CN107433240B - 喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法。根据本发明，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴(2)而在狭缝喷嘴(2)上滑动的刮除器(61B)的磨损。刮除器(61B)在狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)上滑动之前，喷洒器(61A)事先在倾斜面(26)上喷洒冲洗液(Lb)。因此，刮除器(61B)在狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)上滑动时，由喷洒器(61A)事先喷洒的冲洗液(Lb)能够进入狭缝喷嘴(2)的唇部(24)的倾斜面(26)与刮除器(61B)之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴(2)而在狭缝喷嘴(2)上滑动的刮除器(61B)的磨损。

Description

喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法

技术领域

本发明涉及涂覆装置、喷嘴清扫装置及喷嘴清扫方法，其中，涂覆装置从喷嘴排出口排出涂覆液涂覆液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、等离子显示器(PDP：PlasmaDisplay Panel)用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、滤色片用基板、记录盘用基板、太阳电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机电致发光(EL：Electro Luminescence)用基板(以下简称为“基板”)，喷嘴清扫装置及喷嘴清扫方法去除附着在上述喷嘴排出口上的附着物。

背景技术

以往，为了向基板涂覆涂覆液，通常使用从排出口排出涂覆液的喷嘴。这样的喷嘴存在附着在设置有排出口的前端部的侧面上的涂覆液等附着物干燥硬化而落在基板上导致污染基板的情况。因此，日本特许第4985007号公报中公开的狭缝式涂覆机在利用喷嘴(狭缝喷嘴)开始涂覆前，通过清扫构件即擦拭头在喷嘴上滑动，从而去除附着在喷嘴前端部的侧面上的涂覆液。

但是，在喷嘴上滑动清扫构件的结构中，因磨损而被削成粉状的清扫构件的一部分成为磨损粉，从而发生因清扫构件的消耗、磨损粉的落下而导致污染基板等情况。在日本特许第4985007号公报中，清扫构件在喷嘴上滑动之前从喷嘴排出口排出涂覆液，因此，如果使该涂覆液发挥润滑剂的作用，则能够抑制清扫构件的磨损。但是，实际上，在清扫构件与喷嘴之间没有进入充分量的涂覆液的情况下清扫构件在喷嘴上滑动，因此，涂覆液不能充分发挥作为润滑剂的作用，因此清扫构件的磨损依旧成为问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，目的在于提供能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件的磨损的技术。

本发明的第一方式的喷嘴清扫装置，包括：第一相对构件，其能够在与喷嘴的前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下，向沿喷嘴排出口的移动方向移动，上述喷嘴从设置在上述前端部的前端上的上述排出口排出涂覆液；抵接构件，在第一相对构件的移动方向的上游侧，其能够在与喷嘴前端部的侧面抵接的状态下向移动方向移动；以及移动部在喷嘴从排出口排出涂覆液后，其执行将第一相对构件向移动方向移动，从而利用第一相对构件将附着于前端部的涂覆液在侧面扩散，并且将抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件从侧面去除在侧面扩散的涂覆液的构件移动动作。

本发明第一方式的涂覆装置具备：喷嘴，其从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液；以及上述第一方式的喷嘴清扫装置。

本发明第一方式的喷嘴清扫方法，包括；向从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液的喷嘴前端部附着涂覆液的工序；通过将与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的第一相对构件向沿排出口的移动方向移动，从而利用第一相对构件将附着于前端部的涂覆液在侧面扩散的工序；以及通过将在第一相对构件的移动方向的上游侧与喷嘴前端部的侧面抵接的抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件从侧面去除在侧面扩散的涂覆液的工序。

在这样构成的本发明第一方式(喷嘴清扫装置、涂覆装置、喷嘴清扫方法)中，为了清扫从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液的喷嘴前端部的侧面，执行将第一相对构件和抵接构件向沿喷嘴排出口的移动方向移动的构件移动动作。在该构件移动动作中，第一相对构件在与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下移动，从而将附着于前端部的涂覆液在前端部的侧面扩散。另外，抵接构件在与喷嘴前端部的侧面抵接的状态下移动，从而去除在侧面扩散的涂覆液。即，抵接构件在喷嘴前端部的侧面滑动之前，第一相对构件事先在侧面扩散涂覆液。因此，抵接构件在喷嘴前端部的侧面上滑动时，利用第一相对构件事先扩散的涂覆液能够进入喷嘴前端部的侧面与抵接构件之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件(抵接构件)的磨损。

本发明第二方式的喷嘴清扫装置，包括：第一相对构件，其能够在与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下，向沿喷嘴排出口的移动方向移动，上述喷嘴从设置在前端部前端上的排出口排出涂覆液；抵接构件，在第一相对构件的移动方向的上游侧，其能够在与喷嘴前端部的侧面抵接的状态下向移动方向移动；冲洗液供给部，其向喷嘴前端部供给冲洗液；以及移动部，其执行将第一相对构件向移动方向移动，从而利用第一相对构件将由冲洗液供给部供给并附着于前端部的冲洗液在侧面扩散，并且将抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件从侧面去除在侧面扩散的冲洗液。

本发明第二方式的涂覆装置具备：喷嘴，其从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液；以及上述第二方式的喷嘴清扫装置。

本发明第二方式的喷嘴清扫方法，括；向从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液的喷嘴前端部附着冲洗液的工序；通过将与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的第一相对构件向沿排出口的移动方向移动，从而利用第一相对构件将附着于前端部的冲洗液在侧面扩散的工序；以及通过将在第一相对构件的移动方向的上游侧与喷嘴前端部的侧面抵接的抵接构件向移动方向移动，从而利用抵接构件，从侧面去除在侧面扩散的冲洗液的工序。

在这样构成的本发明第二方式(喷嘴清扫装置、涂覆装置、喷嘴清扫方法)中，为了清扫从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液的喷嘴前端部的侧面，执行将第一相对构件和抵接构件向沿喷嘴排出口的移动方向移动的构件移动动作。在该构件移动动作中，第一相对构件在与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下移动，从而将附着于前端部的冲洗液在前端部的侧面扩散。另外，抵接构件在与喷嘴前端部的侧面抵接的状态下移动，从而去除在侧面扩散的冲洗液。即，抵接构件在喷嘴前端部的侧面滑动之前，第一相对构件事先在侧面扩散冲洗液。因此，抵接构件在喷嘴前端部的侧面上滑动时，利用第一相对构件事先扩散的冲洗液能够进入喷嘴前端部的侧面与抵接构件之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件(抵接构件)的磨损。

此外，喷嘴清扫装置也可以构成为，冲洗液供给部从设置于第一相对构件的液供给孔，向第一相对构件与喷嘴前端部之间供给冲洗液，在构件移动动作的执行中，第一相对构件将从液供给孔供给的冲洗液在侧面上扩散。在该结构中，从液供给孔向第一相对构件与喷嘴前端部之间供给的冲洗液能够进入喷嘴前端部的侧面与抵接构件之间，发挥润滑剂的作用。因此，能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件(抵接构件)的磨损。

此外，喷嘴清扫装置也可以构成为，还包括第二相对构件，其在移动方向的第一相对构件与抵接构件之间，能够在与喷嘴前端部的侧面隔开间隔并且与前端部的排出口和侧面相对的状态下向移动方向移动；移动部通过在构件移动动作中将第二相对构件向移动方向移动，从而利用第二相对构件将利用第一相对构件在侧面扩散的冲洗液在侧面进一步扩散。在该结构中，抵接构件在喷嘴前端部的侧面滑动之前，能够在前端部侧面的更广的范围内扩散冲洗液。因此，将抵接构件在喷嘴前端部的侧面上滑动时，冲洗液能够进入抵接构件与喷嘴前端部的侧面之间的更广的范围，有效地发挥润滑剂的作用。因此，能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动构件(抵接构件)的磨损。

此外，喷嘴清扫装置也可以构成为，包括支撑部，其将第一相对构件和抵接构件不仅一体地支撑并且朝向喷嘴前端部施加力；在抵接构件借助支撑部施加的力抵接于喷嘴前端部的侧面的状态下，规定第一相对构件与喷嘴前端部的侧面之间的间隔。在该结构中，通过借助支撑部施加的力将抵接构件抵接于喷嘴前端部的侧面，从而能够适当地规定第一相对构件与喷嘴前端部的侧面之间的间隔，使得能够在该侧面上均匀地扩散冲洗液，并且将喷嘴前端部的侧面紧贴于抵接构件以从该侧面可靠地去除冲洗液。

此外，喷嘴清扫装置也可以构成为，抵接构件是弹性体，第一相对构件是比抵接构件硬的硬质体。在该结构中，能够利用硬质的第一相对构件，在喷嘴前端部的侧面均匀地扩散冲洗液，并且抑制喷嘴前端部的侧面因与抵接构件接触而损坏。

根据本发明，抵接构件在喷嘴前端部的侧面上滑动时，利用第一相对构件事先扩散的涂覆液或冲洗液能够进入喷嘴前端部的侧面和抵接构件之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫喷嘴而在喷嘴上滑动的构件(抵接构件)的磨损。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的涂覆装置的立体图。

图2是示意性地表示图1所示的涂覆装置的侧视图。

图3是概要地表示图1所示的涂覆装置各部分的配置的俯视图。

图4是从X方向看到的狭缝喷嘴的侧视图。

图5是表示第一实施方式的喷嘴清扫装置的立体图。

图6是表示喷嘴清扫装置使用的喷嘴清扫构件的一例的图。

图7是表示喷嘴清扫装置的清扫处理的一例的流程图。

图8是示意性地表示根据图7的流程图执行动作的主视图。

图9是示意性地表示根据图7的流程图执行动作的侧视图。

图10是示意性地表示根据图7的流程图执行动作的立体图。

图11是表示第二实施方式的喷嘴清扫装置的立体图。

其中，附图标记说明如下：

1：涂覆装置

6：喷嘴清扫装置

6A：去除单元

6B：驱动单元

6E：冲洗液供给单元

61A：喷洒器

61B：刮除器

61C：喷洒器

610：液供给孔

62：支撑部

2：狭缝喷嘴

21：排出口

24：唇(lip)部

26：倾斜面

Dc：清扫方向

具体实施方式

图1是示意性地表示本发明的涂覆装置的立体图。图2是示意性地表示图1所示的涂覆装置的侧视图。而且，图3是概要地表示图1所示的涂覆装置各部分的配置的俯视图。需要说明的是，在图1、图2、图3及之后的各图中，为了明确图中的方向关系，适当地标注了以铅直方向为Z方向且以水平面为XY平面的XYZ正交坐标系，还根据需要放大或简化绘制了各部分的尺寸、数量。另外，在图2和图3中省略了喷嘴支撑体等的一部分结构。

涂覆装置1是被称为狭缝式涂覆机的涂覆装置，其使用狭缝喷嘴2向基板3的表面31涂覆涂覆液。涂覆装置1可以使用耐蚀刻涂膜用光致蚀刻液、滤色片用光致蚀刻液、聚酰亚胺前体、硅、纳米金属墨水或包含导电性材料的浆液(浆料)等各种涂覆液。另外，成为涂覆对象的基板3可以包括：液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、PDP用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、滤色片用基板、记录盘用基板、太阳电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性基板、有机EL用基板等各种基板。需要说明的是，在本说明书中“基板3的表面31”是指，基板3的两个主表面中涂覆涂覆液的一侧的主表面。

涂覆装置1具备：载物台4，其能够以水平姿势吸附保持基板3；涂覆处理部5，其使用狭缝喷嘴2对保持于载物台4的基板3实施涂覆处理；喷嘴清扫装置6，其在涂覆处理之前对狭缝喷嘴2实施清扫处理；以及制御部8，其控制载物台4、涂覆处理部5和喷嘴清扫装置6。

图4是从X方向看到的狭缝喷嘴的侧视图。狭缝喷嘴2具有沿X方向延伸的长狭缝状的开口部即排出口21。在X方向上，排出口21比狭缝喷嘴2的全长短，排出口21在狭缝喷嘴2的X方向的两端不开口。该狭缝喷嘴2具有能够从排出口21向保持于载物台4的基板3的表面排出涂覆液的结构。具体地，狭缝喷嘴2具有：本体部22，其由喷嘴支撑体51(图1)固定支撑；内部流路23，其将从未图示的供给机构供给的涂覆液输送至排出口21；以及唇部24，其从本体部22向下方凸出。

唇部24具有：平坦状的前端面25，其设置于上述凸出的前端(下端)；倾斜面26a，其是形成于上述凸出的+Y侧的斜面；以及倾斜面26b，其是形成于上述凸出的-Y侧的斜面。在以下的说明中，无需区分倾斜面26a和倾斜面26b时统称为倾斜面26。这样，唇部24在从其长度方向即X方向看向的侧视图中具有前端细的凸出形状，凸出形状的前端(下端)设有排出口21，凸出形状的各个侧面成为倾斜面26。

