CN203923366U - 基板夹和真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板夹和真空镀膜设备。该基板夹，包括：夹持器底座，安装在所述夹持器底座上的夹持器，安装在所述夹持器上的夹头，以及安装在所述夹持器底座上的工件基座；所述夹持器底座上设置有条形导轨，所述条形导轨上支撑放置所述工件基座，所述工件基座上设置有与所述夹持器可拆卸连接的定位件。本实用新型在基板夹底座上添加条形滑轨，利用条形导轨带动基板夹底座进行位置调整，确定好工件基座和夹头之间的开度值后，然后使用顶端联动的定位件进行定位，操作简单，简化操作人员工作，减少由于玻璃夹碎所导致的停机，提高设备嫁动率。

Description

基板夹和真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种基板夹和包括该基板夹的真空镀膜设备。

背景技术

在真空镀膜等领域由于工件被加工时所在环境为真空环境，无法使用真空吸附来固定工件，而只能采用机械夹具固定，如图1至图3所示夹头2通过夹头固定螺栓3固定在夹头夹持器4上，夹头夹持器4通过旋转轴6固定在夹持器底座5上；夹持器底座5固定在镀膜基座9上；当驱动顶杆7上下运动时，夹持器4带动夹头2和旋转轴6形成杠杆原理，工件1在加工时，夹具夹头2与绝缘均热板8之间要有适当的开度来保证工件不会脱落或被夹坏；而工件镀膜时，基板夹上，尤其是夹具夹头2会被污染，需要定期的更换与调整，如图4所示，原有的拆装调整的方法是将基板夹用四个螺丝固定，靠松动固定螺丝推动基板夹安装板来调整开度值的大小；由于螺丝是从基板夹安装板底部安装，故存在调整空间小，导致调整精度不够，从而影响开度值，导致工件在真空腔体内被夹碎的现象。

由于真空镀膜设备夹具夹头更换的次数频繁，且原有基板夹安装较为复杂，调试方法存在调试精度不准确，腔体的调试空间小，调试时需多人协同作业等不足，费时费力。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何简化基板夹安装和调试操作的复杂度。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板夹，包括：夹持器底座，安装在所述夹持器底座上的夹持器，安装在所述夹持器上的夹头，以及安装在所述夹持器底座上的工件基座；所述夹持器底座上设置有条形导轨，所述条形导轨上支撑放置所述工件基座，所述工件基座上设置有与所述夹持器可拆卸连接的定位件。

优选地，所述条形导轨具有两条，平行于所述夹头的长度方向设置。

优选地，所述定位件为定位螺母，所述夹持器上设置有与所述定位螺母配合的螺纹孔。

优选地，所述工件基座为绝缘均热板。

优选地，所述条形导轨具有两条，平行设置。

优选地，所述条形导轨通过螺栓安装在所述夹持器底座上。

进一步的，本实用新型提供一种真空镀膜设备，包括上述任一项所述的基板夹。

(三)有益效果

上述技术方案具有如下优点：在基板夹底座上添加条形滑轨，利用条形导轨带动基板夹底座进行位置调整，确定好工件基座和夹头之间的开度值后，然后使用顶端联动的定位件进行定位，操作简单，简化操作人员工作，减少由于玻璃夹碎所导致的停机，提高设备嫁动率。

附图说明

图1至图4是现有技术中基板及基板夹的结构示意图；

图5和图6是现有技术中基板夹主要部件的侧视和俯视图；

图7和图8是本实施例基板夹主要部件的侧视和俯视图。

其中，1：工件；2：夹头；3：固定螺栓；4：夹持器；5：夹持器底座；6：旋转轴；7：驱动顶杆；8：绝缘均热板；9：镀膜基座；10：定位螺栓；11：条形导轨；12：定位螺母。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

本实用新型涉及应用在真空镀膜，尤其是在PVD(Physical VaporDeposition，物理气相沉积)真空镀膜领域，包括：溅射镀膜、蒸发镀膜、离子镀膜设备，以及CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)真空镀膜领域，包括PECVD(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积)、LPECVD(Low PressurePlasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，低压等离子体增强化学气相沉积)、LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition低压力化学气相沉积法)等以及离子刻蚀(包括等离子刻蚀和反应离子刻蚀)和离子注入设备。

