KR102063112B1 - 액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판처리장치는 기판을 지지하는 지지판, 상기 지지판에 지지된 기판 상에 액정을 공급하는 헤드유닛, 상기 헤드유닛을 지지하는 갠트리, 상기 헤드유닛과 기판이 서로 간에 상대이동하도록 지지판 또는 상기 헤드유닛을 이동시키는 이동유닛, 그리고 상기 갠트리의 처짐을 방지하도록 상기 갠트리에 연결되는 와이어를 가지는 처짐방지유닛을 포함하되, 상기 갠트리는 그 길이방향이 일방향을 향하는 바 형상으로 제공될 수 있다. 이로 인해 갠트리에는 그 중앙영역에 와이어가 연결되므로, 갠트리가 처지는 것을 방지할 수 있다.

Description

액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판처리장치{Chemical discharging unit and Apparatus for treating substrate with the unit}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.
최근에는 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 이러한 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판, 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이의 공간에 액정을 주입하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.
이 같이 컬러 필터 기판과 어레이 기판 상에 배향액이나 액정과 같은 처리액을 도포하는 장치로는 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용되고 있다. 도1은 일반적인 처리액 도포 장치를 보여주는 일 예로, 처리액 도포 장치는 처리액을 공급하는 헤드들(2)이 복수 개로 제공되고, 각각의 헤드(2)는 갠트리(4)에 지지된다. 갠트리(4)는 그 길이방향이 수평방향을 향하는 바 형상으로 제공되며, 헤드들(2)은 갠트리(4) 상에서 수평이동되어 서로 간에 간격을 조절한다.
그러나 갠트리(4)는 그 구조가 크고 무겁다. 이로 인해 시간이 지남에 따라 갠트리(4)의 중앙부가 가장자리부에 비해 처지고, 헤드들(2) 간에 간격을 일정하게 유지할 수 없다.
본 발명은 갠트리의 중앙부가 처지는 문제점을 해결할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 헤드들 간의 간격을 일정하게 유지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 헤드들이 갠트리 상에서 동일 높이를 유지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판처리장치는 기판을 지지하는 지지판, 상기 지지판에 지지된 기판 상에 액정을 공급하는 헤드유닛, 상기 헤드유닛을 지지하는 갠트리, 상기 헤드유닛과 기판이 서로 간에 상대이동하도록 지지판 또는 상기 헤드유닛을 이동시키는 이동유닛, 그리고 상기 갠트리의 처짐을 방지하도록 상기 갠트리에 연결되는 와이어를 가지는 처짐방지유닛을 포함하되, 상기 갠트리는 그 길이방향이 일방향을 향하는 바 형상으로 제공될 수 있다.
상기 처짐방지유닛은 상기 갠트리에 상면 가장자리 영역에 제공되는 고정부재를 포함하되, 상기 와이어는 상기 갠트리의 중앙영역 및 상기 고정부재에 연결될 수 있다. 상기 고정부재는 상기 갠트리의 일측에 제공되는 제1고정축 및 상기 갠트리의 타측에 제공되는 제2고정축을 포함할 수 있다. 상기 와이어는 복수 개로 제공되되, 상기 와이어들은 상기 갠트리의 중앙영역에서 가장자리영역의 사이의 복수의 지점들에 연결될 수 있다. 상기 복수의 지점들은 상기 갠트리의 중심영역을 중심으로 대칭되게 배열될 수 있다.
상기 액 공급유닛은 처리액을 분사하는 분사부재, 상기 분사부재를 지지하는 갠트리, 그리고 상기 갠트리의 처짐을 방지하도록 상기 갠트리에 연결되는 와이어를 가지는 처짐방지유닛을 포함하되, 상기 갠트리는 그 길이방향이 일방향을 향하는 바 형상으로 제공될 수 있다.
상기 처짐방지유닛은 상기 갠트리의 일측에 제공되는 제1고정축, 상기 갠트리의 타측에 제공되는 제2고정축을 포함하되, 상기 와이어는 상기 갠트리의 중앙영역 및 상기 고정부재에 연결될 수 있다. 상기 와이어는 복수 개로 제공되되, 상기 와이어들은 상기 갠트리의 중앙영역에서 가장자리영역의 사이의 복수의 지점들에 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 갠트리에는 그 중앙영역에 와이어가 연결되므로, 갠트리가 처지는 것을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 갠트리는 그 길이방향이 수평방향을 유지하므로, 헤드들 간의 간격을 일정하게 유지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
또한 본 발명의 실시예에 의하면, 갠트리는 그 길이방향이 수평방향을 유지하므로, 헤드들이 갠트리 상에서 동일 높이를 유지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.
도1은 일반적인 기판처리장치를 보여주는 사시도이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 방식의 기판처리장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도3은 도2의 액정 토출부를 보여주는 사시도이다.
도4는 도2의 액정 토출부의 평면도이다.
도5는 도3의 갠트리 이동 유닛을 보여주는 단면도이다.
도6은 도3의 처짐 방지 유닛을 보여주는 단면도이다.
도7은 도6의 처짐방지유닛의 제2실시예를 보여주는 단면도이다.
도8은 도6의 처짐방지유닛의 제3실시예를 보여주는 단면도이다.
도9는 도6의 처짐방지유닛의 제4실시예를 보여주는 단면도이다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 실시예에는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 대상물에 처리액을 도포하는 기판처리장치를 설명한다. 예컨태, 대상물은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 처리액은 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 배향액으로는 폴리이미드(polyimide)가 사용될 수 있다.
배향액은 컬러 필터(CF) 기판과 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있고, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다. 잉크는 컬러 필터(CF) 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙 매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.
도2는 잉크젯 방식의 기판처리장치을 나타내는 도면이다. 도2의 기판처리장치(1)는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다.
기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.
도 2를 참조하면, 기판처리장치(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다.
여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.
도3은 도2의 액정 토출부를 보여주는 사시도이고, 도4는 도2의 액정 토출부를 보여주는 평면도이다. 도3 및 도4를 참조하면, 액정토출부(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 갠트리 이동 유닛(300), 헤드유닛들(400), 헤드 이동 유닛(500), 개별 헤드 제어 유닛(700), 측정유닛(800), 검사유닛(900), 그리고 처짐방지유닛(1100)을 포함한다.
베이스(B)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)의 상면에는 기판 지지 유닛(100)이 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 기판(S)이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다.
지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판에 형성된 셀의 장변 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(110)과 회전 구동 부재(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 부재(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(132)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.
갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 배치된다.
갠트리 이동 유닛(300)은 갠트리(200)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키거나, 갠트리(200)의 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)에 경사진 방향을 향하도록 갠트리(200)를 회전시킬 수 있다. 갠트리 구동 유닛(300) 제 1 구동 유닛(310)과 제 2 구동 유닛(320)을 포함한다. 제 2 구동 유닛(320)은 회전 중심이 되는 갠트리(200)의 일단에 제공되고, 제 1 구동 유닛(310)은 갠트리(200)의 타단에 제공된다.
도5는 도 3의 갠트리 구동 유닛을 나타내는 도면이다. 도5를 참조하면, 제 1 구동 유닛(310)은 가이드 레일(315) 및 슬라이더(317)를 포함한다. 가이드 레일(315)은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(134)를 중심으로 베이스(B) 상면의 타측 가장자리부에 배치된다. 가이드 레일(315)에는 슬라이더(317)가 이동 가능하게 결합된다. 슬라이더(317)는 갠트리의 저면에 결합된다. 슬라이더(317)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있다. 슬라이더(317)는 리니어 모터(미도시)의 구동력에 의해 가이드 레일(315)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.
제 2 구동 유닛(320)은 갠트리의 중심축을 중심으로 제 1 구동 유닛(310)과 대칭되게 위치된다. 제 2 구동 유닛(320)은 제 1 구동 유닛(310)과 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
헤드유닛(400)은 기판에 액정의 액적을 토출한다. 헤드유닛(400)은 복수 개 제공될 수 있다. 본 실시 예에서는 3 개의 헤드유닛(400a,400b,400c)이 제공된 예를 들어 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드유닛(400)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬로 나란하게 배열될 수 있으며, 갠트리(200)에 결합된다. 헤드유닛(400)은 헤드 이동 유닛(500)에 의해 갠트리의 길이 방향, 즉 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동하고, 또한 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있다.
헤드유닛(400)의 저면에는 액정의 액적을 토출하는 복수 개의 노즐들(미도시)이 제공된다. 예를 들어, 각각의 헤드들에는 128 개 또는 256 개의 노즐들(미도시)이 제공될 수 있다. 노즐들(미도시)은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들(미도시)은 μg 단위의 양으로 액정을 토출할 수 있다.
각각의 헤드유닛(400)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있으며, 노즐들(미도시)의 액적 토출 량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
헤드 제어 유닛(700)은 각각의 헤드들(410,420,430)의 액정 토출을 제어한다. 헤드 제어 유닛(700)은 헤드들(410,420,430)에 인접하게 액정 토출부(10) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 헤드 제어 유닛(700)은 갠트리(200)의 일단에 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 헤드 제어 유닛(700)이 갠트리(200)의 일단에 배치된 경우를 예로 들어 설명하지만, 헤드 제어 유닛(700)의 위치는 이에 한정되는 것은 아니다.
헤드 제어 유닛(700)은, 비록 도시되지는 않았지만, 각각의 헤드들(410,420,430)에 전기적으로 연결되고, 각각의 헤드들(410,420,430)로 제어 신호를 인가한다. 각각의 헤드들(410,420,430)에는 노즐들(미도시)에 대응하는 수의 압전 소자(미도시)가 제공될 수 있으며, 헤드 제어 유닛(700)은 압전 소자들에 인가되는 전압을 제어하여 노즐들(미도시)의 액적 토출 량을 조절할 수 있다.
측정유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량을 측정한다. 구체적으로, 측정유닛(800)은 개별 헤드(410,420,430) 마다 전부의 노즐들(미도시)로부터 토출되는 액정량을 측정한다. 개별 헤드 (410,420,430)의 액정 토출량 측정을 통해, 개별 헤드(410,420,430)의 노즐들(미도시)의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 개별 헤드(410,420,430)의 액정 토출량이 기준치를 벗어나면, 노즐들(미도시) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.측정유닛(800)은 베이스(B) 상의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 배치될 수 있다. 측정유닛(800)은 제 1 내지 제 3 측정유닛(800a,800,800c)을 가질 수 있다.
검사유닛(900)은 광학 검사를 통해 헤드들(410,420,430)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 측정유닛(800)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 검사유닛(900)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
처짐방지유닛(1100)은 갠트리(200)의 중앙영역이 아래로 처지는 것을 방지한다. 도6은 도3의 갠트리 및 처짐 방지 유닛을 보여주는 단면도이다. 도6을 참조하면, 처짐방지유닛(1100)은 제1고정축(1110), 제2고정축(1120), 그리고 와이어(1140)를 포함한다. 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120)은 갠트리(200)의 상면 가장자리영역에 고정 결합된다. 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120)은 서로 대향되게 위치된다. 일 예에 의하면, 제1고정축(1110)은 제1구동유닛(310)과 대향되게 위치되고, 제2고정축(1120)은 제2구동유닛(320)과 대향되게 위치된다. 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120)은 동일한 형상을 가지도록 제공된다. 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120) 각각은 그 길이방향이 제3방향(Ⅲ)을 향하도록 제공된다.
와이어(1140)는 갠트리(200)의 상부방향으로 장력이 제공하도록 갠트리(200)와 고정축(1110,1120)을 연결한다. 와이어(1140)는 복수 개로 제공된다. 와이어들(1140) 중 일부는 제1고정축(1110)과 갠트리(200)를 서로 간에 연결하고, 다른 일부는 제2고정축(1120)과 갠트리(200)를 서로 간에 연결한다. 다음은 제1고정축(1110)과 갠트리(200)를 연결하는 제1와이어(1141)에 대해 설명한다. 여기서 제1와이어(1141)는 제1고정축(1110)과 갠트리(200)를 연결하는 와이어고, 제2와이어(1142)는 제2고정축(1120)과 갠트리(200)를 연결하는 와이어(1140)로 정의한다.
복수 개의 제1와이어(1141)들 각각은 일단이 제1고정축(1110)에 결합되고, 타단이 갠트리(200)에 결합된다. 제1와이어(1141)들은 갠트리(200)의 일단으로부터 중앙영역으로 갈수록 하향 경사지게 제공된다. 제1와이어(1141)들의 일단은 제1고정축(1110)의 상부영역에 결합된다. 제1와이어(1141)들은 제1고정축(1110)의 제1지점에 각각 결합된다. 제1와이어(1141)들의 타단은 갠트리(200)의 상면 중 서로 상이한 제2지점들에 각각 결합된다. 일 예에 의하면, 제2지점들은 갠트리(200)의 상면에서 중앙영역과 제1고정축(1110)이 결합된 일단의 사이구간에 제공될 수 있다. 제2지점들은 갠트리(200)의 상면 중앙으로부터 제1고정축(1110)과 가까워지는 방향을 따라 나란히 배열될 수 있다. 각각의 제2지점은 서로 간에 동일 간격으로 이격되게 배열될 수 있다. 제1와이어(1141)는 5개 일 수 있다.
제2와이어(1142)는 제1와이어(1141)와 동일 개수로 제공된다. 제2와이어(1142)들은 제1고정축(1110)과 제2고정축(1120)의 사이에 제공되는 수직 중심축을 기준으로 제1와이어(1141)들과 대칭되게 제공된다.
다음은 처짐방지유닛(1100)의 다른 실시예를 설명한다.
도7은 도6의 처짐방지유닛의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다. 도7을 참조하면, 제1와이어(1141)는 1 개로 제공되고, 제2와이어(1142)는 복수 개로 제공될 수 있다. 제1와이어(1141)는 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120)을 서로 간에 연결하도록 제공될 수 있다. 제1와이어(1141)는 갠트리(200)의 길이방향과 평행한 방향을 향하도록 제공될 수 있다. 제2와이어(1142)들은 제1와이어(1141)와 갠트리(200)를 서로 간에 연결할 수 있다. 제2와이어(1142)들은 그 길이방향이 제3방향을 향하도록 제공될 수 있다. 제2와이어(1142)들은 제1와이어(1141)의 아래에서 제1와이어(1141)의 길이방향을 따라 순차적으로 배열될 수 있다. 제2와이어(1142)들은 각각 동일 간격으로 이격되게 배열될 수 있다.
도8은 도6의 처짐방지유닛의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도이다. 도8을 참조하면, 와이어(1140)는 제1메인와이어(1141a), 제1보조와이어(1141b), 제2메인와이어(1142a), 제2보조와이어(1142b)로 제공될 수 있다. 제1메인와이어(1141a) 및 제1보조와이어(1141b)는 제1고정축(1110)와 갠트리(200)를 서로 연결시킬 수 있다. 제2메인와이어(1142a) 및 제2보조와이어(1142b)는 제2고정축(1120)와 갠트리(200)를 서로 연결시킬 수 있다. 제1메인와이어(1141a)는 제1고정축(1110)이 결합된 갠트리(200)의 일단으로부터 중앙영역으로 갈수록 하향 경사진 길이방향을 가질 수 있다. 제1메인와이어(1141a)의 일단은 제1고정축(1110)의 상부영역에 결합될 수 있다. 제1메인와이어(1141a)의 타단은 갠트리(200)의 상면 중앙영역에 결합된다. 제1보조와이어(1141b)는 복수 개로 제공될 수 있다. 각각의 제1보조와이어(1141b)는 제1메인와이어(1141a)와 갠트리(200)를 연결시킬 수 있다. 각각의 제1보조와이어(1141b)는 그 길이방향이 제3방향(Ⅲ)을 향하도록 제공될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 제1보조와이어(1141b)들은 갠트리(200)의 중앙영역에서 제1고정축(1110)을 향하는 방향을 따라 순차적으로 배열될 수 있다. 제2메인와이어(1142a)는 제1고정축(1110)과 제2고정축(1120)의 사이에 제공되는 중심축을 기준으로 제1메인와이어(1141a)들과 대칭되게 제공될 수 있다. 제2보조와이어(1142b)는 제1고정축(1110)과 제2고정축(1120)의 사이에 제공되는 중심축을 기준으로 제1메인와이어(1141a)들과 대칭되게 제공될 수 있다.
