JP6697324B2 - ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 - Google Patents
ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6697324B2 JP6697324B2 JP2016104809A JP2016104809A JP6697324B2 JP 6697324 B2 JP6697324 B2 JP 6697324B2 JP 2016104809 A JP2016104809 A JP 2016104809A JP 2016104809 A JP2016104809 A JP 2016104809A JP 6697324 B2 JP6697324 B2 JP 6697324B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- tip
- moving
- facing
- rinse liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 161
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 133
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 127
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 254
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 20
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 64
- 230000008569 process Effects 0.000 description 15
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 13
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 13
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920003244 diene elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N ethene;prop-1-ene Chemical group C=C.CC=C HQQADJVZYDDRJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 1
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
Description
6…ノズル清掃装置、
6A…除去ユニット、
6B…駆動ユニット、
6E…リンス液供給ユニット、
61A…スプレッダ、
61B…スクレーパ、
61C…スプレッダ、
610…液供給孔610、
62…支持部、
2…スリットノズル、
21…吐出口、
24…リップ部、
26…傾斜面、
Dc…清掃方向
Claims (8)
- 先端部の先の先端面に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記ノズルの前記吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第1対向部材と、
前記第1対向部材の前記移動方向の上流側で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接した状態で前記移動方向へ移動可能な当接部材と、
前記ノズルが前記吐出口から塗布液を吐出してから、前記第1対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記先端面と前記第1対向部材との間から前記先端部の前記側面と前記第1対向部材との間に進入して前記先端部に付着した塗布液を前記第1対向部材により前記側面に広げるとともに、前記当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられた塗布液を前記当接部材により前記側面から除去する部材移動動作を実行する移動部と
を備えるノズル清掃装置。 - 先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記ノズルの前記吐出口に沿った移動方向へ移動可能な第1対向部材と、
前記第1対向部材の前記移動方向の上流側で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接した状態で前記移動方向へ移動可能な当接部材と、
前記ノズルの前記先端部にリンス液を供給するリンス液供給部と、
前記第1対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記リンス液供給部により供給されて前記先端部に付着したリンス液を前記第1対向部材により前記側面に広げるとともに、前記当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられたリンス液を前記当接部材により前記側面から除去する部材移動動作を実行する移動部と
を備え、
前記リンス液供給部は、前記第1対向部材に設けられた液供給孔から、前記第1対向部材と前記ノズルの前記先端部との間にリンス液を供給し、
前記第1対向部材は、前記液供給孔から供給されたリンス液を前記部材移動動作の実行中において前記側面に広げるノズル清掃装置。 - 前記移動方向における前記第1対向部材と前記当接部材との間で、前記ノズルの前記先端部の前記側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向した状態で前記移動方向へ移動可能な第2対向部材をさらに備え、
前記移動部は、前記部材移動動作において前記第2対向部材を前記移動方向へ移動させることで、前記第1対向部材により前記側面に広げられたリンス液を前記第2対向部材によりさらに前記側面に広げる請求項2に記載のノズル清掃装置。 - 前記第1対向部材および前記当接部材を一体的に支持しつつ前記ノズルの前記先端部へ向けて付勢する支持部を備え、
前記当接部材が前記支持部の付勢力により前記ノズルの前記先端部の前記側面に突き当てられた状態で、前記第1対向部材と前記ノズルの前記先端部の前記側面との間隔が規定される請求項1ないし3のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。 - 前記当接部材は弾性体であり、前記第1対向部材は前記当接部材より硬い硬質体である請求項1ないし4のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。
- 先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、
請求項1ないし5のいずれか一項に記載のノズル清掃装置と
を備える塗布装置。 - 先端部の先の先端面に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部に塗布液を付着させる工程と、
前記ノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向する第1対向部材を前記吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、前記先端面と前記第1対向部材との間から前記先端部の前記側面と前記第1対向部材との間に進入して前記先端部に付着した塗布液を前記第1対向部材により前記側面に広げる工程と、
前記第1対向部材の前記移動方向の上流側で前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接する当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられた塗布液を前記当接部材により前記側面から除去する工程と
を備えるノズル清掃方法。 - 先端部の先に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルの前記先端部にリンス液を付着させる工程と、
前記ノズルの前記先端部の側面に対して間隔を空けつつ前記先端部の前記吐出口および前記側面に対向する第1対向部材を前記吐出口に沿った移動方向へ移動させることで、前記先端部に付着したリンス液を前記第1対向部材により前記側面に広げる工程と、
前記第1対向部材の前記移動方向の上流側で前記ノズルの前記先端部の前記側面に当接する当接部材を前記移動方向へ移動させることで、前記側面に広げられたリンス液を前記当接部材により前記側面から除去する工程と
を備え、
前記リンス液は、前記第1対向部材に設けられた液供給孔から、前記第1対向部材と前記ノズルの前記先端部との間に供給されることで、前記先端部に付着し、
前記第1対向部材は、前記液供給孔から供給されたリンス液を前記移動方向への移動中において前記側面に広げるノズル清掃方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016104809A JP6697324B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
CN201710320161.2A CN107433240B (zh) | 2016-05-26 | 2017-05-09 | 喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016104809A JP6697324B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017209633A JP2017209633A (ja) | 2017-11-30 |
JP6697324B2 true JP6697324B2 (ja) | 2020-05-20 |
Family
ID=60458609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016104809A Active JP6697324B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6697324B2 (ja) |
CN (1) | CN107433240B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7111565B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-08-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7094635B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-07-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP6975754B2 (ja) * | 2019-09-10 | 2021-12-01 | 株式会社Screenホールディングス | 塗布装置および塗布方法 |
JP7326081B2 (ja) * | 2019-09-13 | 2023-08-15 | 株式会社Screenホールディングス | インク供給部、印刷装置、および錠剤印刷装置 |
JP7197525B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2022-12-27 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー |
JP7312204B2 (ja) * | 2021-02-22 | 2023-07-20 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4779234B2 (ja) * | 2001-06-05 | 2011-09-28 | 東レ株式会社 | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 |
JP4451175B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-04-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および基板処理装置 |
JP4850680B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-01-11 | 中外炉工業株式会社 | 吐出ノズルの清掃装置 |
JP5071167B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-11-14 | 東レ株式会社 | 清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
JP5301120B2 (ja) * | 2007-07-03 | 2013-09-25 | 東京応化工業株式会社 | 洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置 |
JP5518284B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2014-06-11 | 東京応化工業株式会社 | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 |
JP2010240550A (ja) * | 2009-04-03 | 2010-10-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP5258811B2 (ja) * | 2010-02-17 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | スリットノズル洗浄装置及び塗布装置 |
JP5258812B2 (ja) * | 2010-02-17 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | スリットノズル清掃装置および塗布装置 |
JP5766990B2 (ja) * | 2011-03-23 | 2015-08-19 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布装置 |
JP5841449B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2016-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 拭き取りパッド及びこのパッドを用いたノズルメンテナンス装置並びに塗布処理装置 |
JP2014176812A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 |
KR102106443B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2020-05-04 | 삼성에스디아이 주식회사 | 슬릿 노즐 및 이를 이용한 슬릿 코팅 장치 |
CN103286030B (zh) * | 2013-06-28 | 2016-08-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种狭缝喷嘴清洁装置 |
JP6290700B2 (ja) * | 2014-04-28 | 2018-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布処理装置、清掃処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
-
2016
- 2016-05-26 JP JP2016104809A patent/JP6697324B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-09 CN CN201710320161.2A patent/CN107433240B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107433240A (zh) | 2017-12-05 |
JP2017209633A (ja) | 2017-11-30 |
CN107433240B (zh) | 2020-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6697324B2 (ja) | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 | |
KR102011538B1 (ko) | 와이핑 패드 및 이 패드를 사용한 노즐 메인터넌스 장치와 도포 처리 장치 | |
KR101681365B1 (ko) | 노즐 세정 장치, 도포 장치, 노즐 세정 방법, 및 도포 방법 | |
CN108855778B (zh) | 涂敷装置、涂敷方法和喷嘴 | |
JP5301120B2 (ja) | 洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、及び塗布装置 | |
CN108296086B (zh) | 喷嘴清扫构件、喷嘴清扫装置、涂布装置 | |
JP5352080B2 (ja) | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 | |
CN108855720B (zh) | 喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法 | |
CN108855719B (zh) | 喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法 | |
CN108568372B (zh) | 喷嘴清洁装置以及喷嘴清洁方法 | |
JP7197525B2 (ja) | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー | |
JP2009011919A (ja) | 洗浄装置、洗浄方法、予備吐出装置、塗布装置及び予備吐出方法 | |
CN210411380U (zh) | 基板处理装置 | |
CN112547415B (zh) | 涂布装置及涂布方法 | |
JP3182815U (ja) | 塗布ノズル洗浄装置 | |
KR20130072788A (ko) | 도포 방법 | |
JP6337184B2 (ja) | ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 | |
JP7312204B2 (ja) | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 | |
JP2008296113A (ja) | 塗布装置 | |
JP2018158499A (ja) | 印刷装置および印刷方法 | |
KR20120106592A (ko) | 도포막 형성장치 및 도포막 형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20170725 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200407 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200424 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6697324 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |