KR101072918B1 - 세정 유닛, 이를 갖는 약액 도포 장치 및 이를 이용한 세정 방법 - Google Patents

Abstract

세정 유닛은 회전 가능한 회전 구동부, 상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리, 상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고 상기 회전 구동부에 의해 회전하며 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트, 및 상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며 탄성을 가지고 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함한다.

Description

세정 유닛, 이를 갖는 약액 도포 장치 및 이를 이용한 세정 방법{CLEANING UNIT, CHEMICAL COATING APPARATUS HAVING THE SAME AND CLEANING METHOD USING THE SAME}

본 발명은 기판 상에 약액을 도포하는 잉크젯 방식의 약액 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 약액이 토출되는 노즐을 세정하는 세정 유닛, 이를 갖는 약액 도포 장치 및 이를 이용한 세정 방법에 관한 것이다.

영상을 표시하는 액정표시장치는 다양한 박막들이 증착된 두 장의 기판 및 두 장의 기판 사이에 개재된 액정층으로 이루어진다. 일반적으로, 각 기판에 형성된 박막들은 다양한 형상의 패턴을 가지므로, 패턴의 정밀도를 위해 증착 공정 및 사진 식각 공정을 통해 형성된다. 이와 같이, 하나의 박막을 형성하기 위해서는 고가의 마스크가 사용되는 사진 식각 공정이 이용되므로, 제조 원가가 상승하고, 제조 공정 시간이 증가한다.

최근, 이러한 박막 형성 방법의 대안으로 잉크젯 프린팅 방식을 이용한 박막 형성 방법이 사용되고 있다. 잉크젯 프린팅 방식은 기판의 특정 위치에 약액을 도포하여 방막을 형성하므로, 별도의 식각 공정을 필요로 하지 않는다. 이러한 잉크 젯 프린팅 방식은 액정표시장치의 컬러필터 또는 배향막 등을 형성하는 데 사용될 수 있다.

일반적으로, 잉크젯 프린트 장치는 기판 상에 약액을 도포하는 헤드 및 헤드를 세정하는 세정 유닛을 구비한다. 헤드는 약액을 분사하는 다수의 노즐을 구비하며, 기판의 특정 위치에 약액을 분사한다. 일반적으로, 잉크젯 프린트 장치에 사용되는 약액은 점성 및 휘발성이 높기 때문에, 응고되기 쉽다. 특히, 약액 도포 후, 노즐들의 토출구 주변에는 약액이 잔류할 수 있으며, 이러한 잔류 약액은 토출구 주변에 응고되어 노즐의 토출구를 막거나 이후 약액 도포 시 기판에 도포되어 불균일한 막을 형성할 수 있다.

이를 방지하기 위해, 세정 유닛은 다수의 노즐을 세정하여 제품의 수율을 향상시킨다. 구체적으로, 세정 유닛은 노즐을 세정하는 와이퍼, 와이퍼를 공급하는 공급롤러 및 사용된 와이퍼를 회수하는 회수롤러를 포함한다. 와이퍼는 테이프 형상으로 이루어지고, 양 단부가 공급롤러와 회수롤러에 감긴다. 공급롤러와 회수롤러는 서로 이격되어 위치하며, 공급롤러와 회수롤러의 회전에 의해 공급롤러에 감긴 와이퍼가 회수롤러에 감긴다. 공급롤러와 회수롤러의 사이에는 승강 및 하강이 가능한 쿠션이 설치되며, 쿠션은 공급롤러와 회수롤러 사이에 위치하는 와이퍼의 일부분을 지지한다. 세정시, 헤드의 노즐들은 쿠션의 상부에 위치하며, 노즐들의 토출면이 쿠션 상면에 위치하는 와이퍼에 접촉시켜 노즐의 토출면에 잔류하는 약액을 와이퍼를 통해 닦아낸다.

이와 같이, 노즐의 세정은 와이퍼와 노즐 토출면의 마찰을 통해 이루어지므 로, 세정 과정에서 노즐의 토출면에 와이퍼에 의한 이물이 낄 수 있다. 또한, 세정 유닛은 쿠션의 이동 및 공급 롤러와 회수 롤러를 구동시키기 위한 고가의 구동부들이 많이 필요하고, 그 구조가 복잡하여 와이퍼 교체시 분해 및 조립이 어렵다. 또한, 재이용이 불가능하고 소모품인 고가의 와이퍼를 사용하므로, 유지 비용이 증가한다.

본 발명의 목적은 노즐의 세정 효율을 향상시킬 수 있는 세정 유닛을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 세정 유닛을 구비하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 상기한 세정 유닛을 이용하여 약액 도포 장치의 노즐을 세정하는 방법을 제공하는 것이다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 세정 유닛은, 회전 가능한 회전 구동부; 상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리; 상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트; 및 상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되 며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함한다.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 약액 도포 장치는, 약액을 토출하는 다수의 노즐을 구비하고, 기판 상에 상기 약액을 도포하는 헤드; 및 상기 노즐들에 잔존하는 이물을 제거하는 세정유닛을 포함하고, 상기 세정 유닛은, 회전 가능한 회전 구동부; 상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리; 상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트; 및 상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함한다.

상술한 본 발명에 따르면, 세정 패드의 교체가 용이하며, 세정 효율을 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이하에서는 약액 도포 장치로서, 액정표시장치의 컬러필터를 형성하기 위한 잉크젯 프린트 장치를 일례로하여 설명하나, 약액 도포 장치는 컬러필터 이외에 다양한 박막들을 형성할 수 있으며, 액정표시장치 이외에 다양한 장치의 박 막을 형성하는 데 사용될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 1을 참조하면, 박막 형성 장치(1000)는 잉크젯 프린트부(100), 약액 공급부(200), 로더부(300), 언로더부(400), 인덱서부(500), 베이크부(600), 및 메인 제어부(700)를 포함할 수 있다.

잉크젯 프린트부(100)는 기판 상에 약액, 예컨대, RGB 잉크들을 도포하여 기판 상에 컬러필터를 형성한다. 이 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 RGB 잉크들을 도포하여 컬러필터를 형성한다. 그러나, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 RGB 잉크들 이외에 다양한 종류의 약액을 도포할 수 있으며, 이에 따라, 약액에 대응하는 박막, 예컨대, 배향막 등 다양한 박막들을 기판 상에 형성할 수 있다.

상기 잉크젯 프린트부(100) 일측에 설치된 상기 메인 제어부(700)는 상기 잉크젯 프린트부(100)의 공정 조건을 제어하며, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 상기 메인 제어부(700)의 제어에 따라 도포 공정을 진행한다.

상기 잉크젯 프린트부(100)의 일측에는 상기 약액 공급부(200)가 설치된다. 상기 약액 공급부(200)는 상기 잉크젯 프린트부(100)에서 기판에 도포할 약액을 저장하고, 상기 약액을 상기 잉크젯 프린트부(100)에 제공한다. 이 실시예에 있어서, 상기 약액 공급부(200)는 상기 RGB 잉크들을 서로 혼색되지 않게 개별 저장한다.

상기 잉크젯 프린트부(100)의 타측에는 외부로부터 공정 대기중인 기판을 제 공받아 적재하는 상기 로더부(300)와 상기 박막 형성 장치(1000)에서 공정 완료된 기판을 적재하는 상기 언로더부(400)가 나란히 설치된다.

상기 로더부(300) 및 상기 언로더부(400)는 상기 인덱서부(500)의 일측에 설치되며, 상기 로더부(300) 및 상기 언로더부(400)는 상기 인덱서부(500)를 사이에두고 상기 잉크젯 프린트부(100)와 마주한다. 상기 인덱서부(500)는 상기 잉크젯 프린트부(100), 상기 로더부(300), 상기 언로더부(400), 및 베이크부(600)와 연통되며, 상기 잉크젯 프린트부(100), 상기 로더부(300), 상기 언로더부(400), 및 베이크부(600) 간에 기판을 이송한다.

구체적으로, 상기 인덱서부(500)는 기판을 이송하는 이송 로봇(미도시)을 구비하고, 상기 이송 로봇은 상기 로더부(300)로부터 기판을 인출하여 상기 잉크젯 프린트부(100)로 이송한다. 상기 잉크젯 프린트부(100)에서 상기 기판의 RGB 잉크 도포가 완료되면, 상기 이송 로봇은 상기 잉크젯 프린트부(100)로부터 컬러필터가 형성된 기판을 인출하여 상기 베이크부(600)로 이송한다. 상기 베이크부(600)는 인입된 기판을 가열하여 상기 기판에 형성된 박막, 즉, 컬러필터를 경화시키고, 이로써, 박막 형성 장치(1000)에 의한 박막 형성 공정이 완료된다. 상기 이송 로봇은 상기 베이크부(600)로부터 공정 완료된 기판을 인출한 후 상기 언로더부(400)로 이송한다. 상기 언로더부(400)에 적재된 기판은 반송 장치에 의해 외부로 반출된다.

이상에서는 박막 형상 장치(1000)의 구성에 대해 개략적으로 설명하였으며, 이하, 도면을 참조하여 상기 잉크젯 프린트부(100)에 대해 구체적으로 설명한다.

도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 평면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 스테이지(110), 기판 지지부(120), 갠트리(Gantry)(130), 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b), 제1 및 제2 헤드 이동부(151, 152), 제1 세정 유닛(160), 및 제2 세정 유닛(170)을 포함할 수 있다.

상기 스테이지(110) 상에는 상기 약액 도포를 위한 설비들, 즉, 기판 지지부(120), 갠트리(Gantry)(130), 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b), 제1 및 제2 헤드 이동부(151, 152), 제1 세정 유닛(160), 및 제2 세정 유닛(170)이 설치된다. 상기 스테이지(110)에는 상기 스테이지(110)의 일 변을 따라 연장된 중앙 레일(111)이 설치되고, 상기 중앙 레일(111)에는 상기 기판 지지부(120)가 결합된다. 상기 기판 지지부(120)는 상기 약액이 도포될 기판을 지지하고, 상기 중앙 레일(111)을 따라 이동 가능하다. 또한, 상기 기판 지지부(120)는 상기 기판이 안착되는 지지대가 회전 가능하게 설치될 수 있으며, 약액 도포 공정시 상기 기판을 상기 지지대에 고정시킨다.

한편, 상기 스테이지(110)는 상기 중앙 레일(111)을 사이에 두고 서로 마주하게 설치되는 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b)을 구비할 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b) 각각은 상기 중앙 레일(111)과 동일한 제1 방향(D1)으로 연장되어 형성되고, 상기 제1 방향(D1)으로 연장된 상기 스테이지(110)의 일변과 거의 동일한 길이를 갖는다.

상기 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b)에는 상기 갠트리(130)가 결합된다. 상기 갠트리(130)는 양 단부가 상기 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b)에 각각 결합되고, 상기 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b)을 따라 수평 이동할 수 있다.

상기 갠트리(130)에는 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 고정 설치된다. 상기 갠트리(130)의 수평 이동 시, 상기 갠트리(130)에 설치된 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 함께 이동되며, 이에 따라, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 위치를 변경시킬 수 있다.

상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 상기 약액 공급부(200)로부터 상기 약액을 제공받아 상기 기판 지지대(120)에 고정된 기판에 상기 약액을 토출한다. 이 실시예에 있어서, 상기 잉크젯 프린트부(100)는 두 개의 헤드 어셈블리(140a, 140b)를 구비하나, 상기 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 개수는 공정 효율 및 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 크기에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.

상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 상기 제1 방향(D1)으로 병렬 배치되며, 서로 이격되어 위치한다. 이 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 서로 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하, 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)의 구성에 대해 구체적으로 설명하고, 상기 제2 헤드 어셈블리(140b)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 제1 헤드 어셈블리(140a)는 상기 제1 방향(D1)과 수평 방향으로 직교하는 제2 방향(D2)으로 나란하게 배치된 상기 제1, 제2 및 제3 헤드(141a, 142a, 143a)를 구비하고, 상기 제1 내지 제3 헤드(141a, 142a, 143a) 각각은 약액을 토출하는 다수의 노즐을 구비한다.

이 실시예에 있어서, 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)는 세개의 헤드(141a, 142a, 143a)를 구비하나, 상기 헤드(141a, 142a, 143a)의 개수는 공정 효율 및 약액의 종류 개수에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.

상기 제1 내지 제3 헤드(141a, 142a, 143a)는 서로 다른 색을 갖는 잉크를 토출하여 상기 기판 상에 컬러필터를 형성한다. 구체적으로, 상기 제1 헤드(141a)는 빨간색을 갖는 R 잉크를 토출하고, 상기 제2 헤드(142a)는 초록색을 갖는 G 잉크를 토출하며, 상기 제3 헤드(143a)는 파란색을 갖는 B 잉크를 토출한다. 여기서, 상기 제1 내지 제3 헤드(141a, 142a, 143a)의 잉크 배열는 상기 컬러필터의 색화소 배열에 따라 변경될 수 있다.

상기 각 헤드(141a, 142a, 143a)는 각 헤드(141a, 142a, 143a)의 중심축을 기준으로 회전 가능하다.

상기 약액 도포 공정 시, 상기 제1 내지 제3 헤드(141a, 142a, 143a)가 동시에 잉크를 토출할 수도 있고, 한번에 어느 하나의 헤드에서만 잉크를 토출할 수도 있다. 또한, 상기 제1 내지 제3 헤드(141a, 142a, 143a)가 교대로 잉크를 토출할 수도 있다.

또한, 상기 약액 도포 공정 시, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 동시에 구동되어 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)로부터 잉크가 동시에 토출될 수도 있고, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 교대로 잉 크를 토출할 수도 있다. 또한, 제1 또는 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)를 먼저 구동시켜 잉크를 도포한 후 해당 헤드 어셈블리에 공급된 잉크가 모두 소진되면, 나머지 헤드 어셈블리를 구동시켜 잉크를 도포할 수도 있다.

한편, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 제1 헤드 이동부(151)에 고정 설치되며, 상기 제1 헤드 이동부(151)에는 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 제1 이동 레일들이 구비된다. 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 서로 다른 제1 이동 레일에 결합되며, 결합된 제1 이동 레일을 따라 상기 제2 방향(D2)으로 왕복 이동이 가능하다. 여기서, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 각 헤드들은 결합된 제1 이동 레일을 따라 개별 이동이 가능하다.

상기 제1 헤드 이동부(151)는 상기 제2 헤드 이동부(152)에 고정 설치되며, 상기 제2 헤드 이동부(152)에는 제2 이동 레일(미도시)이 설치된다. 상기 제2 이동 레일은 상기 제1 및 제2 방향(D1, D2)과 수직하는 방향(D3), 즉, 상기 스테이지(110)의 상면에 대해 수직하는 제3 방향(D3)으로 연장된다. 상기 제1 헤드 이동부(151)는 상기 제2 이동 레일에 결합되며, 상기 제2 이동 레일을 따라 상/하 방향(D2)으로 왕복 이동이 가능하다. 상기 제2 헤드 이동부(152)는 상기 갠트리(130)에 고정 설치된다. 상기 갠트리(130)에는 상기 제2 방향(D2)으로 연장된 제3 이동 레일(미도시)이 설치된다. 상기 제2 헤드 이동부(152)는 상기 제3 이동 레일에 결합되며, 상기 제3 이동 레일을 따라 상기 제2 방향(D2)으로 왕복 이동이 가능하다.

이와 같이, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 14b)는 상기 갠트리(130)와 상기 제1 및 제2 헤드 이동부(151, 152)에 의해 상기 제1 내지 제3 방향(D1, D2, D3)으로의 이동이 가능하다. 즉, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 상기 갠트리(130)의 수평 이동에 의해 상기 제1 방향(D1)으로 이동 가능하고, 제2 헤드 이동부(152)의 이동에 의해 상기 제2 방향(D2)으로 이동 가능하며, 상기 제1 헤드 이동부(151)의 이동에 의해 상기 제3 방향(D3)으로 이동 가능하다. 또한, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 각 헤드들은 대응하는 제1 이동 레일을 따라 상기 제2 방향(D2)으로 이동 가능하다.

상기 약액 도포 공정시, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 상기 제1 및 제2 헤드 이동부(151, 152) 및 상기 갠트리(130)에 의해 이동하면서 상기 기판에 잉크를 도포할 수 있다. 또한, 상기 기판 지지대(120)가 상기 중앙 레일(111)을 따라 상기 제1 방향(D1)으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 상기 제2 및 제3 방향(D2, D3)으로만 이동하여 잉크 도포가 이루어질 수도 있다.

한편, 상기 스테이지(110)의 상기 중앙 레일(111)과 상기 제2 가이드 레일(112b) 사이에 마련된 유지 보수 영역에는 상기 제1 및 제2 세정 유닛(160, 170)이 설치된다.

상기 제1 세정 유닛(160)은 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)에 잔류하는 잉크를 긁어내어 제거한다. 구체적으로, 상기 제1 세정 유닛(160)은 상기 각 헤드의 노즐들에 잔존하는 잉크를 수거하여 외부로 배출하는 세정 탱크를 구비하고, 상기 세정 탱크 상단에는 상기 각 헤드의 노즐들에 잔존하는 잉크를 긁어 내기 위한 블레이드들이 설치된다. 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 한 매의 기판에 잉크 도포가 완료되면, 상기 갠트리(130)에 의해 상기 제1 세정 유닛(160)의 상부로 이송되고, 상기 노즐들의 토출면이 블레이드들에 맞닿은 상태에서 상기 제1 방향(D1)으로 이동한다. 이때, 상기 블레이들은 상기 노즐들의 토출면들과의 마찰력에 의해 상기 노즐의 토출면에 잔류하는 잉크를 긁어낸다.

또한, 공정 대기 시간이 길 경우, 각 노즐 내부에 잔류하는 잉크가 응고될 수 있다. 이를 제거하기 위해 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)는 각 노즐 내부에 잔류하는 잉크를 상기 세정 탱크에 토출하여 제거한다. 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)가 내부의 잔류 잉크를 토출하면, 블레이드들은 각 노즐의 토출면에 묻은 잉크를 긁어낸다.

상기 세정 탱크에는 세정액이 제공될 수도 있다. 상기 세정액은 상기 세정 탱크 내벽에 잔류하는 잉크를 상기 세정 탱크의 내벽으로부터 분리시켜 잔류 잉크가 외부로 배출되도록 유도한다.

한편, 상기 제1 세정 유닛(160)의 일측에는 상기 제2 세정 유닛(170)이 설치된다. 상기 갠트리(130)가 홈 위치에 위치시, 제2 세정 유닛(170)은 상기 제1 세정 유닛(160)을 사이에 두고 상기 갠트리(130)와 마주한다. 상기 제2 세정 유닛(170)은 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 각 노즐에 묻은 잉크를 닦아내어 제품의 수율을 향상시킨다. 여기서, 상기 제2 세정 유닛(170)은 상기 제1 세정 유닛(160)에 의해 1차 세정된 노즐들을 2차 세정할 수도 있고, 상기 제1 세정 유닛(160)에 의해 세정되지 않은 노즐들을 세정할 수도 있다.

이하, 도면을 참조하여 상기 제2 세정 유닛(170)의 구성에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.

도 4는 도 2에 도시된 제2 세정 유닛을 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 제2 세정 유닛을 나타낸 평면도이며, 도 6은 도 4에 도시된 제2 세정 유닛의 일부분을 나타낸 사시도이고,

도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 제2 세정 유닛(170)은 세정조(171), 회전 구동부(172), 풀리(173), 벨트(174), 제1 세정 패드부(175a, 175b, 175c), 제2 세정 패드부(176a, 176b, 176c), 및 다수의 패드 고정부(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)를 포함할 수 있다.

구체적으로, 상기 세정조(171)는 상면에 개구되고, 상기 회전 구동부(172), 풀리(173) 및 벨트(174)가 설치되는 공간을 제공한다. 상기 세정조(171)는 바닥면(171a) 및 상기 바닥면(171a)으로부터 수직하게 연장된 제1 내지 제4 측벽(171b, 171c, 171d, 171e)을 구비한다.

상기 세정조(171) 내에는 상기 회전 구동부(172), 풀리(173) 및 벨트(174)가 상기 바닥면(171a)으로부터 이격되어 설치된다. 상기 회전 구동부(172)는 상기 회전 가능하며, 상기 세정조(171)의 제1 측벽(171b)과 인접하게 배치되고, 회전축이 상기 바닥면(171a)에 대해 평행하도록 설치된다.

상기 풀리(173)는 상기 제2 및 제3 측벽(171c, 171d)의 가로 방향으로 상기 회전 구동부(172)와 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부(172)의 회전력에 의해 회전한다. 상기 회전 구동부(172)와 상기 풀리(173)는 상기 벨트(174)를 통해 연결 된다.

상기 벨트(174)는 상기 회전 구동부(172)와 상기 풀리(173)를 부분적으로 둘러싸고, 폐루프 형상을 갖는다. 상기 벨트(174)는 상기 회전 구동부(172)의 회전력에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부(172)의 회전력을 상기 풀리(173)에 전달한다. 상기 벨트(174)는 상기 헤드를 세정하는 과정에서 발생된 이물이 상기 벨트(174)에 잔류하는 것을 최소화하기 위해 그물(mesh) 형태로 이루어질 수 있다.

상기 벨트(174)의 외면에는 제1 세정 패드부(175a, 175b, 175c), 제2 세정 패드부(176a, 176b, 176c) 및 다수의 패드 고정부(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)가 설치된다. 제1 세정 패드부(175a, 175b, 175c)는 R 세정 패드(175a), G 세정 패드(175b), 및 B 세정 패드(175c)를 포함할 수 있고, 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)(도 2 참조)의 헤드들을 세정한다. 제2 세정 패드부(176a, 176b, 176c)는 R 세정 패드(176a), G 세정 패드(176b), 및 B 세정 패드(176c)를 포함할 수 있고,상기 제2 헤드 어셈블리(140b)(도 2 참조)의 헤드들을 세정한다.

이 실시예에 있어서, 상기 제2 세정 유닛(170)은 두 개의 세정 패드부(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)를 구비하나, 상기 세정 패드부의 개수는 상기 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 개수 및 세정 공정의 효율에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.

또한, 이 실시예에 있어서, 각 세정 패드부(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)는 세 개의 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)를 구비하나, 하나의 세정 패드부에 구비되는 세정 패드의 개수는 하나의 헤드 어셈블리에 구비되 는 헤드의 개수 및 세정 공정의 효율에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.

상기 제1 및 제2 세정 패드부의 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)은 상기 벨트(174)의 길이 방향으로 서로 이격되어 배치되며, 각 세정 패드부 별로 세정 패드들이 연속적으로 배치된다. 즉, 상기 제1 세정 패드부의 세정 패드들(175a, 175b, 175c)이 R 세정 패드(175a), G 세정 패드(175b), 및 B 세정 패드(175c) 순으로 연속적으로 이격되어 배치된다. 상기 제2 세정 패드부는 상기 제1 세정 패드부와 인접하게 배치되며, 상기 제2 세정 패드부의 세정 패드들(176a, 176b, 176c) 또한 R 세정 패드(176a), G 세정 패드(176b), 및 B 세정 패드(176c) 순으로 연속적으로 이격되어 배치된다.

상기 R 세정 패드들(175a, 176a)은 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 헤드 들 중 R 잉크를 토출하는 헤드들의 노즐들을 세정한다. 상기 G 세정 패드들(175b, 176b)은 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 헤드들 중 G 잉크를 토출하는 헤드들의 노즐들을 세정한다. 상기 B 세정 패드들(175c, 176c)은 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 헤드 들 중 B 잉크를 토출하는 헤드들의 노즐들을 세정한다.

상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)은 상기 패드 고정부들(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)에 의해 상기 벨트(174)에 고정된다. 상기 패드 고정부들(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)은 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)과 동일한 개수로 설치되며, 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)과 일대일 대응한다.

상기 패드 고정부들(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)은 상기 벨트(174)의 길이 방향으로 서로 이격되어 위치하며, 상기 벨트(174)의 외면에 탈착 가능하도록 결합될 수 있다. 각 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)는 대응하는 패드 고정부에 탈착 가능하게 결합된다.

이 실시예에 있어서 상기 세정 패들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)은 서로 동일한 구성을 가지며, 상기 패드 고정부들(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f) 또한 서로 동일한 구성을 갖고, 상기 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)과 대응하는 패드 고정부들 간의 결합 또한 서로 동일하다. 따라서, 이하, 상기 제1 세정 패드부의 R 세정 패드(175a)와 이에 대응하는 패드 고정부(177a)를 일례로하여 각 세정 패드와 각 패드 고정부의 구성 및 결합 관계에 대해 구체적으로 설명한다.

도 7은 도 6에 도시된 세정 패드와 패드 고정부를 구체적으로 나타낸 분해 사시도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 R 세정 패드(175a)는 상기 벨트(174)의 폭 방향으로 연장되고, 상면이 곡면으로 이루어진 반원 형상을 가지며, 표면이 매끄러우며, 형상 변경이 용이하도록 탄성을 갖는다. 상기 R 세정 패드(175a)의 양 측면에는 상기 패드 고정부(177a)와 결합하기 위한 결합홈(75a, 75b)이 각각 형성된다. 상기 R 세정 패드(175a)는 형상 변경이 거의 없고, 습윤 상태를 유지하며, 항상 연질 상태를 유지하고, 표면의 정도가 높은 폴리 올레핀(PO) 재질로 이루어질 수 있다.

상기 헤드 세정시, 상기 R 세정 패드(175a)에 대응하는 헤드의 노즐들이 상기 R 세정 패드(175a)의 상면에 접촉된 상태에서, 상기 R 세정 패드(175a)가 상기 회전 구동부(172)의 회전력에 의한 벨트(174)의 회전에 의해 이동하여 상기 노즐들의 토출면에 잔존하는 이물을 닦아 낸다.

한편, 상기 패드 고정부(177a)는 상기 벨트(174)의 폭 방향으로 연장되고, 상기 벨트(174)의 표면에 탈착 가능하게 결합된다. 상기 패드 고정부(177a)는 상기 벨트(174) 표면에 결합되는 바닥판(77a), 및 서로 마주하는 두 개의 측판(77b, 77c)을 포함할 수 있다. 상기 측판들(77b, 77c)은 상기 바닥판(77a)으로부터 수직하게 연장되어 상기 R 세정 패드(175a)가 삽입되는 공간을 형성한다. 상기 각 측판(77b, 77c)의 상단부(77d, 77e)는 안으로 절곡되어 상기 바닥판(77a)과 마주하고, 상기 R 세정 패드(175a)에 형성된 결합홈(75a, 75b)에 삽입되어 상기 R 세정 패드(175a)를 상기 패드 고정부(177a)에 고정시킨다. 상기 R 세정 패드(175a)는 탄성을 갖는 재질로 이루어져 형상 변경이 용이하므로, 상기 패드 고정부(177a)로부터 탈착이 용이하다. 이에 따라, 상기 제2 세정 유닛(170)은 특정 세정 패드가 오염된 경우 이를 새로운 세정 패드로 교체가 용이하며, 노즐 세정용 소모품의 교체에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

상기 패드 고정부(177a)는 나사(미도시)를 이용하여 상기 벨트(174)에 결합될 수 있다. 이를 위해, 상기 패드 고정부(177a)의 바닥판(77a)에는 각각 나사가 삽입되는 스크류 홀들(77f)이 형성되며, 나사들은 상기 스크류 홀들(77f)을 관통하여 상기 벨트(174)에 체결된다.