在这样构成的狭缝喷嘴2中，从未图示的供给机构供给涂覆液时，涂覆液通过内部流路23向狭缝喷嘴2的长度方向(X方向)均等地被扩散并输送，从唇部24的前端面25设置的排出口21向下方排出。这样，从狭缝喷嘴2的排出口21排出涂覆液并对基板3执行涂覆动作时，有时在狭缝喷嘴2的排出口21周围部分(唇部24)附着涂覆液。附着的涂覆液干燥而成为残渣，如果不及时处理，则成为阻碍顺畅排出、污染形成于基板3的膜的原因。于是，在涂覆装置1中，利用喷嘴清扫装置6进行去除该附着物的清扫处理。关于该详细内容，将在后面详述。

返回图1至图3继续对结构进行说明。载物台4由具有大致长方体形状的花岗石等石材构成，在其上面(+Z侧)的-Y侧，具备被加工成大致水平的平坦面的用来保持基板3的保持面41。在保持面41分散形成有未图示的多个真空吸附口。通过由这些真空吸附口吸附基板3，从而在涂覆处理时将基板3以大致水平状态保持于规定的位置。需要说明的是，基板3的保持方式不限于此，例如也可以构成为以机械方式保持基板3。

而且，在载物台4上比保持面41所占有的区域靠近+Y侧设置有喷嘴调整区域AR1，在该喷嘴调整区域AR1配置有喷嘴清扫装置6。关于该喷嘴清扫装置6，将在后面详述。

在涂覆装置1中，将狭缝喷嘴2向Y方向移动的后述的移动机构设置于涂覆处理部5，将狭缝喷嘴2在保持面41的上方与喷嘴调整区域AR1的上方之间往返移动。另外，在狭缝喷嘴2向喷嘴调整区域AR1的上方移动的期间，即在载物台4的保持面41所占有区域的上方没有狭缝喷嘴2的期间，在载物台4上进行涂覆处理后的在先基板3的搬出和涂覆处理前的在后基板3的搬入。另一方面，狭缝喷嘴2在保持面41的上方移动的期间，涂覆液涂覆在该保持面41上的基板3的表面31。

涂覆处理部5的移动机构主要具有：桥式结构的喷嘴支撑体51，其在X方向上横跨载物台4的上方并支撑狭缝喷嘴2；以及狭缝喷嘴移动部53，其将喷嘴支撑体51及其支撑的狭缝喷嘴2沿着向Y方向延伸的一对导轨52水平移动。该喷嘴支撑体51具有：固定构件51a，其固定狭缝喷嘴2；以及两个升降机构51b，其支撑并升降固定构件51a。需要说明的是，固定构件51a由将X方向作为长度方向的碳纤维加强树脂等剖面矩形的棒状构件构成。

两个升降机构51b与固定构件51a的长度方向的两端部连结，各自具有AC伺服马达和滚珠螺杆等。利用这些升降机构51b，在铅直方向(Z方向)上升降固定构件51a和被其固定的狭缝喷嘴2，从而调整狭缝喷嘴2的排出口21与基板3之间的间隔，即排出口21相对基板3的相对高度。需要说明的是，固定构件51a在铅直方向的位置能够利用例如由未图示的刻度部和未图示的检测传感器构成的线形编码器进行检测，上述刻度部设置于升降机构51b的侧面，上述检测传感器与该刻度部相对地设置于狭缝喷嘴2的侧面等。

如图1所示，这样构成的喷嘴支撑体51具有沿着X方向跨设于载物台4的左右两端部而横跨保持面41的桥梁结构。狭缝喷嘴移动部53发挥相对移动机构的作用，该相对移动机构将作为该架桥结构体的喷嘴支撑体51和被其固定保持的狭缝喷嘴2，相对保持在载物台4上的基板3沿着Y方向相对移动。具体地，狭缝喷嘴移动部53分别在±X侧具有：导轨52，其引导狭缝喷嘴2向Y方向移动；线性马达54，其为驱动源；以及线形编码器55，其检测狭缝喷嘴2排出口的位置。

如图2所示，两个导轨52各自在载物台4的X方向的两端部，沿着Y方向延伸成包括从喷嘴清洗位置(喷嘴清扫装置6的设置位置)Y1到涂覆结束位置(保持面41的-Y侧端部位置)Y3的区间。因此，利用狭缝喷嘴移动部53沿着上述两个导轨52引导两个升降机构51b的下端部，从而狭缝喷嘴2在喷嘴清洗位置Y1和与保持在载物台4上的基板3相对的位置之间移动。需要说明的是，在图2中，除上述位置Y1、Y3之外，还图示有位置Y2。该位置Y2是在基板3的涂覆区域RT中与Y方向范围对应的涂覆开始位置。

此外，各个线性马达54是具有定子54a和动子54b的AC无铁芯线性马达。定子54a在载物台4的X方向两侧面沿着Y方向设置。另一方面，动子54b固定设置于升降机构51b的外侧。线性马达54利用这些定子54a与动子54b之间产生的磁力，作为狭缝喷嘴移动部53的驱动源发挥作用。

此外，各个线形编码器55具有刻度部55a和检测部55b。刻度部55a在载物台4上固定设置的线性马达54的定子54a的下部沿着Y方向设置。另一方面，检测部55b固定设置于比在升降机构51b上固定设置的线性马达54的动子54b更靠外侧，且与刻度部55a相对配置。线形编码器55基于刻度部55a与检测部55b之间的相对位置关系，检测Y方向上的狭缝喷嘴2的排出口21的位置。

根据上述结构，狭缝喷嘴2在保持基板3的保持面41的上部空间，能够沿相对保持面41大致水平的Y方向移动。另外，涂覆装置1通过一边从狭缝喷嘴2的排出口21排出涂覆液一边使狭缝喷嘴2相对移动，在由保持面41保持的基板3的表面31形成涂覆层。需要说明的是，基板3的自各个边的端部开始具有规定宽度的区域(画框状的区域)是未被涂覆液涂覆的非涂覆区域。基板3中除该非涂覆区域的矩形区域是应涂覆涂覆液的涂覆区域RT(图3)。因此，由排出口21在狭缝喷嘴2的移动区间中的从基板3的涂覆区域RT的Y方向范围的涂覆开始位置Y2(涂覆区域RT的+Y侧端部)开始到涂覆结束位置Y3(涂覆区域RT的-Y侧端部)的区间排出涂覆液。

此外，在涂覆装置1和外部搬运机构交接基板3的期间(搬入或搬出基板3的期间)等在载物台4上不进行涂覆处理的期间，狭缝喷嘴2退避到从基板3的保持面41向+Y侧离开的喷嘴调整区域AR1(图1所示的状态)，接受喷嘴清扫装置6的清扫处理。接着，参照图2、图3、图5及图6等，对该喷嘴清扫装置6的结构和动作进行详述。

