KR101041454B1 - 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 세정하기 위한 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치에 관한 것이다. 약액 세정 장치는 기판 표면으로 약액을 토출하는 복수 개의 헤드에 대응하여 구비되는 복수 개의 블래이드들과, 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크 및, 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 포함한다. 블래이드들은 노즐면에 잔존하는 약액을 노즐면과 비접촉 방식으로 제거한다. 또 블래이드들은 노즐면과 일정 각도 경사지게 배치된다. 본 발명에 의하면, 블래이드를 경사지게 배치하고, 퍼지 탱크 내부에 세정액을 공급하는 세정 노즐들을 구비함으로써, 노즐면의 약액 제거시 블래이드와 노즐면과의 접촉 면적을 최대화하여 세정 효율을 향상시킬 수 있으며, 자동으로 퍼지 탱크를 세정할 수 있다.
약액 도포 장치, 약액 세정 장치, 블래이드, 퍼지 탱크, 세정 노즐

Description

약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치{CHEMICAL CLEANING APPARATUS AND CHEMICAL COATING APPARATUS WITH IT}
본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 헤드의 노즐면을 세정하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
액정 표시 패널의 제조하기 위한 종래의 잉크젯 프린팅 방식은 기판의 표면에 레지스트나 배향막 등의 기능성 박막을 형성하는 약액을 도포하는 복수 개의 잉크젯 헤드들을 구비한다. 헤드는 기판 표면에 대향하는 노즐면에 복수 개의 노즈들이 제공된다. 노즐들은 약액을 기판 표면으로 토출하여 약액을 도포한다.
이러한 잉크젯 헤드는 약액이 경화되거나 기포 발생 등으로 노즐이 막히는 현상을 방지하기 위하여 노즐면을 세정해야 한다. 노즐면을 세정하는 기술로는 실리콘 고무 등으로 이루어진 연성 재질의 블래이드를 잉크젯 헤드의 노즐면에 밀어붙이면서 노즐면에 잔존하는 약액을 접촉 방식으로 긁어내는 것 등이 있다.
그러나 블래이드는 노즐면과 상호 평행한 방향으로 배치된다. 이로 인해 블래이드와 노즐면의 약액과의 접촉 면적이 작아서 약액의 제거 효율이 저하된다.
또 블래이드가 잉크젯 헤드의 노즐면을 긁어내는 과정에서 블래이드와의 마찰, 접촉 등에 의해서 블래이드 및 노즐면이 손상되는 경우가 발생된다.
블래이드의 손상은 노즐면에 잔존하는 약액을 완전하게 제거하지 못하게 되어, 노즐면의 끝단에 여전히 약액이 잔존하게 되는 경우가 빈번하다. 또한, 블래이드에 의해 제거된 약액은 블래이드의 끝단에 묻어서 잔류하게 되어 다시 노즐면에 부착되는 경우가 발생될 수 있다. 이러한 이유들로 종래의 기술은 잉크젯 헤드의 세정 효율이 저하되는 문제점이 있다.
또 블래이드로부터 제거된 약액은 블래이드의 하단부에 배치되어 약액 회수 탱크에 수집된다. 이 약액 회수 탱크는 장시간 사용에 따라 바닥면에 점성, 온도 등의 변화로 덩어리지는 현상과, 이로 인해 드레인 배관이 막히는 현상이 발생된다. 따라서 작업자는 약액 회수 탱크 내부의 약액을 직접 닦아내는 등의 유지 보수 작업을 처리해야 한다. 또 약액 회수 탱크에 수용된 약액들의 퓸이 비산되어 주변 설비들을 오염시키는 원인이 된다.
