KR101035986B1 - 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 세정하기 위한 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치에 관한 것이다. 약액 세정 장치는 블래이드 구조체를 포함한다. 블래이드 구조체는 제 1 플레이트와 블래이드 부재 및, 제 2 플레이트를 포함한다. 블래이드 부재는 제 1 및 상기 제 2 플레이트 사이에 배치되고, 상부에 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이딩 부를 구비한다. 제 2 플레이트는 블래이드 부재와 결합되는 상단에 개구부가 형성되어 노즐면에서 제거된 약액이 유입된다. 개구부는 내측에 형성된 관로와 연통되고 관로에 일정 크기의 압력을 인가하며, 약액 성분 및 기체 성분을 분리 배출한다. 본 발명에 의하면, 헤드의 노즐면에서 제거되는 약액이 신속하게 개구부로 유입되도록 하기 위해, 진공 흡입하여 관로에 적정 크기의 압력을 인가하여 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
약액 도포 장치, 약액 세정 장치, 노즐면, 블래이드, 흡입, 시트 블래이드

Description

약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치{CHEMICAL CLEANING APPARATUS AND CHEMICAL COATING APPARATUS WITH IT}
본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하기 위한 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치는 예를 들어, 액정 층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 풀 컬러를 표시한다. 그리고 컬러 필터는 예를 들어, 글래스 기판의 표면에 R(적색), G(녹색), B(청색)의 도트상의 각 색상의 필터 요소를 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등으로 배열함에 의해서 형성된다.
액정 표시 장치의 제조 공정에서는, 컬러 필터, 배향막 등을 제조하기 위하여, 글래스 기판의 표면에 약액을 공급, 도포한다. 이러한 약액을 도포하는 약액 도포 장치로는 약액을 기판의 표면에 토출하여 도포하는 잉크젯 방식의 약액 도포 장치가 있다. 이 약액 도포 장치는 복수 개의 잉크젯 헤드들을 이용하여 잉크젯 인쇄 방식으로 약액을 도포한다. 잉크젯 헤드는 기판에 대해 여러 방향으로 이동하여 약액을 공급하는 복수 개의 노즐들을 구비하는 헤드를 포함한다. 헤드는 약액을 공급받아서 기판 표면으로 약액을 토출하는 복수 개의 노즐들이 제공되는 노즐면을 갖는다.
잉크젯 헤드는 약액 토출 중 또는 대기 중에 노즐면에 잔존하는 약액이 경화되어 노즐들이 막히는 현상이 빈번하다. 이를 해결하기 위하여, 약액 도포 장치에는 노즐면을 세정하는 세정 장치들이 구비된다. 예를 들어, 세정 장치는 노즐면에 잔존하는 약액을 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드(blade)들과, 블래이드들에 의해 제거되거나 노즐들로부터 토출된 약액을 수집하는 퍼지 탱크(purge tank) 및, 노즐면과 직접 접촉하여 세정하는 와이퍼 등이 있다.
그러나 블래이드는 헤드를 보호하기 위하여, 연질 소재로 구비되므로, 끝단즉, 블래이드의 날을 경사지게 가공하는 것은 매우 어렵다. 이로 인해 장시간 사용시, 블래이드의 날에는 약액이 잔류하게 되고, 잔류된 약액 및 약액의 퓸이 다시 노즐면을 오염시키는 현상이 발생된다.
따라서 블래이드의 세정 효율을 향상시키기 위해서는 적절한 소재의 선정이 필요하다. 또 블래이드와 헤드의 노즐면은 비접촉 방식으로 약액을 제거하기 때문에 블래이드와 노즐면의 간격을 정밀하게 설정하여야 하는 어려움이 따른다. 그 결과, 블래이드와 노즐면의 간격에 따라 블래이드의 성능 편차가 매우 심하다.
본 발명의 목적은 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 세정 효율을 향상시키기 위한 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 블래이드 구조체를 이용하여 노즐면을 세정하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 제작 및 설정이 용이한 블래이드 구조체를 구비하는 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 약액 세정 장치는 헤드의 노즐면에서 제거된 약액을 흡입 방식으로 제거하는 블래이드 구조체를 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 약액 세정 장치는 진공 압력을 조절하여 신속하고 용이하게 약액을 제거할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 약액 세정 장치는, 일면에 배치되고 중앙부가 돌출되어 단차진 플레이트 형상을 갖는 제 1 플레이트와; 타면에 배치되는 제 2 플레이트 및; 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트 사이에 배치되고, 상부에 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이딩(blading) 부와, 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트와 결합되고, 결합된 가장자리 부위를 밀폐시키는 실링(sealing) 부 및, 상기 제 1 플레이트의 상기 중앙부와 결합되는 결합부가 구비되는 블래이드 부재를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 제 2 플레이트는; 상기 블래이드 부재와 결합되는 상단에 형성되고, 상기 블래이딩 부에 의해 상기 노즐면에서 제거된 약액이 유입되 는 개구부와; 상기 블래이드 부재와 결합되는 내측에 형성되고, 상기 개구부와 연통되는 관로와; 상기 내측에 형성되어 상기 블래이드 부재와 접촉하여, 상기 관로의 길이를 연장시키는 복수 개의 격리벽과; 상기 내측 하단부의 일측에 구비되고, 상기 관로와 연통되어 약액 성분을 배출하는 약액 배출구 및; 상기 내측 하단부의 타측에 구비되고, 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하며, 상기 관로와 연통되어 기체 성분을 배출하는 진공 흡입구를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 관로는 상기 격리벽들에 의해 지그재그 형상으로 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 진공 흡입구는; 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하여 상기 개구부로부터 유입되는 약액 성분 및 기체 성분이 상기 제 2 플레이트의 하단부 방향으로 흐르도록 한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 격리벽들은; 상기 압력에 의해 약액 성분 및 기체 성분이 각각 분리되어 상기 약액 배출구 및 상기 진공 흡입구로 각각 배출되도록 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 격리벽들 사이에 상기 관로의 약액 성분과 기체 성분을 분리하는 필터가 설치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 블래이딩 부는 상기 실링부의 상단에 결합되는 시트 타입의 형태로 구비된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 블래이드 구조체를 이용하여 헤드의 노즐면을 세정하는 약액 도포 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 약액 도포 장치는 블래이드 구조체의 제작 및 설정이 용이하고, 세정 효율이 향상될 수 있다.
이 특징의 약액 도포 장치는, 약액을 공급받아서 대상물의 상부 표면으로 약액을 토출하는 노즐면을 갖는 복수 개의 잉크젯 헤드들과; 상기 잉크젯 헤드들을 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛 및; 상기 잉크젯 헤드들에 대응하여 복수 개가 구비되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각의 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이드 구조체를 포함한다. 여기서 상기 블래이드 구조체는; 일면에 배치되고 중앙부가 돌출되어 단차진 플레이트 형상을 갖는 제 1 플레이트와; 타면에 배치되는 제 2 플레이트 및; 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트 사이에 배치되고, 상부에 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이딩(blading) 부와, 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트와 결합되고, 결합된 가장자리 부위를 밀폐시키는 실링(sealing) 부 및, 상기 제 1 플레이트의 상기 중앙부와 결합되는 결합부가 구비되는 블래이드 부재를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 제 2 플레이트는; 상기 블래이드 부재와 결합되는 상단에 형성되고, 상기 블래이딩 부에 의해 상기 노즐면에서 제거된 약액이 유입되는 개구부와; 상기 블래이드 부재와 결합되는 내측에 형성되고, 상기 개구부와 연통되는 관로와; 상기 내측에 형성되어 상기 블래이드 부재와 접촉하여, 상기 관로의 길이를 연장시키는 복수 개의 격리벽과; 상기 내측 하단부의 일측에 구비되고, 상기 관로와 연통되어 약액 성분을 배출하는 약액 배출구 및; 상기 내측 하단부의 타측에 구비되고, 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하며, 상기 관로와 연통되어 기체 성분을 배출하는 진공 흡입구를 포함한다.
다른 실시예에 있어서, 상기 진공 흡입구는; 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하여 상기 개구부로부터 유입되는 약액 성분 및 기체 성분이 상기 제 2 플레이트의 하단부 방향으로 흐르도록 한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 격리벽들은; 상기 압력에 의해 약액 성분 및 기체 성분이 각각 분리되어 상기 약액 배출구 및 상기 진공 흡입구로 각각 배출되도록 구비된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 세정 장치는; 상기 격리벽들 사이에 상기 관로의 약액 성분과 기체 성분을 분리하는 필터가 설치된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 약액 도포 장치는; 상기 블래이드 구조체들의 하단부에 배치되어 상기 잉크젯 헤드들의 상기 노즐면으로부터 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크를 더 포함한다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 블래이딩 부는 상기 실링부의 상단에 결합되는 시트 타입의 형태로 구비된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치는 블래이드 구조체를 이용하여 약액을 세정함으로써, 헤드의 노즐면에서 제거되는 약액이 신속하게 개구부로 유입할 수 있으며, 진공 흡입 방식으로 약액을 제거하여 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
또 본 발명의 약액 세정 장치는 블래이드 제작을 위한 소재를 용이하게 선택할 수 있으므로 제작 및 설정이 용이하다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 약액 도포 장치(100)는 대상물(미도시됨)의 상부 표면에 약액을 잉크젯 방식으로 도포하는 설비로, 본 발명에 따른 잉크젯 프린팅 유닛(110)을 포함한다. 대상물은 직사각형의 평판 예를 들어, 액정 표시 패널의 컬러 필터(color filter), 배향막(alignment film) 등을 제작하기 위한 글래스(glass) 기판이나, 회로 패턴에 금속 박막을 형성하기 위한 인쇄회로기판 및, 잉크젯 방식으로 약액을 인쇄하는 플레이트 등을 포함한다. 본 발명의 실시예에서는 대상물로서 컬러 필터를 제작하기 위한 글래스 기판(S)을 이용하여 상세히 설명한다.
약액 도포 장치(100)는 기판 표면을 잉크젯 방식으로 인쇄하는 잉크젯 프린팅 유닛(110)과, 복수 매의 기판이 적재되는 로더(loader)(102)와, 로더(102)로부터 기판을 인출하여 잉크젯 프린팅 유닛(110)으로 공급하는 인덱스(index)(106)와, 인덱스(106)로부터 약액이 도포된 기판을 받아서 베이킹하는 베이크 유닛(baker, oven)(108) 및, 베이킹된 기판을 적재하는 언로더(unloader)(104)를 포함한다. 인덱스(106)는 로더(102), 잉크젯 프린팅 유닛(110), 베이킹 유닛(108) 및 언로더(104) 상호간에 기판을 이송하는 이송 로봇(미도시됨)이 구비된다. 약액 도포 장치(100)는 잉크젯 프린팅 유닛(110)으로 약액을 공급하는 약액 공급부(105)를 구비한다. 또 약액 도포 장치(100)는 전장 제어부로, 약액 도포 장치(100)의 제반 동작을 제어하는 메인 제어부(101)를 구비한다.
구체적으로, 도 2 및 도 3은 잉크젯 프린팅 유닛의 구성을 도시한 도면들이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 잉크젯 프린팅 유닛(110)은 잉크젯 방식으로 기판(S) 표면에 약액을 도포하는 장치로, 스틸 재질의 베이스(116)와, 베이스(116) 상부에 배치되는 스테이지(112)와, 스테이지(112) 상부에 배치되어 스테이지(112)에 안착된 기판(S) 표면에 약액을 도포하는 복수 개의 잉크젯 헤드(210)들을 구비하는 헤드 어셈블리(200) 및, 헤드 어셈블리(200)를 지지하는 지지대(gantry)(114)를 포함한다. 또 잉크젯 프린팅 유닛(110)은 베이스(116)와 스테이지(112) 사이에 진동을 차단하기 위한 복수 개의 방진부재(113)가 구비된다.
헤드 어셈블리(head assambly)(200)는 멀티 헤드 어레이(Multi Head Array : MHA) 유닛으로 구비된다. 헤드 어셈블리(200)는 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드(210 : 210a ~ 210c)들과, 잉크젯 헤드(210)들이 설치되는 브래킷(202) 및, 브래킷(202)과 결합되어 헤드 어셈블리(200)를 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛(204)을 포함한다.
잉크젯 헤드(210)는 예컨대, 브래킷(202)의 전후면에 복수 개가 2 열로 설치된다. 즉, 잉크젯 헤드(210)들은 브래킷(202)의 Y 축 방향의 전후 양측면에 복수 개가 나란히 배치된다. 잉크젯 헤드(210)들 각각은 약액 공급부(도 1의 105)와 연결되어 약액들을 공급받는다. 잉크젯 헤드(210)들 각각은 동일 또는 서로 상이한 약액들을 공급받을 수 있다.
잉크젯 헤드(210)는 기판(S) 표면으로 약액을 토출하는 장치로, 잉크젯 헤드(210)들 각각은 하단부에 헤드가 제공한다. 헤드는 기판(S) 표면과 대향하는 하부면에 기판(S)으로 약액을 공급하는 복수 개의 노즐(미도시됨)들이 제공되는 노즐면을 갖는다. 각각의 노즐들은 개별적으로 기판(S)에 약액을 토출한다.
잉크젯 헤드(210)들은 대상물이 컬러 필터를 위한 기판(S)인 경우, R 색상, G 색상 및, B 색상의 약액들 중 어느 하나를 각각 공급한다. 이 때, 약액은 R 색상, G 색상 및, B 색상의 잉크들이다. R 색상, G 색상 및, B 색상의 약액들을 각각 공급하는 잉크젯 헤드(210)들은 서로 인접하게 배치된다.
구동 유닛(204)은 잉크젯 헤드(210)들이 설치되는 브래킷(202)과 결합되어 헤드 어셈블리(200)를 제 1 방향으로 이동시키는 제 1 가이드 부재(150, 152)들, 헤드 어셈블리(200)를 제 2 방향으로 이동시키는 제 2 가이드 부재(206) 및, 구동부(미도시됨)을 포함한다. 구동 유닛(204)은 지지대(114)를 따라 제 1 방향(즉, Y 축) 또는 제 2 방향(즉, X 축)으로 이동된다. 또 구동 유닛(204)은 헤드 어셈블리(204)를 제 3 방향(즉, Z 축)으로 이동시킨다. 또 구동 유닛(204)은 잉크젯 헤드(210)들 각각의 중심축을 기준으로 회전 이동시킨다.
스테이지(stage)(112)는 석정반으로 구비되고, 상부 일측에 배치되어 기판(S)을 척킹하는 척킹부(120)와, 상부 타측에 배치되어 헤드 어셈블리(200)를 세정하는 세정부(130, 140)를 포함한다. 척킹부(120)는 인덱스(106) 측으로 직선 이동하여 기판(S)을 받고, 기판(S)이 안착되면 척킹하여 인덱스(106) 반대측 즉, 기판(S)에 약액을 도포할 위치로 이동하는 척(124)과, 척(124)을 적어도 하나의 직선 방향으로 이동시키거나 회전시키는 척 구동부(126) 및, 척(124)을 직선 이동하도록 가이드하는 제 3 가이드 부재(122)를 포함한다. 척(124)은 하부가 척 구동부(126)와 결합되어 제 3 가이드 부재(122)를 따라 Y 축 방향으로 직선 이동된다.
또 스테이지(112)에는 지지대(114)의 양단에 대응하여 제 1 가이드 부재(150, 152)들이 설치된다. 제 1 가이드 부재(150, 152)들은 Y 축 방향을 따라 연장되어 스테이지(112)와 동일한 폭을 가진다. 제 1 가이드 부재(150, 152)들은 Y 축 방향을 따라 스테이지(112)의 상부 양단에서 길게 제공되어 지지대(114)를 Y 축 방향으로 직선 이동시킨다.
지지대(114)는 일측면에 구동 유닛(204)과 결합되고 양측 하부에 슬라이더(154)가 결합되어, 헤드 어셈블리(200)를 Y 축 또는 X 축 방향으로 이동시킨다. 이를 위해 지지대(114)는 헤드 어셈블리(200)를 X 축 방향으로 직선 이동되도록 제 2 가이드 부재(206) 및, 구동 유닛(204)이 제 2 가이드 부재(206)를 따라 이동되도록 구동하는 구동 장치(미도시됨)(예를 들어, 모터, 기어, 풀리, 밸트, 볼 스크류, 리니어 모터) 등을 구비한다. 지지대(114)의 상부 일측에는 잉크젯 프린팅 유닛(110)의 동작 예를 들어, 압력 조절, 약액 공급 및 토출 등의 제반 동작을 제어 하는 압력 제어부(118)가 설치된다. 지지대(114)는 X 축 방향으로 스테이지(112)와 동일한 폭을 가진다. 즉, 지지대(114)는 하부 양단에 슬라이더(154)와 결합되고, 슬라이더(154)가 제 1 가이드 부재(150, 152)를 따라 Y 축 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 또 지지대(114)는 헤드 어셈블리(200)를 X 축 방향으로 이동할 수 있도록 구동 유닛(204)을 X 축 방향으로 직선 이동시킨다.
이러한 약액 도포 장치(100)는 잉크젯 헤드(210)를 세정하기 위하여, 헤드 어셈블리(200)를 세정부에 대응하는 위치(200a)로 이동시킨다.
즉, 세정부(maintenance zone)는 약액 세정 장치(130 ~ 140)가 구비된다.
약액 세정 장치(130 ~ 140)는 복수 개의 잉크젯 헤드(210)들을 1 차 세정하기 위한 제 1 세정 유닛(130) 및, 잉크젯 헤드(210)들의 약액이 토출되는 노즐면(242)을 2 차 세정하는 제 2 세정 유닛(140)을 포함한다.
제 1 세정 유닛(130)은 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 비접촉 방식으로 제거하는 복수 개의 블래이드 구조체(blade structure, suction blade)(도 3의 300)들과, 블래이드 구조체(300)들에 각각에 의해 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크(purge tank)(134)를 포함한다. 또 퍼지 탱크(134)는 노즐들이 약액에 의해 막히는 현상을 방지하기 위해, 잉크젯 헤드(210)를 제 1 세정 유닛(130)의 상부에 위치시키고, 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 가압하여 내부에 잔존하는 약액들을 토출(spitting)할 때, 토출된 약액들을 수집한다. 블래이드 구조체(300)들은 퍼지 탱크(134)의 상부에 설치된다. 블래이드 구조체(300)들은 잉크젯 헤드(210)에 대응하여 복수 개가 구비된다. 블래이드 구조체(300)는 잉크젯 헤드(210)의 노즐면에 맺 혀 있는 약액을 제거하기 위하여, 노즐면과 비접촉 방식으로 약액을 제거한다.
제 2 세정 유닛(140)은 롤(roll) 타입의 와이퍼(wiper)(142)를 이용하여 제 1 세정 유닛(130)에서 약액이 제거된 노즐면을 세정한다. 세정 시, 와이퍼(142)는 노즐면과 접촉된다.
이러한 약액 세정 장치(130 ~ 140)는 헤드 어셈블리(200)가 구동 유닛(204)에 의해 X 축 방향으로 이동하여 스테이지(112)의 타측으로 이동되면, 먼저 제 1 세정 유닛(130)의 상부에 잉크젯 헤드(210)가 위치되도록 Y 축 방향으로 이동한다. 잉크젯 헤드(210)는 블래이드 구조체(300) 상부에서 일정 간격을 유지한 채, 직선 이동함으로써, 블래이드 구조체(300)에 의해 노즐면의 약액을 긁어서 제거한다. 이 때, 노즐면에서 제거된 약액은 퍼지 탱크(134)에 수집된다. 이어서 잉크젯 헤드(210)를 Y 축 방향으로 이동하여 제 2 세정 유닛(140)의 상부로 위치시킨다. 제 2 세정 유닛(140)의 와이퍼(142)를 잉크젯 헤드(210)의 노즐면과 접촉하도록 하고, 와이퍼(142)를 회전시켜서 노즐면을 세정한다.
그리고 압력 제어부(118)는 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 조절하기 위한 압력 제어(Meniscus Pressure Control : MPC) 유닛을 포함한다. 압력 제어부(118)는 잉크젯 헤드(210)의 내부 압력을 음압으로 조절하고, 약액 공급 시, 복수 개의 압전 소자(미도시됨)들을 개별적으로 제어하여 각각의 노즐들로부터 약액이 균일하게 토출하도록 제어한다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 세정 장치의 구성을 도시한 도면들이다.
도 4 내지 도 7을 참조하면, 이 실시예의 약액 세정 장치(130 ~ 140)는 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하기 위한 블래이드 구조체(300)와, 블래이드 구조체(300) 내부의 기체를 진공 흡입하는 진공 장치(미도시됨)를 포함한다.
블래이드 구조체(300)는 제 1 플레이트(310)와, 블래이드 부재(320) 및, 제 2 플레이트(330)를 포함한다. 제 1 플레이트(310)는 블래이드 구조체(300)의 일면에 배치되고 제 2 플레이트(330)는 타면에 배치되며, 블래이드 부재(320)는 제 1 및 제 2 플레이트(310, 330) 사이에 배치된다. 이러한 블래이드 구조체(300)는 제 1 플레이트(310), 블래이드 부재(320) 및 제 2 플레이트(330) 순으로 결합된다.
제 1 플레이트(310)는 중앙부(312)가 돌출되어 단차진 플레이트 형상을 갖는다.
블래이드 부재(320)는 상부에 제공되는 블래이딩(blading) 부(322)와, 제 1 및 제 2 플레이트(310, 330)와 결합되고, 결합된 가장자리 부위를 밀폐시키는 실링(sealing) 부(324) 및, 제 1 플레이트(310)의 중앙부(312)와 결합되는 결합부(326)를 포함한다. 블래이드 부재(320)는 연질 소재(예를 들어, 실리콘 재질 등)로 구비되며, 블래이딩 부(322)의 끝단이 가공되지 않는 않은 평면 상태로 제공된다.
그리고 제 2 플레이트(330)는 블래이드 부재(320)와 결합되는 상단에 개구부(336)가 형성된다. 개구부(336)는 블래이딩부(322)에 의해 제거된 약액이 유입된다. 제 2 플레이트(330)는 블래이드 부재(320)와 결합되는 내측에 관로(338)가 제공된다. 관로(338)는 개구부(336)와 연통되고, 내측에 형성된 복수 개의 격리 벽(340, 342)에 의해 그 길이가 연장된 형상(예를 들어, 지그재그 형상)을 갖는다. 관로(338)는 하단에 구비되어 약액을 배출하는 약액 배출구(332a) 및 기체(air)를 배출하는 진공 흡입구(334a)와 연결된다. 약액 배출구(332a)와 진공 흡입구(334a) 각각은 제 2 플레이트(330)의 하부에 제공되는 약액 배출 포트(332)와 진공 흡입 포트(334) 각각에 연결된다.
이러한 블래이드 구조체(300)는 진공 흡입구(334a)에 의해 일정 크기의 압력이 관로(338)에 인가되어 개구부(336)로부터 유입되는 약액 및 기체 성분이 블래이드 구조체(300)의 상단부로부터 하단부로 방향으로 흐르게 된다. 이 때, 격리벽(340, 342)에 의해 흐르는 약액 및 기체 성분이 분리되어 약액 배출구(332a) 및 진공 흡입구(334a)로 배출된다. 따라서 블래이드 구조체(300)는 헤드의 노즐면에서 제거되는 약액이 신속하게 개구부(336)로 유입되도록 하기 위해, 진공 흡입구(334a)의 압력을 적정 크기로 조절 가능하다.
다른 실시예로서, 도 8을 참조하면, 블래이드 구조체(300')는 제 2 플레이트(330')의 관로(338)에 필터(350)가 설치된다. 필터(350)는 예를 들어, 맴브레인 필터로 구비되어, 약액 성분과 기체 성분을 분리하기 위하여 격리벽(340, 342)들 사이의 관로(338) 상에 고정, 설치된다.
그리고 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 블래이드 구조체의 구성을 도시한 도면이다.
도 9를 참조하면, 이 실시예의 블래이드 구조체(300")는 시트 타입의 블래이드(sheet blade)(322')를 갖는다. 즉, 블래이드 부재(320')는 실링부(324') 상단에 시트 블래이드(322')가 결합된다. 시트 블래이드(322')는 헤드의 노즐면으로부터 제거된 약액이 제 2 플레이트(330)의 개구부(326)로 신속히 유입되도록 탄성을 갖는 박막 예를 들어, 필름, 전후면에 코딩막이 형성된 시트 등으로 구비된다. 이 실시예의 블래이드 구조체(300")는 시트 블래이드(322')가 헤드의 노즐면과 접촉하는 경우가 발생되어도 노즐면의 손상이 없으므로 시트 블래이드(322')와 노즐면이 직접 접촉하여 약액을 제거함으로써, 세정 효율이 향상된다.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 세정 장치 및 이를 구비하는 약액 도포 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 약액 도포 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린팅 유닛의 구성을 도시한 사시도;
도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린팅 유닛의 평면도;
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 세정 장치의 구성을 도시한 도면들;
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 세정 장치의 구성을 도시한 도면; 그리고
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 약액 세정 장치의 구성을 도시한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 약액 도포 장치 110 : 잉크젯 프린팅 유닛
210 : 잉크젯 헤드 300 : 블래이드 구조체
310 : 제 1 플레이트 320 : 블래이드 부재
322 : 블래이딩 부 330 : 제 2 플레이트
336 : 개구부 338 : 관로
340, 342 : 격리벽 332a : 약액 배출구
334a : 진공 흡입구

Claims (14)

  1. 약액 세정 장치에 있어서:
    일면에 배치되고 중앙부가 돌출되어 단차진 플레이트 형상을 갖는 제 1 플레이트와;
    타면에 배치되는 제 2 플레이트 및;
    상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트 사이에 배치되고, 상부에 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이딩(blading) 부와, 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트와 결합되고, 결합된 가장자리 부위를 밀폐시키는 실링(sealing) 부 및, 상기 제 1 플레이트의 상기 중앙부와 결합되는 결합부가 구비되는 블래이드 부재를 포함하되;
    상기 제 2 플레이트는,
    상기 블래이드 부재와 결합되는 상단에 형성되고, 상기 블래이딩 부에 의해 상기 노즐면에서 제거된 약액이 유입되는 개구부와;
    상기 블래이드 부재와 결합되는 내측에 형성되고, 상기 개구부와 연통되는 관로와;
    상기 내측 하단부의 일측에 구비되고, 상기 관로와 연통되어 약액 성분을 배출하는 약액 배출구와;
    상기 내측 하단부의 타측에 구비되고, 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하며, 상기 관로와 연통되어 기체 성분을 배출하는 진공 흡입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 플레이트는;
    상기 내측에 형성되어 상기 블래이드 부재와 접촉하여, 상기 관로의 길이를 연장시키는 복수 개의 격리벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 관로는 상기 격리벽들에 의해 지그재그 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 흡입구는;
    상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하여 상기 개구부로부터 유입되는 약액 성분 및 기체 성분이 상기 제 2 플레이트의 하단부 방향으로 흐르도록 하는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 격리벽들은;
    상기 압력에 의해 약액 성분 및 기체 성분이 각각 분리되어 상기 약액 배출구 및 상기 진공 흡입구로 각각 배출되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 세 정 장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 약액 세정 장치는;
    상기 격리벽들 사이에 상기 관로의 약액 성분과 기체 성분을 분리하는 필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 블래이딩 부는 상기 실링부의 상단에 결합되는 시트 타입의 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 세정 장치.
  8. 약액 도포 장치에 있어서:
    약액을 공급받아서 대상물의 상부 표면으로 약액을 토출하는 노즐면을 갖는 복수 개의 잉크젯 헤드들과;
    상기 잉크젯 헤드들을 적어도 하나의 방향으로 이동시키는 구동 유닛 및;
    상기 잉크젯 헤드들에 대응하여 복수 개가 구비되고, 상기 잉크젯 헤드들 각각의 상기 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이드 구조체를 포함하되;
    상기 블래이드 구조체는;
    일면에 배치되고 중앙부가 돌출되어 단차진 플레이트 형상을 갖는 제 1 플레이트와;
    타면에 배치되는 제 2 플레이트 및;
    상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트 사이에 배치되고, 상부에 잉크젯 헤드의 노즐면에 잔존하는 약액을 제거하는 블래이딩(blading) 부와, 상기 제 1 및 상기 제 2 플레이트와 결합되고, 결합된 가장자리 부위를 밀폐시키는 실링(sealing) 부 및, 상기 제 1 플레이트의 상기 중앙부와 결합되는 결합부가 구비되는 블래이드 부재를 포함하되;
    상기 제 2 플레이트는,
    상기 블래이드 부재와 결합되는 상단에 형성되고, 상기 블래이딩 부에 의해 상기 노즐면에서 제거된 약액이 유입되는 개구부와;
    상기 블래이드 부재와 결합되는 내측에 형성되고, 상기 개구부와 연통되는 관로와;
    상기 내측 하단부의 일측에 구비되고, 상기 관로와 연통되어 약액 성분을 배출하는 약액 배출구와;
    상기 내측 하단부의 타측에 구비되고, 상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하며, 상기 관로와 연통되어 기체 성분을 배출하는 진공 흡입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 2 플레이트는;
    상기 내측에 형성되어 상기 블래이드 부재와 접촉하여, 상기 관로의 길이를 연장시키는 복수 개의 격리벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 진공 흡입구는;
    상기 관로에 일정 크기의 압력을 인가하여 상기 개구부로부터 유입되는 약액 성분 및 기체 성분이 상기 제 2 플레이트의 하단부 방향으로 흐르도록 하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 격리벽들은;
    상기 압력에 의해 약액 성분 및 기체 성분이 각각 분리되어 상기 약액 배출구 및 상기 진공 흡입구로 각각 배출되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 약액 도포 장치는;
    상기 격리벽들 사이에 상기 관로의 약액 성분과 기체 성분을 분리하는 필터가 설치되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 약액 도포 장치는;
    상기 블래이드 구조체들의 하단부에 배치되어 상기 잉크젯 헤드들의 상기 노즐면으로부터 제거된 약액을 수집하는 퍼지 탱크를 더 포함하는 것을 특징으로 약액 도포 장치.
  14. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 블래이딩 부는 상기 실링부의 상단에 결합되는 시트 타입의 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
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