CN106733748A - 一种清洁系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种清洁系统，所述清洁系统用于清洁喷嘴口金，所述清洁系统包括：清洁口金模块；能伸入所述喷嘴口金内的刮片，其穿过所述清洁口金模块且能在所述清洁口金模块内上下移动；驱动系统，所述驱动系统与所述刮片相接。本发明的清洁系统具有结构简单，在刮拭的同时可进行清洗，刮拭效果好，能够很好地处理喷嘴中的凝结物，从而达到很好的刮拭效果，同时在清洗处理喷嘴里面的凝结物时，不需要停机操作，从而能够避免了停机及人员操作带来的风险，操作简单的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洁系统，特别涉及一种用于清洁喷嘴口金的清洁系统。
背景技术
涂料器(Coater)为彩色滤光片(CF)制程中的重要设备之一，主要功能为涂布成膜，并在成膜后利用真空干燥抽除光阻中70％成分的溶剂，保证成膜稳定性。
Coater主要构成部分Gantry传动机构(含Nozzle)、Vaccum Stage、Tray Unit、Wetunit和其他控制单元。
喷嘴(Nozzle)为Coater最重要部品，作用为均匀地涂布光阻，保证涂膜质量，而rubber的作用即为刮拭干净nozzle口金。
在CF制成工艺中，由于采用负性光阻，而负性光阻的粘性特别强，经常会出现光阻凝结异物堵塞口金，从而导致形成裂缝不均匀(slit mura)，造成贯穿性面板窄边距(panelNG)，严重影响生产良率以及成本提高。
而目前产线上的处理手法为利用rubber刮拭以及非接触式清洗吹干，但这只是针对nozzle的外部，无法有效清洗处理nozzle里面的凝结物，此时，为处理喷嘴里面的凝结物，通常处理手法为停机。这会造成停机会造成时间的浪费，进而影响效率提高生产成本；人处理异常时难免会犯错造成设备的受损，人的效率，洗管的溶剂(solvent)用量，光阻用量都依靠人的主观性，不容易管控；再者手法难免不统一，对于成功率无法保障，另外一直运转中的设备机构及零部件不容易受损，频繁干扰设备运转会使设备更加不稳定。
因此，有必要提供一种新的清洁系统。
发明内容
本发明的清洁系统结构简单，在刮拭的同时可进行清洗，刮拭效果好，能够很好地处理喷嘴中的凝结物，从而达到很好的刮拭效果，同时在清洗处理nozzle里面的凝结物时，不需要停机操作，从而能够避免了停机及人员操作带来的风险，操作简单，减少工作装卸(loading)过程。
为实现上述目的，本发明提出一种清洁系统，其中，所述清洁系统用于清洁喷嘴口金，所述清洁系统包括：
清洁口金模块；
能伸入所述喷嘴口金内的刮片，其穿过所述清洁口金模块且能在所述清洁口金模块内上下移动；
驱动系统，所述驱动系统与所述刮片相接。
如上所述的清洁系统，其中，所述驱动系统包括转动马达，所述转动马达通过转轴连接器与所述刮片相接。
如上所述的清洁系统，其中，所述转轴连接器通过托盘与所述刮片相接。
如上所述的清洁系统，其中，所述清洁口金模块包括模块本体和两个设于所述模块本体上方的模块斜部。
如上所述的清洁系统，其中，所述刮片穿过所述模块本体，两个所述模块斜部相对所述刮片对称设置。
如上所述的清洁系统，其中，所述模块斜部的纵截面的形状为三角形，所述三角形的一条直角边与所述模块本体的上表面相平行，所述三角形的另一条直角边与所述模块本体的上表面相垂直。
如上所述的清洁系统，其中，所述模块斜部与所述喷嘴口金的外缘相配合。
如上所述的清洁系统，其中，所述驱动系统与控制系统相接。
本发明的清洁系统结构简单，在刮拭的同时可进行清洗，刮拭效果好，能够很好地处理喷嘴中的凝结物，从而达到很好的刮拭效果，同时在清洗处理nozzle里面的凝结物时，不需要停机操作，从而能够避免了停机及人员操作带来的风险，操作简单，减少工作loading过程。
附图说明
在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本发明公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本发明的理解，并不是具体限定本发明各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本发明的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本发明。
图1为本发明的清洁系统的侧视图(状态一)；
图2为本发明的清洁系统的侧视图(状态二)；
图3为本发明的清洁系统的主视图。
具体实施方式
结合附图和本发明具体实施方式的描述，能够更加清楚地了解本发明的细节。但是，在此描述的本发明的具体实施方式，仅用于解释本发明的目的，而不能以任何方式理解成是对本发明的限制。在本发明的教导下，技术人员可以构想基于本发明的任意可能的变形，这些都应被视为属于本发明的范围，下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图1至图3分别为本发明的清洁系统的侧视图(状态一)、清洁系统的侧视图(状态二)和清洁系统的主视图。
如图1和图2所示，本发明的清洁系统用于清洁喷嘴口金1，清洁系统包括：清洁口金模块2、能伸入喷嘴口金1内的刮片3，刮片3穿过清洁口金模块2且能在清洁口金模块2内上下移动，刮片3与驱动系统4相接。
驱动系统4能够驱动刮片3上下移动，刮片3上移的过程能够伸入喷嘴口金1内，在清洁口金模块2对喷嘴口金1的外部进行刮拭时，即可实现刮片3对喷嘴口金1内的凝结物进行清洗，从而实现刮拭的同时可进行清洗，即达到刮拭效果强于刮拭，另外，通过在清洁口金模块2对喷嘴口金1的外部进行刮拭时，同时实现刮片3对喷嘴口金1内的凝结物进行清洗，从而避免了停机及人员操作带来的风险，简单易学，减少工作loading。
具体的，在本发明中，刮片3采用薄膜刮片(film刮片)，驱动系统4包括转动马达41和转轴连接器42，转动马达41通过转轴连接器42与刮片3相接，即转动马达41沿如图1中方向10旋转后通过转轴连接器42形成向上的推力，使刮片3上升，转动马达41沿图1中方向10相反的方向旋转后通过转轴连接器42形成向下的拉力，使刮片3下降，即通过转动马达41的旋转，使film刮片上升或下降(lift&down)，在一具体实施例中，本发明的转轴连接器42通过托盘5与刮片3相接，即通过转动马达41的旋转，转轴连接器42推动或拉动托盘5上下移动，托盘5带动刮片3上下移动，从而使film刮片上升或下降(lift&down)，从而使film刮片稳定地上升或下降。
具体的，清洁口金模块2(rubber)包括：模块本体21和两个设于模块本体21上方的模块斜部22，在一具体实施例中，刮片3穿过模块本体21，两个模块斜部22相对刮片3对称设置，具体的，在本发明中，模块斜部22纵截面的形状为三角形状，三角形的一条直角边221与模块本体21的上表面相平行，该三角形的另一条直角边222与模块本体21的上表面相垂直，两个三角形的斜边223之间产生间隙，刮片3可以通过该间隙，从而film刮片能够上升或下降，在一具体实施例中，模块斜部222与喷嘴口金1的外缘相配合，从而实现清洁口金模块2更好地对喷嘴口金1的外缘进行刮拭的效果。
进一步地，驱动系统4中的转动马达41与控制系统(图中未示出)相接，通过控制系统来控制转动马达41的转动，在一具体实施方式中，通过PLC控制转动马达41旋转后通过转轴连接器42形成向上推力或向下的拉力，使film刮片lift&down。
本发明的清洁系统结构简单，在刮拭的同时可进行清洗，刮拭效果强于现有技术中的仅刮拭，能够很好地处理喷嘴中的凝结物，从而达到很好的刮拭效果；喷嘴口金的喷吐口只有100um左右，人员在将刮片插入内部时非常困难，需要不断尝试，而此本发明的清洁系统在提前teaching好点位后，通过近距离插入，能使插入变得简单有效，同时在清洗处理喷嘴里面的凝结物时，不需要停机操作，从而能够避免了停机及人员操作带来的风险，操作简单，减少工作loading过程，通过程序自动控制刮片3插入喷嘴内的深度以及刮拭的速度、频率，从而控制简单，即具有操作容易进行的效果。
上述技术方案只是本发明的一种实施方式，对于本领域内的技术人员而言，在本发明公开了应用方法和原理的基础上，很容易做出各种类型的改进或变形，而不仅限于本发明上述具体实施方式所描述的方法。虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (8)
1.一种清洁系统，其特征在于，所述清洁系统用于清洁喷嘴口金，所述清洁系统包括：
清洁口金模块；
能伸入所述喷嘴口金内的刮片，其穿过所述清洁口金模块且能在所述清洁口金模块内上下移动；
驱动系统，所述驱动系统与所述刮片相接。
2.如权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述驱动系统包括转动马达，所述转动马达通过转轴连接器与所述刮片相接。
3.如权利要求2所述的清洁系统，其特征在于，所述转轴连接器通过托盘与所述刮片相接。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的清洁系统，其特征在于，所述清洁口金模块包括模块本体和两个设于所述模块本体上方的模块斜部。
5.如权利要求4所述的清洁系统，其特征在于，所述刮片穿过所述模块本体，两个所述模块斜部相对所述刮片对称设置。
6.如权利要求5所述的清洁系统，其特征在于，所述模块斜部的纵截面的形状为三角形，所述三角形的一条直角边与所述模块本体的上表面相平行，所述三角形的另一条直角边与所述模块本体的上表面相垂直。
7.如权利要求4所述的清洁系统，其特征在于，所述模块斜部与所述喷嘴口金的外缘相配合。
8.如权利要求1所述的清洁系统，其特征在于，所述驱动系统与控制系统相接。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108580133A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-09-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 涂布设备口金擦拭机构 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2630570Y (zh) * | 2003-05-22 | 2004-08-04 | 李奇才 | 一种往复式传动机构 |
| KR20080055732A (ko) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 토출 노즐의 청소 장치 |
| JP2009136756A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 |
| CN103286030A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-09-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种狭缝喷嘴清洁装置 |
| CN203591909U (zh) * | 2013-12-13 | 2014-05-14 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种用于狭缝喷嘴内外壁一体式清洁的装置 |
| CN105772304A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-20 | 上海天顺环保设备有限公司 | 一种清堵器 |
| CN106076744A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴 |
-
2016
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2630570Y (zh) * | 2003-05-22 | 2004-08-04 | 李奇才 | 一种往复式传动机构 |
| KR20080055732A (ko) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 토출 노즐의 청소 장치 |
| JP2009136756A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 |
| CN103286030A (zh) * | 2013-06-28 | 2013-09-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种狭缝喷嘴清洁装置 |
| CN203591909U (zh) * | 2013-12-13 | 2014-05-14 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种用于狭缝喷嘴内外壁一体式清洁的装置 |
| CN105772304A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-20 | 上海天顺环保设备有限公司 | 一种清堵器 |
| CN106076744A (zh) * | 2016-08-26 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108580133A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-09-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 涂布设备口金擦拭机构 |
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