본 발명의 목적은 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 헤드의 노즐면을 세정하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 헤드의 노즐면을 세정하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 헤드의 노즐면 을 세정하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 약액 세정 장치는 블래이드를 경사지게 설치하고, 퍼지 탱크 내부에 세정 노즐을 제공하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 약액 세정 장치는 세정 효율을 향상시키고, 자동으로 퍼지 탱크를 세정할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 약액 세정 장치는, 대상물의 표면으로 약액을 토출하는 복수 개의 헤드에 대응하여 구비되고, 상기 헤드들 각각의 노즐면과 평행하게 제공되며, 상기 헤드들 각각이 상부에서 제 1 방향으로 수평 이동하여 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 상기 노즐면과 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드들과; 상기 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크 및; 상기 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 상기 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 블래이드는 상기 노즐면의 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향과 일정 각도 경사지게 배치된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 퍼지 탱크는 상단부로부터 하단부로 갈수록 단면적이 작은 형태로 구비된다. 여기서 상기 세정 노즐들은 상기 퍼지 탱크 내측의 상기 상단부에 배치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 퍼지 탱크는; 내부에 저장된 약액의 퓸이 비산되는 것을 방지하도록 상기 하단부에 구비된다. 또 상기 퍼지 탱크 내부로 배기 압을 인가하는 배기 포트가 제공된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 퍼지 탱크를 지지하는 메인 프레임과; 상기 메인 프레임 상부에 배치되고, 상기 블래이드들이 상기 헤드들에 대응하여 균등하게 설치되는 상부 프레임을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 퍼지 탱크는; 상기 하단부에 구비되어 약액에 포함된 이물질을 제거하는 필터부재 및; 상기 필터부재로부터 이물질이 제거된 약액을 외부로 배출하는 배출 배관을 더 구비한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 잉크젯 방식의 약액을 도포하는 약액 도포 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 약액 도포 장치는 경사지게 설치되는 복수 개의 블래이드들과 퍼지 탱크 내부에 복수 개의 세정 노즐들을 구비함으로써, 세정 효율 및 퍼지 탱크의 세정이 자동으로 이루어진다.
이 특징의 약액 도포 장치는, 스테이지와; 상기 스테이지 상부에 설치되어 대상물이 안착되는 척과; 약액을 공급받아서 상기 대상물의 상부 표면으로 약액을 토출하는 노즐면을 갖는 복수 개의 헤드들과; 상기 헤드들을 상기 대상물 상부에서 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛 및; 상기 헤드들에 대응하여 상기 헤드들 각각의 상기 노즐면과 일정 간격 이격되게 그리고 평행하게 제공되고, 상기 구동 유닛에 의해 상기 헤드들 각각이 상부에서 제 1 방향으로 수평 이동하여 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 상기 노즐면과 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드들이 제공되는 약액 세정 장치를 포함한다. 여기서 상기 블래이드는 상기 노즐면의 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향과 일정 각도 경사지게 배치된다.
한 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크 및; 상기 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 상기 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 더 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 퍼지 탱크는 상단부로부터 하단부로 갈수록 단면적이 작은 형태로 구비된다. 여기서 상기 세정 노즐들은 상기 퍼지 탱크 내측의 상기 상단부에 배치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 퍼지 탱크는; 내부에 저장된 약액의 퓸이 비산되는 것을 방지하도록 상기 하단부에 구비되어, 상기 퍼지 탱크 내부로 배기압을 인가하는 배기 포트가 제공된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 퍼지 탱크를 지지하는 메인 프레임과; 상기 메인 프레임 상부에 배치되고, 상기 블래이드들이 상기 헤드들에 대응하여 균등하게 설치되는 상부 프레임을 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 블래이드에 의해 약액이 제거된 상기 헤드들과 접촉하여 2 차 세정하는 와이퍼를 더 포함한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 세정 장치는 블래이드를 노즐면과 일정 각도 경사지게 설치함으로써, 노즐면의 약액 제거시 블래이드와 노즐면과의 접촉 면적을 최대화하여 세정 효율을 향상시킨다.
본 발명의 약액 세정 장치는 퍼지 탱크 내부에 세정액을 공급하는 세정 노즐들을 구비함으로써, 자동으로 퍼지 탱크를 세정한다.
또 본 발명의 약액 세정 장치는 퍼지 탱크의 내부 압력을 음압으로 제어하여 퓸이 비산되는 것을 방지한다. 이로 인해 퍼지 탱크 내부에 저장된 약액의 고착 현상, 배관의 막힘 및 퓸에 의한 주변 설비의 오염 등을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 8b을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 약액 도포 장치(100)는 대상물의 상부 표면에 약액을 잉크젯 방식으로 도포하는 설비로, 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 유닛(110)을 포함한다. 대상물은 직사각형의 평판 예를 들어, 액정 표시 패널의 컬러 필터(color filter), 배향막(alignment film) 등을 제작하기 위한 글래스(glass) 기판이나, 회로 패턴에 금속 박막을 형성하기 위한 인쇄회로기판 및, 잉크젯 방식으로 약액을 인쇄하는 플레이트 등을 포함한다. 본 발명의 실시예에서는 대상물로서 컬러 필터를 제작하기 위한 글래스 기판(S)을 이용하여 상세히 설명한다.
약액 도포 장치(100)는 기판 표면을 잉크젯 방식으로 인쇄하는 잉크젯 프린 팅 유닛(110)과, 복수 매의 기판이 적재되는 로더(loader)(102)와, 로더(102)로부터 기판을 인출하여 잉크젯 프린팅 유닛(110)으로 공급하는 인덱스(index)(106)와, 인덱스(106)로부터 약액이 도포된 기판을 받아서 베이킹하는 베이크 유닛(baker, oven)(108) 및, 베이킹된 기판을 적재하는 언로더(unloader)(104)를 포함한다. 인덱스(106)는 로더(102), 잉크젯 프린팅 유닛(110), 베이킹 유닛(108) 및 언로더(104) 상호간에 기판을 이송하는 이송 로봇(미도시됨)이 구비된다. 약액 도포 장치(100)는 잉크젯 프린팅 유닛(110)으로 약액을 공급하는 약액 공급부(105)를 구비한다. 또 약액 도포 장치(100)는 전장 제어부로, 약액 도포 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 메인 제어부(101)를 구비한다.
구체적으로, 도 2 및 도 3은 잉크젯 프린팅 유닛의 구성을 도시한 도면들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 잉크젯 프린팅 유닛(110)은 잉크젯 방식으로 기판(S) 표면에 약액을 도포하는 장치로, 스틸 재질의 베이스(116)와, 베이스(116) 상부에 배치되는 스테이지(112)와, 스테이지(112) 상부에 배치되어 스테이지(112)에 안착된 기판(S) 표면에 약액을 도포하는 복수 개의 잉크젯 헤드(210)들을 구비하는 헤드 어셈블리(200) 및, 헤드 어셈블리(200)를 지지하는 지지대(gantry)(114)를 포함한다. 또 잉크젯 프린팅 유닛(110)은 베이스(116)와 스테이지(112) 사이에 진동을 차단하기 위한 복수 개의 방진부재(113)가 구비된다.
헤드 어셈블리(head assambly)(200)는 멀티 헤드 어레이(Multi Head Array : MHA) 유닛으로 구비된다. 헤드 어셈블리(200)는 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드(210 : 210a ~ 210c)들과, 잉크젯 헤드(210)들이 설치되는 브래킷(202) 및, 브래킷(202)과 결합되어 헤드 어셈블리(200)를 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛(204)을 포함한다.
잉크젯 헤드(210)는 예컨대, 브래킷(202)의 전후면에 복수 개가 2 열로 설치된다. 즉, 잉크젯 헤드(210)들은 브래킷(202)의 Y 축 방향의 전후 양측면에 복수 개가 나란히 배치된다. 잉크젯 헤드(210)들 각각은 약액 공급부(도 1의 105)와 연결되어 약액들을 공급받는다. 잉크젯 헤드(210)들 각각은 동일 또는 서로 상이한 약액들을 공급받을 수 있다.
잉크젯 헤드(210)는 기판(S) 표면으로 약액을 토출하는 장치로, 잉크젯 헤드(210)들 각각은 헤드(도 4의 240)를 구비한다. 헤드(240)는 기판(S) 표면과 대향하는 하부면에 기판(S)으로 약액을 공급하는 복수 개의 노즐(미도시됨)들이 제공되는 노즐면을 갖는다.
잉크젯 헤드(210)들은 대상물이 컬러 필터를 위한 기판(S)인 경우, R 색상, G 색상 및, B 색상의 약액들 중 어느 하나를 각각 공급한다. 이 때, 약액은 R 색상, G 색상 및, B 색상의 잉크들이다. R 색상, G 색상 및, B 색상의 약액들을 각각 공급하는 잉크젯 헤드(210)들은 서로 인접하게 배치된다. 잉크젯 헤드(210)들은 브래킷(202)에 일정 간격을 유지하여 설치된다. 잉크젯 헤드(210)들은 브래킷(202)에서 간격이 조절 가능하도록 구비된다.
