JP6986934B2 - ノズルおよび塗布装置 - Google Patents
ノズルおよび塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6986934B2 JP6986934B2 JP2017217667A JP2017217667A JP6986934B2 JP 6986934 B2 JP6986934 B2 JP 6986934B2 JP 2017217667 A JP2017217667 A JP 2017217667A JP 2017217667 A JP2017217667 A JP 2017217667A JP 6986934 B2 JP6986934 B2 JP 6986934B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- path
- nozzle body
- coating liquid
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
この構成によれば、脱気路および供給路のそれぞれが第二ノズル本体に設けられることで、脱気路に接続される脱気配管および供給路に接続される供給配管のそれぞれをノズルの片側に集約することができる。したがって、脱気路および供給路のそれぞれを互いに異なるノズル本体に設けた場合と比較して、各種配管の配索を簡素化することができる。
この構成によれば、供給路を長尺の第一ノズル本体の長手方向における第一ノズル本体の端部に配置した場合と比較して、塗布液を流路全域に充填しやすい。
この構成によれば、供給路を経て分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を容易に除去することができる。
この構成によれば、分散路の内壁における最も高い位置が屈曲部の位置となるため、分散路内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は傾斜部と下方延出部との屈曲部に向けて浮力により浮上する。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。
この構成によれば、分散路が直線状に形成されていることで、塗布液の流動が滞りなく円滑に行われるため、分散路内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は分散路の端部に向かう。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。
この構成によれば、分散路内に対する塗布液の流動を第一ノズル本体の長手方向の両側で生じさせることができるため、気泡は分散路の両端部に向かう。したがって、分散路内を流動する塗布液に含まれる気泡をより一層効果的に除去することができる。
この構成によれば、塗布液の吐出の邪魔になることなく、ノズルを補強することができる。
この構成によれば、流路の邪魔になることなく、吐出口の幅を調整することができる。
この構成によれば、長尺の第二ノズル本体の長手方向において局所的に吐出口の幅を調整することができる。
ところで、第一ノズル本体および第二ノズル本体を長手方向における端部同士で連結する場合、隣り合う2つの調整部材の間隔が第二ノズル本体の長手方向において等間隔であると、前記端部(連結部分)において吐出口の幅を調整することが困難となる可能性がある。これに対し、この構成によれば、隣り合う2つの調整部材の間隔が第二ノズル本体の長手方向における第二ノズル本体の端部側ほど狭いことで、第一ノズル本体および第二ノズル本体を長手方向における端部同士で連結する場合であっても、前記端部において吐出口の幅を容易に調整することができる。
<塗布装置>
図1に示すように、塗布装置1は、基板5に塗布液を塗布する装置である。例えば、基板5は、液晶パネルなどに用いられるガラス基板である。基板5は、矩形板状をなしている。塗布装置1は、基板5を搬送する基板搬送部2と、塗布液を塗布する塗布部3と、塗布部3を管理する管理部4と、を備える。
基板搬送部2は、Y方向に長手を有する。基板搬送部2は、Y方向に基板5を搬送する。Y方向は、塗布装置1における基板搬送方向である。
基板搬送部2は、架台7、ステージ8および搬送機構9を備える。
架台7は、Y方向に長手を有する。架台7は、ステージ8及び搬送機構9を支持する。例えば、架台7は、床面上に載置されている。
架台7は、X方向の中央に位置する架台本体7aと、架台本体7aの−X方向側に位置する第一架台側部7bと、架台本体7aの+X方向側に位置する第二架台側部7cと、を備える。
第一架台側部7b及び第二架台側部7cは、搬送機構9を支持する。第一架台側部7b及び第二架台側部7cのそれぞれには、Y方向に延在する一対の溝7d,7e(図2参照)が設けられている。
搬送機構9は、基板5をY方向に搬送する。搬送機構9は、第一架台側部7b及び第二架台側部7cのそれぞれの上部に一つずつ設けられている。搬送機構9は、ステージ8を挟んで一対設けられている。一対の搬送機構9は、ステージ8のX方向中央に対して線対称となっている。
例えば、スライダ9aは、リニアモータ(不図示)を内蔵している。スライダ9aは、リニアモータの駆動によって、レール9cに沿って移動するようになっている。
基板保持部9bは、スライダ9aにおけるステージ8側の端部に設けられている。図1に示すように、基板保持部9bは、Y方向に並んで複数(例えば本実施形態では4つ)設けられる。例えば、基板保持部9bには、基板5を吸着して保持する吸着パッド(不図示)が設けられていてもよい。
なお、上記基板5の半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、2つの搬送機構9で基板を1枚ずつ保持することができるため、2つの搬送機構9をY方向に並進させることによって、2枚の基板を同時に搬送することができる。
図1に示すように、塗布部3は、門型フレーム10、ノズル50、センサ15、供給部20および廃液部30を備える。
図2に示すように、門型フレーム10は、Z方向に延びる柱状をなす一対の支柱部材10aと、X方向に延びて一対の支柱部材10aの間をわたす架橋部材10bと、を備える。
各支柱部材10aは、第一架台側部7b及び第二架台側部7cにそれぞれ支持されている。
レール部材12は、第一架台側部7b及び第二架台側部7cの外溝7e内に1つずつ設けられている。
駆動機構13は、門型フレーム10に接続されている。塗布部3は、駆動機構13の駆動によって、レール部材12に沿ってY方向(図1中矢印n方向)に移動可能とされている。
図2に示すように、ノズル50は、X方向(図中矢印v方向)に長手を有する長尺状をなしている。ノズル50は、スリットノズルである。ノズル50は、門型フレーム10の架橋部材10bの下端部(−Z方向側の端部)に着脱可能に取り付けられている。
架橋部材10bの下端部には、X方向に沿って複数(例えば本実施形態では3つ)のセンサ15が設けられている。センサ15は、ノズル先端51aと、ノズル先端51aに対向する対向面(例えばノズル50の下方に配置された基板5の上面)との間の距離(Z方向の間隔)を測定する。
図1に示すように、供給部20は、ノズル50に塗布液を供給可能なポンプ21と、ポンプ21に塗布液を供給可能な供給源22と、を備える。
廃液部30は、ノズル50からの廃液を貯留する第一廃液ボトル31および第二廃液ボトル32を備える。第一廃液ボトル31および第二廃液ボトル32は、供給部20を挟んでノズル50の長手方向に離反している。第一廃液ボトル31および第二廃液ボトル32のそれぞれには、塗布液の廃液路(流路)を形成する第一廃液配管33および第二廃液配管34が接続されている。ノズル50からの廃液は、第一廃液配管33および第二廃液配管34のそれぞれを通じて第一廃液ボトル31および第二廃液ボトル32のそれぞれに向けて流れる。
管理部4は、基板5に吐出される塗布液の吐出量が一定になるようにノズル50を管理する。図1に示すように、管理部4は、塗布部3よりも−Y方向側に設けられている。管理部4は、予備吐出機構41、ディップ槽42、ノズル洗浄装置43、収容部44および保持部材45を備える。
ディップ槽42の内部には、シンナーなどの溶剤が貯留されている。
図2に示すように、収容部44のX方向の長さは、門型フレーム10の支柱部材10a間の距離よりも小さい。門型フレーム10は、収容部44の上方で、収容部44を跨いでY方向に移動可能とされている。門型フレーム10を収容部44の上方に移動した状態で、ノズル50は、収容部44内の予備吐出機構41、ディップ槽42及びノズル洗浄装置43(図1参照)に接近可能である。
保持部材45は、管理部移動機構46に接続されている。管理部移動機構46は、Y方向に延びるレール部材47と、駆動機構48と、を備える。
レール部材47は、第一架台側部7b及び第二架台側部7cの内溝7d内に1つずつ設けられている。
駆動機構48は、保持部材45に接続されている。管理部4は、駆動機構48の駆動によって、レール部材47に沿ってY方向(図1中矢印m方向)に移動可能とされている。
図4に示すように、ノズル50は、長尺のノズル本体51と、ノズル本体51の上端に設けられた連結部材52と、ノズル本体51の長手方向(以下「ノズル長手方向」ともいう。)の両端に設けられた一対のサイドプレート53,54と、を備える。図1および図2においては、連結部材52を簡略化して図示している。
図3に示すように、第一ノズル本体55は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第一ノズル本体55の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第一ノズル本体55の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。
入口部61aは、供給路63と分散路64とを連通する連通部である。入口部61aは、ノズル本体51の上下中央部においてノズル長手方向の中心位置に配置されている。
分散路64は、ノズル長手方向における第一ノズル本体55の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。
図3に示すように、第二ノズル本体56は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第二ノズル本体56の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第二ノズル本体56の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。
図5の断面視で、ノズル本体51においては、第一ノズル本体55の凹部55aと第二ノズル本体56の面56fとで囲まれた空間が流路61となる。図5の断面視で、第一ノズル本体55の面55fと第二ノズル本体56の面56fとの間の隙間であって、流路61と吐出口60との間に形成される隙間は、吐出用接続路69となる。
例えば、ノズル長手方向における吐出口60の寸法は、基板5(図2参照)のX方向の寸法よりも小さくてもよい。これにより、基板5の周辺領域に塗布液が塗布されることを抑制することができる。
図5に示すように、連結部材52は、ノズル本体51の吐出口60とは反対側の面(上面)に設けられている。連結部材52は、第一ノズル本体55および第二ノズル本体56を連結する。図4に示すように、連結部材52は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。例えば、連結部材52は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。連結部材52は、ノズル本体51と同じ材料を用いて形成されている。
図4に示すように、一対のサイドプレート53,54は、ノズル長手方向におけるノズル本体51の両端部に位置している。以下、一対のサイドプレート53,54のうちノズル長手方向においてノズル本体51の第一端部に位置するサイドプレート53を「第一サイドプレート53」、ノズル本体51の第二端部に位置するサイドプレート54を「第二サイドプレート54」ともいう。
第二サイドプレート54は、流路61および凹溝72の第二端部側を閉じる板部材である。
図6に示すように、第二ノズル本体56には、吐出口60の幅を調整可能な調整機構70が設けられている。図6においては、ノズル本体51における第二サイドプレート54の側の端部を示す。図示はしないが、ノズル本体51における第一サイドプレート53の側の端部においても、第二サイドプレート54の側の端部と同一の構成を有するため、説明を省略する。
塗布装置1の塗布動作の一例について説明する。
図1に示すように、まず、塗布装置1の塗布動作においては、基板5をステージ8に搬入する。
次に、搬送機構9を用いて基板5を搬送しつつ塗布液を塗布する。
そして、塗布液を塗布した基板5を搬出する。このような動作を、一対の搬送機構9を用いて交互に行う。
図7は、第一実施形態に係るノズル50の作用を説明するための図である。図7においては、連結部材52、供給部20および廃液部30などの図示を省略する。
図1に示すポンプ21を用い、ノズル50に接続された供給配管26を介して、ノズル50に塗布液が供給される。図7に示すように、塗布液は、供給配管26(図1参照)から供給路63および入口部61aを経て流路61内に供給される。流路61内に供給された塗布液は、ノズル長手方向における流路61の両端端側に素早く充填される。
一般的にずりを大きくすると、高分子鎖が各所で切断(構造破壊)され、粘性がさらに低下してしまう。一度、切断された高分子鎖はなかなか元に戻らないため、ずりを除去しても粘性はしばらく低下したままとなってしまう。特に塗布液として粘度が高い塗布液を用いると、ずりによって塗布量にバラつきが生じるといった問題が発生する。
この構成によれば、脱気路62および供給路63のそれぞれが第二ノズル本体56に設けられることで、脱気路62に接続される廃液配管33,34および供給路63に接続される供給配管26のそれぞれをノズル50の片側に集約することができる。したがって、脱気路62および供給路63のそれぞれを互いに異なるノズル本体に設けた場合と比較して、各種配管の配索を簡素化することができる。
この構成によれば、分散路64の内壁における最も高い位置が屈曲部67の位置となるため、分散路64内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は傾斜部65と下方延出部66との屈曲部67に向けて浮力により浮上する。したがって、分散路64内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。
この構成によれば、分散路64内に対する塗布液の流動をノズル長手方向の両側で生じさせることができるため、気泡は分散路64の両端部に向かう。したがって、分散路64内を流動する塗布液に含まれる気泡をより一層効果的に除去することができる。
加えて、連結部材52は、ノズル本体51の上面の外形と同一の外形の矩形板状をなす天板であることで、以下の効果を奏する。連結部材52の上面を供給部20および廃液部30の設置スペースとして活用することができる。
ところで、図2に示すように、ノズル50の上側に連結部材52が設けられ、かつ、ノズル50の一面側(−Y方向側)に架橋部材10bが設けられていると、各種配管の引き回しが複雑化する可能性がある。これに対し、この構成によれば、脱気路62および供給路63のそれぞれが第二ノズル本体56に設けられることで、脱気路62に接続される廃液配管33,34および供給路63に接続される供給配管26のそれぞれをノズル50の他面側(+Y方向側)に集約することができる。したがって、各種配管の引き回しを簡素化することができる。加えて、連結部材52の上面の設置スペースから延びる各種配管の全長の短縮化および拡径化を図ることができる。加えて、連結部材52に各種配管を配索するための孔等を設ける必要がないため、連結部材52の強度・剛性を確保することができる。
ところで、第一ノズル本体55および第二ノズル本体56をノズル長手方向における端部同士で連結する場合、隣り合う2つの調整部材71の間隔が第二ノズル本体56の長手方向において等間隔であると、前記端部(連結部分)において吐出口60の幅を調整することが困難となる可能性がある。これに対し、この構成によれば、隣り合う2つの調整部材71の間隔がノズル長手方向における第二ノズル本体56の端部側ほど狭いことで、第一ノズル本体55および第二ノズル本体56を長手方向における端部同士で連結する場合であっても、前記端部において吐出口60の幅を容易に調整することができる。
第二実施形態は、塗布装置におけるノズルの構造が第一実施形態と異なる。第二実施形態において、第一実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図9に示すように、第二実施形態に係るノズル250は、長尺のノズル本体251と、ノズル本体251の上端に設けられた連結部材52と、ノズル長手方向の両端に設けられた一対のサイドプレート53,54と、を備える。
