CN106842831A - 一种显影喷嘴装置 - Google Patents

一种显影喷嘴装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106842831A
CN106842831A CN201611227454.8A CN201611227454A CN106842831A CN 106842831 A CN106842831 A CN 106842831A CN 201611227454 A CN201611227454 A CN 201611227454A CN 106842831 A CN106842831 A CN 106842831A
Authority
CN
China
Prior art keywords
crack
nozzle device
developing nozzle
liquid
cleansing tablet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201611227454.8A
Other languages
English (en)
Inventor
徐涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201611227454.8A priority Critical patent/CN106842831A/zh
Publication of CN106842831A publication Critical patent/CN106842831A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30—Imagewise removal using liquid means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)

Abstract

本发明公开一种显影喷嘴装置，其包括：液刀，其设有进液口；喷嘴，其与液刀的下部相接，所述喷嘴内开有沿其轴向方向的裂缝，所述裂缝与所述进液口相连通；清洗组件，其伸入所述裂缝，对所述裂缝进行清洗。本发明公开的显影喷嘴装置结构简单，能够自动清洗喷嘴中的颗粒，以及时去掉颗粒，有效防止喷嘴某个部位堵塞时而导致此处无显影液喷出，无显影液喷出会造成此处的膜面无法浸润到显影液从而在玻璃上形成一条短横线的颜色不均的发生。

Description

一种显影喷嘴装置
技术领域
本发明涉及一种喷嘴装置，特别涉及一种显影喷嘴装置
背景技术
因应低温多晶硅移动(LTPS Mobile)产品对产品品质要求越来越高，对产品颜色的均一性要求也越来越高，颜色主要是由彩膜输出的，需要彩膜基板上膜层的颜色均一越来越高。
彩膜制作过程为玻璃进入洗净装置，对玻璃进行清洗，使其表面干净，然后再通过涂布装置对玻璃进行涂布，在玻璃的表面涂布一光阻层，将涂布后的玻璃放在真空干燥装置内进行干燥，除去玻璃上的水分，再在预烘烤装置内进行预烘烤处理，随后进入曝光装置内进行曝光处置，经过曝光处理后，进入显影装置内对玻璃进行加工，在彩膜黄光线上有一台外挂设备，对产品进行宏观色不均匀的抽样检查，简称macro，此设备内需要人员进入设备进行操作，通过人员手动操作旋转载台，通过灯照射到玻璃上，人眼靠近观察产品上是否有膜面颜色不均的现象，对玻璃的品质进行判定，当发现彩膜产品颜色不均时，将玻璃判为不良品，合格的产品进入烘烤装置内进行烘烤处理后，玻璃从烘烤装置中出来后并制作出彩膜。
如图1所示，显影装置的液刀1喷出显影液将玻璃20上未曝光的光阻洗掉，在玻璃20上形成我们需要的图形，玻璃20进入显影装置时需要对玻璃20的光阻层进行显影液的浸润，保证显影液与光阻均匀的融合，这样对显影液的浸润均一性要求比较高；显影装置使用具有裂缝21(slit)的喷嘴2(nozzle)装置喷出显影液，这有一个缺陷，因为裂缝21的宽度只有0.1mm，所以内部容易堵塞，当某个部位堵塞时，此处无显影液喷出，导致此处的膜面无法浸润到显影液，形成一条短横线的颜色不均。
正常状况药液从喷嘴2的裂缝21喷到产品膜面上，形成一层均匀的水膜。如图2所示，当喷嘴2的裂缝21中有异物3堵塞时，喷出来的药液开叉，产品膜面堵塞对应的区域无药液，从而造成玻璃20上形成一条短横线的颜色不均的缺陷。
为解决上述上述缺陷，有必要提出一种新的显影喷嘴装置。
发明内容
本发明的显影喷嘴装置结构简单，能够自动清洗喷嘴中的颗粒及时去掉，有效防止喷嘴某个部位堵塞时而导致此处无显影液喷出，造成此处的膜面无法浸润到显影液，形成一条短横线的颜色不均的发生。
为实现上述目的，本发明提供了一种显影喷嘴装置，其中，其包括：
液刀，其设有进液口；
喷嘴，其与液刀的下部相接，所述喷嘴内开有沿其轴向方向的裂缝，所述裂缝与所述进液口相连通；
清洗组件，其伸入所述裂缝，对所述裂缝进行清洗。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，所述清洗组件包括：能伸入所述裂缝的清洁片，所述清洁片能在所述裂缝内移动，以对所述裂缝进行清洗。
如上所述的显影喷嘴装置，其中清洗组件还包括导轨，所述清洁片移动地设于所述导轨上。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，所述清洗组件还包括夹持块，所述清洁片通过夹持块设置在所述导轨上，所述夹持块能在所述导轨上滑动。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，清洗组件还包括马达，所述马达与所述夹持块相接，用于驱动所述夹持块沿所述轨道滑动，进而带动清洁片在裂缝内移动，对裂缝进行清洁。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，所述所述清洁片为硅片制成的清洁片。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，所述液刀包括液刀本体，所述液刀本体上设有储液槽，所述储液槽分别与所述进液口和所述裂缝相连通。
如上所述的显影喷嘴装置，其中，所述液刀本体上还设有液体导向槽，所述液体导向槽分别与所述储液槽和所述裂缝相连通。
本发明的显影喷嘴装置结构简单，能够自动清洗喷嘴中的颗粒及时去掉，有效防止喷嘴某个部位堵塞时而导致此处无显影液喷出，造成此处的膜面无法浸润到显影液，形成一条短横线的颜色不均的发生。
附图说明
在此描述的附图仅用于解释目的，而不意图以任何方式来限制本发明公开的范围。另外，图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的，用于帮助对本发明的理解，并不是具体限定本发明各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本发明的教导下，可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本发明。
图1为现有技术的显影装置的一使用状态示意图；
图2为现有技术的显影装置的另一使用状态示意图；
图3为图2中的显影装置的侧视图；
图4为本发明的显影喷嘴装置的结构示意图(状态一)；
图5为本发明的显影喷嘴装置的结构示意图(状态二)。
具体实施方式
结合附图和本发明具体实施方式的描述，能够更加清楚地了解本发明的细节。但是，在此描述的本发明的具体实施方式，仅用于解释本发明的目的，而不能以任何方式理解成是对本发明的限制。在本发明的教导下，技术人员可以构想基于本发明的任意可能的变形，这些都应被视为属于本发明的范围，下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图4至图5分别为本发明的显影喷嘴装置的结构示意图(状态一)、显影喷嘴装置的结构示意图(状态二)。
如图4和图5所示，本发明的显影喷嘴装置包括：液刀1、喷嘴2和清洗组件3，其中，液刀1上设有进液口11、喷嘴2与液刀1的下部相接，喷嘴2内开有沿其轴向方向的裂缝21，裂缝21与进液口11相连通，清洗组件3伸入裂缝21，对裂缝21进行清洗，从而能够用于清洗裂缝中的颗粒物4。
显影液通过本发明的液刀1的进液口11进入到裂缝21(slit)中，然后裂缝21再将显影液喷到产品膜面上，形成一层均匀的水膜。当裂缝21中有颗粒物4堵塞时，喷出来的显影液开叉，产品膜面对应堵塞的区域无显影液，从而造成玻璃20上形成一条短横线的颜色不均的缺陷发生(如图2所示)，为避免此缺陷的产生，清洗组件3能在裂缝21中移动，对裂缝21进行清洗，即将裂缝21中的颗粒物4清除(如图5所示)，从而避免玻璃20上形成一条短横线的颜色不均的缺陷发生。
具体的，清洗组件3包括能伸入裂缝11的清洁片31，清洁片31能在裂缝11内移动，以对裂缝21进行清洗，在本发明中，清洗组件3还包括导轨32，清洁片31移动地设于导轨32上，清洁片31通过在导轨32上左右移动来实现在裂缝11内的移动，在一具体实施例中，清洗组件3还包括夹持块33，清洁片31通过夹持块33设置在导轨32上，夹持块33能在导轨32上滑动，夹持块33夹持清洁片31将清洁片31固定，清洗组件3还包括马达，夹持块33与马达(图中未示出马达)相接，利用马达驱动将此夹持着清洁片31的夹持块33在导轨32上移动，从而实现将喷嘴2内的颗粒物4刮掉，该马达可以正逆旋转，所以夹持块33可以来回地在导轨32上移动，持续将喷嘴2内的颗粒物4(即裂缝21中的颗粒物4)刮掉直到刮干净为止。
在本实施例中，清洁片31为硅片制成的清洁片，裂缝11的宽度只有0.1mm，因此，该硅片比较薄，因此，清洁片31为薄硅片制成的清洁片。
进一步地，液刀1包括液刀本体12，液刀本体12上设有储液槽，储液槽分别与进液口11和裂缝21相连通，储液槽位于进液口11和裂缝21之间，且与进进液口11和裂缝21相连通，从而实现从液刀本体12内的显影液能够稳定地从裂缝21流出。
液刀本体12上还设有液体导向槽，液体导向槽分别与储液槽和裂缝12相连通，液体导向槽位于储液槽和裂缝21之间，且与储液槽和裂缝21相连通，从而使液刀本体12内的显影液能够顺畅地从裂缝21流出，在本发明的液刀本体12上设有多个螺丝孔121，在连接中使用。
本发明的显影喷嘴装置结构简单，能够自动清洗喷嘴中的颗粒及时去掉，有效防止喷嘴某个部位堵塞时而导致此处无显影液喷出，造成此处的膜面无法浸润到显影液，形成一条短横线的颜色不均的发生。
上述技术方案只是本发明的一种实施方式，对于本领域内的技术人员而言，在本发明公开了应用方法和原理的基础上，很容易做出各种类型的改进或变形，而不仅限于本发明上述具体实施方式所描述的方法。虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (8)

