WO2008072403A1 - 非接触液シール装置及び方法 - Google Patents

Abstract

　幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワーク１２が通過するスリット２０が側壁１８に設けられ、処理液が満たされる浸漬槽１０に対して、スリット２０の両側に配置され、スリット２０を通過するワーク１２へ向けてワーク１２の両側から処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部２４を有する非接触液シール装置２２が設けられている。

Description

明 細 書

非接触液シール装置及び方法

技術分野

[0001] 本発明は、プリント基板の基材等の対象物にめっき等の湿式処理を施す湿式処理 装置の液シール装置及び方法に関する。

背景技術

[0002] ICカード等に用いられるプリント基板には、搭載される素子の電気的な接続をとる ためにめつきが施される。プリント基板にめっきを施す方法としては、プリント基板の基 材を切断した状態でめっき液に浸漬する枚葉式の方法、或いは帯状のフレキシブル プリント基板自体を連続的にめっき液に浸漬する連続式の方法が用いられている。

[0003] このように、被処理物（ワークともいう）にめつき等の処理を施す湿式処理には、ヮー クの態様に応じて、枚葉式や連続式の方法が用いられてレ、る。

[0004] 枚葉式の方法の場合、ワークは搬送手段により処理液が満たされた浸漬槽の上方 に搬送され、次いで浸漬槽内に下降され、処理液に浸漬される。処理が終了したヮ ークは、浸漬槽から上昇され次の工程に搬送される。この方法は、枚葉のワークに使 用されるが、帯状の連続したワークに適用することはできない。

[0005] これに対し、連続式の方法の場合、浸漬槽の対向する側壁にスリット形状の出入口 を設け、このスリットを通過させてワークを浸漬槽に搬入出する。この方法は、枚葉の ワークのみならず、帯状のワークにも禾 IJ用すること力 sできる。し力、しながら、この方法で は、浸漬槽内の処理液がスリットから流出する量が多ぐ浸漬槽内の処理液の液面を 高くすることができない。スリットの幅を狭くすれば処理液の流出量を低減することが できる力 単にスリットの幅を狭くするだけではワークがスリット内面に接触してしまう。 このため、スリットには、 10mm前後のある程度の幅が必要である。このように、浸漬 槽内の液面を高くすることができないため、幅広のワークを処理することが困難であり 、処理可能なワークの幅は最大でも 200mm程度である。加えて、浸漬槽内の処理 液の液面高さを維持するために流出液の戻しポンプに能力の大きいものが必要とな るなど流体機器に要するエネルギーも大きレ、。 [0006] さらに、この方法では、スリットを通過するワークの位置が不安定になりやすい。ヮー クがスリット間隙の中央位置から一方のスリット内面に偏ると、スリットより流出する処理 液の'慣性力によりワークは更に中心から隔たる方向に動く。この結果、ワークは、最 終的に一方のスリット内面に接触した状態で安定するようになる。このような状態にな ると、スリット内面との接触によりワーク面に擦り傷が発生し、品質の劣化等の原因と なる。ワークをスリット内面に接触し難くするためには、スリット間隙の幅を広くする必 要があるが、処理液の流出量を減少させることが困難となる。スリットの厚さを厚くした り、スリット内面を波形など流体摩擦の大きい形状とすることで、スリットからの処理液 の流出量をある程度低減することはできる。しかしながら、ワークとスリット内面との接 触を完全に防止することは困難である。

[0007] また、スリットからの処理液の流出を抑制ないしは低減する方法として、スリット部分 に樹脂製やゴム製等のシート状、スポンジ状或レ、はヘラ状の液切り手段をワークを挟 み込むように設ける方法も知られている（例えば、特許文献 1参照）。し力もながら、ヮ ークとこれら液切り手段との摩擦によるワーク面の傷付きという問題は依然として残る

〇

[0008] さらに、浸漬槽の対向する側壁に設けたスリットの近傍に、スリットに対応した部分を 挟んで対向する 2本の回転可能なロール（シールロール）を設け、ワークを 2本のシー ルロールの間を走行させて処理槽に搬入出させる方法が知られている（例えば、特 許文献 2〜4参照）。この方法も帯状のワークに利用できる方法である。 2本のシール ロールの間にワークを走行させると、シールロールの回転によりワークとシールロール との密着性が増し、処理槽から処理液の流出を効果的に抑制な!/、しは低減すること ができる。このため、浸漬槽内の処理液の液面を高くすることができ、幅広のワークの 処理が可能となる。この方法では、最大 600mm程度までの幅を有するワークを処理 すること力 Sできる。加えて、ポンプ等の流体機器に要するエネルギーも少ないというメ リット力 Sある。また、この方法においては、ワークとシールロールはスリップしないので シールロールによるワークの擦り傷の発生を抑制でき、ワークがロールにより位置決 めされているのでワークを安定して走行させること力 Sできる。しかしながら、ワークと接 触するシールロールの表面は時間とともに劣化するので、ロールの保守管理を行うこ とが必要となる。

特許文献 1 :実開昭 59— 17765号公報

特許文献 2：特開平 2— 182895号公報

特許文献 3 :特開 2002— 275681号公報

特許文献 4：特開 2003— 147582号公報

特許文献 5 :実開昭 61— 155371号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0009] 上述のように、プリント配線基板及びそれらに用いられる基材等の枚葉又は帯状の ワークを、処理液が満たされた浸漬槽に側壁に設けられたスリットを介して搬入出す る場合においては、浸漬槽からの処理液の流出を抑制ないしは低減するためにシー ノレが行われている。

[0010] この際、ワークとは非接触で浸漬槽からの処理液の流出を抑制な!/、しは低減するこ とができれば、ワークの不良の発生を確実に防止することができる。

[0011] また、浸漬槽からの処理液の流出を十分に抑制ないしは低減することができれば、 浸漬槽に満たされた処理液の液面を高くすることができるため、幅広のワークに対し ても処理液による処理を行うことが可能となる。

[0012] 本発明の目的は、処理液が満たされた浸漬槽の側壁のスリットを介して、幅方向を 略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークを浸漬槽に搬入出する際における浸漬 槽からの処理液の流出を、ワークとは非接触で十分に抑制な!/、しは低減することが できる非接触液シール装置及び方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0013] 本願発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、液体が満たされた浸 漬槽の開口部を、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する 際に、浸漬槽の開口部に対応する範囲において、開口部を通過するワークへ向けて ワークの両側から流体の噴流を噴出することにより、ワークの位置を安定化し、非接 触で浸漬槽にワークを搬入出することができ、且つ、浸漬槽からの液体の流出を十 分に抑制ないしは低減することができることを見出し、本発明を完成させるに至った。 [0014] なお、例えばワークの両面に処理を施すのではなくワークの片方の面にのみ処理 を施す場合等においては、必ずしもワークの両側から流体の噴流を噴出する必要は なぐ開口部を通過するワークへ向けてワークの処理面側から流体の噴流を噴出す る一方、ワークの非処理面側には、ワークの非処理面に接触して液シールを行う液シ ール手段を配置すればよ!/、。

[0015] 上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口 部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール装置であって、前 記開口部の一方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記 一方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部と、前記開口部の他方の側に配置 され、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部 とを有することを特徴とする非接触液シール装置により達成される。

[0016] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記液シール部は、前記開口部の前 記他方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記他方の側 力も流体の噴流を噴出する噴流噴出部であってもよい。

[0017] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記開口部の一方の側に配置された 前記噴流噴出部と前記開口部の前記他方の側に配置された前記噴流噴出部との間 の間隙は、下方ほど幅が狭くなつていてもよい。

[0018] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記液シール部は、前記開口部の前 記他方の側に配置され、前記ワークの前記他方の側の面に接触する円柱状部材で あってもよい。

[0019] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記噴流噴出部は、前記流体が供給 される噴流体管路と、前記噴流体管路の前記ワーク側に設けられ、前記噴流を噴出 する噴流ノズノレとを有するようにしてもよ!/、。

[0020] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記噴流ノズルは、前記ワークの移 動方向に垂直な方向に対して前記浸漬槽側に傾斜した方向を向いているようにして あよい。

[0021] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記噴流ノズルは、前記ワークの移 動方向に垂直な方向を向いてレ、るようにしてもよ!/、。 [0022] また、上記の非接触液シール装置において、

前記噴流噴出部は、上下方向に配列された複数の前記噴流ノズルを有するように してもよい。

[0023] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記複数の噴流ノズルの穴は、それ ぞれ円形であってもよい。

[0024] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記複数の噴流ノズルの穴は、下方 の前記噴流ノズルの穴ほど穴径が大きくてもよい。

