JP2008149247A - 吐出ノズルの清掃装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】清掃作用を備える複数の要素を適切に配列することで、清掃効果を十分に保証することが可能な吐出ノズルの清掃装置を提供する。
【解決手段】吐出ノズル1を昇降自在に設け、吐出ノズルの長さ方向に沿って走行自在なスライドベース4に、前後に位置させて、清掃部材5,6を搭載し、清掃部材には、吐出ノズルのリップ部3の外形輪郭に沿った形状を有し、吐出ノズルの下降でリップ部に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部7と、主ブレード部の前方に、リップ部を両側から挟むように一対配置され、リップ部に向かって洗浄液を噴出する噴出ノズル8と、主ブレード部に隣接配置され、洗浄液を吸引する吸引部とを備え、スライドベースに、清掃部材間でリップ部を両側から挟むように一対配置され、リップ部に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、吐出ノズルの下降でリップ部に摺動自在に摺接される副ブレード部10を搭載した。
【選択図】図1

Description

本発明は、清掃作用を備える複数の要素を適切に配列することで、清掃効果を十分に保証することが可能な吐出ノズルの清掃装置に関する。
テーブルコータには、ガラス基板を塗装するために、塗工液を吐出するスリット状吐出口をリップ部に形成した吐出ノズルが採用されている。そしてこの吐出ノズルのリップ部を清浄化するための清掃装置が開発されていて、例えば特許文献1〜3に開示されている。特許文献1の「塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置」では、上面がノズル部の横断面に合致するような形状を有し、吐出口の長手方向に沿って移動するとき塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら、この吐出口周辺部に付着している塗布液を除去する前後一対の清掃部材を、塗布器の長手方向に移動させるようにしている。
特許文献2の「塗布用ダイ清掃装置およびこれを用いた塗布方法並びにカラーフィルターの製造装置および製造方法」では、清掃具を洗浄する洗浄手段を設けるとともに、吐出口から除去した塗布液を吸引排除する吸引ユニットを清掃具近傍に設けるようにしている。特許文献3の「塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法」では、移動自在なトレイに、リップ面清掃用清掃ヘッドおよびこれと相前後する一対のリップ斜面清掃用清掃ヘッドを一組として組み込んだ清掃ユニットを備えるとともに、さらに塗布液を吸引排除する廃液ユニットと清掃用の溶剤を吐出する洗浄ユニットを備えている。
特許第3757992号公報 特開平11−300261号公報 特開2002−177848号公報
いずれの背景技術にあっても、ノズル部の横断面に合致する形状を有する単一形態の清掃部材を隣接させて設けたり、あるいは隣接する複数のヘッドを組み合わせることで当該形状が得られる清掃部材を用い、当該清掃部材の近傍に洗浄部・吸引排除部を配備して、清掃部材による摺接作用の過程で塗工液を洗い流し、吸引除去するようにして、いわゆるリップ部を清浄化するようにしているけれども、同じ形態のものを単に複数並べてその近傍へ洗浄液を吹き付けるだけであったり、複数のヘッドを組み合わせるものの、それによって結局は一つの清掃部材を構成してその近傍へ洗浄液を吹き付けるだけでは、塗布液をリップ部から確実に拭い取ることができるとは限らず、取りきれない場合にはスジ状などの跡がうっすらと残って、再度後処理が必要になるなど、背景技術では、清掃部材による清掃効果を十分に保証することが難しいという課題があった。
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、清掃作用を備える複数の要素を適切に配列することで、清掃効果を十分に保証することが可能な吐出ノズルの清掃装置を提供することを目的とする。
本発明にかかる吐出ノズルの清掃装置は、吐出ノズルの長さ方向に沿って走行移動し、塗工液を吐出するスリット状吐出口が形成された該吐出ノズルのリップ部を清掃する吐出ノズルの清掃装置であって、上記吐出ノズルを昇降自在に設け、上記吐出ノズルの長さ方向に沿って走行自在にスライドベースを設け、該スライドベースに、その走行方向前方および後方に位置させて、一対の清掃部材を搭載し、これら清掃部材には、上記リップ部の外形輪郭に沿った形状を有し、上記吐出ノズルの下降で該リップ部に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部と、該主ブレード部よりも走行方向前方位置に、該リップ部を両側から挟むように一対配置され、当該リップ部に向かって洗浄液を噴出する噴出ノズルと、該主ブレード部に隣接配置され、洗浄液を吸引する吸引部とを備え、上記スライドベースに、一対の上記清掃部材間で上記リップ部を両側から挟むように一対配置され、該リップ部に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、上記吐出ノズルの下降で当該リップ部に摺動自在に摺接される副ブレード部を搭載したことを特徴とする。
前記副ブレード部には、前記リップ部に向かって洗浄液を噴出する副噴出ノズルおよび洗浄液を吸引する副吸引部が設けられることを特徴とする。
本発明にかかる吐出ノズルの清掃装置にあっては、清掃作用を備える複数の要素を適切に配列することで、清掃効果を十分に保証することができる。
以下に、本発明にかかる吐出ノズルの清掃装置の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態にかかる吐出ノズルの清掃装置は基本的には、図1から図4、並びに図8に示すように、吐出ノズル1の長さ方向に沿って走行移動し、塗工液Lを吐出するスリット状吐出口2が形成された吐出ノズル1のリップ部3を清掃する吐出ノズルの清掃装置であって、吐出ノズル1を昇降自在に設け、吐出ノズル1の長さ方向に沿って走行自在にスライドベース4を設け、スライドベース4に、その走行方向前方および後方に位置させて、一対の前段清掃部材5および後段清掃部材6を搭載し、これら清掃部材5,6には、リップ部3の外形輪郭に沿った形状を有し、吐出ノズル1の下降でリップ部3に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部7と、主ブレード部7よりも走行方向前方位置に、リップ部3を両側から挟むように一対配置され、当該リップ部3に向かって洗浄液Wを噴出する噴出ノズル8と、主ブレード部7に隣接配置され、洗浄液Wを吸引する吸引部9とを備え、スライドベース4に、一対の清掃部材5,6間でリップ部3を両側から挟むように一対配置され、リップ部3に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、吐出ノズル1の下降で当該リップ部3に摺動自在に摺接される副ブレード部10を搭載して構成される。
テーブルコータには、吸着石定盤上に吸着して固定した液晶ディスプレイパネル用などのガラス基板に塗装を行うために、ガラス基板上方を走行する吐出ノズル1が設けられる。吐出ノズル1は、ガラス基板を横断する方向に、当該ガラス基板の幅寸法以上の長さ寸法で形成される。吐出ノズル1内には、その長さ方向に沿って、供給される塗工液Lを一旦貯留するチャンバ1aが形成される(図8参照)。チャンバ1aには、これより下方へ向かってスリット状の吐出口2が形成される。吐出口2も、吐出ノズル1の長さ方向に沿って形成される。塗工液Lは、吐出口2からガラス基板の全幅にわたって吐出され、吐出ノズル1がガラス基板上方を走行することにより塗装が行われるようになっている。
吐出ノズル1の吐出口2周辺には、吐出ノズル1の幅寸法を吐出口2に向かって順次先細りに窄める一対の傾斜面によって、外形輪郭がV字状のリップ部3が形成されている。そして吐出ノズル1のリップ部3に付着した塗工液ALを拭い取って清掃するために、テーブルコータには、清掃装置が備えられる。清掃装置は、本実施形態にあっては主に、吐出ノズル1を昇降自在に昇降させる昇降手段11と、吐出ノズル1の長さ方向に沿って走行移動されるスライドベース4と、スライドベース4上に搭載される清掃部材5,6および副ブレード部10とから構成される。
吐出ノズル1の上面には、当該吐出ノズル1の長さ方向に適宜間隔を隔てて、昇降手段11が取り付けられる。これら昇降手段11は、図示しない支持架構に搭載され、吐出ノズル1は、昇降手段11を介して、支持架構に昇降自在に支持される。昇降手段11としては例えば、昇降量を微調整することが容易なボールネジ機構などが採用される。また、吸着石定盤上もしくはこれに隣接配置される図示しない台上には、その上方に移動されてくる吐出ノズル1の長さ方向に沿って当該吐出ノズル1と平行に、リニアモータ式などのスライドレール12が敷設され、このスライドレール12上に走行移動自在にスライドベース4が設けられる。スライドベース4は、これに搭載された清掃部材5,6や副ブレード部10を、吐出ノズル1と平行にその長さ方向に沿って走行移動させるために、スライドレール12上を走行移動される。
スライドベース4上には、その走行方向前方の前端部および走行方向後方の後端部に位置させて、前段および後段清掃部材5,6が搭載される。またこれら清掃部材5,6の間に位置させて、副ブレード部10が搭載される。
