JP2013192984A - スリットノズルの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】清掃時に清掃部材によってスリットノズルから除去した塗布液がスリットノズルへ再付着して残存塗布液になることが全くなく、これによって残存塗布液起因の塗布膜厚異常や塗布膜面の欠点をなくし、清掃部材の長寿命化も可能となるスリットノズルの清掃手段を実現するとともに、この清掃手段を用いて、塗布品質や塗布膜厚精度並びに生産性の向上に大きく寄与するスリットノズルの清掃方法および清掃装置、ならびにディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】スリットノズルの吐出口面と斜面とは同時に合致しない形状のシート状弾性体の一面を吐出口面と斜面に沿わせて密接させつつ、シート状弾性体をスリットノズルの長手方向に移動させて吐出口面と斜面に付着残存する塗布液を除去するスリットノズルの清掃方法。
【選択図】図３

Description

この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにアレイ基板、プラズマディスプレイ用パネル、光学フィルタなどの製造分野に使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗布液を吐出して塗布膜を形成するのに好適に用いられるスリットコータのスリットノズルの吐出口およびその周辺の清掃方法および清掃装置、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造方法の改良に関するものである。

カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。たとえば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、各色のフォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとアレイ基板との間に注入される液晶のスペースを得るための柱を形成する製造工程や、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバーコート塗布膜を形成する製造工程などもある。

この塗布膜形成のための塗布装置としては、塗布液の消費量削減や消費電力削減、さらに２ｍ角以上という超大型基板に対応する装置の大型化が容易であるなどの理由により、スリットコータ（例えば特許文献１）が近年多く使用されている。この公知のスリットコータは塗布ヘッドすなわち塗布器としてスリットノズルを有し、このスリットノズルに設けられたスリット状の細長い吐出口から塗布液を吐出しながら、一方向に走行するガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布膜を形成するものとなっている。

このスリットコータで一度塗布液の塗布を行うと、スリットノズルの塗布液が吐出される吐出口を含む吐出口面と、その両隣にある両隣接面（以下、斜面と呼ぶ）に塗布液の一部が、滴状または細長い液膜となって残存する。引き続いて塗布を行う際に、吐出口面および斜面に滴状や細長い液膜の塗布液が放置されたままであると、スリットノズルから吐出される塗布液と共に残存していた塗布液も基板に塗布されることになるので、均一な膜厚の塗布面を得ることができない。また、残存している塗布液が塗布されなくても、それが起点となって、塗布方向にすじが発生する。スリットコータで多数枚の被塗布部材に続けて高品質の塗布を行う場合には、以上の不具合を回避するために、一回の塗布が終了するごとに、スリットノズルの吐出口面および斜面を清掃して、付着して残存している塗布液を除去することが必要となる。

毎回の塗布ごとに行うスリットノズルの具体的な清掃手段としては、スリットノズルの吐出口面および斜面の断面形状と合致する形状を有する合成樹脂製の清掃部材を、吐出口面および斜面に摺動させることで清掃を行うもの（例えば特許文献２）や、スポンジなどの軟らかい材料で構成した清掃部材にスリットノズルの吐出口を含む先端部を押しこんでその形状に倣わせ、ある程度面接触している状態で摺動させるもの（例えば特許文献３）がある。特許文献３に示される清掃手段は摺動時の接触長さや面積が小さいためにさほど清掃効果はない。一方特許文献２に示される清掃手段を用いると、清掃部材を吐出口面及びリップ斜面に直接接触させて摺動を行うために、付着した塗布液を確実に除去でき、多数枚の被塗布部材に連続して塗布する時でも、安定して膜厚が均一で、すじ等の欠点のない高品質の塗布膜をえることができる。さらに塗布液として感光性アクリル系カラーペースト、フォトレジスト等の揮発性の高いものを使用する場合は、とりわけ付着塗布液の除去能力が高いことが望まれる。それは、吐出口面およびリップ斜面に付着した塗布液の除去が不十分でわずかに残ると、それが乾燥して吐出口面およびリップ斜面に固着残存物として残存し、その固着残存物が次回の塗布時に塗布液に接触し、それが起点となってすじ欠点が発生するのに加えて、一部が溶解して固着残存物が吐出口面およびリップ斜面から離れて塗布膜にまざりこみ、パーティクルとなって欠点を生じるためである。そのため特許文献２では、固着残存物が発生しないように塗布液の除去能力、すなわち清掃能力を高めるために、清掃部材を吐出口面及びリップ斜面に線接触させることが記載されている。さらに特許文献２では、一度清掃を終えて塗布液が付着した清掃部材に向けて、ノズルから溶剤を吐出して塗布液を洗い流し、清掃部材を清浄な状態に保ってスリットノズルの清掃を行うようにしており、これによって清掃部材に付着した塗布液がスリットノズルに再付着して塗布膜面の欠点が生じることを防止している。またさらに塗布液や溶剤が清掃部材に残ってスリットノズルに付着しないように、清掃部材に隣接して設けた吸引口からこれらの液体を吸引している。

しかしながら、特許文献２ではそれほど配慮しているにもかかわらず、吐出面や斜面に付着している残存塗布液量が多い時や、清掃時間を短くして生産性を高めるために、より高速で清掃を行う時には、清掃部材の上部から除去した塗布液があふれ出して、斜面に再付着してしまう。再付着する塗布液の量が多いと、これが斜面を伝わってスリットノズルの吐出口面まで落下し、塗布時に塗布膜面に付着して、すじ状の欠点や膜厚の不良を引き起こす。さらにはスリットノズルにライン状に再付着した塗布液は清掃のたびごとに蓄積して次第にラインの幅が大きくなり、その状態で固化して塗布液固化物になると、清掃部材との接触で清掃部材が磨耗する。清掃部材の磨耗した部分は十分な接触圧力がないので塗布液の除去が行えず、清掃できる範囲が小さくなってしまい、清掃部材の清掃に使用できる期間が短くなる、すなわち使用寿命が短くなるという問題も発生する。

特開平６−３３９６５６号公報 特開平１１−３００２６１号公報 特開２００５−２７０８４１号公報

この発明は、上記の従来の清掃手段に由来する問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、スリットノズルに付着して残存している塗布液量が多い時や、高速で清掃を行う時にも、清掃時にスリットノズルから除去した塗布液がスリットノズルへ再付着して残存塗布液になることが全くなく、その結果、残存塗布液起因の塗布膜厚異常や塗布膜面の欠点をなくすとともに、残存する塗布液固化物との接触による清掃部材の磨耗もなくして清掃部材の長寿命化が可能となるスリットノズルの清掃手段を実現するとともに、さらにはこの清掃手段を用いて、塗布品質や塗布膜厚精度並びに生産性の向上に大きく寄与するスリットノズルの清掃方法および清掃装置、ならびにこの方法を使用したディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。

上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。

本発明に係るスリットノズルの清掃方法は、塗布液を吐出するために一方向に延在する吐出口を具備し、該吐出口を含む吐出口面および該吐出口面に隣接する斜面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、前記吐出口面と斜面とは同時に合致しない形状のシート状弾性体の一面を前記スリットノズルの吐出口面と斜面に沿わせて密接させつつ、前記シート状弾性体をスリットノズルの長手方向に移動させて前記吐出口面と斜面に付着残存する塗布液を除去することを特徴とする。

ここで、前記シート状弾性体は、独立気泡を備える多孔質体であること、前記シート状弾性体のスリットノズルに密接させて清掃する面を、１回の清掃ごとに洗浄すること、が好ましい。

本発明に係るスリットノズルの清掃装置は、塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備し、該吐出口を含む吐出口面および該吐出口面に隣接する斜面を有するスリットノズルを清掃する清掃装置であって、前記吐出口面と斜面に同時に合致しない形状のシート状弾性体と、該シート状弾性体を保持するとともに、シート状弾性体の一面を前記吐出口面と斜面に沿わせて密接させる剛体よりなる押し当て保持部材と、該押し当て保持部材をスリットノズルの長手方向とその直交する方向に移動させる駆動ユニット、とを備えることを特徴とする。

ここで、前記シート状弾性体は、独立気泡を備える多孔質体であること、さらに前記スリットノズルの清掃後に、前記シート状弾性体の洗浄を行う洗浄ユニットを備えること、が好ましい。

本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布用スリットノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。

本発明に係るスリットノズルの清掃方法および清掃装置を用いれば、スリットノズルの吐出口面や斜面に、独立気泡の多孔質であるシート状弾性体のくぼみのある表面を沿わせるように密接させて移動する（摺接する）ことによって、吐出口面や斜面に付着して残存する塗布液を清掃するのであるから、塗布液の掻き落としに多孔質部分による塗布液の吸収が加算されて、塗布液を残存することなく完全に除去できる。その結果、スリットノズルに付着して残存している塗布液量が多い時や、高速で清掃を行う時にも、確実に塗布液を除去するために、スリットノズルへの塗布液の再付着が生じない。スリットノズルへの塗布液の再付着が全く発生しないのであるから、スリットノズルを塗布液が全く残存しない高い品質の清掃状態にすることができる。その結果、塗布膜厚精度が高く、塗布膜面に欠点が全くない高い品質の塗布膜を形成することが可能となる。さらに残存する塗布液固化物との接触もなくなるので、清掃部材の寿命を長く保つことも可能となる。また面接触による摺接により塗布液を除去するのであるから、従来の線接触による塗布液の除去に比べて清掃部材の摺接部に付加される圧力が小さくなるので、摺接による清掃部材の劣化も低下し、摺接による清掃部材の寿命も長くなる。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、高速清掃時でも清掃能力が向上してタクトタイムの大幅な短縮が可能となり、その結果高い生産性と高歩留まりにて膜厚精度が高く塗布欠点がない優れた塗布品位のディスプレイ用部材を製造することが可能となる。

本発明に係る清掃装置を含む塗布装置であるスリットコータ１の概略正面図である。 本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する準備状況を示す概略図である。 本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する状況を示す概略図である。 本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する作用を示す説明図である。 本発明による別の清掃装置である拭取りユニット２００の一部を示す斜視図である。 本発明による別の清掃装置である拭取りユニット２００でスリットノズル２０を清掃する作用を示す説明図である。

以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。

図１は本発明に係る清掃装置を含む塗布装置であるスリットコータ１の概略正面図、図２は本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する準備状況を示す概略図、図３は本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する状況を示す概略図、図４は本発明による清掃装置である拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する作用を示す説明図、図５は本発明による別の清掃装置である拭取りユニット２００の一部を示す斜視図、図６は本発明による別の清掃装置である拭取りユニット２００でスリットノズル２０を清掃する作用を示す説明図である。

まず図１を参照すると、本発明の清掃装置である拭取りユニット１００を含むスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、一対のガイドレール４が設けられている。このガイドレール４上には、被塗布部材である基板Ａの載置台、すなわちステージ６が配置されている。ステージ６は図示しないリニアモータで駆動されて図１に矢印で示されているＸ方向に自在に往復動する。ステージ６の上面は吸着孔からなる真空吸着面となっており、基板Ａを吸着保持することができる。

基台２の中央を見ると、門型の支柱１０がある。支柱１０には、上下昇降ユニット７０が備えられており、この上下昇降ユニット７０に塗布を行う塗布器であるスリットノズル２０が取り付けられている。

スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）、すなわちＹ方向にのびているフロントリップ２２、及びリアリップ２４を、シム３２を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合されている。スリットノズル２０内の中央部にはマニホールド２６が形成されており、このマニホールド２６もスリットノズル２０の長手方向（Ｙ方向）にのびている。マニホールド２６の下方には、スリット２８が連通して形成されている。このスリット２８もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面３６で開口して、吐出口３０を形成する。すなわちスリットノズル２０はその最下端に一方向（長手方向）に延在する吐出口３０を具備しており、この吐出口３０は、吐出口面３６内に含まれ、存在している。また、スリットノズル２０は吐出口３０を含む吐出口面３６および吐出口面３６の両側に隣接する両隣接面、すなわち斜面として、斜面３４Ａ、Ｂを有する。なおスリット２８はシム３２によって形成されるので、スリット２８の間隙（Ｘ方向に測定）は、シム３２の厚さと等しくなる。

本発明のスリットノズルは、例えば上記のような、塗布液を吐出するために一方向に延在する吐出口を具備し、該吐出口を含む吐出口面および該吐出口面に隣接する斜面を有するスリットノズルである。

このスリットノズル２０を昇降させる上下昇降ユニット７０は、スリットノズル２０を吐出口３０を下側にして保持する吊り下げ保持台８０、吊り下げ保持台８０の一端が締結されてこれを昇降させる昇降台７８、昇降台７８を上下方向に案内するガイド７４、モータ７２の回転運動を昇降台７８の直線運動に変換するボールねじ７６より構成されている。上下昇降ユニット７０はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａを、スリットノズル２０の長手方向にわたって略並行にすることができる。さらに、この上下昇降ユニット７０によって、ステージ６上の基板Ａとスリットノズル２０の吐出口面３６の間のすきま、すわなち、クリアランスを任意の大きさに設定することができる。

またスリットノズル２０のマニホールド２６の上流側は、塗布液供給装置４０に連なる供給ホース６０に、内部通路（図示しない）を介して常時接続されており、これにより、マニホールド２６へは塗布液供給装置４０から塗布液６６を供給することができる。マニホールド２６に入った塗布液はスリットノズル２０の長手方向に均等に拡幅されて、スリット２８を経て、吐出口３０から吐出される。

なお、塗布液供給装置４０は、供給ホース６０の上流側に、フィルター４６、供給バルブ４２、シリンジポンプ５０、吸引バルブ４４、吸引ホース６２、タンク６４を備えている。タンク６４には塗布液６６が蓄えられており、圧空源６８に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液６６に付加することができる。タンク６４内の塗布液６６は、吸引ホース６２を通じてシリンジポンプ５０に供給される。シリンジポンプ５０では、シリンジ５２、ピストン５４が本体５６に取り付けられている。ここでピストン５４は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ５０は、一定の内径を有するシリンジ５２内に塗布液を充填し、それをピストン５４により押し出して、スリットノズル２０に基板Ａを一枚塗布する分だけ供給する間欠定容量型のポンプである。シリンジ５２内に塗布液６６を充填するときは、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下方に移動させる。またシリンジ５２内に充填された塗布液をスリットノズル２０に向かって供給するときは、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開とし、ピストン５４を上方に移動させることで、ピストン５４でシリンジ５２内部の塗布液を押し上げて排出する。ピストン５４の移動速度にシリンジ断面積をかけあわせたものが塗布液の供給速度、すなわちポンプ供給速度となる。

さらに図１で基台２の左側を見ると、基板Ａの厚さを測定する厚さセンサー９０が支持台９２に取り付けられている。厚さセンサー９０はレーザを使用したものであることが好ましい。厚さセンサー９０により基板Ａの厚さを測定することで、どのような厚さの基板Ａに対しても、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａの間の隙間であるクリアランスを、常に一定にすることができる。

さらにまた基台２の右側端部を見ると、清掃装置である拭取りユニット１００がガイドレール４上にＸ方向に移動自在に取付られている。拭取りユニット１００には、スリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに、その上面１０４が沿うように面接触する拭取り部材１０２が、ホルダー１０６に保持されている。押し当て保持部材であるホルダーは、例えばステンレス等の金属やナイロン樹脂等の合成樹脂等で形成される剛体よりなる。

ホルダー１０６の詳細は図２に示されている。図２で（ａ）は、スリットノズル２０とホルダー１０６に保持された拭取り部材１０２の斜視図、（ｂ）は正面図（Ｙ方向に見た図）である。図２を見ると、ホルダー１０６は、拭取り部材１０２の下面１１８を支持するホルダー本体１２４Ａ、Ｂと、側面１２０Ａ、Ｂと接触して拭取り部材１０２をＹ方向に拘束するホルダー側体１２６Ａ、Ｂと、ホルダー本体１２４Ａ、Ｂとホルダー側体１２６Ａ、Ｂを下側で支持するホルダーベース１２８と、から構成されている。側面１２０Ｃ、Ｄがホルダー本体１２４Ａ、Ｂに接触しているので、これによって拭取り部材１０２はＸ方向にも拘束されることになり、その結果拭取り部材１０２は水平面内で移動することはない。

再び図１に戻ると、ホルダー１０６はブラケット１０８に締結して取り付けられており、さらにブラケット１０８はスライダー１１０に取り付けられている。スライダー１１０は駆動ユニット１１６により、スリットノズル２０の長手方向、すなわちＹ方向に自在に移動する。拭取り部材１０２をスライダー１１０を介してＹ方向に移動させる駆動ユニット１１６とトレイ１１２は、台車１１４上に固定されている。トレイ１１２は拭取り部材１０２によって除去される塗布液等を回収するためのものであり、図示しない排出ラインに接続されて、内部にたまった塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。またトレイ１１２は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するために使用することもできる。台車１１４はガイドレール４上にあり、ガイドレール４に案内されて、図示しないリニアモータによりＸ方向に自在に往復動できるので、拭取りユニット１００全体がＸ方向に往復動できる。

また拭取り部材１０２の上方には、清掃後に拭取り部材１０２をスクラブ洗浄する洗浄ユニット１４０がある。この洗浄ユニット１４０は、Ｘ方向には基台２の右側端部に、Ｙ方向にはスリットノズル２０の長手方向端部にある清掃開始位置側に、配置されており、基台２の右側端部に締結されたブラケット１５２上に固定されている。洗浄ユニット１４０は、洗浄体１４２と、洗浄体１４２と連結している駆動バー１５０と、駆動バー１５０を保持するとともに、上下方向（Ｚ方向）とＸ方向に自在に往復動させる駆動ユニット１４８と、から構成され、駆動ユニット１４８がブラケット１５２上に締結固定されている。さらに洗浄体１４２には、拭取り部材１０２の上面と接触する鋸刃状の洗浄部１４４が設けられているとともに、洗浄液である溶剤を洗浄部１４４の間から噴射するように溶剤ノズル１４６が設けられている。なお洗浄部１４４の形状としては、ブレードような幅の小さい直方体を一定ピッチで多数並べたものでもよい。また溶剤ノズル１４６には、図示されない溶剤供給源から図示されない配管を介して溶剤が供給される。洗浄体１４２の洗浄部１４４は、Ｙ方向に拭取り部材１０２がスリットノズル２０の清掃開始位置にある時に、拭取り部材１０２の直上に位置するように配置されている。

上記の拭取りユニット１００をはじめ、制御信号にて動作するリニアモータ、モータ７２、塗布液供給装置４０、洗浄ユニット１４０等はすべて制御装置９４に電気的に接続されている。そして、制御装置９４に組み込まれた自動運転プログラムにしたがって制御指令信号が各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。なお条件変更時は操作盤９６に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置９４に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。拭取りユニット１００に対しては、拭取り部材１０２のスリットノズル２０長手方向移動速度や、清掃開始・終了位置等を任意に制御して、与えられた任意の清掃動作を実現できる。また洗浄ユニット１４０に対しては、溶剤ノズル１４６からの溶剤の噴射速度や噴射時間、駆動バー１５０のＸ方向の往復動速度や往復回数を任意に制御して、拭取り部材１０２の予め定められた洗浄動作を行うことができる。

次に図２と図３を用いて、拭取りユニット１００でスリットノズル２０を清掃する状況を詳細に説明する。図２は清掃する準備状況（清掃前）、図３は清掃状況（清掃中）を示しており、図３で（ａ）は、スリットノズル２０とホルダー１０６に保持された拭取り部材１０２の斜視図、（ｂ）は正面図（Ｙ方向に見た図）である。

まず図２を見ると、清掃を行う前の準備を行うために、拭取りユニット１００の拭取り部材１０２が、スリットノズル２０の長手方向の清掃開始位置に移動している。清掃開始位置は、Ｘ方向には拭取り部材１０２の上面１０４の中央部が吐出口３０の真下になる位置であり、Ｙ方向（スリットノズル２０の長手方向）には吐出口３０の端部よりもやや離れた位置にある。

清掃を行う時には、スリットノズル２０を下降させてＹ方向に吐出口３０の手前で拭取り部材１０２と係合させる。そして図３（ｂ）に示すように、スポンジのように多孔質で弾性をもつシート状弾性体である拭取り部材１０２をＶ字形状に変形させて、シート状弾性体の一面である上面１０４をスリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに沿わせてつつみこむように密接（面接触）させる。この時、拭取り部材１０２の下面１１８はホルダー本体１２４Ａ、Ｂのホルダー斜面１２２Ａ、Ｂに接触し支持されているが、スリットノズル２０吐出口面３６の直下は支持されておらず何もないので、拭取り部材１０２は容易にＶ字形状となる。また拭取り部材１０２はその厚さ方向に斜面３４Ａ、Ｂとホルダー斜面１２２Ａ、Ｂに挟まれた状態となっており、拭取り部材１０２の厚さ方向の圧縮変化量が上面１０４の斜面３４Ａ、Ｂや吐出口面３６への押しつけ力を定める。すなわち、圧縮変化量が大きいほど、押しつけ力も大きくなる。そして拭取り部材１０２の上面１０４を斜面３４Ａ、Ｂと吐出口面３６に適正な圧力で押しつけた状態で、拭取り部材１０２をスリットノズル２０の長手方向（Ｙ方向）に移動させると、上面１０４と斜面３４Ａ、Ｂや吐出口面３６が摺接することになり、いわゆる拭取り（付着残存する塗布液の除去）が行われることになる。拭取り部材１０２は、Ｖ字形状に変形したときでも、その側面１２０Ａ、Ｂがホルダー側体１２６Ａ、Ｂと面接触してＹ方向に拘束されているので、拭取り部材１０２がホルダー１０６に保持されてＹ方向に移動しても、ホルダー１０６からはずれることはない。特に拭取り部材１０２がＶ字形状に変形した時に、スリットノズル２０の吐出口３６の直下にある側面１２０Ａ、Ｂの下方部がホルダー側体１２６Ａ、Ｂと面接触するようにホルダー側体１２６Ａ、Ｂを構成すれば、Ｙ方向の拘束はより強固となって、好ましい。また拭取り部材１０２のスリットノズル２０への摺接時の安定性と付加する圧力から、図２（ａ）に示す拭取り部材１０２のＸ方向長さＬｘは好ましくは５〜５０ｍｍ、より好ましくは１０〜３０ｍｍ、Ｙ方向長さＬｙは好ましくは３〜５０ｍｍ、より好ましくは５〜２０ｍｍ、厚さＬｚは好ましくは３〜３０ｍｍ、より好ましくは５〜２０ｍｍとする。

本発明の清掃方法では、例えば上記のとおり、吐出口面と斜面とは同時に合致しない形状のシート状弾性体の一面を前記スリットノズルの吐出口面と斜面に沿わせて密接させつつ、前記シート状弾性体をスリットノズルの長手方向に移動させて前記吐出口面と斜面に付着残存する塗布液を除去する
なお上面１０４が吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに沿ってつつみこむように面接触するようにするために、拭取り部材１０２はスポンジ等の多孔質体としているが、独立気泡を備える多孔質体であることが好ましい。それは、除去する塗布液が上面１０４に付着するだけで内部に染み込まず、上面１０４を洗浄することで、繰り返して拭取り部材１０２を清掃に使用できるからである。

拭取り部材１０２を繰り返して使用するための洗浄は、図１に示す洗浄ユニット１４０を用いて次のようにして行われる。まず洗浄位置にある拭取り部材１０２に対して、駆動ユニット１４８により駆動バー１５０を下降させ、駆動バー１５０に連結されている洗浄体１４２の洗浄部１４４を、拭取りを行って塗布液に汚染されている拭取り部材１０２の上面１０４に接触させる。つづいて溶剤ノズル１４６から溶剤を噴射するとともに、駆動ユニット１４８により駆動バー１５０をＸ方向に往復動させて、洗浄部１４４の先端で上面１０４をこすって洗浄（スクラブ洗浄）する。一定時間洗浄を行えば、溶剤ノズル１４６からの溶剤噴射を停止するとともに、駆動ユニットより駆動バー１５０を上昇させてから、Ｘ方向の往復動も停止する。シート状弾性体のスリットノズルに密接させて清掃する面を、１回の清掃ごとに洗浄することが好ましい。

次に拭取りユニット１００を用いた第１の清掃方法を、図４を参照しながら説明する。図４は一覧表となっていて、（ａ）の縦列は側面図（Ｘ方向に見た図）が配置され、（ｂ）の縦列は正面図（Ｙ方向すなわちスリットノズル２０の長手方向に見た図）が配置されている。横列はステップＳ１〜Ｓ７ごとに示されている。数字の大きい方が後のステップとなる。まず最初のステップＳ１では、拭取り部材１０２は待機位置に移動する。待機位置は、Ｘ方向には初期位置（図１の基台２の右側端部）、Ｙ方向にはスリットノズル２０の清掃開始位置である。この位置は、拭取り部材１０２の洗浄ユニット１４０による洗浄位置でもあるので、拭取り部材１０２は洗浄ユニット１４０の洗浄部１４４の直下となる。

つづくステップＳ２では、洗浄体１４２を下降させて洗浄部１４４を拭取り部材１０２に係合させ、つづいて溶剤ノズル１４６から溶剤を噴射するとともに、洗浄体１４２をＸ方向に往復動させて、洗浄部１４４の先端で拭取り部材１０２の上面１０４を洗浄する。溶剤がわずかに拭取り部材１０２の上面１０４に残るように、溶剤噴射を終了してから、好ましくは１〜３０秒後、より好ましくは１〜１０秒後に洗浄体１４２の往復動を停止させる。溶剤をわずかに上面１０４に残すのは、後のステップＳ６での拭取り部材１０２のスリットノズル２０に対する摺接開始時に、小さな力で抵抗なく滑らかに動作できるようにするためである。上面１０４が完全に乾いた状態であると、摺接開始時に大きな摩擦力が抵抗として作用し、好ましくない。洗浄が完了すれば、洗浄体１４２を上昇させ待機する。

次のステップＳ３では、拭取り部材１０２がスリットノズル２０の清掃開始位置の直下に来るよう拭取りユニット１００全体をＸ方向に移動させる。清掃開始位置では、拭取り部材１０２は吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに係合するが、吐出口３０からはＹ方向にやや離れる。この位置であるならば、次のステップＳ４で塗布液が吐出されても、塗布液がスリットノズル２０の吐出口面３６、斜面３４Ａ、Ｂに付着していないので、拭取り部材１０２がスリットノズル２０に係合する時に塗布液に接することはないし、塗布液が落下して拭取り部材１０２の上面１０４に付着することもない。

続くステップＳ４では、待機中に吐出口３０近くの内部で塗布液６６が変質している可能性があるので、スリットノズル２０の吐出口３０から塗布液６６を所定量吐出する。吐出された塗布液６６は、スリットノズル２０の吐出口面３６や、斜面３４Ａ、Ｂに付着する。この時塗布液６６は、吐出口面３６にぶら下がる滴状となったり、斜面３４Ａ、Ｂ上に広がる液膜８２となる。液膜８２が斜面３４Ａ、Ｂ上をはい上がる斜面３４Ａ、Ｂの下端部からの長さLｌは、塗布液の吐出量によって変化するが、この長さＬｌを倍にした値に対して拭取り部材１０２のＸ方向長さＬｘは２〜２０ｍｍ長いことが好ましく、さらには２〜１０ｍｍ長いことがより好ましい。

次のステップＳ５では、スリットノズル２０を下降させ、拭取り部材１０２がＶ字形状となり、吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに同時に合致しない形状の拭取り部材１０２の上面１０４を、スリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに沿って面接触させて密接させる。

続くステップＳ６では、駆動ユニット１０８を駆動し、スリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに拭取り部材１０２の上面１０４を密接させた状態で、拭取り部材１０２を矢印方向に移動すなわち走査させて、スリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂにそれぞれ付着残存した塗布液６６を除去、清掃する。ここで矢印方向は、拭取り部材１０２がスリットノズル２０に面接触しながら移動、すなわち摺接する摺接方向となり、Ｙ方向やスリットノズル２０の長手方向と一致する。なお除去した塗布液は、トレイ１１２の方に落下して回収される。

摺接時の拭取り部材１０２の斜面３４Ａ、Ｂ上での最上点の斜面３４Ａ、Ｂの下端部からの長さＬｓはステップＳ５に示されているが、おおよそ拭取り部材１０２のＸ方向長さＬｘの１／２となる。上述したように、長さＬｓは液膜の長さＬｌよりも好ましくは１〜１０ｍｍ、より好ましくは１〜５ｍｍ長くしているので、除去する塗布液が上記の最上点まではい上がって、再付着して残存することはない。また塗布液の除去にあたっては、拭取り部材１０２による掻き落とし量に加えて、独立気泡の多孔質体を使用していることで形成されている上面１０２のくぼみに塗布液が吸収される量も加わって、清掃効果が高くなっている。このことは、上記の拭取り部材１０２の最上点まではい上がる塗布液量を少なくすることにも寄与している。このような清掃効果は、除去する残存塗布液量が多い時や、より高速で清掃する時に顕著に現れる。

さて拭取り部材１０２はひきつづいてＹ方向に移動し、つづくステップＳ７では、スリットノズル２０の長手方向端部を通過した位置、すなわちスリットノズル２０の長手方向端部と干渉しない位置で停止する。拭取り部材１０２がスリットノズル２０の長手方向端部に達した時に、スリットノズル２０を上昇させてもよい。

以降毎回の塗布ごとに上記のステップＳ１〜Ｓ７を実行して、同じ清掃方法を繰り返す。上記の清掃方法で、除去能力の高い拭取り部材１０２で確実に付着する塗布液６６を除去するので、スリットノズル２０への塗布液６６の再付着が生じない。スリットノズル２０への塗布液６６の再付着が全く発生しないのであるから、塗布膜厚精度が高く、塗布膜面に欠点が全くない高い品質の塗布膜を形成することが可能となる。さらに再付着した塗布液が乾燥した固化物となって、拭取り部材１０２と接触することもなくなるので、拭取り部材１０２が摩耗せず、拭取り部材１０２の寿命が長くなる。また拭取り部材１０２はスリットノズル２０と面接触して摺接するので、摺接時に拭取り部材１０２に付加される圧力も小さくなり、従来の線接触する拭取り部材に比べ摺接による摩滅も大幅に減少することからも、拭取り部材１０２の寿命が大幅に長くなる。

なお以上の拭取りユニット１００で、ホルダー１０６とブラケット１０８の間に上下方向に昇降するエアーシリンダーをいれ、このエアーシリンダーによりホルダー１０６と拭取り部材１０２を自在に昇降する構成にしてもよい。この場合、上記の第１の清掃方法のステップＳ５で、スリットノズル２０を下降させる代わりに、エアーシリンダーによりホルダー１０６と拭取り部材１０２を上昇させスリットノズル２０に係合させることで、拭取り部材１０２をＶ字形状にし、拭取り部材１０２の上面１０４をスリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに面接触させることになる。

次に本発明の別の清掃装置である拭取りユニット２００と、それを用いた第２の清掃方法について、図５と図６を用いて詳しく説明する。

まず図５は、拭取りユニット２００の一部を示す斜視図である。拭取りユニット２００は、拭取りユニット１００の拭取り部材１０２とそのホルダー１０６を、それぞれ２つの拭取り部材２０２Ａ、Ｂとそのホルダー２０６Ａ、Ｂに変えた以外は拭取りユニット１００と全く同じ構成である。拭取り部材２０２Ａ、Ｂにはそれぞれの上面２０４Ａ、Ｂが備えられ、矢印で示す摺接方向（Ｙ方向）の前側にある拭取り部材２０２ＡのＸ方向長さＬｘＡは、拭取り部材ＢのＸ方向長さＬｘＢよりも短くしている。また、この２つの拭取り部材２０２Ａ、Ｂの上面２０４Ａ、Ｂに同時に係合するように、洗浄ユニット１４０の洗浄体１４２の洗浄部１４４はＹ方向に拡大されている。なお、２つの上面２０４Ａ、Ｂにあわせて、洗浄部１４４を２つにして配置してもよい。

次に図６を参照しながら、拭取りユニット２００を用いた第２の清掃方法を説明する。図６は一覧表となっていて、（ａ）の縦列は側面図（Ｘ方向に見た図）が、（ｂ）の縦列は拭取り部材２０２Ａとホルダー２０６Ａの正面図（Ｙ方向に見た図）が、（ｃ）の縦列は拭取り部材２０２Ｂとホルダー２０６Ｂの正面図が、配置されている。横列はステップＳ１〜Ｓ７ごとに示されている。

第２の清掃方法のステップＳ１〜Ｓ７は、拭取り部材１０２が２つの拭取り部材２０２Ａ、Ｂに変わった以外は、第１の清掃方法のステップＳ１〜Ｓ７と全く同じである。ただしステップＳ６での清掃作用が異なる。すなわち、ステップＳ６で拭取り部材２０２Ａ、Ｂをスリットノズル２０に対して摺接させる時に、摺接方向の前側にある拭取り部材２０２Ａでは全ての塗布液は除去できず、除去できない塗布液が拭取り部材２０２Ａの最上点まではい上がって斜面３４Ａ、Ｂに再付着する。この再付着の位置は、ステップＳ５に示されているように、斜面３４Ａ、Ｂの下端部から拭取り部材２０２Ａの最上点までの長さＬｓＡとなるが、この長さは拭取り部材２０２ＡのＸ方向長さＬｘＡのおおよそ１／２となる。一方、次に来る拭取り部材２０２ＢのＸ方向長さＬｘＢは拭取り部材２０２ＡのＸ方向長さＬｘＡよりも長くしているので、リップ斜面３４Ａ、Ｂの下端部から拭取り部材２０２Ｂの最上点までの長さＬｓＢも拭取り部材２０２Ａの長さＬｓＡよりも長くなる。したがって拭取り部材２０２Ａの通過によって再付着する塗布液は量的には非常に少なくなっているために、さらにそれよりも最上点が高い位置にある拭取り部材２０２Ｂで容易に除去される。なお、部材２０２Ｂの最上点までの長さＬｓＢは、斜面３４Ａ、Ｂに残存する液膜の長さＬｌよりも１〜１０ｍｍ長いことが好ましく、さらには２〜５ｍｍ長いことがより好ましい。このように拭取りユニット２００では、２段階にわたって清掃を行うことになるので、より残存塗布液量が多い時や、より高速で清掃する時に高い清掃効果を発揮する。

なお以上の拭取りユニット２００で、ホルダー２０６Ａとブラケット１０８の間、並びにホルダー２０６Ｂとブラケット１０８の間にそれぞれ独立して上下方向に昇降するエアーシリンダーＡとエアーシリンダーＢをいれる構成にしてもよい。この場合、エアーシリンダーＡによりホルダー２０６Ａと拭取り部材２０２Ａが、エアーシリンダーＢによりホルダー２０６Ｂと拭取り部材２０２Ｂが自在に昇降できることになる。拭取りユニット２００がこの構成であると、上記の第２の清掃方法のステップＳ５で、スリットノズル２０を下降させる代わりに、シリンダーＡ、Ｂによりホルダー２０６Ａ、Ｂと拭取り部材２０２Ａ、Ｂを独立して上昇させてスリットノズル２０に係合させることで、拭取り部材２０２Ａ、ＢをＶ字形状にして、拭取り部材２０２Ａ、Ｂの上面２０４Ａ、Ｂをスリットノズル２０の吐出口面３６と斜面３４Ａ、Ｂに面接触させることになる。特に摺接方向の前側にある拭取り部材２０２Ａが清掃開始位置にあって、スリットノズル２０の形状によって、その後側にある拭取り部材２０２Ｂの直上にはスリットノズル２０の吐出口面３６がない時には、この構成は有効である。すなわち、まずエアーシリンダーＡによって拭取り部材２０２Ａを上昇させてスリットノズル２０に係合させてＹ方向の摺動を開始し、拭取り部材２０２Ｂが清掃開始位置に来たらエアーシリンダーＢを駆動し、拭取り部材２０２Ｂを上昇してスリットノズル２０に係合させる（Ｙ方向に移動しながら接触させる）ことが可能となるからである。

拭取り部材１０２、２０２Ａ、Ｂの材質については、独立した気泡を備える多孔質体で、使用する塗布液への耐性があるものならばいかなるものでもよいが、シリコン系ゴム、フッ素系ゴム、ポリウレタンゴム、ポリエチレンゴム等が好ましく適用される。なお弾性の程度をあらわす硬度については、Ｃ型やＥ型等の硬度計を用いて測定し、好ましくは５０°以下、より好ましくは２０°以下である。

次に本発明になる清掃装置と清掃方法を用いたスリットコータ１による塗布方法について、図１を用いて詳述する。

まずスリットコータ１の各動作部の原点復帰が行われると、各動作部はスタンバイ位置に移動する。すなわち、ステージ６は図１の左側端部（破線で示す位置）、スリットノズル２０は最上部の原点位置に移動するとともに、拭き取りユニット１００は初期位置（基台２の右側端部）に来るよう移動する。この時拭取り部材１０２は、スリットノズル２０の長手方向であるＹ方向には、スリットノズル２０の吐出口３０からやや離れた清掃開始位置にある。ここで、タンク６４〜スリットノズル２０まで、塗布液６６はすでに満たされており、スリットノズル２０内部の残留エアーを排出する作業も既に終了している。この時の塗布液供給装置４０の状態は、シリンジ５２に塗布液６６が充填、吸引バルブ４４は閉、供給バルブ４２は開、そしてピストン５４は最下端の位置にあり、いつでも塗布液６６をスリットノズル２０に供給できる状態になっている。

最初に、ステージ６の表面に図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。次にリフトピンを下降させて基板Ａをステージ６上面に載置し、同時に吸着保持する。つづいて、上記の第１の清掃方法のステップＳ１〜Ｓ７を実行して、スリットノズル２０の清掃を行う。この清掃によって、スリットノズル２０の内部通路を吐出口３０まで完全に塗布液でみたすという初期化も完了する。清掃完了後、スリットノズル２０を原点位置まで上昇させるとともに、拭取りユニット１００をＸ方向に移動させて初期位置（基台２の右側端部）に復帰させる。

拭取りユニット１００が初期位置に移動したのを確認したら、基板Ａを載置したステージ６の移動を開始する。この時スリットノズル２０は上下方向には、塗布が行われる位置よりも上方の原点位置にあり、一方シリンジポンプ５０は停止して、待機している。そして基板Ａが厚さセンサー９０直下を通過する時に基板厚さを測定し、基板Ａの塗布開始部がスリットノズル２０の吐出口３０の真下に達したら、ステージ６を停止させる。この時、測定した基板Ａの厚さデータを用い、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０の吐出口面３６と基板Ａ間のすきま、すなわちクリアランスがあらかじめ定めた値になるようスリットノズル２０を下降させて停止させる。スリットノズル２０とステージ６が完全に停止した状態で、シリンジポンプ５０のピストン５４を所定速度で上昇させ、スリットノズル２０から塗布液６６を吐出してスリットノズル２０と基板Ａとの間にビードＢを形成してから、ステージ６を所定速度でＸ方向に移動開始し、塗布液６６の基板Ａへの塗布を始めて、塗布膜Ｃを形成する。
そして基板Ａの塗布終了位置より少し手前の位置がスリットノズル２０の吐出口３０の真下にきたら、ピストン５４を停止させて塗布液６６の供給を停止し、つぎに基板Ａの塗布終了位置がスリットノズル２０の吐出口３０の真下に来たときに、上下昇降ユニット７０を駆動して、スリットノズル２０を上昇させる。これによって基板Ａとスリットノズル２０の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。

その間もステージ６は動作を継続し、終点位置にきたら停止し、基板Ａの吸着を解除してリフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。この時図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。基板Ａをアンローダに受け渡したら、ステージ６はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。

移動完了後、吸引バルブ４４を開、供給バルブ４２を閉として、ピストン５４を下降させて、塗布液６６をシリンジ５２内に充填する。充填完了後、ピストン５４を停止させ、吸引バルブ４４を閉、供給バルブ４２を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくりかえす。 なお本発明が適用できる塗布液としては粘度が１〜１００ｍＰａｓ、より望ましくは１〜５０ｍＰａｓであり、ニュートニアンであることが塗布性や清掃性から好ましいが、チキソ性を有する塗布液にも適用できる。とりわけ溶剤に揮発性の高いもの、たとえばＰＧＭＥＡ、酢酸ブチル、乳酸エチル等を使用している塗布液を塗布するときに有効である。具体的に適用できる塗布液の例としては、上記にあげたカラーフィルター用のブラックマトリックス、ＲＧＢ色画素形成用塗布液の他、レジスト液、オーバーコート材、柱形成材料等がある。基板である被塗布部材としてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、シリコンウェハー等を用いてもよい。さらに塗布速度等の使用する塗布条件としては、塗布速度が１０ｍｍ／ｓ〜６００ｍｍ／ｓ、より好ましくは１００ｍｍ／ｓ〜３００ｍｍ／ｓ、清掃部材である拭取り部材の摺接速度は好ましくは５０〜１０００mm／ｓ、より好ましくは２００〜６００mm／ｓ、スリットノズルのリップ間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは８０〜２００μｍ、塗布厚さがウェット状態で１〜５０μｍ、より好ましくは２〜２０μｍである。

以下、本発明の効果を実施例を用いて説明する。

実施例１
スリットノズル２０は、吐出口３０の長手方向長さが１１００ｍｍ、スリット２８の間隙が１００μｍで、基板に１１００ｍｍ幅の塗布膜が形成できるものであった。このスリットノズルの吐出口面３６の塗布方向の長さは０．６mm、スリットノズル２０の長手方向に見たリップ斜面３４Ａ、Ｂの水平線となす角度が４５度であった。また吐出口面３６はスリットノズル長手方向に吐出口３０より前後２０ｍｍずつ長く、１１４０ｍｍであった。このような吐出口面とリップ斜面を有するスリットノズルを清掃するのに図１の拭取りユニット１００を使用した。拭取りユニット１００に用いるスリットノズルの清掃部材として、図２で示される形状の拭取り部材１０２を用いた。この拭取り部材１０２は、図２を参照して、Ｘ方向長さＬｘ＝２０ｍｍ、Ｙ方向長さＬｙ＝１５ｍｍ、厚さＬｚ＝１０ｍｍの直方体形状であり、赤シリコンを材料として使用した硬度２０度の独立気泡の多孔質体（スポンジ）であった。この形状の拭取り部材１０２を保持できるように、ホルダー１０６をナイロン樹脂で製作した。ホルダー１０６が拭取り部材１０２を保持する部分は、Ｘ方向、Ｙ方向ともに拭取り部材１０２よりも０．５ｍｍ長くし、Ｚ方向には下面１１８から２ｍｍだけ拭取り部材１０２と接触するようにした。またホルダー斜面１２２Ａ、Ｂの傾きは、水平線から４５度の角度にした。

次に実際に清掃、除去する塗布液としてカラーフィルター用のＲ色（赤色）用塗布液を用いた。このＲ色用塗布液は粘度３ｍＰａｓで、アクリル樹脂をバインダー、溶剤としてＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）を用いた感光性のもので、固形分濃度は２０％であった。スリットコータ１のタンク６４〜スリットノズル２０までこのＲ色用塗布液を充填した。また拭取り部材１０２の洗浄には、図１の洗浄ユニット１４０を用いた。洗浄体１４２はナイロン樹脂製とし、洗浄部１４４の形状はＹ方向に見て底辺と高さが６ｍｍの三角形を５個並べたもので、Ｙ方向には長さ２０ｍｍにした。

清掃を開始するために、まず拭取り部材１０２を洗浄ユニット１４０の直下に移動させ、洗浄体１４２を下降して、洗浄部１４４である三角形の頂点を拭取り部材１０２の上面１０４に１ｍｍ食い込ませた。この状態で洗浄溶剤であるＰＧＭＥＡを２５０μｌ／ｓで溶剤ノズルから噴射開始し、その１秒後に洗浄体１４２をストローク１５ｍｍで５ＨｚにてＸ方向に往復動して洗浄を開始した。溶剤の噴射時間は４秒、洗浄体１４２の往復動時間は５秒であった。

洗浄が完了した拭取り部材１０２は、スリットノズル２０の直下にある清掃開始位置に移動させた。清掃開始位置は、Ｘ方向には吐出口面３６の中央と拭取り部材１０２の中央が一致する位置で、Ｙ方向には拭取り部材１０２の摺接方向の前側が吐出口３０の端部から摺接方向とは逆方向に５ｍｍ離れた位置であった。つづいてスリットノズル２０から１０００μｌだけＲ色用塗布液を吐出した。この時観察すると、Ｒ色用塗布液はリップ斜面３４Ａ、Ｂの下端部からの長さＬｌ＝３ｍｍだけリップ斜面Ａ、Ｂ上をはい上がっていた。そしてスリットノズル２０を下降し、スリットノズル２０の吐出口面３６が拭取り部材１０２の上面１０４に接触してから、さらに８ｍｍ下降させた。これによって拭取り部材１０２はＶ字形状となって、拭取り部材１０２の上面とスリットノズル２０は面接触した。この状態で拭取り部材１０２を２００ｍｍ／ｓで摺接開始し、１１４５ｍｍ移動させた。拭取り部材１０２が１１２５ｍｍ移動した段階で、スリットノズル２０を上昇させた。これによってリップ斜面３４Ａ、Ｂ、吐出口面３６に残存していたＲ色用塗布液は完全に除去され、再付着するものもなかった。

以上の清掃を１０００回行ったが、いずれもＲ色用塗布液は完全に除去されていた。

実施例２
スリットコータ１を用いてカラーフィルターを製造した。
スリットノズルと拭取り部材には、実施例１に示すものを使用した。この拭取り部材を使用したスリットノズルの清掃、並びに拭取り部材の洗浄は、いずれの塗布液に対しても実施例１と同じ条件で、毎回の塗布前に必ず行った。

最初に、１１００×１３００ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板を洗浄後に、基板短辺側をスリットノズル長手方向として、ブラックマトリックス塗布液をウェット厚さ１０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍで１５０ｍｍ／ｓにて塗布した。なおこの時塗布したブラックマトリックス塗布液には、チタン酸窒化物を遮光材、アクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶剤にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を４ｍＰａｓに調整した感光性のものを用いた。なお塗布のタクトタイムは６０秒であった。塗布した基板は３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行った後、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行い、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が１５μｍとなる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックス膜を作成した。なお、乾燥後の格子模様形成前の状態で塗布厚さを測定し、膜厚精度Ｕを端部１０ｍｍを除く領域でＵ＝（最大値−最小値）／（２×平均値）×１００（％）で算出したところ、基板走行方向、幅方向とも３％以下であった。

次にウェット洗浄後、Ｒ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１０％で混合し、さらに粘度を５ｍＰａｓに調整した感光性のものであった。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。つづいてブラックマトリックス、Ｒ色の塗布膜を形成した基板に、Ｇ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｇ色画素部にのみ厚さ２μｍのＧ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。さらにブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色の塗布膜を形成した基板に、Ｂ色用塗布液を厚さ２０μｍ、スリットノズルと基板との間のクリアランス１５０μｍ、塗布速度１５０ｍｍ／ｓで塗布をした。２０μｍの塗布膜を塗布した基板は、３０秒で６５Ｐａに到達する真空乾燥を６０秒行ってから、１００℃のホットプレートで１０分間さらに乾燥した。ついで露光・現像・剥離を行って、Ｂ色画素部にのみ厚さ２μｍのＢ色塗布膜を残し、２３０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。なお、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１０％で粘度を５ｍＰａｓに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１０％で粘度を５ｍＰａｓに調整したものであった。Ｒ、Ｇ、Ｂ色塗布時のタクトタイムはいずれも６０秒であった。なお、塗布品位は各色とも申し分のないものであり、膜厚分布についても乾燥後、各色とも測定し、膜厚精度Ｕを端部１０ｍｍを除く領域でＵ＝（最大値−最小値）／（２×平均値）×１００（％）で算出したところ、基板走行方向、幅方向とも３％以下と良好であった。

そして最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させた。この製造方法にて、１０００枚のカラーフィルターを作成した。得られたカラーフィルターは、基板端部から１０ｍｍをのぞいた製品領域で塗布むらがなく、色度も均一であり、パーティクル欠点等の清掃が起因する欠点もなく、品質的に申し分ないものであった。さらに、このカラーフィルターをＴＦＴアレイを形成した基板と重ね合わせ、オーブン中で加圧しながら１６０℃で９０分間加熱して、シール剤を硬化させた。このセルに液晶注入を行った後、紫外線硬化樹脂により液晶注入口を封口した。次に、偏光板をセルの２枚のガラス基板の外側に貼り付け、さらに、得られたセルをモジュール化して、液晶ディスプレイを完成させた。得られた液晶ディスプレイは色濃度が均一でパーティクル欠点もなく、品質的に申し分ないものであった。

本発明は、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにアレイ基板、プラズマディスプレイ用パネル、光学フィルタなど等の基板上に均一で高品質の塗布膜を形成する各種ディスプレイ用部材の製造に利用可能である。

１ スリットコータ
２ 基台
４ ガイドレール
６ ステージ
１０ 支柱
２０ スリットノズル（塗布器）
２２ フロントリップ
２４ リアリップ
２６ マニホールド
２８ スリット
３０ 吐出口
３２ シム
３４Ａ、Ｂ 斜面
３６ 吐出口面
４０ 塗布液供給装置
４２ 供給バルブ
４４ 吸引バルブ
４６ フィルター
５０ シリンジポンプ
５２ シリンジ
５４ ピストン
５６ 本体
６０ 供給ホース
６２ 吸引ホース
６４ タンク
６６ 塗布液
６８ 圧空源
７０ 上下昇降ユニット
７２ モータ
７４ ガイド
７６ ボールネジ
７８ 昇降台
８０ 吊り下げ保持台
８２ 液膜
９０ 厚さセンサー
９２ 支持台
９４ 制御装置
９６ 操作盤
１００ 拭取りユニット
１０２ 拭取り部材
１０４ 上面
１０６ ホルダー
１０８ ブラケット
１１０ スライダー
１１２ トレイ
１１４ 台車
１１６ 駆動ユニット
１１８ 下面
１２０Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ 側面
１２２Ａ、Ｂ ホルダー斜面
１２４Ａ、Ｂ ホルダー本体
１２６Ａ、Ｂ ホルダー側体
１２８ ホルダーベース
１４０ 洗浄ユニット
１４２ 洗浄体
１４４ 洗浄部
１４６ 溶剤ノズル
１４８ 駆動ユニット
１５０ 駆動バー
１５２ ブラケット
２００ 拭取りユニット
２０２Ａ、Ｂ 拭取り部材
２０４Ａ、Ｂ 上面
２０６Ａ、Ｂ ホルダー
Ａ 基板（被塗布部材）
Ｂ ビード
Ｃ 塗布膜
Ｌｌ 液膜８２の斜面３４Ａ、Ｂ上での斜面３４Ａ、Ｂの下端部からの長さ
Ｌｓ 拭取り部材１０２の斜面３４Ａ、Ｂ上での最上点の斜面３４Ａ、Ｂの下端部からの長さ
ＬｓＡ 斜面３４Ａ、Ｂの下端部から拭取り部材２０２Ａの最上点までの長さ
ＬｓＢ 斜面３４Ａ、Ｂの下端部から拭取り部材２０２Ｂの最上点までの長さ
Ｌｘ 拭取り部材１０２のＸ方向長さ
Ｌｙ 拭取り部材１０２のＹ方向長さ
Ｌｚ 拭取り部材１０２の厚さ
ＬｘＡ 拭取り部材２０２ＡのＸ方向長さ
ＬｘＢ 拭取り部材２０２ＢのＸ方向長さ
Ｓ ステップ

Claims (7)

1. 塗布液を吐出するために一方向に延在する吐出口を具備し、該吐出口を含む吐出口面および該吐出口面に隣接する斜面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、前記吐出口面と斜面とは同時に合致しない形状のシート状弾性体の一面を前記スリットノズルの吐出口面と斜面に沿わせて密接させつつ、前記シート状弾性体をスリットノズルの長手方向に移動させて前記吐出口面と斜面に付着残存する塗布液を除去することを特徴とするスリットノズルの清掃方法。
2. 前記シート状弾性体は、独立気泡を備える多孔質体である請求項１に記載のスリットノズルの清掃方法。
3. 前記シート状弾性体のスリットノズルに密接させて清掃する面を、１回の清掃ごとに洗浄する請求項１または２に記載のスリットノズルの清掃方法。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のスリットノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
5. 塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口を具備し、該吐出口を含む吐出口面および該吐出口面に隣接する斜面を有するスリットノズルを清掃する清掃装置であって、前記吐出口面と斜面に同時に合致しない形状のシート状弾性体と、該シート状弾性体を保持するとともに、シート状弾性体の一面を前記吐出口面と斜面に沿わせて密接させる剛体よりなる押し当て保持部材と、該押し当て保持部材をスリットノズルの長手方向とその直交する方向に移動させる駆動ユニット、とを備えることを特徴とするスリットノズルの清掃装置。
6. 前記シート状弾性体は、独立気泡を備える多孔質体である請求項５に記載のスリットノズルの清掃装置。
7. さらに前記スリットノズルの清掃後に、前記シート状弾性体の洗浄を行う洗浄ユニットを備える請求項５または６に記載のスリットノズルの清掃装置。