KR102290907B1

KR102290907B1 - 액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR102290907B1
Application number: KR1020150018819A
Authority: KR
Inventors: 최기훈; 조천수; 김명진
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2015-02-06
Filing date: 2015-02-06
Publication date: 2021-08-18
Also published as: KR20160097025A

Abstract

본 발명은 처리액을 공급하는 유닛 및 이를 가지는 장치에 관한 것이다. 액 공급 유닛은 제1방향으로 나열되는 복수 개의 하우징들을 가지는 토출 부재 및 상기 복수 개의 하우징들 각각에 동시 결합되는 노즐 플레이트들을 포함하되, 상기 하우징들 각각은 내부에 처리액이 흐르는 유로가 형성되고, 상기 노즐 플레이트는 처리액이 토출되도록 상기 유로에 연결되는 토출홀들이 형성된다.

Description

액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치{Unit for supplying chemical and Apparatus treating substrate with the unit}

본 발명은 처리액을 공급하는 장치에 관한 것이다.

최근에는 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 표시 장치가 널리 이용되고 있다. 이러한 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스, 컬러 필터, 공통 전극 및 배향막이 형성된 컬러 필터 기판, 박막트랜지스터(TFT), 화소 전극 및 배향막이 형성된 어레이 기판 사이의 공간에 액정을 주입하여, 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률의 차이를 이용해 영상 효과를 얻는다.

이 같이 컬러 필터 기판과 어레이 기판 상에 배향액이나 액정과 같은 처리액을 도포하는 장치로는 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용되고 있다. 이러한 도포 장치는 기판 상에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함한다. 액 공급 유닛은 복수 개의 토출 헤드들을 가진다. 도 1은 일반적인 토출 헤드들을 정면에서 바라본 도면이고, 도 2는 도 1의 토출 헤드들을 아래에서 바라본 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 토출 헤드들 각각에는 그 저면에 노즐 플레이트가 결합된다. 토출 헤드에 수용된 처리액은 노즐 플레이트에 형성된 토출홀들을 통해 기판으로 공급된다.

노즐 플레이트에 형성된 토출홀들은 기판 상에 처리액이 공급되는 영역과 연관된다. 이로 인해 기판 처리 공정이 수행되기 전에는 각 노즐 플레이트에 형성된 토출홀들을 정렬시켜야 한다. 따라서 비전 카메라를 이용하여 각 토출홀들이 정렬되도록 토출 헤드들을 정 위치로 이동시킨다.

그러나 이러한 각 토출홀들을 촬영하고 이를 설정 데이터에 매칭시키는 과정에서 많은 시간이 소요된다. 또한 노즐 플레이트 및 토출 헤드를 촬영하기 위한 비전 카메라는 기판 처리 장치의 공간을 협소하게 할 뿐만 아니라 그 장치를 더 복잡하게 한다.

한국 공개 특허 번호 2006-0037936

본 발명은 토출 헤드들로부터 처리액이 토출되는 토출홀들의 정렬이 틀어지는 것을 방지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.

또한 본 발명은 토출홀들의 위치를 정렬시키기 위한 장치를 보다 단순화시키고자 한다.

상기 토출 부재는 복수 개로 제공되며, 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 나열되고, 상기 노즐 플레이트는 복수 개로 제공되며, 각각의 상기 토출 부재에 제공될 수 있다. 상기 복수 개의 하우징들 각각에 위치되며, 상기 유로에 흐르는 처리액이 상기 토출홀을 향해 흐르도록 처리액을 가압하는 진동자를 더 포함하되, 상기 하우징들에 대향되는 상기 노즐 플레이트의 영역들 각각에는 상기 토출홀들이 서로 동일한 배열로 형성될 수 있다. 상기 노즐 플레이트의 영역들 중 서로 인접한 2 개의 영역들 간에 형성된 상기 토출홀들의 배열은 상기 제1방향에 대해 어긋나게 위치될 수 있다. 상기 노즐 플레이트에는 상기 제2방향에 대해 적어도 4 개의 상기 토출홀들이 서로 어긋나게 위치될 수 있다.

기판 처리 장치는 기판을 지지하며, 제1방향으로 반송시키는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판의 반송 경로 상에 위치되며, 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 향하는 길이 방향을 가지는 갠트리, 그리고 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 상기 갠트리에 지지되며, 상기 제1방향으로 나열되는 복수 개의 하우징들을 가지는 토출 부재 및 상기 복수 개의 하우징들 각각에 동시 결합되는 노즐 플레이트들을 포함하되, 상기 하우징들 각각은 내부에 처리액이 흐르는 유로가 형성되고, 상기 노즐 플레이트는 처리액이 토출되도록 상기 유로에 연결되는 토출홀들이 형성된다.

상기 토출 부재는 상기 제2방향으로 나열되게 복수 개로 제공되며, 상기 노즐 플레이트는 복수 개로 제공되며, 각각의 상기 토출 부재에 제공될 수 있다. 상기 액 공급 유닛은 상기 복수 개의 하우징들 각각에 위치되며, 상기 유로에 흐르는 처리액이 상기 토출홀을 향해 흐르도록 처리액을 가압하는 진동자를 더 포함하되, 상기 하우징들에 대향되는 상기 노즐 플레이트의 영역들 각각에는 상기 토출홀들이 서로 동일한 배열로 형성될 수 있다. 상기 노즐 플레이트의 영역들 중 서로 인접한 2 개의 영역들 간에 형성된 상기 토출홀들의 배열은 상기 제1방향에 대해 어긋나게 위치될 수 있다.

본 발명의 실시예에 의하면, 노즐 플레이트가 하우징들에 동시 결합함에 따라 토출홀들을 정렬하기 위한 과정을 생략할 수 있다.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 토출홀들의 위치를 정렬시키는 과정이 생략되므로, 토출홀들을 정렬시키기 위해 사용된 장치를 간소화할 수 있다.

도 1은 일반적인 토출 헤드들을 정면에서 바라본 도면이다.
도 2는 도 1의 토출 헤드들을 아래에서 바라본 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 방식의 기판처리장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3의 액정 토출부를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 4의 액정 토출부를 보여주는 평면도이다.
도 6은 도 4의 액 공급 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 6의 토출 헤드들을 제1방향에서 바라본 단면도이다.
도 8은 도 6의 토출 헤드들을 제2방향에서 바라본 단면도이다.
도 9는 도 6의 토출 헤드들을 아래에서 바라본 도면이다.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

본 실시예에는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 대상물에 처리액을 도포하는 기판처리장치를 설명한다. 예컨태, 대상물은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 처리액은 액정(Liquid Crystal), 배향액, 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 배향액으로는 폴리이미드(polyimide)가 사용될 수 있다.

배향액은 컬러 필터(CF) 기판과 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있고, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다. 잉크는 컬러 필터(CF) 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙 매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.

본 실시예의 기판 처리 장치(1)는 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 기판에 액정(Liquid Crystal)을 도포하는 설비이다.

기판은 액정 표시 패널의 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판일 수 있으며, 액정은 컬러 필터(CF) 기판 또는 박막트랜지스터(TFT) 기판의 전면에 도포될 수 있다.

도 3은 잉크젯 방식의 기판 처리 장치을 나타내는 도면이다. 도 3을 참조하면, 기판처리장치(1)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 액정 공급부(50), 그리고 메인 제어부(90)를 포함한다. 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 액정 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에는 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)가 배치된다. 액정 공급부(50)와 메인 제어부(90)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 액정 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(30)와 언로딩부(40)가 배치된다. 로딩부(30)와 언로딩부(40)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다.

여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 액정 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.

액정이 도포될 기판은 로딩부(30)로 반입된다. 기판 이송부(20)는 로딩부(30)에 반입된 기판을 액정 토출부(10)로 이송한다. 액정 토출부(10)는 액정 공급부(50)로부터 액정을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 액정을 토출한다. 액정 토출이 완료되면, 기판 이송부(20)는 액정 토출부(10)로부터 언로딩부(40)로 기판을 이송한다. 액정이 도포된 기판은 언로딩부(40)로부터 반출된다. 메인 제어부(90)는 액정 토출부(10), 기판 이송부(20), 로딩부(30), 언로딩부(40), 그리고 액정 공급부(50)의 전반적인 동작을 제어한다.

도 4는 도 3의 액정 토출부를 보여주는 사시도이고, 도 5는 도 4의 액정 토출부를 보여주는 평면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 액정 토출부(10)는 베이스(B), 기판 지지 유닛(100), 갠트리(200), 액 공급 유닛(500), 헤드 제어 유닛(400), 그리고 검사 유닛(800)을 포함한다.

베이스(B)는 일정한 높이를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(B)는 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 길이 방향을 가지며, 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 폭을 가진다. 베이스(B)의 상면은 기판을 처리하기 위한 장치들이 배치되는 공간으로 제공된다.

기판 지지 유닛(100)은 베이스(B)의 상면에서 기판(S)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 반송시킨다. 기판 지지 유닛(100)은 베이스(B)의 상면에 배치된다. 기판 지지 유닛(100)은 지지판(110), 회전 구동 부재(120), 그리고 직선 구동 부재(130)을 포함한다. 지지판(110)은 기판(S)을 지지한다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 부재(120)가 연결된다. 회전 구동 부재(120)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(120)는 지지판(100)에 수직한 회전 중심 축을 중심으로 지지판(110)을 회전시킨다. 지지판(110)이 회전 구동 부재(120)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(110)과 함께 회전될 수 있다. 액정이 도포될 기판(S)에 형성된 셀의 장변 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(120)는 셀의 장변 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.

직선 구동 부재(130)는 지지판(110)과 회전 구동 부재(120)를 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 슬라이더(132)는 회전 구동 부재(120)의 아래에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중심부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.

갠트리(200)는 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리(200)는 베이스(B)의 상면으로부터 위 방향으로 이격 배치되며, 갠트리(200)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 배치된다. 갠트리(200)는 지지축(220)에 의해 지지된다. 지지축(220)은 복수 개로 제공되며, 갠트리(200)의 양측 가장자리 영역을 지지한다. 각각의 지지축(220)은 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 서로 이격되게 위치된다. 예컨대, 지지축(220)은 2 개일 수 있다. 지지축들(220)은 베이스(B)의 상면에 고정 결합된다. 지지축들(220)의 상단에는 갠트리(200)의 양측 가장자리 영역이 결합된다. 선택적으로 지지축(220)은 가이드 레일에 의해 제 1 방향으로 직선 이동되며, 갠트리(200)는 기판 지지 유닛(100)과 상대 위치가 변경될 수 있다.

액 공급 유닛(500)은 기판에 처리액을 공급한다. 예컨대, 처리액은 액정을 포함하는 잉크로 제공될 수 있다. 잉크는 점성을 가지는 액일 수 있다. 액 공급 유닛(500)은 토출 부재(500a,500b,500c) 및 노즐 플레이트(700)(640)를 포함한다.

도 6은 도 4의 액 공급 유닛을 보여주는 사시도이다. 도 6을 참조하면, 토출 부재(500a,500b,500c)는 기판 지지 유닛(100)에 지지된 기판(S) 상에 처리액을 공급한다. 토출 부재(500a,500b,500c)는 복수 개로 제공된다. 토출 부재들(500a,500b,500c)은 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 일렬로 나란하게 배열되며, 갠트리(200)에 결합된다. 토출 부재들(500a,500b,500c)은 제 2 방향(Ⅱ)에 대해 서로 이격되게 위치된다. 토출 부재들(500a,500b,500c) 각각은 복수 개의 토출 헤드(600)를 포함한다. 본 실시예에는 토출 부재(500a,500b,500c)가 3 개로 제공되며, 개별 토출 부재(500a,500b,500c)는 2 개의 토출 헤드(600)를 가지는 것으로 설명한다. 그러나 토출 부재(500a,500b,500c) 및 토출 헤드(600)의 개수는 이에 한정되지 않으며, 토출 부재(500a,500b,500c)는 2개 이상 그리고 토출 헤드(600)는 3 개 이상으로 제공될 수 있다.

도 7은 도 6의 토출 헤드들을 제1방향에서 바라본 단면도이고, 도 8은 도 6의 토출 헤드들(600)을 제 2 방향에서 바라본 단면도이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 토출 헤드(600)는 하우징(610), 액 공급 라인(652), 액 배출 라인(654), 그리고 진동자(630)를 포함한다. 하우징(610)은 내부에 처리액이 흐르는 유로(612)가 형성된다. 하우징(610)의 상단에는 유입구 및 배출구가 형성되며, 그 저면에는 복수의 토출구(614)들이 형성된다. 예컨대, 토출구(614)는 128 또는 256 개일 수 있다. 유로(612)는 유입구, 토출구(614), 그리고 배출구가 서로 통하도록 각각을 연결한다. 여기서 유입구는 처리액이 하우징(610)의 내부에 유입되는 통로이고, 배출구는 처리액이 하우징(610)의 내부에서 배출되는 통로이다. 토출구(614)는 하우징(610)의 내부에 제공된 처리액이 기판(S) 상으로 토출되는 통로이다. 액 공급 라인(652)은 하우징(610)의 유입구 및 액 공급원을 서로 연결한다. 처리액은 액 공급 라인(652)을 통해 액 공급원에서 하우징(610)의 유로(612)로 공급된다. 액 배출 라인(654)은 하우징(610)의 배출구에 연결된다. 토출 헤드(600)가 대기 시에는 유로(612)에 흐르는 처리액이 액 배출 라인(654)을 통해 배출될 수 있다.

진동자(630)는 유로(612)에 흐르는 처리액이 토출구(614)를 향해 흐르도록 처리액을 가압한다. 진동자(630)는 토출구(614)를 개방 또는 차단한다. 진동자(630)는 복수 개로 제공된다. 일 예에 의하면, 진동자(630)는 토출구(614)와 일대일 대응되는 개수로 제공될 수 있다. 진동자(630)는 전기적으로 연결되며, 전기 신호에 의해 각 토출구(614)를 개방 또는 차단할 수 있다. 각각의 진동자(630)는 독립적으로 제어될 수 있다. 예컨대, 진동자(630)는 압전 소자(630)일 수 있다.

도 9는 도 6의 토출 헤드들을 아래에서 바라본 도면이다. 도 9를 참조하면. 노즐 플레이트(700)는 토출 부재(500a,500b,500c)들 각각에 결합된다. 노즐 플레이트(700)는 복수 개로 제공되며, 토출 부재(500a,500b,500c)와 일대일 대응되는 개수로 제공된다. 노즐 플레이트(700)는 개별 토출 부재(500a,500b,500c)에 제공되는 복수 개의 토출 헤드들(600)에 동시 결합된다. 노즐 플레이트(700)는 하우징(610)의 저면에 고정 결합된다. 노즐 플레이트(700)에는 복수의 영역들 각각에 복수의 토출홀(710)들이 형성된다. 노즐 플레이트(700)의 각 영역은 개별 하우징(610)에 대응되는 대향면으로 제공된다. 일 예에 의하면, 노즐 플레이트(700)는 제1영역 및 제2영역을 가질 수 있다. 제1영역 및 제2영역은 제1방향을 따라 일렬로 제공된다. 제1영역은 토출 헤드들(600) 중 하나에 대향되고, 제2영역은 다른 하나에 대향되게 제공된다. 제1영역 및 제2영역 각각에는 토출홀(710)들이 서로 동일하게 배열된다. 노즐 플레이트(700)는 토출홀(710)이 하우징(610)의 토출구(614)와 일치되도록 하우징(610)에 결합된다. 제1영역 및 제2영역 각각에는 토출홀(710)들이 제2방향을 따라 지그재그 형태로 형성된다. 또한 제1영역의 토출홀(710)들과 제2영역의 토출홀(710)들은 제 1 방향에 대해 서로 어긋나게 위치된다. 제1영역의 제1열에 제공되는 토출홀(710)과 제2영역의 제1열에 제공되는 토출홀(710) 간에는 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 제1간격(D1)으로 이격되게 위치된다. 제2영역의 제1열에 제공되는 토출홀(710)과 제1영역의 제2열에 제공되는 토출홀(710) 간에는 제 2 방향(Ⅱ)을 향하는 제2간격(D2)으로 이격되게 위치된다. 제1간격(D1)과 제2간격(D2)은 동일한 간격으로 제공된다. 따라서 노즐 플레이트(700)에 형성된 토출홀들(710)은 제 1 방향(Ⅰ)에 대해 모두 어긋나게 위치된다. 선택적으로 제1간격(D1) 및 제2간격(D2)은 작업자의 설정에 의해 상이한 간격으로 제공될 수 있다. 또한 제1영역의 제1열에 제공된 토출홀(710)과 제1영역의 제2열에 제공된 토출홀(710)은 제 2 방향(Ⅱ)에 대해 서로 어긋나게 위치된다. 따라서 노즐 플레이트(700)에 형성된 토출홀들(710) 중 4 개는 제 2 방향(Ⅱ)에 대해 어긋나게 위치된다. 선택적으로 토출홀들(710)은 제 2 방향(Ⅱ)에 대해 2 개, 3 개, 그리고 5 개 이상이 제 2 방향에 대해 어긋나게 위치될 수 있다.

헤드 제어 유닛(400)은 토출 헤드들(600)의 액정 토출을 제어한다. 헤드 제어 유닛(400)은 토출 헤드들(600)에 인접하게 액정 토출부(10) 내에 배치될 수 있다. 예를 들어, 헤드 제어 유닛(400)은 갠트리(200)의 상단에 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 헤드 제어 유닛(400)이 갠트리(200)의 상단에 배치된 경우를 예로 들어 설명하지만, 헤드 제어 유닛(400)의 위치는 이에 한정되는 것은 아니다. 헤드 제어 유닛(400)은 각각의 토출 헤드들(600)에 전기적으로 연결되고, 각각의 토출 헤드들(600)로 제어 신호를 인가한다. 헤드 제어 유닛(400)은 각각의 진동자(630)에 연결될 수 있다.

검사 유닛(800)은 토출 헤드들(600)의 처리액 토출 유량의 이상 유무를 확인한다. 검사 유닛(800)은 각각의 토출 헤드(600)로부터 토출된 처리액의 무게를 판단하여 각 토출구(614)의 이상 유무를 확인한다. 검사 유닛(800)은 복수 개의 무게 측정 부재(810)를 포함한다. 무게 측정 부재(810)는 토출 헤드(600)와 일대일 대응되는 개수로 제공된다. 각각의 무게 측정 부재(810)는 토출 헤드들(600) 각각으로부터 토출되는 처리액을 제공받아 그 무게를 측정한다. 예컨대, 무게 측정 부재(810)는 저울일 수 있다. 무게 측정 부재(810)는 토출된 처리액의 무게가 일정 무게에 미달되는 경우, 일부 토출구(614)가 막히거나 진동자(630)에 이상이 있는 것으로 판단하고, 토출 헤드(600)에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.

500a,500b,500c: 토출 부재 600: 토출 헤드
610: 하우징 612: 유로
700: 노즐 플레이트 710: 토출홀
630: 진동자

Claims

제1방향으로 나열되는 복수 개의 토출 헤드들을 가지는 토출 부재와;
상기 복수 개의 토출 헤드들 각각에 일체로 결합되는 노즐 플레이트를 포함하되,
상기 각각의 토출 헤드들은 내부에 처리액이 흐르는 유로를 형성하는 하우징을 포함하고,
상기 노즐 플레이트는 처리액이 토출되도록 상기 유로에 연결되는 토출홀들이 형성되는 액 공급 유닛.
제1항에 있어서,
상기 토출 부재는 복수 개로 제공되며, 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향으로 나열되고,
상기 노즐 플레이트는 상기 토출 부재에 대응되는 복수 개로 제공되며, 각각의 상기 토출 부재에 제공되는 액 공급 유닛.
제2항에 있어서,
상기 복수 개의 하우징들 각각에 위치되며, 상기 유로에 흐르는 처리액이 상기 토출홀을 향해 흐르도록 처리액을 가압하는 진동자를 더 포함하되,
상기 하우징들에 대향되는 상기 노즐 플레이트의 영역들 각각에는 상기 토출홀들이 서로 동일한 배열로 형성되는 액 공급 유닛.
제3항에 있어서,
상기 노즐 플레이트의 영역들 중 서로 인접한 2 개의 영역들 간에 형성된 상기 토출홀들의 배열은 상기 제1방향에 대해 어긋나게 위치되는 액 공급 유닛.
제4항에 있어서,
상기 노즐 플레이트에는 상기 제2방향에 대해 적어도 4 개의 상기 토출홀들이 서로 어긋나게 위치되는 액 공급 유닛.
기판을 지지하며, 제1방향으로 반송시키는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판의 반송 경로 상에 위치되며, 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향과 수직한 제2방향을 향하는 길이 방향을 가지는 갠트리와;
상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되,
상기 액 공급 유닛은,
상기 갠트리에 지지되며, 상기 제1방향으로 나열되는 복수 개의 토출 헤드들을 가지는 토출 부재와;
상기 복수 개의 토출 헤드들 각각에 일체로 결합되는 노즐 플레이트를 포함하되,
상기 각각의 토출 헤드들은 내부에 처리액이 흐르는 유로를 형성하는 하우징을 포함하고,
상기 노즐 플레이트는 처리액이 토출되도록 상기 유로에 연결되는 토출홀들이 형성되는 기판 처리 장치.
제6항에 있어서,
상기 토출 부재는 상기 제2방향으로 나열되게 복수 개로 제공되며,
상기 노즐 플레이트는 상기 토출 부재에 대응되는 복수 개로 제공되며, 각각의 상기 토출 부재에 제공되는 기판 처리 장치.
제7항에 있어서,
상기 액 공급 유닛은,
상기 복수 개의 하우징들 각각에 위치되며, 상기 유로에 흐르는 처리액이 상기 토출홀을 향해 흐르도록 처리액을 가압하는 진동자를 더 포함하되,
상기 하우징들에 대향되는 상기 노즐 플레이트의 영역들 각각에는 상기 토출홀들이 서로 동일한 배열로 형성되는 기판 처리 장치.
제8항에 있어서,
상기 노즐 플레이트의 영역들 중 서로 인접한 2 개의 영역들 간에 형성된 상기 토출홀들의 배열은 상기 제1방향에 대해 어긋나게 위치되는 기판 처리 장치.