基于现有技术中涉及到的真空磁控溅射等真空镀膜领域的固定基板夹，特别是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，即薄膜场效应晶体管液晶显示器)领域固定玻璃基板的基板夹，为了简化其安装和调试，减少对玻璃基板的压损，本实用新型提供一种改进的基板夹结构，以使基板夹安装时更加简捷，调整夹具的开度时更加的准确，能有效的防止在镀膜过程中玻璃基板破损，延长设备的使用周期，提高设备嫁动率。

参照图7和图8所示，本实施例的基板夹包括夹持器底座5，安装在夹持器底座5上的夹持器4，安装在夹持器4上的夹头2，以及安装在夹持器底座5上的工件基座，工件基座优选为绝缘均热板8，夹头2通过夹头固定螺栓固定在夹持器4上，夹持器4通过旋转轴固定在夹持器底座5上；夹持器底座5固定在镀膜基座上；驱动顶杆上下运动，使夹持器4带动夹头2和旋转轴形成杠杆原理，绝缘均热板8上放置的待加工工件在加工时，夹头2与绝缘均热板8之间要有适当的开度来保证工件不会脱落或被夹坏。为了便于基板夹安装调试以及调整夹头2与绝缘均热板8之间的开度，夹持器底座5上设置条形导轨11，条形导轨11上支撑放置绝缘均热板8，绝缘均热板8上设置与夹持器4可拆卸连接的定位件，定位件优选为定位螺母12。条形导轨12设置之后，能够同步带动夹持器底座5运动，进一步带动夹头2与绝缘均热板8之间进行开度调整，夹头2与绝缘均热板8之间的开度值达到所需值之后，使用定位螺母12将绝缘均热板8与夹持器4固定，此时，夹持器底座5不能够沿条形导轨11运动，整个结构达到稳定状态。

条形导轨11具有两条，通过螺栓安装在夹持器底座5上，平行于夹头2的长度方向设置，以带动夹持器底座5平稳运动，各个位置运动协调一致；夹持器4上设置有与定位螺母12配合的螺纹孔。

安装条形滑轨11和顶端定位螺母12，靠滑轨的原理进行前后的运作来调整夹头2与绝缘均热板8之间开度值的大小，调整值更加准确，调整值确认后再用顶部定位螺母12进行固定，使其夹具在使用过程中开度值不会由于长时间运作而变化。

由以上实施例可以看出，本实用新型在基板夹底座上添加条形滑轨，利用条形导轨带动基板夹底座进行位置调整，确定好工件基座和夹头之间的开度值后，然后使用顶端联动的定位件进行定位，操作简单，简化操作人员工作，减少由于玻璃夹碎所导致的停机，提高设备嫁动率。

本实用新型实施例还提供一种真空镀膜设备，包括上述的基板夹。由于使用了上述基板夹，可以简化操作人员工作，减少由于玻璃夹碎所导致的停机，进而提高设备嫁动率。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种基板夹，包括：夹持器底座，安装在所述夹持器底座上的夹持器，安装在所述夹持器上的夹头，以及安装在所述夹持器底座上的工件基座；其特征在于，所述夹持器底座上设置有条形导轨，所述条形导轨上支撑放置所述工件基座，所述工件基座上设置有与所述夹持器可拆卸连接的定位件。

2.如权利要求1所述的基板夹，其特征在于，所述条形导轨平行于所述夹头的长度方向设置。

3.如权利要求1所述的基板夹，其特征在于，所述定位件为定位螺母，所述夹持器上设置有与所述定位螺母配合的螺纹孔。

4.如权利要求1所述的基板夹，其特征在于，所述工件基座为绝缘均热板。

5.如权利要求1所述的基板夹，其特征在于，所述条形导轨具有两条，平行设置。

6.如权利要求1所述的基板夹，其特征在于，所述条形导轨通过螺栓安装在所述夹持器底座上。

7.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的基板夹。