JP5138058B2 - 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents
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Description
前記第1の面側に設けられた、前記吐出口面と前記両隣接面とに同時に接触する清掃部と、
前記清掃部を起点として、前記第2の面側まで延在する複数の流出経路面とを備え、
前記流出経路面には、前記第2の面側で切欠きが設けられていることを特徴とする。
前記清掃部材の保持体と、
前記清掃部材と前記保持体とを前記一方向に摺動させる移動手段と、
洗浄液により清掃部材の清掃部の洗浄を行う清掃部材洗浄装置とを備え、
前記保持体は前記第2の面側では前記切欠きより重力方向において下の位置を保持することを特徴とする。
<試験1>
スリットノズル20は、吐出口30の長手方向長さが1100mm、スリット28の間隙が100μmで、基板に1100mm幅の塗布膜が形成できるものを使用した。スリットノズルの吐出口面36の塗布方向(X)の長さは0.6mm、スリットノズル20の長手方向に見たリップ斜面34A及び34Bがなす角度γn(図4(b)参照)は90°である。このような吐出口面36とリップ斜面34A及び34Bを有するスリットノズル20に用いる拭取り部材として、図6に示した部材300を試験の対象である試験片1として採用した。
次に試験片1(拭取り部材300)の清掃能力を評価するための塗布液として、カラーフィルタ用のR色(赤色)用塗布液を用いた。R色用塗布液は粘度3mPasで、アクリル樹脂をバインダー、溶剤としてPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を用いた感光性のもので、固形分濃度は20%であった。スリットコータ1のタンク64〜スリットノズル20までにR色用塗布液を充填した。また拭取り部材300による清掃後には、拭取り部材300にノズル142から角度60°の扇形状に溶剤を噴射して溶剤洗浄を実施した。洗浄溶剤にはPGMEAを用い、これを洗浄ごとに100μL噴射した。
スリットノズルから2000μLのR色用塗布液を吐出後、拭取り部材300をスリットノズル20に接触させ、Y方向に500mm/sの摺動速度で摺動させる。この動作を100回繰り返し、10回後と100回後のそれぞれに、吐出口面36とリップ斜面34A及び34BでのR色用塗布液の残存状況と、拭取り部材300の磨耗状況を観察する。
評価1に基づく、10回と100回の清掃後のそれぞれに、拭取り部材300の底面202とその周辺部でのR色用塗布液の残存状況を観察する。
評価1に基づく、10回と100回の溶剤洗浄後のそれぞれに、拭取り部材300の底面202とその周辺部での洗浄用の溶剤の残存状況を観察する。
評価1に基づく、10回と100回の清掃後のそれぞれに、1100×1300mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板全面に、R色用塗布液をウェット厚さ10μm、及び塗布速度150mm/sの条件で塗布をする。スリットノズル20と基板との間のクリアランスは150μmである。塗布した基板は60Paまで減圧する真空乾燥にて乾燥し、塗布方向(X)の膜厚精度Uの評価と塗布面の状況の観察を行う。膜厚精度Uは、端部10mmを除く領域でU=(最大値−最小値)/(2×平均値)×100(%)で算出した。
比較試験片1は、試験片1(拭取り部材300)から切欠き220を廃して構成されている。この比較試験片1を用いて、試験片1と全く同じ条件で清掃と塗布を行って、同じ清掃能力及び塗布の評価1〜評価4を行った。
スリットコータ1を用いてカラーフィルタを製造した。スリットノズル20と拭取り部材には、試験1に示した拭取り部材300を使用した。この拭取り部材300を使用したスリットノズル20の清掃は、いずれの塗布液に対しても、清掃前のスリットノズルからの塗布液の吐出量1000μL、摺動速度500mm/sの条件にて、毎回の塗布前に行った。清掃後の拭取り部材の溶剤洗浄も、PGMEAを洗浄液として噴射量100μLにて実施した。
2 基台
4 ガイドレール
6 ステージ
10 支柱
20 スリットノズル(塗布器)
22 フロントリップ
24 リアリップ
26 マニホールド
28 スリット
30 吐出口
32 シム
34A、34B リップ斜面
36 吐出口面
40 塗布液供給装置
42 供給バルブ
44 吸引バルブ
46 フィルター
50 シリンジポンプ
52 シリンジ
54 ピストン
56 本体
60 供給ホース
62 吸引ホース
64 タンク
66 塗布液
68 圧空源
70 上下昇降ユニット
72 モータ
74 ガイド
76 ボールねじ
78 昇降台
80 吊り下げ保持台
90 厚さセンサー
92 支持台
94 制御装置
96 操作盤
100 拭取りユニット
102 台車
104 ブラケット
106 スライダー
108 駆動ユニット
110 トレイ
112 ホルダー
114 押さえ板
116 ガイド
118 バネ
120 前方支持部
122 誘導面
124 上辺
126 前斜面
140 洗浄ユニット
142 溶剤ノズル
144 配管
150 付着した塗布液
152 流出する塗布液
154 集約された塗布液
200 拭取り部材
202 底面
204A、204B 斜辺
206 底辺
208A、208B 斜面
210 後面
212 前面
214A、214B 上面
220 切欠き
222 切欠き底辺
224A、224B 切欠き斜面
300 拭取り部材
400 拭取り部材(従来)
402 底面
406 底辺
412 前面
420 残存液
422 吸引口
424 上部に移動する塗布液
426 残存塗布液
A 基板(被塗布部材)
B ビード
C 塗布膜
F 矢印方向(拭取り部材の厚さ方向)
L1、L2、L3、L4 拭取り部材の各部の長さ
Lc 切欠き底辺の長さ
LP1 切欠き底辺の底面に投影される長さ
LP2 切欠き底辺の前面に投影される長さ
S 空間
T 拭取り部材の厚さ
α 底面と吐出口面とがなす角度
β 底面と後面とがなす角度
γc 斜辺間の角度
γn スリットノズルのリップ斜面34A及び34Bのなす角度
φ 後面と斜面とがなす角度
θ 拭取り部材の前面の鉛直面に対する傾き角度
θc1 切欠き底辺の前面となす角度
θc2 切欠き斜面が切欠き底辺を間にはさんでなす角度
Claims (5)
- 互いに対向する第1の面と第2の面を有し、塗布器の一方向に延在する吐出口の吐出口面と、当該吐出口面の両隣接面に接触しながら、当該一方向に摺動して、当該吐出口面と当該両隣接面との清掃に供される清掃部材であって、
前記第1の面側に設けられた、前記吐出口面と前記両隣接面とに同時に接触する清掃部と、
前記清掃部を起点として、前記第2の面側まで延在する複数の流出経路面とを備え、
前記流出経路面には、前記第2の面側で切欠きが設けられていることを特徴とする清掃部材。 - 前記切欠きは、三角形状の断面を有することを特徴とする請求項1に記載の清掃部材。
- 請求項1及び請求項2の何れか一項に記載の清掃部材の清掃部を洗浄液により洗浄してから、前記吐出口面及び前記両隣接面に当該清掃部を接触させながら前記一方向に摺動させて、前記塗布器を清掃する方法であって、当該切欠きの一端から塗布液と洗浄液が流出されるように、当該清掃部材を前記第2の面側で当該切欠きより重力方向に下の位置で保持することを特徴とする塗布器の清掃方法。
- 請求項1及び請求項2の何れか一項に記載の清掃部材を、前記清掃部を前記吐出口面と前記両隣接面とに接触させながら摺動させて清掃を行う清掃装置であって、
前記清掃部材の保持体と、
前記清掃部材と前記保持体とを前記一方向に摺動させる移動手段と、
洗浄液により清掃部材の清掃部の洗浄を行う清掃部材洗浄装置とを備え、
前記保持体は前記第2の面側では前記切欠きより重力方向において下の位置を保持することを特徴とする清掃装置。 - 請求項3に記載の清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
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