CN103286030A - 一种狭缝喷嘴清洁装置 - Google Patents

一种狭缝喷嘴清洁装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103286030A
CN103286030A CN2013102699919A CN201310269991A CN103286030A CN 103286030 A CN103286030 A CN 103286030A CN 2013102699919 A CN2013102699919 A CN 2013102699919A CN 201310269991 A CN201310269991 A CN 201310269991A CN 103286030 A CN103286030 A CN 103286030A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gap nozzle
cleaning device
lamellar body
nozzle
cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013102699919A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103286030B (zh
Inventor
陈晖�
张志豪
王文华
林祺哲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201310269991.9A priority Critical patent/CN103286030B/zh
Priority to PCT/CN2013/078711 priority patent/WO2014205872A1/zh
Priority to US14/111,796 priority patent/US9586224B2/en
Publication of CN103286030A publication Critical patent/CN103286030A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103286030B publication Critical patent/CN103286030B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/52Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter for removal of clogging particles
    • B05B15/522Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter for removal of clogging particles using cleaning elements penetrating the discharge openings
    • B05B15/5223Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter for removal of clogging particles using cleaning elements penetrating the discharge openings the cleaning element, e.g. a needle, and the discharge opening being movable relative to each other in a direction substantially parallel to the flow of liquid or other fluent material through said opening
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/52Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter for removal of clogging particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
    • B05B1/044Slits, i.e. narrow openings defined by two straight and parallel lips; Elongated outlets for producing very wide discharges, e.g. fluid curtains
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0254Coating heads with slot-shaped outlet

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明公开了一种狭缝喷嘴清洁装置,所述狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内。本发明的狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内,由此,可以利用辅助插入部件将清扫片体导入狭缝喷嘴内,进行狭缝喷嘴的清洁,保证狭缝喷嘴的涂布品质。

Description

一种狭缝喷嘴清洁装置
技术领域
