを行うので、一対の噴流噴出部２４を用いた第１乃至第５実施形態による非接触液シール装置と比較して、浸漬槽１０のスリット２０からの処理液の流出を更に抑制ないし低減することができる。その一方で、ワーク１２の処理面１２ａ側においては噴流噴出部２４を用いて液シールを行うので、ワーク１２の処理面１２ａについては傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止することができる。

このように、本実施形態によれば、一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂであるワーク１２を処理する場合において、ワーク１２の処理面１２ａについて傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止するとともに、浸漬槽１０のスリット２０からの処理液の流出を更に抑制ないし低減することができる。

なお、上記では、ワーク１２の移動に伴って、ワーク１２の非処理面１２ｂに密着するシールロール８２が回転する場合について説明したが、シールロール８２をギヤドモーター等のモーターにより回転し、液シール手段としてのみならずワーク１２を搬送する搬送手段としてもシールロール８２が機能するようにしてもよい。

図１１は、シールロール８２をギヤドモーター８４により回転するようにした構成を示している。

図示するように、シールロール８２は、その上側及び下側にそれぞれ設けられたベアリング８６ａ、８６ｂにより回転自在に軸支されている。

シールロール８２には、カップリング８８を介してギヤドモーター８４の出力軸の回転が伝達されるようになっている。こうして、ギヤドモーター８４により、シールロール８２が、ワーク１２を搬送するように回転するようになっている。

このように、シールロール８２をギヤドモーター８４により回転するように構成し、液シール手段としてのみならず、搬送手段としてもシールロール８２が機能するようにしてもよい。

また、上記では、ワーク１２の一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂである場合について説明したが、両面が処理面であるワークについても本実施形態による非接触液シール装置を用いることができる。

［第７実施形態］
本発明の第７実施形態による連続湿式処理装置について図１２を用いて説明する。図１２は本実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。なお、第１乃至第６実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

上記第１乃至第６実施形態では、１つの浸漬槽１０を備えた湿式処理装置に非接触液シール装置２２、７８を用いる場合について説明したが、本発明による非接触液シール装置の適用範囲はこれに限定されるものではない。本発明による非接触液シール装置は、例えば、本出願人による特許文献４に記載された連続湿式処理装置等のように、複数の浸漬槽を用いて帯状のワークに連続的に湿式処理を施す連続湿式処理装置における液シール装置として用いることもできる。

本実施形態による連続湿式処理装置は、本発明による非接触液シール装置、例えば第１実施形態による非接触液シール装置を液シール装置として用いたものである。

図１２に示すように、連続湿式処理装置は、めっき処理が行われるめっき処理部５２と、めっきを施すべき帯状のワーク１２をめっき処理部５２に連続的に送り出すワーク巻き出し部５４と、めっき処理部５２においてめっきが施されたワーク１２を連続的に回収するワーク巻き取り部５６とから構成されている。

ワーク巻き出し部５４には、コイル状に巻かれた帯状のワーク１２を、その幅方向を略鉛直にして長手方向に送り出し、めっき処理部５２へ導入するアンコイラー５８が設けられている。アンコイラー５８とめっき処理部５２との間には、アンコイラー５８から送り出されたワーク１２の張力を一定に保つアキューム装置６０が設けられている。アキューム装置６０は、ワーク１２の側方からワーク１２の位置を規制したり、また、ワーク１２を折り返したりするためのローラー６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６０ｄを備えている。

めっき処理部５２は、めっき液で満たされた複数のめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄを有している。各めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄには、対向する側壁にそれぞれ例えば第１実施形態による非接触液シール装置２２が設けられており、一方の側壁の非接触液シール装置２２を介してワーク１２が幅方向を略鉛直にしてめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ内に搬入されるようになっている。めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄに搬入されたワーク１２は、そのまま他方の側壁の非接触液シール装置２２を介してめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ外に搬出されるようになっている。めっき槽６２ｂのワーク搬出側とめっき槽６２ｃのワーク搬入側の近傍には、めっき槽６２ｂの非接触液シール装置２２から搬出されたワーク１２を方向転換し、めっき槽６２ｃに非接触液シール装置２２を介して搬入するためのＵターン部６４が設けられている。Ｕターン部６４は、ワーク１２を方向転換するためのローラー６４ａ、６４ｂを備えている。

各めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄのワーク搬入側とワーク搬出側の非接触液シール装置２２近傍には、ワーク１２に給電するための給電ロール部６６が設けられている。給電ロール部６６は、ワーク１２を挟むように配置され、ワーク１２に接触して給電する給電ロール６６ａ、６６ｂ、６６ｃを備えている。

めっき槽６２ａのワーク搬入側とワーク巻き出し部５４との間には、ワーク巻き出し部５４から送り出されたワーク１２の汚れの除去等を行う前処理槽６８が設けられている。処理液で満たされた前処理槽６８についても、めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄと同様に、例えば第１実施形態による非接触液シール装置２２を設けてもよい。

めっき槽６２ｄのワーク搬出側の非接触液シール装置２２近傍には、めっきが施されたワーク１２をシャワー洗浄する洗浄室７０が設けられている。洗浄室７０近傍には、洗浄室内で洗浄されたワーク１２を熱風乾燥する乾燥室７２が設けられている。

乾燥室７２近傍には、乾燥室７２内で乾燥されたワーク１２を巻き取り回収するワーク巻き取り部５６が配置されている。

ワーク巻き取り部５６には、めっき処理部５２によりめっきが施され、幅方向を略鉛直にして送り出されたワーク１２を巻き取って回収するリコイラー７４が設けられている。リコイラー７４とめっき処理部５２の乾燥室７２との間には、ワーク１２を所定の速度でリコイラー７４に送るための駆動装置７６が設けられている。駆動装置７６は、ワーク１２を折り返したり、ワーク１２の移動方向を変えたりするためのローラー７６ａ、７６ｂ、７６ｃを備えている。

こうして、ワーク巻き出し部５４からその幅方向を略鉛直にして長手方向に送り出されたワーク１２が、めっき処理部５２の前処理槽６８、めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ、洗浄室７０、乾燥室７２を順次通過し、ワーク巻き取り部５６により回収される構成となっている。

本実施形態のように、連続湿式処理装置におけるめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ、前処理槽６８に対して例えば第１実施形態による非接触液シール装置２２を設けてもよい。

なお、上記では、連続湿式処理装置における液シール装置として第１実施形態による非接触液シール装置２２を設ける場合について説明したが、第１実施形態による非接触液シール装置２２に代えて、第２乃至第６実施形態による非接触液シール装置２２、７８のいずれかを設けてもよい。

［第８実施形態］
本発明の第８実施形態による連続湿式処理装置について図１３を用いて説明する。図１３は本実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。なお、第１乃至第６実施形態による非接触液シール装置及び第７実施形態による連続湿式処理装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

本実施形態による連続湿式処理装置は、一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂであるワーク１２をその処理対象とするものである。本実施形態による連続湿式処理装置の基本的構成は、第７実施形態による連続湿式処理装置の構成とほぼ同様であるが、液シール装置として第６実施形態による非接触液シール装置７８が用いられている点、及びワーク１２の処理面１２ａとの接触を極力回避するように各部材が配置されている点で、第７実施形態による連続湿式処理装置とは異なっている。

図１３に示すように、アンコイラー５８には、処理面１２ａを内側にしてワーク１２がコイル状に巻かれている。

アキューム装置６０においては、ワーク１２の側方からワーク１２の位置を規制するためのローラー６０ａ、６０ｄ、及びワーク１２を折り返すためのローラー６０ｂ、６０ｃのうち、ローラー６０ｂのみがワーク１２の処理面１２ａに接触し、他のローラー６０ａ、６０ｃ、６０ｄは、ワーク１２の非処理面１２ｂに接触している。

各給電ロール部６６においては、ワーク１２の処理面１２ａ側に配置された１つの給電ロール６６ａと、ワーク１２の非処理面１２ｂ側に配置された２つの給電ロール６６ｂ、６６ｃとによりワーク１２が挟まれている。各給電ロール部６６において、ワーク１２の処理面１２ａには１つの給電ロール６６ａが接触するのに対して、ワーク１２の非処理面１２ｂには２つの給電ロール６６ｂ、６６ｃが接触している。

各めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄには、対向する側壁にそれぞれ第６実施形態による非接触液シール装置７８が設けられており、一方の側壁の非接触液シール装置７８を介してワーク１２が幅方向を略鉛直にしてめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ内に搬入されるようになっている。めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄに搬入されたワーク１２は、そのまま他方の側壁の非接触液シール装置７８を介してめっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ外に搬出されるようになっている。

各非接触液シール装置７８では、図１０に示す場合と同様に、ワーク１２の処理面１２ａ側に噴流噴出部２４が配置され、ワーク１２の非処理面１２ｂ側にシールロール８２が配置されている。

なお、前処理槽６８についても、めっき槽６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄと同様に、第６実施形態による非接触液シール装置７８を設けてもよい。

Ｕターン部６４においては、ワーク１２を方向転換するためのローラー６４ａ、６４ｂのいずれもワーク１２の非処理面１２ｂに接触している。

駆動装置７６においては、ワーク１２を折り返すためのローラー７６ａ、７６ｂ及びワーク１２の移動方向を変えるためのローラー７６ｃのうち、ローラー７６ａのみがワーク１２の処理面１２ａに接触し、他のローラー７６ｂ、７６ｃは、ワーク１２の非処理面１２ｂに接触している。

リコイラー７４には、処理面１２ａを内側にしてワーク１２が巻取られて回収されるようになっている。

このように、本実施形態による連続湿式処理装置では、一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂであるワーク１２に対して、第６実施形態による非接触液シール装置７８を液シール装置として用い、更に、ワーク１２の処理面１２ａとの接触を極力回避するように各部材が配置されている。

すなわち、アキューム装置６０においては、ワーク１２の処理面１２ａに接触するローラーの数よりもワーク１２の非処理面１２ｂに接触するローラーの数が多くなっている。また、各給電ロール部６６においては、ワーク１２の処理面１２ａに接触する給電ロール６６ａの数よりもワーク１２の非処理面１２ｂに接触する給電ロールの数が多くなっている。Ｕターン部６４においては、ワーク１２の処理面１２ａにローラーが接触しないようになっている。駆動装置７６においても、ワーク１２の処理面１２ａに接触するローラーの数よりもワーク１２の非処理面１２ｂに接触するローラーの数が多くなっている。

したがって、本実施形態によれば、一方の面が処理面１２ａであり、他方の面が非処理面１２ｂであるワーク１２を処理する場合において、ワーク１２の処理面１２ａについて連続湿式処理装置における部材との接触による傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止するとともに、浸漬槽１０のスリット２０からの処理液の流出を更に抑制ないし低減することができる。

［変形実施形態］
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。

例えば、上記実施形態では、浸漬槽１０に満たされた処理液と同じ処理液の噴流を噴流ノズル３６、４６、４８から噴出する場合について説明したが、噴流ノズル３６、４６、４８から噴流として噴出する流体は、浸漬槽１０に満たされた処理液と同じ処理液に限定されるものではない。噴流ノズル３６、４６、４８からは、浸漬槽１０に満たされた処理液とは異なる処理液、水等の液体を噴出してもよい。また、噴流ノズル３６、４６、４８から噴出する流体は、液体に限定されるものではなく、空気等の気体を噴流ノズル３６、４６、４８から噴出してもよい。また、ワークやワークに施されためっきを変質させない窒素ガス等の気体を噴出してもよい。また、気体と液体とが混合された気液混合流体を噴流ノズル３６、４６、４８から噴出してもよい。噴流ノズル３６、４６、４８から気体を噴出する場合は、液体を噴出する場合と比較して液の流出量を低減することができる。

また、上記実施形態では、噴流スリット４０の幅が上下方向に略一定になっている場合について説明したが、噴流スリット４０の幅は略一定でなくてもよい。例えば、噴流スリット４０の幅を下方ほど狭くしてもよい。処理液の液圧が高くなる下方ほど噴流スリット４０の幅を狭くすることにより、浸漬槽１０からの処理液の流出を更に十分に抑制ないしは低減することができる。

また、上記実施形態では、噴流体管路３２が角管状である場合について説明したが、噴流体管路３２は、角管状のものに限定されるものではない。例えば、噴流体管路３２は、丸管状のものであってもよい。この場合において、図１４に示すように、複数の噴流ノズル３６を丸管状の噴流体管路３２に直接設けてもよい。

また、上記実施形態では、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０側に傾斜した方向を向いた噴流ノズル３６、及びワーク１２の移動方向に略垂直な方向を向いた噴流ノズル４８のいずれか一方又は両方が噴流ノズル板３４に設けられている場合について説明したが、噴流ノズルが向く方向はこれらに限定されるものではない。例えば、ワーク１２の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽１０と反対側に傾斜した方向を向いた噴流ノズルを噴流ノズル板３４に設けてもよい。また、これら向く方向の異なる噴流ノズルを適宜組み合わせて噴流ノズル板３４に設けてもよい。

また、上記実施形態では、浸漬槽１０のスリット２０の幅が上下方向に略一定になっている場合について説明したが、スリット２０の幅は略一定でなくてもよい。例えば、スリット２０の幅を下方ほど狭くしてもよい。処理液の液圧が高くなる下方ほどスリット２０の幅を狭くすることにより、浸漬槽１０からの処理液の流出を更に十分に抑制ないしは低減することができる。

また、上記実施形態では、浸漬槽１０のワーク搬入側とワーク搬出側とにそれぞれ１つずつ非接触液シール装置２２、７８が設けられている場合について説明したが、非接触液シール装置２２、７８を複数段連ねて設けてもよい。非接触液シール装置２２、７８を複数段連ねて設けることにより、浸漬槽１０からの処理液の流出を更に十分に抑制ないしは低減することができる。

また、上記実施形態では、ワーク１２の非処理面１２ｂ側にシールロール８２を配置する場合について説明したが、スリット２０のワーク１２の非処理面１２ｂ側からの処理液の流出をシールする液シール手段は、これに限定されるものではない。液シール手段としては、シールロール８２に代えて、例えば、スリット２０の側方にスリット２０に沿って、スポンジやゴム等よりなる例えば板状、棒状等の部材をワーク１２の非処理面１２ｂに接触するように設けてもよい。また、回転しないように固定されたシールロールを設けてもよい。

本発明による非接触液シール装置及び方法は、処理液が満たされた浸漬槽の側壁のスリットを介して、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークを浸漬槽に搬入出する際に、ワークの不良の発生を防止しつつ浸漬槽からの処理液の流出を低減するのにきわめて有用である。

Claims

幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール装置であって、
前記開口部の一方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記一方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部と、
前記開口部の他方の側に配置され、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部とを有する
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第１項記載の非接触液シール装置において、
前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記他方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部である
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第２項記載の非接触液シール装置において、
前記開口部の一方の側に配置された前記噴流噴出部と前記開口部の前記他方の側に配置された前記噴流噴出部との間の間隙は、下方ほど幅が狭くなっている
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第１項記載の非接触液シール装置において、
前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記ワークの前記他方の側の面に接触する円柱状部材である
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第１項乃至第４項のいずれか１項に記載の非接触液シール装置において、
前記噴流噴出部は、前記流体が供給される噴流体管路と、前記噴流体管路の前記ワーク側に設けられ、前記噴流を噴出する噴流ノズルとを有する
を有することを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第５項記載の非接触液シール装置において、
前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向に対して前記浸漬槽側に傾斜した方向を向いている
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第５項記載の非接触液シール装置において、
前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向を向いている
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第５項乃至第７項のいずれか１項に記載の非接触液シール装置において、
前記噴流噴出部は、上下方向に配列された複数の前記噴流ノズルを有する
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第８項記載の非接触液シール装置において、
前記複数の噴流ノズルの穴は、それぞれ円形である
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第９項記載の非接触液シール装置において、
前記複数の噴流ノズルの穴は、下方の前記噴流ノズルの穴ほど穴径が大きい
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第８項乃至第１０項のいずれか１項に記載の非接触液シール装置おいて、
上下方向に配列された前記複数の噴流ノズルの穴のピッチは、下方ほど密である
ことを特徴とする非接触液シール装置。
請求の範囲第１項乃至第１１項のいずれか１項に記載の非接触液シール装置において、
前記開口部は、下方ほど幅が狭くなっている
ことを特徴とする非接触液シール装置。
幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、
前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記ワークの両側から流体の噴流を噴出し、前記噴流により前記開口部を非接触でシールする
ことを特徴とする非接触液シール方法。
幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、
前記開口部の一方の側に、前記ワークの前記一方の側の面に接触し、前記開口部の前記一方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部を配置し、
前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記開口部の他方の側から流体の噴流を噴出し、前記噴流により、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出を非接触でシールする
ことを特徴とする非接触液シール方法。