图5是表示第一实施方式的喷嘴清扫装置的立体图。此外，图6是表示喷嘴清扫装置使用的喷嘴清扫构件的一例的图。喷嘴清扫装置6具有：去除单元6A，其通过喷嘴清扫构件61沿着狭缝喷嘴2的唇部24的方向即清扫方向Dc移动而去除附着在唇部24上的附着物；以及驱动单元6B，其驱动去除单元6A而使该去除单元6A向清扫方向Dc移动。此处，清扫方向Dc是与X方向箭头的指向相反方向的朝向一方的与X方向平行的方向，驱动单元6B能够使去除单元6A在X方向上往返移动。此外，作为去除单元6A的去除对象的附着物，可以列举出可附着在狭缝喷嘴2的唇部24上的各种物质，例如涂覆液的溶质干燥而固化的物质。例如在涂覆液为滤色片用光致蚀刻剂的情况下，包含在涂覆液的颜料作为附着物附着于狭缝喷嘴2的唇部24。

此外，喷嘴清扫装置6具备清洗单元6C(图3)，上述清洗单元6C在通过密闭喷嘴清扫构件61形成的密闭空间的内部清洗喷嘴清扫构件61。该清洗单元6C是通过在上述密闭空间内向擦拭去除附着于狭缝喷嘴2的唇部24的附着物的喷嘴清扫构件61供给清洗液，冲洗附着于喷嘴清扫构件61的上述附着物的单元。作为该清洗单元6C，例如可以使用记载于日本特开2014-176812号公报中的清洗单元。

而且，喷嘴清扫装置6具有供给用于清洗狭缝喷嘴2的唇部24的冲洗液的冲洗液供给单元6E。该冲洗液供给单元6E经由前端安装于去除单元6A的挠性冲洗液供给管(省略图示)向去除单元6A供给冲洗液。

去除单元6A主要具有：喷嘴清扫构件61，其具有与狭缝喷嘴2的倾斜面26对应的倾斜面；以及支撑部62，其支撑喷嘴清扫构件61。需要说明的是，在图5中表示了去除单元6A位于比狭缝喷嘴2的清扫方向Dc上的上游侧端部更靠近清扫方向Dc的上游侧的位置时的狭缝喷嘴2和去除单元6A的结构。

去除单元6A具有喷洒器(spreader)61A和刮除器(scraper)61B两种喷嘴清扫构件61。这些喷嘴清扫构件61中，喷洒器61A发挥将冲洗液涂覆扩散于狭缝喷嘴2的唇部24的冲洗液供给作用，而刮除器61B发挥在喷洒器61A的清扫方向Dc的上游侧从狭缝喷嘴2的唇部24去除冲洗液的除液作用。由此，能够与冲洗液一同去除狭缝喷嘴2的唇部24上的附着物。即，在干燥而固化的涂覆液等附着物附着于唇部24的倾斜面26的情况下，由喷洒器61A涂覆扩散的冲洗液使附着物溶解一定程度，利用刮除器61B去除包含该溶解物(附着物)的冲洗液。这样，喷嘴清扫装置6使用喷洒器61A和刮除器61B，执行从狭缝喷嘴2的唇部24去除附着物的清扫处理。这些喷洒器61A和刮除器61B除了有无供给冲洗液的液供给孔610外彼此具有相同的外形。因此，在图6中，喷洒器61A的外形代表两种喷嘴清扫构件61。

如图6所示，喷嘴清扫构件61由能够被支撑部62支撑的本体611构成。刮除器61B的本体611由具有例如900～4000MPa(兆帕)的弹性模量的弹性体形成，喷洒器61A的本体611由比刮除器61B的本体611硬的硬质体形成。并且，本体611的中央部成为被支撑部62支撑的被支撑部612。本体611具有从被支撑部612延伸设置的延伸设置部613，在该延伸设置部613的前端形成有大致V形的槽即V槽614。V槽614形成为与狭缝喷嘴2的唇部24对应的形状，具有：倾斜面615a，其具有与倾斜面26a相适应的倾斜；以及倾斜面615b，其具有与倾斜面26b相适应的倾斜。并且，在喷洒器61A的各个倾斜面615a、615b形成有供安装冲洗液供给单元6E的冲洗液供给管的液供给孔610，经由冲洗液供给管供给的冲洗液从液供给孔610排出。另一方面，在刮除器61B的各个倾斜面615a、615b没有形成液供给孔610。需要说明的是，在以下无需区分倾斜面615a、615b时统称为倾斜面615。

如图5所示，这样构成的各个喷嘴清扫构件61利用两个紧固构件例如螺栓64装卸自如地固定于支撑部62。即，支撑部62具有：升降部621，其能够在Z方向上升降；以及两根柱部622A、622B，其在升降部621的上表面沿Z方向立设并沿X方向排列。并且，对柱部622A、622B中的清扫方向Dc的下游侧的柱部622A的上端紧固喷洒器61A，而对清扫方向Dc的上游侧的柱部622B的上端紧固刮除器61B。更具体地，各个喷嘴清扫构件61的被支撑部612做成能够与对应的柱部622A、622B的上端部卡合的形状。并且，各个喷嘴清扫构件61将各自的V槽614朝向狭缝喷嘴2侧，并以相对沿X方向延伸设置的狭缝喷嘴2倾斜规定的倾斜角度θ(例如，50度)的状态，紧固于柱部622A、622B的上端部。需要说明的是，柱部622B的上端比柱部622A的上端高，从而刮除器61B被支撑于比喷洒器61A高的位置。

支撑部62这样在固定有各个喷嘴清扫构件61的升降部621的下方具有底座部623。并且，升降部621被底座部623支撑得能够升降。即，支撑部62设有：导轨624，其从底座部623的上表面沿Z方向立设；施力构件625(例如，压缩弹簧)，其设置在底座部623与升降部621之间。并且，导轨624引导升降部621向Z方向移动，并且施力构件625相对底座部623向上方对升降部621施力。因此，固定于升降部621的各个喷嘴清扫构件61受到朝上方的施力构件625所施加的力。

此外，支撑部62的底座部623安装于驱动单元6B。该驱动单元6B具有：一对辊651、651，其分别配置在X方向上的狭缝喷嘴2的外侧；以及环形传送带652，其卷挂在辊651、651上。环形传送带652的上表面安装有支撑部62的底座部623。这样构成的驱动单元6B通过旋转辊651、651而将环形传送带652的上表面向X方向驱动，从而使各个喷嘴清扫构件61伴随支撑部62向X方向移动。

并且，这样构成的喷嘴清扫装置6通过将各个喷嘴清扫构件61从下方接近位于喷嘴清洗位置Y1的狭缝喷嘴2的唇部24，并将各个喷嘴清扫构件61沿清扫方向Dc移动，从而清扫狭缝喷嘴2的唇部24。接着，对该清扫处理进行详述。

图7表示喷嘴清扫装置的清扫处理的一例的流程图。图8是示意性地表示按照图7的流程图执行动作的主视图。图9是示意性地表示按照图7的流程图执行动作的侧视图。图10是示意性地表示按照图7的流程图执行动作的立体图。图7中的流程是制御部8通过控制涂覆装置1的各部分来执行的。

在步骤S101，去除单元6A受到驱动单元6B的驱动而向清扫开始位置P1移动。该清扫开始位置P1是与狭缝喷嘴2的唇部24的清扫方向Dc上的上游端部20A对应设定的，在去除单元6A位于清扫开始位置P1的状态下，喷洒器61A和刮除器61B从下方与唇部24的上游端部20A相对(图8的“S101”栏)。需要说明的是，由于排出口21在X方向上比狭缝喷嘴2的唇部24的全长短，因此狭缝喷嘴2在X方向上的两端，即清扫方向Dc的上游端部20A和下游端部20B都没有形成排出口21。即，在步骤S101，喷洒器61A和刮除器61B与狭缝喷嘴2唇部24中的比排出口21位于清扫方向Dc的上游侧的上游端部20A相对。

此外，在步骤S101，狭缝喷嘴2位于上方位置，唇部24的上游端部20A和与其相对的刮除器61B在Z方向上隔开。顺便要说明的是，由于刮除器61B被支撑在比喷洒器61A高的位置，因此刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的间隔ΔB，比喷洒器61A的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的间隔ΔA1小(图9的“S101”栏)。

这样，当去除单元6A向清扫开始位置P1的移动结束时，狭缝喷嘴2从排出口21排出规定量的涂覆液La(步骤S102)。在此，涂覆液La的排出是以在接着清扫处理执行的涂覆处理之前将涂覆液La充满排出口21的整个区域为目的的。因此，虽在图8中夸张地表示，但涂覆液La以从排出口21向下方稍微露出的程度排出。

在步骤S103，狭缝喷嘴2向比上方位置低的下方位置下降。详细地，当狭缝喷嘴2开始下降时，狭缝喷嘴2的唇部24与刮除器61B之间的间隔減小，唇部24的倾斜面26和刮除器61B的倾斜面615接触。狭缝喷嘴2进一步下降并克服施力构件625施加的力而向下方按压刮除器61B。然后，喷洒器61A在进入其两倾斜面615之间的唇部24的倾斜面26与各倾斜面615之间保持恒定的间隔ΔA2的情况下，与刮除器61B一起向下方移动。这样，刮除器61B的倾斜面615在施力构件625施加的力的作用下被按压到唇部24的倾斜面26，并且在喷洒器61A的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间确保恒定的间隔ΔA2(图9的“S103”栏)。需要说明的是，喷洒器61A和刮除器61B各自具有与唇部24的倾斜面26抵接的位置关系，因此在喷洒器61A和刮除器61B各自与唇部24的前端面25之间形成间隔，使得喷洒器61A和刮除器61B各自与唇部24的前端面25不接触。不过，只要通过执行步骤S103而刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26抵接，就可以构成为喷洒器61A和刮除器61B各自与唇部24的前端面25抵接。

如上所述，喷洒器61A和刮除器61B具有相同的外形，而且，刮除器61B被支撑在比喷洒器61A高的位置。结果，处于刮除器61B的倾斜面615被按压而抵接于唇部24的倾斜面26，并且喷洒器61A的倾斜面615与唇部24的倾斜面26隔开恒定的间隔ΔA2而相对的状态。这样，通过使喷洒器61A和刮除器61B具有相同的外形(特别是通过使V槽614形成为相同的形状)，能够可靠地形成上述间隔ΔA2。需要说明的是，也可以通过使喷洒器61A的V槽614大于刮除器61B的V槽614而确保上述间隔ΔA2。

这样，当狭缝喷嘴2的下降结束时，从喷洒器61A的液供给孔610排出冲洗液Lb，开始向狭缝喷嘴2的唇部24与喷洒器61A之间供给冲洗液(步骤S104)。如图9的“S104”栏所示，该冲洗液Lb的每单位时间的供给量优选为冲洗液Lb的液面维持在唇部24的前端面25的上方，使得冲洗液Lb附着于唇部24的倾斜面26的程度。需要说明的是，作为冲洗液Lb，可以使用各种液体，例如也可以是组成涂覆液的溶剂。此时，将溶质溶解于溶剂的冲洗液中的溶液成为涂覆液。

接着，驱动单元6B向清扫方向Dc驱动去除单元6A，从而开始进行使喷洒器61A和刮除器61B向清扫方向Dc移动的构件移动动作(步骤S105)。在该构件移动动作的执行中，从液供给孔610持续供给冲洗液Lb。因此，喷洒器61A将从液供给孔610供给的冲洗液Lb向唇部24的倾斜面26扩散并向清扫方向Dc移动。结果，如图8的“S105-S106”栏、图10所示，在清扫方向Dc上的喷洒器61A与刮除器61B之间，冲洗液Lb向唇部24的倾斜面26涂覆扩散。

然后，在构件移动动作中，以倾斜面615抵接的同时向清扫方向Dc移动的刮除器61B，从唇部24的倾斜面26去除利用喷洒器61A扩散的冲洗液Lb。此时，利用喷洒器61A扩散的冲洗液Lb，通过毛细管现象进入刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的微小间隙。这样，冲洗液Lb充满刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间，从而缓和其间产生的摩擦力。而且，刮除器61B在去除冲洗液Lb的同时，刮取从狭缝喷嘴2的排出口21向下方凸出的涂覆液La而沿着清扫方向Dc整平充满排出口21的涂覆液La的下部。

然后，当去除单元6A到达清扫结束位置P2而喷洒器61A和刮除器61B移动到狭缝喷嘴2的清扫方向Dc上的下游侧时，驱动单元6B使去除单元6A的移动停止(步骤S106)。而且，从液供给孔610停止供给冲洗液(步骤S107)，结束图7的流程图。

在这样构成的第一实施方式中，为了清扫狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26，执行沿着清扫方向Dc移动喷洒器61A和刮除器61B的构件移动动作，其中，清扫方向Dc是沿狭缝喷嘴2的排出口21的方向。在该构件移动动作中，喷洒器61A在与狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26隔开间隔ΔA2并与唇部24的排出口21和倾斜面26相对的状态下移动。因此，附着于唇部24的冲洗液Lb通过毛细管现象充满在间隔ΔA2内。换言之，附着于唇部24的冲洗液Lb利用喷洒器61A扩散于唇部24的倾斜面26的侧面。而且，刮除器61B在与狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26抵接的状态下移动，从而去除在倾斜面26扩散的冲洗液Lb。即，刮除器61B在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动之前，喷洒器61A事先在倾斜面26扩散冲洗液Lb。因此，在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动刮除器61B时，利用喷洒器61A事先扩散的冲洗液Lb能够进入狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

需要说明的是，在干燥而固化的涂覆液等附着物附着于唇部24的倾斜面26的情况下，利用喷洒器61A涂覆扩散的冲洗液使附着物溶解一定程度，利用刮除器61B去除包含该溶解物(附着物)的冲洗液。如上所述，作为此时的附着物，可以列举出例如涂覆液的溶质干燥而固化的物质等。

另外，通过如上所述那样对刮除器61B的磨损的抑制，能够减少刮除器61B的更换频率，因此从环境保护的观点来讲也是有效的。

另外，上述的构成不仅能够抑制刮除器61B的磨损，还能够对清扫处理速度的提高做出贡献。即，冲洗液通过毛细管现象进入唇部24与刮除器61B之间。因此，当附着于唇部24的倾斜面26的液量少或稀松时，在唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间充满溶液需要时间。因此，需要抑制刮除器61B的移动速度。对此，在第一实施方式中，由于利用喷洒器61A事先在唇部24的倾斜面26涂覆扩散冲洗液Lb，因此冲洗液能够快速填充唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间。因此，能够抑制刮除器61B的磨损并使刮除器61B高速移动，从而能够实现清扫处理的高速化。

另外，喷洒器61A具有向该喷洒器61A与狭缝喷嘴2的唇部24之间供给冲洗液Lb的液供给孔610，在执行构件移动动作中，向唇部24的倾斜面26扩散从液供给孔610供给的冲洗液Lb。在该结构中，从液供给孔610供给的冲洗液Lb能够进入狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间，发挥润滑剂的作用。因此，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

另外，支撑部62一体地支撑喷洒器61A和刮除器61B并利用施力构件625对喷洒器61A和刮除器61B朝向狭缝喷嘴2的唇部24施力。然后，在刮除器61B借助支撑部62的施力构件625施加的力抵接于狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26的状态下，规定喷洒器61A与狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26之间的间隔ΔA2。在该结构中，借助支撑部62的施力构件625施加的力，使刮除器61B抵接于狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26，从而能够适当地规定喷洒器61A与唇部24的倾斜面26之间的间隔ΔA2，使得冲洗液Lb在该倾斜面26上均匀地扩散，并使刮除器61B紧贴于唇部24的倾斜面26，由此能够从该倾斜面26可靠地去除冲洗液Lb。

另外，刮除器61B是弹性体，喷洒器61A是比刮除器61B硬的硬质体。因此，能够利用硬质的喷洒器61A在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上均匀地扩散冲洗液Lb，并且能够抑制因刮除器61B接触而狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26损坏。由于喷洒器61A是硬质体，因此能够提高加工或者成形的精度。结果，能够沿着倾斜面615、26均匀地确保喷洒器61A的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的间隔ΔA2。弹性体的刮除器61B的材质例如为三元乙丙橡胶(EPDM：Ethylene Propylene Diene Monomer)、硅橡胶。硬质体的喷洒器61A的材质例如为聚醚醚酮(PEEK：Poly ether ether ketone，)树脂、聚酰亚胺(PI：Polyimide，)树脂。

另外，结束清扫处理时，使喷洒器61A和刮除器61B相比狭缝喷嘴2位于清扫方向Dc的下游侧，因此能够抑制基板3b被来自狭缝喷嘴2的滴液汚染。即，将喷洒器61A和刮除器61B在例如与狭缝喷嘴2的下游端部20B相对的状态下停止移动而结束清扫处理时，狭缝喷嘴2的下游端部20B滞留涂覆液La、冲洗液Lb。因此，可以想到涂覆处理时液体从狭缝喷嘴2的下游端部20B向基板滴落而污染基板3。对此，在第一实施方式中，能够抑制液体滞留于狭缝喷嘴2的下游端部20B，从而抑制污染基板3。

虽未在上面详述，但如果构成为在步骤S102开始从排出口21排出涂覆液La后，在步骤S103开始使狭缝喷嘴2下降，则能够获得以下的效果。即，从排出口21排出涂覆液La的排出用泵从开始动作到稳定为止需要一定时间。对此，按照步骤S102、S103所示的顺序进行，能够在狭缝喷嘴2的下降中途稳定排出用泵的动作，在狭缝喷嘴2的下降结束时刻，能够沿着狭缝喷嘴2的前端面25的长度方向(X方向)均匀地附着冲洗液Lb。

图11是表示第二实施方式的喷嘴清扫装置的立体图。第二实施方式与第一实施方式的主要不同点在于，除喷洒器61A和刮除器61B之外，还设置有喷洒器61C。因此，在以下，以与第一实施方式不同的结构为中心进行说明，对与第一实施方式相同的结构适当省略说明。不过，因具备与第一实施方式相同的结构而起到同样的效果是不言而喻的。

图11所示的喷嘴清扫装置6的去除单元6A具有喷洒器61C，该喷洒器61C在清扫方向Dc上配置在喷洒器61A与刮除器61B之间。该喷洒器61C与喷洒器61A和刮除器61B同样，是上述的喷嘴清扫构件61的一种，除不具有液供给孔610之外，具有与喷洒器61A相同的结构。即，喷洒器61C的本体611用与喷洒器61A的本体相同的硬质体形成。另一方面，在升降部621的上表面，在X方向上的柱部622A、622B之间沿着Z方向立设有柱部622C。并且，喷洒器61C在使其V槽614朝向狭缝喷嘴2侧，并且相对沿着X方向延伸设置的狭缝喷嘴2倾斜规定的倾斜角度θ(例如，50度)的状态下，紧固于柱部622C的上端部。而且，柱部622C的上端与柱部622A的上端具有相同的高度，喷洒器61C被支撑在与喷洒器61A相同的高度。

另外，在第二实施方式中，也能够按照图7所示的流程图对狭缝喷嘴2执行清扫处理。即，在步骤S101，当去除单元6A移动到清扫开始位置P1时，喷洒器61A、喷洒器61C及刮除器61B从下方与唇部24的上游端部20A相对。然后，从排出口21排出规定量的涂覆液La时(步骤S102)，狭缝喷嘴2下降(步骤S103)。结果，借助施力构件625施加的力，刮除器61B的倾斜面615被按压于唇部24倾斜面26，并且喷洒器61A及喷洒器61C各自的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间保持相同的间隔ΔA2。