다시, 도 4 내지 도 6을 참조하면, 상기 제2 세정 유닛(170)은 상기 벨트(174)의 내면에서 상기 벨트(174)를 지지하는 다수의 가이드 롤러(178a, 178b, 178c)를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 가이드 롤러(178a, 178b, 178c)은 상기 벨트(174)에 의해 정의된 공간 안에 설치되고, 상기 벨트(174)의 길이 방향으로 서로 이격되어 배치된다. 각 가이드 롤러(178a, 178b, 178c)는 상기 벨트(174)의 폭 방향으로 연장되어 원 기둥 형상을 갖고, 상기 벨트(174) 하면을 지지한다. 상기 가이드 롤러들(178a, 178b, 178c)은 측면에서 볼 때 상기 벨트(174)의 상하로 마주하는 부분들 중 상측에 위치하는 부분의 하면을 지지한다. 이에 따라, 상기 제2 세정 유닛(170)은 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b) 세정 시 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)와 대응하는 헤드 간의 밀착력을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 제2 세정 유닛(170)은 세정액(CL)을 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c)에 분사하는 세정액 분사부(181) 및 상기 벨트(174)에 에어(AF)를 분사하는 에어 나이프(189)를 더 포함할 수 있다.

상기 세정액 분사부(181)는 상기 세정조(171)의 제1 측벽(171b) 상단부에 고정 설치되고, 상기 세정액(CL)을 분사하는 다수의 분사 노즐(181a)을 포함할 수 있다. 상기 세정액 분사부(181)는 상기 세정액(CL)을 분사하여 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)을 항상 습윤 상태로 만들어 주며, 오염된 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)을 세정한다.

상기 세정액 분사부(181)는 제1 세정액 공급 라인(182)을 통해 상기 세정 조(171)의 외부에 설치된 저장 탱크(183)와 연결되고, 상기 저장 탱크(183)는 세정액 공급부(187) 및 에어 공급부(188)와 연결된다. 상기 세정액 공급부(187)는 제2 세정액 공급 라인(186)을 통해 상기 저장 탱크(183)에 세정액(CL)을 제공하고, 상기 에어 공급부(188)는 에어 공급라인(187)을 통해 상기 저장 탱크(183)에 공기를 제공한다. 상기 저장 탱크(183)에는 상기 세정액 공급부(187)로부터 제공된 세정액(CL)이 저장되며, 상기 에어 공급부(188)로부터 제공된 공기압에 의해 상기 저장 탱크(183) 내의 세정액(CL)이 배출되어 상기 제1 세정액 공급라인(182)을 통해 상기 세정액 분사부(181)에 제공된다.

상기 에어 나이프(189)는 상기 제1 측벽(171b)과 마주하는 제4 측벽(171e)의 상단부에 고정 설치되며, 상기 벨트(174)를 향해 에어(AF)를 분사하여 상기 벨트(174)와 각 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176c) 및 각 패드 고정부(177a, 177b, 177c, 177d, 177e, 177f)에 낀 이물을 제거한다.

상기 세정조(171)의 바닥면(171a)에는 상기 노즐들의 세정 과정에서 발생된 이물 및 상기 세정액을 배출하는 배출홀(171g)이 형성되며, 상기 배출홀(171g)은 상기 제1 측벽(171b)과 인접하게 위치한다. 또한, 상기 세정조(171)의 바닥면(171a)은 상기 세정조(171) 내의 이물 및 잔류 세정액을 상기 배출홀(171g) 측으로 유도하기 위해 상기 제4 측벽(171e)으로부터 상기 제1 측벽(171b) 측으로 갈수록 하향 경사지게 설치된다.

또한, 상기 세정조(171)의 제4 측벽(171e)은 흰지(171f)를 통해 상기 바닥면(171a)과 결합된다. 이와 같이, 상기 제4 측벽(171e)이 상기 바닥면(171a)에 흰 지 결합되므로, 상기 세정 패드 교체시 오픈된 상기 제4 측벽(171e)을 통해 교체가 용이하다.

한편, 상기 제2 세정 유닛(170)은 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)이 적정 수분을 함유하고 있도록 상기 RGB 세정 패드들(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)로부터 세정액을 일부분 제거하는 수분 제거부들(179a, 179b, 179c, 179d)을 더 포함할 수 있다.

각 수분 제거부는 상기 벨트(174)에 의해 정의된 공간 안에 설치된 고정 롤러(179a, 179c) 및 상기 벨트(174)의 외부에 설치된 가압 롤러(179b, 179d)로 이루어진다. 고정 롤러들(179a, 179c)과 가압 롤러들(179b, 179d)은 서로 일대일 대응하고, 상기 벨트(174)를 사이에 두고 마주하게 배치된다. 이 실시예에 있어서, 상기 수분 제거부(179a, 179b, 179c, 179d)는 상기 가이드 롤러들(178a, 178b, 178c)의 아래에 설치된다.

가압 롤러들(179b, 179d)은 실린더들(91, 92)에 결합되고, 연결된 실린더(91, 92)의 구동에 의해 승강 및 하강된다. 즉, 상기 가압 롤러들(179b, 179d)은 상기 실린더들(91, 92)에 의해 상기 고정 롤러들(179a, 179c)과의 이격 거리가 조절된다. 가압 롤러들(179b, 179d)은 세정 공정 시 상기 세정액에 적셔진 상기 RGB 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)가 상기 벨트(174)와의 사이로 지나갈 경우, 상기 실린더들(91, 92)에 의해 승강되어 해당 세정 패드를 누르고, 이에 따라, 상기 RGB 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176) 내의 세정액이 일부분 제거된다. 즉, 상기 수분 제거부(179a, 179b, 179c, 179d)는 상기 세정액에 적셔진 상기 RGB 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)로부터 상기 세정액을 눌러짜내 상기 RGB 세정 패드(175a, 175b, 175c, 176a, 176b, 176)가 적정한 습윤 상태를 유지하도록 한다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 세정 과정을 나타낸 흐름도이고, 도 9a 내지 도 9c는 도 4에 도시된 제2 세정 유닛에서 헤드를 세정하는 과정을 나타낸 단면도들이다.

