JP2010175919A - スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 - Google Patents
スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010175919A JP2010175919A JP2009019457A JP2009019457A JP2010175919A JP 2010175919 A JP2010175919 A JP 2010175919A JP 2009019457 A JP2009019457 A JP 2009019457A JP 2009019457 A JP2009019457 A JP 2009019457A JP 2010175919 A JP2010175919 A JP 2010175919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- film thickness
- coating
- coating liquid
- slit nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【課題】同一ガラス基板内に複数の狙い膜厚がある品種に対して、それぞれの狙い値に膜厚を制御できるスピンレスコート装置を提供することと、その装置を用いた複数品種の面付けを持つカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い(仕上がり)膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備している。
【選択図】図1
【解決手段】ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い(仕上がり)膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備している。
【選択図】図1
Description
本発明は、ガラス基板等の板状被処理物表面に、フォトレジスト等の塗布液を塗布するためのスピンレスコート装置に関し、該装置をもちいて得られるカラーフィルタ基板に関する。
従来、ガラス基板等の板状被処理物表面に、フォトレジスト等の塗布液を塗布するための塗布方式として、スピンコート方式がある。これは、スピンナー上に載置した被処理物表面の中心部にノズルあるいはスリットから塗布液を滴下し、スピンナーによって被処理物を回転させ、その遠心力で塗布液を外方に向けて拡散させることで均一に塗布しようとする方法である。この場合の塗布液の膜厚は、回転数と時間で制御されるが、この方法では被処理物表面に残る塗布液は僅かであり、殆どが飛散してしまうので無駄がある。
そこで、スピンコート方式に代わって、ノズル自体に所定幅の塗布液吐出口スリットを開口させ、このスリットノズルを一定速度で移動することで被処理物表面に所定幅で塗布液を均一に塗布でき、塗布液の無駄をなくし且つ効率的な方法としてスリットダイを用いたスピンレスコート装置が提案されている。これは、スリットノズル(ダイ)コート方式と称され、大型液晶表示装置用カラーフィルタ基板の感光性樹脂の塗布等に多用されている。
従来のスピンレスコート装置においては、ポンプから供給された塗布液をダイのスリットから押し出し、常盤上に載置されたガラス基板に対して所定の間隙を保ってスリットダイを一定速度で移動して、ガラス基板等の被処理物に対して液溜まり即ちビードを形成させながら均一の膜厚となるように塗布する。このスリットダイは、例えば特許文献1に開示されているように、一般的には、サイドプレートで両サイドから挟持された2枚以上のブロックを組み合わせてスリットを形成し、ポンプに接続した塗布液を供給する供給口と、供給された塗布液を一度留めて貯蔵し幅方向に広げて長手方向に均一に流動させるためのマニホールド部分と、マニホールドより塗布液を幅方向で均一に流動させてリップより吐出させるためのスリットを有している。
しかしながら、従来の方法では、1ガラス基板に対して、狙いコート膜厚(すなわち仕上がり膜厚)は1条件であり、1ガラス基板面内に複数の狙いコート膜厚を設定することは出来ない。特許文献2には、スリットを形成するために用いるシム開口部側面が外側に凸の曲線状とすることで、塗布幅方向で両端の膜厚と中央部の膜厚とを同等にする事で塗膜全体の均一塗布を可能とし、高品質のカラーフィルタを提供する技術が開示されている。
近年、カラー液晶表示装置は、液晶カラーテレビやカーナビゲーション用および液晶表示装置一体型のノートパソコンとして大きな市場を形成するに至っており、省エネ、省スペースという特徴を活かしたデスクトップパソコン用のモニターおよびテレビとしても普及している。また、大型薄型テレビ市場の拡大につれて、用いるガラス基板は年々大型化し、最近では第6世代(G6:1500mm×1800mm)、あるいは第8世代(G8:2160mm×2400mm)と呼ばれる大型ガラス基板が使われており、更には、第10世代(G10:2850mm×3050mm)の生産が準備されている。例えば、G8サイズのガラス基板に、40型テレビと15型テレビ用の面付けが配置されているカラーフィルタ基板の場合、色膜厚・色度や積層PS(Photo Spacer)高さの狙い値は、片方の面付け品に適合した値にしか設定することはできず、もう一方の面付け品の値は成り行きとなる結果となり、ガラス基板の有効利用によるコストダウンやカラーフ
ィルタの高品質化が進まない問題があった。
ィルタの高品質化が進まない問題があった。
