JP2008149247A - 吐出ノズルの清掃装置 - Google Patents
吐出ノズルの清掃装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008149247A JP2008149247A JP2006338954A JP2006338954A JP2008149247A JP 2008149247 A JP2008149247 A JP 2008149247A JP 2006338954 A JP2006338954 A JP 2006338954A JP 2006338954 A JP2006338954 A JP 2006338954A JP 2008149247 A JP2008149247 A JP 2008149247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge nozzle
- cleaning
- lip portion
- lip
- sub
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 147
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 34
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 32
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
- B05B15/555—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids discharged by cleaning nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B14/00—Arrangements for collecting, re-using or eliminating excess spraying material
- B05B14/30—Arrangements for collecting, re-using or eliminating excess spraying material comprising enclosures close to, or in contact with, the object to be sprayed and surrounding or confining the discharged spray or jet but not the object to be sprayed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
- B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
【解決手段】吐出ノズル1を昇降自在に設け、吐出ノズルの長さ方向に沿って走行自在なスライドベース4に、前後に位置させて、清掃部材5,6を搭載し、清掃部材には、吐出ノズルのリップ部3の外形輪郭に沿った形状を有し、吐出ノズルの下降でリップ部に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部7と、主ブレード部の前方に、リップ部を両側から挟むように一対配置され、リップ部に向かって洗浄液を噴出する噴出ノズル8と、主ブレード部に隣接配置され、洗浄液を吸引する吸引部とを備え、スライドベースに、清掃部材間でリップ部を両側から挟むように一対配置され、リップ部に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、吐出ノズルの下降でリップ部に摺動自在に摺接される副ブレード部10を搭載した。
【選択図】図1
Description
2 スリット状吐出口
3 リップ部
4 スライドベース
5 前段清掃部材
6 後段清掃部材
7 主ブレード部
8 噴出ノズル
9 吸引部
10 副ブレード部
11 昇降手段
16 副噴出ノズル
17 副吸引部
AL,L 塗工液
W 洗浄液
Claims (2)
- 吐出ノズルの長さ方向に沿って走行移動し、塗工液を吐出するスリット状吐出口が形成された該吐出ノズルのリップ部を清掃する吐出ノズルの清掃装置であって、
上記吐出ノズルを昇降自在に設け、
上記吐出ノズルの長さ方向に沿って走行自在にスライドベースを設け、
該スライドベースに、その走行方向前方および後方に位置させて、一対の清掃部材を搭載し、
これら清掃部材には、上記リップ部の外形輪郭に沿った形状を有し、上記吐出ノズルの下降で該リップ部に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部と、該主ブレード部よりも走行方向前方位置に、該リップ部を両側から挟むように一対配置され、当該リップ部に向かって洗浄液を噴出する噴出ノズルと、該主ブレード部に隣接配置され、洗浄液を吸引する吸引部とを備え、
上記スライドベースに、一対の上記清掃部材間で上記リップ部を両側から挟むように一対配置され、該リップ部に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、上記吐出ノズルの下降で当該リップ部に摺動自在に摺接される副ブレード部を搭載したことを特徴とする吐出ノズルの清掃装置。 - 前記副ブレード部には、前記リップ部に向かって洗浄液を噴出する副噴出ノズルおよび洗浄液を吸引する副吸引部が設けられることを特徴とする請求項1に記載の吐出ノズルの清掃装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006338954A JP4850680B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 吐出ノズルの清掃装置 |
TW096144908A TWI335245B (en) | 2006-12-15 | 2007-11-27 | Discharge nozzle cleaning apparatus |
CN2007101969991A CN101204707B (zh) | 2006-12-15 | 2007-12-07 | 排出管嘴清洗设备 |
KR1020070131033A KR100954472B1 (ko) | 2006-12-15 | 2007-12-14 | 토출 노즐의 청소 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006338954A JP4850680B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 吐出ノズルの清掃装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008149247A true JP2008149247A (ja) | 2008-07-03 |
JP4850680B2 JP4850680B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=39565319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006338954A Active JP4850680B2 (ja) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 吐出ノズルの清掃装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4850680B2 (ja) |
KR (1) | KR100954472B1 (ja) |
CN (1) | CN101204707B (ja) |
TW (1) | TWI335245B (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102161028A (zh) * | 2010-02-17 | 2011-08-24 | 东京毅力科创株式会社 | 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置 |
WO2013118550A1 (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 |
JP2017209633A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
JP2018043178A (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置 |
JP6430056B1 (ja) * | 2018-07-17 | 2018-11-28 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
WO2020110648A1 (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP2021115490A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101205834B1 (ko) * | 2010-08-24 | 2012-11-29 | 세메스 주식회사 | 세정 유닛 및 이를 가지는 처리액 토출 장치, 헤드 세정 방법 |
JP5138058B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2013-02-06 | 東レ株式会社 | 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
KR101328721B1 (ko) | 2012-03-28 | 2013-11-11 | 주식회사 디엠에스 | 슬릿코터 |
KR101379387B1 (ko) * | 2012-07-12 | 2014-04-01 | 주식회사 진영이노텍 | 복층유리 제조용 티피에스 공급노즐 청소장치 |
CN103286030B (zh) * | 2013-06-28 | 2016-08-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种狭缝喷嘴清洁装置 |
KR102232661B1 (ko) * | 2014-05-30 | 2021-03-29 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 헤드 세정 방법 |
JP6523100B2 (ja) * | 2015-08-18 | 2019-05-29 | 東京応化工業株式会社 | 清掃部材、塗布装置及び塗布方法 |
KR101884983B1 (ko) * | 2016-07-19 | 2018-08-03 | 주식회사 프로텍 | 점성 용액 디스펜서용 노즐 세정 장치 |
CN106733748A (zh) * | 2016-12-13 | 2017-05-31 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种清洁系统 |
CN206425274U (zh) * | 2017-01-05 | 2017-08-22 | 惠科股份有限公司 | 一种喷嘴的清洁装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09192566A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-07-29 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
JP2002361149A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-17 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 |
JP2004066164A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法 |
JP2004105849A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 |
JP2006281101A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | 洗浄装置付塗布装置 |
JP2007237122A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄装置 |
JP2008149224A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布用ダイの清掃装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002177848A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-25 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法 |
JP4168603B2 (ja) | 2001-05-31 | 2008-10-22 | 凸版印刷株式会社 | 洗浄装置付大型塗布装置 |
KR100505180B1 (ko) * | 2002-02-20 | 2005-08-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐세정장치를 구비한 액정적하장치 및 액정적하방법 |
JP3940054B2 (ja) * | 2002-10-07 | 2007-07-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置 |
JP2006167508A (ja) | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 |
-
2006
- 2006-12-15 JP JP2006338954A patent/JP4850680B2/ja active Active
-
2007
- 2007-11-27 TW TW096144908A patent/TWI335245B/zh active
- 2007-12-07 CN CN2007101969991A patent/CN101204707B/zh active Active
- 2007-12-14 KR KR1020070131033A patent/KR100954472B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09192566A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-07-29 | Toray Ind Inc | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
JP2002361149A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-17 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 |
JP2004066164A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法 |
JP2004105849A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置 |
JP2006281101A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | 洗浄装置付塗布装置 |
JP2007237122A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄装置 |
JP2008149224A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布用ダイの清掃装置 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102161028A (zh) * | 2010-02-17 | 2011-08-24 | 东京毅力科创株式会社 | 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置 |
JP2011167607A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | スリットノズル洗浄装置及び塗布装置 |
KR101737124B1 (ko) | 2010-02-17 | 2017-05-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 슬릿 노즐 세정 장치 및 도포 장치 |
WO2013118550A1 (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 |
JP2013165137A (ja) * | 2012-02-10 | 2013-08-22 | Tokyo Electron Ltd | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 |
JP2017209633A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
JP2018043178A (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置 |
JP2020011186A (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
JP6430056B1 (ja) * | 2018-07-17 | 2018-11-28 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
WO2020017109A1 (ja) * | 2018-07-17 | 2020-01-23 | 中外炉工業株式会社 | 塗布用ノズルの清掃装置 |
KR20200103817A (ko) | 2018-07-17 | 2020-09-02 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포용 노즐의 청소 장치 |
CN111801170A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-10-20 | 中外炉工业株式会社 | 涂布用喷嘴的清扫装置 |
CN111801170B (zh) * | 2018-07-17 | 2021-12-07 | 中外炉工业株式会社 | 涂布用喷嘴的清扫装置 |
TWI803629B (zh) * | 2018-07-17 | 2023-06-01 | 日商中外爐工業股份有限公司 | 塗布用管嘴的清掃裝置 |
WO2020110648A1 (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP2020081994A (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP7094635B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-07-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP2021115490A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー |
JP7197525B2 (ja) | 2020-01-22 | 2022-12-27 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI335245B (en) | 2011-01-01 |
KR100954472B1 (ko) | 2010-04-22 |
KR20080055732A (ko) | 2008-06-19 |
CN101204707A (zh) | 2008-06-25 |
CN101204707B (zh) | 2010-06-02 |
TW200902163A (en) | 2009-01-16 |
JP4850680B2 (ja) | 2012-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4850680B2 (ja) | 吐出ノズルの清掃装置 | |
KR102011538B1 (ko) | 와이핑 패드 및 이 패드를 사용한 노즐 메인터넌스 장치와 도포 처리 장치 | |
KR101184720B1 (ko) | 슬릿 노즐 세정장치 | |
JP5258811B2 (ja) | スリットノズル洗浄装置及び塗布装置 | |
JP3836490B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの吐出面清掃装置 | |
JP5047681B2 (ja) | 液体材料吐出装置のクリーニング装置、及び該クリーニング装置にて実行されるローラー回転制御方法 | |
JP4986490B2 (ja) | 予備吐出装置 | |
JP4884038B2 (ja) | スリットノズル洗浄装置 | |
JP4579264B2 (ja) | 液体材料吐出装置のクリーニング装置 | |
JP6244656B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
KR100839781B1 (ko) | 도포용 다이의 청소 장치 | |
JP6845077B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法およびノズル | |
JP4257367B2 (ja) | 液体材料吐出装置のクリーニング装置 | |
JP2006095779A (ja) | インクジェット記録装置及びマルチヘッドユニットのワイピング方法 | |
JP2006218702A (ja) | クリーニング装置及びクリーニング方法 | |
JP5892099B2 (ja) | 液体吐出装置 | |
JP2004284352A (ja) | インクジェットヘッドクリーニング装置及びインクジェット記録装置 | |
JP2007301912A (ja) | インクジェットヘッドのクリーニング装置およびクリーニング方法ならびにインクジェット装置 | |
JP2018187599A (ja) | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 | |
JP7312204B2 (ja) | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 | |
KR100970396B1 (ko) | 편광필름부착장치 | |
JP2011110831A (ja) | 液滴噴射ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4850680 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |