KR101972930B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 기판에 액적(Liquid drop)을 토출하는 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판 처리 공정이 진행되는 베이스, 기판을 지지하는 기판 지지 부재, 상기 기판 지지 부재에 지지된 상기 기판으로 처리액을 분사하는 하나 또는 복수의 노즐을 포함하는 노즐 유닛 및 상기 노즐에서 토출되는 처리액의 토출량을 측정하는 토출량 측정 유닛을 포함하되, 상기 토출량 측정 유닛은 상기 처리액의 토출량이 측정되는 공간을 제공하는 스테이지, 상기 스테이지에 위치하고, 상기 처리액이 토출되는 토출판, 상기 토출판에서 상기 처리액이 토출되는 영역을 촬영하는 촬영 부재 및 상기 촬영 부재로 촬영된 화상으로부터 상기 처리액의 토출량을 산출하는 산출기를 포함하되, 상기 스테이지는 상기 토출판을 제1방향으로 고정하기 위하여 하방으로 오목한 형상으로 제공되는 고정홈과 상기 토출판을 제2방향으로 고정하는 고정 부재를 가지고, 상기 고정홈에 상기 토출판이 위치한다.

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FDR TREATING SUBSTRATES}
본 발명은 기판 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 기판에 액적(Liquid drop)을 토출하는 장치에 관한 것이다.
최근에 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판과 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이의 공간에 액정을 주입하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.
컬러 필터 기판과 어레이 기판 상에 배향액이나 액정을 도포하는 장치로 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용되고 있다.
잉크젯 방식의 도포 장치는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 액정을 액적의 형태로 토출되도록 하는 구조체이다. 잉크젯 방식의 도포 장치는 처리액이 저장되는 처리액 공급 유닛, 처리액 공급 유닛으로부터 처리액을 공급받아 기판 표면에 처리액을 토출하는 헤드 유닛 및 헤드 유닛의 토출량을 측정하는 토출량 측정 유닛을 포함한다.
일반적인 토출량 측정 유닛은 측정되는 처리액이 토출되는 토출판의 위치를 수작업으로 고정하였다. 테이핑을 통해 토출판을 고정하고 처리액이 토출되고 측정이 완료되면 테이핑을 제거하고 토출판을 이동하는데 이러한 과정에서 토출판이 고정되는 위치가 일치되지 않아 정확한 측정에 어려움이 있었다. 또한, 수작업으로 이루어지는 작업으로 인해 작업시간이 증가하고, 이로 인하여 토출된 처리액이 증발됨으로써 정확한 측정이 어려운 문제점이 있다. 또한, 테이핑하여 토출판을 고정하는 것이 토출량 측정 장비를 오염시키는 문제점이 있었다.
본 발명은 기판 처리 장치에서 토출되는 처리액의 토출량을 정확하게 측정할 수 있는 토출량 측정 유닛을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치에서 토출되는 처리액의 토출량을 측정하는 시간을 단축하여 측정의 효율성을 향상시키는 토출량 측정 유닛을 제공하기 위한 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판 처리 공정이 진행되는 베이스, 기판을 지지하는 기판 지지 부재, 상기 기판 지지 부재에 지지된 상기 기판으로 처리액을 분사하는 하나 또는 복수의 노즐을 포함하는 노즐 유닛 및 상기 노즐에서 토출되는 처리액의 토출량을 측정하는 토출량 측정 유닛을 포함하되, 상기 토출량 측정 유닛은 상기 처리액의 토출량이 측정되는 공간을 제공하는 스테이지, 상기 스테이지에 위치하고, 상기 처리액이 토출되는 토출판, 상기 토출판에서 상기 처리액이 토출되는 영역을 촬영하는 촬영 부재 및 상기 촬영 부재로 촬영된 화상으로부터 상기 처리액의 토출량을 산출하는 산출기를 포함하되, 상기 스테이지는 상기 토출판을 제1방향으로 고정하기 위하여 하방으로 오목한 형상으로 제공되는 고정홈과 상기 토출판을 제2방향으로 고정하는 고정 부재를 가지고, 상기 고정홈에 상기 토출판이 위치한다.
상기 고정 부재는 볼 플런져(ball plunger)로 제공될 수 있다.
상기 고정 부재는 상기 고정홈을 정의하는 면 중에서 좌측면과 우측면에 각각 위치할 수 있다.
상기 고정홈은 상기 스테이지의 전면부터 후면까지 연장될 수 있다.