도9는 도6의 처짐방지유닛의 제3실시예를 보여주는 단면도이다. 도9를 참조하면, 처짐방지유닛(1100)은 갠트리(200)의 상면 중앙영역으로부터 위로 돌출된 돌기(220)를 더 포함할 수 있다. 돌기(220)에는 관통홀이 형성될 수 있다. 와이어(1140)는 1 개로 제공될 수 있다. 와이어(1140)는 관통홀을 통과하여 제1고정축(1110) 및 제2고정축(1120)에 각각 연결될 수 있다.
또한 본 실시예에는 복수 개의 노즐들을 가지는 헤드유닛(400)이 기판(S) 상에 액적을 공급하는 것으로 설명하였다. 그러나 노즐은 1 개로 제공되고, 그 길이방향이 갠트리(200)와 평행한 길이방향을 향하는 바 형상으로 제공될 수 있다. 노즐은 슬릿형상을 가지며, 그 길이가 기판과 대응되거나 이보다 크게 제공되는 토출구를 가지도록 제공될 수 있다.
200: 갠트리 1100: 처짐방지유닛
1110: 제1고정축 1120: 제2고정축
1140: 와이어 1141: 제1와이어
1142: 제2와이어

Claims (8)

  1. 기판을 지지하는 지지판과;
    상기 지지판에 지지된 기판 상에 액정을 공급하는 헤드유닛과;
    상기 헤드유닛을 지지하는 갠트리와;
    상기 헤드유닛과 기판이 서로 간에 상대이동하도록 지지판 또는 상기 헤드유닛을 이동시키는 이동유닛과;
    상기 갠트리의 처짐을 방지하도록 상기 갠트리에 연결되는 와이어를 가지는 처짐방지유닛을 포함하되,
    상기 갠트리는 그 길이방향이 일방향을 향하는 바 형상으로 제공되는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 처짐방지유닛은,
    상기 갠트리에 상면 가장자리 영역에 제공되는 고정부재를 포함하되,
    상기 와이어는 상기 갠트리의 중앙영역 및 상기 고정부재에 연결되는 기판처리장치.



  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정부재는,
    상기 갠트리의 일측에 제공되는 제1고정축과;
    상기 갠트리의 타측에 제공되는 제2고정축을 포함하는 기판처리장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 와이어는 복수 개로 제공되되,
    상기 와이어들은 상기 갠트리의 중앙영역에서 가장자리영역의 사이의 복수의 지점들에 연결되는 기판처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 지점들은 상기 갠트리의 중심영역을 중심으로 대칭되게 배열되는 기판처리장치.
  6. 처리액을 분사하는 분사부재와;
    상기 분사부재를 지지하는 갠트리와;
    상기 갠트리의 처짐을 방지하도록 상기 갠트리에 연결되는 와이어를 가지는 처짐방지유닛을 포함하되,
    상기 갠트리는 그 길이방향이 일방향을 향하는 바 형상으로 제공되는 액 공급유닛.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 처짐방지유닛은,
    상기 갠트리의 일측에 제공되는 제1고정축과;
    상기 갠트리의 타측에 제공되는 제2고정축을 포함하되,
    상기 와이어는 상기 갠트리의 중앙영역 및 상기 제1고정축, 그리고 상기 갠트리의 중앙 영역 및 상기 제2고정축 각각에 연결되는 액 공급유닛.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 와이어는 복수 개로 제공되되,
    상기 와이어들은 상기 갠트리의 중앙영역에서 가장자리영역의 사이의 복수의 지점들에 연결되는 액 공급유닛.



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