JP2013215716A - ノズルの清掃装置および清掃方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】微細な吐出口と突出部を多数備えて微細な線幅のストライプ状の塗布を行えるノズルに対して、吐出口を含む吐出口面の長手方向斜面および塗布方向斜面とに付着した塗布液を短時間で安定して除去する。
【解決手段】ノズル長手方向に延びる清掃吸着材１０２と、清掃吸着材を保持する弾性体１０４Ａ、１０４Ｂと、吐出口面と塗布方向斜面に吸着材を弾性体を介して押しつける付勢ユニット１０９と、吸着材とノズルを相対移動させる相対移動ユニットと、を少なくとも備える。
【選択図】図４

Description

この発明は、例えば有機ＥＬやカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等のディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、ストライプ状に所定幅の塗布膜を多数形成できるノズルの吐出口およびその周辺に付着して残存する塗布液を除去するノズルの清掃装置および清掃方法、並びにこれらを用いたディスプレイ用部材の製造方法の改良に関するものである。

従来から知られているように、有機ＥＬ、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等には、等ピッチに配置されたポリイミドやブラックマトリックス等の隔壁またはバンク間に塗布液を充填して、直線ストライプ状に塗布膜を形成する工程がある。このようなストライプ状の塗布膜をガラス基板等の被塗布部材上に塗布により形成する手段としては、スクリーン印刷やノズル法がよく知られているが、スクリーン等の副資材が不要で、必要な量だけ高価な塗布液を供給して塗布膜を形成できるノズル法の方が、コスト的に優れており、最近特に注目を集めている。

ノズル法にも、ストライプの配置ピッチにあわせて設けられた多数の吐出口を有するノズルから、塗布液を間欠的に噴射するインクジェットノズル法や、塗布液を連続して吐出する連続吐出ノズル法がある。インクジェットノズル法は、個々の吐出口での塗布液吐出を制御できるので、いかなるパターン形状にも対応できフレキシビリティが高いが、均一性、吐出安定性に課題がある。一方連続吐出ノズル法は、すべての吐出口から同時に塗布液を吐出するのでストライプ状にしか塗布できないが、逆に均一性、吐出安定性に優れているので、製造に広く利用されている。連続吐出ノズル法で薄膜塗布に適するのが、ノズル〜ガラス基板間のクリアランスを比較的小さくしてノズル吐出口とガラス基板間に液溜まりであるビードを形成し、ビード幅に相当する幅のストライプ状塗布膜を形成するビード法（例えば特許文献１）である。

ビード法で使用するノズルは、ノズル吐出口とガラス基板間にストライプ幅のビードを形成しやすいように、ノズル吐出口を含むその周辺部であるノズル吐出口面あるいは吐出口部が、他の部分よりも塗布液吐出方向に突出し、その先端部の幅がおおよそストライプ状塗布膜の幅に等しい突出部または突起部を形成している。この突出部は、広幅の面状の塗布膜を形成するスリットノズルを、その幅をストライプ幅まで極小化したものに相当する。そして微細幅の線が一定ピッチで多数並んだストライプ状の塗布を行うために、ノズルは吐出口と突出部が多数並ぶものとなる。例えば１００μｍ幅の線を３００μｍピッチで１００本形成したければ、６０μｍ幅程度の吐出口を含む先端幅１００μｍ程度の突出部が、３００μｍピッチで１００個並んだノズルを使用することになる。

このようなノズルに塗布液を供給して、実際にガラス基板等の被塗布部材上にストライプ状の塗布を行うと、塗布終了後に、吐出口を含む吐出口面と、この吐出口面にノズル長手方向の両側に隣接する長手方向斜面と、吐出口面に塗布方向の両側に隣接する塗布方向斜面とに、塗布液の一部が滴状または細長い液膜となって付着して残存する。吐出口面と長手方向および塗布方向斜面とに滴状や細長い液膜の塗布液が放置されたままで塗布を行うと、ノズルから吐出される塗布液と共に残存していた塗布液も基板に塗布されることになるので、均一な膜厚の塗布面を得ることができない。また、付着して残存している塗布液が塗布されなくても、それが起点となって、塗布方向にすじが発生する。

さらに塗布を終了して次の塗布を待つまでの間で、吐出口近くの塗布液は空気に接して変質している可能性が懸念される時は、一定量の塗布液を吐出する初期出しを行ってから引き続いて塗布を行うが、この時に吐出された塗布液は吐出口面と長手方向および塗布方向斜面とに液膜となって付着して残存するのはもちろんのこと、隣り合う突出部の間の空間を完全に塗布液で満たしてしまう。このように突出部の間の空間が塗布液で満たされた状態で塗布を行うと、空間に残存する塗布液が加算されて基板に塗布されることになるので、均一な膜厚のストライプ状の塗布膜を得ることができない。

そのため多数枚の被塗布部材に続けて高品質のストライプ状の塗布を行う場合には、以上の不具合を回避するために、一回の塗布が終了するごと、または初期出しを完了するごとに、ノズルの吐出口面と長手方向および塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去する、すなわち清掃を行うことが必須となる。

毎回の塗布ごとに行うノズルの具体的な清掃手段としては、広幅の面状の塗布膜を形成するスリットノズルならば、スリットノズルの吐出口面および吐出口面の両側に塗布方向に隣接する塗布方向斜面の断面形状と合致する形状の清掃部材を、吐出口面および塗布方向斜面に摺動させて清掃を行うもの（例えば特許文献２）がある。また布等の吸着材をスリットノズルの吐出口面および塗布方向斜面に摺動させて残存塗布液を拭き取るものがある（例えば特許文献３、４）。

これらのスリットノズルの清掃手段をストライプ状の塗布を行うノズルに適用しても、ノズル長手方向に隣り合う突出部間にある長手方向斜面に付着している塗布液や、ノズル長手方向に隣り合う突出部間の空間を満たして残存している塗布液は、清掃部材が接触しないのであるから、全く除去できない。

そのために溶剤を湿潤した布を用いて人手によって、付着して残存している塗布液を目視確認しながら除去しているのが現状である。しかしながら人手によると、塗布液の除去に時間がかかるとともに、除去状態が一定にならないので、清掃を行うごとに塗布品質や塗布膜厚がばらついて安定化しない。また布を吐出口に少し長い時間接触させると吐出口にある塗布液を布が吸い出すために、ノズル内部に気泡を導入してしまうことになる。このように内部に気泡を含むノズルで塗布を行うと、気泡の影響によって塗布開始部で塗布液の吐出が遅れて、開始部の膜厚が薄くなる他、はなはだしい場合は内部の気泡が吐出されて、気泡の大きさで塗布されない気泡欠点が発生する。

以上の微細な突出部を多数有してストライプ状の塗布を行うノズルには、有効な自動清掃手段がないのが現状である。

特開２００７−１８７９４８号公報 特開平１１−３００２６１号公報 特開２００３−３３７１２号公報 特開２００８−１３６８９７号公報

この発明は、上記の従来の清掃手段に由来する問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、微細な線幅に対応して微細な吐出口と突出部を微細なピッチで多数備えてストライプ状の塗布を行えるノズルに対して、毎回の塗布終了時や塗布前の塗布液の初期出し時に、吐出口面と長手方向および塗布方向斜面とに付着して残存する塗布液、並びにノズル長手方向に隣り合う突出部間の空間に充満して残存する塗布液を短時間に安定して除去することが可能なノズルの清掃手段を実現するとともに、さらにはこの清掃手段を用いて、塗布品質や塗布膜厚精度並びに生産性の向上に大きく寄与するノズルの清掃装置および方法、ならびにこの方法を使用したディスプレイ用部材の製造方法を提供することにある。

上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。

本発明に係るノズルの清掃装置は、長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃装置であって、ノズルの塗布方向両側に配置されてノズル長手方向に平行に延びる吸着材と、該吸着材を保持する弾性体と、上記突出部を構成する上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに上記吸着材を上記弾性体を介して押しつける付勢ユニットと、上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに押しつけた状態で上記吸着材とノズルを相対移動させる相対移動ユニットと、を少なくとも備えることを特徴とする。

ここで、上記吸着材は、布であること、上記弾性体は、気泡を備える多孔質体であること、上記吸着材にあらかじめ洗浄液を吸収させる洗浄液供給ユニットを、さらに備えること、が好ましい。