本発明は上記した事情と問題点に鑑みてなされたもので、同一ガラス基板内に複数の狙い膜厚がある品種に対して、それぞれの狙い値に膜厚を制御できるスピンレスコート装置を提供することと、その装置を用いた複数品種の面付けを持つカラーフィルタ基板を提供することを課題としている。
本発明の請求項1に係る発明は、ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い(仕上がり)膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備していることを特徴とするスピンレスコート装置である。
また、本発明の請求項2に係る発明は、前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、少なくとも1台以上の塗布液送液ポンプを制御して前記スリットノズルからの前記塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できるポンプ制御プログラムと、少なくとも1台以上の塗布液送液ポンプを含む塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できる塗布液送液手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置である。
また、本発明の請求項3に係る発明は、前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、前記ガラス基板に対する前記スリットノズルの移動速度を変更し且つ維持できるスリットノズル搬送制御プログラムとスリットノズル搬送手段とを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載するスピンレスコート装置である。
次に、本発明の請求項4に係る発明は、前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に対して移動する、それぞれ独立した塗布液送液ポンプを有する複数のスリットノズルを有し、一台のスリットノズルが前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板内の膜厚を変更したい位置で、定常送液塗布動作をしていない他方のスリットノズルと塗布液送液ポンプを駆動制御して、重ね塗りによって塗布膜厚を変える手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置である。
次に、本発明の請求項5に係る発明は、前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に対して移動する前記スリットノズルが、該スリットノズルの吐出開口幅または内部流路幅を、該スリットダイ幅方向の膜厚を変更したい位置で設定変更できる手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置である。
次に、本発明の請求項5に係る発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載するスピン
レスコート装置を用いて得られる、同一ガラス基板内に、膜厚の異なる複数の品種の面付けを有することを特徴とするカラーフィルタ基板である。
レスコート装置を用いて得られる、同一ガラス基板内に、膜厚の異なる複数の品種の面付けを有することを特徴とするカラーフィルタ基板である。
本発明のスピンレスコート装置は、ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い(仕上がり)膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備しているため、従来はできなかった2つ以上の狙いコート膜厚が設定可能になる。そのため、複数の大きさを有するカラーフィルタパネルを同一ガラス基板内に配置したカラーフィルタ基板に対して、カラーフィルタパネルそれぞれに対応した膜厚設定をする事ができるようになる。それにより、従来余白であったガラス基板上の領域に、異なる狙い膜厚のカラーフィルタパネルを配置すれば、ガラスの有効利用率を大幅に上げる事が可能になり、スピンレスコート装置の有効稼動が向上し、生産性向上に寄与できる。同時に液晶表示装置、特に薄型テレビ等の市場動向に合わせた柔軟な品種対応が可能となる。
以下に本発明のスピンレスコート装置を、一実施形態に基づいて説明する。
図1に示すように、本発明のスピンレスコート装置は、図示しない装置ベースの上に、ガラス基板1を載置する石常盤からなる基板ステージ2と、フォトレジスト等の塗布液5を吐出する少なくとも1台以上のスリットノズル3と、このスリットノズル3を基板ステージ上に支持するとともに基板ステージに沿って移動させる門型のガントリ4と、スリットノズル3に接続して塗布液充填槽50から塗布液を供給する送液ポンプ6を有する塗料供給装置60を基本として構成され、ガラス基板の面内の任意の位置で、複数の狙い膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を備えている。なお、図示しないが、スリットノズルの先端を洗浄する洗浄ユニット、塗布動作停止時のノズル先端の乾燥を避けるためのディップユニット、塗布液を事前吐出して調整するプライミングユニットを付属させることはかまわない。