本发明涉及一种狭缝喷嘴清洁装置,尤其是用于对液晶平板显示器的光刻胶涂布的狭缝喷嘴的内部进行清洁的狭缝喷嘴清洁装置。
背景技术
在TFT-LCD等平板显示器的制造工艺中的光刻工序中,一般通过狭缝喷嘴进行光刻胶的涂布。在进行涂布时,使具有狭缝形状的喷出口的长条形的狭缝喷嘴相对于玻璃基板等的涂布表面相对移动,在基板上涂覆光刻胶。狭缝喷嘴的喷出口的宽度较小(约百微米级)。在生产过程中,喷出口发生堵塞而影响涂布品质时常发生,导致纵向色不均,涂布不良。以彩色滤光片光阻为例,由于光刻胶中使用颜料分散法分散有颜料分子,因此容易干燥结块,阻塞喷出口,影响涂布品质。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种狭缝喷嘴清洁装置,其可以用于狭缝喷嘴的清洁,保证狭缝喷嘴的涂布品质。
本发明通过如下技术方案实现:一种狭缝喷嘴清洁装置,其中,所述狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入部件吸附在所述狭缝喷嘴上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴包括左盖板、右盖板、前喷嘴半部、后喷嘴半部、流体入口,所述前喷嘴半部、所述后喷嘴半部由所述左盖板、所述右盖板固定在一起,所述前喷嘴半部、所述后喷嘴半部贴合而形成喷嘴腔体及喷出口,所述流体入口形成于所述前喷嘴半部上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入部件包括辅助插入段及固定段,所述辅助插入段包括插入段前半部及插入段后半部,所述插入段前半部及所述插入段后半部由所述固定段固定在一起,所述插入段前半部及所述插入段后半部之间形成有引导空间。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括弹性安装架,所述弹性安装架具有用于向上顶推所述辅助插入部件的多个螺旋弹簧。
作为上述技术方案的进一步改进,所述辅助插入段及所述固定段的顶部分布有多个磁铁以便将所述辅助插入部件吸附在所述狭缝喷嘴上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述引导空间包括位于上方的上方V型空间、位于下方的下方倒V型空间、位于所述上方V型空间与所述下方倒V型空间之间的间隔恒定空间,所述上方V型空间用于容纳所述狭缝喷嘴的喷出口。
作为上述技术方案的进一步改进,所述喷出口的宽度大于所述间隔恒定空间的宽度,且所述间隔恒定空间的宽度大于所述清扫片体的厚度。
作为上述技术方案的进一步改进,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括清扫片体夹具,所述清扫片体夹具用于夹持所述清扫片体。
作为上述技术方案的进一步改进,所述清扫片体夹具包括夹具驱动装置,所述夹具驱动装置用于驱动所述清扫片体夹具沿左右方向移动。
本发明的有益效果是:本发明的狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体及辅助插入部件,所述辅助插入部件用于将所述清扫片体导入所述狭缝喷嘴内,由此,可以利用辅助插入部件将清扫片体导入狭缝喷嘴内,进行狭缝喷嘴的清洁,保证狭缝喷嘴的涂布品质。
附图说明
图1是根据本发明的一个具体实施例的狭缝喷嘴清洁装置的立体透视示意图。
图2是图1中狭缝喷嘴的分解透视示意图。
图3是图1中辅助插入部件的分解透视示意图。
图4是说明图1中辅助插入部件的将清洁片体导入狭缝喷嘴的原理示意图。
图5是图1中辅助插入部件的引导空间的结构示意图。
图6是根据本发明的另一具体实施例的狭缝喷嘴清洁装置的立体透视示意图。
图7是图6中弹性安装架的立体透视示意图。
图8是图6中清扫片体夹具的立体透视示意图。
图9是显示图6中的狭缝喷嘴清洁装置的辅助插入过程中的侧视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
如图1所示,本发明的狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体300及辅助插入部件200,所述辅助插入部件200用于将所述清扫片体300导入所述狭缝喷嘴100内。
一般,狭缝喷嘴100的喷出口112(后述)的加工精密性高,且表面平滑,难以使用金属硬质材料刮除,本发明使用与喷出口112的宽度接近的清扫片体300,利用辅助插入部件200将清扫片体300插入喷出口内。清扫片体300为薄片材料,可以是但不仅限于PET材料。通过沿左右方向X移动清扫片体300,刮擦喷出口的内壁,对狭缝喷嘴100进行清洁。由于采用辅助插入部件200将清扫片体300插入喷出口内,所以没有清扫片体300弯曲或折损的担心,可以快速准确地将清扫片体300插入喷出口内。而且,还可以利用辅助插入部件200控制清扫片体300插入喷出口的深度,达到最佳清洁效果。
本发明的狭缝喷嘴清洁装置中,所述辅助插入部件200吸附在所述狭缝喷嘴100上。如图3所示,所述辅助插入段202及所述固定段204的顶部分别分布有4个磁铁210,以便将所述辅助插入部件200吸附在所述狭缝喷嘴100上。狭缝喷嘴100为钢制件,所以辅助插入部件200牢牢能够吸附在所述狭缝喷嘴100上。虽然在图1所示的实施例中,辅助插入部件200通过磁铁210吸附在狭缝喷嘴100的喷出口上,但本发明不限于此,例如可以通过魔术贴、双面胶等固定件将辅助插入部件200粘贴在狭缝喷嘴100的喷出口112上。