[0025] また、上記の非接触液シール装置お!/、て、上下方向に配列された前記複数の噴流 ノズルの穴のピッチは、下方ほど密であってもよ!/、。

[0026] また、上記の非接触液シール装置にお!/、て、前記開口部は、下方ほど幅が狭くな つていてもよい。

[0027] また、上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過す る開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であつ て、前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、 前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記ワークの両側から流体の噴流を噴 出し、前記噴流により前記開口部を非接触でシールすることを特徴とする非接触液 シール方法により達成される。

[0028] また、上記目的は、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過す る開口部が側壁に設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であつ て、前記開口部の一方の側に、前記ワークの前記一方の側の面に接触し、前記開口 部の前記一方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部を配置し、前記 液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前記開 口部を通過する前記ワークへ向けて前記開口部の他方の側から流体の噴流を噴出 し、前記噴流により、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出を非接触で シールすることを特徴とする非接触液シール方法により達成される。

発明の効果

[0029] 本発明によれば、液体が満たされた浸漬槽の開口部を、幅方向を略鉛直にした状 態で枚葉又は帯状のワークが通過する際に、開口部を通過するワークへ向けてヮー クの両側から流体の噴流を噴出するので、浸漬槽からの液体の流出を、ワークとは非 接触で十分に抑制ないしは低減することができる。したがって、本発明によれば、周 辺部材、部品とワークとの接触を防止し、損傷、変形、変色等のワークの不良の発生 を確実に防止することができる。また、本発明によれば、浸漬槽に満たされた液体の 液面を高くすることができ、幅広のワークをも浸漬槽に満たされた液体により処理する こと力 Sでさる。

[0030] また、本発明によれば、流体の噴流を噴出するために可動部品を用いる必要がな いため、容易に保守管理を行うことができる。

[0031] また、本発明によれば、液体が満たされた浸漬槽の開口部の一方の側に、ワークの 一方の側の面に接触し、開口部の一方の側からの液体の流出をシールする液シー ル部を配置し、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが開口部を通 過する際に、開口部を通過するワークへ向けて開口部の他方の側から流体の噴流を 噴出するので、ワークの他方の側の面の傷付き、変色等のワークの不良の発生を確 実に防止しつつ、浸漬槽からの液体の流出を、更に十分に抑制ないしは低減するこ と力 Sできる。

図面の簡単な説明

[0032] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理 装置の構造を示す概略図（その 1 )である。

[図 2]図 2は、本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理 装置の構造を示す概略図（その 2)である。

[図 3]図 3は、本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理 装置の構造を示す概略図（その 3)である。

[図 4]図 4は、本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略 図（その 1 )である。

[図 5]図 5は、本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略 図（その 2)である。

[図 6]図 6は、本発明の第 2実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略 図である。 園 7]図 7は、本発明の第 3実施形態による非接触液シール装置の構造を示す概略 図である。

[図 8]図 8は、本発明の第 4実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面 図である。

[図 9]図 9は、本発明の第 5実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面 図である。

園 10]図 10は、本実施形態の第 6実施形態による非接触液シール装置の構造を示 す断面図である。

園 11]図 11は、本実施形態の第 6実施形態による非接触液シール装置におけるシ 一ノレローノレの他の例を示す概略図である。

園 12]図 12は、本発明の第 7実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面 図である。

園 13]図 13は、本発明の第 8実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面 図である。

園 14]図 14は、本発明による非接触液シール装置の構造の他の例を示す断面図で ある。

符号の説明

10·· '浸漬槽

12·· .ワーク

12a- ··処理面

12b' …非処理面

14·· •処理液貯留槽

16·· 'ホ フ

18·· •側壁

20·· 'スリット

22·· •非接触液シール装置

24·· •噴流噴出部

26·· '流量調整ノ ノレブ ---FIC

…受け皿

…噴流体管路

···噴流ノズノレ板

…噴流ノズル

…突出部

…噴流スリット

…スロー卜部

…スロー卜部

…噴流ノズノレ

…噴流ノズノレ

…平坦部

…めっき処理部

…ワーク巻き出し部 …ワーク巻き取り部 …アンコィラー

…アキユーム装置

a, 60b, 60b, 60c…ローラーa, 62b, 62c, 62d…めっき槽... uターン部

…給電ロール部

a, 66b, 66c…給電ロール …前処理槽

…洗浄室

· 乾燥室

…リコイラ一

…駆動装置

a, 76b, 76c…ローラー 78 · · ·非接触液シール装置

80…シーノレ槽

82· · ·シーノレローノレ

84· · ·ギヤドモーター

86a, 86b…ベアリング

発明を実施するための最良の形態

[0034] [第 1実施形態]

本発明の第 1実施形態による非接触液シール装置及び方法について図 1乃至図 5 を用いて説明する。図 1乃至図 3は本実施形態による非接触液シール装置を備えた 湿式処理装置の構造を示す概略図、図 4及び図 5は本実施形態による非接触液シ ール装置の構造を示す概略図である。

[0035] まず、本実施形態による非接触液シール装置を備えた湿式処理装置について図 1 乃至図 3を用いて説明する。図 1は本実施形態による非接触液シール装置を備えた 湿式処理装置の構造を示す平面図、図 2は図 1の A— 断面図、図 3は図 1の B—

B 矢視図である。

[0036] 浸漬槽 10には、枚葉のワーク 12に対して所定の処理を行うため処理液が満たされ ている。浸漬槽 10には、処理液が貯留された処理液貯留槽 14からポンプ 16を介し て処理液が供給されるようになっている。

[0037] 処理液で満たされた浸漬槽 10の対向する側壁 18には、枚葉のワーク 12を搬入出 するためのスリット 20が略鉛直方向に設けられている。ワーク 12は、一方の側壁 18 のスリット 20から幅方向を略鉛直にして浸漬槽 10内に搬入されるようになっている。 浸漬槽 10内に搬入されたワーク 12は、そのまま幅方向を略鉛直にして他方の側壁 1 8のスリット 20から浸漬槽 10外に搬出されるようになっている。

[0038] スリット 20が設けられた浸漬槽 10の対向する側壁 18には、本実施形態による非接 触液シール装置 22が設けられている。非接触液シール装置 22は、ワーク 12に向け てワーク 12の両側から均等に処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部 24を有し ている。

[0039] 一対の噴流噴出部 24は、スリット 20両側の側壁 18の端部の外面に、スリット 20を 通過するワーク 12を介して対向するように配置されている。一対の噴流噴出部 24か ら噴出される処理液は、処理液貯留槽 14から、ポンプ 16、流量調整バルブ 26、流 量指示調節計（FIC : Flow Indicator and Controller) 28を介して供給されるように なっている。

[0040] 浸漬槽 10の搬入側及び搬出側の側壁 18の下方には、スリット 20から流出した処 理液、及び非接触液シール装置 22から噴出された処理液を回収するための受け皿 30が設けられている。受け皿 30に溜まった処理液は、処理液貯留槽 14に回収され るようになっている。

[0041] こうして、非接触液シール装置 22を備えた湿式処理装置が構成されている。

[0042] ワーク 12は、例えば、プリント配線基板、プリント配線基板に用いられる基材等であ る。ワーク 12の厚さは、例えば、 3〜200 111の範囲であり、具体的には、主流の 38 m、次いで多い 25 m、特殊用途向けの 50 m、 100 m等である。なお、ワーク 12の形状は、枚葉に限定されるものではなぐロールから巻き出される連続条材のよ うな帯状であってもよい。

[0043] 浸漬槽 10は、例えば、処理液としてめつき液が満たされためっき槽である。なお、 浸漬槽 10は、めっき槽に限定されるものではなぐ前処理槽、後処理槽、洗浄槽等 であってもよい。浸漬槽 10で行われる処理は、めっき処理のほ力、、エッチング処理、 脱脂処理、防鯖処理、洗浄処理等であってもよぐ処理に応じた処理液を選択するこ と力 Sできる。

[0044] 浸漬槽 10において、ワーク 12の搬入側及び搬出側の側壁 18に設けられたスリット

20の幅は、例えば、上下方向に略一定になっている。

[0045] 浸漬槽 10には、ワーク 12に対して処理液による処理を行う間、処理液貯留槽 14か らポンプ 16を介して処理液が適宜供給され、浸漬槽 10における反応液の液面の高 さが略一定に保たれる。

[0046] 本実施形態による非接触液シール装置 22は、ワーク 12に向けてワーク 12の両側 から均等に処理液の噴流を噴出する一対の噴流噴出部 24を有することに主たる特 徴がある。ここで、本実施形態による非接触液シール装置 22について図 1乃至図 5を 用いて詳述する。図 4は図 2及び図 3の C— C' 断面図、図 5 (a)は噴流噴出部 24の 平面図、図 5 (b)は噴流噴出部 24のワーク側側面図である。なお、図 4では、浸漬槽 10のワーク 12の搬出側の側壁 18に設けられた非接触液シール装置 22の構造を示 しているが、浸漬槽 10のワーク 12の搬入側の側壁 18に設けられた非接触液シール 装置 22も同様の構造を有している。

[0047] 図 4に示すように、スリット 20両側の側壁 18端部の外面に、スリット 20を通過するヮ ーク 12を介して対向するように一対の噴流噴出部 24が配置されている。一対の噴流 噴出部 24は、それぞれ、噴流として噴出される処理液の流路である噴流体管路 32と 、噴流体管路 32内の処理液が噴流として噴出する複数の噴流ノズル 36が設けられ た噴流ノズル板 34とにより構成されている。

[0048] 噴流体管路 32は、例えば角管状のものである。噴流体管路 32には、処理液貯留 槽 14から、浸漬槽 10に満たされた処理液と同じ処理液が配管を介して供給される。 噴流体管路 32には、 1箇所力も処理液を供給してもよいし（図 5 (b)参照）、複数箇所 力、ら処理液を供給してもよい。複数箇所から処理液を供給する場合においては、噴 流体管路 32を例えば上下 2段、上中下 3段等の複数の室に区分し、区分した室ごと に処理液を供給するようにしてもょレ、。

[0049] 噴流体管路 32に供給される処理液の流量は、 FIC28により検知される。 FIC28は 、流量の検知結果に基づき、ワーク 12を介して対向する一対の噴流噴出部 24から 噴出される処理液の流量が均等になるように、流量調整バルブ 26を制御する。

[0050] 噴流ノズル板 34は、噴流体管路 32のワーク 12側に設けられている。噴流ノズル板

34には、噴流体管路 32の上下方向に沿ってワーク 12側に突出した突出部 38を有 している。突出部 38のワーク 12に対向する面は、ワーク 12の移動方向に略平行な 平坦面となっている。突出部 38の浸漬槽 10側の側面は、浸漬槽 10の側壁 18に略 平行な面となっている。突出部 38の浸漬槽 10と反対側の側面は、傾斜面となってい る。噴流ノズル板 34の突出部 38の両側の面は、ワーク 12の移動方向に略平行な面 となっている。

[0051] 複数の噴流ノズル 36は、浸漬槽 10のスリット 20に対応する範囲に、噴流ノズル板 3

4の突出部 38に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路 32に接続されている。

[0052] 複数の噴流ノズル 36の穴は、図 5 (b)に示すように、例えば上下方向に略一定のピ ツチで突出部 38のワーク 12に対向する平面に一列に配列されている。また、複数の 噴流ノズル 36の穴は、例えば、同一径の円形状となっている。噴流ノズル 36の穴の 直径は、例えば 0. 5〜3mm程度、具体的には、例えば 2mm程度である。

[0053] 各噴流ノズル 36は、図 4に示すように、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して 浸漬槽 10側に傾斜した方向を向いて!/、る。このように傾斜した方向を向いた各噴流 ノズル 36は、ワーク 12に向けて、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方向に略水平に、噴流体管路 32から供給される処理液を噴流とし て噴出する。

[0054] ワーク 12を介して対向して配置された一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間 には、突出部 38のワーク 12に対向する面に挟まれた噴流スリット 40が構成されてい る。噴流スリット 40の幅は、浸漬槽 10のスリット 20の幅よりも狭ぐ上下方向に略一定 になっており、例えば;!〜 3mm程度である。噴流スリット 40の厚さ、すなわち突出部 3 8のワーク 12に対向する面のワーク 12の移動方向における長さは、例えば 3mm程 度である。

[0055] さらに、一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間には、噴流スリット 40の浸漬槽 1 0側に、噴流スリット 40よりも幅広のスロート部 42が構成されている。また、噴流スリット 40の浸漬槽 10と反対側に、噴流スリット 40よりも幅広のスロート部 44が構成されてい

[0056] 浸漬槽 10側のスロート部 42は、浸漬槽 10のスリット 20の幅よりも狭い略一定の幅 を有している。浸漬槽 10と反対側のスロート部 44は、噴流スリット 40側から離れるに 従って幅が拡大していき、途中から浸漬槽 10側のスロート部 42とほぼ同じ幅になつ ている。ワーク 12の移動方向における長さは、浸漬槽 10側のスロート部 42よりも浸漬 槽 10と反対側のスロート部 44の方が長くなつている。

[0057] こうして、ワーク 12が通過する一対の噴流ノズル板 34の間に、浸漬槽 10のスリット 2 0に つてスリット 20に対応する範囲に、スロート咅 と、噴流スリット 40と、スロート 部 44とが構成されている。噴流スリット 40においては、ワーク 12の両側の複数の噴 流ノズル 36力も、ワーク 12に向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流が噴 出される。 [0058] 次に、本実施形態による非接触液シール装置 22を用いた液シール方法につ!/、て 図 1乃至図 5を用いて説明する。

[0059] 処理液が満たされた浸漬槽 10には、ワーク 12力 S、搬入側の側壁 18のスリット 20か ら幅方向を略鉛直にして搬入され、そのまま幅方向を略鉛直にして搬出側の側壁 18 のスリット 20から搬出される。ワーク 12の移動速度は、例えば、 0. lm〜30m/分程 度の範囲の比較的遅い速度であり、通常、 0. ；!〜 2m/分である。

[0060] ワーク 12が搬入出される間、噴流体管路 32には処理液が供給され、噴流ノズル板

34の複数の噴流ノズル 36から処理液の噴流が噴出する。噴流体管路 32に供給され る処理液の流量は、ワーク 12を介して対向する一対の噴流ノズル板 34の噴流ノズル 36から噴出する処理液の流量が均等になるように、 FIC28により制御される。こうし て、ワーク 12を介して対向する一対の噴流ノズル板 34の噴流ノズル 36から、ワーク 1 2に向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

[0061] ワーク 12に対して略垂直な方向の噴流の速度成分は、噴流の慣性力としてワーク

12の表面に働き、一対の噴流ノズル板 34の間隙の中央にワーク 12を押し返す。こ の噴流によるワーク 12を押し返す力は、噴流ノズル 36とワーク 12との隙間が狭いほ ど大きくなる。このため、ワーク 12は噴流スリット 40の中央の位置で安定し、噴流ノズ ル板 34との非接触状態が維持される。

[0062] こうして、一対の噴流ノズル板 34の噴流ノズル 36からワーク 12に向けてワーク 12の 両側から均等に噴出する処理液の噴流により、ワーク 12は、浸漬槽 10のスリット 20 内面及び噴流ノズル板 34に接触することなぐ安定して浸漬槽 10へ搬入出される。

[0063] したがって、本実施形態による非接触液シール装置 22によれば、浸漬槽 10のスリ ット 20内面や噴流ノズル板 34等の周辺部材、部品とワーク 12との接触を防止し、損 傷、変形、変色等のワーク 12の不良の発生を確実に防止することができる。

[0064] このようにワーク 12が非接触で浸漬槽 10に搬入出される間、浸漬槽 10側のスロー ト部 42には、浸漬槽 10のスリット 20を介して浸漬槽 10内の処理液が流入している。 し力、しながら、噴流スリット 40内においては、噴流ノズル板 34の表面に流体摩擦が存 在する。このため、噴流ノズル 36から噴出される噴流により、噴流スリット 40内の圧力 が高くなる。このような噴流スリット 40内の高い圧力力 浸漬槽 10側の方向に向かう 速度成分を有する噴流の慣性力と相俟って、浸漬槽 10側のスロート部 42から浸漬 槽 10と反対側のスロート部 44への処理液の流出が十分に抑制ないしは低減される。

[0065] こうして、本実施形態による非接触液シール装置 22によれば、噴流スリット 40にお いてワーク 12に向けてワーク 12の両側から均等に噴出する処理液の噴流により噴流 スリット 40を非接触でシールし、浸漬槽 10からの処理液の流出を十分に抑制ないし は低減すること力 Sできる。したがって、浸漬槽 10に満たされる処理液の液面を高くす ること力 Sでき、幅広のワーク 12に対しても処理液による処理を行うことができる。本実 施形態によれば、例えば 1000mm程度の幅を有する幅広のワーク 12に対しても浸 漬槽 10において処理液による処理を行うことができる。

[0066] また、本実施形態による非接触液シール装置 22は、処理液の噴流を噴出する噴流 噴出部 24にローラー、ベアリング等の可動部品を用いる必要がないため、保守管理 を容易に行うことができる。

[0067] さらに、本実施形態による非接触液シール装置 22によれば、浸漬槽 10からの処理 液の流出を十分に抑制なレ、しは低減することができるので、省エネルギー、省資源、 省スペースを図ることができる。