本発明に係るノズルの清掃方法は、長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃方法であって、上記突出部を構成する上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに、長手方向に渡って吸着材を面接触させ、さらに弾性体を介して上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面に押しつけるとともに、上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面に対して相対移動させることで、上記吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去することを特徴とする。

本発明に係る別のノズルの清掃方法は、長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃方法であって、上記ノズルの吐出口面の塗布方向両側に隣接する塗布方向斜面を、塗布方向の片側ずつ、長手方向に渡って吸着材に押し付けて面接触させてから上記吸着材を上記塗布方向斜面に対して相対移動させること、を行なうことで、前記吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去することを特徴とする。

ここで、上記吸着材は、布であること、上記弾性体は、気泡を備える多孔質体であること、上記吸着材には、清掃開始前にあらかじめ洗浄液を吸収させておくこと、が好ましい。

本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、上記のノズル清掃方法で清掃したノズルを用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。

本発明に係るノズルの清掃装置および清掃方法を用いれば、布等の柔らかい吸着材をノズルの吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに、ノズル長手方向に渡って面接触させ、さらに弾性体を介して吸着材を吐出口面と塗布方向斜面に押しつけるのであるから、吸着材がノズル長手方向に隣あう突出部間の空間に入り込んで長手方向斜面に接触するようになるので、ノズル長手方向に隣り合う突出部間の空間に充満して残存する塗布液を吸収する。さらに吸着材が吐出口面や塗布方向斜面に面接触しているだけでなく、ノズル長手方向に隣り合う突出部間にある長手方向斜面にも接触した状態で、吸着材を塗布方向斜面に対して相対移動させるのであるから、吸着材は吐出口面や長手方向斜面／塗布方向斜面にも接触した状態で相対移動するために、吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を拭取って、短時間に安定して除去することが可能となる。このように本発明の手段によれば、毎回の塗布終了時や塗布前の塗布液の初期出し時に残存する塗布液を完全に除去した状態で、ストライプ状の塗布が行えるのであるから、その結果、塗布膜厚精度が高く、塗布膜面に欠点が全くない高い品質の塗布膜を形成することが可能となる。また以上の清掃を短時間で行えるので、生産性を高めることも可能となる。

本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れたノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、膜厚精度が高く塗布欠点がない優れた塗布品位のディスプレイ用部材を高い生産性と歩留まりで製造することが可能となる。

本発明に係る清掃装置を含むストライプ塗布装置１を示す斜視図である。 ノズル３０による基板への塗布状況を示す拡大正面断面図である。 図２のノズル３０の吐出口における側面断面図である 本発明に係る清掃装置である清掃ユニット１００の詳細を示す概略側面図である。 ノズル３０に残存する塗布液の付着状況を示す概略図である。 ノズル３０に残存する塗布液の別の付着状況を示す概略図である。 清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する作用をステップ的に示す前半ステップでの説明図である。 清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する作用をステップ的に示す後半ステップでの説明図である。 清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する別の作用をステップ的に示す後半ステップでの説明図である。 清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する別の作用をステップ的に示す図９に続く後半ステップでの説明図である。

以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係る清掃装置を含むストライプ塗布装置１を示す斜視図、図２はノズル３０による基板への塗布状況を示す拡大正面断面図、図３は図２のノズル３０の吐出口における側面断面図、図４は本発明に係る清掃装置である清掃ユニット１００の詳細を示す概略側面図、図５はノズル３０に残存する塗布液の付着状況を示す概略図、図６はノズル３０に残存する塗布液の別の付着状況を示す概略図、図７は清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する作用をステップ的に示す前半ステップでの説明図、図８は清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する作用をステップ的に示す後半ステップでの説明図、図９は清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する別の作用をステップ的に示す後半ステップでの説明図、図１０は清掃ユニット１００でノズル３０を清掃する別の作用をステップ的に示す図９に続く後半ステップでの説明図、である。

図１を参照すると、塗布液をストライプ状に塗布可能なストライプ塗布装置１が示されている。このストライプ塗布装置１は、被塗布部材である基板Ａに塗布液を塗布するノズル３０と、ノズル３０と基板Ａが取りつけられてこれらを自在に移動させるＸＹＺステージ１０と、ノズル３０に塗布液を供給する塗布液供給手段である塗布液供給装置５０と、ノズル３０の清掃を行う清掃ユニット１００と、ＸＹＺステージ１０と塗布液供給装置５０と清掃ユニット１００の動作を統括的に制御する制御装置８０と、より構成されている。

ＸＹＺステージ１０の吸着盤１４には基板Ａが載置され、Ｚ軸リニア駆動装置１２にはノズル３０が固定保持されている。吸着盤１４の上面には図示されていない吸着孔が多数配置されており、図示されていない真空源からの真空圧によって基板Ａを吸着保持することができる。この吸着盤１４はその中央部で図示しない回転軸を介してＸ−θ駆動装置１６に取り付けられている。Ｘ−θ駆動装置１６は、ベース２６上に固定されており、吸着盤１４のＸ−Ｙ平面内での回転とＸ方向（基板Ａ長手方向）の往復動を自在に行なうことができる。なおＸ、Ｙ、Ｚの方向については、図１に示される通りで、ＸＹＺステージ１０の左下隅にＸ、Ｙ、Ｚ各軸の原点Ｏが設けられているとともに、原点Ｏでの矢印の方向が正方向である。またＸ−Ｙ平面内での回転方向がθ方向となっている。

ノズル３０を保持するＺ軸リニア駆動装置１２は、ノズル３０をＺ方向すなわち上下方向に自在に昇降することができるもので、ブラケット１８に固定されている。ブラケット１８はさらにＹ軸リニア駆動装置２０に保持されている。Ｙ軸リニア駆動装置２０は、ベース２６上の一端に配置されている門型ベース２８上に固定されており、ブラケット１８をＹ方向に自在に往復動することができる。その結果ブラケット１８に固定されているノズル３０を、塗布方向であるＹ方向にも自在に往復動させることができる。さらに吸着盤１４の上方のブラケット１８に対応する位置にはＣＣＤカメラ２２と高さセンサー２４も装着されている。ＣＣＤカメラ２２は制御装置８０に電気的に連結されており、基板Ａのアライメントマークの位置を検知して、それを制御装置８０に伝え、制御装置８０がＸ−θ駆動装置１６やＹ軸リニア駆動装置２０を駆動することによって、ノズル３０に対する基板Ａの位置合わせやθ方向の相対回転角度設定を行うことができる。一方高さセンサー２４は、基板Ａの上面の位置を検知、すなわち基板Ａの厚さを検知し、それを電気的に接続されている制御装置８０に伝える。その信号に基づいて制御装置８０がＺ軸リニア駆動装置１２等を駆動することによって、ノズル３０の最下面と基板Ａ上面とのすきま、すなわちクリアランスを所定値に設定することができる。

ノズル３０には、塗布液供給装置５０に連なる供給ホース６８が常時接続されており、これによりノズル３０へは塗布液供給装置５０から塗布液を供給することができる。ノズル３０へ供給された塗布液は、ノズル３０の内部通路を経て基板Ａに向かってノズル３０より吐出される。

なお、塗布液供給装置５０は、供給ホース６８の上流側に、フィルター５６、供給バルブ５２、シリンジポンプ６０、吸引バルブ５４、吸引ホース７０、タンク７２を備えている。またタンク７２には塗布液７４が蓄えられており、圧空源７６に連結されて任意の大きさの背圧を塗布液７４に付加することができる。タンク７２内の塗布液７４は、吸引ホース７０を通じてシリンジポンプ６０に供給される。シリンジポンプ６０では、シリンジ６２、ピストン６４が本体６６に取り付けられている。ここでピストン６４は図示しない駆動源によって上下方向に自在に往復動できる。シリンジポンプ６０は、一定の内径を有するシシリンジ６２内に塗布液７４を充填し、それをピストン６４により押し出して、ノズル３０に一定容量の塗布液を供給できる定容量間欠供給型のポンプである。シリンジ６２内に塗布液７４を充填するときは、吸引バルブ５４を開、供給バルブ５２を閉として、ピストン６４を下方に移動させる。またシリンジ６２内に充填された塗布液をノズル３０に向かって供給するときは、吸引バルブ５４を閉、供給バルブ５２を開とし、ピストン６４を上方に移動させることで、ピストン６４でシリンジ６２内部の塗布液７４を押し上げ排出する。