如图2所示,所述狭缝喷嘴100包括左盖板102、右盖板104、前喷嘴半部108、后喷嘴半部106、流体入口116。所述前喷嘴半部108、所述后喷嘴半部106由所述左盖板102、所述右盖板104固定在一起。祥言之,所述前喷嘴半部108、所述后喷嘴半部106由所述左盖板102、所述右盖板104夹持后,通过沿左右方向X延伸的4根长形螺栓114紧固在一起。所述前喷嘴半部108、所述后喷嘴半部106贴合而形成喷嘴腔体110及喷出口112。所述流体入口116形成于所述前喷嘴半部108上。涂布流体经所述流体入口116进入喷嘴腔体110,并经由喷出口112流出。
如图3所示,所述辅助插入部件200包括辅助插入段202及固定段204。所述辅助插入段202包括插入段前半部218及插入段后半部216。所述插入段前半部218及所述插入段后半部216由所述固定段204固定在一起。如图3所示,插入段前半部218及插入段后半部216通过沿左右方向X延伸的4根螺栓206(图中仅示出2根)及相应螺母214固定在固定段204上。祥言之,螺栓206依次穿过设于固定段204上的通孔208、设于所述插入段前半部218及所述插入段后半部216上的通孔212与螺母214旋紧。所述插入段前半部218及所述插入段后半部216之间形成有引导空间220。引导空间220形成于插入段前半部218及插入段后半部216之间。
如图4和图5所示,所述引导空间220包括位于上方的上方V型空间226、位于下方的下方倒V型空间224、位于所述上方V型空间226与所述下方倒V型空间224之间的间隔恒定空间228。所述上方V型空间226用于容纳所述狭缝喷嘴100的喷出口112。如图4所示,喷出口112的吐出端恰好位于上方V型空间226内。而且,所述喷出口112的宽度D3大于所述间隔恒定空间228的宽度D2,且所述间隔恒定空间228的宽度D2大于所述清扫片体300的厚度Dl,即D3>D2>Dl。通过上方V型空间226与喷出口112的吐出端的卡合,实现辅助插入部件200与狭缝喷嘴100的可靠定位。由于所述喷出口112的宽度D3大于所述间隔恒定空间228的宽度D2、所述间隔恒定空间228的宽度D2大于所述清扫片体300的厚度Dl及下方倒V型空间224的引导,所以清扫片体300可便捷、快速、容易、准确无误地经由引导空间220进入喷出口112。而且,可以通过设置辅助插入段202的高度,控制清扫片体300插入喷出口112的深度,达到最佳清洁效果。
在图1至图5所示的实施例中,当将清扫片体300插入喷出口112之后,可以通过手动沿左右方向X移动清扫片体300对狭缝喷嘴100进行清洁。
下面结合图6至图8介绍本发明的狭缝喷嘴清洁装置的变形例,该变形例可以实现清扫片体300自动沿左右方向X移动,对狭缝喷嘴100进行清洁。
如图6和图7所示,该实施例的狭缝喷嘴清洁装置包括弹性安装架400。所述弹性安装架400包括前支撑块406、后支撑块404、凹槽408。另外,所述弹性安装架400具有用于沿上下方向Z向上顶推所述辅助插入部件200的4个螺旋弹簧404。4个螺旋弹簧404套设在设于前支撑块406、后支撑块404上的柱体402上。由此,无需设置磁铁,即可使辅助插入部件200与狭缝喷嘴100的下方接合,即与喷出口112卡合。根据该实施例的狭缝喷嘴清洁装置,4个螺旋弹簧404套设在4根柱体402上,使得前支撑块406、后支撑块404在上下方向Z上具有一定程度的移动自由度,受压时可沿上下方向Z可弹性下降。而且,所述弹性安装架400上设有凹槽408,且前支撑块406与后支撑块404之间形成有间隙,后述的清扫片体夹具500的连接板508与凹槽408相适配,使清扫片体夹具500自动沿左右方向X移动时与弹性安装架400不会发生干涉。
在图6所示实施例中,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括清扫片体夹具500。所述清扫片体夹具500用于夹持所述清扫片体300。且所述清扫片体夹具500包括夹具驱动装置504。所述夹具驱动装置504用于驱动所述清扫片体夹具500沿左右方向X移动。由此,可以实现清扫片体300自动沿左右方向X移动,对狭缝喷嘴100进行清洁。具体而言,如图6和图8所示,清扫片体夹具500还包括夹持部件502、连接板508、齿条506。夹持部件502具有前夹持块、后夹持块。该前夹持块、后夹持块将清扫片体300夹紧,再通过穿过前夹持块、后夹持块的螺栓将三者锁紧在一起。夹持部件502固定连接在连接板508上。连接板508穿过弹性安装架400上的凹槽408与驱动装置504连接。驱动装置504例如可以为驱动未图示的齿轮的马达。在驱动装置504的作用下,清扫片体夹具500夹持清扫片体300沿左右方向X移动,实现清扫片体300自动沿左右方向X移动,对狭缝喷嘴100进行清洁,改善了清洁效率,节省人力成本。其中,清扫片体夹具500可以在皮带齿轮机构的带动下沿左右方向X水平运动,带动清扫片体300沿左右方向X水平运动(弹性安装架400在左右方向X上静止),从狭缝喷嘴的放置有弹性安装架400的一端移动到狭缝喷嘴的另一端。
如图9所示,在需要利用清扫片体300对狭缝喷嘴100的喷出口内部进行清洁时,首先,将清扫片体300固定在清扫片体夹具500上;接着,使狭缝喷嘴100与辅助插入部件200对准。其中,本实施例中,由于辅助插入部件200具有上下、前后、左右方向的运动自由度,所以狭缝喷嘴100与辅助插入部件200可以自对准。然后,使狭缝喷嘴100沿上下方向Z朝辅助插入部件200运动,使上方V型空间226与喷出口112的吐出端的卡合,并使清扫片体300插入喷出口112。接着,清扫片体夹具500可以在皮带齿轮机构的作用下带动清扫片体300沿左右方向X水平运动,实现狭缝喷嘴清洁。
以上具体实施方式对本发明进行了详细的说明,但这些并非构成对本发明的限制。本发明的保护范围并不以上述实施方式为限,但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化,皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。