[0068] なお、上述した湿式処理装置のように、プリント基板、フレキシブルプリント基板等の 枚葉又は帯状のワークを、その断面を略鉛直にしてめつき槽等の浸漬槽へ水平方向 に搬入出する処理方法においては、ワークの移動速度は比較的に遅い。上述のよう に、ワークの移動速度は、例えば、 0. lm〜30m/分程度の範囲であり、通常、 0. 1 〜2m/分である。このようにワークの移動速度が遅い場合には、ワークを例えば 30 Om/分などの高速で移動する場合と異なり、ワークの移動速度による流体潤滑をあ まり期待することができない。このため、本発明においては、ワークに対して処理液の 噴流を噴出することにより、この流体作用によりワークの位置を安定化し、非接触での ワークの搬入出を実現してレ、る。

[0069] また、本発明にお!/、ては、浸漬槽のスリットが設けられた側壁に非接触液シール装 置を設け、噴流を噴出することにより、ワークの位置の安定化による非接触でのヮー クの搬入出を実現するとともに、浸漬槽からの処理液の流出を抑制ないしは低減して いる。これに対して、流出液の飛散防止、或いはワークに付着した処理液が次の浸 漬槽に持ち越されることを防止することを目的として、浸漬槽のスリットから離れた位 置から、スリットからの流出液、ワークに対して流体を吹き付ける構成が知られている 。しかし、このような構成では、ワークの位置を安定化したり、浸漬槽からの処理液の 流出を抑制したりすることは不可能であり、本発明の構成とは全く異なるものである。

[0070] なお、非接触液シール装置 22の形状及び寸法は、流体工学に基づく噴流スリット 4 0周りの流体の慣性力及び粘性力の解析、有限要素法による液圧分布解析、流線シ ミュレーシヨン等により適宜設定することが望ましい。非接触液シール装置 22の形状 及び寸法の具体例としては、ワーク 12を介して対向する一対の噴流ノズル板 34間の 間隔、噴流スリット 40の厚さ、スロート部 42、 44の長さ及び形状、噴流ノズル 36の形 状、穴径、個数等である。これは、ワーク 12の材質等に基づく機械的物性、ワーク 12 の寸法、浸漬槽 10内の処理液の密度や粘度等の物性、浸漬槽 10内の処理液の液 面の高さ、噴流ノズル 36から噴出される噴流体の密度や粘度等の物性、並びに噴流 ノズル 36から噴出される噴流体の流速や液圧等の条件が相互に影響しあうためであ る。流体工学を用いた解析等の手法により、噴流スリット 40近傍の全域において噴流 スリット 40の間隙の中央にワーク 12の位置が安定化され、且つ、噴流スリット 40を通 して浸漬槽 10から流出する液量を最小にするための噴流条件の最適解を見出すこ とにより、非接触液シール装置 22の形状及び寸法を実用的に設定することができる

〇

[0071] このように、本実施形態によれば、処理液が満たされた浸漬槽 10のスリット 20を介 して、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワーク 12を浸漬槽 10に搬入出 する際に、噴流スリット 40において、ワーク 12の両側の複数の噴流ノズル 36から、ヮ ーク 12に向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流を噴出するので、浸漬槽 1 0からの処理液の流出を、ワーク 12とは非接触で十分に抑制ないしは低減することが できる。

[0072] [第 2実施形態]

本発明の第 2実施形態による非接触液シール装置について図 6を用いて説明する 。図 6 (a)は本実施形態による非接触液シール装置における噴流噴出部の平面図、 図 6 (b)は噴流噴出部のワーク側側面図である。なお、第 1実施形態による非接触液 シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡 略にする。

[0073] 本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第 1実施形態による非接 触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、噴流ノズ ル板 34の突出部 38に上下方向に配列して設けられた複数の噴流ノズル 36におい て、下方に配置された噴流ノズル 36の穴ほど、上下方向に長い長円形になっている ことに主たる特徴がある。

[0074] 浸漬槽 10内に満たされた処理液の液圧は、液面から下方ほど高くなる。このため、 浸漬槽 10から流出しょうとする処理液の液圧は、浸漬槽 10の下方ほど高くなる。した がって、浸漬槽 10からの処理液の流出を抑制する作用は、浸漬槽 10の下方ほど強 くすることが好ましい。

[0075] そこで、本実施形態では、図 6 (b)に示すように、噴流ノズル板 34の突出部 38に上 下方向に配列して設けられた複数の噴流ノズルにおいて、下方に配置された噴流ノ ズノレ 36の穴ほど、上下方向に長!/、長円形になって!/、る。

[0076] このように、複数の噴流ノズル 36の穴の形状が上下方向で変化しているので、下方 に配置された噴流ノズル 36ほど、噴流として噴出される処理液の流量を多くすること 力できる。したがって、本実施形態によれば、浸漬槽 10からの処理液の流出を抑制 する作用を浸漬槽 10の下方ほど強くすることができ、浸漬槽 10からの処理液の流出 を更に十分に抑制ないしは低減することができる。

[0077] なお、下方に配置された噴流ノズル 36ほど、噴流として噴出される処理液の流量を 多くする構成は、上記の構成に限定されるものではない。例えば、下方に配置された 噴流ノズル 36ほど穴径を大きくしてもよい。また、上下方向に配列された複数の噴流 ノズル 36の穴のピッチを下方ほど密にしてもよい。また、上下方向に配列する噴流ノ ズル 36の穴の列数を高さに応じて変更し、下方ほど噴流ノズル 36の穴の列数を多く してもよい。また、噴流体管路 32を上下方向に複数の室に区分し、複数の室ごとに 噴流ノズル 36から噴出される処理液を供給し、下方の室ほど供給する処理液の流量 を多くしてもよい。

[0078] [第 3実施形態] 本発明の第 3実施形態による非接触液シール装置について図 7を用いて説明する 。図 7 (a)は本実施形態による非接触液シール装置における噴流噴出部の平面図、 図 7 (b)は噴流噴出部のワーク側側面図である。なお、第 1及び第 2実施形態による 非接触液シール装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し 或いは簡略にする。

[0079] 本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第 1実施形態による非接 触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、穴が円形 状の複数の噴流ノズル 36に代えて、スリット状の噴流ノズル 46が噴流ノズル板 34に 設けられていることに主たる特徴がある。

[0080] 図 7 (a)及び図 7 (b)に示すように、噴流ノズル板 34には、上下方向にスリット状の 噴流ノズル 46が設けられている。スリット状の噴流ノズル 46の幅は、例えば下方ほど 広くなつている。なお、スリット状の噴流ノズル 46の幅は、上下方向に略一定であって もよい。スリット状の噴流ノズノレ 46の幅は、例えば 0. ；!〜 lmm程度である。スリット状 の噴流ノズル 46は、噴流体管路 32に接続されている。

[0081] ワーク 12を介して対向する一対の噴流ノズル板 34のスリット状の噴流ノズル 46は、 複数の噴流ノズル 36と同様に、ワーク 12に向けてワーク 12の両側から均等に処理 液の噴流を噴出する。

[0082] このように、穴が円形状の複数の噴流ノズル 36に代えて、スリット状の噴流ノズル 4 6を設けてもよい。

[0083] [第 4実施形態]

本発明の第 4実施形態による非接触液シール装置について図 8を用いて説明する 。図 8は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。なお、 第 1乃至第 3実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同 一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

[0084] 本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第 1実施形態による非接 触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク 12 の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方向を向!/、た複数の噴 流ノズル 36に代えて、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノ ズル 48が噴流ノズル板 34に設けられていることに主たる特徴がある。

[0085] 図 8に示すように、非接触液シール装置 22において、噴流体管路 32のワーク 12側 に設けられた噴流ノズル板 34は、ワーク 12に対向する面がワーク 12の移動方向に 略平行な平坦部 50を有している。噴流ノズル板 34の平坦部 50の両側の面は、傾斜 面となっている。

[0086] 複数の噴流ノズル 48は、浸漬槽 10のスリット 20に対応する範囲に、平坦部 50の浸 漬槽 10側に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路 32に接続されている。

[0087] 複数の噴流ノズル 48の穴は、例えば上下方向に略一定のピッチで平坦部 50のヮ ーク 12に対向する平面に一列に配列されている。複数の噴流ノズル 48の穴は、例え ば、同一径の円形状となっている。

[0088] 各噴流ノズル 48は、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向を向いている。各噴流ノ ズノレ 48は、ワーク 12に向けて、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向に略水平に、 噴流体管路 32から供給される処理液を噴流として噴出する。

[0089] ワーク 12を介して対向して配置された一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間 には、平坦部 50のワーク 12に対向する面に挟まれた噴流スリット 40が構成されてい

[0090] さらに、一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間には、噴流スリット 40の浸漬槽 1 0側に、浸漬槽 10側に向かって幅が拡大するスロート部 42が構成されている。また、 噴流スリット 40の浸漬槽 10と反対側に、浸漬槽 10と反対側に向かって幅が拡大する スロート部 44が構成されている。ワーク 12の移動方向における長さは、浸漬槽 10と 反対側のスロート部 44よりも浸漬槽 10側のスロート部 44の方が長くなつている。

[0091] こうして、ワーク 12が通過する一対の噴流ノズル板 34の間に、浸漬槽 10のスリット 2 0に つてスリット 20に対応する範囲に、スロート咅 と、噴流スリット 40と、スロート 部 44とが構成されている。噴流スリット 40においては、ワーク 12の両側の複数の噴 流ノズル 48から、ワークに向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流が噴出さ れる。

[0092] このように、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方 向を向いた複数の噴流ノズル 36に代えて、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向を 向いた複数の噴流ノズル 48が噴流ノズル板 34に設けられて!/、てもよ!/、。

[0093] なお、噴流ノズル 48について、第 2実施形態よる場合と同様に、穴の形状、ピッチ、 列数を変更したり、噴流体管路 32を複数の室に区分して複数の室ごとに噴流ノズノレ 48から噴出される処理液を供給してもよ!/、。

[0094] [第 5実施形態]

本発明の第 5実施形態による非接触液シール装置について図 9を用いて説明する 。図 9は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す断面図である。なお、 第 1乃至第 4実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同 一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

[0095] 本実施形態による非接触液シール装置の基本的構成は、第 1実施形態による非接 触液シール装置と同様である。本実施形態による非接触液シール装置は、ワーク 12 の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方向を向!/、た複数の噴 流ノズル 36に加えて、第 4実施形態による非接触液シール装置と同様に、ワーク 12 の移動方向に略垂直な方向を向いた複数の噴流ノズル 48が噴流ノズル板 34に設け られていることに主たる特徴がある。

[0096] 図 9に示すように、非接触液シール装置 22において、噴流体管路 32のワーク 12側 に設けられた噴流ノズル板 34は、ワーク 12に対向する面がワーク 12の移動方向に 略平行な平坦部 50を有して!/、る。平坦部 50の浸漬槽 10側の噴流ノズル板 34の面 は、平坦部 50のワーク 12に対向する面よりもワーク 12の位置から離間し、ワーク 12 の移動方向と略平行な面となっている。平坦部 50の浸漬槽 10と反対側の噴流ノズ ル板 34の面は、傾斜面となっている。

[0097] 噴流ノズル板 34は、平坦部 50の浸漬槽 10側に設けられた複数の噴流ノズル 36と 、平坦部 50の噴流ノズル 36よりも浸漬槽 10から離間した位置に設けられた複数の 噴流ノズル 48とを有して!/、る。

[0098] 複数の噴流ノズル 36は、浸漬槽 10のスリット 20に対応する範囲に、噴流ノズル板 3 4の平坦部 50の浸漬槽 10側に上下方向に配列して設けられ、噴流体管路 32に接 続されている。

[0099] 複数の噴流ノズル 36の穴は、例えば上下方向に略一定のピッチで平坦部 50のヮ ーク 12に対向する角部に一列に配列されている。複数の噴流ノズル 36の穴は、例え ば、同一径の円形状となっている。

[0100] 各噴流ノズル 36は、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾 斜した方向を向いている。各噴流ノズル 36は、ワーク 12に向けて、ワーク 12の移動 方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方向に略水平に、噴流体管路 3

2から供給される処理液を噴流として噴出する。

[0101] 他方、複数の噴流ノズル 48は、浸漬槽 10のスリット 20に対応する範囲に、平坦部 5

0の噴流ノズル 26よりも浸漬槽 10から離間した位置に上下方向に配列して設けられ

、噴流体管路 32に接続されている。

[0102] 複数の噴流ノズル 48の穴は、例えば上下方向に略一定のピッチで平坦部 50のヮ ーク 12に対向する平面に一列に配列されている。複数の噴流ノズル 48の穴は、例え ば、同一径の円形状となっている。

[0103] 各噴流ノズル 48は、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向を向いている。各噴流ノ ズノレ 48は、ワーク 12に向けて、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向に略水平に、 噴流体管路 32から供給される処理液を噴流として噴出する。

[0104] ワーク 12を介して対向して配置された一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間 には、平坦部 50のワーク 12に対向する面に挟まれた噴流スリット 40が構成されてい

[0105] さらに、一対の噴流噴出部 24の噴流ノズル板 34間には、噴流スリット 40の浸漬槽 1 0側に、幅が略一定のスロート部 42が構成されている。また、噴流スリット 40の浸漬槽 10と反対側に、浸漬槽 10と反対側に向かって幅が拡大するスロート部 44が構成さ れている。

[0106] こうして、ワーク 12が通過する一対の噴流ノズル板 34の間に、浸漬槽 10のスリット 2 0に つてスリット 20に対応する範囲に、スロート咅 と、噴流スリット 40と、スロート 部 44とが構成されている。

[0107] 噴流スリツト 40においては、ワーク 12の両側の傾斜方向を向!/、た複数の噴流ノズ ル 36からワーク 12に向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流が噴出される とともに、ワーク 12の両側の略垂直方向を向いた複数の噴流ノズル 48からワーク 12 に向けてワーク 12の両側から均等に処理液の噴流が噴出される。

[0108] このように、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10側に傾斜した方 向を向いた複数の噴流ノズル 36とともに、ワーク 12の移動方向に略垂直な方向を向 V、た複数の噴流ノズル 48が噴流ノズル板 34に設けられて!/、てもよ!/、。

[0109] なお、噴流ノズル 36、 48について、第 2実施形態よる場合と同様に、穴の形状、ピ ツチ、列数を変更したり、噴流体管路 32を複数の室に区分して複数の室ごとに噴流 ノズル 36、 48から噴出される処理液を供給してもよい。

[0110] [第 6実施形態]

本発明の第 6実施形態による非接触液シール装置及び方法について図 10及び図 11を用いて説明する。図 10は本実施形態による非接触液シール装置の構造を示す 断面図、図 11は本実施形態による非接触液シール装置におけるシールロールの他 の例を示す概略図である。なお、第 1乃至第 5実施形態による非接触液シール装置 と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

[0111] 上記第 1乃至第 5実施形態による非接触液シール装置では、スリット 20両側の側壁 18端部の外面に、スリット 20を通過するワーク 12を介して対向するように一対の噴流 噴出部 24が配置されていた。一対の噴流噴出部 24からワーク 12に向けてワーク 12 の両側から均等に噴出される処理液の噴流により、ワーク 12は、その両面が浸漬槽 10のスリット 20内面及び噴流ノズル板 34に接触することなぐ安定して浸漬槽 10へ 搬入出される。

[0112] このようにワーク 12の両面と周辺部材、部品との接触を防止することができる上記 第 1乃至第 5実施形態による非接触液シール装置によれば、ワーク 12の両面がメッ キ処理等の処理を施すべき処理面である場合にぉレ、て、両処理面のレ、ずれにっレ、 ても傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止することができる。

[0113] これに対して、例えば、ワーク 12の一方の面がメツキ処理等の処理を施すべき処理 面であり、他方の面が処理を施す必要のない又は処理を行わない非処理面である場 合には、スリット 20両側に必ずしも一対の噴流噴出部 24を配置する必要はない。す なわち、スリット 20のワーク 12の処理面側に噴流噴出部 24を配置する一方、スリット 20のワーク 12の非処理面側にはワーク 12の非処理面に接触する液シール手段を 配置すればよい。

[0114] 上記第 1乃至第 5実施形態による非接触液シール装置が、ワーク 12に両面につい て非接触状態を実現しつつ液シールを行う両面非接触型であるのに対して、本実施 形態による非接触液シール装置は、ワーク 12の片面について非接触状態を実現し つつ液シールを行う片面非接触型のものである。具体的には、本実施形態による非 接触液シール装置は、ワーク 12の一方の面が処理面 12aであり、他方の面が非処理 面 12bである場合において、スリット 20のワーク 12の処理面 12a側に噴流噴出部 24 を配置して処理面 12aとの非接触を実現する一方、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b側には、ワーク 12の非処理面に接触する液シール手段としてシールロール 82を 配置したものである。

[0115] 図 10は、浸漬槽 10のワーク 12の搬入側の側壁 18に設けられた本実施形態による 非接触液シール装置 78の構造を示している。なお、浸漬槽 10のワーク 12の搬出側 の側壁 18に設けられた非接触液シール装置 78も同様の構造を有している。

