JP7197525B2 - ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー - Google Patents
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Description
本願明細書に開示される技術は、ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパーに関するものである。
従来から、基板に対して塗布液を塗布するために、塗布液をスリット状の吐出口から吐出するスリットノズルが一般に用いられている。このようなスリットノズルでは、吐出口に残存する塗布液などの付着物を除去するために、スリットノズルの吐出口に沿って移動可能な清掃部材を用いて付着物を除去する処理が行われる（たとえば、特許文献１を参照）。
吐出口の清掃部材としては、吐出口の形状に対して追従可能なゴム製の部材が用いられることが多いが、ゴム製の部材では摺動による摩耗が顕著であり清掃部材の交換頻度が高くなる。一方で、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの硬質の材料を用いると、摺動による摩耗は抑制されるものの、吐出口の形状に対する追従性が低下し、付着物を十分に除去することができない場合がある。
本願明細書に開示される技術は、以上に記載されたような問題を鑑みてなされたものであり、ノズルの清掃部材において、摺動による摩耗を抑制しつつ、ノズルの吐出口に対する追従性の低下を抑制するための技術である。
本願明細書に開示される技術の第１の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃装置であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材と、前記ノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる移動機構とを備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である。
本願明細書に開示される技術の第２の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃装置であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材と、前記ノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる移動機構とを備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第２の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃装置であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材と、前記ノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる移動機構とを備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第３の態様は、第１または２の態様に関連し、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第４の態様は、第１から３のうちのいずれか１つの態様に関連し、前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である。
本願明細書に開示される技術の第５の態様は、第３の態様に関連し、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第６の態様は、第１から５のうちのいずれか１つの態様に関連し、前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つは、ロックウェル硬度Ｒ１１０以上かつＲ１３０以下であり、かつ、曲げ強度３０以上かつ５０以下である。
本願明細書に開示される技術の第７の態様は、第１から６のうちのいずれか１つの態様に関連し、前記第１の方向において、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーのうちの少なくとも１つを複数備える。
本願明細書に開示される技術の第８の態様は、第１から７のうちのいずれか１つの態様に関連し、前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面と前記スリットノズルの端部とのなす角が鈍角である。
本願明細書に開示される技術の第９の態様は、第１から８のうちのいずれか１つの態様に関連し、前記第３の薄板部材は、前記第１の薄板部材および前記第２の薄板部材よりも、前記ノズル清掃部材が移動する方向における上流側に位置する。
本願明細書に開示される技術の第１０の態様は、スリット状の吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルと、上記のノズル清掃装置とを備える。
本願明細書に開示される技術の第１１の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃方法であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる工程を備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である。
本願明細書に開示される技術の第１２の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃方法であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる工程を備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第１２の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃方法であり、前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる工程を備え、前記ノズル清掃部材は、第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第１３の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って移動して清掃するためのスクレーパーであり、本体部と、前記本体部から延び、かつ、前記吐出口が延びる方向と交差する方向から前記スリットノズルの端部に接触可能な薄板部材とを備え、前記薄板部材の前記第１の方向を向く面の対応する前記本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である。
本願明細書に開示される技術の第１４の態様は、スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するためのスクレーパーであり、本体部と、前記本体部から延び、かつ、前記吐出口が延びる方向と交差する方向から前記スリットノズルの端部に接触可能な薄板部材とを備え、前記薄板部材の厚さは、前記本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。
本願明細書に開示される技術の第１から１２の態様によれば、スリットノズルの清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、それぞれの本体部から延びる薄板部材によってスリットノズルの端部に対する追従性の低下を抑制することができる。
本願明細書に開示される技術の第１３および１４の態様によれば、スリットノズルの清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、本体部から延びる薄板部材によってスリットノズルの端部に対する追従性の低下を抑制することができる。
また、本願明細書に開示される技術に関連する目的と、特徴と、局面と、利点とは、以下に示される詳細な説明と添付図面とによって、さらに明白となる。
以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。以下の実施の形態では、技術の説明のために詳細な特徴なども示されるが、それらは例示であり、実施の形態が実施可能となるためにそれらすべてが必ずしも必須の特徴ではない。
なお、図面は概略的に示されるものであり、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化が図面においてなされるものである。また、異なる図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は、必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。
また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。
また、以下に記載される説明において、ある構成要素を「備える」、「含む」または「有する」などと記載される場合、特に断らない限りは、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
また、以下に記載される説明において、「第１の」または「第２の」などの序数が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、これらの序数によって生じ得る順序などに限定されるものではない。
また、以下に記載される説明における、「対象物を特定の方向に移動させる」などの表現は、特に断らない限りは、対象物を当該特定の方向と平行に移動させる場合、および、対象物を当該特定の方向の成分を有する方向に移動させる場合を含むものとする。
また、以下に記載される説明において、「上」、「下」、「左」、「右」、「側」、「底」、「表」または「裏」などの特定の位置または方向を意味する用語が用いられる場合があっても、これらの用語は、実施の形態の内容を理解することを容易にするために便宜上用いられるものであり、実際に実施される際の位置または方向とは関係しないものである。
＜第１の実施の形態＞
以下、本実施の形態に関する塗布装置、ノズル清掃装置、スクレーパー、および、ノズル清掃方法について説明する。
以下、本実施の形態に関する塗布装置、ノズル清掃装置、スクレーパー、および、ノズル清掃方法について説明する。
＜塗布装置の構成について＞
図１は、本実施の形態に関するノズル清掃装置を含む塗布装置を模式的に示す斜視図である。また、図２は、図１に例が示される塗布装置を模式的に示す側面図である。また、図３は、図１に例が示される塗布装置を模式的に示す上面図である。なお、図２および図３では、ノズル支持体などの一部の構成が省略されている。
図１は、本実施の形態に関するノズル清掃装置を含む塗布装置を模式的に示す斜視図である。また、図２は、図１に例が示される塗布装置を模式的に示す側面図である。また、図３は、図１に例が示される塗布装置を模式的に示す上面図である。なお、図２および図３では、ノズル支持体などの一部の構成が省略されている。
塗布装置１は、スリットノズル２を用いて基板３の上面３１に塗布液を塗布するスリットコータと呼ばれる塗布装置である。
塗布装置１は、その塗布液として、耐エッチング被膜とすべきフォトレジスト液、カラーフィルター用のフォトレジスト液、ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）を含む液、シリコン、ナノメタルインクまたは導電性材料を含むスラリー（ペースト）などの、種々の塗布液を用いることが可能である。
また、塗布対象となる基板３についても、液晶表示装置用ガラス基板、半導体基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板などの精密電子装置用基板、矩形ガラス基板、フィルム液晶用フレキシブル基板、または、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）用基板などの種々の基板に適用可能である。
なお、「基板３の上面３１」とは、基板３の両主面のうち塗布液が塗布される側の主面を意味する。
塗布装置１は、基板３を水平姿勢で吸着保持可能なステージ４と、ステージ４に保持される基板３にスリットノズル２を用いて塗布処理を施す塗布処理部５と、塗布処理に先立ってスリットノズル２に対してクリーニング処理を施すノズル清掃装置６（図２および図３を参照）と、これらの構成の動作を制御する制御部８とを備える。
制御部８は、内部または外部の記憶媒体（ＨＤＤ、ＲＡＭ、ＲＯＭまたはフラッシュメモリなどの、揮発性または不揮発性のメモリなど）に記憶されたプログラムを実行することによって制御対象を制御するものであり、たとえば、中央演算処理装置（ｃｅｎｔｒａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ｕｎｉｔ、すなわち、ＣＰＵ）、マイクロプロセッサまたはマイクロコンピュ－タなどで構成される。
図４は、スリットノズル２をＸ軸方向から見た場合の側面図である。スリットノズル２は、Ｘ軸方向に延びる長尺スリット状の開口部である吐出口２１を有する。吐出口２１はＸ軸方向においてスリットノズル２の全長よりも短く、スリットノズル２のＸ軸方向の両端では吐出口２１が開口しない。
スリットノズル２は、ステージ４に保持されている基板３の上面３１に向けて吐出口２１から塗布液を吐出可能である。具体的には、スリットノズル２は、ノズル支持体５１（図１を参照）によって固定支持される基部２２と、図示しない供給機構から供給される塗布液を吐出口２１まで送液する内部流路２３と、基部２２の下方に突出するリップ部２４とを有する。
リップ部２４は、基部２２の下方に突出する先端（下端）に設けられる平坦状の先端面２５と、先端面２５と基部２２とを結ぶ、＋Ｙ側に形成される斜面である傾斜面２６ａと、先端面２５と基部２２とを結ぶ、－Ｙ側に形成される斜面である傾斜面２６ｂとを有する。以下では、傾斜面２６ａと傾斜面２６ｂとを区別しない場合に、単に傾斜面２６と称することがある。
このようにリップ部２４はその長手方向であるＸ軸方向からの側面視において先細りの凸形状を有し、凸形状の先端（下端）に吐出口２１が設けられ、凸形状のそれぞれの側面が傾斜面２６となっている。
このように構成されたスリットノズル２に、図示しない供給機構から塗布液が供給されると、塗布液は内部流路２３を通じてスリットノズル２の長手方向（Ｘ軸方向）に均等に拡散されて送液され、さらに、リップ部２４の先端面２５に設けられた吐出口２１から下方に向けて吐出される。
上記のように、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液を吐出しつつ基板３に対する塗布動作を実行すると、スリットノズル２の吐出口２１の周囲部分（リップ部２４）には、塗布液が付着することがある。付着した塗布液は乾燥して残渣となり、これを放置すると、塗布液の良好な吐出の妨げ、または、基板３に形成される膜の汚れの原因となる場合がある。
そこで、塗布装置１では、上記のような吐出口２１の周囲部分（リップ部２４）における付着物（付着液）を除去するクリーニング処理を、ノズル清掃装置６によって行う。
図１、図２および図３に例が示されるステージ４は、略直方体の形状を有する花崗岩などの石材で構成される。ステージ４は、その上面（＋Ｚ側の面）のうち－Ｙ側の領域には、略水平な平坦面に加工されて基板３を保持する保持面４１を備える。保持面４１には、図示しない多数の真空吸着口が分散して形成されている。これらの真空吸着口によって基板３が吸着されることで、塗布処理の際に基板３があらかじめ定められた位置に略水平状態に保持される。なお、基板３の保持態様はこれに限定されるものではなく、たとえば、機械的に基板３を保持するようにステージ４が構成されていてもよい。
また、ステージ４は、保持面４１が占有する領域よりも＋Ｙ側の領域において、ノズル調整領域１００を備える。ノズル調整領域１００には、ノズル清掃装置６（図２および図３を参照）が配置されている。
塗布装置１では、スリットノズル２をＹ軸方向に移動させる後述の移動機構が塗布処理部５に設けられており、当該移動機構によって、保持面４１の上方とノズル調整領域１００の上方との間でスリットノズル２を往復移動させることができる。
そして、スリットノズル２がノズル調整領域１００の上方に移動している期間、すなわち、ステージ４において保持面４１が占有する領域の上方にスリットノズル２がない期間に、先に塗布処理がなされた基板３の搬出と、これから塗布処理がなされる基板３の搬入とがステージ４上で行われる。一方、スリットノズル２が保持面４１の上方を移動している間に、保持面４１における基板３の上面３１にスリットノズル２から塗布液が塗布される。
塗布処理部５の移動機構は、主としてステージ４の上方をＸ軸方向に横断してスリットノズル２を支持するブリッジ構造のノズル支持体５１と、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール５２に沿ってノズル支持体５１およびこれに支持されるスリットノズル２を水平移動させるスリットノズル移動部５３とを有する。
ノズル支持体５１は、スリットノズル２を固定する固定部材５１ａと、固定部材５１ａを支持するとともに固定部材５１ａを昇降させる２つの昇降機構５１ｂとを有する。なお、固定部材５１ａは、Ｘ軸方向を長手方向とするカーボンファイバー補強樹脂などの断面矩形の棒状部材で構成される。
２つの昇降機構５１ｂは固定部材５１ａの長手方向の両端部に連結されており、それぞれＡＣサーボモータおよびボールネジなどを有する。これらの昇降機構５１ｂによって、固定部材５１ａおよび固定部材５１ａに固定されたスリットノズル２が鉛直方向（Ｚ軸方向）に昇降され、スリットノズル２の吐出口２１と基板３との間隔、すなわち、基板３に対する吐出口２１の相対的な高さが調整される。
なお、固定部材５１ａの鉛直方向の位置は、たとえば、昇降機構５１ｂの側面に設けられるスケール部と、当該スケール部に対向してスリットノズル２の側面などに設けられる検出センサーとで構成されるリニアエンコーダ（ここでは、図示しない）によって検出することができる。
このように構成されたノズル支持体５１は、図１に例が示されるように、ステージ４の左右両端部をＸ軸方向に沿って掛け渡し、保持面４１を跨ぐ架橋構造である。スリットノズル移動部５３は、架橋構造であるノズル支持体５１とノズル支持体５１に保持されるスリットノズル２とを、ステージ４上に保持される基板３に対してＹ軸方向に沿って相対移動させる。
具体的には、スリットノズル移動部５３は、±Ｘ側のそれぞれにおいてスリットノズル２の移動をＹ軸方向に案内するガイドレール５２と、駆動源であるリニアモータ５４と、スリットノズル２の吐出口の位置を検出するためのリニアエンコーダ５５とを有する。
２つのガイドレール５２は、図１および図２に例が示されるように、ステージ４のＸ軸方向の両端部において、ノズル洗浄位置Ｙ１（すなわち、ノズル清掃装置６の配設位置）から塗布終了位置Ｙ３（すなわち、保持面４１の－Ｙ側の端部位置）までの区間を含むように、Ｙ軸方向に沿って延びている。そのため、スリットノズル移動部５３によって２つの昇降機構５１ｂの下端部が２つのガイドレール５２に沿って案内されることで、スリットノズル２は、ノズル洗浄位置Ｙ１とステージ４上に保持される基板３に対向する位置との間を移動することができる。
なお、図２においては、ノズル洗浄位置Ｙ１および塗布終了位置Ｙ３以外にも、塗布開始位置Ｙ２が示されている。塗布開始位置Ｙ２は、図３に例が示される基板３の塗布領域ＲＴの、＋Ｙ側の端部に対応する塗布開始位置Ｙ２に相当する。
また、それぞれのリニアモータ５４は、固定子５４ａと移動子５４ｂとを有するＡＣコアレスリニアモータである。固定子５４ａは、ステージ４のＸ軸方向の両側面においてＹ軸方向に沿って設けられている。一方で、移動子５４ｂは、昇降機構５１ｂの外側に設けられている。リニアモータ５４は、固定子５４ａと移動子５４ｂとの間に生じる磁力によって駆動する、スリットノズル移動部５３の駆動源として機能する。
また、リニアエンコーダ５５はそれぞれ、スケール部５５ａと検出部５５ｂとを有している。スケール部５５ａは、ステージ４に設けられたリニアモータ５４の固定子５４ａの下部において、Ｙ軸方向に沿って設けられている。一方で、検出部５５ｂは、昇降機構５１ｂに設けられたリニアモータ５４の移動子５４ｂのさらに外側に設けられ、かつ、スケール部５５ａに対向配置される。
リニアエンコーダ５５は、スケール部５５ａと検出部５５ｂとの相対的な位置関係に基づいて、Ｙ軸方向におけるスリットノズル２の吐出口２１の位置を検出する。
以上のような構成によって、スリットノズル２は、基板３が保持される保持面４１の上部空間を、保持面４１に対して相対的にＹ軸方向へ略水平に移動可能となっている。そして、塗布装置１は、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液を吐出しながらスリットノズル２を上記のように相対移動させることで、保持面４１で保持された基板３の上面３１に塗布層を形成することができる。
なお、基板３のそれぞれの辺の端部から所定の幅の領域（額縁状の領域）は、塗布液の塗布対象とならない非塗布領域となっている。そして、基板３のうち、非塗布領域を除く矩形領域が、塗布液が塗布されるべき領域である塗布領域ＲＴとなっている（図３を参照）。
このため、スリットノズル２の移動可能な区間のうち、基板３の塗布領域ＲＴのＹ軸方向の範囲に対応する、塗布開始位置Ｙ２（塗布領域ＲＴの＋Ｙ側の端部）から塗布終了位置Ｙ３（塗布領域ＲＴの－Ｙ側の端部）までの区間で、吐出口２１から塗布液が吐出される。
また、塗布装置１と外部搬送機構との間での基板３の受け渡し期間（すなわち、基板３の搬入搬出期間）などのステージ４上で塗布処理が行われない期間には、スリットノズル２は、基板３の保持面４１から＋Ｙ側に外れる領域であるノズル調整領域１００に待避され（図１に例が示される状態に相当）、スリットノズル２は、ノズル清掃装置６によってクリーニング処理を受ける。
＜ノズル清掃装置の構成について＞
図５は、本実施の形態に関するノズル清掃装置の構成の例を示す側面図である。また、図６は、ノズル清掃装置に用いられるノズル清掃部材の構成の例を示す斜視図である。
図５は、本実施の形態に関するノズル清掃装置の構成の例を示す側面図である。また、図６は、ノズル清掃装置に用いられるノズル清掃部材の構成の例を示す斜視図である。
ノズル清掃装置６は、リップ部２４に付着する付着物を除去する除去ユニット６Ａと、除去ユニット６Ａを清掃方向１０１（すなわち、スリットノズル２の吐出口２１が延びる方向）に移動させるための駆動ユニット６Ｂとを有する。除去ユニット６Ａは、スリットノズル２のリップ部２４に沿う清掃方向１０１へノズル清掃部材６１を伴って移動することで、リップ部２４に付着する付着物を除去する。
ここで、駆動ユニット６Ｂは、除去ユニット６ＡをＸ軸方向へ往復移動させる（すなわち、清掃方向１０１の方向およびその反対方向に移動させる）ことが可能である。また、除去ユニット６Ａによる除去対象となる付着物としては、スリットノズル２のリップ部２４に付着しうる種々の物質が挙げられ、たとえば、塗布液の溶質が乾燥および固化したもの、あらかじめ吐出された塗布液自体、または、ノズル清掃装置６による清掃動作の前にスリットノズル２に対して吐出されたリンス液などがある。たとえば、塗布液がカラーフィルター用のフォトレジストである場合には、塗布液に含まれる顔料が付着物としてスリットノズル２のリップ部２４に付着する。
また、ノズル清掃装置６は、ノズル清掃部材６１を洗浄する洗浄ユニット６Ｃ（図３を参照）を備える。洗浄ユニット６Ｃは、スリットノズル２のリップ部２４に付着する付着物を拭き取って除去した後のノズル清掃部材６１に洗浄液を供給することで、ノズル清掃部材６１に付着している付着物を洗い流す。
除去ユニット６Ａは主として、スリットノズル２のリップ部２４に対応する形状を有するノズル清掃部材６１と、ノズル清掃部材６１を支持する支持台６２とを有する。
リンス液が供給される場合、ノズル清掃部材６１は、スリットノズル２の端部に接触しつつ摺動することによって、スリットノズル２のリップ部２４からリンス液を除去する。これによって、スリットノズル２のリップ部２４の付着物をリンス液とともに除去することができる。すなわち、乾燥して固化した塗布液などの付着物がリップ部２４の傾斜面２６に付着している場合、リンス液が付着物をある程度溶解し、さらに、当該溶解物（付着物）を含むリンス液がノズル清掃部材６１によって除去される。
図６に例が示されるように、ノズル清掃部材６１は、支持台６２によって支持可能なベース部２０１と、ベース部２０１の上面に配置される支持部２０２と、支持部２０２によって一体的に支持されるスクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃとを備える。以下では、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃを区別せずに、単に「スクレーパー２０５」と称する場合がある。
スクレーパー２０５Ａは、支持部２０２に支持される本体部２０３Ａと、本体部２０３Ａからそれぞれ連続的に延びる２つの薄板部材２０４Ａとを有する。なお、図６では、薄板部材２０４Ａが清掃方向１０１において複数配置されているが、薄板部材２０４Ａは１つであってもよい。
薄板部材２０４Ａの本体部２０３Ａと連続する側とは反対側の端面は、リップ部２４の傾斜面２６（たとえば、傾斜面２６ａ）に対し、清掃方向１０１と交差する方向から略平行に接触する。また、薄板部材２０４Ａの２つの主面は、略清掃方向１０１またはその逆方向を向く面である。
また、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１における厚さは、本体部２０３Ａに近づくにつれて厚くなる。なお、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１における厚さは、たとえば、１ｍｍ以上、かつ、２ｍｍ以下である。
