JP3182815U - 塗布ノズル洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に処理液を塗布する長尺状の塗布ノズルの吐出口周辺に沿って塗布ノズルの長手方向に平行に水平な走査方向に移動するキャリッジ64と、キャリッジに設置され、走査方向に移動しながら塗布ノズルの吐出口周辺部に擦接して吐出口周辺部に付着した処理液を拭き取り除去する拭き取りパッド70と、を有する塗布ノズル洗浄装置において、拭き取りパッドをスポンジにて形成し、拭き取りパッドに対して、塗布ノズルを拭き取り洗浄するための洗浄液を含浸させるように供給可能な洗浄液供給手段である洗浄液供給ノズル100を設ける。
【選択図】図6
Description
32 スリットノズル(塗布ノズル)
42 ノズルリフレッシュ部
52 スリットノズル洗浄部
64 キャリッジ
70 拭き取りパッド
100 洗浄液供給ノズル(洗浄液供給手段)
110 キャリッジ
120 洗浄液供給路(洗浄液供給手段)
120a 洗浄液供給孔(洗浄液供給手段)
121 キャリッジ
124 洗浄液供給パン(洗浄液供給手段)
Claims (7)
- 基板に処理液を塗布する長尺状の塗布ノズルの吐出口周辺に沿って前記塗布ノズルの長手方向に平行に水平な走査方向に移動するキャリッジと、
前記キャリッジに設置され、前記走査方向に移動しながら前記塗布ノズルの吐出口周辺部に擦接して前記吐出口周辺部に付着した処理液を拭き取り除去する拭き取りパッドと、を具備する塗布ノズル洗浄装置であって、
前記拭き取りパッドをスポンジにて形成し、
前記拭き取りパッドに対して、前記塗布ノズルを拭き取り洗浄するための洗浄液を含浸させるように供給可能な洗浄液供給手段を具備してなることを特徴とする塗布ノズル洗浄装置。 - 前記拭き取りパッドに対して、前記洗浄液供給手段は予め前記洗浄液を供給し、前記拭き取りパッドが前記洗浄液で濡れた状態で、前記塗布ノズルの吐出口周辺部の拭き取りを行うことを特徴とする請求項1に記載の塗布ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液供給手段は、前記拭き取りパッドの上方に配置され、前記洗浄液を前記拭き取りパッドに対して吐出する洗浄液供給ノズルを有することを特徴とする請求項1または2に記載の塗布ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液供給ノズルは、前記洗浄液をシャワー状またはスプレー状に吐出することを特徴とする請求項3に記載の塗布ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液供給手段は、前記拭き取りパッドの下部に配置され、前記洗浄液を前記拭き取りパッドに対して洗浄液を供給することを特徴とする請求項1または2に記載の塗布ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液供給手段は、前記キャリッジに設けられる洗浄液供給路と、該洗浄液供給路に連通して前記拭き取りパッドの下部に前記洗浄液を供給する洗浄液供給孔と、を有することを特徴とする請求項5に記載の塗布ノズル洗浄装置。
- 前記洗浄液供給手段は、前記キャリッジに設けられ、前記拭き取りパッドの下部に前記洗浄液を供給する洗浄液供給パンを有することを特徴とする請求項5に記載の塗布ノズル洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013000469U JP3182815U (ja) | 2013-01-31 | 2013-01-31 | 塗布ノズル洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013000469U JP3182815U (ja) | 2013-01-31 | 2013-01-31 | 塗布ノズル洗浄装置 |
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JP3182815U true JP3182815U (ja) | 2013-04-11 |
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Family Applications (1)
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JP2013000469U Expired - Lifetime JP3182815U (ja) | 2013-01-31 | 2013-01-31 | 塗布ノズル洗浄装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3182815U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107115990A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-09-01 | 武汉华星光电技术有限公司 | 喷嘴洁具的清洗装置 |
CN112191457A (zh) * | 2020-10-10 | 2021-01-08 | 合肥高地创意科技有限公司 | 一种集成电路封装点胶装置 |
-
2013
- 2013-01-31 JP JP2013000469U patent/JP3182815U/ja not_active Expired - Lifetime
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CN107115990A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-09-01 | 武汉华星光电技术有限公司 | 喷嘴洁具的清洗装置 |
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