CN111267492B - 一种喷头、喷墨打印系统及基板处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种喷头、喷墨打印系统及基板处理方法，喷头包括第一出液通道、第一出液口以及除膜单元，第一出液口连通第一出液通道，第一出液通道流通第一溶液，第一溶液流向基板，得以在基板上形成膜层，除膜单元设有第二出液通道、第二出液口、回吸通道和回吸口，第二出液口连通第二出液通道，回吸口连通回吸通道，第二出液通道流通第二溶液，第二溶液得以溶解第一溶液形成的膜层，回吸通道用于回吸基板上形成的溶解液。从而，喷头兼具打印和除膜功能，不影响打印的基础上，得以快速对有缺陷的膜层进行清洗，及时修复基板。

Description

一种喷头、喷墨打印系统及基板处理方法

技术领域

本发明涉及喷墨打印技术领域，具体地说，是一种兼具打印和除膜的喷头、喷墨打印系统及其对基板的处理方法。

背景技术

喷墨打印设备，一般由控制系统、运动系统、CCD定位系统、打印系统等系统组成。其中运动系统的基部采用稳定性高的大理石作为机座，机座上面安装有通过计算机控制的X轴线性电机和Y轴线性电机，X轴电机或Y轴电机上面连接安装有打印喷头，打印平台平衡于水平面，通过控制高精度直线电机来完成打印平台的高精度水平运动。

在打印电致发光器件时，先通过人工将清洗干净的TFT玻璃或已做了部分膜层的TFT玻璃放置到真空吸附平台，再通过真空吸附玻璃，CCD相机进行拍照定位，随后伺服电机将吸附平台(含TFT玻璃)移至打印喷头下方，正对需打印的子像素，通过喷墨喷头喷出墨滴，打印完一个子像素后，X、Y伺服平台移动带动TFT玻璃移动，让下一个要打印的子像素移动到喷墨喷头正下方，然后喷出墨滴，重复以上工作，直至打印完整个幅面。

目前的喷墨打印设备都只有喷墨打印的功能，如果在打印器件过程中或检查过程中发现了某个像素点出现缺陷，只能把整张TFT玻璃上已打印完成的有机膜进行全部清洗，再对整面进行重新打印，造成物料和打印时间的浪费，影响生产效率，增加生产成本。

另外，打印电致发光器件中的功能层(如空穴注入层、空穴传输层、电子传输层、电子注入)一般使用夹缝涂布设备整面成膜，一旦出现打印缺陷，需要去除封装区域与绑定区域的有机膜，否则会影响封装效果和绑定效果，甚至影响产品的所用寿命。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种喷头，通过对打印喷头进行结构改进，克服现有技术的不足，使得喷头兼具打印和除膜功能，从而通过所述喷头高精度地选择性去除指定位置的膜层或只去除某个缺陷像素内的膜层，避免物料和时间的浪费，提高生产效率。

本发明的另一个目的在于提供一种喷墨打印系统，其不需要对整个喷墨打印系统进行重大改变，结构简单，降低相关制造成本，

本发明的另一个目的在于提供一种基于喷墨打印系统对基板的处理方法，其针对缺陷像素膜层进行及时清洗，再重新打印修复，不需要对全部打印完成的有机膜进行整面清洗，降低修复成本。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种喷头包括第一出液通道、第一出液口以及除膜单元，所述第一出液口连通所述第一出液通道，所述除膜单元设有第二出液通道、第二出液口、回吸通道和回吸口，所述第二出液口连通所述第二出液通道，所述回吸口连通所述回吸通道。

进一步优选地，所述除膜单元包括至少一个所述第二出液口和至少一个所述回吸口，各所述回吸口和各所述第二出液口相邻设置。

进一步优选地，所述第二出液口和所述回吸口成对地排列于所述喷头的一部分区域，所述第一出液口排列于所述喷头的剩余部分区域。

进一步优选地，所述第一出液口与所述回吸口的高度差为0～200μm；优选地，所述第二出液口和所述第一出液口高于所述回吸口，所述第一出液口与所述回吸口的高度差为100～150μm。

一种喷墨打印系统包括如上任一所述的喷头。

进一步优选地，所述喷墨打印系统进一步包括：

出液模块，所述出液模块包括第一溶液存储单元和第二溶液存储单元，所述第一出液通道连接所述第一溶液存储单元，所述第二出液通道连接所述第二溶液存储单元；

回吸模块，所述回吸模块包括电磁阀和负压腔，所述电磁阀连接所述回吸通道和所述负压腔，所述电磁阀得以控制所述回吸通道回吸溶解液；

控制模块，所述控制模块分别连接所述出液模块和所述回吸模块，所述控制模块向所述出液模块提供出液信号，使得所述第一溶液存储单元中的第一溶液进入所述第一出液通道，或所述第二溶液存储单元中的第二溶液进入所述第二出液通道，所述控制模块向所述电磁阀提供回吸信号，得以打开或关闭所述电磁阀。

作为一种优选地，所述喷墨打印系统进一步包括运动模块，所述运动模块连接所述控制模块和所述喷头，所述控制模块得以控制所述运动模块将所述喷头定位。

作为一种优选地，所述回吸模块进一步包括分离装置和管道，所述管道连接所述回吸通道、电磁阀和所述分离装置，所述分离装置内形成所述负压腔。

作为一种优选地，所述喷头为压电式喷头，所述第一溶液存储单元中的第一溶液包括成膜溶质，所述第二溶液和所述成膜溶质得以相溶解，所述回吸通道用于回吸溶解液，所述分离装置用于存储所述溶解液，并分离回吸物中的气体和液体。

一种基于如上任一所述的喷墨打印系统的基板处理方法，包括步骤：

S1移动所述喷墨打印系统的喷头至基板的目标区域上方，所述目标区域内有第一溶液形成的膜层，所述目标区域为具有缺陷的区域；

S2通过所述喷头的第二出液口向所述目标区域喷出第二溶液，溶解所述目标区域中的所述膜层，产生溶解液；

S3通过所述喷头的回吸口回吸所述溶解液，动态地去除所述目标区域中的所述膜层。

作为一种优选地，所述基板包括多个子区域，所述喷墨打印系统可选择地处理至少一个所述子区域。

作为一种优选地，所述步骤S2包括步骤：

S21向所述喷墨打印系统的出液模块发出所述第二溶液的出液信号；

S22所述出液模块中的第二溶液存储单元向所述喷头的第二出液通道提供所述第二溶液；

S23从所述喷头的第二出液口向所述目标子区域喷出所述第二溶液，所述第二溶液落到所述目标子区域的膜层上，所述膜层被溶解到所述第二溶液中。

作为一种优选地，所述步骤S3包括步骤：

S31向所述喷墨打印系统的回吸模块发出回吸信号；

S32打开所述回吸模块中的电磁阀，连通所述回吸通道和负压腔；

S33所述回吸通道吸走所述溶解液。

作为一种优选地，所述处理方法进一步包括步骤：S4重新打印，在步骤S3回吸完溶解液后，所述目标区域中的膜层被清除，所述喷头通过所述出液模块的第一溶液存储单元向所述目标区域重新进行喷墨打印，修复所述基板中的各个所述目标区域。

附图说明

图1是根据本发明的一实施例的喷墨打印系统的模块示意图；

图2是根据本发明的一实施例的第一种喷头剖面结构视图；

图3是根据本发明的上述实施例的第一种喷头的俯视图；

图4是根据本发明的一实施例的第二种喷头剖面结构视图；

图5是根据本发明的上述实施例的第二种喷头的俯视图；

图6是根据本发明的一实施例的第三种喷头的剖面结构视图；

图7是根据本发明的上述实施例的第三种喷头的俯视图；

图8是根据本发明的一实施例的第四种喷头的俯视图；

图9是根据本发明的一实施例的第五种喷头的俯视图；

图10是根据本发明的一实施例的第六种喷头的俯视图；

图11是根据本发明的一实施例的第七种喷头的俯视图；

图12是根据本发明的一实施例的第八种喷头的俯视图；

图13是根据本发明的一实施例的第九种喷头的俯视图；

图14是根据本发明的一实施例的第十种喷头的俯视图；

图15是根据本发明的一实施例的回吸模块的结构示意图。

图中：1、喷墨打印系统；10、喷头；11、第一出液通道；12、第一出液口；20、除膜单元；21、第二出液通道；22、第二出液口；23、回吸通道；24、回吸口；30、出液模块；31、第一溶液存储单元；32、第二溶液存储单元；40、回吸模块；41、电磁阀；42、分离装置；43、负压腔；44、管道；45、负压装置；50、控制模块；60、运动模块。

具体实施方式

下面，结合具体实施方式，对本发明做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

在本发明的描述中，需要说明的是，对于方位词，如有术语“中心”、“横向”、“纵向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本发明的具体保护范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

如图2到图14所示的喷头10包括第一出液通道11、第一出液口12以及除膜单元20，第一出液口12连通第一出液通道11，除膜单元20设有第二出液通道21、第二出液口22、回吸通道23和回吸口24，第二出液口22连通第二出液通道21，回吸口24连通回吸通道23。从而，喷头10兼具打印和除膜功能，不影响打印的基础上，得以快速对有缺陷的膜层进行清洗，及时修复，不需要额外地除膜装置。

在一些实施例中，除膜单元20包括至少一个第二出液口22和至少一个回吸口24，各回吸口24和各第二出液口22相邻设置。也就是说，各个第二出液口22连通相应的第二出液通道21，各个回吸口24连通相应的回吸通道23，除膜单元20得以设置多组，各组除膜单元20中由一个第二出液口22和一个回吸口24组成，或各组除膜单元20由两个第二出液口22和一个回吸口24组成，或各组除膜单元20由一个第二出液口22和两个回吸口24组成，除膜单元20中的第二出液口22数量和回吸口24数量可以根据清洗速度和回吸速度的控制进行调整，不限于此。

在一些实施例中，第二出液口22和回吸口24成对地排列于喷头10的一部分区域，第一出液口12排列于喷头10的剩余部分区域。也就是说，每组的第二出液口22和回吸口24始终保持相邻，便于回吸口24对第二出液口22喷出的溶剂及时进行回吸，以免溶解正常膜层。

在一些优选实施例中，第二出液口22和回吸口24位于喷头10的外围区域，双行或双列地位于第一出液口12的外侧，第二出液口22和回吸口24相间隔排列。其中，第一出液口12、第二出液口22以及回吸口24为点阵排列结构，第一出液口12的实际数量一般为上百个，相应地，第二出液口22和回吸口24的排列数量大于图2～14所示，为了便于描述，对图2～图14的喷头10进行了图形简化，因而，在一些实施例中，第二出液口22和回吸口24双行排列指的是至少成对的两行排列，不单指两行，第二出液口22和回吸口24双列排列指的是至少成对的两列排列，不单指两列。从而，除膜单元20组数、第一出液口12数量、第二出液口22数量以及回吸口24数量不受具体实施例限制。

在一些实施例中，第一出液口12与回吸口24的高度差为0～200μm。

在一些优选实施例中，第一出液口12和第二出液口22相一致，第二出液口22高于回吸口24，第二出液口22与回吸口24的高度差为100～150μm，有效防止第二溶液溢出，实现精确定位回吸。

如图1所示的一种喷墨打印系统1，包括上述任一的喷头10。

喷墨打印系统1进一步包括：出液模块30、回吸模块40以及控制模块50，出液模块30包括第一溶液存储单元31和第二溶液存储单元32，第一出液通道11连接第一溶液存储单元31，第二出液通道21连接第二溶液存储单元32；回吸模块40包括电磁阀41和负压腔43，电磁阀41连接回吸通道23和负压腔43，电磁阀41得以控制回吸通道23回吸溶解液；控制模块50分别连接出液模块30和回吸模块40，控制模块50向出液模块30提供出液信号，使得第一溶液存储单元31中的第一溶液进入第一出液通道11，或第二溶液存储单元32中的第二溶液进入第二出液通道21，控制模块50向电磁阀41提供回吸信号，得以打开或关闭电磁阀41。

在一些实施例中，喷墨打印系统1进一步包括运动模块60，运动模块60分别通过电信号与控制模块50连接，和机械连接的方式连接喷头10，控制模块50得以控制运动模块60将喷头10定位。

在一些实施例中，回吸模块40进一步包括分离装置42和管道44，管道44连接回吸通道23、电磁阀41和分离装置42，分离装置42内形成负压腔43，分离装置42外接负压装置45，如连接真空泵。其中，分离装置42用于存储溶解液，并分离回吸物中的气体和液体，便于液体回收和利用，如图15所示。

在一些实施例中，喷头10为压电式喷头，第一溶液存储单元31中的第一溶液包括成膜溶质，第二溶液和成膜溶质得以相溶解，回吸通道23用于回吸溶解液，分离装置42用于存储溶解液，并分离回吸物中的气体和液体。

一种基于如上任一喷墨打印系统1的基板处理方法，包括步骤：

S1移动喷墨打印系统1的喷头10至基板的目标区域上方，目标区域内有第一溶液形成的膜层，目标区域为具有缺陷的区域；

S2通过喷头10的第二出液口22向目标区域喷出第二溶液，溶解目标区域中的膜层，产生溶解液；

S3通过喷头10的回吸口24回吸溶解液，动态地去除基板目标区域中的膜层。

其中，“动态地去除”是指第二溶液对膜层的溶解(或者说第二溶液的出液)和回吸口24的回吸是一个并行或者交替动态的过程，比如同时喷出和回吸，或者喷出后间隔一定时间再回吸，有利于实现除膜的同时，避免过多的第二溶液溢出至非目标区域。

在一些实施例中，基板包括多个子区域，喷墨打印系统1可选择地打印或修复各个子区域。由于基板由多个子区域组成，子区域打印完成后再进行组装，通过喷墨打印系统1得以及时对有缺陷的子区域进行除膜修复，实现在不同子区域上的喷墨打印和基板修复的同步进行，减少产品的生产时间，不需要增加额外地除膜设备，也不需要对整个基板进行除膜再打印。

在一些实施例中，步骤S2包括步骤：

S21向喷墨打印系统1的出液模块30发出第二溶液的出液信号；

S22出液模块30中的第二溶液存储单元32向喷头10的第二出液通道21提供第二溶液；

S23从喷头10的第二出液口22向目标子区域喷出第二溶液，第二溶液落到目标子区域的膜层上，第一溶液形成的膜层被溶解到第二溶液中。

在一些实施例中，步骤S3包括步骤：

S31向喷墨打印系统1的回吸模块40发出回吸信号；

S32打开回吸模块40中的电磁阀41，连通回吸通道23和负压腔43；

S33回吸通道23持续吸走溶解液。

在一些实施例中，步骤S3比步骤S2预先进行启动，如在第二出液口22喷出第二溶液之前的0.1s，回吸口24启动回吸，有效防止第二溶液溢到其他正常膜层区域。

在一些实施例中，喷头10与基板表面的距离为40～3000μm，第二溶液的下落速度为0.1～0.5mL/s。优选地，喷头10与基板表面的距离为500～1000μm，若距离过小，喷头10喷出的液滴还未形成滴状就过早与基板接触，导致喷头10喷出的液滴体积难以控制，同时污染喷头10，若距离过大，气流对下落过程中液滴下落的位置影响较大。其中，通过脉冲信号得以控制喷头10的振动得以有效地控制下落液滴频率，选不同类型的喷嘴，还可以控制液滴的大小。如控制第二溶液以每秒0.1～0.5mL/s的液滴速度下落，只要负压保持在5000Pa以下，如通过机械泵将负压保持在2000Pa～4000Pa，在动态清洗时，第二溶液则不会溢出像素区域，针对不同的膜层，如果第二溶液下滴速度不变，回吸口24负压保持不变，对于不同膜层的清洗时间有所差异，一般不超过2分钟，相比现有的全部清洗和整副重新打印，有效节省生产时间，提高生产效率。

在一些实施例中，基于喷墨打印的基板处理方法进一步包括步骤：S4重新打印，在步骤S3回吸完溶解液后，目标区域中的膜层被清除，喷头10通过出液模块30的第一溶液存储单元31向目标区域重新进行喷墨打印，修复基板中的各个目标区域。

实施例1

如图2和3所示的是第一种喷头10结构，喷头10为压电式喷头10，喷头10的除膜单元20位于第一出液口12的外侧，第二出液口22排列于第一出液口12和回吸口24之间，第一出液口12和第二出液口22高于回吸口24，第一出液口12和回吸口24的高度差为100μm，第二出液口22和回吸口24分别左、右平行排列。其中，回吸口24和基板表面之间的距离为60μm。

当喷墨打印系统11进行打印工作时，控制模块50控制运动模块60将喷头10移动至待打印位置，控制模块50控制出液模块30的第一溶液存储单元31向喷头10的第一出液通道11输送第一溶液，第一溶液从第一出液口12喷出，第一溶液包含溶剂和成膜溶质，第一溶液在基板上铺开，除去第一溶液的溶剂在基板上形成膜层，膜层可以为有机膜，也可以为无机膜。

当检测到基板打印错误时，如通过自动光学检测(AOI)设备，将大量拍摄像素图片与设置好的认为合格的像素图片进行对比来判断子区域的像素是否有缺陷，检测到有缺陷时，喷墨打印系统11对有缺陷像素的子区域进行修复。处理方法包括以下步骤：

(1)将喷头10在运动模块60的X、Y导轨移动下，移到指定需要清洗的目标区域膜层正上方，喷头10下降到距基板50μm左右的高度，控制模块50控制出液模块30的第二溶液存储单元32向喷头10的第二出液通道21输送第二溶液，第二出液口22向目标区域喷出第二溶液，第二溶液的下落速度为0.3mL/s，其中，第二溶液落到指定位置的膜层上，得以溶解第一溶液形成的膜层，第二溶液可以与第一溶液中的溶剂一致，或是对其他可以溶解膜层材料的溶液或溶剂；

(2)运行回吸模块40，通过正确计算，控制模块50在指令喷出第二溶液之前，先指令控制电磁阀41开关来实现正确定位回吸，连通回吸通道23和负压腔43；

(3)随着第二溶液从第二出液口22定向喷出，相邻的回吸口24吸走第二溶液，形成一个动态平衡，不断地对目标区域的膜层进行定向冲洗，动态地去除目标区域基板的膜层，而不会使第二溶液流到其他地方去，其中，随着运动模块60的X、Y导轨的精确移动，可以实现由点到面可选择性地去除指定位置的膜层，也可以实现去除某个有缺陷的像素上的膜层；

(4)回吸口24的回吸物通过回吸通道23和管道44进入分离装置42，分离装置42得以对回吸物中的气体和液体进行分离，进而存储废液；

(5)在回吸完溶解液后，目标区域中的膜层被清除，喷头10通过出液模块30的第一溶液存储单元31向目标区域重新进行喷墨打印，及时修复基板中的各个目标区域，大大提高修复效率。

其中，控制模块50分别通过脉冲信号的连接方式控制喷头10中的第一溶液是否出液、第二溶液是否出液和电磁阀41开关，分别可选择地控制第一溶液或第二溶液的喷出，以及开启或关闭回吸操作。

实施例2

如图4和图5所示的是第二种喷头10结构，喷头10的除膜单元20双列地位于第一出液口12的左侧，第回吸口24排列于第一出液口12和第二出液口22之间，第一出液口12、第二出液口22与回吸口24的高度相一致，第二出液口22和回吸口24分别左、右平行排列。

实施例3

如图6和图7所示的是第三种喷头10结构，喷头10的除膜单元20位于第一出液口12的外侧，回吸口24和第二出液口22分别上、下平行排列，上排的回吸口24位于同排的第一出液口12和第二出液口22之间，下排的第二出液口22位于同排的第一出液口12和回吸口24之间，第一出液口12、第二出液口22与回吸口24的高度相一致。

实施例4

如图8所示的是第四种喷头10结构，喷头10的除膜单元20位于第一出液口12的上侧，第二出液口22和回吸口24错位成对排列，除膜单元20可分为多组，每组的除膜单元20中包括一个第二出液口22和一个回吸口24，第一排的除膜单元20和第二排的除膜单元20错位设置，各排的除膜单元20按照第二出液口22、回吸口24的顺序排列，反之亦然，使得各个第二出液口22的周围至少设置有两个回吸口24，便于进行回吸操作。

实施例5

如图9所示的是第五种喷头10结构，喷头10的除膜单元20单列地位于第一出液口12的左侧，除膜单元20设有两组，除膜单元20从上至下依次按照第二出液口22、回吸口24的顺序排列，反之亦然。

实施例6

如图10所示的是第六中喷头10结构，喷头10的除膜单元20双列地位于第一出液口12的左侧，除膜单元20设有四组，各列的除膜单元20从上至下分别按照回吸口24、第二出液口22的顺序依次排列，也可以是一列按照回吸口24、第二出液口22的顺序依次排列，另一列按照第二出液口22、回吸口24的顺序依次排列。

实施例7

如图11所示的是第七种喷头10结构，喷头10的除膜单元20双排地位于第一出液口12的上侧，各排的除膜单元20平行排列，除膜单元20设有六组，各排的除膜单元20从左至右分别按照第二出液口22、回吸口24的顺序依次排列，也可以是一排按照回吸口24、第二出液口22的顺序依次排列，另一列按照第二出液口22、回吸口24的顺序依次排列。

实施例8

如图12所示的是第八种喷头10结构，喷头10的除膜单元20双列地位于第一出液口12的右侧，各列的除膜单元20平行排列，除膜单元20设有四组，第二出液口22位于第一出液口12和回吸口24之间。

实施例9

如图13所示的是第九种喷头10结构，喷头10的除膜单元20位于喷头10的右上角，除膜单元20设有两组，第一出液口12设有四排，第二出液口22和回吸口24分别左、右排列。

实施例10

如图14所示的是第十中喷头10结构，喷头10的除膜单元20三列地位于第一出液口12之间，除膜单元20设有四组，每组的除膜单元20中由两个第二出液口22和一个回吸口24组成，回吸口24位于两个第二出液口22的中间，通过中间的回吸口24同时回吸第二溶液，适用于基板的大面积清洗。

值得一提的是，实施例2至10是对喷头10的优选变形结构说明，在实施例1～10中的除膜单元20组数、第二出液口22和回吸口24的排列顺序不受上述具体实施例限制，每组第二出液口22、回吸口24的数量以及第一出液口12的数量不受上述具体实施例限制，除膜单元20在喷头10中排列的位置，如左侧、右侧、上排、下排、中间、左上角、右下角等不受上述具体实施例限制。只要保证每组除膜单元20中包括至少一个第二出液口22和至少一个回吸口24，以及保证第一出液口12的数量足够其喷墨打印。其中，实施例1～10中第一出液口12和回吸口24的高度差不受上述具体实施例限制。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

以上描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (13)

1.一种喷头，其特征在于，包括第一出液通道、第一出液口以及除膜单元，所述第一出液口连通所述第一出液通道，第一出液通道输送第一溶液，所述除膜单元设有第二出液通道、第二出液口、回吸通道和回吸口，所述第二出液口连通所述第二出液通道，第二出液通道输送第二溶液，第二溶液与第一溶液得以相溶解，所述回吸口连通所述回吸通道，各所述回吸口和各所述第二出液口相邻设置。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述第二出液口和所述回吸口成对地排列于所述喷头的一部分区域，所述第一出液口排列于所述喷头的剩余部分区域。

3.根据权利要求1或2所述的喷头，其特征在于，所述第一出液口与所述回吸口的高度差为0~200μm。

4.根据权利要求1或2所述的喷头，其特征在于，所述第二出液口和所述第一出液口高于所述回吸口，所述第一出液口与所述回吸口的高度差为100~150μm。

5.一种喷墨打印系统，其特征在于，包括如权利要求书1~4中任一所述的喷头。

6.根据权利要求5所述的喷墨打印系统，其特征在于，其进一步包括：

出液模块，所述出液模块包括第一溶液存储单元和第二溶液存储单元，所述第一出液通道连接所述第一溶液存储单元，所述第二出液通道连接所述第二溶液存储单元；

回吸模块，所述回吸模块包括电磁阀和负压腔，所述电磁阀连接所述回吸通道和所述负压腔，所述电磁阀得以控制所述回吸通道回吸溶解液；

控制模块，所述控制模块分别连接所述出液模块和所述回吸模块，所述控制模块向所述出液模块提供出液信号，使得所述第一溶液存储单元中的第一溶液进入所述第一出液通道，或所述第二溶液存储单元中的第二溶液进入所述第二出液通道，所述控制模块向所述电磁阀提供回吸信号，得以打开或关闭所述电磁阀。

7.根据权利要求6所述的喷墨打印系统，其特征在于，其进一步包括运动模块，所述运动模块连接所述控制模块和所述喷头，所述控制模块得以控制所述运动模块将所述喷头定位。

8.根据权利要求7所述的喷墨打印系统，其特征在于，所述回吸模块进一步包括分离装置和管道，所述管道连接所述回吸通道、电磁阀和所述分离装置，所述分离装置内形成所述负压腔。

9.一种基于如权利要求5~8中任一所述的喷墨打印系统的基板处理方法，其特征在于，包括步骤：

S1移动所述喷墨打印系统的喷头至基板的目标区域上方，所述目标区域内有第一溶液形成的膜层，所述目标区域为具有缺陷的区域；

S2通过所述喷头的第二出液口向所述目标区域喷出第二溶液，溶解所述目标区域中的所述膜层，产生溶解液；

S3通过所述喷头的回吸口回吸所述溶解液，动态地去除所述目标区域中的所述膜层。

10.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于，所述基板包括多个子区域，所述喷墨打印系统可选择地处理至少一个所述子区域。

11.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于，步骤S2包括步骤：

S21向所述喷墨打印系统的出液模块发出所述第二溶液的出液信号；

S22所述出液模块中的第二溶液存储单元向所述喷头的第二出液通道提供所述第二溶液；

S23从所述喷头的第二出液口向目标子区域喷出所述第二溶液，所述第二溶液落到目标子区域的膜层上，所述膜层被溶解到所述第二溶液中。

12.根据权利要求9所述的处理方法，其特征在于，步骤S3包括步骤：

S31向所述喷墨打印系统的回吸模块发出回吸信号；

S32打开所述回吸模块中的电磁阀，连通所述回吸通道和负压腔；

S33所述回吸通道吸走所述溶解液。

13.根据权利要求9~12中任一所述的处理方法，其特征在于，进一步包括步骤：S4重新打印，在步骤S3回吸完溶解液后，所述目标区域中的膜层被清除，所述喷头通过出液模块的第一溶液存储单元向所述目标区域重新进行喷墨打印，修复所述基板中的各个所述目标区域。

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