JP5071167B2 - 清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents

Description

この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにアレイ基板、プラズマディスプレイ用パネル、光学フィルタなどの製造分野に使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗布液を吐出して塗布膜を形成するのに好適に用いられるスリットコータのスリットノズルの吐出口およびその周辺の清掃方法及び清掃装置、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造方法の改良に関するものである。

カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。たとえば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとアレイ基板との間に注入される液晶のスペースを得るための柱を形成する製造工程や、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバーコート塗布膜を形成する製造工程などもある。

この塗布膜形成のための塗布装置としては、塗布液の消費量削減や消費電力削減、さらに２ｍ角以上という超大型基板に対応する装置の大型化が容易であるなどの理由により、スリットコータ（例えば特許文献１）が近年多く使用されるようになってきている。この公知のスリットコータは塗布ヘッドとしてスリットノズルを有し、このスリットノズルに設けられたスリット状の細長い吐出口から塗布液を吐出しながら、一方向に走行するガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布膜を形成するものとなっている。

このスリットコータで多数枚の被塗布部材に続けて塗布する場合、一度塗布液の塗布を行うと、スリットノズルの塗布液が吐出される吐出口を含む吐出口面と、およびその両隣にある両隣接面（以下、リップ斜面と呼ぶ）に塗布液の一部が、滴状になって残存する。再び塗布を行う際に、吐出口面およびリップ斜面に滴状の塗布液が放置されたままであると、スリットノズルから吐出される塗布液と共に滴状に残存していた塗布液も基板に塗布されることになるので、均一な膜厚の塗布面を得ることができない。また、残存している塗布液が塗布されない場合は、それが起点となって、塗布方向にすじが発生する。以上の不具合を回避するために、一回の塗布が終了するごとに、スリットノズルの吐出口面およびリップ斜面を清掃して、付着した塗布液を除去することが必要となる。
毎回の塗布ごとに行うスリットノズルの具体的な清掃手段としては、スリットノズルの吐出口面およびリップ斜面の断面形状と合致する形状を有する合成樹脂製の清掃部材を吐出口面およびリップ斜面に摺動させることで清掃を行う装置および方法が開示されている（例えば特許文献２、３）。この清掃手段を用いると、清掃部材を吐出口面及びリップ斜面に直接接触させて摺動を行うために、付着した塗布液を確実に除去でき、多数枚塗布時でも安定して均一な塗布を、すじの発生なく実現することができる。さらに塗布液として感光性アクリル系カラーペースト、フォトレジスト等の揮発性の高いものを使用する場合は、特に付着塗布液の除去能力が高いことが望まれる。それは、吐出口面およびリップ斜面に付着した塗布液の除去が不十分でわずかに残ると、それが乾燥して吐出口面およびリップ斜面に固着残存物として残存し、その固着残存物が次回の塗布時に塗布液に接触し、一部が溶解して固着残存物が吐出口面およびリップ斜面から離れて塗布膜にまざりこみ、パーティクルとなって欠点を生じるためである。また固着残存物によって清掃部材の摩耗が促進され、清掃部材の摩耗粉によってパーティクル欠点が生じることもある。これらのパーティクル欠点は塗布開始部に生じ易い。そのため特許文献２、３では、固着残存物が発生しないように塗布液の除去能力、すなわち清掃能力を高めるために、清掃部材を吐出口面及びリップ斜面に線接触させることが記載されている。
特開平６−３３９６５６号公報（第５欄１８行目〜第９欄１３行目、図１） 特開平９−１９２５６６号公報（請求項４、請求項９、第８欄９行目〜４７行目、第１５欄１５行目〜第１６欄１４行目、図５、図１２、図１３） 特開平１１−３００２６１号公報（請求項４、請求項９、第５欄３８行目〜第６欄１６行目、第９欄５行目〜１８行目、図４、図５、図６）

特許文献２では、図５のようにスリットノズルの吐出口面やリップ斜面に合致する形状の面を有する清掃部材を、鉛直面から５〜４５°傾斜させて摺動させることで、線接触を実現させている。また特許文献３では、吐出口長手方向すなわち摺動方向に２mm以下のエッジ部を有する清掃部材を吐出口面に対して４５〜１３５°傾けて摺動させることで線接触を実現している。以上の公知例の清掃部材の清掃能力を評価したところ、速度３００mm／ｓで清掃した場合の塗布液の除去は十分であったが、速度６００mm／ｓで清掃した場合の塗布液の除去は不十分であるために、吐出口面およびリップ斜面に固着残存物が残り、その結果、塗布膜の開始部に多量のパーティクル欠点が発生した。こうした欠点が発生しないように低速で清掃作業を行わざるをえなかった結果、スリットノズルの清掃の高速化によりタクトタイムを短縮して生産性を向上させることができなかった。また特許文献３の清掃部材では、エッジ部を構成する面の吐出口長手方向長さが２mm以下なので、清掃部材の剛性も低く破損や摩耗量も多いという問題点もあった。

この発明は、上記の従来の清掃部材の問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、清掃部材の摺動による塗布液の除去能力を大きく高め、清掃の高速化を可能とすることによって、スリットコータの塗布生産のタクトタイムを大幅に短縮するとともに、剛性が高くて破損しにくく摩耗の少ない形状の清掃部材とすることで、生産性や歩留まりの向上に大きく寄与する清掃部材と塗布器の清掃方法及び装置、ならびにこの方法を使用したディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。

上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。

本発明に係る清掃部材は、一方向に延在する吐出口を有した塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に接触しながら、該塗布器の長手方向に摺動して、該塗布器の吐出口面及びその両隣接面を清掃する清掃部材であって、該清掃部材は、該塗布器の吐出口面に線接触する底辺と、吐出口面の両隣接面に線接触しかつ該底辺の両端に連なる２つの斜辺と、を有し、該底辺と２つの斜辺は該清掃部材の厚さ方向端部にある端面内に存在すると共に、２つの斜辺をそれぞれ介して隣り合う該清掃部材の端面と該清掃部材の他の面とがなす角度が共に鋭角であることを特徴とする。ここで、前記底辺で端面と交わる底面に対して底辺から近接した位置で交わるとともに前記塗布器の吐出口面からは離れる方向に延びる底逃げ面と、前記２つの斜辺で端面とそれぞれ交わる２つの斜面に対して２つの斜辺から近接した位置でそれぞれ交わるとともに前記塗布器の両隣接面からは離れる方向に延びる２つの斜め逃げ面と、をさらに備えることが好ましい。

本発明に係る塗布器の清掃方法は、一方向に延在する吐出口を有した塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に清掃部材を接触させながら、該塗布器の長手方向に摺動させて、該塗布器の吐出口面及びその両隣接面を清掃する塗布器の清掃方法であって、清掃部材として請求項１または２に記載の清掃部材を用い、該塗布器の吐出口面およびその両隣接面に線接触する清掃部材の３辺よりも清掃部材の摺動方向の前方にあって該塗布器の吐出口面およびその両隣接面にそれぞれ相対しかつ該３辺をそれぞれ含む３つの面と該塗布器の吐出口面およびその両隣接面とがなす角度をそれぞれ５〜３０°にして清掃を行うことを特徴とする。