[0116] 図示するように、スリット 20のワーク 12の処理面 12a側には、第 1実施形態による非 接触液シール装置と同様の噴流噴出部 24が配置されている。噴流噴出部 24は、噴 流として噴出される処理液の流路である噴流体管路 32と、噴流体管路 32内の処理 液が噴流としてワーク 12に向けて噴出する複数の噴流ノズル 36が設けられた噴流ノ ズル板 34とにより構成されている。なお、噴流噴出部 24は、第 2乃至第 5実施形態に よる非接触液シール装置と同様のものであってもよい。また、図 10では、噴流噴出部 24の浸漬槽 10側の側壁が浸漬槽 10の側壁を兼ねて!/、る場合につ!/、て示して!/、る 1S 例えば図 4に示す場合と同様に、噴流噴出部 24の側壁と浸漬槽 10の側壁とを 另 iJi固のあのとしてあよい。

[0117] 一方、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b側の側壁 18外面には、ワーク 12側が 開口したシール槽 80が設けられている。シール槽 80内には、円柱状又は円筒状の シールロール 82がその中心軸を回転軸として回転自在に収容されている。

[0118] シールロール 82は、例えば、ポリ塩化ビュルやテフロン (登録商標）等の樹脂製の 中空のパイプ状の剛性体である。シールロール 82の外周面は、平滑面であってもよ いし、外周面の全面にわたって、シールロール 82の軸方向に沿った複数の溝を設け てもよい。また、シールロール 82は、その上端及び下端近傍が径の太くなつた大径 部を有する段付きのものであってもよい。シールロール 82内部の底には、シールロー ル 82の姿勢を安定にするため、錘（図示せず）が設けられている。

[0119] シートロール 82の下端及び上端の中央部分には凹部が設けられている。下端の凹 部には、シール槽 80底部に設けられた凸部が嵌合している。また、上端の凹部には 、シール槽 80の上部に設けられた凸部が嵌合している。これら凹みと凸部との嵌合 にはあそびとして適度な間隙が設けられている。こうして、シール槽 80内でのシーノレ ロール 82の転倒が防止され、回転中心軸は水平方向に移動できる。なお、このよう な凹部及び凸部を設けずに、あそびとして適度な間隙があるようにシール槽 80内に シールロール 82を収容し、シールロール 82の転倒を防止しつつ、シールロール 82 が回転自在となるようにしてもよ!/、。

[0120] このように、本実施形態による非接触液シール装置 78は、スリット 20のワーク 12の 処理面 12a側に配置された噴流噴出部 24と、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b 側に配置されたシールロール 82とを有することに主たる特徴がある。

[0121] ワーク 12が浸漬槽 10に搬入出される間、スリット 20のワーク 12の処理面 12a側に 配置された噴流噴出部 24においては、第 1実施形態による場合と同様に、噴流体管 路 32に処理液が供給され、噴流ノズル板 34の複数の噴流ノズル 36から処理液の噴 流が噴出する。こうして、噴流噴出部 24において、噴流ノズル板 34の噴流ノズル 36 から、ワーク 12の処理面 12aに向けて処理液の噴流が噴出される。

[0122] このように、スリット 20のワーク 12の処理面 12a側では、噴流噴出部 24から噴流が 噴出されることにより、スリット 20からの処理液の流出が抑制ないし低減される。

[0123] 一方、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b側に配置されたシールロール 82を収 容するシール槽 80には、スリット 20を介して浸漬槽 10内の処理液が満たされている 。シールロール 82は、処理液の液圧により自動的にワーク 12の非処理面 12bに押し 付けられるとともに、浸漬槽 10の側壁 18に対向するシール槽 80の側壁に押し付けら れる。

[0124] こうして、シールロール 82力 ワーク 12の非処理面 12bと密着するとともに、シール 槽 80の側壁と密着する。ワーク 12の非処理面 12bに密着したシールロール 82は、ヮ ーク 12の移動に伴って回転する。

[0125] このように、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b側においては、ワーク 12の非処 理面 12bに密着するシールロール 82により、スリット 20からの処理液の流出が低減な いし抑制される。

[0126] ここで、シールロール 82がワーク 12に押し付けられる力と、噴流噴出部 24から噴出 される処理液によりワーク 12が押される力とが均衡するように、噴流噴出部 24から噴 出される処理液の流量を制御し、ワーク 12の処理面 12aが噴流ノズル板 34等の周 辺部材、部品と接触しないようにする。

[0127] また、噴流噴出部 24の各噴流ノズル 36は、処理液がシールロール 82のワーク 12 との接触部に向けて噴出するように、その向きを適宜設定することが望ましい。例え ば、第 1実施形態による場合と同様に、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して 浸漬槽 10側に傾斜した方向を各噴流ノズル 36が向いて!/、る場合にお!/、て、各噴流 ノズル 36から処理液がシールロール 82のワーク 12との接触部に向けて噴出するよう に、各噴流ノズル 36が浸漬槽 10側に傾斜する方向を設定する。処理液がシール口 ール 82のワーク 12との接触部に向けて噴出することにより、噴流噴出部 24とシール ロール 82との間を移動するワーク 12の位置を更に安定させることができる。

[0128] このように、本実施形態による非接触液シール装置 78では、スリット 20のワーク 12 の処理面 12a側において、噴流噴出部 24から噴流を噴出することにより、ワーク 12 の処理面 12aと噴流ノズル板 34等の周辺部材、部品との非接触状態を維持しつつ スリット 20からの処理液の流出を抑制ないし低減する。一方、スリット 20のワーク 12の 非処理面 12b側においては、ワーク 12の非処理面 12bに接触するシールロール 82 によりスリット 20からの処理液の流出を低減ないし抑制する。

[0129] ワーク 12の非処理面 12b側においてはワーク 12の非処理面 12bに接触するシー ルロール 82を用いて液シールを行うので、一対の噴流噴出部 24を用いた第 1乃至 第 5実施形態による非接触液シール装置と比較して、浸漬槽 10のスリット 20からの処 理液の流出を更に抑制ないし低減することができる。その一方で、ワーク 12の処理 面 12 a側におレ、ては噴流噴出部 24を用!/、て液シールを行うので、ワーク 12の処理 面 12aについては傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止することができる。 [0130] このように、本実施形態によれば、一方の面が処理面 12aであり、他方の面が非処 理面 12bであるワーク 12を処理する場合において、ワーク 12の処理面 12aについて 傷付き、変色等の不良の発生を確実に防止するとともに、浸漬槽 10のスリット 20から の処理液の流出を更に抑制ないし低減することができる。

[0131] なお、上記では、ワーク 12の移動に伴って、ワーク 12の非処理面 12bに密着する シールロール 82が回転する場合について説明した力 S、シールロール 82をギヤドモー ター等のモーターにより回転し、液シール手段としてのみならずワーク 12を搬送する 搬送手段としてもシールロール 82が機能するようにしてもよい。

[0132] 図 11は、シールロール 82をギヤドモーター 84により回転するようにした構成を示し ている。

[0133] 図示するように、シールロール 82は、その上側及び下側にそれぞれ設けられたべ ァリング 86a、 86bにより回転自在に軸支されて!/、る。

[0134] シールロール 82には、カップリング 88を介してギヤドモーター 84の出力軸の回転 が伝達されるようになっている。こうして、ギヤドモーター 84により、シールロール 82

1S ワーク 12を搬送するように回転するようになっている。

[0135] このように、シールロール 82をギヤドモーター 84により回転するように構成し、液シ ール手段としてのみならず、搬送手段としてもシールロール 82が機能するようにして あよい。

[0136] また、上記では、ワーク 12の一方の面が処理面 12aであり、他方の面が非処理面 1 2bである場合について説明した力 S、両面が処理面であるワークについても本実施形 態による非接触液シール装置を用いることができる。

[0137] [第 7実施形態]

本発明の第 7実施形態による連続湿式処理装置について図 12を用いて説明する 。図 12は本実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。なお、 第 1乃至第 6実施形態による非接触液シール装置と同様の構成要素については同 一の符号を付し説明を省略し或いは簡略にする。

[0138] 上記第 1乃至第 6実施形態では、 1つの浸漬槽 10を備えた湿式処理装置に非接触 液シール装置 22、 78を用いる場合について説明した力 S、本発明による非接触液シ ール装置の適用範囲はこれに限定されるものではない。本発明による非接触液シー ル装置は、例えば、本出願人による特許文献 4に記載された連続湿式処理装置等の ように、複数の浸漬槽を用いて帯状のワークに連続的に湿式処理を施す連続湿式処 理装置における液シール装置として用いることもできる。

[0139] 本実施形態による連続湿式処理装置は、本発明による非接触液シール装置、例え ば第 1実施形態による非接触液シール装置を液シール装置として用いたものである