구동 유닛(204)은 잉크젯 헤드(210)들이 설치되는 브래킷(202)과 결합되어 헤드 어셈블리(200)를 제 1 방향으로 이동시키는 제 1 가이드 부재(150, 152)들, 헤드 어셈블리(200)를 제 2 방향으로 이동시키는 제 2 가이드 부재(206) 및, 구동부(미도시됨)을 포함한다. 구동 유닛(204)은 지지대(114)를 따라 제 1 방향(즉, Y 축) 또는 제 2 방향(즉, X 축)으로 이동된다. 또 구동 유닛(204)은 헤드 어셈블리(204)를 제 3 방향(즉, Z 축)으로 이동시킨다. 또 구동 유닛(204)은 잉크젯 헤드(210)들 각각의 중심축을 기준으로 회전 이동시킨다.
스테이지(stage)(112)는 석정반으로 구비되고, 상부 일측에 배치되어 기판을 척킹하는 척킹부(120)와, 상부 타측에 배치되어 헤드 어셈블리(200)를 세정하는 세정부(130, 140)를 포함한다. 척킹부(120)는 인덱스(106) 측으로 직선 이동하여 기판(S)을 받고, 기판(S)이 안착되면 척킹하여 인덱스(106) 반대측 즉, 기판(S)에 약액을 도포할 위치로 이동하는 척(124)과, 척(124)을 적어도 하나의 직선 방향으로 이동시키거나 회전시키는 척 구동부(126) 및, 척(124)을 직선 이동하도록 가이드하는 제 3 가이드 부재(122)를 포함한다. 척(124)은 하부가 척 구동부(126)와 결합되어 제 3 가이드 부재(122)를 따라 Y 축 방향으로 직선 이동된다.
또 스테이지(112)에는 지지대(114)의 양단에 대응하여 제 1 가이드 부재(150, 152)들이 설치된다. 제 1 가이드 부재(150, 152)들은 Y 축 방향을 따라 연장되어 스테이지(112)와 동일한 폭을 가진다. 제 1 가이드 부재(150, 152)들은 Y 축 방향을 따라 스테이지(112)의 상부 양단에서 길게 제공되어 지지대(114)를 Y 축 방향으로 직선 이동시킨다.
지지대(114)는 일측면에 구동 유닛(204)과 결합되고 양측 하부에 슬라이더(154)가 결합되어, 헤드 어셈블리(200)를 Y 축 또는 X 축 방향으로 이동시킨다. 이를 위해 지지대(114)는 헤드 어셈블리(200)를 X 축 방향으로 직선 이동되도록 제 2 가이드 부재(206) 및, 구동 유닛(204)이 제 2 가이드 부재(206)를 따라 이동되도록 구동하는 구동 장치(미도시됨)(예를 들어, 모터, 기어, 풀리, 밸트, 볼 스크류, 리니어 모터) 등을 구비한다. 지지대(114)의 상부 일측에는 잉크젯 프린팅 유닛(110)의 동작 예를 들어, 압력 조절, 약액 공급 및 토출 등의 제반 동작을 제어하는 압력 제어부(118)가 설치된다. 지지대(114)는 X 축 방향으로 스테이지(112)와 동일한 폭을 가진다. 즉, 지지대(114)는 하부 양단에 슬라이더(154)와 결합되고, 슬라이더(154)가 제 1 가이드 부재(150, 152)를 따라 Y 축 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 또 지지대(114)는 헤드 어셈블리(200)를 X 축 방향으로 이동할 수 있도록 구동 유닛(204)을 X 축 방향으로 직선 이동시킨다.
이러한 약액 도포 장치(100)는 잉크젯 헤드(210)를 세정하기 위하여, 헤드 어셈블리(200)를 세정부(130 ~ 140)에 대응하는 위치(200a)로 이동시킨다.
즉, 세정부(maintenance zone)(130 ~ 140)는 복수 개의 잉크젯 헤드(210)들을 1 차 세정하기 위한 제 1 세정 유닛(130) 및, 잉크젯 헤드(210)들의 약액이 토출되는 노즐면을 2 차 세정하는 제 2 세정 유닛(140)을 포함한다.
제 1 세정 유닛(130)은 본 발명에 따른 약액 세정 장치로서, 노즐면에 잔존하는 약액을 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드(blade)(138)들과, 블래이드(138)들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크(purge tank)(134)를 포함한다. 또 퍼지 탱크(134)는 노즐들이 약액에 의해 막히는 현상을 방지하기 위해, 잉크젯 헤드(210)를 제 1 세정 유닛(130)의 상부에 위치시키고, 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 가압하여 내부에 잔존하는 약액들을 토출할 때, 토출된 약액들을 수집한다. 블래이드(138)들은 퍼지 탱크(134)의 상부에 설치된다. 블래이드(138)들은 잉크젯 헤드(210)에 대응하여 복수 개가 구비된다. 블래이드(138)는 잉크젯 헤드(210)의 노즐면에 맺혀 있는 약액을 제거하기 위하여, 노즐면과 비접촉 방식으로 약액을 제거한다.
제 2 세정 유닛(140)은 롤(roll) 타입의 와이퍼(wiper)(142)를 이용하여 제 1 세정 유닛(130)에서 약액이 제거된 노즐면을 세정한다. 세정 시, 와이퍼(142)는 노즐면과 접촉된다.
이러한 세정부(130 ~ 140)는 헤드 어셈블리(200)가 구동 유닛(204)에 의해 X 축 방향으로 이동하여 스테이지(112)의 타측으로 이동되면, 먼저 제 1 세정 유닛(130)의 상부에 잉크젯 헤드(210)가 위치되도록 Y 축 방향으로 이동한다. 잉크젯 헤드(210)는 블래이드(138) 상부에서 일정 간격을 유지한 채, 직선 이동함으로써, 블래이드(138)에 의해 노즐면의 약액을 제거한다. 이 때, 노즐면에서 제거된 약액은 퍼지 탱크(134)에 수집된다. 이어서 잉크젯 헤드(210)를 Y 축 방향으로 이동하여 제 2 세정 유닛(140)의 상부로 위치시킨다. 제 2 세정 유닛(140)의 와이퍼(142)를 잉크젯 헤드(210)의 노즐면과 접촉하도록 하고, 와이퍼(142)를 회전시켜서 노즐면을 세정한다.
그리고 압력 제어부(118)는 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 조절하기 위한 압력 제어(Meniscus Pressure Control : MPC) 유닛을 포함한다. 압력 제어부(118)는 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 음압으로 조절하고, 약액 공급 시, 복수 개의 압전 소자(미도시됨)들을 개별적으로 제어하여 각각의 노즐들로부터 약액이 균일하게 토출하도록 제어한다.
구체적으로 도 4는 도 3에 도시된 제 1 세정 유닛의 구성을 도시한 사시도이고, 도 5 내지 도 7은 도 4에 도시된 제 1 세정 유닛의 평면도들이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 제 1 세정 유닛(130)은 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 세정하는 장치로, 복수 개의 블래이드(138)와, 퍼지 탱크(134)와, 복수 개의 세정 노즐(170)들과, 메인 프레임(132) 및, 메인 프레임(132) 상부에 설치되는 상부 프레임(136)을 포함한다.
블래이드(138)는 복수 개의 헤드들에 대응하여 복수 개가 구비된다. 블래이드(138)들은 헤드의 노즐면과 상하 방향으로 평행하게 제공된다. 이 때, 블래이드(138)와 노즐면 사이는 일정 간격(도 8b의 t)을 유지한다. 따라서 블래이드(138)는 노즐면과 비접촉 방식으로 노즐면에 잔존하는 약액을 제거한다. 즉, 헤드들은 각각의 블래이드(138)들의 상부에 위치되도록 Y 축 방향으로 수평 이동하고, 각각의 헤드의 노즐면과 블래이드(138)의 끝단이 일정 간격 이격된 상태에서 X 축 방향으로 이동한다.
또 블래이드(138)들은 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 노즐면(212)의 수평 이동하는 Y 축 방향에 직교하는 X 축 방향과 일정 각도 경사지게 배치된다. 이는 경사지게 배치되는 블래이드(138)가 노즐면(212)과 경사진 각도 만큼 기울어지므로 노즐면(212)에 잔존하는 약액(214)과 블래이드(138)와의 접촉 면적을 증가시킨다. 접촉 면적의 증가는 노즐면(212)에 잔존하는 약액(214)의 제거 효율을 향 상시킬 수 있다. 또 블래이드(138)가 경사지게 배치되므로, 약액 제거 시, 노즐면(212)의 마지막 모서리 부분에서는 약액(214)과의 접촉 면적을 최소화한다. 만약, 블래이드(138)에 의해 약액 제거 후에도 노즐면(212)에 소량의 약액이 잔존하는 경우가 발생되어도, 마지막 부분의 접촉 면적이 노즐면(212)의 모서리 부분에서 최소화되므로, 약액의 잔존량은 매우 적다.
