JP5423741B2 - 処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法 - Google Patents
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Description
ルの吐出口の高さを調節する第2昇降部材とをさらに含み、前記第1昇降部材と前記第2
昇降部材とが独立的に制御されることを特徴とする。
図5は図3の第2駆動ユニットを示す図面である。図5に示すように、第2駆動ユニット320はジェントリー200の直線移動の時には、ジェントリー200の一端を第1方向Iに直線移動させ、ジェントリー200の回転の時には、ジェントリー200の回転中心となって動作する。
100 基板支持ユニット
200 ジェントリー
300 ジェントリー移動ユニット
400 ヘッド
500 ヘッド移動ユニット
600 液晶供給ユニット
700 ヘッド制御ユニット
800 液晶吐出量測定ユニット
900 ノズル検査ユニット
1000 ヘッド洗浄ユニット
1100 サクションノズル
1200 気体噴射ユニット
1300 支持部材
1210 噴射ノズル
1220 水平駆動部材
1230 昇降部材
1240 圧力調節手段
Claims (14)
- インクジェット方式の処理液吐出装置において、
ベースと、
前記ベースに設置され、基板が置かれる基板支持ユニットと、
前記基板支持ユニットの移動経路の上部に配され、前記基板の上にインクジェット方式に処理液を吐出するヘッドが結合されたジェントリーと、
前記ベースに設置され、前記ヘッドのノズル面を洗浄するヘッド洗浄ユニットと、を含み、
前記ヘッド洗浄ユニットは、
前記ヘッドに向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、
前記サクションノズルの上方に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが複数個設けられる気体噴射ユニットと、を含み、
前記複数個の噴射ノズルの中で前記サクションノズルとの距離が近い噴射ノズルが、前記ヘッドの前記ノズル面に残留する前記処理液に向かって気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出し、その後に、前記複数個の噴射ノズルの中で前記サクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルが、残留する前記処理液に向かって再び気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出し、前記サクションノズルに吸入して洗浄するように制御されることを特徴とする処理液吐出装置。 - 前記噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の処理液吐出装置。
- 前記水平駆動部材が、
前記ベースの上面に結合されたガイド部材と、
前記ガイド部材に沿って直線移動するスライダーと、
前記スライダーを駆動させる水平駆動器と、を含むことを特徴とする請求項2に記載の処理液吐出装置。 - 前記水平駆動部材が各々の前記噴射ノズルに結合されて独立的に駆動することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の処理液吐出装置。
- 前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さが各々異なることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の処理液吐出装置。
- 前記噴射ノズルの吐出口の終端の高さを独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される昇降部材をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1つに記載の処理液吐出装置。
- 前記噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を独立的に調節するために前記噴射ノズルに各々結合される圧力調節手段をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1つに記載の処理液吐出装置。
- 処理液のノズルを洗浄する洗浄ユニットにおいて、
上方に向かうように形成されたサクションホールを有するサクションノズルと、
前記サクションノズルの上方に位置されたヘッドに向かうように形成された吐出口を有する噴射ノズルが複数設けられる気体噴射ユニットと、を含み、
前記噴射ノズルは、
第1噴射ノズルと第2噴射ノズルを具備し、
前記第1噴射ノズルと前記第2噴射ノズルとは前記サクションノズルと一列に配列され、
前記第1噴射ノズルの吐出口の終端の高さと第2噴射ノズルの吐出口の終端の高さとが相違し、
前記第1噴射ノズルと前記第2噴射ノズルの中で前記サクションノズルとの距離が近い噴射ノズルが、前記ヘッドに残留する前記処理液に向かって気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出し、その後に、前記第1噴射ノズルと前記第2噴射ノズルの中で前記サクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルが、残留する前記処理液に向かって再び気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出し、前記サクションノズルに吸入して洗浄するように制御されることを特徴とする洗浄ユニット。 - 前記第1噴射ノズル及び第2噴射ノズルを水平方向に移動させる水平駆動部材をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の洗浄ユニット。
- 前記第1噴射ノズルを水平方向に移動させる第1水平駆動部材と前記第2噴射ノズルを水平方向に移動させる第2水平駆動部材とをさらに含み、前記第1水平駆動部材と前記第2水平駆動部材が独立的に制御されることを特徴とする請求項9に記載の洗浄ユニット。
- 前記第1噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第1昇降部材と前記第2噴射ノズルの吐出口の高さを調節する第2昇降部材をさらに含み、前記第1昇降部材と前記第2昇降部材が独立的に制御されることを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれか1つに記載の洗浄ユニット。
- 前記第1噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第1圧力調節手段と前記第2噴射ノズルの吐出口の噴射圧力を調節する第2圧力調節手段とをさらに含み、第1圧力調節手段と第2圧力調節手段とが独立的に制御されることを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれか1つに記載の洗浄ユニット。
- 処理液吐出装置の洗浄方法において、
複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルが、ノズルに残留する処理液に向かって気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出した後、前記複数個の噴射ノズルの中で前記サクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルが、残留する前記処理液に向かって再び気体を噴射して前記処理液をサクションノズル方向に押し出し、サクションノズルに吸入して洗浄することを特徴とする洗浄方法。 - 前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が近い噴射ノズルの吐出口の高さが前記複数個の噴射ノズルの中でサクションノズルとの距離が遠い噴射ノズルの吐出口の高さより低いことを特徴とする請求項13に記載の洗浄方法。
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