薄板部材２０４Ａの略清掃方向１０１（すなわち、ノズル清掃部材６１の移動方向）を向く面とリップ部２４の傾斜面２６（たとえば、傾斜面２６ａ）との間のなす角は、鈍角（たとえば、１２０°）である。また、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１を向く面のうちの本体部２０３Ａと連続する部分は、あらかじめ定められた曲率半径Ｒ（たとえば、曲率半径Ｒが１ｍｍ以上、かつ、５ｍｍ以下）に従って湾曲する曲面である。薄板部材２０４Ａが湾曲する曲面を有することによって、掻き取られた液の液流れ（排液）がスムーズになる。また、薄板部材２０４Ａの先端が撓む際の強度を維持することができる。換言すれば、薄板部材２０４Ａの強度を維持しつつ、その先端を撓ませることができる。
スクレーパー２０５Ｂは、支持部２０２に支持される本体部２０３Ｂと、本体部２０３Ｂからそれぞれ連続的に延びる２つの薄板部材２０４Ｂとを有する。なお、図６では、薄板部材２０４Ｂが清掃方向１０１において複数配置されているが、薄板部材２０４Ｂは１つであってもよい。
薄板部材２０４Ｂの本体部２０３Ｂと連続する側とは反対側の端面は、リップ部２４の反対側の傾斜面２６（たとえば、傾斜面２６ｂ）に対し、清掃方向１０１と交差する方向から略平行に接触する。また、薄板部材２０４Ｂの２つの主面は、略清掃方向１０１またはその逆方向を向く面である。
また、薄板部材２０４Ｂの清掃方向１０１における厚さは、本体部２０３Ｂに近づくにつれて厚くなる。なお、薄板部材２０４Ｂの清掃方向１０１における厚さは、たとえば、１ｍｍ以上、かつ、２ｍｍ以下である。
薄板部材２０４Ｂの略清掃方向１０１を向く面とリップ部２４の反対側の傾斜面２６（たとえば、傾斜面２６ｂ）との間のなす角は、鈍角（たとえば、１２０°）である。また、薄板部材２０４Ｂの清掃方向１０１を向く面のうちの本体部２０３Ｂと連続する部分は、あらかじめ定められた曲率半径Ｒ（たとえば、曲率半径Ｒが１ｍｍ以上、かつ、５ｍｍ以下）に従って湾曲する曲面である。薄板部材２０４Ｂが湾曲する曲面を有することによって、掻き取られた液の液流れ（排液）がスムーズになる。また、薄板部材２０４Ｂの先端が撓む際の強度を維持することができる。換言すれば、薄板部材２０４Ｂの強度を維持しつつ、その先端を撓ませることができる。
スクレーパー２０５Ｃは、支持部２０２に支持される本体部２０３Ｃと、本体部２０３Ｃからそれぞれ連続的に延びる３つの薄板部材２０４Ｃとを有する。なお、図６では、薄板部材２０４Ｃが清掃方向１０１において複数配置されているが、薄板部材２０４Ｃは１つであってもよい。
薄板部材２０４Ｃの本体部２０３Ｃと連続する側とは反対側の端面は、リップ部２４の先端面２５に対し、清掃方向１０１と交差する方向から略平行に接触する。また、薄板部材２０４Ｃの２つの主面は、略清掃方向１０１またはその逆方向を向く面である。
また、薄板部材２０４Ｃの清掃方向１０１における厚さは、本体部２０３Ｃに近づくにつれて厚くなる。なお、薄板部材２０４Ｃの清掃方向１０１における厚さは、たとえば、１ｍｍ以上、かつ、２ｍｍ以下である。
薄板部材２０４Ｃの略清掃方向１０１を向く面とリップ部２４の反対側の傾斜面２６（たとえば、傾斜面２６ｂ）との間のなす角は、鈍角（たとえば、１２０°）である。また、薄板部材２０４Ｃの清掃方向１０１を向く面のうちの本体部２０３Ｃと連続する部分は、あらかじめ定められた曲率半径Ｒ（たとえば、曲率半径Ｒが１ｍｍ以上、かつ、５ｍｍ以下）に従って湾曲する曲面である。薄板部材２０４Ｃが湾曲する曲面を有することによって、掻き取られた液の液流れ（排液）がスムーズになる。また、薄板部材２０４Ｃの先端が撓む際の強度を維持することができる。換言すれば、薄板部材２０４Ｃの強度を維持しつつ、その先端を撓ませることができる。
また、複数備えられるうちの少なくとも１つの薄板部材２０４Ｃは、薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂよりも清掃方向１０１の上流側（すなわち、清掃方向１０１に進む除去ユニット６Ａにおける後方側）に位置する。また、薄板部材２０４Ｃの清掃方向１０１と交差する方向における幅は、本体部２０３Ｃから離れるにつれて狭くなる。
それぞれのスクレーパー２０５は、たとえば、樹脂製のＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）またはＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などで形成される。または、それぞれのスクレーパー２０５は、たとえば、ロックウェル硬度Ｒ１１０以上、かつ、Ｒ１３０以下であり、望ましくは、ロックウェル硬度Ｒ１２０である。または、それぞれのスクレーパー２０５は、曲げ強度３０以上、かつ、５０以下であり、望ましくは、曲げ強度４１である。
支持部２０２は、本体部２０３Ａ、本体部２０３Ｂおよび本体部２０３Ｃの間の相対的な位置関係が固定されるように支持するが、本体部２０３Ａ、本体部２０３Ｂおよび本体部２０３Ｃのそれぞれは、支持部２０２に対する位置が調整可能である。支持部２０２が本体部２０３Ａ、本体部２０３Ｂおよび本体部２０３Ｃを一体的に支持する場合には、複数のスクレーパー２０５の位置調整を同時に行うことができるため、位置調整が簡素化する。
特に、本体部２０３Ａおよび本体部２０３Ｂは、支持部２０２にネジおよびボルトなどを介して連結され、かつ、支持部２０２に対してＹ軸方向に揺動可能に支持される。
上記のような構成であるノズル清掃部材６１は、ボルトなどによって支持台６２に着脱自在に固定される。
図５に示される支持台６２は、ノズル清掃部材６１のベース部２０１の下方に土台６２Ａを有する。そして、ノズル清掃部材６１のベース部２０１は土台６２Ａによって昇降可能に支持されている。すなわち、支持台６２では、土台６２Ａの上面からＺ軸方向に延びて設けられたガイドレール６２Ｂと、土台６２Ａとベース部２０１との間に設けられた付勢部材６２Ｃ（たとえば、圧縮バネ）とが設けられている。
そして、ガイドレール６２Ｂがベース部２０１の移動をＺ軸方向に案内しつつ、付勢部材６２Ｃが土台６２Ａに対してベース部２０１を上方へ付勢する。そのため、ベース部２０１を含むノズル清掃部材６１は、付勢部材６２Ｃの付勢力により上方へ付勢される。
また、支持台６２の土台６２Ａは、駆動ユニット６Ｂに取り付けられている。駆動ユニット６Ｂは、Ｘ軸方向においてスリットノズル２の両外側に配置された一対のローラ６５１Ａおよびローラ６５１Ｂと、ローラ６５１Ａおよびローラ６５１Ｂに掛け渡された無端ベルト６５２とを有する。そして、無端ベルト６５２の上面には、支持台６２の土台６２Ａが取り付けられている。
このように構成された駆動ユニット６Ｂは、ローラ６５１Ａおよびローラ６５１Ｂを回転させて無端ベルト６５２の上面をＸ軸方向へ駆動して、支持台６２に伴ってノズル清掃部材６１をＸ軸方向（具体的には、清掃方向１０１）へ移動させる。
そして、以上のように構成されたノズル清掃装置６は、ノズル洗浄位置Ｙ１に位置するスリットノズル２のリップ部２４にノズル清掃部材６１を下方から近接させつつノズル清掃部材６１を清掃方向１０１に移動させることで、スリットノズル２のリップ部２４をクリーニングする。
＜ノズル清掃装置の動作について＞
図７は、ノズル清掃装置が行うクリーニング処理の例を示すフローチャートである。図７のフローチャートは、制御部８が塗布装置１のそれぞれの作動部を制御することによって実行される。
図７は、ノズル清掃装置が行うクリーニング処理の例を示すフローチャートである。図７のフローチャートは、制御部８が塗布装置１のそれぞれの作動部を制御することによって実行される。
まず、駆動ユニット６Ｂによる駆動によって、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に移動する（図７のステップＳＴ１０１）。清掃開始位置Ｐ１は、スリットノズル２のリップ部２４の清掃方向１０１の上流端部２０Ａに対応して設定されており、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に位置する状態において、ノズル清掃部材６１は、リップ部２４の上流端部２０Ａに下方から対向する（図５と同様の位置）。
なお、吐出口２１はＸ軸方向においてスリットノズル２のリップ部２４の全長より短いため、スリットノズル２のＸ軸方向の両端、すなわち、清掃方向１０１の上流端部２０Ａおよび下流端部２０Ｂのそれぞれでは吐出口２１が開口しない。すなわち、ステップＳＴ１０１では、スリットノズル２のリップ部２４のうち、吐出口２１よりも清掃方向１０１の上流側の上流端部２０Ａにノズル清掃部材６１が対向する。
また、ステップＳＴ１０１においては、スリットノズル２は上方位置に位置しており、リップ部２４の上流端部２０Ａと、これに対向するノズル清掃部材６１とはＺ軸方向に離間している。
清掃開始位置Ｐ１への除去ユニット６Ａの移動が完了すると、次に、スリットノズル２は吐出口２１からあらかじめ定められた量の塗布液を吐出する（図７のステップＳＴ１０２）。ここでの塗布液の吐出は、クリーニング処理に続いて実行される塗布処理の前に吐出口２１の全域を塗布液で満たすことを目的としているが、当該吐出は必須ではない。
次に、上方位置より低い下方位置へスリットノズル２が下降する（図７のステップＳＴ１０３）。スリットノズル２が下降を開始すると、スリットノズル２のリップ部２４とノズル清掃部材６１との間の間隔が狭くなり、薄板部材２０４Ａの本体部２０３Ａと連続する側とは反対側の端面および薄板部材２０４Ｂの本体部２０３Ｂと連続する側とは反対側の端面が、リップ部２４の２つの傾斜面２６に接触する。また、薄板部材２０４Ｃの本体部２０３Ｃと連続する側とは反対側の端面が、リップ部２４の先端面２５に接触する。
そして、スリットノズル２はさらに下降し、付勢部材６２Ｃの付勢力に抗してノズル清掃部材６１を下方へ押し下げる。よって、付勢部材６２Ｃの付勢力によって、薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂの端面がリップ部２４の２つの傾斜面２６に押し付けられる。また、付勢部材６２Ｃの付勢力によって、薄板部材２０４Ｃの端面がリップ部２４の先端面２５に押し付けられる。
続いて、駆動ユニット６Ｂが清掃方向１０１へ除去ユニット６Ａを駆動することで、ノズル清掃部材６１を清掃方向１０１へ移動させる（ステップＳＴ１０４）。
リップ部２４に対して薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃのそれぞれの端面が接触しながら清掃方向１０１に移動するノズル清掃部材６１は、スリットノズル２の吐出口２１から下方に吐出された塗布液を掻き取って、吐出口２１を満たす塗布液の下部を清掃方向１０１に沿って均す。
そして、除去ユニット６Ａが清掃終了位置Ｐ２に到達して、ノズル清掃部材６１がスリットノズル２よりも清掃方向１０１の下流側に移動すると、駆動ユニット６Ｂが除去ユニット６Ａを停止させる（ステップＳＴ１０５）。
図８は、上記の工程のうちのステップＳＴ１０４における、傾斜面２６ａと薄板部材２０４Ａとが接触して付着物（たとえば、スリットノズル２に付着していて乾燥固化した後の塗布液が、潤滑用の塗布液に溶解したもの）を除去する場合の詳細を示す図である。なお、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃがリップ部２４と接触する態様もほぼ同様である。
図８に例が示されるように、薄板部材２０４Ａの本体部２０３Ａと連続する側とは反対側の端面２１４Ａは、リップ部２４の傾斜面２６ａに対し、清掃方向１０１と交差する方向１０１Ａから略平行に接触する。
また、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１における厚さは、本体部２０３Ａに近づくにつれて厚くなる。特に、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１を向く面２２４Ａのうちの本体部２０３Ａと連続する部分の面２３４Ａは、あらかじめ定められた曲率半径Ｒに従って湾曲する曲面である。また、面２２４Ａと傾斜面２６ａとの間のなす角θは、鈍角である。
上記のように傾斜面２６ａと薄板部材２０４Ａとが接触した状態でノズル清掃部材６１が清掃方向１０１に移動すると、スリットノズル２のリップ部２４に付着している付着物３００が薄板部材２０４Ａに掻き取られて除去される。
この際、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１における厚さは端面２１４Ａの側で薄くなっているため、薄板部材２０４Ａは、硬質の材料で形成されているにも関わらず多少湾曲する。一方で、薄板部材２０４Ａの清掃方向１０１における厚さは、本体部２０３Ａと連続する側では厚くなっているため、薄板部材２０４Ａの強度の低下も抑制される。よって、薄板部材２０４Ａは、摺動による摩耗を抑制しつつ、スリットノズル２のリップ部２４の形状に応じて変形し、付着物３００を効果的に掻き取ることができる。また、薄板部材２０４Ａによれば、スリットノズル２のリップ部２４における損傷を抑制することもできる。
また、面２２４Ａと傾斜面２６ａとの間のなす角θが鈍角であるため、付着物３００はスムーズにスクレーパー２０５Ａの薄板部材２０４Ａの側から本体部２０３Ａの側へ流れる。よって、排液性が向上する。
また、面２３４Ａがあらかじめ定められた曲率半径Ｒに従って湾曲しているため、掻き取られた付着物３００が薄板部材２０４Ａの根元部分（すなわち、薄板部材２０４Ａと本体部２０３Ａとが連続する部分）に溜まることを抑制することができ、掻き取られた付着物３００をスムーズに流すことができる。よって、スクレーパー２０５Ａ自体の汚れも抑制され洗浄も容易となる。
図９は、上記の工程のうちのステップＳＴ１０４における、リップ部２４と３つの薄板部材とが接触する態様を示す図である。
図９に例が示されるように、リップ部２４の２つの傾斜面２６それぞれに対応するスクレーパー２０５Ａおよびスクレーパー２０５Ｂが接触し、かつ、リップ部２４の先端面２５にスクレーパー２０５Ｃが接触している。
また、スクレーパー２０５Ｃ（具体的には薄板部材）の清掃方向１０１と交差する方向における幅は、本体部側から離れるにつれて狭くなる。なお、スクレーパー２０５Ｃ（具体的には薄板部材）の先端部の幅は、先端面２５に設けられた吐出口の幅よりも広いものとする。
この場合、清掃方向１０１に沿う方向から見ると、スクレーパー２０５Ｃがスクレーパー２０５Ａおよびスクレーパー２０５Ｂと一部重なって配置されるが、これらのスクレーパー２０５は清掃方向１０１においては配置がずれているため、互いに接触してはいない。
ここで、塗布液の掻き取り不良を抑制するために、スクレーパー２０５の、リップ部２４と接触する端面の幅Ｄ１、幅Ｄ２および幅Ｄ３の少なくとも１つを、対応するリップ部２４の幅よりも広くしてもよい。具体的には、スクレーパー２０５Ａの端面の幅Ｄ１を、スクレーパー２０５Ａが接触するリップ部２４の傾斜面２６の幅よりも広くする、スクレーパー２０５Ｂの端面の幅Ｄ２を、スクレーパー２０５Ｂが接触するリップ部２４の傾斜面２６の幅よりも広くする、または、スクレーパー２０５Ｃの端面の幅Ｄ３を、スクレーパー２０５Ｃが接触するリップ部２４の先端面２５の幅よりも広くすることができる。
＜第２の実施の形態＞
以下、本実施の形態に関する塗布装置、ノズル清掃装置、スクレーパー、および、ノズル清掃方法について説明する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成要素と同様の構成要素については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
以下、本実施の形態に関する塗布装置、ノズル清掃装置、スクレーパー、および、ノズル清掃方法について説明する。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態で説明された構成要素と同様の構成要素については同じ符号を付して図示し、その詳細な説明については適宜省略するものとする。
＜ノズル清掃装置の構成について＞
図１０は、ノズル清掃装置に用いられるノズル清掃部材の構成の変形例を示す斜視図である。図１０に例が示されるように、ノズル清掃部材６１Ａは、ベース部２０１と、支持部２０２と、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃと、リンスノズル７００とを備える。
図１０は、ノズル清掃装置に用いられるノズル清掃部材の構成の変形例を示す斜視図である。図１０に例が示されるように、ノズル清掃部材６１Ａは、ベース部２０１と、支持部２０２と、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃと、リンスノズル７００とを備える。
リンスノズル７００は、ベース部２０１の下方における図示しないリンス液供給源から供給されるリンス液を、スリットノズル２へ供給する。
＜ノズル清掃装置の動作について＞
図１１は、ノズル清掃装置が行うクリーニング処理の例を示すフローチャートである。図１１のフローチャートは、制御部８が塗布装置のそれぞれの作動部を制御することによって実行される。
図１１は、ノズル清掃装置が行うクリーニング処理の例を示すフローチャートである。図１１のフローチャートは、制御部８が塗布装置のそれぞれの作動部を制御することによって実行される。
まず、駆動ユニット６Ｂによる駆動によって、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に移動する（図１１のステップＳＴ１０１）。清掃開始位置Ｐ１は、スリットノズル２のリップ部２４の清掃方向１０１の上流端部２０Ａに対応して設定されており、除去ユニット６Ａが清掃開始位置Ｐ１に位置する状態において、ノズル清掃部材６１は、リップ部２４の上流端部２０Ａに下方から対向する（図５と同様の位置）。
なお、吐出口２１はＸ軸方向においてスリットノズル２のリップ部２４の全長より短いため、スリットノズル２のＸ軸方向の両端、すなわち、清掃方向１０１の上流端部２０Ａおよび下流端部２０Ｂのそれぞれでは吐出口２１が開口しない。すなわち、ステップＳＴ１０１では、スリットノズル２のリップ部２４のうち、吐出口２１よりも清掃方向１０１の上流側の上流端部２０Ａにノズル清掃部材６１が対向する。
また、ステップＳＴ１０１においては、スリットノズル２は上方位置に位置しており、リップ部２４の上流端部２０Ａと、これに対向するノズル清掃部材６１とはＺ軸方向に離間している。
清掃開始位置Ｐ１への除去ユニット６Ａの移動が完了すると、次に、上方位置より低い下方位置へスリットノズル２が下降する（図１１のステップＳＴ１０３）。スリットノズル２が下降を開始すると、スリットノズル２のリップ部２４とノズル清掃部材６１との間の間隔が狭くなり、薄板部材２０４Ａの本体部２０３Ａと連続する側とは反対側の端面および薄板部材２０４Ｂの本体部２０３Ｂと連続する側とは反対側の端面が、リップ部２４の２つの傾斜面２６に接触する。また、薄板部材２０４Ｃの本体部２０３Ｃと連続する側とは反対側の端面が、リップ部２４の先端面２５に接触する。
そして、スリットノズル２はさらに下降し、付勢部材６２Ｃの付勢力に抗してノズル清掃部材６１を下方へ押し下げる。よって、付勢部材６２Ｃの付勢力によって、薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂの端面がリップ部２４の２つの傾斜面２６に押し付けられる。また、付勢部材６２Ｃの付勢力によって、薄板部材２０４Ｃの端面がリップ部２４の先端面２５に押し付けられる。
スリットノズル２の下降が完了すると、図示しないリンス液供給源からスリットノズル２のリップ部２４とノズル清掃部材６１との間へリンス液が供給される（ステップＳＴ１０６）。リンス液の単位時間あたりの供給量は、リップ部２４の先端面２５よりも上方にリンス液の液面が維持されてリップ部２４の傾斜面２６にリンス液が付着する程度が好ましい。なお、リンス液としては種々の液体を利用でき、たとえば、塗布液を組成する溶媒であってもよい。この場合、溶媒であるリンス液に溶質を溶かした溶液が塗布液となる。
続いて、駆動ユニット６Ｂが清掃方向１０１へ除去ユニット６Ａを駆動することで、ノズル清掃部材６１を清掃方向１０１へ移動させる（ステップＳＴ１０４）。ノズル清掃部材６１の移動中は、リップ部２４とノズル清掃部材６１との間へリンス液の供給が継続されている。
リップ部２４に対して薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃのそれぞれの端面が接触しながら清掃方向１０１に移動するノズル清掃部材６１は、付着物（たとえば、スリットノズル２に付着していて乾燥固化した後の塗布液が、潤滑用のリンス液に溶解したもの）をリップ部２４の傾斜面２６および先端面２５から除去する。
そして、除去ユニット６Ａが清掃終了位置Ｐ２に到達して、ノズル清掃部材６１がスリットノズル２よりも清掃方向１０１の下流側に移動すると、駆動ユニット６Ｂが除去ユニット６Ａを停止させる（ステップＳＴ１０５）。また、リンス液の供給も停止される（ステップＳＴ１０７）。
＜以上に記載された実施の形態によって生じる効果について＞
次に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果の例を示す。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態に例が示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例が示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
次に、以上に記載された実施の形態によって生じる効果の例を示す。なお、以下の説明においては、以上に記載された実施の形態に例が示された具体的な構成に基づいて当該効果が記載されるが、同様の効果が生じる範囲で、本願明細書に例が示される他の具体的な構成と置き換えられてもよい。
以上に記載された実施の形態によれば、ノズル清掃装置６は、ノズル清掃部材６１を有する除去ユニット６Ａと、移動機構とを備える。ここで、移動機構は、たとえば、駆動ユニット６Ｂに対応するものである。ノズル清掃部材６１は、スリットノズル２の端部に接触可能である。駆動ユニット６Ｂは、ノズル清掃部材６１をスリットノズル２の端部に接触させながら、スリットノズル２の吐出口２１が延びる方向である第１の方向に沿ってノズル清掃部材６１を移動させる。ここで、第１の方向は、たとえば、清掃方向１０１およびその反対方向に対応するものである。ノズル清掃部材６１は、少なくとも１つの第１のスクレーパーと、少なくとも１つの第２のスクレーパーと、少なくとも１つの第３のスクレーパーと、支持部２０２とを備える。ここで、第１のスクレーパーは、たとえば、スクレーパー２０５Ａに対応するものである。また、第２のスクレーパーは、たとえば、スクレーパー２０５Ｂに対応するものである。また、第３のスクレーパーは、たとえば、スクレーパー２０５Ｃに対応するものである。スクレーパー２０５Ａは、第１の本体部と、第１の薄板部材とを備える。ここで、第１の本体部は、たとえば、本体部２０３Ａに対応するものである。また、第１の薄板部材は、たとえば、薄板部材２０４Ａに対応するものである。薄板部材２０４Ａは、本体部２０３Ａから延びる。また、薄板部材２０４Ａは、第１の方向と交差する方向である第２の方向からスリットノズル２の端部の第１の側面に接触可能である。ここで、第２の方向は、たとえば、方向１０１Ａに対応するものである。また、第１の側面は、たとえば、傾斜面２６ａなどに対応するものである。スクレーパー２０５Ｂは、第２の本体部と、第２の薄板部材とを備える。ここで、第２の本体部は、たとえば、本体部２０３Ｂに対応するものである。また、第２の薄板部材は、たとえば、薄板部材２０４Ｂに対応するものである。薄板部材２０４Ｂは、本体部２０３Ｂから延びる。また、薄板部材２０４Ｂは、第２の方向からスリットノズル２の端部の第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能である。ここで、第２の側面は、たとえば、傾斜面２６ｂなどに対応するものである。スクレーパー２０５Ｃは、第３の本体部と、第３の薄板部材とを備える。ここで、第３の本体部は、たとえば、本体部２０３Ｃに対応するものである。また、第３の薄板部材は、たとえば、薄板部材２０４Ｃに対応するものである。薄板部材２０４Ｃは、本体部２０３Ｃから延びる。また、薄板部材２０４Ｃは、第２の方向からスリットノズル２の端部の下面（先端面２５）に接触可能である。支持部２０２は、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃを支持する。
このような構成によれば、スリットノズル２の清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、それぞれの本体部から延びる薄板部材によってスリットノズル２の吐出口２１に対する追従性の低下を抑制することができる。また、具体的には、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃのそれぞれがスリットノズル２の吐出口２１に接触しつつ摺動することによって吐出口２１の周囲部分における付着物を除去するため、スリットノズル２のリップ部２４の形状が変更される場合であっても、それぞれのスクレーパーの支持部２０２に対する位置を調整することによって、リップ部２４の形状に柔軟に対応して付着物を除去することができる。
なお、上記の構成に本願明細書に例が示された他の構成を適宜追加した場合、すなわち、上記の構成としては言及されなかった本願明細書中の他の構成が適宜追加された場合であっても、同様の効果を生じさせることができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ａの厚さ、薄板部材２０４Ｂの厚さおよび薄板部材２０４Ｃの厚さのうちの少なくとも１つは、対応する本体部２０３Ａ、本体部２０３Ｂまたは本体部２０３Ｃに近づくにつれて厚くなる。このような構成によれば、薄板部材の清掃方向１０１における厚さは端面の側で相対的に薄くなっているため、薄板部材は多少湾曲する。一方で、薄板部材の清掃方向１０１における厚さは、本体部と連続する側では相対的に厚くなっているため、薄板部材の強度の低下も抑制される。よって、薄板部材は、摺動による摩耗を抑制しつつ、スリットノズル２のリップ部２４の形状に応じて変形し、付着物を効果的に掻き取ることができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ａの厚さ、薄板部材２０４Ｂの厚さおよび薄板部材２０４Ｃの厚さのうちの少なくとも１つは、対応する本体部２０３Ａ、本体部２０３Ｂまたは本体部２０３Ｃに近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる。このような構成によれば、掻き取られた付着物が薄板部材の根元部分に溜まることを抑制することができ、掻き取られた付着物をスムーズに流すことができる。よって、スクレーパー自体の汚れも抑制され洗浄も容易となる。また、曲率半径Ｒを調整することによって、薄板部材の強度と薄板部材の湾曲度とを調整することができる。具体的には、曲率半径Ｒが大きいと薄板部材の強度が高まり、曲率半径Ｒが小さいと、薄板部材の湾曲度が高まる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃのうちの少なくとも１つは、ロックウェル硬度Ｒ１１０以上かつＲ１３０以下であり、かつ、曲げ強度３０以上かつ５０以下である。このような構成によれば、よって、薄板部材は、摺動による摩耗を抑制しつつ、スリットノズル２のリップ部２４の形状に応じて変形し、付着物を効果的に掻き取ることができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、第１の方向において、スクレーパー２０５Ａ、スクレーパー２０５Ｂおよびスクレーパー２０５Ｃのうちの少なくとも１つを複数備える。このような構成によれば、除去ユニット６Ａの１回の摺動で除去可能な付着物の量を増大させることができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃのうちの少なくとも１つの、ノズル清掃部材６１が移動する方向を向く面とスリットノズル２の端部とのなす角が鈍角である。このような構成によれば、付着物はスムーズに薄板部材の側から本体部の側へ流れるため、排液性が向上する。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ｃは、薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂよりも、ノズル清掃部材６１が移動する方向における上流側に位置する。このような構成によれば、薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂによってリップ部２４の先端面２５へ押し流された付着物についても、清掃方向１０１に進む除去ユニット６Ａの後方に位置する薄板部材２０４Ｃによって効果的に除去することができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、塗布装置１は、スリット状の吐出口２１から塗布液を吐出するスリットノズル２と、上記のノズル清掃装置とを備える。このような構成によれば、スリットノズル２の清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、それぞれの本体部から延びる薄板部材によってスリットノズル２の吐出口２１に対する追従性の低下を抑制することができる。
以上に記載された実施の形態によれば、ノズル清掃方法において、スリットノズル２の端部に接触可能なノズル清掃部材６１をスリットノズル２の端部に接触させながら、スリットノズル２の吐出口２１が延びる方向である第１の方向に沿ってノズル清掃部材６１を移動させる工程を備える。ここで、ノズル清掃部材６１は、少なくとも１つのスクレーパー２０５Ａと、少なくとも１つのスクレーパー２０５Ｂと、少なくとも１つのスクレーパー２０５Ｃと、支持部２０２とを備える。
このような構成によれば、スリットノズル２の清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、それぞれの本体部から延びる薄板部材によってスリットノズル２の吐出口２１に対する追従性の低下を抑制することができる。
なお、特段の制限がない場合には、それぞれの処理が行われる順序は変更することができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、スクレーパー２０５Ｃは、本体部２０３Ｃと、本体部２０３Ｃから延び、かつ、吐出口２１が延びる方向と交差する方向からスリットノズル２の端部に接触可能な薄板部材２０４Ｃとを備える。このような構成によれば、スリットノズル２の清掃部材として硬質の材料を用いることで摺動による摩耗を抑制する場合であっても、本体部２０３Ｃから延びる薄板部材２０４Ｃによってスリットノズル２の吐出口２１に対する追従性の低下を抑制することができる。
また、以上に記載された実施の形態によれば、薄板部材２０４Ｃの吐出口２１が延びる方向と交差する方向における幅は、本体部２０３Ｃから離れるにつれて狭くなる。このような構成によれば、薄板部材２０４Ｃが薄板部材２０４Ａおよび薄板部材２０４Ｂと干渉することを避けつつ、本体部２０３Ｃと連続する側で薄板部材２０４Ｃの幅を広くすれば薄板部材２０４Ｃの強度の低下を抑制することができる。
＜以上に記載された実施の形態の変形例について＞
上記の実施の形態では、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃが、対応する本体部に近づくにつれて厚さが厚くなる旨が記載されたが、対応する本体部に近づくにつれて厚さが変化しない薄板部材が含まれていてもよい。
上記の実施の形態では、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃが、対応する本体部に近づくにつれて厚さが厚くなる旨が記載されたが、対応する本体部に近づくにつれて厚さが変化しない薄板部材が含まれていてもよい。
また、上記の実施の形態では、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃが、対応する本体部に近づくにつれてあらかじめ定められた曲率半径Ｒにしたがって厚さが厚くなる旨が記載されたが、対応する本体部に近づくにつれて厚さが変化しない薄板部材が含まれていてもよい。
また、上記の実施の形態では、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃの清掃方向１０１を向く面とリップ部２４とのなす角が鈍角である旨が記載されたが、当該角が鈍角でない薄板部材が含まれていてもよい。
また、上記の実施の形態では、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃが一体的に支持されて用いられたが、薄板部材２０４Ａ、薄板部材２０４Ｂおよび薄板部材２０４Ｃのうちのいずれか１つが備えられる場合であってもよい。
また、上記の実施の形態では、それぞれの構成要素の材質、材料、寸法、形状、相対的配置関係または実施の条件などについても記載する場合があるが、これらはすべての局面においてひとつの例であって、本願明細書に記載されたものに限られることはないものとする。
したがって、例が示されていない無数の変形例、および、均等物が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。たとえば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合が含まれるものとする。
また、以上に記載された実施の形態において、特に指定されずに材料名などが記載された場合は、矛盾が生じない限り、当該材料に他の添加物が含まれた、たとえば、合金などが含まれるものとする。
１ 塗布装置
２ スリットノズル
３ 基板
４ ステージ
５ 塗布処理部
６ ノズル清掃装置
６Ａ 除去ユニット
６Ｂ 駆動ユニット
６Ｃ 洗浄ユニット
８ 制御部
２０Ａ 上流端部
２０Ｂ 下流端部
２１ 吐出口
２２ 基部
２３ 内部流路
２４ リップ部
２５ 先端面
２６，２６ａ，２６ｂ 傾斜面
３１ 上面
４１ 保持面
５１ ノズル支持体
５１ａ 固定部材
５１ｂ 昇降機構
５２，６２Ｂ ガイドレール
５３ スリットノズル移動部
５４ リニアモータ
５４ａ 固定子
５４ｂ 移動子
５５ リニアエンコーダ
５５ａ スケール部
５５ｂ 検出部
６１ ノズル清掃部材
６２ 支持台
６２Ａ 土台
６２Ｃ 付勢部材
１００ ノズル調整領域
１０１ 清掃方向
１０１Ａ 方向
２０１ ベース部
２０２ 支持部
２０３Ａ，２０３Ｂ，２０３Ｃ 本体部
２０４Ａ，２０４Ｂ，２０４Ｃ 薄板部材
２０５，２０５Ａ，２０５Ｂ，２０５Ｃ スクレーパー
２１４Ａ 端面
２２４Ａ，２３４Ａ 面
３００ 付着物
６５１Ａ，６５１Ｂ ローラ
６５２ 無端ベルト
７００ リンスノズル
２ スリットノズル
３ 基板
４ ステージ
５ 塗布処理部
６ ノズル清掃装置
６Ａ 除去ユニット
６Ｂ 駆動ユニット
６Ｃ 洗浄ユニット
８ 制御部
２０Ａ 上流端部
２０Ｂ 下流端部
２１ 吐出口
２２ 基部
２３ 内部流路
２４ リップ部
２５ 先端面
２６，２６ａ，２６ｂ 傾斜面
３１ 上面
４１ 保持面
５１ ノズル支持体
５１ａ 固定部材
５１ｂ 昇降機構
５２，６２Ｂ ガイドレール
５３ スリットノズル移動部
５４ リニアモータ
５４ａ 固定子
５４ｂ 移動子
５５ リニアエンコーダ
５５ａ スケール部
５５ｂ 検出部
６１ ノズル清掃部材
６２ 支持台
６２Ａ 土台
６２Ｃ 付勢部材
１００ ノズル調整領域
１０１ 清掃方向
１０１Ａ 方向
２０１ ベース部
２０２ 支持部
２０３Ａ，２０３Ｂ，２０３Ｃ 本体部
２０４Ａ，２０４Ｂ，２０４Ｃ 薄板部材
２０５，２０５Ａ，２０５Ｂ，２０５Ｃ スクレーパー
２１４Ａ 端面
２２４Ａ，２３４Ａ 面
３００ 付着物
６５１Ａ，６５１Ｂ ローラ
６５２ 無端ベルト
７００ リンスノズル
Claims (14)
- スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃装置であり、
前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材と、
前記ノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる移動機構とを備え、
前記ノズル清掃部材は、
第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、
第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、
第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、
前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、
前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である、
ノズル清掃装置。 - スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃装置であり、
前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材と、
前記ノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる移動機構とを備え、
前記ノズル清掃部材は、
第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、
第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、
第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、
前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる、
ノズル清掃装置。 - 請求項１または２に記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなる、
ノズル清掃装置。 - 請求項１から３のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である、
ノズル清掃装置。 - 請求項３に記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる、
ノズル清掃装置。 - 請求項１から５のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つは、ロックウェル硬度Ｒ１１０以上かつＲ１３０以下であり、かつ、曲げ強度３０以上かつ５０以下である、
ノズル清掃装置。 - 請求項１から６のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の方向において、前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーのうちの少なくとも１つを複数備える、
ノズル清掃装置。 - 請求項１から７のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置であり、
前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面と前記スリットノズルの端部とのなす角が鈍角である、
ノズル清掃装置。 - 請求項１から８のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置であり、
前記第３の薄板部材は、前記第１の薄板部材および前記第２の薄板部材よりも、前記ノズル清掃部材が移動する方向における上流側に位置する、
ノズル清掃装置。 - スリット状の吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルと、
請求項１から９のうちのいずれか１つに記載のノズル清掃装置とを備える、
塗布装置。 - スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃方法であり、
前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる工程を備え、
前記ノズル清掃部材は、
第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、
第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、
第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、
前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、
前記第１の薄板部材、前記第２の薄板部材および前記第３の薄板部材のうちの少なくとも１つの、前記ノズル清掃部材が移動する方向を向く面の対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である、
ノズル清掃方法。 - スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するノズル清掃方法であり、
前記スリットノズルの端部に接触可能なノズル清掃部材を前記スリットノズルの端部に接触させながら、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って前記ノズル清掃部材を移動させる工程を備え、
前記ノズル清掃部材は、
第１の本体部と、前記第１の本体部から延び、かつ、前記第１の方向と交差する方向である第２の方向から前記スリットノズルの端部の第１の側面に接触可能な第１の薄板部材とを備える少なくとも１つの第１のスクレーパーと、
第２の本体部と、前記第２の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の前記第１の側面とは反対側の第２の側面に接触可能な第２の薄板部材とを備える少なくとも１つの第２のスクレーパーと、
第３の本体部と、前記第３の本体部から延び、かつ、前記第２の方向から前記スリットノズルの端部の下面に接触可能な第３の薄板部材とを備える少なくとも１つの第３のスクレーパーと、
前記第１のスクレーパー、前記第２のスクレーパーおよび前記第３のスクレーパーを支持する支持部とを備え、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて厚くなり、
前記第１の薄板部材の厚さ、前記第２の薄板部材の厚さおよび前記第３の薄板部材の厚さのうちの少なくとも１つは、対応する前記第１の本体部、前記第２の本体部または前記第３の本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる、
ノズル清掃方法。 - スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を、前記スリットノズルの前記吐出口が延びる方向である第１の方向に沿って移動して清掃するためのスクレーパーであり、
本体部と、
前記本体部から延び、かつ、前記吐出口が延びる方向と交差する方向から前記スリットノズルの端部に接触可能な薄板部材とを備え、
前記薄板部材の前記第１の方向を向く面の対応する前記本体部と連続する部分は、湾曲する曲面である、
スクレーパー。 - スリット状の吐出口が設けられるスリットノズルの端部を清掃するためのスクレーパーであり、
本体部と、
前記本体部から延び、かつ、前記吐出口が延びる方向と交差する方向から前記スリットノズルの端部に接触可能な薄板部材とを備え、
前記薄板部材の厚さは、前記本体部に近づくにつれて、１ｍｍ以上かつ５ｍｍ以下の曲率半径にしたがって厚くなる、
スクレーパー。
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