前段および後段清掃部材5,6はともに、リップ部3に摺動自在に摺接可能な主ブレード部7と、リップ部3に向かって洗浄液Wを噴出する噴出ノズル8と、洗浄液Wを吸引する吸引部9とを備える。主ブレード部7はゴム製プレート材で形成される。吸引部9は、テフロン(登録商標)製の溝付プレート材13を主ブレード部7に重ね合わせることで形成され、これにより主ブレード部7に隣接させて配置される。これら主ブレード部7と溝付プレート材13とは、これらを重ね合わせた上で、その両側からステンレス製の板材14を重ね合わせて取り付けることで、一体化される。例えば、主ブレード部7および溝付プレート材13を介して、板材14間にわたって貫通させたボルトに、ナットを締結するなどの周知の締結手段によって一体化される。
これら板材14、主ブレード部7および溝付プレート材13は、リップ部3に面する上部に、当該リップ部3の外形輪郭に沿った形状、図示例にあってはおおよそV字状に切り欠いた凹部7a,13a,14aがそれぞれ形成される。板材14、主ブレード部7および溝付プレート材13の各凹部7a,13a,14aの相互関係は、図5に示すように、板材14の凹部14aに対して主ブレード部7の凹部7aが迫り出し、また溝付プレート材13の凹部13aは、板材14の凹部14aに対して潜り込むように設定される。
主ブレード部7の凹部7aの外形輪郭寸法は、リップ部3の外形輪郭寸法と同一もしくは僅かに小さく設定され、これにより主ブレード部7の凹部7aは、昇降手段11により吐出ノズル1が下降することによってリップ部3が押し付けられることで、僅かながら弾性変形を生じつつ、図6に示すように当該リップ部3に緊密に密着するように設定される。リップ部3は、昇降手段11による吐出ノズル1の下降動作によって、主ブレード部7に押し付けられ、これにより主ブレード部7はリップ部3に付着している塗工液ALを拭い取るために当該リップ部3に摺動自在に摺接される。スライドベース4上の主ブレード部7と、吐出ノズル1のリップ部3との位置合わせは、走行移動される吐出ノズル1と、スライドレール12が設けられた台相互を、レーザービーム等を利用するなどした周知の位置合わせ手段で位置調整することで行われる。
リップ部3の押し付けを考慮すると、主ブレード部7を構成するゴム製プレート材の硬度は、Hs40〜60が好適であって、Hs50が最も良好であり、その厚みも、3〜7mmが好適であって、5mmが最も良好であり、リップ部3と主ブレード部7とを位置合わせした状態における当該ゴム製プレート材のリップ部3に対する接触長さX(図6参照)は安定的な摺接を確保できる点から5〜15mmが好適であって、12mmが最も良好であり、さらに、吐出ノズル1の押し付けによるゴム製プレート材の撓み量(吐出ノズル1の押し付け量)も同様な点から、50〜150μmが好適であって、100μmが最も良好である。
他方、板材14の凹部14aの外形輪郭寸法は、主ブレード部7がリップ部3に密着している状態で、リップ部3との間に隙間が生じる外形輪郭寸法で形成される。さらに、溝付プレート材13の凹部13aの外形輪郭寸法は、板材14の凹部14aよりも潜り込んで、主ブレード部7と板材14との間に、洗浄液Wの液溜まりPとなる空隙が形成されるように設定される。吸引部9を構成する溝付プレート材13には図7に示すように、主ブレード部7と向かい合う表面に、凹部13aからその反対側の下部に向かって一連に溝13bが刻設される。溝13bは、凹部13a側に向かって一本が三本に分岐され、それぞれ主ブレード部7と板材14との間の液溜まりPに連通される。溝13bは、溝付プレート材13が主ブレード部7に重ね合わされることで、洗浄液Wの吸引通路となり、溝付プレート材13の下部には、吸引通路と接続される、図示しない吸引装置の吸引配管が取り付けられる。
主ブレード部7よりもスライドベース4の走行方向前方位置には、リップ部3に付着している塗工液ALを洗い流すための洗浄液Wを噴出する噴出ノズル8が一対配置される。これら噴出ノズル8は、リップ部3の両面にそれぞれ向かい合うように、吐出ノズル1の幅方向両側に当該リップ部3を挟むようにして配置される。各噴出ノズル8は、スライドベース4上にL字状に立ち上げられ、それらの噴出端8aは、リップ部3に対し、これと接触しないように距離を隔てて位置される。また、噴出端8aの高さ位置は図8に示すように、噴出される洗浄液Wが吐出口2へと流入しないように、吐出口2の高さ位置よりも上方となるように設定される(図中、Yで示す)。噴出ノズル8の内径は、細すぎると洗浄に十分な洗浄液Wを噴出することができず、また太すぎると洗浄液Wが無駄になるので、0.3mm程度に設定される。
