CN103792713A - 一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。上述液刀作业时通过至少一个喷液槽作业，即至少有两个喷液间隙同时作业，两个并行排列的喷液间隙在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。

Description

一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置
技术领域
本发明涉及显示面板加工技术领域，特别涉及一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置。
背景技术
在TFT-LCD（Thin Film Transistor–Liquid Crystal Display薄膜晶体管-液晶显示）曝光显影工艺中，需要用到显影装置来去除玻璃基板上被曝光的光阻层，从而形成所需要的光阻图案。在这一环节当中，当显影液和光阻反应之后，需要使用清洗装置通过液刀喷水对玻璃基板进行冲洗，以将玻璃基板上的显影液、以及显影液与光阻反应之后形成的混合液等从玻璃基板的表面清除。
现有技术中使用的清洗装置中，其液刀结构如图1所示，现有技术中清洗装置的使用的液刀01具有单缝隙011结构，使用过程中通过液刀01具有的喷液间隙011将清洗液喷向玻璃基板的表面，以将显影液以及显影液与光阻反应之后形成的混合液从玻璃基板的表面清除。
上述清洗装置中，当清洗液中混有异物时，清洗液中的异物会将液刀01中的喷液间隙011堵塞，液刀01喷出的水幕就会产生一条很明显的分叉，导致玻璃基板的表面与该分叉相对的部位的显影液以及显影液与光阻反应形成的混合液清洗不彻底，显影液与玻璃基板表面的化学反应时间过长，从而导致A-V LineMura的产生，降低产品的良率。
发明内容
本发明提供了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，使用该液刀对玻璃基板的显影液进行清洗时清洗效果较好，进而提高产品的良率。
为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种用于显影液清洗装置的液刀，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：
每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。
上述液刀在清洗过程中，通过至少一个喷液槽与其内的液刀芯体配合形成的两个并行排列的喷液间隙喷向玻璃基板的表面；上述两个喷液间中在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，当其中一个喷液间隙在某处位置发生堵塞时，另一个喷液间隙在该位置上没有发生堵塞，通过没有发生堵塞的喷液间隙可以对玻璃基板此处进行补充清洗，进而能够及时将玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液从玻璃基板的表面清除，提高清洗装置对玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液清洗的有效性，提高产品的良率。
因此，本发明提供的液刀能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。
优选地，所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向，任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。
优选地，所述盖板与每一个所述喷液槽对应的部位具有多个凸向所述液刀芯体的支撑柱，且每一个支撑柱朝向所述液刀芯体的一面与所述液刀芯体朝向所述盖板的一面相抵。
优选地，所述多个支撑柱沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布；所述盖板设置的进液孔为多个，且沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布。
优选地，所述液刀芯体中，所述喷嘴部两侧的支撑部形成的进液间隙交错分布。
优选地，每一个所述支撑部与对应的所述限位面相抵的一端具有横向延伸的垫块以形成L型结构。
优选地，每一个所述喷液槽中，一个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁上设有枢装于所述侧壁、且内端与所述液刀芯体螺纹配合的调节螺钉，所述调节螺钉的延伸方向与所述喷液间隙的长度方向垂直。
优选地，每一个所述喷液槽中，两个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁背离所述喷液口的一端与所述液刀芯体密封连接，所述液刀芯体具有：
贯穿所述液刀芯体长度方向的进液管路；
开口位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一面、且与所述进液管路连通的多个进液孔；
与所述进液管路和所述液刀芯体与所述侧壁之间间隙连通的多个进液支路。
优选地，所述进液支路为圆孔，所述进液支路的直径为5mm～10mm。
优选地，所述进液支路的直径为5mm。
优选地，每一个所述侧壁与所述液刀芯体密封连接的部位与所述液刀芯体之间设有密封垫片。
优选地，所述液刀槽体还具有延伸方向与所述喷液间隙长度方向平行的滑槽，还包括：
