JP5766990B2 - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5766990B2 JP5766990B2 JP2011064325A JP2011064325A JP5766990B2 JP 5766990 B2 JP5766990 B2 JP 5766990B2 JP 2011064325 A JP2011064325 A JP 2011064325A JP 2011064325 A JP2011064325 A JP 2011064325A JP 5766990 B2 JP5766990 B2 JP 5766990B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- stage
- wiping
- support member
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/02—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by spraying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/12—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by mechanical means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
Description
塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記塗布液供給手段に連通され前記塗布液を吐出するためのスリット状の吐出口を有する塗布器と、
前記塗布器と被塗布部材を相対的に移動させる移動手段と、
前記吐出口のスリット方向に沿った拭取り方向に移動し、前記塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら付着物を除去する清掃手段を有する塗布装置において、
前記清掃手段は、
支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、
前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能なθステージと、
前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、
前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成され、
前記θステージを前記台座に垂直な方向に付勢する垂直方向付勢手段が配置されていることを特徴とする。
塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記塗布液供給手段に連通され前記塗布液を吐出するためのスリット状の吐出口を有する塗布器と、
前記塗布器と被塗布部材を相対的に移動させる移動手段と、
前記吐出口のスリット方向に沿った拭取り方向に移動し、前記塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら付着物を除去する清掃手段を有する塗布装置において、
前記清掃手段は、
支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、
前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能なθステージと、
前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、
前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成され、
前記θステージは、上面に垂直な回転軸を有し、
前記θステージの
前記拭取り方向に直角な方向に対する位置調整手段と、
前記拭取り方向に対するあおり角度を調整するあおり角調整手段を有することを特徴とする。
2 基台
4 ガイドレール
6 ステージ
10 支柱
20 スリットノズル(塗布器)
22 フロントリップ
24 リアリップ
26 マニホールド
28 スリット
30 吐出口
32 シム
34A、34B リップ斜面
36 吐出口面
40 塗布液供給装置
42 供給バルブ
44 吸引バルブ
46 フィルター
50 シリンジポンプ
52 シリンジ
54 ピストン
56 本体
60 供給ホース
62 吸引ホース
64 タンク
66 塗布液
68 圧空源
70 上下昇降ユニット
72 モータ
74 ガイド
76 ボールネジ
78 昇降台
80 吊り下げ保持台
90 厚さセンサー
92 支持台
94 制御装置
96 操作盤
100 清掃手段
102 台車
104 ブラケット
106 スライダー
108 駆動ユニット
110 トレイ
112 ホルダー
114 押さえ板
116 ガイド
118 バネ
120 拭取りユニット
122 台座
124 調整部
126 θステージ
130 あおり角調整手段
132 垂直方向付勢手段
136 位置調整手段
140 洗浄ユニット
142 溶剤ノズル
144 配管
150 付着した塗布液
152 流出する塗布液
200 清掃部材
204 V字形状溝
206 溝底
208 ノッチ
250、251、252 清掃ユニット
300 シム
302 隙間
Claims (4)
- 塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記塗布液供給手段に連通され前記塗布液を吐出するためのスリット状の吐出口を有する塗布器と、
前記塗布器と被塗布部材を相対的に移動させる移動手段と、
前記吐出口のスリット方向に沿った拭取り方向に移動し、前記塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら付着物を除去する清掃手段を有する塗布装置において、
前記清掃手段は、
支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、
前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能なθステージと、
前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、
前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成され、
前記θステージを前記台座に垂直な方向に付勢する垂直方向付勢手段が配置されていることを特徴とする塗布装置。 - 塗布液を供給する塗布液供給手段と、
前記塗布液供給手段に連通され前記塗布液を吐出するためのスリット状の吐出口を有する塗布器と、
前記塗布器と被塗布部材を相対的に移動させる移動手段と、
前記吐出口のスリット方向に沿った拭取り方向に移動し、前記塗布器の吐出口周辺部に摺接しながら付着物を除去する清掃手段を有する塗布装置において、
前記清掃手段は、
支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、
前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能なθステージと、
前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、
前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成され、
前記θステージは、上面に垂直な回転軸を有し、
前記θステージの
前記拭取り方向に直角な方向に対する位置調整手段と、
前記拭取り方向に対するあおり角度を調整するあおり角調整手段を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記θステージは、上面に垂直な回転軸を有し、
前記回転軸が、前記拭取り方向の最後尾の前記清掃ユニットの直下に配置される第1の支持部材設定位置と、
前記回転軸が、拭取り方向の最後尾の清掃ユニットと前記最後尾の清掃ユニットの直前の清掃ユニットの間に配置される第2の支持部材設定位置を有することを特徴とする請求項1または2に記載された塗布装置。 - 前記θステージには2つの前記清掃ユニットが前記第1の支持部材設定位置に搭載され、
前記拭取り方向の後方の前記支持部材の高さ調節面と前記θステージの高さ調節面の間に高さ調節部材が挟持され、
前記拭取り方向の前方の前記支持部材よりも前記後方の支持部材の高さが前記θステージの上面から高く支持され、前記拭取り方向の前方の前記支持部材に支持された清掃部材は、前記吐出口に接触しないことを特徴とする請求項3に記載された塗布装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011064325A JP5766990B2 (ja) | 2011-03-23 | 2011-03-23 | 塗布装置 |
TW101101393A TWI550308B (zh) | 2011-03-23 | 2012-01-13 | Coating apparatus and coating method |
KR1020120019744A KR101893806B1 (ko) | 2011-03-23 | 2012-02-27 | 도포 장치와 도포 방법 |
CN201210046849.3A CN102688830B (zh) | 2011-03-23 | 2012-02-28 | 涂布装置和涂布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011064325A JP5766990B2 (ja) | 2011-03-23 | 2011-03-23 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012200614A JP2012200614A (ja) | 2012-10-22 |
JP5766990B2 true JP5766990B2 (ja) | 2015-08-19 |
Family
ID=46854661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011064325A Active JP5766990B2 (ja) | 2011-03-23 | 2011-03-23 | 塗布装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5766990B2 (ja) |
KR (1) | KR101893806B1 (ja) |
CN (1) | CN102688830B (ja) |
TW (1) | TWI550308B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101877515B1 (ko) * | 2016-10-05 | 2018-07-11 | 한국기계연구원 | 슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014176812A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 |
CN103286090B (zh) * | 2013-05-09 | 2016-01-13 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 清洗光阻涂布制程中橡皮擦的装置及光阻涂布机 |
TWM477382U (zh) * | 2013-12-11 | 2014-05-01 | 三緯國際立體列印科技股份有限公司 | 清潔裝置 |
JP6251062B2 (ja) * | 2014-01-30 | 2017-12-20 | タツモ株式会社 | スリットノズル洗浄装置及びワーク用塗布装置 |
JP6426491B2 (ja) * | 2015-02-13 | 2018-11-21 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
JP6697324B2 (ja) * | 2016-05-26 | 2020-05-20 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃装置、塗布装置およびノズル清掃方法 |
JP6824673B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2021-02-03 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置 |
CN206425274U (zh) * | 2017-01-05 | 2017-08-22 | 惠科股份有限公司 | 一种喷嘴的清洁装置 |
JP6337184B2 (ja) * | 2017-06-22 | 2018-06-06 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置、塗布装置、ノズル洗浄方法、および塗布方法 |
CN110124952B (zh) * | 2018-02-02 | 2024-02-13 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 滑台、涂布机及涂胶方法 |
CN108427223B (zh) * | 2018-03-23 | 2020-11-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板和显示面板及其显示方法 |
CN108672214A (zh) * | 2018-07-25 | 2018-10-19 | 朱浩东 | 光学胶涂布设备 |
CN108816660A (zh) * | 2018-08-04 | 2018-11-16 | 伍先春 | 光学胶涂布装置 |
JP7111565B2 (ja) * | 2018-09-06 | 2022-08-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP7094635B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-07-04 | 東レエンジニアリング株式会社 | 清掃装置 |
JP6904583B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2021-07-21 | 株式会社飯沼ゲージ製作所 | スリットコーター |
JP7344533B2 (ja) * | 2019-05-14 | 2023-09-14 | Aiメカテック株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
JP7312204B2 (ja) * | 2021-02-22 | 2023-07-20 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 |
JP7279096B2 (ja) * | 2021-02-26 | 2023-05-22 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および塗布装置 |
CN113070184B (zh) * | 2021-06-07 | 2021-09-07 | 成都拓米电子装备制造有限公司 | 一种狭缝挤出涂布头的清洁装置及清洁方法 |
CN113649225B (zh) * | 2021-09-07 | 2022-10-04 | 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司 | 一种涂布模头及涂布设备 |
CN114394391A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-04-26 | 昆山可腾电子有限公司 | 载具自动过uv光设备 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2982092B2 (ja) | 1991-08-29 | 1999-11-22 | 富士写真フイルム株式会社 | コーターエッジの洗浄方法及び洗浄装置 |
JP3306838B2 (ja) * | 1993-12-14 | 2002-07-24 | 東レ株式会社 | カーテンフローコータの口金の清掃方法およびカラーフィルタ用塗膜の製造方法 |
JPH09187710A (ja) * | 1996-01-09 | 1997-07-22 | Toray Ind Inc | 塗布装置及び塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法 |
JP3757992B2 (ja) * | 1996-01-18 | 2006-03-22 | 東レ株式会社 | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
JPH09189910A (ja) * | 1996-10-28 | 1997-07-22 | Seiko Epson Corp | カラー表示装置 |
JPH10216598A (ja) | 1997-02-04 | 1998-08-18 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 |
JPH11300261A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-02 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイ清掃装置およびこれを用いた塗布方法並びにカラーフィルターの製造装置および製造方法 |
JP2002177848A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-25 | Toray Ind Inc | 塗布用ダイの清掃装置および清掃方法並びにこれを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法 |
JP3966261B2 (ja) * | 2003-09-26 | 2007-08-29 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタ |
JP4489480B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2010-06-23 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル洗浄装置 |
JP5127127B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2013-01-23 | 東京応化工業株式会社 | 塗膜形成方法 |
JP4787040B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2011-10-05 | 株式会社リコー | 塗膜形成装置 |
-
2011
- 2011-03-23 JP JP2011064325A patent/JP5766990B2/ja active Active
-
2012
- 2012-01-13 TW TW101101393A patent/TWI550308B/zh active
- 2012-02-27 KR KR1020120019744A patent/KR101893806B1/ko active IP Right Grant
- 2012-02-28 CN CN201210046849.3A patent/CN102688830B/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101877515B1 (ko) * | 2016-10-05 | 2018-07-11 | 한국기계연구원 | 슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120108933A (ko) | 2012-10-05 |
CN102688830A (zh) | 2012-09-26 |
TW201243402A (en) | 2012-11-01 |
CN102688830B (zh) | 2016-03-09 |
JP2012200614A (ja) | 2012-10-22 |
TWI550308B (zh) | 2016-09-21 |
KR101893806B1 (ko) | 2018-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5766990B2 (ja) | 塗布装置 | |
CN102717598B (zh) | 喷墨喷头涂布控制方法 | |
JP5138058B2 (ja) | 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
TWI442461B (zh) | 處理液排出裝置 | |
JP2013192984A (ja) | スリットノズルの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP3757992B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 | |
CN107433240B (zh) | 喷嘴清扫装置、涂覆装置及喷嘴清扫方法 | |
KR101395232B1 (ko) | 약액 도포 장치 | |
JP5071167B2 (ja) | 清掃部材と塗布器の清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP6151053B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2006167508A (ja) | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 | |
TWI673108B (zh) | 噴嘴清掃構件、噴嘴清掃裝置、塗布裝置 | |
JP4876820B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
CN108855720B (zh) | 喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法 | |
CN108855719B (zh) | 喷嘴清扫装置、涂敷装置和喷嘴清扫方法 | |
JP2004267992A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP7197525B2 (ja) | ノズル清掃装置、塗布装置、ノズル清掃方法、および、スクレーパー | |
KR101387955B1 (ko) | 터치 디스플레이 패널 합착용 접착재 도포 장치 | |
JP2002361149A (ja) | 塗布用ダイの清掃方法および清掃装置並びにカラーフィルターの製造方法および製造装置 | |
JP2013215716A (ja) | ノズルの清掃装置および清掃方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2010175919A (ja) | スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 | |
KR101041454B1 (ko) | 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치 | |
KR20140076288A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2008296113A (ja) | 塗布装置 | |
TW202031365A (zh) | 清掃裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150616 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5766990 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |