JP5167315B2 - 洗浄ユニット、これを有する処理液塗布装置及びこれを利用した洗浄方法 - Google Patents
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Description
第1及び第2ヘッドアセンブリ140a、140bは、処理液供給部200から処理液が供給され、基板支持台120に固定された基板に対して処理液を吐出する。この実施形態において、インクジェットプリント部100は、2つのヘッドアセンブリ140a、140bを具備するが、ヘッドアセンブリ140a、140bの個数は、工程効率及びヘッドアセンブリ140a、140bの大きさによって増加してもよいし、または、減少してもよい。第1及び第2ヘッドアセンブリ140a、140bは、第1方向D1に並列に配置され、互いに離隔されて位置する。この実施形態において、第1及び第2ヘッドアセンブリ140a、140bは、互いに同一の構成を有する。よって、以下、第1ヘッドアセンブリ140aの構成に対して具体的に説明し、第2ヘッドアセンブリ140bに対する具体的な説明は省略する。
第1洗浄ユニット160は、第1及び第2ヘッドアセンブリ140a、140bに残存するインクを掻き取って除去する。第1洗浄ユニット160の構成については、後述の図4乃至図12で具体的に説明する。
160 第1洗浄ユニット
164 ブレード
165 第1固定部
166 第2固定部
168 固定部材
170 第2洗浄ユニット
1000 薄膜形成装置
Claims (16)
- シーツ形状を有し、処理液を吐出するヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去するブレードと、
前記ブレードの一面と向き合うように配置された第1固定部と、前記ブレードを挟んで前記第1固定部と向き合うように設置され、前記第1固定部と結合して前記ブレードを前記第1固定部に固定させる第2固定部とを含む固定部材と、
前記第2固定部に形成されている挿入ホールに挿入されて前記ブレードの一面と接し、前記ブレードを前記第1固定部に密着固定させる少なくとも1つの結合部材と、
を含むことを特徴とする洗浄ユニット。 - 前記結合部材は、前記挿入ホールより大きいサイズを有する支持ヘッドと、該支持ヘッドから延長されて前記挿入ホールに挿入される結合柱を有する胴体と、前記結合柱の内部に挿入され、磁性を有し、一面が前記ブレードの一面と接し、前記第1固定部との間に形成された磁力を利用して前記ブレードを前記第1固定部に密着固定させる磁性部とを含むことを特徴とする請求項1に記載の洗浄ユニット。
- 前記第1固定部は、前記磁性に反応する材質からなることを特徴とする請求項2に記載の洗浄ユニット。
- 前記第1固定部は、前記第2固定部と結合する固定胴体と、該固定胴体に結合され、前記ブレードと向き合い、前記磁性に反応する金属材質からなる金属層とを含むことを特徴とする請求項2に記載の洗浄ユニット。
- 前記結合柱は、ねじ山が形成された外面を有し、
前記挿入ホールを定義する面には、前記結合柱のねじ山に対応するねじ山が形成されることを特徴とする請求項2に記載の洗浄ユニット。 - 前記ブレードは、少なくとも1つの貫通ホールを提供し、
前記第1固定部と前記第2固定部のうちの少なくともいずれか1つは、結合ホールを提供し、かつ、
前記第1固定部と前記第2固定部のうちの残りの1つは、一面から突き出し、前記貫通ホールと前記結合ホールとを順に貫通し、前記貫通ホールと前記結合ホールに挿入された少なくとも1つのガイド部を含むことを特徴とする請求項1に記載の洗浄ユニット。 - 前記ブレードは、前記貫通ホールを複数提供し、
前記複数の貫通ホールは、垂直方向に互いに離隔されて配置されることを特徴とする請求項6に記載の洗浄ユニット。 - 前記第1固定部が固定設置された上部フレームと、
前記上部フレームの垂直方向の下に設置され、前記ブレードによって除去された処理液を回収するパージタンクと、
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の洗浄ユニット。 - 前記ブレードは、圧縮紙材質からなるベースシーツを含むことを特徴とする請求項1から8までのいずれか1項に記載の洗浄ユニット。
- 前記ブレードは、前記ベースシーツの外面にコーティングされ、合成樹脂材質からなるコーティング層をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の洗浄ユニット。
- 前記合成樹脂材質は、ポリプロピレン、またはポリエチレンであることを特徴とする請求項10に記載の洗浄ユニット。
- 対象物が載置される基板支持部材と、
前記基板支持部材に載置された対象物に処理液を塗布する少なくとも1つのヘッドと、
前記ヘッドの処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する第1洗浄ユニットと、
前記処理液吐出面に残存する処理液を拭き取る第2洗浄ユニットと、を含み、
前記第1洗浄ユニットは、シーツ形状を有し、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取るブレードと、
前記ブレードの一面と向き合うように配置された第1固定部と、前記ブレードを挟んで前記第1固定部と向き合うように設置され、前記第1固定部と結合して前記ブレードを前記第1固定部に固定させる第2固定部とを含む固定部材と、
前記第2固定部に挿入されて前記ブレードの一面と接し、磁性を有し、前記第1固定部との間に形成された磁力を利用して前記ブレードを前記第1固定部に密着固定させる少なくとも1つの結合部材と、を含み、
前記第1固定部は、前記磁性に反応する物質を含み、
前記第2固定部は、前記結合部材と対応するように形成され、前記結合部材が挿入される挿入ホールが形成される、
ことを特徴とする処理液塗布装置。 - 前記ブレードは、圧縮紙材質からなるベースシーツを含むことを特徴とする請求項12に記載の処理液塗布装置。
- 前記ブレードは、前記ベースシーツの外面にコーティングされ、合成樹脂材質からなるコーティング層をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の処理液塗布装置。
- シーツ形状を有するブレードを、位置固定された固定部材の第1固定部に前記ブレードを配置させた状態で、前記固定部材の第2固定部が前記ブレードを挟んで前記第1固定部と脱着可能に結合することで前記第1固定部に固定させる工程と、
前記ブレードの上部に処理液を吐出するヘッドを配置する工程と、
前記ブレードが前記ヘッドの処理液吐出面に対して垂直に配置された状態で、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取って除去する工程と、
前記ブレードには、垂直方向に互いに離隔されて配置される複数の貫通ホールが形成され、前記第1固定部と第2固定部とのうちの少なくともいずれか1つには、結合ホールが形成され、かつ、前記第1固定部と第2固定部のうちの残りの1つには、一面から突き出し、前記貫通ホールと前記結合ホールとを順に貫通して前記貫通ホールと前記結合ホールに挿入され、前記ブレードと前記第1及び第2固定部間の結合位置を調節する少なくとも1つのガイド部が形成されており、
前記ブレードが前記処理液吐出面を洗浄した汚染した部分を切断した後、前記ブレードの再利用のために、前記ガイド部が挿入される前記貫通ホールを変更して、前記処理液吐出面と前記ブレードと間の適正離隔距離を維持させる工程と、
を含むことを特徴とする処理液塗布装置の洗浄方法。 - 前記ブレードは、前記処理液吐出面に残存する処理液を掻き取る第1端部が前記ブレードの一面に向けて折られて、前記ブレードの一面に対して傾くように設置されており、
前記処理液除去の際、前記ヘッドは、前記ブレードの上部で水平移動し、
前記第1端部の折れ方向は、前記処理液除去の際、前記ヘッドの移動進行方向と反対方向であることを特徴とする請求項15に記載の処理液塗布装置の洗浄方法。
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