다시 도 4 내지 도 7을 참조하면, 퍼지 탱크(134)는 블래이드(138)들에 의해 노즐면으로부터 제거된 약액을 수집한다. 또 퍼지 탱크(134)는 약액이 경화되어 헤드의 노즐들이 막히는 현상을 방지하기 위하여, 내부를 가압하여 약액을 토출(spitting)시키는데, 노즐들로부터 토출된 약액을 수집한다. 퍼지 탱크(134)는 상단부로부터 하단부로 갈수록 단면적이 작은 형태로 구비된다. 퍼지 탱크(134)는 내부에 저장된 약액의 퓸(fume)이 비산되는 것을 방지하도록 하기 위하여, 하단부에 퍼지 탱크(134) 내부로 배기압을 인가하는 배기 포트(182)가 제공된다. 또 퍼지 탱크(134)는 하단부에 구비되어 약액에 포함된 이물질을 제거하는 필터부재160) 및, 필터부재(160)로부터 이물질이 제거된 약액을 외부로 배출하는 배출 배관(180)을 더 구비한다.
세정 노즐(170)들은 퍼지 탱크(134)의 내측 상단부에 나란하게 배치되고, 세정액 공급 포트(172)를 통해 세정액을 공급받아서 퍼지 탱크(134) 내부를 세정한다. 따라서 퍼지 탱크(134)는 세정 노즐(170)들로부터 세정액이 공급되면 상단부로부터 하단부로 세정액이 흘러내려서 내부 전체를 세정하게 된다.
메인 프레임(132)은 직육면체 형상으로 제공되고, 내부에 퍼지 탱크(134)가 설치 및 지지된다.
그리고 상부 프레임(136)은 메인 프레임(132) 상단부에 결합, 배치된다. 상부 프레임(136)은 복수 개의 블래이드(138)들이 균등하게 간격으로 설치된다. 예를 들어, 헤드가 6 개인 경우, 블래이드(138)들 또한 6 개가 구비된다. 블래이드(138)들 각각은 6 개의 헤드들에 각각에 대향하는 위치에 배치되어 상부 프레임(136) 내부에 설치된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 세정 장치(130 ~ 140)는 블래이드(138)를 노즐면과 일정 각도 경사지게 설치함으로써, 노즐면의 약액 제거시 블래이드(138)와 노즐면과의 접촉 면적을 최대화하여 세정 효율을 향상시킨다. 본 발명의 약액 세정 장치(130 ~ 140)는 퍼지 탱크(134) 내부에 세정액을 공급하는 세정 노즐(170)들을 구비함으로써, 자동으로 퍼지 탱크(134)를 세정한다. 또 본 발명의 약액 세정 장치(130 ~ 140)는 퍼지 탱크(134)의 내부 압력을 음압으로 제어하여 퓸이 비산되는 것을 방지한다. 이로 인해 퍼지 탱크(134) 내부에 저장된 약액의 고착 현상, 배관의 막힘 및 퓸에 의한 주변 설비의 오염 등을 방지할 수 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 유닛의 구성을 도시한 사시도;
도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린팅 유닛의 평면도;
도 4는 도 3에 도시된 제 1 세정 유닛의 구성을 도시한 사시도;
도 5 내지 도 7은 도 4에 도시된 제 1 세정 유닛의 평면도들; 그리고
도 8 a 및 도 8b는 도 4에 도시된 블래이드와 헤드의 노즐면을 도시한 도면들이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 약액 도포 장치 110 : 잉크젯 프린팅 유닛
210 : 잉크젯 헤드 130 : 제 1 세정 유닛
132 : 메인 프레임 134 : 퍼지 탱크
136 : 상부 프레임 138 : 블래이드
140 : 제 2 세정 유닛 160 : 필터부재
170 : 세정 노즐

Claims (13)

  1. 약액 세정 장치에 있어서:
    대상물의 표면으로 약액을 토출하는 노즐면을 가지는 복수 개의 헤드들과;
    각각의 상기 헤드과 일대일 대응되도록 구비되고, 각각의 상기 노즐면과 평행하게 제공되며, 상부에서 각각의 상기 헤드들이 제 1 방향으로 수평 이동 시 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 상기 노즐면과 비접촉방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드들과;
    상기 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크와;
    상기 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 상기 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 포함하는 약액 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 블래이드는 상기 노즐면의 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향과 일정 각도 경사지게 배치되는 것을 특징으로 약액 세정 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 퍼지 탱크는 상단부로부터 하단부로 갈수록 단면적이 작은 형태로 구비되되;
    상기 세정 노즐들은 상기 퍼지 탱크 내측의 상기 상단부에 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 퍼지 탱크는;