さて図１にあるノズル３０をＹ方向、すなわち基板Ａ短手方向ならびにノズル３０の長手方向（Ｘ方向）に直交する方向、に見た中央部の断面を拡大して示しているのが図２であり、塗布液７４をノズル３０でクリアランスＬＣだけ離れた基板Ａにストライプ状に塗布している状況を示している。ノズル３０は紙面に垂直な方向、すなわち図１のＹ方向に移動し、これが塗布方向となる。図２で、ノズル３０を構成する本体３４の中央部に、ノズル３０の長手方向に伸びるマニホールド３８が形成されている。このマニホールド３８には灰色に色づけした塗布液７４が充満しており、中央部上方には供給口４２が設けられている。供給口４２は図１の供給ホース６８と接続しており、この供給口４２を介して塗布液供給装置５０から塗布液７４をマニホールド３８に供給することができる。マニホールド３８の下方の下部３２には貫通溝３６がマニホールド３８と連通して形成されている。この貫通溝３６の下端がノズル３０の最下端面である吐出口面４６で開口して、吐出口４０を形成する。したがって吐出口４０は塗布液供給装置５０と流体的に連通しているので、塗布液供給装置５０から塗布液７４が供給されれば、吐出口４０から塗布液７４は下向きに吐出される。この下向きが塗布液吐出方向となる。

吐出口４０は吐出口面４６に含まれているが、吐出口面４６は下部３２の外面４９よりも、塗布液７４の吐出方向である下向きに突出量ＬＡだけ突出して、吐出口面４６の両隣にノズル３０の長手方向であるＸ方向に連なる長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂとともに突出部４４を形成している。すなわち、吐出口面４６の両側にノズル３０の長手方向に隣接する長手方向斜面は、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂとなる。塗布液が吐出される吐出口４０を含む突出部４４の一部分が、ノズル３０の先端部となる。吐出口４０はノズル３０の長手方向にピッチＬＲで複数個設けられているので、突出部４４も同じくノズル３０の長手方向にピッチＬＲで複数個設けられることになる。すなわちノズル３０は、長手方向に配列された複数の吐出口４０を有し、かつ各々の吐出口４０を含む吐出口面４６とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部４４を備えている。なお下部３２の外面４９は、長手方向に隣合う突出部４４の間にある空間Ｓに面する下部３２の外側の面と定義される。これから空間Ｓは、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂと下部３２の外面４９に囲まれた空間ということもできる。

吐出口４０から吐出された塗布液７４が、突出部４４と基板Ａとの間、より正確には吐出口面４６および長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂの一部と基板Ａとの間に連結ビードＢＰを形成すれば、吐出口４０から一定量の塗布液を吐出しつつ、ノズル３０を基板Ａに対してＹ方向に相対移動させることにより、ストライプ幅ＬＢのストライプ状塗布膜が形成できることになる。なおストライプ幅ＬＢは吐出口面４６の幅ＬＤとは必ずしも一致しない。

吐出口４０の形状については、塗布液７４の吐出方向に見て円形、矩形、長穴形状等いかなるものであってもよい。吐出口４０の幅ＬＥは、吐出口面４６の幅ＬＤ以下であることが好ましい。長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂの塗布液７４の吐出方向に対する角度φは好ましくは０〜４５度にする。この角度範囲にあれば、吐出口面４６の幅ＬＤに近い最小のストライプ幅ＬＢを有する連結ビードＢＰが実現できるからである。吐出口４０と貫通溝３６をノズル３０の長手方向、すなわちＸ方向に見ると、図３に示すようになる。吐出口４０の塗布方向長さＬＦは、吐出口面４６の塗布方向長さＬＧよりも小さいことが好ましい。また吐出口面４６の塗布方向、すなわちＹ方向両隣にも塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂが形成されている。すなわち、吐出口面４６の両側に塗布方向に隣接する塗布方向斜面は、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂとなる。塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂと上記の吐出口面４６、並びに長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂが、突出部４４を構成する全てである。なお塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂの塗布液７４の吐出方向に対する角度αは、好ましくは０〜６０度にする。なお、塗布液７４の吐出方向は、吐出口４０の塗布方向、すなわちY方向の中心線Ｃと平行となる。

再び図１を見ると、吸着盤１４のＹ方向に隣り合って、ベース２６上に本発明のノズル３０の清掃装置である清掃ユニット１００が設けられている。清掃ユニット１００は、ノズル３０の吐出口面４６と、吐出口面４６の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面である長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ／塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂとに付着して残存している塗布液を除去する。清掃ユニット１００で実際にノズル３０の清掃を行う清掃吸着材１０２が、ノズル３０と長手方向全長にわたって接触するように、清掃ユニット１００のＸ方向配置位置は定められている。Ｙ方向にはノズル３０と清掃ユニット１００は離れた位置にあるので、清掃を行う時にはノズル３０は、Ｙ軸リニア駆動装置２０により清掃ユニット１００の清掃吸着材１０２の直上まで移動する。清掃吸着材１０２は布等の、柔軟で容易に変形し、液体を吸収する機能を有するものが好ましい。

清掃ユニット１００よりさらにＹ方向に離れた位置には、清掃ユニット１００の吸着材である清掃吸着材１０２にあらかじめ洗浄液となる溶剤を吸収させる洗浄液供給ユニットである溶剤供給装置１５０が、さらに備えられている。溶剤供給装置１５０は、溶剤を噴射するＸ方向に延びる溶剤ノズル１５２、溶剤ノズル１５２の一端をブラケット１５６上に保持・固定する保持具１５４、より構成されている。溶剤ノズル１５２には、図示しない溶剤供給源から、これまた図示しない配管を通じて、溶剤が供給される。ブラケット１５６はＹ軸リニア駆動装置２０に取り付けられており、溶剤ノズル１５２をＹ方向に、ノズル３０とは独立して、移動させることができる。したがって溶剤ノズル１５２は、使用されない時はＹ軸リニア駆動装置２０上のＹ方向端部で待機し、使用される時に、清掃ユニット１００の清掃吸着材１０２直上位置までＹ方向に移動し、清掃吸着材１０２に溶剤を噴射して、清掃吸着材１０２を溶剤で湿潤させることが可能となる。

清掃ユニット１００をＸ方向に見て拡大した図４を用いて、清掃ユニット１００の構成についてさらに詳細に説明する。図４では、清掃ユニット１００の清掃吸着材１０２の直上に溶剤ノズル１５２を配しており、後に溶剤ノズル１５２による清掃吸着材１０２への溶剤供給状況についても詳述する。

図４において清掃部材となる吸着材である清掃吸着材１０２は、ノズル３０の塗布方向であるＹ方向両側に配置されてノズル３０の長手方向であるＸ方向に平行に延びる。そして清掃吸着材１０２は、Ｘ方向に延びる直方体形状の２つの弾性体１０４Ａ、Ｂの上方で支持されている。すなわち弾性体１０４Ａ、Ｂは、吸着材である清掃吸着材１０２を保持する。清掃吸着材１０２は、弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂ、上面１２２Ａ、Ｂ、内面１２０Ａ、Ｂに接触して弾性体１０４Ａ、Ｂに保持されており、２つの弾性体１０４Ａと１０４Ｂの間では垂れ下がっている。この垂れ下がっている部分にノズル３０の先端部を位置させて、清掃を行う。なお清掃吸着材１０２の垂れ下がっている部分の最下端部と弾性体１０４Ａ、Ｂの上面１２２Ａ、Ｂ間の長さを垂れ下がり長さＺ１としている。また弾性体１０４Ａ、Ｂは気泡を備える多孔質体であることが好ましい。より具体的には、スポンジのように多孔質でゴム硬度が５０度以下で、溶剤に対して耐性を有するものが好ましい。弾性体１０４Ａ、Ｂはその全体が、Ｘ方向に延びるコの字形状の保持体１０８に保持されている。保持体１０８は架台１１６上に保持されており、架台１１６がストライプ塗布装置１のベース２６上で固定されている。弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂの下方部分と下面１２６Ａ、Ｂが保持体１０８と接触しており、外面１２４Ａ、Ｂの下方部分が保持体１０８に接着固定されている。２つの弾性体１０４Ａ、Ｂの間の下方には、Ｘ方向に延びる中間ブロック１０６が保持体１０８上で固定されている。中間ブロック１０６により、弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂ間の距離が定められる。

弾性体１０４Ａ、Ｂの上方ではＹ方向に隣り合って、Ｘ方向に延びる押圧体１１０Ａ、Ｂがアーム１１２Ａ、Ｂの一端に保持されて配置されている。アーム１１２Ａ、Ｂの押圧体１１０Ａ、Ｂとは逆側の一端には、Ｘ方向に延びる軸１１８Ａ、Ｂが取り付けられており、この軸１１８Ａ、ＢのＸ方向端部にお互いが噛み合うギアー１１４Ａ、Ｂが備えられている。
軸１１８Ａ、Ｂはまた、Ｘ方向の両端で保持体１０８の下側に固定されている軸受け箱１２８Ａ、Ｂで回転自在に保持されている。なお軸１１８Ｂの一端は図示しない回転駆動装置に接続されている。回転駆動装置としては、ロータリーシリンダーやモータを用いることが好ましい。

以上の構成によってアーム１１２Ａは軸１１８Ａを中心として、アーム１１２Ｂは軸１１８Ｂを中心として、お互い逆方向に回転することになるので、アーム１１２Ａ、Ｂの一端にある押圧体１１０Ａ、Ｂを同時に弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂに接触させることが可能となる。したがって、押圧体１１０Ａ、Ｂ、アーム１１２Ａ、Ｂ、ギアー１１４Ａ、Ｂ、軸１１８Ａ、Ｂ、軸受け箱１２８Ａ、Ｂは、付勢ユニット１０９を構成する。すなわち図４の状態から、図示していない回転駆動装置により軸１１８Ｂを反時計方向に回転させると、アーム１１２Ｂは反時計方向に回転するが、アーム１１２Ａはギアー１１４Ａ、Ｂの作用によって時計方向に回転する。アーム１１２Ａ、Ｂのこのような回転作用により、押圧体１１０Ａ、Ｂはそれぞれ弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂを接触させるように、弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂを清掃吸着材１０２を介して押すことになる。したがってこの時に、弾性体１０４Ａ、Ｂの間にノズル３０の吐出口４０を含む先端部を配しておけば、ノズル３０の先端部を清掃吸着材１０２を介して弾性体１０４Ａ、Ｂではさみこむことが可能となる。つまり付勢ユニット１０９は、ノズル３０の突出部４４を構成する吐出口面４６と塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂのそれぞれに、吸着材である清掃吸着材１０２を弾性体１０４Ａ、Ｂを介して押しつける。この時には、押圧体１１０Ａ、Ｂと弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂの間に清掃吸着材１０２の両端端部がＸ方向全長にわたって挟まれることになるので、清掃吸着材１０２は、ノズル３０と弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂの間に挟まれることもあわせて、２箇所で位置固定される。一方、ノズル３０の先端部が清掃吸着材１０２を介して弾性体１０４Ａ、Ｂではさみこまれている状態から、回転駆動装置により軸１１８Ｂを時計方向に回転させれば、アーム１１２Ａ、Ｂは、押圧体１１０Ａ、Ｂを弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂから引き離す方向に回転する。押圧体１１０Ａ、Ｂが外面１２４Ａ、Ｂより十分離れれば、弾性体１０４Ａ、Ｂの復元力により、内面１２０Ａ、Ｂはお互いに離れていき、図４の状態に戻る。この時には中間ブロック１０６のＹ方向長さによって復元する位置が定まる。なお、ノズル３０に付着して残存している塗布液を除去するには、付勢ユニット１０９により吸着材である清掃吸着材１０２を吐出口面４６と塗布方向斜面ある塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂのそれぞれに押しつけた状態で吸着材である清掃吸着材１０２とノズル３０を相対移動させる相対移動ユニットが必要となる。この相対移動ユニットは、清掃吸着材１０２をノズル３０に対して上下方向であるＺ方向に相対移動させるＺ軸リニア駆動装置であり、清掃吸着材１０２をノズル３０に対してＹ方向に相対移動させるＹ軸リニア駆動装置である。

本発明のノズル清掃装置は、上記に示したように、ノズルの塗布方向両側に配置されてノズル長手方向に平行に延びる吸着材と、該吸着材を保持する弾性体と、上記突出部を構成する上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに上記吸着材を上記弾性体を介して押しつける付勢ユニットと、上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに押しつけた状態で上記吸着材とノズルを相対移動させる相対移動ユニットと、を少なくとも備える。

さらに清掃ユニット１００の保持体１０８のＹ方向に隣り合って、トレイ１３０が架台１１６上に固定されている。このトレイ１３０は、ノズル３０の初期出しやエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するためのものであり、図示しない排出ラインに接続されて、内部にたまった塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。

また清掃ユニット１００の上方にある溶剤ノズル１５２には、流路１６０を伝わってきた溶剤が、弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂと上面１２２Ａ、Ｂの境界に噴出されて到達するように、吐出孔１５８Ａ、Ｂが設けられている。この吐出孔１５８Ａ、ＢはＸ方向に所定のピッチで複数個設けて、清掃吸着材１０２がＸ方向に全域にわたって均等に湿潤されるようにすることが好ましい。また吐出孔１５８Ａ、Ｂについては、垂直方向に溶剤を噴射できるように溶剤ノズル１５２の下方一位置に設けておき、押圧体１１０Ａ、Ｂによって弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂを接触させた状態で、溶剤を噴射するようにしてもよい。いずれにせよ、溶剤ノズル１５２によって少なくとも弾性体１０４Ａ、Ｂの間にある清掃吸着材１０２の全領域が溶剤湿潤されるようにすればよい。なお弾性体１０４Ａ、Ｂを保持する保持体１０８の底面や側面には、図示しない排出ラインに接続される排出穴が設けられており、内部にたまった溶剤や塗布液等の液体を外部に排出、回収することができる。

再び図１を見ると、制御信号にて動作するＸ−θ駆動装置１６、Ｙ軸リニア駆動装置２０、Ｚ軸リニア駆動装置１２、塗布液供給装置５０、清掃ユニット１００の軸１１８Ｂの回転駆動装置、溶剤供給装置１５０等がすべて電気的に接続されている制御装置８０がある。制御装置８０にはあらかじめ組み込まれた自動運転プログラムがあり、これに従って制御指令信号が制御装置８０から各機器に送信されて、あらかじめ定められた動作を行う。なお条件を変更する時は操作盤８２に適宜変更パラメータを入力すれば、それが制御装置８０に伝達されて、運転動作の変更が実現できる。制御装置８０を用いれば、ストライプ塗布装置１の動作を自在に制御できるので、定められた条件でのノズル３０の清掃や、与えられた塗布条件下での塗布を自在に行うことができる。

次に本発明に係る清掃装置である清掃ユニット１００を用いたノズル３０の清掃方法について詳述する。まずノズル３０の清掃前の塗布液７４の付着状況を図５、６に示す。いずれの図においても（ａ）は正面図（Ｙ方向に見た図）、（ｂ）は隣り合う突出部４４の間から突出部４４をＸ方向に見た図である。図５は塗布が終了した時のノズル３０での塗布液７４の付着状況を示したもので、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、に滴状に塗布液７４が付着している。一方図６は、塗布が終了してから次の塗布の開始前に、吐出口４０よりノズル３０内部にある変質した塗布液を吐出するいわゆる初期出しを行った直後の塗布液の付着状況を示している。塗布液７４の量が多いので、吐出口面４６に塗布液７４が付着するのはもちろんのこと、隣り合う突出部４４の間の空間Ｓに塗布液が充満するだけでなく、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂで外面４９よりも上側の位置にまで塗布液７４がはい上がって付着している。

図５、６のようにノズル３０に塗布液７４が残存して付着している時に、この塗布液７４を完全に除去するための清掃ユニット１００を使用した第１の清掃方法を、図７と図８を用いて説明する。図７と図８は一覧表となっていて、（ａ）の縦列は正面図（Ｙ方向に見た図）が配置され、（ｂ）の縦列は隣り合う突出部４４の間から突出部４４をＸ方向に見た図が配置されている。横列はステップＳｔ０〜Ｓｔ７ごとに示されている。ステップＳｔは数字の大きい方が時間的に後になる。ステップＳｔ０〜Ｓｔ３までが図７に示され、ステップＳｔ４〜Ｓｔ７までが図８に示されている。

図７でステップＳｔ０は塗布が終了した時であり、塗布液７４がノズル３０の突出部４４に滴状に付着して残存する。次にステップＳｔ１では、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動して、溶剤ノズル１５２を保持体１０８のＹ方向中央部の直上に移動させた後に、溶剤供給源から所定量の溶剤を溶剤ノズル１５２に供給して清掃吸着材１０２に向かって噴射することで、清掃吸着材１０２を溶剤で湿潤させる。すなわち、吸着材である清掃吸着材１０２には、清掃開始前にあらかじめ洗浄液である溶剤を吸収させておく。

続いてステップＳｔ２では、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動して溶剤ノズル１５２を初期位置に退避させた後に、ノズル３０を清掃ユニット１００のトレイ１３０直上に移動させる。ノズル３０が停止したら塗布液供給装置５０を駆動して、所定量の塗布液７４をノズル３０から吐出して初期出しを行う。この時、塗布液７４は空間Ｓに充満し、一部があふれて塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂの上部にも付着する。次のステップＳｔ３では、ノズル３０に付着している塗布液７４を除去するために、ノズル３０の突出部４４が清掃ユニット１００の清掃吸着材１０２の直上位置に位置するよう、Ｙ軸リニア駆動装置を駆動してノズル３０をＹ方向に移動させる。具体的には、吐出口４０のＹ方向中心線Ｃが、弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂ間の中心に略一致する位置まで移動させる。続いて図８に示すステップＳｔ４では、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０をＺ方向に下降させる。弾性体１０４Ａ、Ｂの上面１２２Ａ、Ｂが、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂに付着している塗布液７４よりも高い位置になるまでノズル３０を下降させるのが好ましい。次にステップＳｔ５で清掃ユニット１００の回転駆動装置を駆動して軸１１８Ｂを反時計方向に回転させ、押圧体１１０Ａ、Ｂでノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂを、清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａ、Ｂを介して挟み込む。

この時弾性体１０４Ａ、Ｂは空間Ｓにも入り込むので、清掃吸着材１０２はすべての吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、外面４９に面接触するとともに、一部の塗布液は清掃吸着材１０２に吸収される。また、押圧体１１０Ａ、Ｂと弾性体１０４Ａ、Ｂの外面１２４Ａ、Ｂの間に、清掃吸着材１０２のＹ方向両端端部がＸ方向全長にわたって挟まれることになるので、以降のノズル３０の相対移動時に清掃吸着材１０２が容易にずれない。続いてステップＳｔ６で、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０を矢印で示すＺ方向に上昇させ、清掃吸着材１０２が接触するすべての吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、外面４９に対して相対移動、すなわち摺動することにより、各面に付着して残存している塗布液が、ノズル３０の上昇が完了したステップＳｔ７では完全に除去される。

すなわちステップＳｔ５とステップＳｔ６とで、ノズル３０の突出部４４を構成する吐出口面４６と塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂのそれぞれに、長手方向（Ｘ方向）に渡って吸着材である清掃吸着材１０２を面接触させ、さらに弾性体１０４Ａ、Ｂを介して吸着材である清掃吸着材１０２を吐出口面４６と塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂに押しつけるとともに、吸着材である清掃吸着材１０２を吐出口面４６と塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂに対してＺ方向に相対移動させることで、吐出口面４６と長手方向斜面である長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ／塗布方向斜面である塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂとに付着して残存している塗布液を除去する。

本発明のノズルの第１の清掃方法は、以上の通り、上記突出部を構成する上記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに、長手方向に渡って吸着材を面接触させ、さらに弾性体を介して上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面に押しつけるとともに、上記吸着材を上記吐出口面と塗布方向斜面に対して相対移動させることで、上記吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去する。

上記で、清掃吸着材１０２が接触するすべての吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、外面４９に対する相対移動方向は、Ｚ方向すなわち上下方向が好ましいが、Ｘ方向すなわちノズル３０の長手方向であってもよい。ただしこの時は、押圧体１１０Ａ、Ｂでノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂを、清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａ、Ｂを介して低圧力で挟み込むようにする。これは弾性体１０４Ａ、Ｂがノズル３０の空間Ｓにわずかしか入り込まないようにして、清掃吸着材１０２がＸ方向に容易に相対移動できるようにするためである。

また、吸着材１０２のすべての吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、外面４９に対する相対移動方向がＺ方向の時、この相対移動前にノズル３０を下降させる位置を、弾性体１０４の上面１２２Ａ、Ｂがノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂに付着している塗布液７４よりもより長く離れた高い位置になるようにすることが好ましい。これによって、清掃吸着材１０２の塗布液の除去に使用できる接触面積がより大きくなり、塗布除去能力が高まるからである。

吸着材である清掃吸着材１０２は、布であることが好ましい。より具体的には織物、ニット、編物、不織布等の布状物で、液体の吸収力があって自在に変形して突出部４４の各面に接触可能であるものが好ましいが、スポンジ等の多孔質体であってもよい。また上記の第１の清掃方法では、清掃吸着材１０２は所定形状のものを１枚使用していたが、これを２枚等複数枚重ねて使用してもよい。これによって一層塗布液の吸収能力が高まり、塗布液の除去能力が向上する。また清掃ユニット１００では、所定形状の清掃吸着材１０２を人手によって交換するが、清掃ユニット１００のＸ方向の両隣に巻出装置と巻取装置を配置して、所定幅で連続となっている清掃吸着材１０２を、自動的に弾性体１０４Ａ、Ｂ上に送り込むようにしてもよい。この場合、１回の清掃作業ごとに、塗布液を吸収した清掃吸着材１０２の部分を巻取装置で巻き取ると、弾性体１０４上に清掃吸着材１０２の未使用部分が現れることになる。

さらに図１では、清掃ユニット１００は１個しかないが、全く同じものをＹ方向に２個以上並べてもよい。これにより複数回のノズル３０の清掃ユニット１００による清掃が行えることになり、付着して残存している塗布液量が相当多い場合でも完全に除去できて、より好ましい。

また図１に示す清掃ユニット１００では、清掃吸着材１０２や弾性体１０４等のＸ方向長さは、ノズル３０の長手方向長さより１０〜２０ｍｍ程度長い程度であるが、ノズル３０の長手方向長さのｎ倍＋１０〜２０ｍｍとしてもよい。この場合、１回の清掃が完了するごとにノズル３０をＹ方向に移動させることで、少なくともｎ回の清掃が行えることになる。

次に清掃ユニット１００を使用した第２の清掃方法を、図７と図９と図１０を用いて説明する。図７には第２の清掃方法のステップＳｔ０〜Ｓｔ３が、図９にはそれに続くステップＮＳｔ４〜ＮＳｔ７が、図１０にはさらにそれに続くステップＮＳｔ８〜ＮＳｔ１０が示されている。なおステップを示す記号は、第１の清掃方法と共通するステップはＳｔを用い、第２の清掃方法に固有のステップについてはＮＳｔを用いている。

さて第２の清掃方法では、ステップＳｔ０〜Ｓｔ３まで第１の清掃方法と全く同じであるので、説明を省略する。続いて図９を見て、ステップＮＳｔ４では、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０を、矢印で示すＺ方向に下降させる。弾性体１０４Ａ、Ｂの上面１２２Ａ、Ｂが、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂに付着している塗布液７４よりも高い位置になるまでノズル３０を下降させるのが好ましい。次にステップＮＳｔ５で、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動して、ノズル３０を矢印で示すＹ方向の弾性体１０４Ｂ側に向かって移動させ、塗布液７４が付着しているノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ｂを、吸着材である清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ｂに、ノズル３０の長手方向に渡って押し付けるようにして接触させる。この時、塗布方向傾斜面４７Ｂに直接接触するのは清掃吸着材１０２であるが、押し付けによって弾性体１０４Ｂは上面１２２Ｂの近傍が、塗布方向傾斜面４７Ｂにならって斜面状に弾性変形し、さらに吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の塗布方向傾斜面４７Ｂ側の一部が弾性体１０４Ｂの方まで食い込んで清掃吸着材１０２と接触するとともに、空間Ｓの一部にも清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ｂが入り込む。そしてこの状態を所定時間だけ保持する。保持時間としては、好ましくは０．５〜１０秒、より好ましくは１〜５秒である。これによって、塗布方向傾斜面４７Ｂに付着している塗布液や、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の塗布方向傾斜面４７Ｂ側に付着している塗布液の一部、さらには空間Ｓに残存している塗布液７４の一部が、清掃吸着材１０２に吸収される。続いてステップＮＳｔ６で、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ｂを清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ｂに押し付けた状態のまま、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０を矢印で示すＺ方向に上昇させる。これによって、清掃吸着材１０２が接触する塗布方向傾斜面４７Ｂ、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の一部に対して、清掃吸着材１０２が相対移動、すなわち摺動することになり、清掃吸着材１０２に接触する塗布液が除去されるとともに、清掃吸着材１０２に接触しない塗布液も、除去した塗布液による随伴（引きずり）や、清掃吸着材１０２の塗布液の吸収による引き寄せによって、その一部が除去される。そしてノズル３０の上昇が完了した状態では、清掃吸着材１０２が摺動しない塗布方向傾斜面４７Ａや、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の塗布方向傾斜面４７Ａ側にだけ、塗布液７４が付着残存する。その付着残存する塗布液７４を除去するために、次のステップＮＳｔ７ではまず、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動し、ノズル３０のＹ方向中心線Ｃが、弾性体１０４Ａ、Ｂの内面１２０Ａ、Ｂ間の中心に略一致する位置まで、ノズル３０をＹ方向に移動させる。

