JP5494788B2 - ダイヘッド及びこれを備えたダイコーター - Google Patents
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Description
本発明は、基板に塗布液を塗布するためのダイヘッド及びこれを備えたダイコーターに関する。
液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造工程においては、ガラス基板にレジスト膜を形成するためダイコーターを利用してガラス基板にレジスト液を塗布する。レジスト液は、ダイヘッド内部のマニホールドに導入され、マニホールドと連結されるスリットを介して塗布される(例えば特許文献1参照)。
ダイヘッドに導入されるレジスト液にエアが混入していることがある。このような状態でガラス基板にレジスト液を塗布しても均一に塗布できないおそれがある。そこで、マニホールドにエア排出口を設けてエアを排出する技術が周知である。しかし、マニホールド内でレジスト液の流れ方向にエアの上昇する方向が対向すると、エアの移動が妨げられ、または排出口付近にエアの滞留が発生し、十分にエアを排出できないおそれがある。
そこで、本発明はマニホールド内のエアを十分に排出可能なダイヘッド及びこれを備えたダイコーターを提供することを目的とする。
本発明のダイヘッドは、塗布液(R)をスリット(24、25)に供給するマニホールド(23)が長手方向に延びて形成され、前記マニホールドの上端には塗布液を導入する導入口(15)が設けられ、前記マニホールドの下端と連結される前記スリットから塗布液が吐出されるダイヘッド(3)において、前記マニホールドを形成する上壁面(22e)が、前記導入口を下端として前記長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口(16a、16b)が設けられ、前記導入口及び前記エア排出口がそれぞれ複数設けられ、前記導入口と前記エア排出口とが前記マニホールドの長手方向に対して交互に位置することにより上記課題を解決する。
本発明のダイヘッドによれば、塗布液が導入口から導入されると、塗布液は、マニホールドに沿って移動しつつスリットへ供給される。塗布液が移動する先にはエア排出口が設けられ、マニホールドが導入口からエア排出口に向かって上方向に傾斜しているので、マニホールド内のエアの上昇する向きと塗布液が流れる向きとが同じ方向になる。これにより、塗布液に混入したエアをマニホールド内で滞留させることなくエア排出口まで移動させることができる。また、複数の導入口から塗布液が導入される。従って、ダイヘッドが大型化しても塗布液の導入圧力を十分維持しつつ、良好にエアを排出することができる。
この形態において、前記長手方向に対して垂直に切断したときの前記マニホールドの断面積が、前記長手方向に亘って同一であってもよい。この形態によれば、マニホールド内の塗布液の流れが一方向となる。これにより、エアの移動方向と塗布液の移動方向が一致するので、塗布液の流れがエアの移動を補助してエアが排出されやすくなる。
なお、本発明は、上述したダイヘッドを備えたダイコーターとして具現化されてもよい。
なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
以上、説明したように、本発明のダイヘッド及びこれを備えたダイコーターにおいては、塗布液が導入口から導入されると、塗布液は、マニホールドに沿って移動しつつスリットへ供給される。塗布液が移動する先にはエア排出口が設けられ、マニホールドが導入口からエア排出口に向かって上方向に傾斜しているので、マニホールド内のエアの上昇する向きと塗布液が流れる向きとが同じ方向になる。これにより、塗布液に混入したエアをマニホールド内で滞留させることなくエア排出口まで移動させることができる。
図1は、本発明の一形態に係るダイヘッドが適用されたダイコーターを示す斜視図である。ダイコーター1は、ガラス基板Sに塗布液としてのレジスト液を塗布するための装置で、液晶ディスプレイ用カラーフィルタのガラス基板Sに対するレジスト膜の形成に利用される。ダイコーター1は、ガラス基板Sを載置するための塗布ステージ2と、塗布ステージ2上のガラス基板Sにレジスト液Rを塗布するダイヘッド3と、ダイヘッド3を移動させるダイ駆動機構4と、ガラス基板Sへの塗布前にダイヘッド3の状態を最適化するためのプライミングローラ5とを備えている。なお、図1では、ダイコーター1の左右方向をX方向、前後方向をY方向として示している。塗布ステージ2の所定の位置にガラス基板Sは載置される。ダイヘッド3は、内部がスリット状で、X方向に渡された先端部3aからレジスト液Rを吐出する。詳細については後述する。ダイ駆動機構4には、ダイヘッド3を保持する保持部4aと、保持部4aをY方向に往復駆動可能な駆動部4bとが設けられている。保持部4aは、レジスト液Rを吐出する先端部3aがガラス基板Sと一定の間隔を保つようにダイヘッド3の上部を保持する。駆動部4bは、各種モータ、エンコーダ等の周知技術を利用して構成され、保持部4aを駆動することにより、ダイヘッド3をY方向に移動させる。このようにして、ダイヘッド3は、ガラス基板S上にレジスト液Rを塗布する。プライミングローラ5は、ダイヘッド3の先端部3aのレジスト液Rの溜まりを最適化するためのものである。ダイヘッド3は、ガラス基板S上への塗布前にプライミングローラ5に対して塗布することにより、先端部3aのレジスト液Rの溜まりが調整され、最適化される。
図2はダイヘッド3の拡大斜視図、図3はダイヘッド3の断面図である。ダイヘッド3は、ダイヘッド3の主要部を構成する第1ダイブロック11及び第2ダイブロック12と、第1及び第2ダイブロック11、12を固定する上部プレート13及びサイドプレート14a、14bと、レジスト液Rを導入する導入口15と、ダイヘッド3内部のエアを排出するエア排出口16a、16bとを備えている。第1及び第2ダイブロック11、12には、互いに組み合わされる合わせ面21、22がそれぞれ設けられている。第1ダイブロック11の合わせ面21は、平面である。一方、第2ダイブロック12の合わせ面22は、合わせ面21と接触する接触面22aと、マニホールド形成面22bと、第1スリット形成面22cと、第2スリット形成面22dとを有し、それぞれダイヘッド3の長手方向に亘って形成されている。接触面22aは、平面で、互いの合わせ面21、22を組み合わせたときに対応する位置の合わせ面21と接触する。マニホールド形成面22bは、接触面22aと比較すると半円筒形状に後退して、対応する合わせ面21と組み合わさるとマニホールド23を形成する。マニホールド形成面22bの下端に隣接して第1スリット形成面22cが形成され、第1スリット形成面22cの下端に隣接して第2スリット形成面22dが形成されている。第1スリット形成面22c及び第2スリット形成面22dはそれぞれ、接触面22aと比較して平行に後退した面で、対応する合わせ面21と組み合わさるとそれぞれスリットとしての第1スリット24、第2スリット25を形成する。第2スリット25のギャップg2は、第1スリット24のギャップg1より小さく、第2スリット25は先端部3aに達している。
上部プレート13は、合わせ面21、22がそれぞれ互いに組み合わさった第1及び第2ダイブロック11、12の上面を支持して固定する。サイドプレート14a、14bは、上部プレート13により固定された第1及び第2ダイブロック11、12の両端を支持して固定する。導入口15及びエア排出口16a、16bは、第1及び第2ダイブロック11、12の上面に合わせ面21、22に沿って設けられ、マニホールド形成面22bの上端に連結される。つまり、合わせ面21、22のそれぞれ、もしくはいずれか一方に、第1及び第2ダイブロック11、12を組み合わせるときに通路を形成する凹部を設けることにより、それぞれの位置で導入口15及びエア排出口16a、16bを形成する。導入口15は、レジスト液Rを貯留する図示しないタンクと配管され、周知の各種ポンプ等を利用して送られるレジスト液Rをマニホールド23に導入する。エア排出口16a、16bは、図示しないドレインタンクにエアベントを介して配管され、マニホールド23及び第1及び第2スリット24、25に存在するエアを排出する。上部プレート13に対して、導入口15及びエア排出口16a、16bと対応する位置に貫通孔を形成して配管するようにしてもよい。なお、ここで、エアとは、導入されるレジスト液Rに混入する気泡や、レジスト液R導入前にマニホールド23に存在する空気等を意味する。
図4は、第2ダイブロック12の合わせ面22を示す斜視図である。マニホールド形成面22bの上壁面22eは、導入口15を下端、エア排出口16a、16bのそれぞれを上端とする勾配を有する。つまり、マニホールド23が導入口15からエア排出口16a、16bに向かって上方向に傾斜するように形成されているので、レジスト液Rの移動方向が上方向となる。ダイヘッド3の長手方向に対して垂直に切断したときのマニホールド23の断面積は、長手方向に亘って同一である。これにより、マニホールド23のレジスト液Rの流れが一方向となる。また、第2ダイブロック12の端部12aとエア排出口16aとの間、及びもう一方の端部12bとエア排出口16bとの間のマニホールド形成面22b1の上壁面22eも勾配を有する。マニホールド形成面22b1の上壁面22eは、端部12a、12bからエア排出口16a、16bに向かって上方向に傾斜している。マニホールド形成面22b1の上壁面22eの勾配は、導入口15とそれぞれのエア排出口16a、16bとの間のマニホールド形成面22b2の上壁面22eの勾配よりも大きい。これにより、端部12a、12bに滞留するエアを排出しやすくすることができる。
図4を参照してダイヘッド3の作用を説明する。導入口15からレジスト液Rがマニホールド23に導入されると、レジスト液Rは図4の実線で示す矢印Aの方向にマニホールド23内を移動する。つまり、レジスト液Rはマニホールド23に沿って両端側に移動し、ダイヘッド3の長手方向にレジスト液Rが行き渡る。レジスト液Rは、レジスト液Rの導入圧力によりマニホールド23から第1スリット24を介して第2スリット25に移動し、先端部3aから吐出される。
導入口15からマニホールド23に導入されるレジスト液Rにエアが混入している場合、エアはマニホールド23内を図4の破線で示す矢印Bの方向、つまり、レジスト液Rと同じ方向に移動する。マニホールド23が上方向に傾斜して形成されているからである。このため、エアがマニホールド23内で滞留することなく移動し、エア排出口16a、16bへ達して排出される。また、レジスト液Rの流れに押されてエアが第1スリット24及び第2スリット25に移動しても、浮力によりマニホールド23に合流すればマニホールド23の上壁面22eの傾斜に沿って移動し、エア排出口16a、16bへ達する。
本発明は、上述した形態に限定されることなく、種々の形態にて実施することができる。例えば、本形態では、中央に導入口15を配置し、かつ両端側にエア排出口16a、16bを配置してマニホールド23がV字形状となるように構成する例で説明したが、これに限られず、例えば、ダイヘッド3の一端側に導入口を配置し、他端側に一つのエア排出口を設けてもよい。導入口からエア排出口に向かって上方向に傾斜するようにマニホールドが構成されていれば、レジスト液Rの移動方向とエアの移動方向が同じ向きとなり、エアの滞留が生じない。同様の理由で、導入口とエア排出口とを交互に配置して複数組み合わせてもよい。ダイヘッド3が大型化した場合でも、複数箇所からマニホールド23内にレジスト液を導入することができ、レジスト液Rの導入圧力を維持することができる。エア排出口16a、16bを第2ダイブロック12の端部12a、12bに設けてもよい。
本形態では、マニホールド23は、マニホールド形成面22b1及び合わせ面21により形成される半円筒形状で説明したが、これに限られず、例えば、合わせ面21にもマニホールド形成面22b1と同様の曲面を設けて組み合わせることで円筒形状としたり、あるいは、多角形状としたりしてもよい。上壁面22eがエア排出口16a、16bに向かって上方向に傾斜していればよく、マニホールド23は適宜の形状で設けてもよい。本形態では、塗布液としてレジスト液を例に説明したが、これに限られず、例えば、着色樹脂や、ITO(indium tin oxide)膜等各種薄膜を形成するための塗布液に対して利用してもよい。
1 ダイコーター
3 ダイヘッド
15 導入口
16a、16b エア排出口
23 マニホールド
24 第1スリット(スリット)
25 第2スリット(スリット)
22e 上壁面
R レジスト液(塗布液)
3 ダイヘッド
15 導入口
16a、16b エア排出口
23 マニホールド
24 第1スリット(スリット)
25 第2スリット(スリット)
22e 上壁面
R レジスト液(塗布液)
Claims (3)
- 塗布液をスリットに供給するマニホールドが長手方向に延びて形成され、前記マニホールドの上端には塗布液を導入する導入口が設けられ、前記マニホールドの下端と連結される前記スリットから塗布液が吐出されるダイヘッドにおいて、
前記マニホールドを形成する上壁面が、前記導入口を下端として前記長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口が設けられ、
前記導入口及び前記エア排出口がそれぞれ複数設けられ、前記導入口と前記エア排出口とが前記マニホールドの長手方向に対して交互に位置することを特徴とするダイヘッド。 - 前記長手方向に対して垂直に切断したときの前記マニホールドの断面積が、前記長手方向に亘って同一であることを特徴とする請求項1に記載のダイヘッド。
- 請求項1又は2に記載のダイヘッドを備えたことを特徴とするダイコーター。
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