KR101053144B1 - 처리액 도포 장치 및 방법 - Google Patents

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세메스 주식회사
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Abstract

처리액 도포 장치는 기판 지지부재, 및 제1 및 제2 도포 유닛을 구비한다. 기판 지지부재는 대상물이 안착되고, 제1 방향으로 수평 이동이 가능하다. 제1 도포 유닛은 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비한다. 제2 도포 유닛은 상기 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 상기 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비하고, 상기 제1 방향으로 상기 제1 도포유닛과 서로 마주하게 설치된다. 여기서, 상기 제1 도포 유닛의 헤드 어셈블리와 상기 제2 도포 유닛의 헤드 어셈블리는 이동 영역이 서로 다르다.

Description

처리액 도포 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF COATING TREATMENT SOLUTION}
본 발명은 처리액을 도포하는 처리액 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 도포하는 처리액 도포 장치 및 방법에 관한 것이다.
영상을 표시하는 액정표시장치는 다양한 박막들이 증착된 두 장의 기판 및 두 장의 기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 일반적으로, 각 기판에 형성된 박막들은 다양한 형상의 패턴을 가지므로, 패턴의 정밀도를 위해 증착 공정 및 사진 식각 공정을 통해 형성된다. 이와 같이, 하나의 박막을 형성하기 위해서는 고가의 마스크가 사용되는 사진 식각 공정이 이용되므로, 제조 원가가 상승하고, 제조 공정 시간이 증가한다.
최근, 이러한 박막 형성 방법의 대안으로 잉크젯 프린팅 방식을 이용한 박막 형성 방법이 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 방식은 기판의 특정 위치에 약액을 도포하여 박막을 형성하므로, 별도의 식각 공정을 필요로 하지 않는다. 이러한 잉크젯 프린팅 방식은 액정표시장치의 컬러필터나 배향막 등 다양한 박막을 형성하는 데 사용될 수 있다.
일반적으로, 잉크젯 프린트 장치는 기판이 안착되는 척, 기판 상에 약액을 도포하는 도포 유닛, 및 도포 유닛을 세정하는 세정 유닛을 구비한다. 도포 유닛은 약액을 토출하는 다수의 헤드를 구비하고, 대형 갠트리(gantry)에 설치되어 갠트리의 길이 방향으로 수평 이동하면서 기판에 약액을 도포한다. 세정 유닛은 척의 일측에 구비되고, 블레이드 세정부와 와이퍼 세정부를 포함한다. 블레이드 세정부는 각 헤드의 약액 토출면에 묻은 약액을 긁어내고, 와이퍼 세정부는 약액 토출면과 접촉하여 약액 토출면에 있는 약액을 닦아낸다.
이와 같이, 잉크젯 프린트 장치는 하나의 도포 유닛과 하나의 세정 유닛을 구비하고, 여러개의 헤드가 하나의 도포 유닛에 구비된다. 특히, 헤드 세정시, 모든 헤드를 동시에 세정할 수 없으므로, 세정 시간이 길어지고, 제일 먼저 세정된 헤드와 마지막에 세정된 헤드 간에 시간차가 크다. 이로 인해, 세정 후 헤드들 간의 노즐 건조 상태가 달라지므로, 젯팅 재현성이 저하되어 도포 불량이 발생한다. 또한, 제일 먼저 약액을 도포하는 헤드와 마지막으로 약액을 도포하는 헤드간의 대기 시간이 증가하므로, 도포 공정에 소요되는 시간이 증가한다.
본 발명의 목적은 공정 시간을 단축할 수 있는 수 있는 처리액 도포 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 처리액 도포 장치를 이용하여 처리액을 도포하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 처리액 도포 장치는 기판 지지부재, 및 제1 및 제2 도포 유닛을 구비한다.
기판 지지부재는 대상물이 안착되고, 제1 방향으로 수평 이동이 가능하다. 제1 도포 유닛은 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비한다. 제2 도포 유닛은 상기 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 상기 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비하고, 상기 제1 방향으로 상기 제1 도포유닛과 서로 마주하게 설치된다. 여기서, 상기 제1 도포 유닛의 헤드 어셈블리와 상기 제2 도포 유닛의 헤드 어셈블리는 이동 영역이 서로 다르다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 처리액 도포 장치는 기판 지지부재, 및 제1 및 제2 도포 유닛을 구비한다.
기판 지지부재는 대상물이 안착되고, 제1 방향으로 수평 이동이 가능하다. 제1 및 제2 도포 유닛은 서로 나란하게 배치되고, 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 상면에 처리액을 도포한다. 상기 제1 및 제2 도포유닛 각각은, 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 수평 이동이 가능한 헤드 이동부, 및 상기 헤드 이동부에 고정 설치되고, 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 상면에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 처리액 도포 방법은 다음과 같다. 먼저, 대상물을 기판 지지부재에 안착시킨다. 이어, 제1 및 제2 도포유닛이 서로 다른 이동 영역 내에서 이동하면서 상기 대상물의 상면에 처리액을 도포한다. 처리액을 도포하는 과정은 다음과 같다. 먼저, 제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재 중 어느 하나를 이동시켜 제1 및 제2 도포유닛을 상기 처리액이 도포될 상기 대상물 상의 도포 지점에 위치시킨다. 상기 제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재 중 어느 하나가 수평 이동하는 동안, 상기 제1 및 제2 도포 유닛이 동시에 상기 대상물의 상면에 처리액을 도포한다. 여기서, 상기 제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재는 서로 수직하는 방향으로 이동하도록 제공된다.
상술한 본 발명에 따르면, 제1 및 제2 도포 유닛은 대상물 상면의 서로 다른 영역에 처리액을 도포한다. 이에 따라, 처리액 도포 장치는 처리액 도포에 소요되는 공정 시간을 단축시키고, 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 제1 도포 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부가 처리액을 도포하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 도 3에 도시된 제1 및 제2 도포 유닛이 처리액을 토출하는 과정을 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 제1 및 제2 도포 유닛이 처리액을 도포하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 8은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부의 다른 일례를 나타낸 평면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이하에서는 처리액 도포 장치로서, 액정표시장치의 컬러필터를 형성하기 위한 잉크젯 프린트 장치를 일례로하여 설명하나, 처리액 도포 장치는 컬러필터 이외에 다양한 박막들을 형성할 수 있으며, 액정표시장치 이외의 다양한 장치에 박막을 형성하거나 특정 패턴을 형성하는 데 다양하게 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1을 참조하면, 박막 형성 장치(1000)는 잉크젯 프린트부(101), 처리액 공급부(200), 로더부(300), 언로더부(400), 인덱서부(500), 베이크부(600), 및 메인 제어부(700)를 포함할 수 있다.
잉크젯 프린트부(101)는 기판 상에 처리액, 예컨대, RGB 잉크들을 도포하여 기판 상에 컬러필터를 형성한다. 이 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 RGB 잉크들을 도포하여 컬러필터를 형성한다. 그러나, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 RGB 잉크들 이외에 다양한 종류의 처리액을 도포할 수 있으며, 이에 따라, 처리액에 대응하는 박막, 예컨대, 배향막 등 다양한 박막들을 기판 상에 형성할 수 있다.
상기 잉크젯 프린트부(101) 일측에 설치된 상기 메인 제어부(700)는 상기 잉크젯 프린트부(101)의 공정 조건을 제어하며, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 상기 메인 제어부(700)의 제어에 따라 도포 공정을 진행한다.
상기 잉크젯 프린트부(101)의 일측에는 상기 처리액 공급부(200)가 설치된다. 상기 처리액 공급부(200)는 상기 잉크젯 프린트부(101)에서 기판에 도포할 처리액을 저장하고, 상기 처리액을 상기 잉크젯 프린트부(101)에 제공한다. 이 실시예에 있어서, 상기 처리액 공급부(200)는 상기 RGB 잉크들을 서로 혼색되지 않게 개별 저장한다.
상기 잉크젯 프린트부(101)의 타측에는 외부로부터 공정 대기중인 기판을 제공받아 적재하는 상기 로더부(300)와 상기 박막 형성 장치(1000)에서 공정 완료된 기판을 적재하는 상기 언로더부(400)가 나란히 설치된다.
상기 로더부(300) 및 상기 언로더부(400)는 상기 인덱서부(500)의 일측에 설치되며, 상기 로더부(300) 및 상기 언로더부(400)는 상기 인덱서부(500)를 사이에두고 상기 잉크젯 프린트부(101)와 마주한다. 상기 인덱서부(500)는 상기 잉크젯 프린트부(101), 상기 로더부(300), 상기 언로더부(400), 및 베이크부(600)와 연통되며, 상기 잉크젯 프린트부(101), 상기 로더부(300), 상기 언로더부(400), 및 베이크부(600) 간에 기판을 이송한다.
구체적으로, 상기 인덱서부(500)는 기판을 이송하는 이송 로봇(미도시)을 구비하고, 상기 이송 로봇은 상기 로더부(300)로부터 기판을 인출하여 상기 잉크젯 프린트부(101)로 이송한다. 상기 잉크젯 프린트부(101)에서 상기 기판의 RGB 잉크 도포가 완료되면, 상기 이송 로봇은 상기 잉크젯 프린트부(101)로부터 컬러필터가 형성된 기판을 인출하여 상기 베이크부(600)로 이송한다. 상기 베이크부(600)는 인입된 기판을 가열하여 상기 기판에 형성된 박막, 즉, 컬러필터를 경화시키고, 이로써, 박막 형성 장치(1000)에 의한 박막 형성 공정이 완료된다. 상기 이송 로봇은 상기 베이크부(600)로부터 공정 완료된 기판을 인출한 후 상기 언로더부(400)로 이송한다. 상기 언로더부(400)에 적재된 기판은 반송 장치에 의해 외부로 반출된다.
이상에서는 박막 형성 장치(1000)의 구성에 대해 개략적으로 설명하였으며, 이하, 도면을 참조하여 상기 잉크젯 프린트부(101)에 대해 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 측면도이며, 도 4는 도 2에 도시된 제1 도포 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 스테이지(110), 기판 지지부(120), 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180), 및 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 스테이지(110)에는 상기 스테이지(110)의 일 변을 따라 제1 방향(D1)으로 연장된 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)이 설치된다. 이 실시예에 있어서, 스테이지(110)는 두 개의 중앙 레일(111a, 111b)을 구비하나, 중앙 레일(111a, 111b)의 개수는 처리액이 도포될 기판(10)의 크기에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)은 상기 제2 방향(D2)으로 서로 이격되어 평행하게 설치되며, 상기 제1 방향(D1)으로 연장된 기판(10)의 일 변에 상응하는 길이를 갖는다. 상기 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)에는 상기 기판 지지부(120)가 결합된다.
상기 기판 지지부(120)는 기판(10)을 지지하고, 상기 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)을 따라 상기 제1 방향(D1)으로 왕복 수평 이동할 수 있다. 상기 기판 지지부(120)는 상기 기판(10)이 안착되는 지지부(121), 및 상기 지지부(121)의 하면에 결합된 두 개의 이동축들(122)을 포함할 수 있다. 도포 공정이 진행되는 동안, 상기 기판(10)은 상기 지지부(121)에 고정된다.
상기 이동축들(122)은 상기 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)에 결합되고, 상기 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)을 따라 상기 제1 방향(D1)으로 수평 이동할 수 있다. 이 실시예에 있어서, 이동축들(122)의 개수는 중앙 레일(111a, 111b)의 개수와 동일하며, 중앙 레일(111a, 111b)의 개수에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.
상기 이동축들(122)은 상하 방향으로 이동 가능하며, 상기 이동축들(122)의 상하 이동에 따라 상기 지지부(121) 상면의 수직 위치가 조절된다. 또한, 상기 이동축들(122)은 중심축의 기준으로 회전할 수 있으며, 이에 따라, 전에 의해 상기 지지부(121) 또한 회전한다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 상기 기판(10)의 장방향으로 진행하는 도포 공정과 상기 기판(10)의 단방향으로 진행하는 도포 공정이 모두 가능하므로, 상기 기판(10)의 화소 크기 및 형태에 따라 상기 기판(10)의 위치를 조절하여 도포 공정의 진행 방향을 선택할 수 있다.
상기 스테이지(110)이 상부에는 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)이 설치되고, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)은 상기 기판 지지부(120)에 안착된 기판(10)의 상면에 처리액을 도포한다. 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)은 상기 제1 방향(D1)으로 서로 마주하게 배치된다.
구체적으로, 상기 제1 도포 유닛(150)은 상기 제1 방향(D1)과 수직하는 제2 방향(D2)으로 수평 이동하면서 상기 처리액을 도포하는 도포부(130), 및 상기 도포부(130)를 상기 제2 방향(D2)으로 이동시키는 이동 유닛(140)을 포함할 수 있다.
상기 도포부(130)는 다수의 헤드 어셈블리(131, 132) 및 케이스(131)를 포함할 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 도포부(130)는 두 개의 헤드 어셈블리(131, 132)를 구비하나, 상기 헤드 어셈블리(131, 132)의 개수는 공정 효율 및 헤드 어셈블리(131, 132)의 크기에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.
상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 상기 제1 방향(D1)으로 서로 나란하게 배치된다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 서로 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하, 상기 제1 헤드 어셈블리(131)의 구성에 대해 구체적으로 설명하고, 상기 제2 헤드 어셈블리(132)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 제1 헤드 어셈블리(131)는 상기 제2 방향(D2)으로 나란하게 배치된 상기 제1, 제2 및 제3 헤드(131a, 131b, 131c)를 구비한다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 헤드 어셈블리(131)는 세 개의 헤드(131a, 131b, 131c)를 구비하나, 상기 헤드(131a, 131b, 131c)의 개수는 공정 효율 및 처리액의 종류 개수에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.
상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c) 각각은 상기 기판(10)의 상면에 처리액을 토출하는 다수의 노즐을 구비하고, 자신의 중심축을 기준으로 회전할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c)는 서로 다른 색을 갖는 잉크를 토출하여 상기 기판 상에 컬러필터를 형성한다. 구체적으로, 상기 제1 헤드(131a)는 빨간색을 갖는 R 잉크를 토출하고, 상기 제2 헤드(131b)는 초록색을 갖는 G 잉크를 토출하며, 상기 제3 헤드(131c)는 파란색을 갖는 B 잉크를 토출한다. 여기서, 상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c)의 잉크 배열는 상기 컬러필터의 색화소 배열에 따라 변경될 수 있다.
상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c)는 각각 개별 구동이 가능하다. 이에 따라, 상기 처리액 도포 공정 시, 상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c)는 동시에 잉크를 토출할 수도 있고, 한번에 어느 하나의 헤드(131a, 131b, 131c)에서만 잉크를 토출할 수도 있다. 또한, 상기 제1 내지 제3 헤드(131a, 131b, 131c)가 교대로 잉크를 토출할 수도 있다.
마찬가지로, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132) 또한 개별 구동이 가능하다. 이에 따라, 상기 처리액 도포 공정 시, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)가 동시에 구동되어 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)로부터 잉크가 동시에 토출될 수도 있고, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)가 교대로 잉크를 토출할 수도 있다. 또한, 제1 또는 제2 헤드 어셈블리(131, 132)를 먼저 구동시켜 잉크를 도포한 후 해당 헤드 어셈블리에 공급된 잉크가 모두 소진되면, 나머지 헤드 어셈블리를 구동시켜 잉크를 도포할 수도 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 상기 케이스(133)에 고정 설치된다. 상기 케이스(133)에는 헤드 레일들이 설치될 수 있으며, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 상기 헤드 레일들에 결합되어 상기 케이스(133) 내에서 상기 제2 방향(D2)으로 왕복 수평 이동할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)의 각 헤드들(131a, 131b, 131c)은 결합된 상기 헤드 레일들을 따라 개별 이동이 가능하다.
상기 케이스(133)는 상기 이동 유닛(140)에 결합된다. 상기 이동 유닛(140)은 상기 케이스(133)가 고정 설치된 헤드 이동부(141), 및 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 가이드 레일(142)을 포함할 수 있다. 상기 헤드 이동부(141)는 상기 가이드 레일(142)에 결합되어 상기 가이드 레일(142)을 따라 왕복 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 헤드 이동부(141)에 고정 설치된 상기 도포부(130)가 상기 제2 방향(D2)으로 수평 이동하면서 상기 기판(10)에 상기 처리액을 도포할 수 있다. 이 실시예에 있어서, 상기 가이드 레일(142)은 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 상기 스테이지(110)의 일 변과 거의 동일한 길이를 갖는다.
상기 도포부(130)는 상기 기판 지지부재(120)에 안착된 상기 기판(10)의 처리액 도포 상태를 촬상하는 촬상부(134)를 더 포함할 수 있다. 상기 촬상부(134)는 상기 케이스(133)에 고정 설치되고, 상기 헤드 이동부(141)의 수평 이동에 의해 상기 제2 방향(D2)으로 이동하면서 상기 기판(10)의 상면을 촬상한다. 이 실시예에 있어서, 상기 촬상부(134)는 상기 케이스(133)에 고정 설치되나, 상기 헤드 이동부(141)에 고정 설치될 수도 있다. 또한, 이 실시예에 있어서, 상기 촬상부(134)는 측면에서 볼 때 상기 제1 헤드 어셈블리(131)와 상기 제2 헤드 어셈블리(132) 사이에 배치되나, 상기 촬상부(134)의 위치는 이에 국한되지 않는다. 상기 촬상부(134)부에서 촬상된 이미지는 제어부(20)로 전송된다. 상기 제어부(20)는 촬상부(134)에서 촬상한 이미지를 통해 상기 기판(10)의 처리액 도포 불량 및 이물을 감지한다.
또한, 상기 도포부(130)는 상기 기판 지지부재(120)에 안착된 기판(10)과 상기 처리액이 토출되는 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)의 토출면 간의 거리를 측정하는 센서부(135)를 더 포함할 수 있다. 도포 공정시, 상기 제어부(20)는 상기 기판(10)의 상면과 상기 토출면을 적정 거리로 이격시키기 위해, 상기 센서부(135)로부터 수신된 측정값에 따라 상기 기판 지지부재(120)의 회전축(122)을 수직 이동시켜 상기 기판(10)이 안착된 상기 지지부(120)의 수직 위치를 조절한다.
한편, 상기 제2 도포 유닛(180)은 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 임의의 기준선을 중심으로 상기 제1 도포 유닛(150)과 대칭되게 배치된다. 이 실시예에 있어서, 상기 제2 도포 유닛(180)은 상기 제1 도포 유닛(150)과 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 상기 제2 도포 유닛(180)의 구성에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 제2 도포 유닛(180)은 상기 처리액을 도포하는 도포부(160) 및 상기 도포부(160)를 상기 제2 방향(D2)으로 이동시키는 이동 유닛(170)을 포함할 수 있다. 상기 이동 유닛(170)은 상기 도포부(160)와 결합된 헤드 이동부(171), 및 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 가이드 레일(172)을 포함할 수 있다. 상기 헤드 이동부(171)는 상기 제1 도포 유닛(150)의 헤드 이동부(141)와 별개로 구동 가능하며, 상기 가이드 레일(172)을 따라 상기 제2 방향(D2)으로 왕복 수평 이동한다.
상기 제1 및 제2 도포 유닛(150)은 상기 도포부들(130, 160)의 이동 영역이 서로 다르다. 즉, 상기 제1 도포 유닛(150)의 도포부(130)가 상기 제2 방향(D2)으로 수평 이동할 수 있는 제1 이동 영역과 상기 제2 도포 유닛(180)이 상기 제2 방향(D2)으로 수평 이동할 수 있는 제2 이동 영역이 서로 다르다. 또한, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)은 개별 구동이 가능하다.
이에 따라, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150)은 서로 간섭받지 않으면서 도포 공정을 동시에 진행할 수 있으므로, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 도포 공정 시간을 단축시키고 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 상기 도포 유닛들(150, 180) 중 어느 하나의 도포 유닛에 이상이 발생할 경우, 나머지 하나의 도포 유닛을 이용하여 도포 공정을 진행할 수 있으므로, 설비 운용 효율을 향상시킬 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 지지부(121)의 상면은 상기 제1 방향(D1)으로 나란하게 위치하는 두 개의 절반 영역(HA1, HA2) 중 제1 절반 영역(HA1)이 상기 제1 이동 영역 내에 위치하고, 제2 절반 영역(HA2)은 상기 제2 이동 영역 내에 위치한다.
또한, 이 실시예에 있어서, 상기 촬상부(134)는 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150,180) 각각에 구비되나, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180) 중 어느 하나에만 구비될 수도 있다.
또한, 이 실시예에 있어서, 상기 센서부(135)는 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150,180) 각각에 구비되나, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180) 중 어느 하나에만 구비될 수도 있다.
한편, 상기 스테이지(110)의 상면에서 상기 기판 지지부재(120)의 일측에는 상기 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)이 설치된다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)은 상기 기판 지지부재(120)를 사이에 두고 서로 대칭되게 배치되나, 상기 제1 방향(D1)으로 서로 마주하게 배치될 수도 있다.
상기 제1 세정 유닛(190a)은 상기 제1 도포 유닛(150)의 도포부(130)가 이동하는 상기 제1 이동 영역 내에 위치하고, 상기 제1 도포 유닛(150)을 세정한다. 상기 제2 세정유닛(190b)은 상기 제2 도포 유닛(180)의 도포부(160)가 이동하는 상기 제2 이동 영역 내에 위치하고, 상기 제2 도포 유닛(180)을 세정한다.
이 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)은 서로 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하, 상기 제1 세정 유닛(190a)의 구성에 대해 구체적으로 설명하고, 상기 제2 세정 유닛(190b)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 제1 세정 유닛(190a)은 상기 기판 지지부재(120)의 일측에 설치된 블레이드 유닛(191) 및 상기 제2 방향(D2)으로 상기 블레이드 유닛(191)의 일측에 설치된 와이퍼 유닛(192)을 포함할 수 있다.
상기 블레이드 유닛(191)은 상기 제1 도포 유닛(150)의 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)에 잔류하는 잉크를 긁어내어 제거한다. 구체적으로, 상기 블레이드 유닛(190b)은 상기 각 헤드의 노즐들에 잔존하는 잉크를 수거하여 외부로 배출하는 퍼지 탱크를 구비하고, 상기 퍼지 탱크 상단에는 상기 각 헤드의 노즐들에 잔존하는 잉크를 긁어 내기 위한 블레이드들이 설치된다. 상기 제1 도포 유닛(150)의 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 한 매의 기판에 잉크 도포가 완료되면, 상기 헤드 이동부(141)에 의해 상기 블레이드 유닛(191)의 상부로 이송되고, 상기 노즐들의 토출면이 블레이드들과 인접하게 배치된 상태에서 상기 제2 방향(D2)으로 이동한다. 이때, 상기 블레이드들은 상기 노즐들의 토출면에 잔존하는 잉크와 접촉되고, 표면 장력에 의해 상기 잔류 잉크가 상기 블레이드들의 상단으로 이끌려가 상기 노즐들의 토출면에서 제거된다.
또한, 공정 대기 시간이 길 경우, 각 노즐 내부에 잔류하는 잉크가 응고될 수 있다. 이를 제거하기 위해 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)는 각 노즐 내부에 잔류하는 잉크를 상기 퍼지 탱크에 토출하여 제거한다. 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)가 내부의 잔류 잉크를 토출하면, 상기 블레이드들은 상기 노즐들의 토출면을 세정하는 과정과 동일한 방법으로 각 노즐의 토출면에 묻은 잉크를 제거한다.
상기 퍼지 탱크에는 세정액이 제공될 수도 있다. 상기 세정액은 상기 퍼지 탱크 내벽에 잔류하는 잉크를 상기 퍼지 탱크의 내벽으로부터 분리시켜 잔류 잉크가 외부로 배출되도록 유도한다.
상기 와이퍼 유닛(192)은 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132)의 각 노즐에 묻은 잉크를 닦아내어 제품의 수율을 향상시킨다. 여기서, 상기 와이퍼 유닛(192)은 상기 블레이드 유닛(191)에 의해 1차 세정된 노즐들을 2차 세정할 수도 있고, 상기 블레이드 유닛(191)에 의해 세정되지 않은 노즐들을 세정할 수도 있다.
상기 와이퍼 유닛(192)은 공급 롤러와, 회수 롤러 및 와이퍼(wiper)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 공급 롤러와 상기 회수 롤러는 상기 와이퍼를 통해 연결된다. 상기 와이퍼는 테이프 형상을 갖고, 제1 단부가 상기 공급 롤러에 고정되며, 제2 단부가 상기 회수 롤러에 고정된다. 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(131, 132) 세정시, 상기 와이퍼는 각 노즐의 토출면과 접촉되어 상기 노즐에 잔류하는 잉크를 닦아낸다. 상기 와이퍼는 상기 공급 롤러에 감겨진 상태로 공급되며, 상기 노즐의 세정에 의해 오염된 부분은 상기 회수 롤러에 감겨진다. 즉, 상기 공급 롤러는 오염되지 않은 와이퍼를 제공하고, 상기 회수 롤러는 오염된 와이퍼를 회수한다.
이와 같이, 상기 잉크젯 프린트(101)는 두 개의 세정 유닛(190a, 190b)을 구비하므로, 상기 도포부들(130, 160)에 대한 세정 공정을 동시에 진행할 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 상기 도포부들(130, 160)의 세정 시간을 단축시키고, 제일 먼저 세정된 헤드와 마지막에 세정된 헤드 간의 시간차를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 공정 유휴 시간을 단축시키고, 세정 대기 시간으로 인한 젯팅 불량을 감소시킬 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 상기 기판(10)에 처리액을 도포하는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 5는 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부가 처리액을 도포하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 6은 도 3에 도시된 제1 및 제2 도포 유닛이 처리액을 토출하는 과정을 나타낸 측면도이다.
도 2, 도 5, 및 도 6을 참조하면, 먼저, 기판 지지부(120)의 지지부(121)에 기판(10)을 안착시킨다(단계 S110).
이어, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)이 동시에 상기 처리액, 즉, RGB 잉크를 상기 기판(10)의 상면에 토출하고, 이에 따라, 상기 상기 기판(10)의 상면에 컬러필터가 형성된다(단계 S120).
도 7은 도 5에 도시된 제1 및 제2 도포 유닛이 처리액을 도포하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2, 도 6, 및 도 7을 참조하면, 먼저, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)의 도포부들(130, 160)을 상기 기판 지지부(120)의 상부에 배치시키고, 상기 지지축들(122)을 상하 방향 및 상기 제1 방향(D1)으로 이동시켜 상기 도포부들(130, 160)과 상기 기판(10) 간의 상대적인 위치를 조절한다(단계 S121). 이때, 상기 기판(10)과 상기 도포부들(130, 160)의 토출면 간의 거리는 상기 센서부(135)에서 센싱된 값에 근거하여 조절된다.
이어, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)의 도포부들(130, 160)을 제2 방향(D2)으로 이동시켜 기판(10) 상에서 처리액을 도포할 지점에 위치시킨다(단계 S123).
이어, 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)이 고정된 상태에서 상기 기판 지지부(120)가 제1 및 제2 중앙 레일(111a, 111b)을 따라 이동하여 기판(10)을 제1 방향(D1)으로 이동시키고, 이와 동시에, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)의 도포부들(130, 160)이 상기 처리액을 상기 기판(10)의 상면에 토출한다(단계 S125). 잉크젯 프린트부(101)는 처리액이 기판(10)의 전영역에 도포될 때까지 단계 S123과 단계 S125를 순차적으로 반복한다. 여기서, 기판(10)에 처리액을 처음 도포하는 초기 도포시 단계 S123은 단계 S121에서 함께 이루어질 수 있다.
처리액 도포시, 상기 제1 도포 유닛(150)은 상기 지지부(121)의 제1 절반 영역(HA1)에 처리액을 도포하고, 상기 제2 도포 유닛(180)은 상기 지지부(121)의 제2 절반 영역(HA2)에 처리액을 도포한다. 이와 같이, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)이 상기 기판(10)의 서로 다른 영역에 상기 처리액을 동시에 도포하므로, 공정 시간이 단축된다.
이 실시예에 있어서, 잉크젯 프린트부(101)는 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)을 고정시킨 상태에서 기판(10)을 제1 방향(D1)으로 이동시키면서 처리액을 도포하나, 기판(10)을 고정시킨 상태에서 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)을 제2 방향(D2)으로 이동시켜 처리액을 도포할 수도 있다.
한편, 상기 처리액이 도포되는 동안, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)의 각 촬상부(134)는 상기 도포부들(130, 160)과 함께 상기 제2 방향(D2)으로 이동하면서 상기 기판(10)의 표면을 촬상할 수 있다. 상기 제어부(20)는 각 촬상부(134)에서 촬상된 이미지를 통해 상기 기판(10)의 도포 불량 및 이물 검사를 실시한다. 이에 따라, 상기 처리액의 도포 공정과 함께 상기 도포 불량 검사와 이물 검사가 이루어질 수 있다.
다시, 도 2, 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 기판(10)에 대한 도포 공정이 완료 된 후, 상기 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)이 동시에 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)을 각각 세정한다(단계 S130). 즉, 상기 기판(10)의 도포 공정이 완료되면, 상기 제1 도포 유닛(150)의 도포부(130)는 상기 제1 세정 유닛(190a)의 상부로 이동하고, 상기 제2 도포 유닛(180)의 도포부(160)는 상기 제2 세정 유닛(190b)의 상부로 이동한다. 상기 제1 세정 유닛(190a)이 상기 제1 도포 유닛(150)의 도포부(130)를 세정하는 동안, 상기 제2 세정 유닛(190b)은 상기 제2 도포 유닛(180)의 도포부(160)를 세정한다.
이와 같이, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(150, 180)의 도포부들(130, 160)이 동시에 세정되므로, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 상기 도포부들(130, 160)의 세정 시간을 단축시키고, 제일 먼저 세정된 헤드와 마지막에 세정된 헤드 간의 시간차를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(101)는 공정 유휴 시간을 단축시키고, 세정 대기 시간으로 인한 젯팅 불량을 감소시킬 수 있다.
도 8은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부의 다른 일례를 나타낸 평면도이다.
도 8을 참조하면, 잉크젯 프린트부(102)는 스테이지(110), 기판 지지부(120), 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840), 및 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)을 포함할 수 있다.
상기 잉크젯 프린트부(102)는 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부(101)와 달리 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)이 제2 방향(D2)으로 나란하게 배치되고, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)은 서로 동일한 구조를 갖는다. 이하, 따라서, 상기 제1 도포 유닛(810)의 구성에 대해 구체적으로 설명하고, 상기 제2 도포 유닛(840)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 제1 도포 유닛(810)은 처리액을 도포하는 도포부(130) 및 헤드 이동부(141)을 포함할 수 있다. 상기 도포부(130) 및 상기 헤드 이동부(141)는 도 2에 도시된 도포부(130) 및 헤드 이동부(141)와 동일한 구성을 가지므로, 참조 번호를 병기하고 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 헤드 이동부(141)는 상기 제2 방향(142)으로 연장된 가이드 레일(142)에 결합되고, 상기 가이드 레일(142)을 따라 상기 제2 방향(D2)으로 왕복 수평한다.
제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)은 서로 별개로 구동될 수 있다. 따라서, 도포 공정시, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)은 서로 이동 영역을 다르게 하여 상기 기판(10)의 상면에 동시에 처리액을 토출할 수 있다. 즉, 도포 공정시, 상기 제1 도포 유닛(810)이 상기 제2 방향(D2)으로 수평 이동할 수 있는 제1 이동 영역과 상기 제2 도포 유닛(840)이 상기 제2 방향(D2)으로 수평 이동할 수 있는 제2 이동 영역을 서로 다르게 설정할 수 있다.
이에 따라, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)은 서로 간섭받지 않으면서 도포 공정을 동시에 진행할 수 있으므로, 상기 잉크젯 프린트부(102)는 도포 공정 시간을 단축시키고 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 잉크젯 프린트부(102)는 상기 도포 유닛들(810, 840) 중 어느 하나의 도포 유닛에 이상이 발생할 경우, 나머지 하나의 도포 유닛을 이용하여 도포 공정을 진행할 수 있으므로, 설비 운용 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 제1 및 제2 세정 유닛(190a, 190b)은 기판 지지부(120)를 사이에 두고 상기 제2 방향(D2)으로 나란하게 배치되고, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)을 각각 세정한다. 이와 같이, 상기 잉크젯 프린트부(102)는 두 개의 세정 유닛(190a, 190b)을 구비하므로, 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)에 대한 세정 공정을 동시에 진행할 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(102)는 상기 제1 및 제2 도포 유닛(810, 840)의 세정 시간을 단축시키고, 제일 먼저 세정된 헤드와 마지막에 세정된 헤드 간의 시간차를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 잉크젯 프린트부(102)는 공정 유휴 시간을 단축시키고, 세정 대기 시간으로 인한 젯팅 불량을 감소시킬 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
101, 102 : 잉크젯 프린트 200 : 약액 공급부
300 : 로더부 400 : 언로더부
500 : 인덱스부 600 : 베이크부
700 : 메인 제어부 1000 : 박막 형성 장치

Claims (22)

  1. 대상물이 안착되고, 제1 방향으로 수평 이동이 가능한 기판 지지부재;
    상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비하는 제1 도포유닛; 및
    상기 제2 방향으로 수평 이동이 가능하고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물에 상기 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 구비하고, 상기 제1 방향으로 상기 제1 도포유닛과 서로 마주하게 설치된 제2 도포유닛을 포함하고,
    상기 제1 도포 유닛의 헤드 어셈블리와 상기 제2 도포 유닛의 헤드 어셈블리는 이동 영역이 서로 다른 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지부재의 일측에 구비되고, 상기 제1 도포유닛의 이동 영역 내에 설치되며, 상기 제1 도포유닛을 세정하는 제1 세정유닛; 및
    상기 기판 지지부재의 일측에 구비되고, 상기 제2 도포유닛의 이동 영역 내에 설치되며, 상기 제2 도포유닛을 세정하는 제2 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세정유닛은 상기 기판 지지부재를 사이에 두고 서로 반대편에 배치된 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세정유닛은 상기 제1 방향으로 나란히 배치된 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 각각은, 상기 제2 방향으로 이동 가능한 헤드 이동부를 더 포함하고,
    상기 헤드 어셈블리는 상기 헤드 이동부에 고정 결합된 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 처리액 도포 장치는 상기 제2 방향으로 연장된 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 헤드 이동부는 상기 가이드 레일에 결합되어 상기 가이드 레일을 따라 이동 가능한 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세정 유닛 각각은,
    상기 헤드 어셈블리의 처리액 토출면에 잔존하는 처리액을 긁어내어 제거하는 블레이드 유닛; 및
    상기 처리액 토출면에 잔존하는 처리액을 닦아내는 와이퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 각각은, 상기 헤드 이동부에 고정 결합되고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 처리액 도포 상태를 촬상하는 촬상부를 더 포함하고,
    상기 처리액 도포장치는 각 촬상부에서 촬상한 이미지를 통해 상기 대상물의 처리액 도포 불량 및 이물을 감지하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 중 적어도 어느 하나는,
    상기 기판 지지부재에 안착된 상기 대상물의 상면과 상기 헤드 어셈블리의 처리액 토출면 간에 거리를 센싱하는 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지부재는 회전 가능한 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 처리액은 컬러필터를 형성하기 위한 RGB 잉크인 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 기판 지지부재의 상면은 상기 제1 방향으로 나란하게 위치하는 두 개의 절반 영역 중 하나가 상기 제1 도포 유닛의 헤드 어셈블리가 이동되는 제1 이동 영역 내에 위치하고, 나머지 하나는 상기 제2 도포 유닛의 헤드 어셈블리가 이동되는 제2 이동영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  13. 대상물이 안착되고, 제1 방향으로 수평 이동이 가능한 기판 지지부재; 및
    서로 나란하게 배치되고, 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 상면에 처리액을 도포하는 제1 및 제2 도포유닛을 포함하고,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 각각은,
    상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향으로 수평 이동이 가능한 헤드 이동부; 및
    상기 헤드 이동부에 고정 설치되고, 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 상면에 처리액을 도포하는 적어도 하나의 헤드 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 기판 지지부재의 일측에 구비되고, 상기 제1 도포유닛을 세정하는 제1 세정유닛; 및
    상기 기판 지지부재의 일측에 구비되고, 상기 제2 도포유닛을 세정하는 제2 세정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제2 방향으로 연장된 가이드 레일을 더 포함하고,
    상기 제1 및 제2 도포유닛의 각 헤드 이동부는 상기 가이드 레일에 고정 설치되어 상기 가이드 레일을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 세정유닛은 상기 기판 지지부재를 사이에 두고 서로 반대편에 배치된 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  17. 제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 각각은, 상기 헤드 어셈블리 또는 상기 헤드 이동부에 고정 결합되고 상기 기판 지지부재에 안착된 대상물의 처리액 도포 상태를 촬상하는 촬상부를 더 포함하고,
    상기 처리액 도포장치는 각 촬상부에서 촬상한 이미지를 통해 상기 대상물의 처리액 도포 불량 및 이물을 감지하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 도포유닛 중 적어도 어느 하나는,
    상기 기판 지지부재에 안착된 상기 대상물의 상면과 상기 헤드 어셈블리의 처리액 토출면 간에 거리를 센싱하는 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 장치.
  19. 대상물을 기판 지지부재에 안착시키는 단계; 및
    제1 및 제2 도포유닛이 서로 다른 이동 영역 내에서 이동하면서 상기 대상물의 상면에 처리액을 도포하는 단계를 포함하고,
    상기 처리액을 도포하는 단계는,
    제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재 중 어느 하나를 이동시켜 제1 및 제2 도포유닛을 상기 처리액이 도포될 상기 대상물 상의 도포 지점에 위치시키는 단계; 및
    상기 제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재 중 어느 하나가 수평 이동하는 동안, 상기 제1 및 제2 도포 유닛이 동시에 상기 대상물의 상면에 처리액을 도포하는 단계를 포함하며,
    상기 제1 및 제2 도포유닛과 상기 기판 지지부재는 서로 수직하는 방향으로 이동하도록 제공되는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    기 처리액을 도포하는 단계 이후에,
    상기 기판 지지부재의 일측에 구비된 제1 세정유닛이 상기 제1 도포유닛을 세정하고, 이와 동시에, 상기 기판 지지부재의 일측에 구비된 제2 세정유닛이 상기 제2 도포유닛을 세정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 처리액 도포 시, 상기 제1 도포유닛이 상기 대상물 상면의 절반 영역에 상기 처리액을 도포하고, 이와 동시에, 상기 제2 도포유닛이 나머지 절반 영역에 상기 처리액을 도포하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 방법.
  22. 제19항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액 도포하는 단계는, 상기 처리액을 도포하는 동안 상기 제1 도포유닛의 촬상부와 상기 제2 도포유닛의 촬상부가 상기 대상물의 상부에서 상기 대상물의 상면을 촬상하고, 각 촬상부에서 촬상된 이미지를 통해 상기 처리액의 도포 상태 및 상기 대상물 표면의 이물 여부를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 도포 방법.
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