本発明に係るスリットノズル3には、少なくとも1台以上の塗布液送液ポンプ6を含む、ガラス基板の任意の位置即ち動作時間で塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できるポンプ制御プログラム61を有する塗料供給装置60が接続されている。また、本発明に係るスリットノズル3は、ステージ2を載置する基台上のガイドレールのエンコーダー7でス
リットノズル3の動きを監視しながら、ガラス基板1の任意の位置即ち動作時間でスリットノズルの移動速度を変更し且つ維持できるスリットノズル搬送制御プログラム31とノズル移動式ガントリを構成要素に含むスリットノズル搬送手段30を備えている。
リットノズル3の動きを監視しながら、ガラス基板1の任意の位置即ち動作時間でスリットノズルの移動速度を変更し且つ維持できるスリットノズル搬送制御プログラム31とノズル移動式ガントリを構成要素に含むスリットノズル搬送手段30を備えている。
そのため、例えば、図2(a)に示すように、複数のサイズを有する面付け品に対して、従来の装置では図2(b)に示すように、面付けにかかわらず同じ膜厚となるのに対して、本発明のスピンレスコート装置では、図2(c)に示すように、それぞれ異なる膜厚狙いが可能となる。
基板ステージ2は、塗布対象となるガラス基板1を、十分な平面度を確保して載置でき、十分な精度および剛性を維持するために石常盤で構成される。その載置面にはガラス基板を真空吸着保持するための図示しない多数の微小径の貫通孔が穿設されている。また、ガラス基板の受取り時及び引渡し時に、ガラス基板を昇降させるための複数本の図示しないリフトピン用の小径の貫通孔が穿設されている。
スリットノズル3は、サイドプレートで両サイドから挟持された少なくとも2枚以上のブロックを組み合わせてスリットを形成し、塗布液を供給する供給口と、供給された塗布液を一度留めて貯蔵し幅方向に広げて長手方向に均一に流動させるためのマニホールドと、マニホールドより塗布液を幅方向で均一に流動させてリップ部より吐出させるためのスリットを有している。スリットの間隔は、10μmから500μmの間の所定の値に調整する。スリット間隔が10μm未満では、塗布液吐出の圧力損失が大きくポンプに過負荷がかかり、ポンプの動きに対して塗布液吐出の応答が遅れる。スリット間隔が500μmを超えると、スリットダイの幅方向の塗布液の吐出量の均一性が確保しにくい。
ガントリ4は、スリットノズル3におけるスリット状の吐出口がガラス基板1の表面に対向するように、スリットノズル3を基板ステージ2の上方に支持する機構である。そして、塗布動作時にガラス基板とスリット状の吐出口との微小間隔を保ち且つ非塗布動作時に十分な間隔を保てるように、リニアサーボモータによりZ(垂直)方向に駆動可能とされる。ガラス基板表面とスリット状の吐出口先端面との微小間隔・クリアランスは、均一塗布のためビードのメニスカスの安定性から、通常10μmから500μmの間の所定の値に設定する。塗布液の粘度等の特性にもよるが、カラーフィルタ用フォトレジストでは100μmから200μmの隙間が好ましい。クリアランスが10μm未満では、ガラス基板のうねりやガントリ移動機構の精度のため、スリットノズル先端とガラス基板との接触の恐れがある。
さらに、本発明に係るスリットノズル搬送手段30を構成するガントリ4は、ガラス基板のほぼ前面に亘って塗布液を塗布できるように、図示しないリニアモータによりX(走行軸)方向に駆動可能とする。本発明のノズル移動式ガントリ4は、基板ステージ2を載置する基台上のガイドレールのエンコーダー7でスリットノズルの動きを監視しながら、ガラス基板の任意の位置即ち動作時間でスリットノズル3の移動速度を変更し且つ維持できるスリットノズル搬送制御プログラム31を備えている。なお、リニアサーボモータやリニアモータに代えてボールねじ式の駆動機構を用いることも出来る。
スリットノズル3に接続して、塗布液充填槽50から塗布液5を供給する少なくとも1台以上の送液ポンプ6は、ガラス基板の膜厚を変更したい位置即ち動作時間で塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できるポンプ制御プログラム61を有する塗料供給装置60を構成している。カラーフィルタ基板等にフォトレジスト等を塗布する装置では、塗布方向の膜厚分布を均一にでき且つ気泡や不純物を含まない塗布膜の形成が要求される。さらに、本発明のスピンレスコート装置では、同一ガラス基板面内での異なる狙い膜厚を実現することを目的とするため、送液ポンプ6は、脈動が微小で定流量特性に優れ、塗布液の吐出
応答性に優れたものが望ましい。ポンプとしては、ギアポンプ、ダイアフラムポンプ、ピストン(シリンジ)ポンプなどが採用できるが、特にシリンジポンプは、ピストンにより内液を直接送り出す方式であるため、応答性に優れ好ましい。
応答性に優れたものが望ましい。ポンプとしては、ギアポンプ、ダイアフラムポンプ、ピストン(シリンジ)ポンプなどが採用できるが、特にシリンジポンプは、ピストンにより内液を直接送り出す方式であるため、応答性に優れ好ましい。
次に、図3、図4、図5に示す塗布動作プログラムを参照して、上記のように構成された本発明のスピンレスコート装置の動作を説明する。図3、図4、図5は、それぞれ、「ガラス基板に対する相対的なノズルの走行速度を変える」、「送液ポンプの送液量を変える」、および「上記2つを組み合わせて実施する」の3つの手法を実施した場合に得られる膜厚の変化量を表す。