Claims (10)

1.一种狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述狭缝喷嘴清洁装置包括清扫片体(300)及辅助插入部件(200),所述辅助插入部件(200)用于将所述清扫片体(300)导入所述狭缝喷嘴(100)内。
2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述辅助插入部件(200)吸附在所述狭缝喷嘴(100)上。
3.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述狭缝喷嘴(100)包括左盖板(102)、右盖板(104)、前喷嘴半部(108)、后喷嘴半部(106)、流体入口(116),所述前喷嘴半部(108)、所述后喷嘴半部(106)由所述左盖板(102)、所述右盖板(104)固定在一起,所述前喷嘴半部(108)、所述后喷嘴半部(106)贴合而形成喷嘴腔体(110)及喷出口(112),所述流体入口(116)形成于所述前喷嘴半部(108)上。
4.根据权利要求3所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述辅助插入部件(200)包括辅助插入段(202)及固定段(204),所述辅助插入段(202)包括插入段前半部(218)及插入段后半部(216),所述插入段前半部(218)及所述插入段后半部(216)由所述固定段(204)固定在一起,所述插入段前半部(218)及所述插入段后半部(216)之间形成有引导空间(220)。
5.根据权利要求4所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括弹性安装架(400),所述弹性安装架(400)具有用于向上顶推所述辅助插入部件(200)的多个螺旋弹簧(404)。
6.根据权利要求4所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述辅助插入段(202)及所述固定段(204)的顶部分布有多个磁铁(210)以便将所述辅助插入部件(200)吸附在所述狭缝喷嘴(100)上。
7.根据权利要求4所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述引导空间(220)包括位于上方的上方V型空间(226)、位于下方的下方倒V型空间(224)、位于所述上方V型空间(226)与所述下方倒V型空间(224)之间的间隔恒定空间(228),所述上方V型空间(226)用于容纳所述狭缝喷嘴(100)的喷出口(112)。
8.根据权利要求7所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述喷出口(112)的宽度(D3)大于所述间隔恒定空间(228)的宽度(D2),且所述间隔恒定空间(228)的宽度(D2)大于所述清扫片体(300)的厚度(D1)。
9.根据权利要求1至8任一项所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述狭缝喷嘴清洁装置还包括清扫片体夹具(500),所述清扫片体夹具(500)用于夹持所述清扫片体(300)。
10.根据权利要求9所述的狭缝喷嘴清洁装置,其特征在于,所述清扫片体夹具(500)包括夹具驱动装置(504),所述夹具驱动装置(504)用于驱动所述清扫片体夹具(500)沿左右方向(X)移动。
CN201310269991.9A 2013-06-28 2013-06-28 一种狭缝喷嘴清洁装置 Active CN103286030B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310269991.9A CN103286030B (zh) 2013-06-28 2013-06-28 一种狭缝喷嘴清洁装置
PCT/CN2013/078711 WO2014205872A1 (zh) 2013-06-28 2013-07-02 一种狭缝喷嘴清洁装置
US14/111,796 US9586224B2 (en) 2013-06-28 2013-07-02 Slit nozzle cleaning device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310269991.9A CN103286030B (zh) 2013-06-28 2013-06-28 一种狭缝喷嘴清洁装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103286030A true CN103286030A (zh) 2013-09-11
CN103286030B CN103286030B (zh) 2016-08-31

Family

ID=49087863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310269991.9A Active CN103286030B (zh) 2013-06-28 2013-06-28 一种狭缝喷嘴清洁装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9586224B2 (zh)
CN (1) CN103286030B (zh)
WO (1) WO2014205872A1 (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106076744A (zh) * 2016-08-26 2016-11-09 武汉华星光电技术有限公司 光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴
CN106767653A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁口金模块的磨具
CN106733748A (zh) * 2016-12-13 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁系统
CN106842831A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 武汉华星光电技术有限公司 一种显影喷嘴装置
CN108580133A (zh) * 2018-06-01 2018-09-28 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 涂布设备口金擦拭机构
WO2019056669A1 (zh) * 2017-09-25 2019-03-28 武汉华星光电技术有限公司 清洁装置
CN110560330A (zh) * 2019-09-29 2019-12-13 成都中电熊猫显示科技有限公司 一种针头清洁装置
CN111570161A (zh) * 2020-05-14 2020-08-25 刘桐希 一种锂电池电极涂布设备
CN111822219A (zh) * 2020-06-11 2020-10-27 陈佳佳 一种涂胶系统
CN112090647A (zh) * 2020-09-14 2020-12-18 邵阳博亿技术服务有限公司 一种喷涂装置
CN113522662A (zh) * 2021-06-11 2021-10-22 张安娜 一种智慧社区相关led晶片贴片工件涂蜡处理装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6697324B2 (ja) * 2016-05-26 2020-05-20 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP6860414B2 (ja) * 2017-05-11 2021-04-14 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP6845078B2 (ja) * 2017-05-11 2021-03-17 株式会社Screenホールディングス ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法
JP7279096B2 (ja) * 2021-02-26 2023-05-22 株式会社Screenホールディングス ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置
EP4364856A1 (en) * 2022-11-02 2024-05-08 Air Power Group S.r.l. Apparatus for washing a slit coating head

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4090297B2 (ja) * 2002-07-10 2008-05-28 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置およびスリットノズル先端の清浄化方法
CN101204707A (zh) * 2006-12-15 2008-06-25 中外炉工业株式会社 排出管嘴清洗设备
JP4489480B2 (ja) * 2004-03-25 2010-06-23 東京応化工業株式会社 スリットノズル洗浄装置
CN102161028A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置
CN102161027A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置
JP4792787B2 (ja) * 2005-03-31 2011-10-12 凸版印刷株式会社 洗浄装置付塗布装置
CN202087472U (zh) * 2011-05-10 2011-12-28 深圳市华星光电技术有限公司 狭缝涂布机喷嘴的清洗装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4090297B2 (ja) * 2002-07-10 2008-05-28 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置およびスリットノズル先端の清浄化方法
JP4489480B2 (ja) * 2004-03-25 2010-06-23 東京応化工業株式会社 スリットノズル洗浄装置
JP4792787B2 (ja) * 2005-03-31 2011-10-12 凸版印刷株式会社 洗浄装置付塗布装置
CN101204707A (zh) * 2006-12-15 2008-06-25 中外炉工业株式会社 排出管嘴清洗设备
CN102161028A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置
CN102161027A (zh) * 2010-02-17 2011-08-24 东京毅力科创株式会社 狭缝喷嘴清扫装置以及涂覆装置
CN202087472U (zh) * 2011-05-10 2011-12-28 深圳市华星光电技术有限公司 狭缝涂布机喷嘴的清洗装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106076744A (zh) * 2016-08-26 2016-11-09 武汉华星光电技术有限公司 光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴
CN106076744B (zh) * 2016-08-26 2018-11-23 武汉华星光电技术有限公司 光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴
CN106733748A (zh) * 2016-12-13 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁系统
CN106767653A (zh) * 2016-12-21 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁口金模块的磨具
CN106767653B (zh) * 2016-12-21 2019-06-07 武汉华星光电技术有限公司 一种清洁口金模块的磨具
CN106842831A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 武汉华星光电技术有限公司 一种显影喷嘴装置
WO2019056669A1 (zh) * 2017-09-25 2019-03-28 武汉华星光电技术有限公司 清洁装置
CN108580133A (zh) * 2018-06-01 2018-09-28 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 涂布设备口金擦拭机构
CN110560330A (zh) * 2019-09-29 2019-12-13 成都中电熊猫显示科技有限公司 一种针头清洁装置
CN111570161A (zh) * 2020-05-14 2020-08-25 刘桐希 一种锂电池电极涂布设备
CN111570161B (zh) * 2020-05-14 2021-11-02 时代一汽动力电池有限公司 一种锂电池电极涂布设备
CN111822219A (zh) * 2020-06-11 2020-10-27 陈佳佳 一种涂胶系统
CN111822219B (zh) * 2020-06-11 2021-08-24 合肥智慧龙机械设计有限公司 一种涂胶系统
CN112090647A (zh) * 2020-09-14 2020-12-18 邵阳博亿技术服务有限公司 一种喷涂装置
CN112090647B (zh) * 2020-09-14 2022-03-22 邵阳博亿技术服务有限公司 一种喷涂装置
CN113522662A (zh) * 2021-06-11 2021-10-22 张安娜 一种智慧社区相关led晶片贴片工件涂蜡处理装置
CN113522662B (zh) * 2021-06-11 2023-12-05 张安娜 一种智慧社区相关led晶片贴片工件涂蜡处理装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20160107184A1 (en) 2016-04-21
US9586224B2 (en) 2017-03-07
CN103286030B (zh) 2016-08-31
WO2014205872A1 (zh) 2014-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103286030A (zh) 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN104790022B (zh) 一种全自动pcb垂直连续电镀装置
CN106102326B (zh) 一种凸轮夹紧机构
CN205218908U (zh) 任意方向都可以调整尺寸的上玻璃组件粘接工装
CN205478729U (zh) 可将多种部件同时粘接到玻璃面板上的粘接工装
CN204019417U (zh) 一种用于车身前翼子板支架安装的装配夹具
CN210452420U (zh) 一种实用型机械夹具
CN202460906U (zh) 一种车身四门治具
CN213378287U (zh) 一种极片清洁装置
CN104545679A (zh) 一种玻璃擦
CN208077047U (zh) 背光点亮治具
CN205289186U (zh) 一种lcd玻璃自动清洗周转夹具
CN205839121U (zh) 一种玻璃基板装载装置
CN220647484U (zh) 一种嵌入式触摸屏
KR100806224B1 (ko) 세정장치
CN214727214U (zh) 剥离偏光片的简易机构
CN201249165Y (zh) 背门支撑治具
CN218114202U (zh) 一种防堵塞防漏料的棒条阀
CN219648913U (zh) 一种脉冲式焊接机机柜
CN203923366U (zh) 基板夹和真空镀膜设备
CN115107393B (zh) 一种印刷物自动胶装制作设备及胶装方法
CN211684466U (zh) 一种绘画课用防污装置
CN209238528U (zh) 一种电动滚筒清洗装置
CN208083874U (zh) 金属异形件加工夹具
CN216643465U (zh) 一种废矿物油用提炼装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant