KR20230062262A - 잉크젯 헤드 세정 시스템 및 잉크젯 헤드 세정 방법 - Google Patents

잉크젯 헤드 세정 시스템 및 잉크젯 헤드 세정 방법 Download PDF

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cleaning unit
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전한석
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세메스 주식회사
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Abstract

잉크젯 헤드 세정 시스템 및 잉크젯 헤드 세정 방법이 제공된다. 잉크젯 헤드 세정 시스템은, 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드, 및 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하기 위한 잉크젯 헤드 세정 장치를 포함하되, 상기 잉크젯 헤드 세정 장치는 제1 세정 유닛과 제2 세정 유닛을 포함하고, 상기 제1 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션(suction)하고, 상기 제2 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거할 수 있다.

Description

잉크젯 헤드 세정 시스템 및 잉크젯 헤드 세정 방법{System for cleaning inkjet head and method for cleaning inkjet head}
본 발명은 잉크젯 헤드를 세정하기 위한 잉크젯 헤드 세정 시스템 및 방법에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display) 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해 투명 기판 상에 인쇄 공정(printing process)을 수행하는 경우, 잉크젯 헤드(inkjet head)를 구비하는 인쇄 장비가 사용될 수 있다.
잉크젯 헤드는 기판을 인쇄하기 위해 기판 상에 잉크를 토출할 수 있다. 그런데 잉크의 내부에 포함된 나노 입자는 잉크젯 헤드의 노즐 내에서 잉크가 뭉치는 원인이 될 수 있다. 이러한 잉크의 뭉침 현상으로 인해 노즐이 막힐 수 있으며, 잉크의 미토출 및 오탄착이 유발될 수 있고, 픽셀 인쇄의 불량 원인으로 작용할 수 있다. 따라서 잉크젯 헤드의 노즐을 세정하는 것은 픽셀 프린팅에 있어서 매우 중요한 요인으로 작용할 수 있다.
잉크젯 헤드의 노즐을 세정하는 경우, 종래에는 잉크를 강한 압력으로 토출하여 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하였다. 그러나 이와 같은 방법은 세정 효과가 미비하며, 잉크의 소모량이 많은 문제점이 있다.
또한, 기존의 잉크젯 헤드 세정의 경우, 석션 유닛(Suction Unit)과 블로터 유닛(Blotter Unit)이 개별적으로 존재하여, 잉크젯 헤드 세정을 위한 처리 시간이 긴 문제점이 존재하였다. 또한, 각각의 유닛으로의 이동 중, 잉크젯 헤드 노즐면에 맺힌 잉크의 낙하로 설비가 오염되어 문제를 유발할 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 세정 유닛의 통합을 통해 설비 레이아웃을 축소시키고, 택 타임(tact time)을 최소화하며, 설비 오염을 방지할 수 있는 잉크젯 헤드 세정 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는, 세정 유닛의 통합을 통해 설비 레이아웃을 축소시키고, 택 타임을 최소화하며, 설비 오염을 방지할 수 있는 잉크젯 헤드 세정 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 세정 시스템의 일 면(aspect)은, 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드, 및 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하기 위한 잉크젯 헤드 세정 장치를 포함하되, 상기 잉크젯 헤드 세정 장치는 제1 세정 유닛과 제2 세정 유닛을 포함하고, 상기 제1 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션(suction)하고, 상기 제2 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 제1 세정 유닛과 상기 제2 세정 유닛은 인접하여 배치될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 세정툴은 상기 제2 세정 유닛의 상면에 부착될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 세정툴은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 물리적으로 제거하기 위한 와이퍼를 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 잉크젯 헤드는 제1 방향으로 이동하고, 상기 제1 세정 유닛과 상기 제2 세정 유닛은 상기 제1 방향으로 순차적으로 배치되고, 상기 제1 세정 유닛의 잉크 석션에 의한 세정과, 상기 제2 세정 유닛에 의한 세정툴에 의한 세정은 연속적으로 진행될 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 세정 방법의 일 면은, 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드를 제공하고, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것을 포함하되, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것은, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션(suction)하고, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거하는 것을 포함할 수 있다.
몇몇 실시에에서, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 단계와 상기 잉크젯 헤드를 세정툴로 제거하는 단계는 서로 다른 제1 세정 유닛 및 제2 세정 유닛에서 각각 수행되는 것을 포함하되, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛은 서로 인접하여 배치될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 세정툴은 상기 제2 세정 유닛의 상면에 부착될 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 세정툴에 의해 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 제거하는 것은 상기 세정툴에 포함된 와이퍼를 이용하여 상기 잉크젯 헤드를 닦는 것을 포함할 수 있다.
몇몇 실시예에서, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것은, 상기 잉크젯 헤드가 제1 방향으로 이동하는 것에 대응하여, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션하고, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거하는 것이 연속적으로 수행되는 것을 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 2는 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6은 도 3의 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 시스템에 따른 잉크젯 헤드 세정 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이고, 도 2는 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 인쇄 장비(100)는 베이스(110), 기판 지지 유닛(120), 갠트리 유닛(130), 갠트리 이동 유닛(140), 잉크젯 헤드(150), 헤드 이동 유닛(160), 액적 토출량 측정 유닛(170) 및 노즐 검사 유닛(180)을 포함하여 구성될 수 있다.
베이스(110)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(110)의 상면에는 기판 지지 유닛(120)이 배치된다.
기판 지지 유닛(120)은 기판(S)이 놓이는 지지판(121)을 가진다. 지지판(121)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(121)의 하면에는 회전 구동 부재(122)가 연결된다. 회전 구동 부재(122)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(122)는 지지판(121)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(121)을 회전시킨다.
지지판(121)이 회전 구동 부재(122)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(121)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액적이 도포될 기판(S)에 형성된 셀의 장변 방향이 제2 방향(Y)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(122)는 셀의 장변 방향이 제1 방향(X)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(121)과 회전 구동 부재(122)는 직선 구동 부재(123)에 의해 제1 방향(X)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(123)는 슬라이더(124)와 가이드 부재(125)를 포함한다. 회전 구동 부재(122)는 슬라이더(124)의 상면에 설치될 수 있다.
가이드 부재(125)는 베이스(110)의 상면 중심부에 제1 방향(X)으로 길게 연장될 수 있다. 슬라이더(124)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(124)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(125)를 따라 제1 방향(X)으로 직선 이동된다.
갠트리 유닛(130)은 지지판(121)이 이동되는 경로의 상부에 제공될 수 있다. 갠트리 유닛(130)은 베이스(110)의 상면으로부터 상측 방향으로 이격 배치될 수 있으며, 갠트리 유닛(130)은 길이 방향이 제2 방향(Y)을 향하도록 배치될 수 있다.
갠트리 이동 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)을 제1 방향(X)으로 직선 이동시킬 수 있다. 갠트리 이동 유닛(140)은 제1 이동 유닛(141)과 제2 이동 유닛(142)을 포함할 수 있다.
제1 이동 유닛(141)은 갠트리 유닛(130)의 일단에 제공될 수 있고, 제2 이동 유닛(142)은 갠트리 유닛(130)의 타단에 제공될 수 있다. 제1 이동 유닛(141)은 베이스(110)의 일측에 제공된 가이드 레일(221)을 따라 슬라이딩 이동할 수 있고, 제2 이동 유닛(142)은 베이스(110)의 타측에 제공된 가이드 레일(222)을 따라 슬라이딩 이동하며 갠트리 유닛(130)을 제1 방향(X)으로 직선 이동시킬 수 있다.
잉크젯 헤드(150)는 헤드 이동 유닛(160)에 의해 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다. 잉크젯 헤드(150)는 헤드 이동 유닛(160)에 의해 갠트리 유닛(130)의 길이 방향, 즉 제2 방향(Y)으로 직선 이동할 수 있으며, 제3 방향(Z)으로 직선 이동할 수도 있다. 또한 잉크젯 헤드(150)는 헤드 이동 유닛(160)에 대해 제3 방향(Z)에 나란한 축을 중심으로 회전할 수 있다.
잉크젯 헤드(150)는 기판(S)에 액적을 토출할 수 있다. 잉크젯 헤드(150)는 복수 개 제공될 수 있다. 잉크젯 헤드(150)는 예를 들어, 제1 헤드 유닛(151), 제2 헤드 유닛(152), 제3 헤드 유닛(153) 등 세 개 제공될 수 있다. 복수 개의 잉크젯 헤드(150)는 제2 방향(Y)으로 일렬로 나란하게 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다.
잉크젯 헤드(150)는 액적을 토출하는 복수 개의 노즐(미도시) 및 복수 개의 노즐이 형성되어 있는 노즐 플레이트(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 잉크젯 헤드(150)에는 예를 들어, 128개의 노즐 또는 256개의 노즐이 제공될 수 있다.
잉크젯 헤드(150)에는 복수 개의 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 복수 개의 노즐의 액적 토출량은 압전 소자에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드(150)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시예의 경우, 세 개의 잉크젯 헤드 유닛(151, 152, 153)이 제공된 예를 들어 설명하고 있으므로, 헤드 이동 유닛(160) 또한 헤드의 수에 대응하도록 세 개가 제공될 수 있다. 이와 달리 헤드 이동 유닛(160)은 단일 개 제공될 수 있으며, 이 경우 잉크젯 헤드(150)는 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드(150)의 액적 토출량을 측정할 수 있다. 액적 토출량 측정 유닛(170)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120)의 일측에 배치될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드(150)마다 전체 노즐로부터 토출되는 액적량을 측정할 수 있다. 잉크젯 헤드(150)의 액적 토출량 측정을 통해, 잉크젯 헤드(150)의 전체 노즐의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드(150)의 액적 토출량이 기준치를 벗어나면, 잉크젯 헤드(150) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.
잉크젯 헤드(150)는 갠트리 이동 유닛(140)과 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)으로 이동되어 액적 토출량 측정 유닛(170)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드(150)를 제3 방향(Z)으로 이동시켜 잉크젯 헤드(150)와 액적 토출량 측정 유닛(170) 간 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 광학 검사를 통해 잉크젯 헤드(150)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인할 수 있다. 액적 토출량 측정 유닛(170)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(180)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120) 일측에 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드(150)는 갠트리 이동 유닛(140)과 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(180)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드(150)를 제3 방향(Z)으로 이동시켜 잉크젯 헤드(150)와 노즐 검사 유닛(180)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
한편, 인쇄 장비(100)는 액적 공급 장치(210)를 더 포함할 수 있다.
액적 공급 장치(210)는 갠트리 유닛(130)의 상부 및 측부에 설치될 수 있다. 이러한 액적 공급 장치(210)는 액적 공급 모듈(211)과 압력 조절 모듈(212)을 포함할 수 있다.
액적 공급 모듈(211)과 압력 조절 모듈(212)은 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다. 액적 공급 모듈(211)은 액적 공급 장치(210)로부터 액적을 공급받을 수 있고, 액적을 잉크젯 헤드(150)로 공급할 수 있다. 압력 조절 모듈(212)은 액적 공급 모듈(211)에 양압 또는 음압을 제공하여 액적 공급 모듈(211)의 압력을 조절할 수 있다.
도 3은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 잉크젯 헤드 세정 시스템(300)은 잉크젯 헤드(150), 제1 세정 유닛(310), 제2 세정 유닛(320)을 포함할 수 있다.
잉크젯 헤드(150)의 노즐면에 맺힌 잉크는, 잉크젯 헤드(150)가 제1 방향(X)으로 이동하면서, 제1 세정 유닛(310) 및 제2 세정 유닛(320)에 의해 순차적으로 제거될 수 있다.
제1 세정 유닛(310)은 잉크젯 헤드(150)의 노즐면에 맺힌 잉크를 석션하여 1차적으로 잉크를 제거할 수 있다. 구체적으로, 제1 세정 유닛(310)은 진공 상태를 유지하여 잉크젯 헤드(150)에 맺힌 잉크를 빨아들여 제거할 수 있다.
제2 세정 유닛(320)은 세정툴(325)을 포함할 수 있다. 제2 세정 유닛(320)은 세정툴(325)을 이용하여 제1 세정 유닛(310)의 세정이 진행되고 잔존하는 잉크젯 헤드(150) 노즐면에 맺힌 잉크를 제거할 수 있다. 이 때, 세정툴(325)은 잉크젯 헤드(150)의 노즐면에 맺힌 잉크를 제거할 수 있도록 제2 세정 유닛(320)의 상부면에 배치될 수 있다.
구체적으로, 세정툴(325)은 잉크를 물리적으로 제거하기 위한 와이퍼를 포함할 수 있다. 세정툴(325)은 와이퍼를 이용하여 잉크젯 헤드(150)에 잔존하는 잉크를 닦아내어 제거할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 도 3의 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 시스템에 따른 잉크젯 헤드 세정 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 잉크젯 헤드(150)의 노즐면에는 잉크가 맺혀있을 수 있다. 잉크젯 헤드(150)가 제1 방향(X)을 따라 이동하여 제1 처리 유닛에 의해 먼저 세정될 수 있다. 이 때, 제1 처리 유닛에 의해 석션되어, 잉크젯 헤드(150)의 노즐면에 존재하는 큰 볼륨(Volume)의 잉크들이 일차적으로 제거될 수 있다.
이후, 잉크젯 헤드(150)가 제1 방향(X)을 따라 더욱 이동하여, 제2 처리 유닛에 의해 세정될 수 있다. 제2 처리 유닛은 세정툴을 이용하여 잉크젯 헤드(150)의 노즐면에 잔존하는 작은 볼륨의 잉크들을 이차적으로 제거할 수 있다.
상기와 같이, 제1 처리 유닛과 제2 처리 유닛을 공통된 공간에 구비함으로써, 세정 설비의 레이아웃을 축소할 수 있다. 또한, 복수의 처리 유닛이 개별적으로 존재하는 것에 비해 잉크젯 헤드의 이동 시간이 단축되므로, 공정 효율이 상승될 수 있다. 또한, 복수의 처리 유닛 사이를 잉크젯 헤드가 이동하면서 잉크의 낙하로 인한 설비의 오염 문제 또한 방지할 수 있다.
도 7은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 잉크젯 헤드의 세정을 위하여 잉크젯 헤드가 제1 방향을 따라 이동할 수 있다(S110).
잉크젯 헤드가 제1 방향을 따라 이동하여 제1 처리 유닛에 의해, 노즐면에 맺힌 잉크들이 일차적으로 제거될 수 있다(S120). 이 때, 제1 처리 유닛은 진공으로 석션하여 잉크를 제거할 수 있음은 상술한 바와 같다.
다음으로, 잉크젯 헤드가 제1 방향으로 더욱 이동하면 제2 처리 유닛에 의해 노즐면에 맺힌 잉크들이 이차적으로 제거될 수 있다(S130). 이 때, 제2 처리 유닛은 상부면에 배치된 세정툴을 이용하여 물리적으로 잉크를 제거할 수 있음은 상술한 바와 같다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
잉크젯 헤드 : 150
잉크젯 헤드 세정 시스템 : 300
제1 세정 유닛 : 310
제2 세정 유닛 : 320
세정툴 : 325
제1 방향 : X
제2 방향 : Y
제3 방향 : Z

Claims (10)

  1. 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드; 및
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하기 위한 잉크젯 헤드 세정 장치를 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드 세정 장치는 제1 세정 유닛과 제2 세정 유닛을 포함하고,
    상기 제1 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션(suction)하고,
    상기 제2 세정 유닛은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거하는 잉크젯 헤드 세정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 세정 유닛과 상기 제2 세정 유닛은 인접하여 배치되는 잉크젯 헤드 세정 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 세정툴은 상기 제2 세정 유닛의 상면에 부착된 잉크젯 헤드 세정 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 세정툴은 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 물리적으로 제거하기 위한 와이퍼를 포함하는 잉크젯 헤드 세정 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 제1 방향으로 이동하고,
    상기 제1 세정 유닛과 상기 제2 세정 유닛은 상기 제1 방향으로 순차적으로 배치되고,
    상기 제1 세정 유닛의 잉크 석션에 의한 세정과, 상기 제2 세정 유닛에 의한 세정툴에 의한 세정은 연속적으로 진행되는 잉크젯 헤드 세정 시스템.
  6. 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드를 제공하고,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것을 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것은,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션(suction)하고,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거하는 것을 포함하는 잉크젯 헤드 세정 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 단계와 상기 잉크젯 헤드를 세정툴로 제거하는 단계는 서로 다른 제1 세정 유닛 및 제2 세정 유닛에서 각각 수행되는 것을 포함하되,
    상기 제1 세정 유닛 및 상기 제2 세정 유닛은 서로 인접하여 배치되는 잉크젯 헤드 세정 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 세정툴은 상기 제2 세정 유닛의 상면에 부착된 잉크젯 헤드 세정 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 세정툴에 의해 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 제거하는 것은 상기 세정툴에 포함된 와이퍼를 이용하여 상기 잉크젯 헤드를 닦는 것을 포함하는 잉크젯 헤드 세정 방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정하는 것은,
    상기 잉크젯 헤드가 제1 방향으로 이동하는 것에 대응하여, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 석션하고, 상기 잉크젯 헤드에 맺힌 잉크를 세정툴로 제거하는 것이 연속적으로 수행되는 것을 포함하는 잉크젯 헤드 세정 방법.
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