次に図１０を見ると、その次のステップＮＳｔ８で、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０を矢印で示すＺ方向に下降させる。ステップＮＳｔ４の時と同様に、弾性体１０４Ａ、Ｂの上面１２２Ａ、Ｂが、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａに付着している塗布液７４よりも高い位置になるまでノズル３０を下降させるのが好ましい。つづくステップＮＳｔ９で、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動して、ノズル３０を矢印で示すＹ方向の弾性体１０４Ａ側に向かって移動させ、塗布液７４が付着しているノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａを、清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａに、ノズル３０の長手方向に渡って押し付けるようにして接触させる。この時、押し付けによって弾性体１０４Ａは上面１２２Ａの近傍が、塗布方向傾斜面４７Ａにならって斜面状に弾性変形し、さらに吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の塗布方向傾斜面４７Ａ側の一部が弾性体１０４Ａの方まで食い込んで清掃吸着材１０２と接触するとともに、空間Ｓの一部にも清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａが入り込む。そしてこの状態を、ステップＮＳｔ５の時と同じ所定時間だけ保持する。これによって、塗布方向傾斜面４７Ａに付着している塗布液や、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の塗布方向傾斜面４７Ａ側に付着している塗布液の一部、さらには空間Ｓに残存している塗布液７４の一部が、清掃吸着材１０２に吸収される。続いてステップＮＳｔ１０で、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａを清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａに押し付けた状態のまま、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０を矢印で示すＺ方向に上昇させる。これによって、清掃吸着材１０２が接触する塗布方向傾斜面４７Ａ、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の一部に対して、清掃吸着材１０２が相対移動、すなわち摺動することにより、清掃吸着材１０２に接触する塗布液が除去されるとともに、清掃吸着材１０２に接触しない塗布液も、除去した塗布液による随伴や、清掃吸着材１０２の塗布液の吸引による引き寄せによって、その一部が除去される。

以上の第２の清掃方法を１回行なっただけではノズル３０の突出部４４に付着残存している塗布液７４を完全に除去できない場合は、清掃吸着材１０２を新しいものに更新してから、第２の清掃方法を複数回繰り返してもよい。この場合２回目以降では、図７のステップＳｔ１から開始し、初期出しを行なう次のステップＳｔ２を省略してから、ステップＳｔ３からステップＮＳｔ１０までを行なう。

また、１回目は第１の清掃方法を行なってから、清掃吸着材１０２を新しいものに更新し、その後の２回目は第２の清掃方法を行なってもよいし、その逆を行なってもよい。

さらにまた、複数の清掃ユニット１００を備えて、第２の清掃方法を清掃ユニットの個数だけ繰り返してもよいし、第１の清掃方法と第２の清掃方法を交互に繰り返してもよい。

上記のステップＮＳｔ６、ステップＮＳｔ９では、清掃吸着材１０２の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９の一部に対する相対移動方向は、Ｚ方向すなわち上下方向が好ましいが、清掃吸着材１０２をより強く押し付けるようにＹ方向に移動しながら、Ｚ方向に上昇する相対移動であってもよい。すなわちステップＮＳｔ６では、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ｂを清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ｂに押し付けた状態のまま、Ｙ軸リニア駆動装置２０とＺ軸リニア駆動装置１２の両方を同時に駆動し、スリットノズル３０をＹ方向に弾性体１０４Ｂ側に移動させながらＺ方向に上昇させ、一方ステップＮＳｔ１０では、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａを清掃吸着材１０２と弾性体１０４Ａに押し付けた状態のまま、これもまたＹ軸リニア駆動装置２０とＺ軸リニア駆動装置１２の両方を同時に駆動し、スリットノズル３０をＹ方向に弾性体１０４Ａ側に移動させながらＺ方向に上昇させる。以上によって塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂがより強く清掃吸着材１０２に押し付けられてＺ方向に上昇するので、清掃性が向上し、より多くの塗布液を除去できる。またＹ方向移動により、吐出口面４６の全面が清掃吸着材１０２と面接触して摺動が行なわれるので、吐出口面４６での塗布液除去性が向上する。さらにまた、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂがより強く清掃吸着材１０２や弾性体１０４Ａ、Ｂに押し付けられる結果、吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９が、より深く弾性体１０４Ａ、Ｂの方まで食い込んで清掃吸着材１０２との接触面積が拡大する。その結果、清掃吸着材１０２の吐出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、外面４９対する摺動範囲も拡大するので、より多くの付着残存している塗布液を除去することが可能となる。

次に、本発明の清掃装置である清掃ユニット１００を含むストライプ塗布装置１を用いた塗布液７４のガラス基板上へのストライプ状の塗布方法について図１を用いて説明する。まず準備作業である、図１のタンク７２〜ノズル３０まで塗布液７４を充満させて残留空気を排出する作業は既に終了している。この時の塗布液供給装置５０の状態は、シリンジ６２に塗布液７４を充填、吸引バルブ５４は閉、供給バルブ５２は開、そしてピストン６４は最下端の位置にあり、いつでも塗布液７４をノズル３０に供給できるようになっている。また吸着盤１４、ノズル３０もそれぞれ初期位置で待機している。すなわち吸着盤１４はＸ方向には原点位置、Ｘ−Ｙ平面内の回転方向（θ方向）には吸着盤１４の長辺部がＸ方向と平行になるように配置されている。ノズル３０はＹ方向には原点位置、Ｚ方向には一番高い位置に配置されている。さらに清掃ユニット１００には、未使用の新しい清掃吸着材１０２が弾性体１０４Ａ、Ｂ上にセットされている。

続いてストライプ塗布装置１の動作開始信号が操作盤８２から制御装置８０に伝えられると、吸着盤１４の表面に図示しないリフトピンが上昇し、図示しない移載装置からガラス基板である基板Ａがリフトピン上部に載置される。そしてリフトピンを下降させて基板Ａを吸着盤１４上に載置し、同時に吸着保持する。続いて上記の第１の清掃方法で、ステップＳｔ１〜Ｓｔ７を実行して、ノズル３０の清掃を完了させる。清掃完了後にＹ軸リニア駆動装置２０を駆動して、ノズル３０をトレイ１３０の直上に移動後に、清掃吸着材１０２を新しいものに交換する。次いで高さセンサー２４によって基板Ａの高さを検知するとともに、ＣＣＤカメラ２２で２ヶ所設けられているアライメントマークを検知して、アライメントマークで定められた塗布方向とＹ方向が一致するように吸着盤１４を回転させる。次いで予め定めた基板Ａの塗布開始位置直上にノズル３０の吐出口４０が位置するように、Ｘ−θ駆動装置１６を駆動して吸着盤１４をＸ方向に移動させるとともに、Ｙ軸リニア装置２０を駆動してノズル３０をＹ方向に移動させる。ノズル３０が基板Ａ上の塗布開始位置直上に来たら停止させるとともに、測定した基板Ａの高さに応じて、基板Ａとノズル３０の吐出口面４６との間のすきまが所定のクリアランスＬＣの値になるように、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動してノズル３０をＺ方向に下降停止させる。基板Ａとノズル３０の間のすきまがクリアランスＬＣで静止している状態で、塗布液供給装置５０のシリンジポンプ６０を駆動してピストン６４を上側に移動させ、一定流量の塗布液７４をノズル３０の吐出口４０から塗布液７４を吐出開始するとともに、Ｙ軸リニア駆動装置２０を駆動して一定速度でノズル３０をＹ方向に移動開始し、基板Ａとノズル３０の突出部４４間に連結ビードＢＰを形成して塗布液７４の基板Ａへの塗布を始めて、ストライプ状塗布膜を形成する。基板Ａの塗布終了位置がノズル３０の吐出口４０の位置にきたらシリンジポンプ６０のピストン６４を停止させて塗布液７４の供給を停止し、続いてＺ軸リニア駆動装置１２を駆動して、ノズル３０を上昇させる。これによって連結ビードＢＰが断ち切られ、ストライプ状の塗布が終了する。塗布終了後もＹ軸リニア駆動装置２０は動きつづけ、終点位置にきたらノズル３０は一旦停止し、今度は初期位置に向かって逆方向にＹ軸リニア駆動装置２０を駆動し、ノズル３０をトレイ１３０の直上位置まで移動させる。続いてＸ−θ駆動装置１６を駆動して吸着盤１４をＸ方向に移動させ、ノズル３０の直下に次の塗布部分が位置するようにする。これと並行して、供給バルブ５２を閉、吸引バルブ５４は開としてから、ピストン６４を一定速度で下降させ、タンク７２の塗布液７４をシリンジ６２に充填する。充填完了後、ピストン６４を停止させ、吸引バルブ５４を閉、供給バルブ５２を開としてから、上記の第１の清掃方法で、ステップＳｔ１〜Ｓｔ７を実行して、ノズル３０の清掃を完了させる。清掃完了後にＹ軸リニア駆動装置２０を駆動して、ノズル３０をトレイ３０の直上に移動後に、清掃吸着材１０２を新しいものに交換する。清掃を完了したノズル３０を基板Ａの塗布開始位置上に移動させてから、同じ動作を繰り返して次のストライプ状塗布膜を形成する。

なお塗布終了後にノズル３０がトレイ１３０直上に移動し、基板Ａでの予定の塗布が完了している場合は、基板Ａの吸着を解除し、リフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。この時図示されない移載装置によって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。これと並行して、供給バルブ５２を閉、吸引バルブ５４は開としてから、ピストン６４を一定速度で下降させ、タンク７２の塗布液７４をシリンジ６２に充填する。充填完了後、ピストン６４を停止させ、吸引バルブ５４を閉、供給バルブ５２を開として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作をくりかえす。なおシリンジポンプ６０への塗布液７４の充填については、随時行えばよく、１〜Ｎ（整数）回の塗布ごとに行ってもよいし、１〜Ｎ枚の基板への塗布が完了した時点で行ってもよい。

以下、本発明の効果を実施例を用いて説明する。

実施例１
ストライプ塗布装置１でストライプ状の塗布を行う専用のノズル３０を準備した。このノズルには、幅ＬＥ＝５０μｍで塗布方向長さＬＦ＝１００μｍの矩形状の吐出口４０がピッチＬＲ＝３００μｍで７００個配置されており、吐出口面４６は幅ＬＤ＝７０μｍに塗布方向長さＬＧ＝６００μｍ、突出量ＬＡ＝２００μｍ、φ＝２５度、α＝３０度、であった。このノズルを清掃するのに図４の清掃ユニット１００を使用した。清掃ユニット１００に用いるノズルの清掃部材として、図４で示される清掃吸着材１０２を用いた。この清掃吸着材１０２は、１５０ｍｍ×２５０ｍｍの平面形状で厚さが０．６ｍｍ、目付が１５０ｇ／ｍ^２の編物で、１．４デシテックスのＰＥＴ糸を丸編みにしたものであった。また弾性体１０４Ａ、Ｂには、３００ｍｍ×５０ｍｍ×１５ｍｍの直方体形状で、ゴム硬度が２０°のフッ素ゴム製スポンジを用いた。この弾性体１０４Ａ、Ｂを、Ｘ方向に見て、高さ５０ｍｍで幅が１５ｍｍの長方形が５ｍｍだけ隔てて配置されるように、保持体１０８に取り付けた。そして図４に示す通りに、清掃吸着材１０２を弾性体１０４Ａ、Ｂに、長手方向が２５０ｍｍとなるように取り付けた。この時の弾性体１０４Ａ、Ｂ間の垂れ下がり長さＺ１は１０ｍｍとした。

次に実際に清掃、除去する塗布液として有機ＥＬ用のＲ（赤色）発光材を用いた。このＲ発光材はポリフェニレンビニレン系高分子であり、固形分濃度２％で粘度が３ｍＰａｓであった。そしてノズル３０をストライプ塗布装置１にとりつけ、上記のＲ発光材をタンク７２〜ノズル３０まで充填した。

清掃を開始するために、まず溶剤供給装置１５０の溶剤ノズル１５２から洗浄液であるキシレンを清掃吸着材１０２に向かって５ｍｌ噴射して、清掃吸着材１０２を溶剤で湿潤させた。続いてノズル３０から３ｍｌ吐出して初期出しを完了後、ノズル３０を清掃吸着材１０２の直上位置に移動した。そしてノズル３０を下降させてから、ノズル３０の塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂを、清掃吸着材１０２で弾性体１０４Ａ、Ｂを介して０．１ＭＰａの圧力に挟み込んだ。挟み込んでから３秒後にノズル３０を２ｍｍ／ｓの速度でＺ方向（上下方向）に２０ｍｍ上昇させて清掃を完了した。Ｒ発光材がＵＶ光にて蛍光発色するので、清掃を行ったノズル３０にＵＶ光をあてて観察したが、出口面４６、長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂ、塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂ、外面４９に対して付着して残存しているＲ発光材は全くなかった。清掃吸着材１０２を新しいものに交換後、同じことを１００回繰り返したが、すべての関連する面でＲ発光材は完全に除去されていた。

実施例２
ストライプ塗布装置１を用いて有機ＥＬ基板を製造した。

まず２００×２５０ｍｍで厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板に、厚さ２μｍで幅が２０μｍ、基板短手方向（Ｙ方向）の長さ１５０ｍｍのポリイミド膜が隔壁、すなわちバンクとして基板長手方向（Ｘ方向）にピッチ１００μｍで２１０１本配置されている有機ＥＬのパターン基板を用意した。なおポリイミド膜は基板中央にあり、基板短手方向の両側２５ｍｍ、基板長手方向の両側２０ｍｍがストライプ状のポリイミド膜のない非製品領域であった。さらにバンクとしてのポリイミド膜の間にはＩＴＯ透明電極が陽極としてガラス基板上に０．１μｍ、その上に正孔注入輸送層が０．２μｍ形成されていた。正孔注入輸送層はポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸が混合されたものを主成分とするものであった。

次にバンク間の正孔注入輸送層の上にＲ、Ｇ、Ｂの発光材をストライプ状に塗布すべく、ＲＧＢ発光材を準備した。ＲＧＢ発光材はいずれもポリフェニレンビニレン系高分子であり、Ｒ発光材は固形分濃度１％で粘度が２ｍＰａｓ、Ｇ発光材は固形分濃度０．５％で粘度が１．５ｍＰａｓ、Ｂ発光材は固形分濃度１％で粘度が５ｍＰａｓであった。図１に示すストライプ塗布装置１で、ノズル３０と清掃ユニット１００、溶剤ノズル１５２は溶剤供給装置１５０は、実施例１と全く同じものを使用した。

まずストライプ塗布装置１で、上記のＲ発光材をタンク７２〜ノズル３０まで充填した。上記のポリイミドのストライプ膜が形成された基板を吸着盤１４に吸着後、実施例１と全く同じ手順、条件にて、清掃吸着部材１０２に溶剤であるキシレンを湿潤後、この清掃吸着材１０２でノズル３０を清掃した。

続いて基板上のアライメントマークをＣＣＤカメラ２２で検知して、ノズル３０を基板の塗布開始位置の直上に配置した。なお塗布開始位置は、Ｘ方向には、原点に一番近い基板のバンク間の溝が、ノズル３０の一番原点に近い吐出口と一致する位置、Ｙ方向には原点に一番近い基板端部から２０ｍｍの位置であった。また吐出口が直線状に連なる方向と、ポリイミド膜がストライプとなって伸びる方向が直交するように基板ＡのＸ−Ｙ平面内の回転角度をＸ−θ駆動装置１６により調整をした。高さセンサー２４で測定した基板高さに基づいて、吐出口面４６と基板Ａ間のすきまであるクリアランスがＬＣ＝６０μｍとなるように、ノズル３０を下降させた。そして供給バルブ５２が開、吸引バルブ５４が閉であることを確認してから、供給速度１５μｌ／ｓでシリンジポンプ６０を駆動開始してノズル３０よりＲ発光材を吐出開始するともに、この吐出開始より０．１秒後にＹ軸リニア駆動装置２０を駆動開始して、ノズル３０をＹ方向に４５ｍｍ／ｓで移動を始めて、塗布を開始した。そして基板短手方向の塗布開始位置から１６０ｍｍの位置でシリンジポンプ６０を停止させるとともに、Ｚ軸リニア駆動装置１２を駆動して、ノズル３０を上昇させ、塗布を終了した。これらの動作によって基板端部から２０ｍｍの塗布開始位置から８０μｍ幅でＷｅｔ厚さ６μｍの１６０ｍｍ長のストライプ状塗布膜が７００本形成され、ポリイミド膜のバンク間にすべてＲ発光材が充填され、バンク上に乗り上げる物や、充填されていない部分もなかった。以上のＲ発光材の塗布が完了した基板を取り出し、ホットプレートで１２０℃、１０分の乾燥を行った。乾燥後に膜厚を測定したところ、塗布開始から５ｍｍで６０ｎｍとなっており、塗布開始と終了部から５ｍｍずつ除いた１５０ｍｍの製品範囲で±５％以下の精度で非常に良好であった。ノズル３０の清掃が十分行われていたので、ノズル３０不良起因の塗布欠点もなかった。

引き続いてＧ発光材、Ｂ発光材についても同様のストライプ状塗布を行った。Ｇ発光材についてはＲ発光材のすぐ隣のバンク間に塗布できるように位置決めをし、シリンジポンプ６０の供給速度が３０μｌ／ｓである他は、すべてＲ発光材と同じ条件にて塗布と乾燥を行った。Ｂ発光材についても、Ｒ発光材とＧ発光材の間のバンク間に塗布できるように位置決めをし、すべてＲ発光材と同じ条件に塗布と乾燥を行った。以上の塗布と乾燥を行った結果、Ｒ、Ｇ、Ｂ発光材ともに、基板端部から５ｍｍの塗布開始位置から、６０ｎｍ厚さ、８０μｍ幅で１６０ｍｍ長のストライプ状塗布膜が、それぞれ７００本形成され、すべてのポリイミド膜のバンク間がＲ、Ｇ、Ｂ発光材が規則正しく充填された。なお、厚さむらは、Ｒ、Ｇ、Ｂ発光材ともに、塗布両端から５ｍｍ除外した製品領域で、±５％以下で、非常に良好であった。

そして最後に塗布したＲＧＢ発光材とバンクの上を覆うように陰電極を蒸着して有機ＥＬ素子を作成した。この有機ＥＬ素子をさらに後工程で所定の処理をして表示装置に形成したところ、ＲＧＢの色が基板全面にわたって均一で、品質的に申し分ないものであった。

本発明は、有機ＥＬ、カラーフィルタ等の基板上に面にストライプ状の塗布膜を形成する各種ディスプレイ用部材の製造に利用可能である

１ ストライプ塗布装置
１０ ＸＹＺステージ
１２ Ｚ軸リニア駆動装置
１４ 吸着盤
１６ Ｘ−θ駆動装置
１８ ブラケット
２０ Ｙ軸リニア駆動装置
２２ ＣＣＤカメラ
２４ 高さセンサー
２６ ベース
２８ 門型ベース
３０ ノズル
３２ 下部
３４ 本体
３６ 貫通溝
３８ マニホールド
４０ 吐出口
４２ 供給口
４４ 突出部
４６ 吐出口面
４７Ａ、Ｂ 塗布方向傾斜面
４８Ａ、Ｂ 長手方向傾斜面
４９ 外面
５０ 塗布液供給装置
５２ 供給バルブ
５４ 吸引バルブ
５６ フィルター
６０ シリンジポンプ
６２ シリンジ
６４ ピストン
６６ 本体
６８ 供給ホース
７０ 吸引ホース
７２ タンク
７４ 塗布液
７６ 圧空源
８０ 制御装置
８２ 操作盤
１００ 清掃ユニット
１０２ 清掃吸着材
１０４Ａ、Ｂ 弾性体
１０６ 中間ブロック
１０８ 保持体
１０９ 付勢ユニット
１１０Ａ、Ｂ 押圧体
１１２Ａ、Ｂ アーム
１１４Ａ、Ｂ ギアー
１１６ 架台
１１８Ａ、Ｂ 軸
１２０Ａ、Ｂ 内面
１２２Ａ、Ｂ 上面
１２４Ａ、Ｂ 外面
１２６Ａ、Ｂ 下面
１２８Ａ、Ｂ 軸受け箱
１３０ トレイ
１５０ 溶剤供給装置
１５２ 溶剤ノズル
１５４ 保持具
１５６ ブラケット
１５８Ａ、Ｂ 吐出孔
１６０ 流路
Ａ 基板
ＢＰ 連結ビード
Ｃ 吐出口４０のＹ方向中心線
ＬＡ 突出量
ＬＢ 連結ビードＢＰの幅（ストライプ幅）
ＬＣ クリアランス
ＬＤ 吐出口面４６の幅
ＬＥ 吐出口４０の幅
ＬＦ 吐出口４０の塗布方向長さ
ＬＧ 吐出口面４６の塗布方向長さ
ＬＲ ピッチ
Ｓ ノズル３０の長手方向に隣り合う突出部４４の間にある空間
Ｓｔ、ＮＳｔ 清掃方法のステップ
Ｚ１ 垂れ下がり長さ
α 塗布方向傾斜面４７Ａ、Ｂの塗布液７４の吐出方向に対する角度
θ Ｘ−Ｙ平面内の回転方向
φ 長手方向傾斜面４８Ａ、Ｂの塗布液７４の吐出方向に対する角度

Claims (10)

1. 長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃装置であって、ノズルの塗布方向両側に配置されてノズル長手方向に平行に延びる吸着材と、該吸着材を保持する弾性体と、前記突出部を構成する前記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに前記吸着材を前記弾性体を介して押しつける付勢ユニットと、前記吸着材を前記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに押しつけた状態で前記吸着材とノズルを相対移動させる相対移動ユニットと、を少なくとも備えることを特徴とするノズル清掃装置。
2. 前記吸着材は、布である請求項１に記載のノズルの清掃装置
3. 前記弾性体は、気泡を備える多孔質体である請求項１または２に記載のノズルの清掃装置。
4. 前記吸着材にあらかじめ洗浄液を吸収させる洗浄液供給ユニットを、さらに備える請求項１〜３のいずれかに記載のノズルの清掃装置。
5. 長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃方法であって、前記突出部を構成する前記吐出口面と塗布方向斜面のそれぞれに、長手方向に渡って吸着材を面接触させ、さらに弾性体を介して前記吸着材を前記吐出口面と塗布方向斜面に押しつけるとともに、前記吸着材を前記吐出口面と塗布方向斜面に対して相対移動させることで、前記吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去することを特徴とするノズルの清掃方法。
6. 長手方向に配列された複数の吐出口を有し、かつ各々の吐出口を含む吐出口面とその周辺が塗布液吐出方向に突出している突出部を備えているノズルの吐出口面と、該吐出口面の両側に長手方向／塗布方向に隣接する長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去するノズルの清掃方法であって、前記ノズルの吐出口面の塗布方向両側に隣接する塗布方向斜面を、塗布方向の片側ずつ、長手方向に渡って吸着材に押し付けて面接触させてから前記吸着材を前記塗布方向斜面に対して相対移動させること、を行うことで、前記吐出口面と長手方向斜面／塗布方向斜面とに付着して残存している塗布液を除去することを特徴とするノズルの清掃方法。
7. 前記吸着材は、布である請求項５または６に記載のノズルの清掃方法。
8. 前記弾性体は、気泡を備える多孔質体である請求項５〜７のいずれかに記載のノズル清掃方法。
9. 前記吸着材には、清掃開始前にあらかじめ洗浄液を吸収させておく請求項５〜８のいずれかに記載のノズル清掃方法。
10. 請求項５〜９のいずれかに記載のノズル清掃方法で清掃したノズルを用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。

Images