1.一种显影喷嘴装置，其特征在于，其包括：
液刀，其设有进液口；
喷嘴，其与液刀的下部相接，所述喷嘴内开有沿其轴向方向的裂缝，所述裂缝与所述进液口相连通；
清洗组件，其伸入所述裂缝，对所述裂缝进行清洗。
2.如权利要求1所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述清洗组件包括能伸入所述裂缝的清洁片，所述清洁片能在所述裂缝内移动，以对所述裂缝进行清洗。
3.如权利要求2所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述清洗组件还包括导轨，所述清洁片移动地设于所述导轨上。
4.如权利要求3所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述清洗组件还包括夹持块，所述清洁片通过夹持块设置在所述导轨上，所述夹持块能在所述导轨上滑动。
5.如权利要求4所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述清洗组件还包括马达，所述马达与所述夹持块相接，用于驱动所述夹持块沿所述轨道滑动，进而带动清洁片在裂缝内移动，对裂缝进行清洁。
6.如权利要求2至5中任意一项所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述所述清洁片为硅片制成的清洁片。
7.如权利要求1至5中任意一项所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述液刀包括液刀本体，所述液刀本体上设有储液槽，所述储液槽分别与所述进液口和所述裂缝相连通。
8.如权利要求7所述的显影喷嘴装置，其特征在于，所述液刀本体上还设有液体导向槽，所述液体导向槽分别与所述储液槽和所述裂缝相连通。
CN201611227454.8A 2016-12-27 2016-12-27 一种显影喷嘴装置 Pending CN106842831A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611227454.8A CN106842831A (zh) 2016-12-27 2016-12-27 一种显影喷嘴装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611227454.8A CN106842831A (zh) 2016-12-27 2016-12-27 一种显影喷嘴装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106842831A true CN106842831A (zh) 2017-06-13

Family

ID=59136942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611227454.8A Pending CN106842831A (zh) 2016-12-27 2016-12-27 一种显影喷嘴装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106842831A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109092761A (zh) * 2018-07-26 2018-12-28 武汉华星光电技术有限公司 一种液刀及采用该液刀的自动清洁方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102909955A (zh) * 2011-08-01 2013-02-06 夏普株式会社 液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法
CN103286030A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN103576470A (zh) * 2013-10-31 2014-02-12 清华大学深圳研究生院 一种显影工艺喷嘴
CN103792713A (zh) * 2014-01-27 2014-05-14 北京京东方显示技术有限公司 一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置
CN105921360A (zh) * 2016-07-01 2016-09-07 深圳市华星光电技术有限公司 狭缝喷嘴和涂布装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102909955A (zh) * 2011-08-01 2013-02-06 夏普株式会社 液体排出喷嘴以及液体排出喷嘴的疏水层的再生方法
CN103286030A (zh) * 2013-06-28 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 一种狭缝喷嘴清洁装置
CN103576470A (zh) * 2013-10-31 2014-02-12 清华大学深圳研究生院 一种显影工艺喷嘴
CN103792713A (zh) * 2014-01-27 2014-05-14 北京京东方显示技术有限公司 一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置
CN105842998A (zh) * 2014-01-27 2016-08-10 北京京东方显示技术有限公司 一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置
CN105921360A (zh) * 2016-07-01 2016-09-07 深圳市华星光电技术有限公司 狭缝喷嘴和涂布装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109092761A (zh) * 2018-07-26 2018-12-28 武汉华星光电技术有限公司 一种液刀及采用该液刀的自动清洁方法
WO2020019731A1 (zh) * 2018-07-26 2020-01-30 武汉华星光电技术有限公司 一种液刀及采用该液刀的自动清洁方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103909079B (zh) 通过式清洗机及其清洗方法
JP3131149B2 (ja) 流液式スクラバ洗浄方法及び装置
DE3027934A1 (de) Verfahren zur einseitigen aetzung von halbleiterscheiben
JP2001310147A (ja) スリットコータの予備吐出装置および予備吐出方法
JP2007167837A (ja) 吐出ノズルの洗浄装置
CN108394090A (zh) 一种弯曲玻璃贴膜方法
CN106842831A (zh) 一种显影喷嘴装置
JP4436212B2 (ja) ダイコータの塗工方法およびこの方法によって作製されたフォトリソグラフィ用ペリクル
KR20150002597U (ko) 신발 산업 분야의 자동 코팅기 및 자동 코팅 생산 라인
CN203695538U (zh) 通过式清洗机
CN205701644U (zh) 一种机械零部件清洗装置
CN104589792B (zh) 丝网网版冲洗除膜设备及其清洗除膜方法
US20160201986A1 (en) Substrate holder assembly, apparatus, and methods
KR101572131B1 (ko) 피혁도장장치의 라인컨베이어 세척장치
KR101806033B1 (ko) 더스트 트랩용 접착액 도포 장치 및 더스트 트랩용 접착액 도포 방법
CN106186717B (zh) 玻璃基板涂布装置
KR101884983B1 (ko) 점성 용액 디스펜서용 노즐 세정 장치
CN108906735A (zh) 一种转印板清洗装置
KR20180042884A (ko) LLO(Laser Lift-Off) 공정 전 OLED 캐리어 글라스 기판 후면 세정 장치
TWM539989U (zh) 一種定植板清洗裝置
CN106940515A (zh) 显影设备
CN107015444A (zh) 显影工艺中的玻璃基板的水洗装置及方法
CN206066141U (zh) 一种玉石加工自动除尘装置
CN207154257U (zh) 光学膜片清洗装置
JPH0512285Y2 (zh)

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20170613