상기 노즐 유닛은 상기 처리액이 토출되는 잉크젯 헤드로 제공될 수 있다.
또한, 본 발명은 토출량 측정 유닛을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 토출량 측정 유닛은 처리액의 토출량이 측정되는 공간을 제공하는 스테이지, 상기 스테이지 상면에 위치하고, 상기 처리액이 토출되는 토출판, 상기 토출판에서 상기 처리액이 토출되는 영역을 촬영하는 촬영 부재 및 상기 촬영 부재로 촬영된 화상으로부터 상기 처리액의 토출량을 산출하는 산출기를 포함하되, 상기 스테이지는 하방으로 오목한 고정홈 및 상기 토출판을 고정하는 고정 부재를 포함하되, 상기 고정홈은 상기 토출판을 제1방향으로 고정하고, 상기 고정 부재는 상기 토출판을 제2방향으로 고정한다.
상기 고정 부재는 볼 플런져(ball plunger)로 제공될 수 있다.
상기 고정 부재는 상기 고정홈을 정의하는 면 중에서 좌측면과 우측면에 각각 위치할 수 있다.
상기 고정홈은 상기 스테이지의 전면부터 후면까지 연장될 수 있다.
상기 노즐 유닛은 상기 처리액이 토출되는 잉크젯 헤드로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 토출량 측정 유닛에서 측정되는 처리액의 토출량을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 토출량 측정 유닛에서 처리액의 토출량을 측정하는 시간을 단축하여 측정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 기판 처리 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 액정 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 2의 토출량 측정 유닛의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 3의 토출량 측정 유닛의 고정 부재의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
도 6 및 도 7은 도 3의 토출량 측정 유닛의 고정 부재의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 8은 도 3의 토출량 측정 유닛의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 9는 도 3의 토출량 측정 유닛의 또 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 기판 처리 장치의 구성을 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(71)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(72)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(72)으로 일렬 배치될 수 있다.
액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 액정 토출부의 사시도이다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 장치의 액정 토출부는 베이스(B), 기판 지지 부재(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 노즐 유닛(400), 노즐 이동 유닛(500), 처리액 공급 유닛(600), 제어 유닛(700), 토출량 측정 유닛(800), 노즐 검사 유닛(900), 그리고 노즐 세정 유닛(1000)을 포함한다.
기판 지지 부재(100)는 베이스(B)의 상면에 배치된다. 베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 기판 지지 부재(100)는 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.
지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(72)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(71)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(71)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(71)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(71)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치된다. 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(72)을 향하도록 배치된다. 노즐 유닛(400)은 노즐 이동 유닛(500)에 의해 갠트리(200)에 결합된다. 노즐 유닛(400)은 노즐 이동 유닛(500)에 의해 갠트리의 길이 방향, 즉 제 2 방향(72)으로 직선 이동하고, 또한 제 3 방향(73)으로 직선 이동될 수 있다.
갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(71)으로 직선 이동시키거나, 갠트리(200)의 길이 방향이 제 1 방향(71)에 경사진 방향을 향하도록 갠트리(200)를 회전시킬 수 있다. 갠트리(200)의 회전에 의해, 노즐 유닛(400) 제 1 방향(71)에 경사진 방향으로 정렬될 수 있다.
노즐 유닛(400)은 기판에 처리액의 액적을 토출한다. 노즐 유닛(400)은 복수 개의 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)와 각 노즐 헤드의 저면에 위치하는 복수개의 노즐 및 노즐 이동 유닛(500)을 포함한다. 본 실시예에서는 3 개의 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)가 제공된 예를 들어 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)는 제 2 방향(72)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다.
노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128 개 또는 256 개의 노즐들(미도시)이 제공될 수 있다. 노즐들(미도시)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(미도시)은 ㎍ 단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.
각각의 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들(미도시)의 액적 토출량 및 토출 시기는 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
노즐 이동 유닛(500)은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시예의 경우, 3 개의 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)가 제공된 예를 들어 설명하므로, 노즐 이동 유닛(500) 또한 헤드의 수에 대응하도록 3 개가 제공될 수 있다. 노즐 이동 유닛(500)은 노즐 유닛(400)을 갠트리의 길이 방향, 즉 제 2 방향(72)으로 직선 이동시키거나, 제 3 방향(73)으로 직선 이동시킬 수 있다. 이와 달리, 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)는 갠트리(200)에 고정 설치되어 노즐 이동 유닛(500)이 제공되지 않을 수도 있다.
처리액 공급 유닛(600)은 노즐 이동 유닛(500) 또는 갠트리(200)에 설치되고, 노즐 유닛(400)에 공급하는 처리액이 저장된다. 처리액 공급 유닛(600)은 제어 유닛(700)의 제어에 따라 처리액을 노즐 유닛(400)으로 공급한다. 처리액 공급 유닛(600)은 노즐 유닛(400)으로 일정한 양의 처리액을 공급하기 위해 내부에 처리액을 일정한 양으로 유지하여 저장한다.
제어 유닛(700)은 노즐 이동 유닛(500)에 설치되어 노즐 유닛(400)으로의 액정 공급, 압력 제어 그리고 토출량 제어 등의 동작을 제어한다.
토출량 측정 유닛(800)은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 액정 토출량을 측정한다. 구체적으로, 토출량 측정 유닛(800)은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)로부터 토출되는 액정의 양을 측정한다. 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 액정 토출량 측정을 통해, 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 노즐들(미도시)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 일 예에 의하면, 하나의 토출판에 모든 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)에서 액정을 토출하여 전체로서 토출량을 측정할 수 있다. 이러한 경우에 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(미도시) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다. 이와 달리, 하나의 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)마다 각각의 토출판에 액정을 토출하고 이를 측정할 수도 있다.
노즐 헤드(400a, 400b, 400c)는 갠트리 이동 유닛(300)과 노즐 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(71)과 제 2 방향(72)으로 이동되어 토출량 측정 유닛(800)의 상부에 위치할 수 있다. 노즐 이동 유닛(500)은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)를 제 3 방향(73)으로 이동시켜 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)와 토출량 측정 유닛(800)과 상하 방향의 거리를 조절할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 토출량 측정 유닛을 상세히 설명한다.
도 3은 도 2의 토출량 측정 유닛의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 토출량 측정 유닛(8100)은 스테이지(8110), 토출판(8120), 촬영 부재(미도시), 산출기(미도시) 및 고정 부재(8130)를 포함한다.
스테이지(8110)는 액정 토출량을 측정하는 공간을 제공한다. 스테이지(8110)는 일정한 두께를 갖는 평면 형상으로 제공될 수 있다. 액정 토출량 측정은 스테이지(8110)의 상면에서 진행된다. 일 예에 의하면, 스테이지(8110) 상면에는 하방으로 오목한 고정홈(8115)과 이동홈(8117)이 제공될 수 있다.
고정홈(8115)은 액정이 토출되는 토출판(8120)을 제2방향(72)으로 고정한다. 고정홈(8115)은 그 저면(8115a)과 저면(8115a)에서 수직 상방으로 연결된 좌, 우 측면(8115b, 8115c)에 의해 정의될 수 있다. 고정홈(8115)의 저면(8115a)은 제2방향(72)의 길이가 토출판(8120)의 제1방향(72)의 길이와 동일하거나 조금 길게 제공된다. 이는 고정홈(8115) 내부로 토출판(8120)이 위치하여 제2방향(72)으로 움직이지 않고 고정되도록 하기 위함이다. 일 예에 의하면, 고정홈(8115)은 스테이지의 전면부터 후면까지 제1방향(71)으로 연장될 수 있다. 이러한 경우 고정홈(8115)에 복수개의 토출판(8120)이 위치할 수 있다. 고정홈(8115)으로 인하여 토출판(8120)은 스테이지(8110)에서 제2방향(72)으로 일정한 위치에 고정될 수 있다. 이로 인하여 측정되는 액정의 토출량을 정확하게 측정할 수 있다.
이동홈(8117)은 스테이지(8110) 상면에서 하방으로 오목한 홈 형상으로 제공된다. 이동홈(8117)은 그 저면(8117a)과 저면(8117a)에서 수직 상방으로 연결된 좌, 우 측면(8117b, 8117c)에 의해 정의될 수 있다. 이동홈(8117)은 토출판(8120) 하부에서 촬영 부재(미도시) 등의 도구들이 이동할 수 있는 통로로서 역할을 할 수 있다.
촬영 부재(미도시)는 토출판(8120)에 토출된 액정을 촬영한다. 일 예에 의하면, 촬영 부재(미도시)는 토출판(8120)에 토출된 액정의 수직 상방에서 액정을 촬영할 수 있다. 이와 달리, 토출판(8120)에 토출된 액정의 상방에서 위치가 이동되어 촬영할 수도 있다. 산출기(미도시)는 촬영 부재에서 촬영된 화상으로부터 토출량을 산출한다. 이를 통하여 토출된 액정이 측정된다.
도시되지 않았지만, 토출판(8120)이 위치하는 스테이지(8110)의 저면에 히터가 제공될 수도 있다. 히터는 토출판(8120)을 가열하여 토출판(8120)에 토출된 액정을 건조시킴으로서 공정 시간을 단축하고, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 3의 토출량 측정 유닛의 고정 부재의 일 실시예를 보여주는 도면이다.
고정 부재(8130)는 토출판(8120)을 제1방향(71)으로 고정한다. 고정 부재(8130)는 지지대(8131), 지지암(8132) 그리고 볼 플런져(8133)(ball plunger)를 포함한다.
지지대(8131)는 이동홈(8117)을 정의하는 면 중 좌측면(8117b)과 우측면(8117c)의 내부에 위치한다. 지지대(8131)는 지지암(8132)과 연결되어, 고정 부재(8130)가 지지되도록 한다.
지지암(8132)은 지지대(8131)와 볼 플런져(8133)를 연결한다. 일 예에 의하면, 지지암(8132)은 ??자 형상으로 제공되어 볼 플런져(8133)를 토출판(8120)의 제1방향(71)의 양측면을 지지할 수 있는 위치에 제공할 수 있다. 일 예에 의하면, 하나의 토출판(8120)에 고정 부재(8130)가 4개 제공될 수 있다. 이러한 경우 고정 부재(8130)는 토출판(8120)의 제1방향(71)의 양측면에 각각 2개씩 제공될 수 있다. 이와 달리, 토출판(8120)의 제1방향(71)의 양측면에 하나의 고정 부재(8130)만이 제공될 수 있다.
볼 플런져(8133)(ball plunger)는 기 설정된 위치에서 토출판(8120)을 제1방향(71)로 고정한다. 볼 플런져(ball plunger)는 토출판(8120)이 이동홈(8117)에 위치하면, 이동홈(8117)을 정의하는 면 중 좌측면(8117b)과 우측면(8117c)과 마주하는 토출판(8120)의 양 측면을 고정할 수 있다. 이로 인하여, 볼 플런져(ball plunger)는 토출판(8120)을 제1방향(71)으로 고정할 수 있다. 이와 달리, 고정 부재(8150)는 진공을 토출판(8120)의 저면에 제공하여 토출판(8120)을 제1방향(71)으로 고정할 수도 있다.
도 6 및 도 7은 도 3의 토출량 측정 유닛의 고정 부재의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
고정부재(8230)는 볼 플런져로 제공되며, 고정홈(8115)을 정의하는 면 중 좌측면(8115b)과 우측면(8115c)에 각각 위치한다. 고정부재(8230)는 토출판(8120)을 제1방향(71)으로 고정한다. 볼 플런져는 스프링을 포함한 부재로 되어 있어, 토출판(8120)이 위치하기 전에는 고정홈(8115)을 정의하는 면 중 좌측면(8115b)과 우측면(8115c)에서 외부로 돌출되어 위치되나, 토출판(8120)이 고정홈(8115)에 위치하는 경우 볼 플런져 내부의 스프링이 압축되면서 토출판(8120)의 양 측면을 파지한다. 이로 인하여 토출판(8120)이 제1방향(71)으로 고정된다.
도 8은 도 3의 토출량 측정 유닛의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
스테이지(8210)에 제공되는 고정홈(8215)은 도 3의 스테이지(8110)와 달리 토출판(8220)이 위치하는 영역에서만 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 고정홈은 토출판(8220)이 위치하는 영역에 제공되는 제1고정홈(8217)과 토출판(8220)이 대기하는 위치에 제공되는 제2 고정홈(8227)을 포함할 수 있다. 이러한 경우는 고정홈(8215)이 토출판(8220)이 위치하는 영역과 동일한 면적을 갖으므로 고정홈(8217)만으로도 토출판(8220)을 제1방향(71) 및 제2방향(72)으로 고정할 수 있다.
도 9는 도 3의 토출량 측정 유닛의 또 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
스테이지(8310)에 제공되는 고정홈(8315)은 도 3의 스테이지(8110)와 달리 토출판(8320)이 위치하는 영역(8317)에서만 제공될 수 있다. 이러한 경우는 고정홈(8315)이 토출판(8320)이 위치하는 영역과 동일한 면적을 갖으므로 고정홈(8317)만으로도 토출판(8320)을 제1방향(71) 및 제2방향(72)으로 고정할 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 노즐 검사 유닛(900)은 광학 검사를 통해 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 토출량 측정 유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(900)은 베이스(B) 상의 기판 지지 부재(100) 일측에 배치될 수 있다. 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)는 갠트리 이동 유닛(300)과 노즐 이동 유닛(500)에 의해 제 1 방향(71)과 제 2 방향(72)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(900)의 상부에 위치할 수 있다. 노즐 이동 유닛(500)은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)를 제 3 방향(73)으로 이동시켜 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)와 노즐 검사 유닛(900)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
노즐 세정 유닛(1000)은 퍼징(Purging) 공정과 흡입(Suction) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정은 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 내부에 수용된 액정의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 흡입(Suction) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 노즐 헤드(400a, 400b, 400c)의 노즐면에 잔류하는 액정을 흡입하여 제거하는 공정이다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 기판 지지 부재 400 : 노즐 유닛
500 : 노즐 이동 유닛 800 : 토출량 측정 유닛
8110 : 스테이지 8113 : 볼 플런져
8120 : 토출판 8130 : 고정 부재

Claims (10)

  1. 기판 처리 공정이 진행되는 베이스;
    기판을 지지하는 기판 지지 부재;
    상기 기판 지지 부재에 지지된 상기 기판으로 처리액을 분사하는 하나 또는 복수의 노즐을 포함하는 노즐 유닛; 및
    상기 노즐에서 토출되는 처리액의 토출량을 측정하는 토출량 측정 유닛;을 포함하되,
    상기 토출량 측정 유닛은
    상기 처리액의 토출량이 측정되는 공간을 제공하는 스테이지;
    상기 스테이지에 위치하고, 상기 처리액이 토출되는 토출판;
    상기 토출판에서 상기 처리액이 토출되는 영역을 촬영하는 촬영 부재; 및
    상기 촬영 부재로 촬영된 화상으로부터 상기 처리액의 토출량을 산출하는 산출기;를 포함하되,
    상기 스테이지는
    하방으로 오목한 형상을 가지고 제1방향으로 연장되어 상기 토출판을 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 고정하는 고정홈;
    상기 토출판을 상기 제1방향으로 고정하는 고정 부재; 및
    상기 고정홈으로부터 하방으로 연장되고, 상기 제1방향으로 연장되는 이동홈을 가지고,
    상기 고정홈에 상기 토출판이 위치하며,
    상기 촬영 부재는 상기 이동홈 내에서 이동되는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 부재는 볼 플런져(ball plunger)로 제공되는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정 부재는 상기 고정홈을 정의하는 면 중에서 좌측면과 우측면에 각각 위치하는 기판 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 고정홈은 상기 스테이지의 전면부터 후면까지 연장되는 기판 처리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노즐 유닛은 상기 처리액이 토출되는 잉크젯 헤드로 제공되는 기판 처리 장치.
  6. 처리액의 토출량이 측정되는 공간을 제공하는 스테이지;
    상기 스테이지 상면에 위치하고, 상기 처리액이 토출되는 토출판;
    상기 토출판에서 상기 처리액이 토출되는 영역을 촬영하는 촬영 부재; 및
    상기 촬영 부재로 촬영된 화상으로부터 상기 처리액의 토출량을 산출하는 산출기;를 포함하되,
    상기 스테이지는
    하방으로 오목하며, 제1방향으로 연장되는 고정홈;
    상기 고정홈에 삽입된 상기 토출판을 상기 제1방향에 대해 고정하는 고정 부재; 및
    상기 고정홈으로부터 하방으로 연장되고, 상기 제1방향으로 연장되는 이동홈을 포함하되,
    상기 고정홈은 상기 토출판을 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 고정하고,
    상기 촬영 부재는 상기 이동홈 내에서 이동되는 토출량 측정 유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고정 부재는 볼 플런져(ball plunger)로 제공되는 토출량 측정 유닛.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 고정 부재는 상기 고정홈을 정의하는 면 중에서 좌측면과 우측면에 각각 위치하는 토출량 측정 유닛.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 고정홈은 상기 스테이지의 전면부터 후면까지 연장되는 토출량 측정 유닛.
  10. 삭제
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