    내부에 저장된 약액의 퓸이 비산되는 것을 방지하도록 상기 하단부에 구비되어, 상기 퍼지 탱크 내부로 배기압을 인가하는 배기 포트가 제공되는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 약액 세정 장치는;
    상기 퍼지 탱크를 지지하는 메인 프레임과;
    상기 메인 프레임 상부에 배치되고, 상기 블래이드들이 상기 헤드들에 대응하여 균등하게 설치되는 상부 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 퍼지 탱크는;
    상기 하단부에 구비되어 약액에 포함된 이물질을 제거하는 필터부재 및;
    상기 필터부재로부터 이물질이 제거된 약액을 외부로 배출하는 배출 배관을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  7. 약액 도포 장치에 있어서:
    스테이지와;
    상기 스테이지 상부에 설치되어 대상물이 안착되는 척과;
    저면에 약액을 토출하는 노즐면을 구비하여 상기 대상물의 상부 표면으로 약액을 토출하는 복수 개의 헤드들과;
    상기 헤드들을 상기 대상물 상부에서 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛과;
    각각의 상기 헤드와 일대일 대응되도록 구비되고, 각각의 상기 노즐면과 일정 간격 이격되게 그리고 평행하게 제공되며, 상부에서 각각의 상기 헤드가 상기 구동 유닛에 의해 제 1 방향으로 수평 이동 시 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 상기 노즐면과 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드들이 제공되는 약액 세정 장치를 포함하되;
    상기 블래이드는 상기 노즐면의 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향과 일정 각도 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 약액 세정 장치는;
    상기 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크 및;
    상기 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 상기 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 더 포함하는 것을 특징으로 약액 도포 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 퍼지 탱크는 상단부로부터 하단부로 갈수록 단면적이 작은 형태로 구비되되;
    상기 세정 노즐들은 상기 퍼지 탱크 내측의 상기 상단부에 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 퍼지 탱크는;
    내부에 저장된 약액의 퓸이 비산되는 것을 방지하도록 상기 하단부에 구비되어, 상기 퍼지 탱크 내부로 배기압을 인가하는 배기 포트가 제공되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 세정 장치는;
    상기 퍼지 탱크를 지지하는 메인 프레임과;
    상기 메인 프레임 상부에 배치되고, 상기 블래이드들이 상기 헤드들에 대응하여 균등하게 설치되는 상부 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  12. 제 7 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 약액 세정 장치는;
    상기 블래이드에 의해 약액이 제거된 상기 헤드들과 접촉하여 2 차 세정하는 와이퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  13. 스테이지와;
    상기 스테이지 상부에 설치되어 대상물이 안착되는 척과;
    저면에 약액을 토출하는 노즐면을 구비하여 상기 대상물의 상부 표면으로 약액을 토출하는 복수 개의 헤드들과;
    상기 헤드들을 상기 대상물 상부에서 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛과;
    상기 노즐면에 잔존하는 약액을 비접촉방식으로 제거하는 약액 세정 장치를 포함하되;
    상기 약액 세정 장치는,
    각각의 상기 헤드과 일대일 대응되도록 구비되고, 각각의 상기 노즐면과 평행하게 제공되며, 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 상기 노즐면과 비접촉방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드들과;
    상기 블래이드들에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크와;
    상기 퍼지 탱크 내측에 배치되고, 세정액을 공급받아서 상기 퍼지 탱크 내부를 세정하는 복수 개의 세정 노즐들을 포함하는 약액 도포 장치.
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