도 8 및 도 9a를 참조하면, 먼저, 상기 갠트리(140)가 상기 제1 및 제2 가이드 레일(112a, 112b)을 따라 이동하여 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)를 상기 제2 세정유닛(170)의 상부에 배치시킨다(단계 S110).

상기 제1 헤드 이동부(151)(도 2 참조)는 아래로 이동하여 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 R 헤드(141a)의 처리액 토출면을 상기 제1 세정 패드부의 R 세정 패드(175a) 상면에 밀착시킨다(단계 S120).

상기 벨트(174)가 상기 회전 구동부(172)의 구동에 의해 회전하고, 이에 따라, 상기 R 세정 패드(175a)가 이동하면서 상기 R 헤드(141a)의 노즐들의 처리액 토출면에 잔존하는 처리액을 닦아낸다(단계 S130). 여기서, 상기 벨트(174)는 상기 제1 및 제1 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 개시되면, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 완료될 때까지 계속해서 회전한다.

도 8, 도 9b 및 도 9c를 참조하면, 오염된 상기 R 세정 패드(175a)는 상기 벨트(174)의 회전에 의해 상기 세정액 분사부(181) 측으로 이동하고, 상기 세정액 분사부(181)로부터 분사되는 세정액(CL), 예컨대, 솔벤트에 의해 세정된다(단계 S140). 여기서, 세정액 분사부(181)는 상기 상기 제1 및 제1 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 개시되면, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 완료될 때까지 계속해서 상기 세정액(CL)을 분사한다.

계속해서 상기 벨트(174)의 회전에 의해 상기 R 세정 패드(175a)는 상기 수분 제거부(179a, 179b, 179c, 179d) 측으로 이동한다.

한편, 상기 R 헤드(141a)의 세정이 완료되면, 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)의 G 헤드(142a) 및 B 헤드(143a)의 세정이 순차적으로 이루어지며, 상기 제1 헤드 어셈블리(140a)의 G 헤드(142a) 및 B 헤드(143a)의 세정 과정은 상기 R 헤드(141a)의 세정 과정과 동일한 과정으로 상기 제1 세정 패드부의 G 세정 패드(175b)과 B 세정 패드(175c)에 의해 이루어진다.

도 8 및 도 9c를 참조하면, 상기 벨트(174)의 회전에 의해 상기 R 세정 패드(175a)가 고정 롤러들(179a, 179c)과 가압 롤러들(179b, 179d) 사이를 통과하면, 상기 가압 롤러들(179d, 179d)이 상기 R 세정 패드(175a)를 가압하여 상기 R 세정 패드(175a)에 흡수된 세정액을 눌러짜낸다(단계 S150).

마찬가지로, 상기 G 세정 패드(175b)와 상기 B 세정 패드(175c) 또한 상기 R 세정 패드(175a)와 동일한 방법으로 세정된다.

한편, 상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 이루어지는 동안, 상기 에어 나이프(189)는 상기 벨트(174) 측으로 계속해서 에어(AF)를 분사하여 상기 벨트(174)에 낀 이물을 제거한다.

상기 제1 및 제2 헤드 어셈블리(140a, 140b)의 세정이 완료되고, 상기 세정 패드들의 기 설정된 교체 주기에 도달하면, 해당 세정 패드를 패드 고정부로부터 분리한 후 새로운 세정 패드로 교체한다(단계 S160).

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 형성 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시된 잉크젯 프린트부를 나타낸 평면도이다.

도 4는 도 2에 도시된 제2 세정 유닛을 나타낸 단면도이다.

도 5는 도 4에 도시된 제2 세정 유닛을 나타낸 평면도이다.

도 6은 도 4에 도시된 제2 세정 유닛의 일부분을 나타낸 사시도이다.

도 7은 도 6에 도시된 세정 패드와 패드 고정부를 구체적으로 나타낸 분해 사시도이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 헤드 세정 과정을 나타낸 흐름도이다.

도 9a 내지 도 9c는 도 4에 도시된 제2 세정 유닛에서 헤드를 세정하는 과정을 나타낸 단면도들이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100 : 잉크젯 프린트부 200 : 로더부

300 : 언로더부 400 : 약액 공급부

500 : 인덱서부 600 : 베이크부

Claims (20)

1. 회전 가능한 회전 구동부와;

   상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리와;

   상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트와;

   상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드와;

   상기 벨트에 탈착 가능하게 설치되고, 상기 세정 패드가 탈착 가능하게 삽입 결합되며, 상기 세정 패드를 상기 벨트에 고정시키는 적어도 하나의 패드 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 패드 고정부는,

   상기 벨트의 길이 방향으로 연장된 바닥판; 및

   상기 바닥판으로부터 수직하게 연장되어 상기 세정 패드가 삽입되는 공간을 형성하고, 서로 마주하며, 각각 상단부가 안으로 절곡된 적어도 두 개의 측판을 포함하고,

   상기 세정 패드는 상기 측판들의 상단부가 삽입되는 결합홈들이 형성된 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
4. 제3항에 있어서, 상기 패드 고정부는 나사 결합을 통해 상기 벨트에 결합되는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
5. 회전 가능한 회전 구동부와;

   상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리와;

   상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트와;

   상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함하되;

   상기 벨트는 그물 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
6. 회전 가능한 회전 구동부와;

   상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리와;

   상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트와;

   상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함하되;

   상기 세정 패드는 폴리 올레핀 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
7. 제1항 및 3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 벨트와 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드와 동일한 방향으로 연장되며, 상기 세정 패드에 세정액을 분사하는 세정액 분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
8. 회전 가능한 회전 구동부와;

   상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리와;

   상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트와;

   상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드와;

   상기 벨트와 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드와 동일한 방향으로 연장되며, 상기 세정 패드에 세정액을 분사하는 세정액 분사부와;

   상기 벨트를 사이에 두고 상기 세정액 분사부와 마주하게 배치되고, 상기 벨트에 에어를 분사하는 에어 나이프를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
9. 회전 가능한 회전 구동부와;

   상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리와;

   상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트와;

   상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드와;

   상기 벨트와 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드와 동일한 방향으로 연장되며, 상기 세정 패드에 세정액을 분사하는 세정액 분사부와;

   상기 벨트에 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드를 가압하여 상기 세정 패드에 흡수된 세정액을 일부분 제거하는 적어도 하나의 수분 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
10. 제9항에 있어서, 상기 수분 제거부는,

    상기 벨트의 내면측에 위치하는 고정 롤러; 및

    상기 벨트의 외면측에 위치하여 상기 고정 롤러와 마주하고, 상기 고정 롤러와의 사이에 상기 세정 패드가 개재된 상태에서 상기 세정 패드를 상기 고정 롤러측으로 가압하는 가압 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 유닛.
11. 약액을 토출하는 다수의 노즐을 구비하고, 기판 상에 상기 약액을 도포하는 헤드; 및

    상기 노즐들에 잔존하는 이물을 제거하는 세정유닛을 포함하고,

    상기 세정 유닛은,

    회전 가능한 회전 구동부;

    상기 회전 구동부와 이격되어 서로 마주하게 배치되고, 상기 회전 구동부의 회전력에 회전하는 풀리;

    상기 회전 구동부 및 상기 풀리를 부분적으로 둘러싸고, 상기 회전 구동부에 의해 회전하며, 상기 회전 구동부의 회전력을 상기 풀리에 전달하는 벨트; 및

    상기 벨트의 외면에 탈착 가능하도록 설치되고, 상기 벨트의 폭 방향으로 연장되며, 탄성을 가지고, 상기 벨트에 회전에 의해 이동되며, 약액을 토출하는 노즐의 토출면과 접촉하여 상기 토출면의 이물을 닦아내는 적어도 하나의 세정 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
12. 제11항에 있어서,

    상기 벨트에 탈착 가능하게 설치되고, 상기 세정 패드가 탈착 가능하게 삽입 결합되며, 상기 세정 패드를 상기 벨트에 고정시키는 적어도 하나의 패드 고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
13. 제12항에 있어서,

    상기 패드 고정부는,

    상기 벨트의 길이 방향으로 연장된 바닥판; 및

    상기 바닥판으로부터 수직하게 연장되어 상기 세정 패드가 삽입되는 공간을 형성하고, 서로 마주하며, 각각 상단부가 안으로 절곡된 적어도 두 개의 측 판을 포함하고,

    상기 세정 패드는 상기 측판들의 상단부가 삽입되는 결합홈들이 형성된 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정 유닛은,

    상기 벨트와 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드와 동일한 방향으로 연장되며, 상기 세정 패드에 세정액을 분사하는 세정액 분사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 세정 유닛은,

    상기 벨트를 사이에 두고 상기 세정액 분사부와 마주하게 배치되고, 상기 벨트에 에어를 분사하는 에어 나이프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
16. 제14항에 있어서, 상기 세정 유닛은,

    상기 벨트에 인접하게 설치되고, 상기 세정 패드를 가압하여 상기 세정 패드에 흡수된 세정액을 일부분 제거하는 적어도 하나의 수분 제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
17. 제16항에 있어서, 상기 수분 제거부는,

    상기 벨트의 내면측에 위치하는 고정 롤러; 및

    상기 벨트의 외면측에 위치하여 상기 고정 롤러와 마주하고, 상기 고정 롤러와의 사이에 상기 세정 패드가 개재된 상태에서 상기 세정 패드를 상기 고정 롤러측으로 가압하는 가압 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
18. 약액을 토출하는 헤드의 약액 토출면을 회전하는 벨트의 외면에 탈착 가능하게 설치된 세정 패드의 상면에 배치시키는 단계; 및

    상기 세정 패드와 상기 헤드의 약액 토출면이 밀착된 상태에서 상기 벨트를 회전시켜 상기 약액 토출면에 잔존하는 약액을 닦아내는 단계를 포함하고,

    상기 세정 패드는 탄성을 갖는 수지 재질로 이루어져 습윤 상태를 유지하고 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치 세정 방법.
19. 제18항에 있어서,

    오염된 세정 패드를 세정하기 위해 상기 벨트의 회전에 의해 이동중인 상기 오염된 세정 패드에 세정액을 분사하는 단계; 및

    상기 벨트에 잔존하는 이물을 제거하기 위해 회전 중인 상기 벨트에 기체를 분사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치 세정 방법.
20. 제19항에 있어서,

    상기 세정액을 분사하는 단계 이후에, 상기 벨트의 회전에 의해 이동중인 상 기 세정 패드를 가압하여 상기 세정 패드에 흡수된 상기 세정액을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치 세정 방법.

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