本発明に係る塗布器の清掃装置は、一方向に延在する吐出口を有した塗布器と、該塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に接触しながら摺動して清掃を行う清掃部材と、清掃部材の保持体と、清掃部材と保持体を塗布器の吐出口面およびその両隣接面に塗布器の長手方向に摺動させる移動手段と、を有する塗布器の清掃装置であって、清掃部材が請求項１または２に記載の清掃部材であり、該塗布器の吐出口面およびその両隣接面に線接触する清掃部材の３辺よりも清掃部材の摺動方向の前方にあって該塗布器の吐出口面およびその両隣接面にそれぞれ相対しかつ該３辺をそれぞれ含む３つの面と該塗布器の吐出口面およびその両隣接面とがなす角度がそれぞれ５〜３０°になるように該保持体に清掃部材が取り付けられていることを特徴とする。 本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、請求項３に記載の塗布器の清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。

本発明に係る清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置を用いれば、最も効果的に清掃部材がスリットノズルの吐出口面およびその両隣接面（リップ斜面）に線接触しながら摺動して清掃を行うのであるから、清掃を高速で行っても、塗布液の除去を十分に行うことができる。また、塗布器の吐出口面およびその両隣接面と、これらと相対する清掃部材の面とが、それぞれ適切な角度をなすようにして、清掃部材の面に含まれる底辺と２つの斜辺が塗布器と線接触をして清掃を行っているので、単に線接触させる場合に比べて清掃部材の磨耗が少なくなって清掃部材の使用寿命が長くなる。清掃部材の使用寿命増加の結果、清掃部材の交換周期が長くなって、コスト低減に貢献するとともに、清掃の信頼性が向上する。

さらにまた清掃部材の線接触して摺動する底辺と斜辺に近接して、スリットノズルから除去した塗布液が容易に離れられるように逃げ面を設けたのであるから、清掃を高速で行っても除去した塗布液がスムーズに短時間でスリットノズルから離れるので、除去した塗布液がスリットノズルに再付着する不都合を皆無にすることができる。

本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、タクトタイムの大幅な短縮が可能となり、さらに清掃能力の向上によって塗布欠点がないので、優れた塗布品位のディスプレイ用部材を高い生産性と高歩留まりで製造することが可能となる。

以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る清掃装置を含む塗布装置であるスリットコータ１の概略正面図、図２は清掃部材である拭取り部材１２０の概略斜視図、図３は拭取り部材１２０とスリットノズル２０との係合状況を示す概略図、である。

まず図１を参照すると、本発明の清掃装置である拭取りユニット１００を含むスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、一対のガイドレール４が設けられている。このガイドレール４上には、被塗布部材である基板Ａの載置台、すなわちステージ６が配置されている。ステージ６は図示しないリニアモータで駆動されて図１に矢印で示されているＸ方向に自在に往復動する。ステージ６の上面は吸着孔からなる真空吸着面となっており、基板Ａを吸着保持することができる。

基台２の中央を見ると、門型の支柱１０がある。支柱１０には、上下昇降ユニット７０が備えられており、この上下昇降ユニット７０に塗布を行うスリットノズル２０が取り付けられている。

スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）にのびているフロントリップ２２、及びリアリップ２４を、シム３２を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合されている。スリットノズル２０内の中央部にはマニホールド２６が形成されており、このマニホールド２６もスリットノズル２０の長手方向（Ｘ方向に直交する方向）にのびている。マニホールド２６の下方には、スリット２８が連通して形成されている。このスリット２８もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面３６で開口して、吐出口３０を形成する。すなわちスリットノズル２０はその最下端に長手方向に延在する吐出口３０を有しており、この吐出口３０は、吐出口面３６に存在しているとともに、吐出口面３６に含まれる。また吐出口面３６の両側に隣接する両隣接面として、リップ斜面３４Ａ、Ｂがある。なおスリット２８はシム３２によって形成されるので、スリットの間隙（Ｘ方向に測定）は、シム３２の厚さと等しくなる。

このスリットノズル２０を昇降させる上下昇降ユニット７０は、スリットノズル２０を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台８０、吊り下げ保持台８０を昇降させる昇降台７８、昇降台７８を上下方向に案内するガイド７４、モータ７２の回転運動を昇降台７８の直線運動に変換するボールねじ７６より構成されている。上下昇降ユニット７０はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａを、スリットノズル２０の長手方向にわたって略並行にすることができる。さらに、この上下昇降ユニット７０によって、ステージ６上の基板Ａとスリットノズル２０の吐出口面３６の間のすきま、すわなち、クリアランスを任意の大きさに設定することができる。

さらに図１で基台２の右側端部を見ると、清掃装置である拭取りユニット１００がガイドレール４上にＸ方向に移動自在に取付られている。拭取りユニット１００には、スリットノズル２０に係合する形状を有する清掃部材である拭取り部材１２０が、ホルダー１１２に取り付けられ、押さえ板１１４で動かないように固定されている。なお押さえ板１１４とホルダー１１２は図示されないネジ等の締結手段で締結保持されている。またホルダー１１２は上下方向のみ案内する２個のガイド１１６を介してブラケット１０４に取り付けられている。各々のガイド１１６の周囲にはバネ１１８が取り付けられており、拭取り部材１２０がホルダー１１２を介して、スリットノズル２０の先端面形状に対して上下方向に自在に追従できるようにしている。さらにブラケット１０４はスライダー１０６に取り付けられている。スライダー１０６は駆動ユニット１０８により、スリットノズル２０の長手方向、すなわちＸ方向に直行する方向に自在に移動する。拭取り部材１２０を移動させる駆動ユニット１０８とトレイ１１０は台車１０２上に固定されている。台車１０２はガイドレール４上にあり、ガイドレール４に案内されて、図示しないリニアモータによりＸ方向に自在に往復動できるので、拭取りユニット１００全体がＸ方向に往復動できる。

またこの拭取りユニット１００を用いた清掃方法であるが、拭取り部材１２０がスリットノズル２０に係合する位置まで拭取りユニット１００全体をＸ方向に移動させ、スリットノズル２０を下降して拭取り部材１２０に係合、すなわち接触させる。このときバネ１１８が好ましくは０．５〜５mm、より好ましくは１〜３mm縮む位置までスリットノズル２０を下降させる。バネがこの範囲内に縮んでいると、拭取り部材１２０はスリットノズルの吐出口面３６の上下方向の位置変動に容易に追従できる。そして、駆動ユニット１０８を駆動し、スリットノズル２０の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂに接触する拭取り部材１２０をスリットノズル２０の長手方向に移動させると、スリットノズル２０の吐出口３０付近の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ残存している塗布液その他の汚染物を除去、清掃することができる。スリットノズル２０の長手方向は、拭取り部材１２０がスリットノズル２０に接触しながら移動、すなわち摺動する摺動方向となる。なお除去した塗布液その他はトレイ１１０で回収される。トレイ１１０は図示しない排出ラインに接続されており、内部にたまった塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。またトレイ１１０は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するために使用することもできる。なお拭取り部材１２０はスリットノズル２０に均等に係合できるようゴム等の弾性体、合成樹脂が好ましい。

さらにまた基台２の左側を見ると、基板Ａの厚さを測定する厚さセンサー９０が支持台９２に取り付けられている。厚さセンサー９０はレーザを使用したものであることが好ましい。厚さセンサー９０により基板Ａの厚さを測定することで、どのような厚さの基板Ａに対しても、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａの間の隙間であるクリアランスを、常に一定にすることができる。

再びスリットノズル２０を見ると、スリットノズル２０のマニホールド２６の上流側は、塗布液供給装置４０に連なる供給ホース６０に、内部通路（図示しない）を介して常時接続されており、これにより、マニホールド２６へは塗布液供給装置４０から塗布液を供給することができる。マニホールド２６に入った塗布液はスリットノズル２０の長手方向に均等に拡幅されて、スリット２８を経て、吐出口３０から吐出される。

なお、塗布液供給装置４０は、供給ホース６０の上流側に、フィルター４６、供給バルブ４２、シリンジポンプ５０、吸引バルブ４４、吸引ホース６２、タンク６４を備えている。タンク６４には塗布液６６が蓄えられており、圧空源６８に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液６６に付加することができる。タンク６４内の塗布液６６は、吸引ホース６２を通じてシリンジポンプ５０に供給される。シリンジポンプ５０では、シリンジ５２、ピストン５４が本体５６に取り付けられている。ここでピストン５４は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ５０は、一定の内径を有するシリンジ５２内に塗布液を充填し、それをピストン５４により押し出して、スリットノズル２０に基板Ａを一枚塗布する分だけ供給する定容量型のポンプである。シリンジ５２内に塗布液６６を充填するときは、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下方に移動させる。またシリンジ５２内に充填された塗布液をスリットノズル２０に向かって供給するときは、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開とし、ピストン５４を上方に移動させることで、ピストン５４でシリンジ５２内部の塗布液を押し上げて排出する。ピストン５４の移動速度にシリンジ断面積をかけあわせたものが塗布液の供給速度、すなわちポンプ供給速度となる。

なお制御信号にて動作するリニアモータ、モータ７２、塗布液供給装置４０、拭取りユニット１００等はすべて制御装置９４に電気的に接続されている。そして、制御装置９４に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。なお条件変更時は操作盤９６に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置９４に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。拭取りユニット１００に対しては、拭取り部材１２０のスリットノズル２０長手方向移動速度や、清掃開始・終了位置等を任意に制御して、与えられた任意の清掃動作を実現できる。

次に図２、３を用いて、本発明になる拭取り部材１２０の構成と、これを用いた清掃方法の作用について詳しく説明する。ここで図３（ａ）は、拭取り部材１２０とスリットノズル２０の係合状況をＸ方向に見た側面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＸ方向と直交するＹ方向に見た正面図、図３（ｃ）は図３（ａ）のＥ方向に見た図、である。なおＹ方向は、スリットノズル２０の長手方向と一致する。

図２を見ると本発明になる拭取り部材１２０が示されている。拭取り部材１２０は、スリットノズル２０の吐出口面３６に線接触する底辺１２４と、吐出口面３６の両隣接面となるリップ斜面３４Ａ、Ｂに線接触する斜辺１２２Ａ、Ｂと、が前面１３４内に含まれて設けられている。ここでいう線接触とは、辺となる線が対象とする面上に完全に含まれている状態をいう。したがって、底辺１２４の全てが吐出口面３６上に含まれるように接触し、斜辺１２２Ａ、Ｂの全てがそれぞれリップ斜面３４Ａ、Ｂ上に含まれるように接触する。
前面１３４は、厚さＴを有する拭取り部材１２０の厚さ方向端部にある端面となる。前面１３４に直交する矢印Ｆの向きに拭取り部材１２０を見ると、斜辺１２２Ａ、Ｂは角度γｃをなして設けられており、底辺１２４の両端に連なる構成となっている。また底面１２６が吐出口面３６、斜面１２８Ａ、Ｂがリップ斜面３４Ａ、Ｂに相対する面となるが、底辺１２４を含む底面１２６と前面１３４との２面間で角度βをなし、斜辺１２２Ａ、Ｂを含む斜面１２８Ａ、Ｂと前面１３４との２面間で角度φをなしている。斜面１２８Ａ、Ｂの最上部で水平方向に伸びているのが上辺１３２Ａ、Ｂとなる。ここで角度φは、２つの斜辺１２２Ａ、Ｂをそれぞれ介して隣り合う端面の前面１３４と斜面１２８Ａ、Ｂとがなす角度ともいえる。なお図２では、角度βは前面１３４に含まれる一点鎖線の鉛直線と底面１２６との間になす角度として図示されている。ここで２面である面Ａと面Ｂのなす角度は、面Ａと面Ｂが共に直交する参照面内で、参照面と面Ａの交線と、参照面と面Ｂの交線とがなす角度、と定義される。この定義に従えば、例えば斜面１２８Ａと前面１３４とがなす角度φは、斜面１２８Ａと前面１３４が共に直交する参照面内で、参照面と斜面１２８Ａの交線と、参照面と前面１３４の交線と、がなす角度となる。同様に斜面１２８Ｂと前面１３４とがなす角度φは、斜面１２８Ｂと前面１３４が共に直交する参照面内で、参照面と斜面１２８Ｂの交線と、参照面と前面１３４の交線と、がなす角度となる。吐出口面３６に線接触する底辺１２４周辺の剛性を高めるために、角度βは好ましくは８０°以上１３０°以下、より好ましくは９０°以上１２０°以下とするとともに、底面１２６の厚さ方向の長さを拭取り部材１２０の厚さＴと同じにすることが好ましい。角度βについては、好ましい範囲よりも小さいと、底辺１２４周辺の剛性が低くなるので、底辺１２４の破損や摩耗が生じ易くなり、好ましい範囲よりも大きいと、底辺１２４を吐出口面３６に接触させたときの弾性変形が大きくなって線接触が面接触に近づくために、塗布液の除去能力が低下してしまう。

さらに後述するように、斜辺１２２Ａ、Ｂが確実にリップ斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ線接触するために、角度φは鋭角であることが好ましい。ただし、リップ斜面３４Ａ、Ｂに線接触する斜辺１２２Ａ、Ｂ周辺の剛性を高めるために、角度φはより好ましくは８０°以上９０未満とするとともに、斜面１２８Ａ、Ｂの厚さ方向の長さを拭取り部材１２０の厚さＴと同じにすることが好ましい。このように拭取り部材１２０は、底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂの各々の周辺で剛性が高い形状としているので、スリットノズル２０に係合して高速度で摺動しても、摺動部の破損がなく、摩耗量も非常に小さくなる。さらに図２では、底辺１２４の拭取り部材１２０の長手方向（塗布方向と一致）の長さは長さＬ１、斜辺１２２Ａ、Ｂの鉛直線方向の長さは長さＬ２、拭取り部材１２０の鉛直線方向の長さは長さＬ３、拭取り部材１２０の長手方向の長さは長さＬ４、と表されている。拭取り部材１２０は、底辺１２４と吐出口面３６、斜辺１２２Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂが同時に確実に線接触できるように弾性を有する高分子樹脂、例えば合成ゴムによって形成されることが好ましい。使用される合成ゴムとしては、適度な弾性と塗布液に対する耐薬品性を有する、たとえばエチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、ブチルゴム、パーフルオロゴム（商品名“カルレッツ”等）が好ましい。なお弾性の程度をあらわすゴム硬度については、Ｃ型のスプリング式硬さ試験機を用いて測定し、好ましくは５０〜９０°、より好ましくは６０〜８０°とする。

図２に示される拭取り部材１２０は、図３（ａ）に示すように、拭取りユニット１００のホルダー１１２に、一点鎖線で示される上下方向に伸びる鉛直面に対して前面１３４が角度θだけ拭取り部材１２０の摺動方向（移動方向）側に傾くように取り付けられる。ここで、鉛直面は、拭取り部材１２０の摺動方向である矢印Ｙで示されるＹ方向と直交する。また吐出口面３６は鉛直面と直交している。摺動方向側に拭取り部材１２０が傾けられるのは、リップ斜面３４Ａ、Ｂに付着している塗布液等を下側に落下させやすいためである。摺動方向側に拭取り部材１２０が傾けられることによって、スリットノズル２０の吐出口面３６に相対する拭取り部材１２０の底面１２６は、吐出口面３６に線接触する底辺１２４より摺動方向の前方に配置されることになる。同様に、スリットノズル２０のリップ斜面３４Ａ、Ｂに相対する拭取り部材１２０の斜面１２８Ａ、Ｂは、リップ斜面３４Ａ、Ｂに線接触する斜辺１２２Ａ、Ｂより摺動方向の前方に配置されることになる。すなわち、吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂの３面は、この３面にそれぞれ線接触する拭取り部材１２０の底辺１２４、斜辺１２２Ａ、Ｂの３辺よりも、拭取り部材１２０の摺動方向の前方に配置される。なお角度θは好ましくは５〜４５°、より好ましくは１０〜３０°とする。この範囲より小さいと除去した塗布液が落下しにくくなる。一方この範囲より大きいと、定められたリップ斜面３４Ａ、Ｂの領域に拭取り部材１２０の斜辺１２２Ａ、Ｂを接触させようとすると、斜面１２８Ａ、Ｂの鉛直線方向の長さＬ２が長くなり、その結果拭取り部材１２０の剛性が低下して塗布液の除去能力が低下するとともに、摩耗量が多くなって、好ましくない。

さて拭取り部材１２０は鉛直面に対して角度θだけ傾けた時に、図３（ｂ）に示すように、底辺１２４が吐出口面３６に、斜辺１２２Ａ、Ｂがスリットノズルのリップ斜面３４Ａ、Ｂに、同時に線接触する。これが可能となるように、斜辺１２２Ａ、Ｂ間の角度γｃは定められる。斜辺１２２Ａ、Ｂ間の角度γｃは、スリットノズル２０の長手方向、すなわちＹ方向に見たスリットノズル２０のリップ斜面３４Ａ、Ｂのなす角度γｎ（図３（ｂ）参照）よりも、幾何学的に必ず小さくなる。
なお、拭取り部材１２０の底辺１２４がスリットノズル２０の吐出口面３６に、斜辺１２２Ａ、Ｂがリップ斜面３４Ａ、Ｂに、必ず線接触するには、底辺１２４を含む底面１２６と吐出口面３６が、斜辺１２２Ａ、Ｂを含む斜面１２８Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂが、各々接触しないことが必要条件となる。角度θ＝０の時に、拭取り部材１２０の底面１２６とスリットノズル２０の吐出口面３６が平行、さらには斜面１２８Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂが平行、いいかえると拭取り部材１２０が吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂに合致する清掃面形状を有するもの、であっても、角度θだけ拭取り部材１２０を傾けると、底面１２６と吐出口面３６、斜面１２８Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂは、それぞれ平行でなくなり、角度θの大きさに応じてそれぞれが傾き角度をもつようになる。すなわち、拭取り部材１２０を角度θだけ傾けると、底面１２６については、図３（ａ）の破線で示されるように、吐出口面３６との間にα２の角度が形成される。

また図３（ｃ）は、図３（ａ）で角度θだけ傾いて取り付けられている拭取り部材１２０を矢印Ｅの方向に見たもので、スリットノズル２０の両隣接面であるリップ斜面３４Ａ、Ｂと相対する面となる斜面１２８Ａ、Ｂが、リップ斜面３４Ａ、Ｂとの間に角度α１をなすことが示されている。角度α１、α２がゼロより大きければ、上記の線接触の条件を満たすことになるが、実際には好ましい大きさの範囲があり、好ましくは５〜３０°、より好ましくは５〜２０°とする。角度α１、α２が５°より小さいと、拭取り部材１２０は吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂとに同時に接触するために弾性のある高分子樹脂にしているので、底辺１２４や斜辺１２２Ａ、Ｂの周辺の弾性変形によって十分な線接触が実現できず、吐出口面３６やリップ斜面３４Ａ、Ｂに付着している塗布液を除去する十分な清掃能力がえられない。特にタクトタイムを短くするために拭取り部材１２０を高速で移動して付着塗布液の除去を行う場合に、十分な除去ができない。一方角度α１、α２が３０°より大きいと、線接触する斜辺１２２Ａ、Ｂや底辺１２４の摩耗量が多くなってしまい、拭取り部材１２０の使用寿命が短くなってしまう。これは、底辺１２４や斜辺１２２Ａ、Ｂとその近傍の弾性変形量や発生する応力が、角度α１、α２が大きいと大きくなることによる。また磨耗量が多くなると接触している部分が線から面に変化してしまい、線接触が維持されなくなるので、塗布液を除去する清掃能力も低下する。

なお角度α１、α２ともに独立に定められるものではない。角度α１については、斜面１２８Ａ、Ｂと前面１３４とがなす角度φと、拭取り部材１２０の前面１３４の鉛直面に対する傾き角度θに依存し、角度α２については底面１２６と前面１３４とがなす角度βと角度θに依存する。したがって角度α１、α２がそれぞれ好ましい大きさになるようにするには、それに応じて角度φ、θ、βを定めることになる。

例えば、底面１２６と前面１３４とがなす角度βについて、角度θをよく使われる３０°にして、角度α２＝５°にしようとすると、角度β＝１１５°となる。また、角度α１を５〜３０°にしようとすると、角度θが５〜４５°の範囲なら、斜面１２８Ａ、Ｂと前面１３４とがなす角度φは９０°未満の鋭角となる。

吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂに付着する塗布液を、タクトタイムを短くするために拭取り部材１２０を高速で移動させて、付着する塗布液を完全に除去するには、上記したように、拭取り部材１２０を吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂに線接触するようにすればよい。もっともわかりやすい線接触手段は、ブレードのような非常に薄いものを接触させることである。しかし非常に薄いブレードは金属や樹脂等、弾性が小さく硬い物となるので、これを吐出口面３６およびリップ斜面３４に同時に線接触させることができない。そのため吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂと拭取り部材１２０との間に局部的にわずかな隙間が生じ、清掃時にそこから塗布液が漏れだし、拭取り部材１２０通過後に塗布液が吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂに再付着してしまい、塗布液の除去が行えない。したがって拭取り部材１２０には、前記したように弾性のある高分子樹脂を用い、拭取り部材１２０の弾性変形により吐出口面３６およびリップ斜面３４Ａ、Ｂに同時に線接触可能なものを用いることが好ましい。しかし、この弾性変形量が多くなると線接触が面接触に近くなり、液除去能力の低下とともに、接触摩耗量も多くなる。この面接触の程度をできるだけ小さくして線接触なみの除去能力を実現し、さらに弾性があり軟らかい材料を使用するために多くなりがちな摩耗量を極力小さくするために、上記のように角度α１、α２を５〜３０°の範囲にするのが好ましいのである。

次にスリットコータ１による本発明になる清掃方法を用いた塗布方法について詳述する。
まずスリットコータ１の各動作部の原点復帰が行われると、各移動部はスタンバイ位置に移動する。すなわち、ステージ６は図１の左端部（破線で示す位置）、スリットノズル２０は最上部に移動するとともに、拭き取りユニット１００はトレイ１１０がスリットノズル２０の下部位置にくるよう移動する。この時拭取り部材１２０はＸ方向ではスリットノズル２０の吐出口３０の直下の位置にあるが、スリットノズル２０の長手方向であるＹ方向には吐出口３０の下の位置にはなく、スリットノズル２０から離れた待機位置にある。ここで、タンク６４〜スリットノズル２０まで、塗布液６６はすでに充満されており、スリットノズル２０内部の残留エアーを排出する作業も既に終了している。この時の塗布液供給装置４０の状態は、シリンジ５２に塗布液６６が充填、吸引バルブ４４は閉、供給バルブ４２は開、そしてピストン５４は最下端の位置にあり、いつでも塗布液６６をスリットノズル２０に供給できるようになっている。

最初に、ステージ６の表面に図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。次にリフトピンを下降させて基板Ａをステージ６上面に載置し、同時に吸着保持する。これと並行して塗布液供給装置４０を稼働させて、スリットノズル２０の吐出口３０付近を完全に塗布液でみたす、すなわち初期化である清掃を行うために、あらかじめ決めていた量の塗布液６６を、シリンジポンプ５０からスリットノズル２０に供給し、塗布液６６をスリットノズル２０からトレイ１１０に向かって吐出する。この時、拭取り部材１２０は、Ｙ方向には吐出口３０の下の位置にはないので、スリットノズル２０の吐出口３０から吐出された塗布液が降りかかることはない。塗布液６６の供給停止後、駆動ユニット１０８を駆動して、拭取り部材１２０をＹ方向に移動させ、スリットノズル２０の吐出口３０より少し離れた開始位置まで移動させる。そして、スリットノズル２０を下降させてスリットノズル２０の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂに拭取り部材１２０を接触させた後、拭取り部材１２０をＹ方向に終点位置まで摺動させて、スリットノズル２０の吐出口３０付近となる吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、ＢをＹ方向にわたって清掃する。清掃完了後、スリットノズル２０を原点位置まで上昇させるとともに、拭取り部材１２０を摺動方向とは逆方向に移動させる。拭取り部材１２０が待機位置に到達したら、拭取りユニット１００をＸ方向に移動させてもとの場所（図１の右端）に復帰させる。

拭取りユニット１００が基台２の右端部に移動したのを確認したら、基板Ａを載置したステージ６の移動を開始する。この時スリットノズル２０は上下方向には、塗布が行われる位置よりも上方の原点位置にあり、一方シリンジポンプ５０は停止して、待機している。そして基板Ａが厚さセンサー９０下を通過する時に基板厚さを測定し、基板Ａの塗布開始部がスリットノズル２０の吐出口３０の真下に達したら、ステージ６を停止させる。この時、測定した基板Ａの厚さデータを用い、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａ間のすきま、すなわちクリアランスがあらかじめ定めた値になるようスリットノズル２０を下降させて停止させる。スリットノズル２０とステージ６が完全に停止した状態で、シリンジポンプ５０のピストン５４を所定速度で上昇させ、スリットノズル２０から塗布液６６を吐出してスリットノズル２０と基板Ａとの間にビードＢを形成してから、ステージ６を所定速度でＸ方向に移動開始し、塗布液６６の基板Ａへの塗布を始めて、塗布膜Ｃを形成する。
そして基板Ａの塗布終了位置より少し手前の位置がスリットノズル２０の吐出口３０の真下にきたら、ピストン５４を停止させて塗布液６６の供給を停止し、つぎに基板Ａの塗布終了位置がスリットノズル２０の吐出口３０の真下に来たときに、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０を上昇させる。これによって基板Ａとスリットノズル２０の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。

そのあいだもステージ６は動作を継続し、終点位置にきたら停止し、基板Ａの吸着を解除してリフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。この時図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。基板Ａをアンローダに受け渡したら、ステージ６はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。ステージ６の原点位置復帰後、拭取りユニット１００を、トレイ１１０がスリットノズル２０の吐出口３０の下部に配置するよう移動させる。

移動完了後、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下降させて、塗布液６６をシリンジ５２内に充填する。充填完了後、ピストン５４を停止させ、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくりかえす。

図６を見ると、本発明になる別の清掃部材である拭取り部材１５０の概略斜視図が示されている。拭取り部材１５０は、拭取り部材１２０に底逃げ面１５２と斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂをさらに設けた他は、拭取り部材１２０と全く同じである。底逃げ面１５２は底面１２６と角度δ２を成して交わり、スリットノズル２０の吐出口面３６に相対した時に、スリットノズル２０の吐出口面３６からは離れる方向、すなわち下側に延びている。また底逃げ面１５２が底面１２６と交わる位置となる辺１５６は、底辺１２４から近接した位置におかれ、底辺１２４から底面１２６に沿って長さＬ５だけ離れている。なお底辺１２４で底面１２６と交わる端面は前面１３４となる。一方斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂはそれぞれ斜面１２８Ａ、Ｂと角度δ１を成して交わり、スリットノズル２０の両隣接面であるリップ斜面３４Ａ、Ｂと相対した時に、リップ斜面３４Ａ、Ｂからは離れる方向に延びている。また斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂがそれぞれ斜面１２８Ａ、Ｂと交わる位置となる辺１５８Ａ、Ｂは、それぞれ斜辺１２２Ａ、Ｂから近接した位置におかれ、斜辺１２２Ａ、Ｂから斜面１２８Ａ、Ｂに沿って長さＬ６だけ最大離れている。なお斜辺１２２Ａ、Ｂで斜面１２８Ａ、Ｂと交わる端面は前面１３４となる。拭取り部材１５０の底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂが清掃のためにスリットノズル２０の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ線接触する時に、吐出口面３６と底逃げ面１５２間のすきまは吐出口面３６と底面１２６間のすきまより大きくなるとともに、リップ斜面３４Ａ、Ｂと斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂ間のすきまもリップ斜面３４Ａ、Ｂと斜面１２８Ａ、Ｂ間のすきまよりも大きくなる。したがって底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂがそれぞれ吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂと線接触しながら摺動して除去する塗布液が、底面１２６や斜面１２８Ａ、Ｂとスリットノズル２０の間で形成されるすきまを通過する時よりも、底逃げ面１５２や斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂとスリットノズル２０の間で形成されるすきまを通過する時の方が流体抵抗が小さいので、容易にしかも早く短時間で通過することができる。そして底逃げ面１５２と斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂのスリットノズル２０から除去された塗布液の通過する開始部となる辺１５６、１５８Ａ、Ｂは、底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂから近接した位置、すなわち長さＬ５とＬ６がそれぞれ１〜３ｍｍとなる位置に配置されることが好ましい。これににより、前面１３４上の底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂの線接触によりスリットノズル２０から除去した塗布液は、底逃げ面１５２と斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂにすぐに案内されて容易にスリットノズル２０から離れて落下するようになる。この結果、高速で清掃をしても除去された塗布液がスリットノズル２０からすぐに離れるので、スリットノズル２０に再付着することは皆無となる。長さＬ５とＬ６が１〜３ｍｍの範囲より短いと底辺１２４、斜辺１２２Ａ、Ｂの周囲の剛性が不足して線接触を維持し難くなる。逆にこの範囲より長いと除去した塗布液が底面１２６と斜面１２８Ａ、Ｂを通過する長さが長くなり、塗布液がスリットノズル２０から離れるの時間がかかり、高速で清掃する時にスリットノズル２０から除去した塗布液がスリットノズル２０に再付着してしまう。また角度δ１とδ２は好ましくは１０〜６０度、より好ましくは２０〜５０度とする。この範囲よりも小さいと、清掃時の底逃げ面１５２、斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂとスリットノズル２０の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂ間で形成されるすきまが小さいために、スリットノズル２０から除去した塗布液がスリットノズル２０から離れるの時間がかかり、高速で清掃する時にスリットノズル２０から除去した塗布液がスリットノズル２０に再付着してしまう。またこの範囲よりも大きいと、拭取り部材１５０の剛性が低下して底辺１２４、斜辺１２２Ａ、Ｂとスリットノズル２０間の線接触を維持し難くなるとともに、甚だしい場合には清掃時の摺動による摩耗が促進されて、清掃部材１５０の使用寿命が低下してしまう。

なお本発明が適用できる塗布液としては粘度が１〜１００mPaS、より望ましくは１〜５０mPaSであり、ニュートニアンであることが塗布性から好ましいが、チキソ性を有する塗液にも適用できる。とりわけ溶剤に揮発性の高いもの、たとえばＰＧＭＥＡ、酢酸ブチル、乳酸エチル等を使用している塗布液を塗布するときに有効である。具体的に適用できる塗布液の例としては、上記にあげたカラーフィルター用のブラックマトリックス、ＲＧＢ色画素形成用塗布液の他、レジスト液、オーバーコート材、柱形成材料等がある。基板である被塗布部材としてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さらに塗布速度等の使用する塗布条件としては、塗布速度が１０ｍｍ／ｓ〜６００ｍｍ／ｓ、より好ましくは１００ｍｍ／ｓ〜３００ｍｍ／ｓ、清掃部材である拭取り部材１２０の摺動速度は３００〜１０００mm／ｓ、スリットノズルのリップ間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは８０〜２００μｍ、塗布厚さがウェット状態で１〜５０μｍ、より好ましくは２〜２０μｍである。

以下、本発明の効果を実施例を用いて説明する。

実施例１
スリットノズル２０は、吐出口３０の長手方向長さが１１００ｍｍ、スリット２８の間隙が１００μｍで、基板に１１００ｍｍ幅の塗布膜が形成できるものであった。このスリットノズルの吐出口面３６の塗布方向の長さは０．６mm、スリットノズル２０長手方向に見たリップ斜面３４Ａ、Ｂのなす角度γｎ（図３（ａ）参照）が９０°であった。このような吐出口面とリップ斜面を有するスリットノズルの清掃部材として、図２で示される形状の拭取り部材１２０を用いた。この拭取り部材１２０は、図２を参照して、厚さＴ＝５mm、斜面１３２Ａ、Ｂと前面１３４とがなす角度φ＝８５°、斜辺１２２Ａ、Ｂ間のなす角度γｃ＝８１．８°、底面１２６と前面１３４とがなす角度β＝９０°、底辺１２４の拭取り部材１２０長手方向（塗布方向と一致）の長さＬ１＝０．６mm、斜辺１２２Ａ、Ｂの鉛直線方向の長さＬ２＝５mm、拭取り部材１２０の鉛直線方向の長さＬ３＝２０mm、拭取り部材１２０の長手方向の長さＬ４＝２５mmであり、拭取り部材１２０の長手方向の中央点に、長手方向に直交するように設けた鉛直面に対して面対称の形状であった。なお拭取り部材１２０はゴム硬度６０°のエチレンプロピレンゴムを材料として使用し、上記の形状となるように金型成型により作成した。この拭取り部材１２０を、前面１３４が鉛直面に対して角度θ＝３０°傾くように、ホルダー１１２に取付た。この状態で拭取り部材１２０とスリットノズル２０を接触させたときの、斜面１２８Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂとがなす角度α１＝７°、底面１２６と吐出口面３６とがなす角度α２＝３０°であった。なお、スリットノズル２０と拭取り部材１２０が接触する時は、バネ１１８の縮み量が２mmになる位置までスリットノズル２０を下降させた。

次に清掃能力を評価するための塗布液としてカラーフィルター用のＲｅｄ液を用いた。このＲｅｄ液は粘度３ｍＰａｓで、アクリル樹脂をバインダー、溶剤としてＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を用いた感光性のものであった。スリットコータ１のタンク６４〜スリットノズル２０までこのＲｅｄ液を充填し、以下の清掃能力の評価を行った。
（１）評価１（普通条件での清掃能力評価）
スリットノズルから２０００μＬのＲｅｄ液を吐出後、拭取り部材１２０をスリットノズル２０に接触させ、Ｙ方向に３００mm／ｓの摺動速度で摺動させる。この動作を１０回繰り返し、完了後に吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、ＢにＲｅｄ液が残存していないかを観察する。
（２）評価２（高速での清掃能力評価）
評価１で摺動速度を６００mm／ｓにする他は、評価１と同じ評価を行う。
（３）評価３（摩耗と清掃能力の評価）
スリットノズルから２０００μＬのＲｅｄ液を吐出後、拭取り部材１２０をスリットノズル２０に接触させ、スリットノズル２０の長手方向に６００mm／ｓの摺動速度で摺動させる。この清掃を１０００回繰り返す。清掃１００回目、５００回目、１０００回目に吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、ＢにＲｅｄ液が残存していないかを観察する。

評価１、２を行った結果を表１に、評価３を行った結果を表２に示す。いずれもＲｅｄ液の残存は観察されず、非常に良好であった。また、評価３の清掃１０００回後に拭取り部材１２０を観察したところ、線接触する底辺１２４と斜辺１２２Ａ、Ｂ、およびそれらの周辺にほとんど摩耗は観察されなかった。

比較例１
図４に示す形状の拭取り部材２００を使用した。この拭取り部材は厚さ方向の中央部にスリットノズル２０のリップ斜面３４Ａ、Ｂに線接触する斜辺２０２Ａ、Ｂ、吐出口面３６に線接触する底辺２１４を設けたものである。すなわち吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ線接触する底辺２１４および斜辺２０２Ａ、Ｂは同一平面内にあるが、拭取り部材２００の厚さ方向の端部にある端面である前面２０６には含まれていない。この拭取り部材２００の形状寸法は、厚さＴ＝５mm、斜辺２０２Ａ、Ｂを含む２つの面である斜面２１０Ａ、Ｂと斜面２１２Ａ、Ｂとがなす角度φｃ＝９０°、斜面２１０Ａ、Ｂと前面２０６とがなす角度、ならびに斜面２１２Ａ、Ｂと後面２０８とがなす角度η＝１３５°、斜辺２０２Ａ、Ｂ間のなす角度γｃ＝８１．８°、底斜面２０４Ａと前面２０６とがなす角度、及び底斜面２０４Ｂと後面２０８とがなす角度β＝１３５°（図４では角度βは、前面２０６に含まれる一点鎖線の鉛直線と底斜面２０４との間になす角度として図示されている）、底辺２１４の拭取り部材２００長手方向（塗布方向と一致）の長さＬ１＝０．６mm、斜辺２０２Ａ、Ｂの鉛直線方向の長さＬ２＝５mm、拭取り部材２００の鉛直線方向の長さＬ３＝２０mm、拭取り部材２００の長手方向の長さＬ４＝２５mmであった。そして、拭取り部材２００の長手方向の中央点に、長手方向に直交するように設けた鉛直面に対して面対称の形状であるとともに、厚さ方向の中央点に、厚さ方向に直交するように設けた鉛直面に対しても面対称の形状であった。なお拭取り部材２００はゴム硬度６０°のエチレンプロピレンゴムを材料として使用し、上記の形状となるように金型成型により作成した。この拭取り部材２００の前面２０６が鉛直面に対して角度θ＝３０°傾くように、ホルダー１１２に取付た。この状態で拭取り部材２００の斜辺２０２Ａ、Ｂ、底辺２１４とスリットノズル２０を接触させたときの、斜面２１２Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂとがなす角度α１＝４７°、吐出口面３６と底斜面２０４Ｂのなす角度α２＝７５°であった。拭取り部材２００を使用する他は、実施例１と全く同じスリットノズルと条件を使用して清掃能力の評価を行った。結果を表１、２に示す。摺動速度が３００mm／ｓの時、６００mm／ｓの時も同じようにＲｅｄ液の残存はなく良好で、高速にしても清掃能力が高かった。しかし清掃５００回では吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、ＢともにＲｅｄ液が少し残存し、清掃１０００回では吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、Ｂとも多くのＲｅｄ液が残存した。１０００回の清掃を終了した拭取り部材２００を観察したところ、底辺２１４、斜辺２０２Ａ、Ｂとも摩耗して摺動方向に０．５mmの長さを有する面が形成されており、評価３の繰り返し清掃の最後には面接触になっていることがわかった。線接触する底辺２１４および斜辺２０２Ａ、Ｂが拭取り部材２００の厚さ方向の端部にある端面である前面２０６に含まれない、厚さ方向の中央部で出っ張っている形状のために、線接触部の摩耗量が多かった。

比較例２
図５に示す形状の拭取り部材３００を使用した。この拭取り部材３００は、前面３０６が鉛直面内に有るとき、すなわち角度θ＝０の時は、底面３０４と斜面３０８Ａ、Ｂはスリットノズル２０の吐出口面３６とリップ斜面３４Ａ、Ｂに各々平行に形成されている。そして前面３０６を鉛直面に対して角度θ＝３０°傾けてホルダー１１２に取り付けることで、底辺３０４、斜辺３０２Ａ、Ｂが各々、吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ線接触するようにしたものである。
ここで底辺３０４、斜辺３０２Ａ、Ｂは、拭取り部材３００の厚さ方向の端部にある端面である前面３０６内に含まれている。この拭取り部材３００の寸法形状は、厚さＴ＝５mm、斜面３０８Ａ、Ｂと前面３０６とがなす角度φ＝９０°、斜辺３０２Ａ、Ｂ間のなす角度γｃ＝８１．８°、底面３１０と前面３０６とがなす角度β＝８５°（図５では角度βは、前面３０６に含まれる一点鎖線の鉛直線と底面３１０との間になす角度として図示されている）、底辺３０４の拭取り部材３００長手方向（塗布方向と一致）の長さＬ１＝０．６mm、斜辺３０２Ａ、Ｂの鉛直線方向の長さＬ２＝５mm、拭取り部材３００の鉛直線方向の長さＬ３＝２０mm、拭取り部材３００の長手方向の長さＬ４＝２５mmであり、拭取り部材３００の長手方向の中央点に、長手方向に直交するように設けた鉛直面に対して面対称の形状であった。なお拭取り部材３００はゴム硬度６０°のエチレンプロピレンゴムを材料として使用し、上記の形状となるように金型成型により作成した。この拭取り部材３００の前面３０６が鉛直面に対して角度θ＝３０°傾くように、ホルダー１１２に取付た。この状態で拭取り部材３００の底辺３０４、斜辺３０２Ａ、Ｂと、スリットノズル２０の吐出口面３６、リップ斜面３４Ａ、Ｂと接触させたときの、斜面３０８Ａ、Ｂとリップ斜面３４Ａ、Ｂとのなす角度α１＝３°、底面３１０と吐出口面３６とがなす角度α２＝３５°であった。拭取り部材３００を使用する他は、実施例１と全く同じスリットノズルと条件を使用して清掃能力の評価を行った。結果を表１、２に示す。摺動速度が３００mm／ｓの時はＲｅｄ液の残存なく良好であったが、６００mm／ｓの時にはリップ斜面３４Ａ、ＢにＲｅｄ液はわずかながらではあるが残存し、高速にすると清掃能力が低下した。また評価３で、清掃５００回ではそれまでの残存塗布液の蓄積があったためにリップ斜面３４にＲｅｄ液が少し残存したが、吐出口面３６にはＲｅｄ液の残存はなかった。同じ評価３の清掃１０００回ではさらに多くのＲｅｄ液がリップ斜面３４Ａ、Ｂに残存し、吐出口面３６にもわずかながらＲｅｄ液が残存した。１０００回の清掃を終了した拭取り部材３００を観察したところ、底辺３０４は少し磨耗してごく小さな面が形成されていたが、斜辺３０２Ａ、Ｂはわずかしか磨耗していないために線状は維持されており、見た目はまだ使用できる摩耗量のレベルであった。

実施例２
スリットコータ１を用いてカラーフィルターを製造した。
スリットノズルと拭取り部材には、実施例１に示すものを使用した。この拭取り部材を使用したスリットノズルの清掃は、いずれの塗布液に対しても、清掃前のスリットノズルからの塗布液の吐出量１０００μＬ、摺動速度６００mm／ｓの条件にて、毎回の塗布前に必ず行った。

最初に、１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板を洗浄後に、基板短辺側をスリットノズル長手方向として、ブラックマトリックス塗布液を厚さ１０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍで１５０ｍｍ／ｓにて塗布した。なおこの時塗布したブラックマトリックス塗布液には、チタン酸窒化物を遮光材、アクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶剤にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を４mPaSに調整した感光性のものを用いた。なお塗布のタクトタイムは６０秒であった。さて、塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行った後、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行い、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が１５μｍとなる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックス膜を作成した。なお、乾燥後の格子模様形成前の状態で塗布厚さを測定し、膜厚精度Ｕを端部１０ｍｍを除く領域でＵ＝（最大値−最小値）／（２×平均値）×１００（％）で算出したところ、基板走行方向、幅方向とも３％以下であった。

次にウェット洗浄後、Ｒ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１０％で混合し、さらに粘度を５mPaSに調整した感光性のものであった。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。つづいてブラックマトリックス、Ｒ色の塗布膜を形成した基板に、Ｇ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｇ色画素部にのみ厚さ２μｍのＧ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。さらにブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色の塗布膜を形成した基板に、Ｂ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｂ色画素部にのみ厚さ２μｍのＢ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。なお、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１０％で粘度を５mPaSに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１０％で粘度を５mPaSに調整したものであった。Ｒ、Ｇ、Ｂ色塗布時のタクトタイムはいずれも６０秒であった。なお、塗布品位は各色とも申し分のないものであり、膜厚分布についても乾燥後、各色とも測定し、膜厚精度Ｕを端部１０ｍｍを除く領域でＵ＝（最大値−最小値）／（２×平均値）×１００（％）で算出したところ、基板走行方向、幅方向とも３％以下と良好であった。

そして最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させた。この製造方法にて、１０００枚のカラーフィルターを作成した。得られたカラーフィルターは、基板端部から１０ｍｍをのぞいた製品領域で塗布むらがなく、色度も均一であり、パーティクル欠点等の清掃が起因する欠点もなく、品質的に申し分ないものであった。さらに、このカラーフィルターをＴＦＴアレイを形成した基板と重ね合わせ、オーブン中で加圧しながら１６０℃で９０分間加熱して、シール剤を硬化させた。このセルに液晶注入を行った後、紫外線硬化樹脂により液晶注入口を封口した。次に、偏光板をセルの２枚のガラス基板の外側に貼り付け、さらに、得られたセルをモジュール化して、液晶ディスプレイを完成させた。得られた液晶ディスプレイは色濃度が均一でパーティクル欠点もなく、品質的に申し分ないものであった。

本発明に係る清掃装置を含む塗布装置であるスリットコータ１の概略正面図である。 清掃部材である拭取り部材１２０の概略斜視図である。 拭取り部材１２０とスリットノズル２０先端面との係合状況を示す概略図である。 比較例１に使用した拭取り部材２００の概略斜視図である。 比較例２に使用した拭取り部材３００の概略斜視図である。 別の拭取り部材１５０の概略斜視図である。

符号の説明

１ スリットコータ
２ 基台
４ ガイドレール
６ ステージ
１０ 支柱
２０ スリットノズル（塗布器）
２２ フロントリップ
２４ リアリップ
２６ マニホールド
２８ スリット
３０ 吐出口
３２ シム
３４Ａ、Ｂ リップ斜面
３６ 吐出口面
４０ 塗布液供給装置
４２ 供給バルブ
４４ 吸引バルブ
４６ フィルター
５０ シリンジポンプ
５２ シリンジ
５４ ピストン
５６ 本体
６０ 供給ホース
６２ 吸引ホース
６４ タンク
６６ 塗布液
６８ 圧空源
７０ 上下昇降ユニット
７２ モータ
７４ ガイド
７６ ボールネジ
７８ 昇降台
８０ 吊り下げ保持台
９０ 厚さセンサー
９２ 支持台
９４ 制御装置
９６ 操作盤
１００ 拭取りユニット
１０２ 台車
１０４ ブラケット
１０６ スライダー
１０８ 駆動ユニット
１１０ トレイ
１１２ ホルダー
１１４ 押さえ板
１１６ ガイド
１１８ バネ
１２０ 拭取り部材
１２２Ａ、Ｂ 斜辺
１２４ 底辺
１２６ 底面
１２８Ａ、Ｂ 斜面
１３２Ａ、Ｂ 上辺
１３４ 前面
１５０ 拭取り部材
１５２ 底逃げ面
１５４Ａ、Ｂ 斜め逃げ面
１５６ 辺
１５８Ａ、Ｂ 辺
２００ 拭取り部材
２０２Ａ、Ｂ 斜辺
２０４Ａ、Ｂ 底斜面
２０６ 前面
２０８ 後面
２１０Ａ、Ｂ 斜面
２１２Ａ、Ｂ 斜面
２１４ 底辺
３００ 拭取り部材
３０２Ａ、Ｂ 斜辺
３０４ 底辺
３０６ 前面
３０８Ａ、Ｂ 斜面
３１０ 底面
Ａ 基板（被塗布部材）
Ｂ ビード
Ｃ 塗布膜
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６ 拭取り部材の各部の長さ
Ｔ１ 拭取り部材の厚さ
α１ 斜面とリップ斜面３４Ａ、Ｂとがなす角度
α２ 底面と吐出口面３６とがなす角度、または底斜面と吐出口面３６とがなす角度
β 底面と前面とがなす角度、または底斜面と前面とがなす角度
γｃ 斜辺間の角度
γｎ スリットノズルのリップ斜面３４Ａ、Ｂのなす角度
δ１ 斜め逃げ面１５４Ａ、Ｂのそれぞれが斜面１２８Ａ、Ｂとなす角度
δ２ 底逃げ面１５２と底面１２６がなす角度
φ 前面と斜面とがなす角度
φｃ 斜面２１０Ａ、Ｂと斜面２１２Ａ、Ｂとがなす角度
θ 拭取り部材１２０の前面１３４の鉛直面に対する傾き角度
η 斜面２１０Ａ、Ｂと前面２０６とがなす角度、ならびに斜面２１２Ａ、Ｂと後面２ ０８とがなす角度

Claims (5)

1. 一方向に延在する吐出口を有した塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に接触しながら、該塗布器の長手方向に摺動して、該塗布器の吐出口面及びその両隣接面を清掃する清掃部材であって、該清掃部材は、該塗布器の吐出口面に線接触する底辺と、吐出口面の両隣接面に線接触しかつ該底辺の両端に連なる２つの斜辺と、を有し、該底辺と２つの斜辺は該清掃部材の厚さ方向端部にある端面内に存在すると共に、２つの斜辺をそれぞれ介して隣り合う該清掃部材の端面と該清掃部材の斜面とがなす角度が共に８０°以上９０°未満であり、該清掃部材の厚さと、前記斜面の厚さ方向の長さとは同一であり、かつ、該清掃部材は、ゴム硬度５０〜９０°の弾性を有することを特徴とする清掃部材。
2. 前記底辺で端面と交わる底面に対して底辺から近接した位置で交わるとともに前記塗布器の吐出口面からは離れる方向に延びる底逃げ面と、前記２つの斜辺で端面とそれぞれ交わる２つの斜面に対して２つの斜辺から近接した位置でそれぞれ交わるとともに前記塗布器の両隣接面からは離れる方向に延びる２つの斜め逃げ面と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の清掃部材。
3. 一方向に延在する吐出口を有した塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に清掃部材を接触させながら、該塗布器の長手方向に摺動させて、該塗布器の吐出口面及びその両隣接面を清掃する塗布器の清掃方法であって、清掃部材として請求項１または２に記載の清掃部材を用い、該塗布器の吐出口面およびその両隣接面に線接触する清掃部材の３辺よりも清掃部材の摺動方向の前方にあって該塗布器の吐出口面およびその両隣接面にそれぞれ相対しかつ該３辺をそれぞれ含む３つの面と該塗布器の吐出口面およびその両隣接面とがなす角度をそれぞれ５〜３０°にして清掃を行うことを特徴とする塗布器の清掃方法。
4. 一方向に延在する吐出口を有した塗布器と、該塗布器の該吐出口が存在する吐出口面およびその両隣接面に接触しながら摺動して清掃を行う清掃部材と、清掃部材の保持体と、清掃部材と保持体を塗布器の吐出口面およびその両隣接面に塗布器の長手方向に摺動させる移動手段と、を有する塗布器の清掃装置であって、清掃部材が請求項１または２に記載の清掃部材であり、該塗布器の吐出口面およびその両隣接面に線接触する清掃部材の３辺よりも清掃部材の摺動方向の前方にあって該塗布器の吐出口面およびその両隣接面にそれぞれ相対しかつ該３辺をそれぞれ含む３つの面と該塗布器の吐出口面およびその両隣接面とがなす角度がそれぞれ５〜３０°になるように該保持体に清掃部材が取り付けられていることを特徴とする塗布器の清掃装置。
5. 請求項３に記載の塗布器の清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。

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