以上のような構成を備える前段および後段清掃部材5,6がスライドベース4上に一対搭載されるとともに、これら清掃部材5,6間に位置させて、副ブレード部10が設けられる。副ブレード部10は、リップ部3の両面それぞれに向かい合う配置で、吐出ノズル1の幅方向両側に当該リップ部3を挟むようにして一対設けられる。副ブレード部10は図9に示すように、一対の樹脂製薄板10aと、これら樹脂製薄板10aの間に挟み込んで設けられる二枚一組のテフロン(登録商標)製板片10bとから構成される。樹脂製薄板10aは、板バネ様に可撓変形自在に形成される。板片10bは、樹脂製薄板10a間で向かい合わせに並べることで、これら薄板10a間に、一連に連続する幅の広い通路部15aと幅の狭い通路部15bとが形成されるように、それぞれL字状に形成される。
副ブレード部10は、幅の広い通路部15aがリップ部3に近接するように設置される。また、副ブレード部10は、少なくとも幅の広い通路部15a側で、樹脂製薄板10a間に隙間Vが生じるように(図12参照)、樹脂製薄板10aの外形寸法よりも、板片10bの外形寸法が短く設定される。これにより、副ブレード部10は、樹脂製薄板10aがリップ部3側で可撓変形自在とされる。
一対の副ブレード部10は図3および図4に示すように、スライドベース4の走行方向に沿って前後に位置をずらして、かつ吐出ノズル1に対するスライドベース4の相対移動方向前方へ向かって迫り出すように傾斜させて設けられる。また、前後に位置がずらされたこれら一対の副ブレード部10は図10に示すように、リップ部3が樹脂製薄板10aの間に分け入るように、当該樹脂製薄板10aの先端縁10cが主ブレード部7の凹部7aよりもリップ部3側へ相当の寸法Zで突出するように設定される。言い換えれば、これら副ブレード部10の先端縁10cは、リップ部3の外形輪郭に沿った形状を有する主ブレード部7の凹部7aよりも、より狭まったV字状形態を構成するようになっている。
これにより各副ブレード部10の樹脂製薄板10aは、リップ部3に対し図11に示すように、スライドベース4の走行方向前方へ向かって湾曲するように可撓変形され、上述した吐出ノズル1の下降および走行移動で、リップ部3からそれに付着している塗工液ALもしくはその層を引き剥がして浮き上がらせる、いわゆる「削る」もしくは「擦る」作用が得られるように当該リップ部3に摺動自在に摺接される。
これら副ブレード部10には図12に示すように、リップ部3に向かって洗浄液Wを噴出する、上記噴出ノズル8と同様な構成の副噴出ノズル16を設けるようにしてもよい。副噴出ノズル16の内径および高さ位置は、噴出ノズル8と同様に設定すればよい。また、副ブレード部10を構成する上記板片10bによって形成した通路部15a,15bを、上記吸引部9と同様に構成して、洗浄液Wを吸引するための副吸引部17としてもよい。安定的な摺接作用を確保する点から、リップ部3に対する樹脂製薄板10aの接触角α(図11参照)は、35〜55°が好ましく、45°が最も好適であり、また、主ブレード部7の凹部7aからの樹脂製薄板10aの突出量Z(図10参照)は、0.5〜2mm程度に設定することが好ましい。樹脂製薄板10a間の隙間Vの寸法は、副吸引部17として利用する場合、強い吸引力が得られるように、0.5〜1mmに設定することが好ましい。副ブレード部10に対し、スライドベース4後方の後段清掃部材6は、引き剥がされて削り出された塗工液の削りかすDに汚損されない適宜な距離Rを隔てて配置される(図2参照)。
次に、本実施形態にかかる吐出ノズルの清掃装置の作用について説明する。清掃が必要になった吐出ノズル1を、スライドレール12に向かって走行させ、位置合わせ手段により当該スライドレール12の直上位置で停止させる。清掃部材5,6等を搭載したスライドベース4は、ガラス基板の塗装範囲よりも外側の吐出ノズルの一端側に配置しておく。位置合わせ手段により、既にリップ部3と清掃部材5,6等との位置合わせは完了している。吐出ノズル1を昇降手段11で下降させ、主ブレード部7に所定の撓みが生ずるように、リップ部3を主ブレード部7や副ブレード部10に押し付ける。これにより、清掃待機状態となる。
清掃は、吐出ノズル1の長さ方向に沿ってその一端側から他端側に向かってスライドベース4を走行移動させることにより行われる。この走行移動中に、清掃部材5,6と副ブレード部10が吐出ノズル1のリップ部3の清掃を行う。清掃状態では、噴出ノズル8や副噴出ノズル16から洗浄液Wをリップ部3に向かって噴出する。スライドベース4の走行により、まず、走行方向前方の前段清掃部材5の主ブレード部7が、未清掃状態のリップ部3に対して摺動する。未清掃状態では塗工液ALは、僅かながら凸凹した塊状のようにリップ部3に付着していて、噴出ノズル8からの洗浄液Wがこれを軟化させることとなり、このように軟化した塗工液ALを主ブレード部7の摺動作用によって薄く引き延ばしながら、おおよその汚れを拭い取ることができる。主ブレード部7による摺動の際、リップ部3に付着している余分な洗浄液Wも拭い取ることができ、拭い取られた洗浄液Wは、拭い取られた塗工液ALとともに、液溜まりPに回収され、液溜まりPに回収された洗浄液Wおよび塗工液ALを、吸引部9によって吸引除去することができる。
副ブレード部10は、リップ部3に対してスライドベース4の走行方向前方に向かって湾曲した状態で擦り付けられるように摺動し、これによりその先端縁10cで、主ブレード部7によって薄く引き延ばされて膜状に残存する塗工液ALの層を削り取ることができる。この際、副洗浄ノズル16から噴出される洗浄液Wにより、削りかすDを効果的に除去することができる。また、余分な洗浄液Wは副吸引部17によって適切に吸引除去することができる。副ブレード部10と後段清掃部材6との間に、適宜な距離Rを設定したので、削りかすDはこれら両者間に落下し、後段清掃部材6が削りかすDで汚損されることを防止できる。後段清掃部材6の噴出ノズル8は、洗浄液Wを噴出し、これにより副ブレード部10で除去し切れずに残った削りかすDやリップ部3の汚れを洗い落とすことができる。
さらに後段清掃部材6の主ブレード部7がリップ部3を摺動して、汚れをさらに拭い落とすことができ、これによりリップ部3の清掃の仕上げを行って、高い清浄度を確保することができる。後段清掃部材6の主ブレード部7による摺動の際には、前段清掃部材5と同様に、リップ部3に付着している余分な洗浄液Wが拭い取られ、この拭い取られた洗浄液Wは、拭い取られた塗工液ALとともに、液溜まりPに回収され、液溜まりPに回収された洗浄液Wおよび塗工液ALを、吸引部9によって吸引除去することができる。そして、スライドベース4が吐出ノズル1の他端側に達することで、清掃作業を完了することができる。本実施形態に適用可能な洗浄液としては、塗布液の溶剤を使用することができる。例えば、PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)の使用が可能である。但し、これに限定されるものではなく、塗布液の種類に応じて種々の溶剤を使用すればよい。
以上説明した本実施形態にかかる吐出ノズルの清掃装置にあっては、吐出ノズル1の長さ方向に沿って走行自在にスライドベース4を設け、スライドベース4に、その走行方向前方および後方に位置させて、一対の前段および後段清掃部材5,6を搭載し、これら清掃部材5,6には、リップ部3の外形輪郭に沿った形状を有し、吐出ノズル1の下降でリップ部3に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部7と、主ブレード部7よりも走行方向前方位置に、リップ部3を両側から挟むように一対配置され、当該リップ部3に向かって洗浄液Wを噴出する噴出ノズル8と、主ブレード部7に隣接配置され、洗浄液Wを吸引する吸引部9とを備え、スライドベース4に、清掃部材5,6間でリップ部3を両側から挟むように一対配置され、リップ部3に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、吐出ノズル1の下降で当該リップ部3に摺動自在に摺接される副ブレード部10を搭載したので、清掃部材5,6と副ブレード部10との適切な配列によって、これら清掃部材5,6等が備える清掃機能により、合理的にかつ効果的にリップ部3を清浄化することができ、高い清掃能力を保証することができる。
また、清掃部材5,6等が搭載されるスライドベース4に対し、吐出ノズル1を昇降させるようにして、これによりリップ部3を清掃部材5,6の主ブレード部7や副ブレード部10に押し付けて摺接させるようにしたので、これら主ブレード部7等をバネなどで弾性支持してフレキシビリティを与えるようにすると清掃移動中に摺接状態にばらつきが生じて安定しないおそれがあることに比べて、走行中における両者の摺接状態の安定性を高く確保でき、長尺な吐出ノズル1に対しても、優れた清掃性能を発揮することができる。
また、副ブレード部10を、リップ部3に対し走行方向前方に向かって湾曲させるようにしたので、削り取り作用もしくは擦り取る作用を高めることができ、リップ部3の外形輪郭に沿った形状を有する主ブレード部7で除去し切れないおそれのある塗工液ALの付着物を、効率よく除去することができる。また、副ブレード部10と後段清掃部材6とを距離Rを隔てて設けたので、副ブレード部10によって十分な削り出し作用や擦り取り作用を確保しながら、それに悪影響を受けることなく、後段清掃部材6で適切に清掃の仕上げを行うことができる。さらに、副ブレード部10に、副噴出ノズル16や副吸引部17を設ければ、清掃部材5,6による清掃作用を補うことができ、さらに清掃効果を高めることができる。
本発明にかかる吐出ノズルの清掃装置の好適な一実施形態を示す斜視図である。 図1に示した吐出ノズルの清掃装置の側面図である。 図1に示した吐出ノズルの清掃装置の平面図である。 図3中、A−A線矢視断面図である。 図1に示した吐出ノズルの清掃装置に採用される清掃部材の正面図である。 図5に示した清掃部材の主ブレード部を示す正面図である。 図5に示した清掃部材の溝付プレートを示す正面図である。 図1に示した吐出ノズルの清掃装置に採用される噴出ノズルとリップ部との位置関係を示す概略正面図である。 図1に示した吐出ノズルの清掃装置に採用される副ブレード部の分解斜視図である。 図9に示した副ブレード部と清掃部材との位置関係を示す概略部分正面図である。 図9に示した副ブレード部の樹脂製薄板とリップ部との摺接状態を示す概略部分拡大図である。 図9に示した副ブレード部に採用可能な副噴出ノズルと副吸引部を示す副ブレード部の概略側断面図である。
符号の説明
1 吐出ノズル
2 スリット状吐出口
3 リップ部
4 スライドベース
5 前段清掃部材
6 後段清掃部材
7 主ブレード部
8 噴出ノズル
9 吸引部
10 副ブレード部
11 昇降手段
16 副噴出ノズル
17 副吸引部
AL,L 塗工液
W 洗浄液

Claims (2)

  1. 吐出ノズルの長さ方向に沿って走行移動し、塗工液を吐出するスリット状吐出口が形成された該吐出ノズルのリップ部を清掃する吐出ノズルの清掃装置であって、
    上記吐出ノズルを昇降自在に設け、
    上記吐出ノズルの長さ方向に沿って走行自在にスライドベースを設け、
    該スライドベースに、その走行方向前方および後方に位置させて、一対の清掃部材を搭載し、
    これら清掃部材には、上記リップ部の外形輪郭に沿った形状を有し、上記吐出ノズルの下降で該リップ部に摺動自在に摺接される弾性変形可能な主ブレード部と、該主ブレード部よりも走行方向前方位置に、該リップ部を両側から挟むように一対配置され、当該リップ部に向かって洗浄液を噴出する噴出ノズルと、該主ブレード部に隣接配置され、洗浄液を吸引する吸引部とを備え、
    上記スライドベースに、一対の上記清掃部材間で上記リップ部を両側から挟むように一対配置され、該リップ部に対し走行方向前方に向かって湾曲可能に可撓変形自在で、上記吐出ノズルの下降で当該リップ部に摺動自在に摺接される副ブレード部を搭載したことを特徴とする吐出ノズルの清掃装置。
  2. 前記副ブレード部には、前記リップ部に向かって洗浄液を噴出する副噴出ノズルおよび洗浄液を吸引する副吸引部が設けられることを特徴とする請求項1に記載の吐出ノズルの清掃装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102161028A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置
WO2013118550A1 (ja) * 2012-02-10 2013-08-15 東京エレクトロン株式会社 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置
JP2017209633A (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP2018043178A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置
JP6430056B1 (ja) * 2018-07-17 2018-11-28 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
WO2020110648A1 (ja) * 2018-11-28 2020-06-04 東レエンジニアリング株式会社 清掃装置
JP2021115490A (ja) * 2020-01-22 2021-08-10 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101205834B1 (ko) * 2010-08-24 2012-11-29 세메스 주식회사 세정 유닛 및 이를 가지는 처리액 토출 장치, 헤드 세정 방법
JP5138058B2 (ja) * 2011-03-07 2013-02-06 東レ株式会社 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
KR101328721B1 (ko) 2012-03-28 2013-11-11 주식회사 디엠에스 슬릿코터
KR101379387B1 (ko) * 2012-07-12 2014-04-01 주식회사 진영이노텍 복층유리 제조용 티피에스 공급노즐 청소장치
CN103286030B (zh) * 2013-06-28 2016-08-31 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
KR102232661B1 (ko) * 2014-05-30 2021-03-29 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 헤드 세정 방법
JP6523100B2 (ja) * 2015-08-18 2019-05-29 東京応化工業株式会社 清掃部材、塗布装置及び塗布方法
KR101884983B1 (ko) * 2016-07-19 2018-08-03 주식회사 프로텍 점성 용액 디스펜서용 노즐 세정 장치
CN106733748A (zh) * 2016-12-13 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁系统
CN206425274U (zh) * 2017-01-05 2017-08-22 惠科股份有限公司 一种喷嘴的清洁装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09192566A (ja) * 1996-01-18 1997-07-29 Toray Ind Inc 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置
JP2002361149A (ja) * 2001-06-05 2002-12-17 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置
JP2004066164A (ja) * 2002-08-08 2004-03-04 Dainippon Printing Co Ltd 塗工ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法
JP2004105849A (ja) * 2002-09-18 2004-04-08 Chugai Ro Co Ltd 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置
JP2006281101A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Toppan Printing Co Ltd 洗浄装置付塗布装置
JP2007237122A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd スリットノズル洗浄装置
JP2008149224A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Chugai Ro Co Ltd 塗布用ダイの清掃装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002177848A (ja) * 2000-12-15 2002-06-25 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法
JP4168603B2 (ja) 2001-05-31 2008-10-22 凸版印刷株式会社 洗浄装置付大型塗布装置
KR100505180B1 (ko) * 2002-02-20 2005-08-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 노즐세정장치를 구비한 액정적하장치 및 액정적하방법
JP3940054B2 (ja) * 2002-10-07 2007-07-04 大日本スクリーン製造株式会社 ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置
JP2006167508A (ja) 2004-12-13 2006-06-29 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09192566A (ja) * 1996-01-18 1997-07-29 Toray Ind Inc 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置
JP2002361149A (ja) * 2001-06-05 2002-12-17 Toray Ind Inc 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置
JP2004066164A (ja) * 2002-08-08 2004-03-04 Dainippon Printing Co Ltd 塗工ヘッドのクリーニング装置及びクリーニング方法
JP2004105849A (ja) * 2002-09-18 2004-04-08 Chugai Ro Co Ltd 塗布用ダイの清掃装置及び塗布装置
JP2006281101A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Toppan Printing Co Ltd 洗浄装置付塗布装置
JP2007237122A (ja) * 2006-03-10 2007-09-20 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd スリットノズル洗浄装置
JP2008149224A (ja) * 2006-12-15 2008-07-03 Chugai Ro Co Ltd 塗布用ダイの清掃装置

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102161028A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置
JP2011167607A (ja) * 2010-02-17 2011-09-01 Tokyo Electron Ltd スリットノズル洗浄装置及び塗布装置
KR101737124B1 (ko) 2010-02-17 2017-05-17 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 슬릿 노즐 세정 장치 및 도포 장치
WO2013118550A1 (ja) * 2012-02-10 2013-08-15 東京エレクトロン株式会社 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置
JP2013165137A (ja) * 2012-02-10 2013-08-22 Tokyo Electron Ltd 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置
JP2017209633A (ja) * 2016-05-26 2017-11-30 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP2018043178A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置
JP2020011186A (ja) * 2018-07-17 2020-01-23 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
JP6430056B1 (ja) * 2018-07-17 2018-11-28 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
WO2020017109A1 (ja) * 2018-07-17 2020-01-23 中外炉工業株式会社 塗布用ノズルの清掃装置
KR20200103817A (ko) 2018-07-17 2020-09-02 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 도포용 노즐의 청소 장치
CN111801170A (zh) * 2018-07-17 2020-10-20 中外炉工业株式会社 涂布用喷嘴的清扫装置
CN111801170B (zh) * 2018-07-17 2021-12-07 中外炉工业株式会社 涂布用喷嘴的清扫装置
TWI803629B (zh) * 2018-07-17 2023-06-01 日商中外爐工業股份有限公司 塗布用管嘴的清掃裝置
WO2020110648A1 (ja) * 2018-11-28 2020-06-04 東レエンジニアリング株式会社 清掃装置
JP2020081994A (ja) * 2018-11-28 2020-06-04 東レエンジニアリング株式会社 清掃装置
JP7094635B2 (ja) 2018-11-28 2022-07-04 東レエンジニアリング株式会社 清掃装置
JP2021115490A (ja) * 2020-01-22 2021-08-10 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー
JP7197525B2 (ja) 2020-01-22 2022-12-27 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー

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