这样，狭缝喷嘴2的下降结束时，从喷洒器61A的液供给孔610排出冲洗液Lb，开始向狭缝喷嘴2的唇部24与喷洒器61A之间供给冲洗液(步骤S104)。接着，驱动单元6B使去除单元6A向清扫方向Dc驱动，从而开始进行使喷洒器61A、喷洒器61C及刮除器61B向清扫方向Dc移动的构件移动动作(步骤S105)。在该构件移动动作中，喷洒器61A与第一实施方式同样地，向唇部24的倾斜面26扩散冲洗液Lb，并且喷洒器61C将利用喷洒器61A扩散的冲洗液Lb进一步扩散于唇部24的倾斜面26。

然后，刮除器61B从唇部24的倾斜面26去除利用喷洒器61A和喷洒器61C扩散的冲洗液Lb。此时，利用喷洒器61A和喷洒器61C扩散的冲洗液Lb通过毛细管现象进入刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的微小间隙。这样，冲洗液Lb充满刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间，从而缓和其间产生的摩擦力。另外，刮除器61B在去除冲洗液Lb的同时，刮取从狭缝喷嘴2的排出口21向下方凸出的涂覆液La，沿着清扫方向Dc整平充满排出口21的涂覆液La的下部。

然后，在去除单元6A到达清扫结束位置P2而使喷洒器61A、喷洒器61C及刮除器61B相比狭缝喷嘴2位于清扫方向Dc上的下游侧的时刻，驱动单元6B使去除单元6A(步骤S106)停止移动。接着，停止从液供给孔610供给冲洗液(步骤S107)，结束图7的流程图。

在这样构成的第二实施方式中，刮除器61B在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动时，利用喷洒器61A和喷洒器61C事先扩散的冲洗液Lb能够进入狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

特别在第二实施方式中，设置于喷洒器61A与刮除器61B之间的喷洒器61C与狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26隔开间隔ΔA2并且与唇部24的排出口21和倾斜面26相对。通过将该喷洒器61C向清扫方向Dc移动，进一步扩散利用喷洒器61A扩散的冲洗液Lb。在该结构中，因为例如喷洒器61A的移动速度快，所以即使在喷洒器61A难以将从液供给孔610供给到的冲洗液Lb扩散至倾斜面26的上部的情况下，也能够通过接下来的喷洒器61C将冲洗液Lb扩散至倾斜面26的上部。因此，刮除器61B在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动之前，能够在唇部24的倾斜面26上更广范(上部)地扩散冲洗液Lb。因此，在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动刮除器61B时，冲洗液Lb能够进入刮除器61B与狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26之间的范围更广，发挥润滑剂的作用。因此，能够更加可靠地抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

如上所述，在上述实施方式中，喷嘴清扫装置6相当于本发明的“喷嘴清扫装置”的一例，喷洒器61A相当于本发明的“第一相对构件”的一例，刮除器61B相当于本发明的“抵接构件”的一例，驱动单元6B相当于本发明的“移动部”的一例，清扫方向Dc相当于本发明的“移动方向”的一例，狭缝喷嘴2相当于本发明的“喷嘴”的一例，唇部24相当于本发明的“前端部”的一例，排出口21相当于本发明的“排出口”的一例，倾斜面26相当于本发明的“侧面”的一例，涂覆装置1相当于本发明的“涂覆装置”的一例。此外，冲洗液供给单元6E相当于本发明的“冲洗液供给部”的一例，液供给孔610相当于本发明的“液供给孔”的一例，喷洒器61C相当于本发明的“第二相对构件”的一例，支撑部62相当于本发明的“支撑部”的一例。

需要说明的是，本发明不限于上述的实施方式，在不脱离其宗旨的情况下能够进行上述以外的各种变更。例如，向唇部24供给冲洗液的具体结构不限于从喷洒器61A的液供给孔610排出冲洗液的方式。因此，例如能够对第二实施方式进行以下变形。即，第二实施方式中的喷洒器61A兼备供给冲洗液作用和扩散冲洗液的作用。对此，在该变形例中，喷洒器61A能够被置换成仅具有供给冲洗液作用的构件(冲洗液供给构件)。具体地，在喷洒器61C的清扫方向Dc的下游侧(换言之，第二实施方式的喷洒器61A的配置位置)，设置管状的冲洗液供给管(冲洗液供给构件)，该冲洗液供给管的前端与唇部24的倾斜面26a、26b相对，冲洗液供给单元6E向唇部24的倾斜面26a、26b供给从冲洗液供给管排出的冲洗液。在该变形例中，冲洗液供给管的前端随着去除单元6A向清扫方向Dc移动并且向唇部24的倾斜面26排出冲洗液，利用位于比冲洗液供给管的前端靠近清扫方向Dc的上游侧的喷洒器61C(第一相对构件)，在倾斜面26上扩散冲洗液Lb。

此外，在上述实施方式中，将冲洗液Lb用作在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上扩散的液体。但是，能够用作在倾斜面26上扩散对象的液体不限于冲洗液Lb。因此，如下述的变形例那样，也可以在唇部24的倾斜面26上扩散涂覆液La。

在该变形例中，在图7的流程图的步骤S102，从排出口21排出比第一实施方式中的排出量多的涂覆液La。具体地，在以下步骤S103中，涂覆液La以比狭缝喷嘴2下降时的狭缝喷嘴2的前端面25与喷洒器61A之间的间隔更宽的凸出宽度，从狭缝喷嘴2的前端面25向下方凸出。然后，在步骤S103中狭缝喷嘴2下降后，省略步骤S104的开始供给冲洗液，步骤S105的去除单元6A(构件移动动作)的驱动开始。需要说明的是，在该变形例中，由于不使用冲洗液Lb，因此喷洒器61A不具有液供给孔610。

在该变形例的构件移动动作中，随着喷洒器61A的移动而进入狭缝喷嘴2的前端面25与喷洒器61A之间的涂覆液La，从狭缝喷嘴2的前端面25与喷洒器61A之间被挤向侧方而进入狭缝喷嘴2的倾斜面26与喷洒器61A的倾斜面615之间。这样，喷洒器61A将附着于狭缝喷嘴2的唇部24的涂覆液La在唇部24的倾斜面26上扩散并且向清扫方向Dc移动。然后，刮除器61B从唇部24的倾斜面26去除利用喷洒器61A扩散的涂覆液La。此时，利用喷洒器61A扩散的涂覆液La，通过毛细管现象进入刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间的微小间隙。这样，涂覆液La充满刮除器61B的倾斜面615与唇部24的倾斜面26之间，从而缓和其间产生的摩擦力。

在以上的变形例中，刮除器61B在狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26上滑动时，利用喷洒器61A事先扩散的涂覆液La能够进入狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间，发挥润滑剂的作用。结果，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