与所述滑槽滑动配合的滑块；
固定于所述滑块的支架；
固定于所述支架且与喷液间隙一一对应的刮片，每一个所述刮片的一端伸入其对应的所述喷液间隙；
所述液刀槽体的两端分别设有刮片暂存槽。
优选地，还包括：与滑块连接的软线，其中：
沿所述喷液间隙的长度方向，所述软线的伸出所述液刀槽体的一端，且伸出所述液刀槽体的另一端。
优选地，每一个所述喷液间隙中，沿所述喷液间隙的喷液方向，所述侧壁与所述喷嘴部之间间距逐渐减小。
另外，本发明还提供了一种显影液清洗装置，包括至少一个上述技术方案中提供的任一种液刀。
附图说明
图1为现有技术中显影液清洗装置使用的液刀的截面剖视图；
图2为本发明实施例提供的液刀的一种整体结构示意图；
图3为本发明实施例提供的液刀的液刀芯体和液刀槽体配合时的一种剖面结构示意图；
图4为图3所示的液刀结构中刮片与喷液间隙之间的配合结构示意图；
图5为图3所示的液刀结构中液刀芯体的结构示意图；
图6为图3所示的液刀结构中盖板的结构示意图；
图7为图3所示的液刀的立体图；
图8为本发明实施例提供的液刀的另一种结构示意图；
图9为图8所示的液刀结构中液刀芯体的结构示意图；
图10为图8所示的液刀结构的剖面图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图2和图3，本发明提供的用于显影液清洗装置的液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体1，和与喷液槽一一对应的液刀芯体2，其中：
每一个液刀芯体2安装于其对应的喷液槽内，且喷液槽中沿液刀芯体2长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，如侧壁11和侧壁12，侧壁11和侧壁12的一端配合形成喷液口，液刀芯体2具有一端伸入喷液口的喷嘴部23，喷嘴部23伸入喷液口的部分与沿液刀芯体2长度方向延伸的两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个喷液间隙并行排列；如图3所示，液刀芯体2的喷嘴部23与侧壁11之间形成喷液间隙21，液刀芯体2的喷嘴部23与侧壁12之间形成喷液间隙22。
上述液刀中，液刀芯体2具有的喷嘴部23的一端伸入该液刀芯体2对应的喷液槽的侧壁11和侧壁12一端配合形成的喷液口内，且液刀芯体2的喷嘴部23伸入喷液口的部分与侧壁11之间形成喷液间隙21，且与侧壁12之间形成喷液间隙22，且喷液间隙21和喷液间隙22并行排列；在使用上述液刀对玻璃基板表面进行清洗的过程中，液刀通过至少一个喷液槽与该喷液槽内设置的液刀芯体2之间形成的喷液间隙21和喷液间隙22喷向玻璃基板的表面，对玻璃基板表面进行清洗；上述液刀具有的喷液间隙21和喷液间隙22中在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，当其中一个喷液间隙21在某处位置发生堵塞时，另一个喷液间隙22在该位置上没有发生堵塞，通过没有发生堵塞的喷液间隙22可以对玻璃基板此处进行补充清洗，进而能够及时将玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液从玻璃基板的表面清除，提高清洗装置对玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液清洗的有效性，提高产品的良率。
如，假设沿喷嘴间隙的长度方向上一个喷液间隙在与玻璃基板的某一点对应的位置处发生堵塞的概率为0.3，不发生堵塞的概率为1-0.3=0.7；上述液刀具有的喷液间隙21和喷液间隙22在与玻璃基板上该点对应位置发生堵塞的概率均为0.3，而喷液间隙21和喷液间隙22同时在与玻璃基板上该点对应位置发生堵塞的概率为0.3*0.3=0.09，上述液刀能够对玻璃基板上该点进行有效清洗的有效率为1-0.09=0.91，大于只有一个喷液间隙时对玻璃基板上该点的有效清洗的有效率；因此，具有喷液间隙21和喷液间隙22的液刀在清洗玻璃表面时的有效性较高。
因此，本发明提供的液刀能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。
一种优选实施方式中，在液刀芯体2上还可以具有位于喷液间隙21以及喷液间隙22之间，且与喷液间隙21以及喷液间隙22并行排列的另一个喷液间隙，这里不再赘述。
请参考图3、图4、图5以及图6，一种优选实施方式中，上述液刀中，液刀槽体1还具有位于液刀芯体2背离其喷嘴部23一侧的盖板3，每一个喷液槽的侧壁11和侧壁12以及其他侧壁均与盖板3密封连接，每一个喷液槽的侧壁11、侧壁12以及其他侧壁与盖板3密封配合形成一个具有喷液口的容腔；如图4所示，喷液槽中沿液刀芯体2的长度方向延伸的侧壁11具有朝向盖板3的限位面111，侧壁12具有一个朝向盖板3的限位面121，同时，液刀芯体1具有位于喷嘴部23一侧、且与侧壁11的限位面111相抵的多个支撑部24、以及位于喷嘴部23另一侧、且与侧壁12的限位面121相抵的多个支撑部25，且液刀芯体2朝向盖板3的一面与盖板3朝向液刀芯体2的一面相抵，以对液刀芯体2进行限位；结合图3、图4、图5以及图6所示，盖板3具有进液孔32，且沿液刀芯体2的长度方向，任意相邻的两个支撑部24之间形成一个连通进液孔32与喷嘴部23与支撑部24以及限位面111之间空间D1的进液间隙241，且任意相邻的两个支撑部25之间形成一个连通进液孔32与喷嘴部23与支撑部25以及限位面121之间空间D2的进液间隙251.
当然，为了减少盖板3上设置进液孔32的个数以增强盖板3的强度，优选地，盖板3与每一个喷液槽对应的部位具有多个凸向液刀芯体2的支撑柱31，每一个支撑柱31朝向液刀芯体2的一面与液刀芯体2朝向盖板3的一面相抵。支撑柱31朝向液刀芯体2的一面形成盖板3与液刀芯体2相抵的面，可以使液刀芯体2与盖板3之间形成一定的间隙A，进而，盖板3设置的进液孔32既可以与喷液间隙21连通，又可以与喷液间隙22连通，因此可以减少盖板3上设置进液孔32的数量，提高盖板3的结构强度。
具体使用过程中，清洗液通过盖板3具有的进液孔32进入盖板3与液刀芯体2之间形成的间隙A内，然后通过进液间隙241进入空间D1内，再通过喷液间隙21喷向玻璃基板的表面；同时，进入间隙A内的清洗液也通过进液间隙241进入空间D2内，再通过喷液间隙22喷向玻璃基板的表面，进而实现喷液间隙21和喷液间隙22同时对玻璃基板进行清洗的目的。
优选地，盖板3上具有的多个支撑柱31沿液刀芯体2的长度方向均匀分布；且盖板3设置的进液孔32为多个，且沿液刀芯体2的长度方向均匀分布。
一种优选方案中，为了提高清洗液进入空间D1以及空间D2时清洗液内部压力的均匀性，如图4所示，液刀芯体2与侧壁11以及侧壁12之间均存在间隙B，进而使间隙A内的清洗液的一部分通过进液间隙241以及进液间隙251进入相应的空间，还有一部分是通过间隙B进入的，能够提高空间D1以及空间D2内清洗液压力的均匀性。
如图5所示，一种优选实施方式中，液刀芯体2中喷嘴部23一侧的支撑部24形成的进液间隙241和喷嘴部另一侧的支撑部25形成的进液间隙251沿喷液间隙21以及喷液间隙22的长度方向交错分布，能够减小清洗液对液刀芯体2的表面产生的表面应力，减小液刀芯体2上产生的局部区域应力集中现象，提高液刀芯体2的抗疲劳强度。
一种优选实施方式中，为了增大每一个支撑部与其对应的限位面之间的接触面积，减小支撑部与限位面接触部位的应力集中，一种优选实施方式中，每一个支撑部与对应的限位面相抵的一端具有横向延伸的垫块以形成L型结构。
当然，为了便于对喷液间隙21以及喷液间隙22宽度的调整，如图3以及图7所示，一种优选实施方式中，每一个喷液槽中，沿液刀芯体2长度方向延伸的侧壁12上设有枢装于侧壁12、且内端与液刀芯体1螺纹配合的调节螺钉14，调节螺钉14的延伸方向与喷液间隙21的长度方向垂直。
或者，调节螺钉14与侧壁12螺纹配合，且内端与侧壁12限位，也能实现上述的调节目的。
如图8、图9以及图10所示，另一优选实施方式中，每一个喷液槽中，沿液刀芯体2长度方向延伸的侧壁11和侧壁12背离喷液口的一端均与液刀芯体2密封连接，液刀芯体2具有：
贯穿液刀芯体2长度方向的进液管路26；
开口位于液刀芯体2背离其喷嘴部23一面、且与进液管路26连通的多个进液孔28；
与进液管路26和液刀芯体2与侧壁11之间间隙连通的多个进液支路27，如图10中所示，进液管路26与液刀芯体2与侧壁11之间的间隙通过对应的进液支路27连通，进液管路26与液刀芯体2与侧壁12之间的间隙通过对应的进液支路27连通。
进液支路26两侧的进液支路27沿液刀芯体2的长度方向均匀分布。
一种优选实施方式中，每一个进液支路27均为圆孔，根据上述进液支路27布置的疏密程度不同，进液支路27的直径为5mm～10mm，以保证液刀芯体2的强度和使用寿命。
更优选地，上述进液支路27的直径为5mm。
当然，为了实现对进液间隙21以及进液间隙22宽度的调整，优选地，侧壁11以及侧壁12与液刀芯体2密封连接的部位均设置有密封垫片，只需变换不同厚度的密封垫片就能实现对进液间隙21以及进液间隙22宽度的调整。
如图2、图3以及图4所示，优选地，液刀槽体1还具有延伸方向与喷液间隙21长度方向平行的滑槽13，还包括：
与滑槽13滑动配合的滑块4；
固定于滑块4的支架5；
且与喷液间隙一一对应的刮片，每一个刮片的一端伸入其对应的喷液间隙中；如图4中所示的刮片61和刮片62，其中，刮片61的一端伸入喷液间隙21，刮片62的一端伸入喷液间隙22；
液刀槽体1的两端分别设有刮片暂存槽。
当喷液间隙21和喷液间隙22未发生堵塞时，刮片61和刮片62位于其中一个刮片暂存槽内，当喷液间隙21和或喷液间隙22发生堵塞，需要对喷液间隙21和或喷液间隙22进行刮擦时，驱动滑块4沿滑槽13滑动，进而使刮片61沿喷液间隙21的长度方向对喷液间隙21进行刮擦，同时刮片62也能喷液间隙22的长度方向对喷液间隙22进行刮擦，方便快捷，提高了清洗设备的稼动率。
当然，上述滑块4可以直接通过手动驱动，还可以通过其他方式驱动，一种优选实施方式中，上述液刀还包括与滑块4连接的软线，其中：
沿喷液间隙21的长度方向，软线的一端与伸出液刀槽体1的一端，另一端伸出液刀槽体1的另一端。通过拉动上述软线对滑块4进行驱动，进而实现对刮片61以及刮片62进行驱动。
当然，为了使清洗液在喷出喷液间隙21和喷液间隙22时具有较大的速度，进而提高显影液清洗装置对玻璃基板的清洗效果，一种优选实施方式中，如图3以及图10所示，沿喷液间隙21的喷液方向，侧壁11与喷嘴部23之间的间距逐渐减小，且沿喷液间隙22的喷液方向，侧壁12与喷嘴部23之间的间距逐渐减小。
另外，本发明还提供了一种显影液清洗装置，包括至少一个上述各实施方式中提供的任一种液刀。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种用于显影液清洗装置的液刀，其特征在于，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：
每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。
2.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向，任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。
3.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述盖板与每一个所述喷液槽对应的部位具有多个凸向所述液刀芯体的支撑柱，且每一个支撑柱朝向所述液刀芯体的一面与所述液刀芯体朝向所述盖板的一面相抵。
4.根据权利要求3所述的液刀，其特征在于，所述多个支撑柱沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布；所述盖板设置的进液孔为多个，且沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布。
5.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述液刀芯体中，所述喷嘴部两侧的支撑部形成的进液间隙交错分布。
6.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，每一个所述支撑部与对应的所述限位面相抵的一端具有横向延伸的垫块以形成L型结构。
7.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，每一个所述喷液槽中，一个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁上设有枢装于所述侧壁、且内端与所述液刀芯体螺纹配合的调节螺钉，所述调节螺钉的延伸方向与所述喷液间隙的长度方向垂直。
8.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，每一个所述喷液槽中，两个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁背离所述喷液口的一端与所述液刀芯体密封连接，所述液刀芯体具有：
贯穿所述液刀芯体长度方向的进液管路；
开口位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一面、且与所述进液管路连通的多个进液孔；
与所述进液管路和所述液刀芯体与所述侧壁之间间隙连通的多个进液支路。
9.根据权利要求8所述的液刀，其特征在于，所述进液支路为圆孔，所述进液支路的直径为5mm～10mm。
10.根据权利要求9所述的液刀，其特征在于，所述进液支路的直径为5mm。
11.根据权利要求8所述的液刀，其特征在于，每一个所述侧壁与所述液刀芯体密封连接的部位与所述液刀芯体之间设有密封垫片。
12.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述液刀槽体还具有延伸方向与所述喷液间隙长度方向平行的滑槽，还包括：
与所述滑槽滑动配合的滑块；
固定于所述滑块的支架；
固定于所述支架且与喷液间隙一一对应的刮片，每一个所述刮片的一端伸入其对应的所述喷液间隙；
所述液刀槽体的两端分别设有刮片暂存槽。
13.根据权利要求12所述的液刀，其特征在于，还包括：与滑块连接的软线，其中：
沿所述喷液间隙的长度方向，所述软线的伸出所述液刀槽体的一端，且伸出所述液刀槽体的另一端。
14.根据权利要求1～13任一项所述的液刀，其特征在于，每一个所述喷液间隙中，沿所述喷液间隙的喷液方向，所述侧壁与所述喷嘴部之间间距逐渐减小。
15.一种显影液清洗装置，其特征在于，包括至少一个如权利要求1～14任一项所述的液刀。
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