まず、公知の方法によって被塗布基材のガラス基板を受け取り、公知の方法によってガラス基板のセンタリングを行って基板ステージ上に載置し、真空吸着保持する。次いで、リニアモータでガントリを+X方向に駆動してスリットノズルを移動し、塗布開始位置で停める。続いてリニアサーボモータを駆動してスリットノズルを−Z方向に移動し、スリットノズルのリップ部とガラス基板の表面との隙間が100μm〜200μm程度の距離となったところで停める。
次いで、塗布動作を行う。送液ポンプから塗布液をスリットノズルに送り、まず、スリット状の吐出口とガラス基板の表面との間にこれら双方に接するビードを形成し、定常的な塗布動作が開始される。
図3(a)に示す塗布動作プログラムでは、ポンプ送液速度Q0は一定で、スリットノズルから塗布液を定速で吐出させながらガントリをガラス基板に沿うX(走行軸)方向にノズル移動速度V1の定速で時間t1走行させることにより、塗布膜厚Th1の均一厚さのレジスト塗膜が塗布される。スリットノズル走行中に膜厚を変更したい位置で、ノズル移動速度V1をV2に変え定速で時間t2走行させることにより、塗布膜厚Th2の均一厚さのレジスト塗膜が塗布される。さらに、スリットノズル走行中に膜厚を元に戻したい位置で、ノズル移動速度V2をV1に変え定速で時間t3走行させることにより、塗布膜厚Th1の均一厚さのレジスト塗膜が塗布され、図3(b)に示すような塗布基板が形成される。なお、膜厚を変更したい位置は、求める塗布基板の面付けパターンに基づいて、例えば塗布速度V1×t1にて算出され任意に設定が可能である。また、膜厚の変化部分△Thは、以下の計算式により導き出された値として得ることができる。
△Th=Q0×k×(1/V2−1/V1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
△Th=Q0×k×(1/V2−1/V1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
次に、図4(a)に示す塗布動作プログラムでは、ノズル移動速度V0は一定で、ノズル走行中にポンプ送液速度Q1をQ2に変えた。ガントリをガラス基板に沿うX(走行軸)方向にノズル移動速度V0の定速で走行させながら、スリットノズルから塗布液をポンプ送液速度Q1でt1時間吐出させ、塗布膜厚Th3の均一厚さのレジスト塗膜が塗布される。スリットノズル走行中に膜厚を変更したい位置で、ポンプ送液速度Q1をQ2に変えt2時間吐出させることにより、塗布膜厚Th4の均一厚さのレジスト塗膜が塗布される。さらに、スリットノズル走行中に膜厚を元に戻したい位置で、ポンプ送液速度Q2をQ1に変えt3時間吐出させることにより、塗布膜厚Th3の均一厚さのレジスト塗膜が塗布された、図4(b)に示すような塗布基板が形成される。なお、膜厚を変更したい位置は、求める塗布基板の面付けパターンに基づいて、例えば塗布速度V1×t1にて算出され任意に設定が可能である。また、膜厚の変化部分△Thは、以下の計算式により導き出された値として得ることができる。
△Th=(1/V0)×k×(Q2−Q1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
△Th=(1/V0)×k×(Q2−Q1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
次に、図5(a)に示す塗布動作プログラムでは、ポンプ送液速度Q1、ノズル移動速度V1でt1走行させて塗布膜厚Th5の均一膜厚のレジスト膜を塗布し、t1経過後の同時刻に、それぞれノズル移動速度V1をV2に、ポンプ送液速度Q1をQ2に変更して膜厚Th6の均一膜厚のレジスト膜を塗布し、さらにt2経過後の同時刻に、それぞれノズル移動速度V2をV1に、ポンプ送液速度Q2をQ1に変更して膜厚Th5の均一膜厚のレジスト膜が塗布された、図5(b)に示すような塗布基板が形成される。なお、膜厚を変更したい位置は、求める塗布基板の面付けパターンに基づいて、例えば塗布速度V1×t1にて算出され任意に設定が可能である。また、膜厚の変化部分△Thは、以下の計算式により導き出された値として得ることができる。
△Th=(1/V2−V1)×k×(Q2−Q1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
△Th=(1/V2−V1)×k×(Q2−Q1)
ここで、k=NV/a、NVは塗布液中の固形分、aはノズル塗布幅である。
以上説明したように、本発明のスピンレスコート装置で、塗布中の膜厚の狙い値変更は、ノズル移動速度およびポンプ送液速度の単独かあるいは双方を変更することで、膜厚を変更したい位置で実施可能であることがわかった。前述した、同一カラーフィルタ基板に、例えば、G8サイズのガラス基板に、40型テレビと15型モニター用の面付けが配置されているカラーフィルタ基板の場合、色膜厚・色度や積層PS高さの狙い値を、それぞれの面付け品に適合した値に設定することができるため、ガラス基板の有効利用によるコストダウンが実現でき、同時に一方の値に合わせて作られていたカラーフィルタの高品質化も可能となった。
以上の説明は、スリットノズルを1台使用した場合であるが、図6に示すように、それぞれ独立した塗布液送液ポンプ6(1)および6(2)を有する複数のスリットノズル3(1)および3(2)を有し、一台のスリットノズルがガラス基板に塗布液を定常状態で塗布している最中に、ガラス基板内の膜厚を変更したい位置で、定常送液塗布動作をしていない他方のスリットノズルと塗布液送液ポンプを制御して、重ね塗りによって塗布膜厚を変えることによっても同様の結果を得ることは可能である。ただし、この場合は装置が複雑になり、コスト的にも不利となる可能性がある。
また、上記したガラス基板のX(走行軸)方向でのねらい膜厚変更ではなく、幅方向での狙い膜厚の異なる面付けを有する品種については、スリットノズルの吐出開口幅または内部流路幅を、スリットダイ幅方向の膜厚を変更したい位置で設定変更できる手段を備えているスリットノズルを使用することで対応が可能である。対象とする品種に合わせて幅方向のスリット開口幅を変更可能な可変式リップを有したスリットダイや、シムによる内部流量変更可能なスリットダイが考えられるが、高精度の膜厚制御を実現するためには、幅方向で狙い膜厚の異なる面付けを有する品種毎にスリットノズルを準備して、生産品目に合わせてスリットノズルを載せかえることも必要である。
1・・・ガラス基板 2・・・基板ステージ 3・・・スリットノズル
30・・・ノズル搬送手段 31・・・ノズル搬送制御プログラム
4・・・ガントリ 5・・・塗布液 50・・・塗布液充填槽
6・・・送液ポンプ 60・・・塗料供給装置
61・・・ポンプ制御プログラム 7・・・エンコーダー
30・・・ノズル搬送手段 31・・・ノズル搬送制御プログラム
4・・・ガントリ 5・・・塗布液 50・・・塗布液充填槽
6・・・送液ポンプ 60・・・塗料供給装置
61・・・ポンプ制御プログラム 7・・・エンコーダー
Claims (6)
- ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離れて該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、
前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い(仕上がり)膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備していることを特徴とするスピンレスコート装置。 - 前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、少なくとも1台以上の塗布液送液ポンプを制御して前記スリットノズルからの前記塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できるポンプ制御プログラムと、少なくとも1台以上の塗布液送液ポンプを含む塗布液の吐出速度を変更し且つ維持できる塗布液送液手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置。
- 前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、前記ガラス基板に対する前記スリットノズルの移動速度を変更し且つ維持できるスリットノズル搬送制御プログラムとスリットノズル搬送手段とを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載するスピンレスコート装置。
- 前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に対して移動する、それぞれ独立した塗布液送液ポンプを有する複数のスリットノズルを有し、一台のスリットノズルが前記ガラス基板に前記塗布液を定常状態で塗布している最中に、前記ガラス基板内の膜厚を変更したい位置で、定常送液塗布動作をしていない他方のスリットノズルと塗布液送液ポンプを駆動制御して、重ね塗りによって塗布膜厚を変える手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置。
- 前記膜厚変更制御機構が、前記ガラス基板に対して移動する前記スリットノズルが、該スリットノズルの吐出開口幅または内部流路幅を、該スリットダイ幅方向の膜厚を変更したい位置で設定変更できる手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載するスピンレスコート装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載するスピンレスコート装置を用いて得られる、同一ガラス基板内に、膜厚の異なる複数の品種の面付けを有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019457A JP2010175919A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019457A JP2010175919A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010175919A true JP2010175919A (ja) | 2010-08-12 |
Family
ID=42706960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009019457A Pending JP2010175919A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010175919A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014092199A1 (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-19 | デクセリアルズ株式会社 | 画像表示装置の製造方法、樹脂用ディスペンサー |
JP2016002515A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 平田機工株式会社 | 塗布方法、塗布装置、製造方法及び製造装置 |
-
2009
- 2009-01-30 JP JP2009019457A patent/JP2010175919A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014092199A1 (ja) * | 2012-12-14 | 2014-06-19 | デクセリアルズ株式会社 | 画像表示装置の製造方法、樹脂用ディスペンサー |
JP2014134789A (ja) * | 2012-12-14 | 2014-07-24 | Dexerials Corp | 画像表示装置の製造方法、樹脂用ディスペンサー |
US9651807B2 (en) | 2012-12-14 | 2017-05-16 | Dexerials Corporation | Method of producing image display device and resin dispenser |
US10703081B2 (en) | 2012-12-14 | 2020-07-07 | Dexerials Corporation | Method of producing image display device and resin dispenser |
US11137630B2 (en) | 2012-12-14 | 2021-10-05 | Dexerials Corporation | Method of producing image display device and resin dispenser |
JP2016002515A (ja) * | 2014-06-16 | 2016-01-12 | 平田機工株式会社 | 塗布方法、塗布装置、製造方法及び製造装置 |
CN105289948A (zh) * | 2014-06-16 | 2016-02-03 | 平田机工株式会社 | 涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102688830B (zh) | 涂布装置和涂布方法 | |
JP6804850B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
WO2004078360A1 (ja) | スリットダイ、ならびに、塗膜を有する基材の製造方法および製造装置 | |
KR100778147B1 (ko) | 액정 디스플레이 패널 제조용 디스펜싱 장치 | |
JP5098396B2 (ja) | スロットダイおよび塗膜を有する基材の製造装置および塗膜を有する基材の製造方法 | |
JP2014180604A (ja) | 間欠塗布装置および間欠塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2009172571A (ja) | ペーストディスペンサのペースト塗布方法及びこれに使われる空気圧供給装置 | |
KR20140147540A (ko) | 수지 도포 장치, 그 방법 및 이를 이용한 수지층 형성방법 | |
WO2015181918A1 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
KR20130037164A (ko) | 도포방법 및 도포장치 | |
CN108855778B (zh) | 涂敷装置、涂敷方法和喷嘴 | |
JP2005305426A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2008272740A (ja) | 塗布液供給装置、塗布装置およびプラズマディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2007283181A (ja) | 塗布方法と塗布装置並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP6151053B2 (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP4876820B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2010175919A (ja) | スピンレスコート装置およびカラーフィルタ基板 | |
JP2008114137A (ja) | 塗布器、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造装置および製造方法 | |
JP2009154106A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP2022047040A (ja) | ノズル待機装置、液処理装置及び液処理装置の運転方法 | |
TW202126133A (zh) | 狹縫噴嘴以及基板處理裝置 | |
JP2004267992A (ja) | 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 | |
JP4799390B2 (ja) | 塗布方法 | |
JP2005329305A (ja) | 枚葉塗布方法、枚葉塗布装置、塗布基板、および枚葉塗布部材の製造方法 | |
JP2012192332A (ja) | 塗布装置、塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 |