而且，在构件移动动作开始前从狭缝喷嘴2的排出口21排出涂覆液La，喷洒器61A在构件移动动作的执行中，将从排出口21的排出的涂覆液La在唇部24的倾斜面26上扩散。在该结构中，从狭缝喷嘴2的排出口21排出的涂覆液La能够进入狭缝喷嘴2的唇部24的倾斜面26与刮除器61B之间，发挥润滑剂的作用。因此，能够抑制为了清扫狭缝喷嘴2而在狭缝喷嘴2上滑动的刮除器61B的磨损。

除了上述的变形例以外，还可以进行各种变形。例如，在上述第一实施方式和第二实施方式的清扫处理中，设置有从狭缝喷嘴2的排出口21排出涂覆液La的步骤S102。但是，也可以省略该步骤S102。

另外，在第一实施方式中，喷洒器61A和刮除器61B向清扫方向Dc一体地移动。但是，喷洒器61A和刮除器61B也可以各自独立地向清扫方向Dc移动。对第二实施方式也可以进行同样的变形。

另外，喷洒器61A和刮除器61B不限于具有相同的外形，喷洒器61A和喷洒器61C也不限于具有相同的外形。

也可以适当变更喷洒器61A、刮除器61B或喷洒器61C与狭缝喷嘴2的唇部24之间的间隔。因此，在第二实施方式中，喷洒器61C与唇部24之间的间隔ΔA2也可以比喷洒器61A与唇部24之间的间隔ΔA2窄或宽。

另外，也可以适当变更喷洒器61A、刮除器61B或喷洒器61C的材料。

本发明能够适用于去除喷嘴上附着的附着物的有关喷嘴清扫的所有技术。

Claims (9)

1.一种喷嘴清扫装置，其中，包括：

第一相对构件，能够在与喷嘴的前端部的侧面隔开间隔并且与上述前端部的排出口和上述侧面相对的状态下，向沿上述喷嘴的上述排出口的移动方向移动，上述喷嘴从上述前端部的前端的前端面上设置的上述排出口排出涂覆液；

抵接构件，在上述第一相对构件的上述移动方向的上游侧，能够在与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面抵接的状态下向上述移动方向移动；以及

移动部，在上述喷嘴从上述排出口排出涂覆液后，执行将上述第一相对构件向上述移动方向移动，从而利用上述第一相对构件将从上述前端面和上述第一相对构件之间进入上述前端部的上述侧面和上述第一相对构件之间并附着于上述前端部的涂覆液在上述侧面扩散，并且将上述抵接构件向上述移动方向移动，从而利用上述抵接构件从上述侧面去除在上述侧面扩散的涂覆液的构件移动动作。

2.一种喷嘴清扫装置，其中，包括：

第一相对构件，能够在与喷嘴的前端部的侧面隔开间隔并且与上述前端部的排出口和上述侧面相对的状态下，向沿上述喷嘴的上述排出口的移动方向移动，上述喷嘴从上述前端部的前端的前端面上设置的上述排出口排出涂覆液；

抵接构件，在上述第一相对构件的上述移动方向的上游侧，能够在与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面抵接的状态下向上述移动方向移动；

冲洗液供给部，向上述喷嘴的上述前端部供给冲洗液；以及

移动部，执行将上述第一相对构件向上述移动方向移动，从而利用上述第一相对构件将由上述冲洗液供给部供给的液面维持在上述前端面的上方的附着于上述前端部的上述侧面的冲洗液在上述侧面扩散，并且将上述抵接构件向上述移动方向移动，从而利用上述抵接构件从上述侧面去除在上述侧面扩散的冲洗液的构件移动动作。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清扫装置，其中，

上述冲洗液供给部从设置于上述第一相对构件的液供给孔，向上述第一相对构件与上述喷嘴的上述前端部之间供给冲洗液；

在上述构件移动动作的执行中，上述第一相对构件将从上述液供给孔供给的冲洗液在上述侧面上扩散。

4.根据权利要求3所述的喷嘴清扫装置，其中，还包括：

第二相对构件，在上述移动方向的上述第一相对构件与上述抵接构件之间，能够在与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面隔开间隔并且与上述前端部的上述排出口和上述侧面相对的状态下向上述移动方向移动；

上述移动部通过在上述构件移动动作中将上述第二相对构件向上述移动方向移动，从而利用上述第二相对构件将利用上述第一相对构件在上述侧面扩散的冲洗液在上述侧面进一步扩散。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的喷嘴清扫装置，其中，包括：

支撑部，将上述第一相对构件和上述抵接构件不仅一体地支撑并且朝向上述喷嘴的上述前端部施加力；

在上述抵接构件借助上述支撑部施加的力抵接于上述喷嘴的上述前端部的上述侧面的状态下，规定上述第一相对构件与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面之间的间隔。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的喷嘴清扫装置，其中，

上述抵接构件是弹性体，上述第一相对构件是比上述抵接构件硬的硬质体。

7.一种涂覆装置，其中，包括：

喷嘴，从设置于前端部前端的排出口排出涂覆液；以及

根据权利要求1至6中任一项所述的喷嘴清扫装置。

8.一种喷嘴清扫方法，其中，包括：

向从前端部前端的前端面上设置的排出口排出涂覆液的喷嘴的上述前端部附着涂覆液的工序；

通过将与上述喷嘴的上述前端部的侧面隔开间隔并且与上述前端部的上述排出口和上述侧面相对的第一相对构件向沿上述排出口的移动方向移动，从而利用上述第一相对构件将从上述前端面和上述第一相对构件之间进入上述前端部的上述侧面和上述第一相对构件之间并附着于上述前端部的涂覆液在上述侧面扩散的工序；以及

通过将在上述第一相对构件的上述移动方向的上游侧与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面抵接的抵接构件向上述移动方向移动，从而利用上述抵接构件从上述侧面去除在上述侧面扩散的涂覆液的工序。

9.一种喷嘴清扫方法，其中，包括：

向从前端部前端的前端面上设置的排出口排出涂覆液的喷嘴的上述前端部附着冲洗液的工序；

通过将与上述喷嘴的上述前端部的侧面隔开间隔并且与上述前端部的上述排出口和上述侧面相对的第一相对构件向沿上述排出口的移动方向移动，从而利用上述第一相对构件将液面维持在上述前端面的上方的附着于上述前端部的上述前端面的冲洗液在上述侧面扩散的工序；以及

通过将在上述第一相对构件的上述移动方向的上游侧与上述喷嘴的上述前端部的上述侧面抵接的抵接构件向上述移动方向移动，从而利用上述抵接构件从上述侧面去除在上述侧面扩散的冲洗液的工序。

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