[0140] 図 12に示すように、連続湿式処理装置は、めっき処理が行われるめっき処理部 52 と、めっきを施すべき帯状のワーク 12をめつき処理部 52に連続的に送り出すワーク 巻き出し部 54と、めっき処理部 52においてめっきが施されたワーク 12を連続的に回 収するワーク巻き取り部 56とから構成されて!/、る。

[0141] ワーク巻き出し部 54には、コイル状に巻かれた帯状のワーク 12を、その幅方向を略 鉛直にして長手方向に送り出し、めっき処理部 52へ導入するアンコィラー 58が設け られている。アンコィラー 58とめつき処理部 52との間には、アンコィラー 58から送り出 されたワーク 12の張力を一定に保つアキユーム装置 60が設けられている。アキユー ム装置 60は、ワーク 12の側方からワーク 12の位置を規制したり、また、ワーク 12を折 り返したりするためのローラー 60a、 60b、 60c、 60dを備えている。

[0142] めっき処理部 52は、めっき液で満たされた複数のめっき槽 62a、 62b、 62c, 62dを 有している。各めつき槽 62a、 62b、 62c、 62dには、対向する側壁にそれぞれ例えば 第 1実施形態による非接触液シール装置 22が設けられており、一方の側壁の非接 触液シール装置 22を介してワーク 12が幅方向を略鉛直にしてめつき槽 62a、 62b、 62c, 62d内 ίこ搬人されるよう ίこなって!/、る。めっき槽 62a、 62b, 62c, 62diこ搬人さ れたワーク 12は、そのまま他方の側壁の非接触液シール装置 22を介してめつき槽 6 2a、 62b、 62c, 62d外に搬出されるようになっている。めっき槽 62bのワーク搬出側 とめつき槽 62cのワーク搬入側の近傍には、めっき槽 62bの非接触液シール装置 22 力も搬出されたワーク 12を方向転換し、めっき槽 62cに非接触液シール装置 22を介 して搬入するための Uターン部 64が設けられている。 Uターン部 64は、ワーク 12を 方向転換するためのローラー 64a、 64bを備えている。 [0143] 各めつき槽 62a、 62b、 62c、 62dのワーク搬入側とワーク搬出側の非接触液シー ル装置 22近傍には、ワーク 12に給電するための給電ロール部 66が設けられている 。給電ロール部 66は、ワーク 12を挟むように配置され、ワーク 12に接触して給電する 給電ローノレ 66a、 66b, 66cを備えて!/、る。

[0144] めっき槽 62aのワーク搬入側とワーク巻き出し部 54との間には、ワーク巻き出し部 5 4から送り出されたワーク 12の汚れの除去等を行う前処理槽 68が設けられている。処 理 ί夜で満たされた前処理槽 68についても、めっき槽 62a、 62b, 62c, 62dと同様に 、例えば第 1実施形態による非接触液シール装置 22を設けてもよ!/、。

[0145] めっき槽 62dのワーク搬出側の非接触液シール装置 22近傍には、めっきが施され たワーク 12をシャワー洗浄する洗浄室 70が設けられている。洗浄室 70近傍には、洗 浄室内で洗浄されたワーク 12を熱風乾燥する乾燥室 72が設けられている。

[0146] 乾燥室 72近傍には、乾燥室 72内で乾燥されたワーク 12を巻き取り回収するワーク 巻き取り部 56が配置されて!/、る。

[0147] ワーク巻き取り部 56には、めっき処理部 52によりめつきが施され、幅方向を略鉛直 にして送り出されたワーク 12を巻き取って回収するリコイラ一 74が設けられている。リ コィラー 74とめつき処理部 52の乾燥室 72との間には、ワーク 12を所定の速度でリコ イラ一 74に送るための駆動装置 76が設けられている。駆動装置 76は、ワーク 12を 折り返したり、ワーク 12の移動方向を変えたりするためのローラー 76a、 76b、 76cを 備えている。

[0148] こうして、ワーク巻き出し部 54からその幅方向を略鉛直にして長手方向に送り出さ れたワーク 12力 めっき処理部 52の前処理槽 68、めっき槽 62a、 62b、 62c、 62d、 洗浄室 70、乾燥室 72を順次通過し、ワーク巻き取り部 56により回収される構成とな つている。

[0149] 本実施形態のように、連続湿式処理装置におけるめっき槽 62a、 62b、 62c、 62d、 前処理槽 68に対して例えば第 1実施形態による非接触液シール装置 22を設けても よい。

[0150] なお、上記では、連続湿式処理装置における液シール装置として第 1実施形態に よる非接触液シール装置 22を設ける場合について説明したが、第 1実施形態による 非接触液シール装置 22に代えて、第 2乃至第 6実施形態による非接触液シール装 置 22、 78のいずれかを設けてもよい。

[0151] [第 8実施形態]

本発明の第 8実施形態による連続湿式処理装置について図 13を用いて説明する 。図 13は本実施形態による連続湿式処理装置の構造を示す平面図である。なお、 第 1乃至第 6実施形態による非接触液シール装置及び第 7実施形態による連続湿式 処理装置と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し或いは簡略 にする。

[0152] 本実施形態による連続湿式処理装置は、一方の面が処理面 12aであり、他方の面 が非処理面 12bであるワーク 12をその処理対象とするものである。本実施形態による 連続湿式処理装置の基本的構成は、第 7実施形態による連続湿式処理装置の構成 とほぼ同様であるが、液シール装置として第 6実施形態による非接触液シール装置 7 8が用いられている点、及びワーク 12の処理面 12aとの接触を極力回避するように各 部材が配置されている点で、第 7実施形態による連続湿式処理装置とは異なってい

[0153] 図 13に示すように、アンコィラー 58には、処理面 12aを内側にしてワーク 12がコィ ル状に巻かれている。

[0154] アキユーム装置 60においては、ワーク 12の側方からワーク 12の位置を規制するた めのローラー 60a、 60d、及びワーク 12を折り返すためのローラー 60b、 60cのうち、 ローラー 60bのみカワーク 12の処理面 12aに接角虫し、他のローラー 60a、 60c、 60d は、ワーク 12の非処理面 12bに接触している。

[0155] 各給電ロール部 66においては、ワーク 12の処理面 12a側に配置された 1つの給電 ローノレ 66aと、ワーク 12の非処理面 12b側に配置された 2つの給電ロール 66b、 66c とによりワーク 12が挟まれている。各給電ロール部 66において、ワーク 12の処理面 1 2aには 1つの給電ロール 66aが接触するのに対して、ワーク 12の非処理面 12bには 2つの給電ローノレ 66b、 66c力接角虫してレヽる。

[0156] 各めつき槽 62a、 62b、 62c、 62dには、対向する側壁にそれぞれ第 6実施形態によ る非接触液シール装置 78が設けられており、一方の側壁の非接触液シール装置 78 を介してワーク 12が幅方向を略鉛直にしてめつき槽 62a、 62b、 62c, 62d内に搬入 されるよう ίこなってレヽる。めっき槽 62a、 62b、 62c、 62diこ搬入されたワーク 12(ま、そ のまま他方の側壁の非接触液シール装置 78を介してめつき槽 62a、 62b, 62c, 62d 外に搬出されるようになっている。

[0157] 各非接触液シール装置 78では、図 10に示す場合と同様に、ワーク 12の処理面 12 a側に噴流噴出部 24が配置され、ワーク 12の非処理面 12b側にシールロール 82が 配置されている。

[0158] なお、前処理槽 68についても、めっき槽 62a、 62b、 62c、 62dと同様に、第 6実施 形態による非接触液シール装置 78を設けてもよい。

[0159] Uターン部 64においては、ワーク 12を方向転換するためのローラー 64a、 64bのい ずれもワーク 12の非処理面 12bに接触している。

[0160] 駆動装置 76においては、ワーク 12を折り返すためのローラー 76a、 76b及びワーク

12の移動方向を変えるためのローラー 76cのうち、ローラー 76aのみがワーク 12の 処理面 12aに接触し、他のローラー 76b、 76cは、ワーク 12の非処理面 12bに接触し ている。

[0161] リコイラ一 74には、処理面 12aを内側にしてワーク 12が巻取られて回収されるように なっている。

[0162] このように、本実施形態による連続湿式処理装置では、一方の面が処理面 12aで あり、他方の面が非処理面 12bであるワーク 12に対して、第 6実施形態による非接触 液シール装置 78を液シール装置として用い、更に、ワーク 12の処理面 12aとの接触 を極力回避するように各部材が配置されて!/、る。

[0163] すなわち、アキユーム装置 60においては、ワーク 12の処理面 12aに接触するロー ラーの数よりもワーク 12の非処理面 12bに接触するローラーの数が多くなつている。 また、各給電ロール部 66においては、ワーク 12の処理面 12aに接触する給電ロール 66aの数よりもワーク 12の非処理面 12bに接触する給電ロールの数が多くなつている 。 Uターン部 64においては、ワーク 12の処理面 12aにローラーが接触しないようにな つている。駆動装置 76においても、ワーク 12の処理面 12aに接触するローラーの数 よりもワーク 12の非処理面 12bに接触するローラーの数が多くなつている。 [0164] したがって、本実施形態によれば、一方の面が処理面 12aであり、他方の面が非処 理面 12bであるワーク 12を処理する場合において、ワーク 12の処理面 12aについて 連続湿式処理装置における部材との接触による傷付き、変色等の不良の発生を確 実に防止するとともに、浸漬槽 10のスリット 20からの処理液の流出を更に抑制ないし 低減すること力 Sでさる。

[0165] [変形実施形態]

本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。

[0166] 例えば、上記実施形態では、浸漬槽 10に満たされた処理液と同じ処理液の噴流を 噴流ノズル 36、 46、 48から噴出する場合について説明した力 噴流ノズル 36、 46、 48から噴流として噴出する流体は、浸漬槽 10に満たされた処理液と同じ処理液に限 定されるものではない。噴流ノズノレ 36、 46、 48力、らは、浸漬槽 10に満たされた処理 液とは異なる処理液、水等の液体を噴出してもよい。また、噴流ノズル 36、 46、 48か ら噴出する流体は、液体に限定されるものではなぐ空気等の気体を噴流ノズル 36、 46、 48から噴出してもよい。また、ワークやワークに施されためっきを変質させない窒 素ガス等の気体を噴出してもよい。また、気体と液体とが混合された気液混合流体を 噴流ノス、ノレ 36、 46、 48力、ら噴出してもよい。噴流ノス、ノレ 36、 46、 48力、ら気体を噴出 する場合は、液体を噴出する場合と比較して液の流出量を低減することができる。

[0167] また、上記実施形態では、噴流スリット 40の幅が上下方向に略一定になっている場 合について説明した力 噴流スリット 40の幅は略一定でなくてもよい。例えば、噴流ス リット 40の幅を下方ほど狭くしてもよい。処理液の液圧が高くなる下方ほど噴流スリツ ト 40の幅を狭くすることにより、浸漬槽 10からの処理液の流出を更に十分に抑制な Vヽしは低減すること力 Sでさる。

[0168] また、上記実施形態では、噴流体管路 32が角管状である場合について説明したが 、噴流体管路 32は、角管状のものに限定されるものではない。例えば、噴流体管路 32は、丸管状のものであってもよい。この場合において、図 14に示すように、複数の 噴流ノズル 36を丸管状の噴流体管路 32に直接設けてもよい。

[0169] また、上記実施形態では、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10 側に傾斜した方向を向!/、た噴流ノズル 36、及びワーク 12の移動方向に略垂直な方 向を向いた噴流ノズル 48のいずれか一方又は両方が噴流ノズル板 34に設けられて いる場合について説明した力 噴流ノズノレが向く方向はこれらに限定されるものでは ない。例えば、ワーク 12の移動方向に垂直な方向に対して浸漬槽 10と反対側に傾 斜した方向を向いた噴流ノズルを噴流ノズル板 34に設けてもよい。また、これら向く 方向の異なる噴流ノズルを適宜組み合わせて噴流ノズル板 34に設けてもよい。

[0170] また、上記実施形態では、浸漬槽 10のスリット 20の幅が上下方向に略一定になつ ている場合について説明したカ、スリット 20の幅は略一定でなくてもよい。例えば、ス リット 20の幅を下方ほど狭くしてもよい。処理液の液圧が高くなる下方ほどスリット 20 の幅を狭くすることにより、浸漬槽 10からの処理液の流出を更に十分に抑制ないしは 低減すること力 Sでさる。

[0171] また、上記実施形態では、浸漬槽 10のワーク搬入側とワーク搬出側とにそれぞれ 1 つずつ非接触液シール装置 22、 78が設けられている場合について説明した力 非 接触液シール装置 22、 78を複数段連ねて設けてもよい。非接触液シール装置 22、 78を複数段連ねて設けることにより、浸漬槽 10からの処理液の流出を更に十分に抑 制な!/、しは低減すること力 Sでさる。

[0172] また、上記実施形態では、ワーク 12の非処理面 12b側にシールロール 82を配置す る場合について説明した力 S、スリット 20のワーク 12の非処理面 12b側からの処理液 の流出をシールする液シール手段は、これに限定されるものではない。液シール手 段としては、シールロール 82に代えて、例えば、スリット 20の側方にスリット 20に沿つ て、スポンジやゴム等よりなる例えば板状、棒状等の部材をワーク 12の非処理面 12b に接触するように設けてもよい。また、回転しないように固定されたシールロールを設 けてもよい。

産業上の利用可能性

[0173] 本発明による非接触液シール装置及び方法は、処理液が満たされた浸漬槽の側 壁のスリットを介して、幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークを浸漬槽 に搬入出する際に、ワークの不良の発生を防止しつつ浸漬槽からの処理液の流出を 低減するのにきわめて有用である。

Claims

請求の範囲

[1] 幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に 設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール装置であって、

前記開口部の一方の側に配置され、前記開口部を通過する前記ワークへ向けて前 記一方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部と、

前記開口部の他方の側に配置され、前記開口部の前記他方の側からの前記液体 の流出をシールする液シール部とを有する

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[2] 請求の範囲第 1項記載の非接触液シール装置において、

前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記開口部を通過 する前記ワークへ向けて前記他方の側から流体の噴流を噴出する噴流噴出部であ る

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[3] 請求の範囲第 2項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記開口部の一方の側に配置された前記噴流噴出部と前記開口部の前記他方の 側に配置された前記噴流噴出部との間の間隙は、下方ほど幅が狭くなつている ことを特徴とする非接触液シール装置。

[4] 請求の範囲第 1項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記液シール部は、前記開口部の前記他方の側に配置され、前記ワークの前記他 方の側の面に接触する円柱状部材である

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[5] 請求の範囲第 1項乃至第 4項のいずれ力、 1項に記載の非接触液シール装置にお いて、

前記噴流噴出部は、前記流体が供給される噴流体管路と、前記噴流体管路の前 記ワーク側に設けられ、前記噴流を噴出する噴流ノズルとを有する

を有することを特徴とする非接触液シール装置。

[6] 請求の範囲第 5項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向に対して前記浸漬槽側に 傾斜した方向を向いている

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[7] 請求の範囲第 5項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記噴流ノズルは、前記ワークの移動方向に垂直な方向を向いて!/、る ことを特徴とする非接触液シール装置。

[8] 請求の範囲第 5項乃至第 7項のいずれ力、 1項に記載の非接触液シール装置にお いて、

前記噴流噴出部は、上下方向に配列された複数の前記噴流ノズルを有する ことを特徴とする非接触液シール装置。

[9] 請求の範囲第 8項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記複数の噴流ノズルの穴は、それぞれ円形である

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[10] 請求の範囲第 9項記載の非接触液シール装置にお!/、て、

前記複数の噴流ノズルの穴は、下方の前記噴流ノズルの穴ほど穴径が大き!/、 ことを特徴とする非接触液シール装置。

[11] 請求の範囲第 8項乃至第 10項のいずれ力、 1項に記載の非接触液シール装置おい て、

上下方向に配列された前記複数の噴流ノズルの穴のピッチは、下方ほど密である ことを特徴とする非接触液シール装置。

[12] 請求の範囲第 1項乃至第 11項のいずれ力、 1項に記載の非接触液シール装置にお いて、

前記開口部は、下方ほど幅が狭くなつている

ことを特徴とする非接触液シール装置。

[13] 幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に 設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、

前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前 記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記ワークの両側から流体の噴流を噴出し 、前記噴流により前記開口部を非接触でシールする ことを特徴とする非接触液シール方法。

幅方向を略鉛直にした状態で枚葉又は帯状のワークが通過する開口部が側壁に 設けられ、液体が満たされる浸漬槽の非接触液シール方法であって、

前記開口部の一方の側に、前記ワークの前記一方の側の面に接触し、前記開口 部の前記一方の側からの前記液体の流出をシールする液シール部を配置し、 前記液体が満たされた前記浸漬槽の前記開口部を前記ワークが通過する際に、前 記開口部を通過する前記ワークへ向けて前記開口部の他方の側から流体の噴流を 噴出し、前記噴流により、前記開口部の前記他方の側からの前記液体の流出を非接 触でシールする

ことを特徴とする非接触液シール方法。