分散路264は、ノズル長手方向に沿って直線状に形成されている。分散路264は、ノズル長手方向における第一ノズル本体55の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。
図11は、第二実施形態に係るノズル250の作用を説明するための図である。図11においては、連結部材52、供給部20および廃液部30などの図示を省略する。
図1に示すポンプ21を用い、ノズル250に接続された供給配管26を介して、ノズル250に塗布液が供給される。図11に示すように、塗布液は、供給配管26(図1参照)から供給路63を経て流路261内に供給される。流路261内に供給された塗布液は、ノズル長手方向における流路261の両端端側に素早く充填される。
この構成によれば、分散路264が直線状に形成されていることで、塗布液の流動が滞りなく円滑に行われるため、分散路264内において塗布液に含まれる気泡が滞留する部分がなく、気泡は分散路264の端部に向かう。したがって、分散路264内を流動する塗布液に含まれる気泡を効果的に除去することができる。
例えば、上記実施形態においては、供給路63をノズル長手方向における第一ノズル本体55の中央部に配置した例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、供給路63をノズル長手方向における第一ノズル本体55の端部に配置してもよい。
Claims (12)
- 塗布液を吐出する吐出口に連通し前記塗布液を流通させる流路が設けられた第一ノズル本体と、
前記流路に連通し前記塗布液に含まれる気泡を排出させる脱気路が設けられ、かつ、前記第一ノズル本体と対向する第二ノズル本体と、を含み、
前記流路と前記吐出口との間には吐出用接続路が形成され、
長尺の前記第一ノズル本体の長手方向と直交する断面視で、前記流路の内壁における最も低い位置は、前記吐出用接続路と前記流路との接続位置よりも低い
ノズル。 - 前記第二ノズル本体には、前記流路に前記塗布液を供給させる供給路が設けられている
請求項1に記載のノズル。 - 前記供給路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中央部に位置する
請求項2に記載のノズル。 - 前記流路は、
前記供給路に連通し前記供給路から供給される前記塗布液を分散させる分散路を含み、
前記脱気路は、前記分散路に連通している
請求項2又は3に記載のノズル。 - 前記分散路は、
前記供給路との連通部から長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の端部側に向かうにつれて上側に位置するように傾斜する傾斜部と、
前記第一ノズル本体の長手方向における前記傾斜部の端部から下方に屈曲して延びる下方延出部と、によって画定され、
前記脱気路は、前記傾斜部と前記下方延出部との屈曲部寄りに接続されている
請求項4に記載のノズル。 - 前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向に沿って直線状に形成され、
前記脱気路は、前記第一ノズル本体の長手方向における前記分散路の端部に接続されている
請求項4に記載のノズル。 - 前記分散路は、長尺の前記第一ノズル本体の長手方向における前記第一ノズル本体の中心位置を基準として、前記第一ノズル本体の長手方向において対称な形状を有する
請求項4から6の何れか一項に記載のノズル。 - 前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体の前記吐出口とは反対側の面には、前記第一ノズル本体および前記第二ノズル本体を連結する連結部材が設けられている
請求項1から7の何れか一項に記載のノズル。 - 前記第二ノズル本体には、前記吐出口の幅を調整可能な調整機構が設けられている
請求項1から8の何れか一項に記載のノズル。 - 前記調整機構は、長尺の前記第二ノズル本体の長手方向に並ぶ複数の調整部材を含む
請求項9に記載のノズル。 - 隣り合う2つの前記調整部材の間隔は、前記第二ノズル本体の長手方向における前記第二ノズル本体の端部側ほど狭い
請求項10に記載のノズル。 - 基板を搬送する基板搬送部と、
請求項1から11の何れか一項に記載のノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから塗布液を塗布する塗布部と、を含む
塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017217667A JP6986934B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | ノズルおよび塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017217667A JP6986934B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | ノズルおよび塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019089008A JP2019089008A (ja) | 2019-06-13 |
JP6986934B2 true JP6986934B2 (ja) | 2021-12-22 |
Family
ID=66836974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017217667A Active JP6986934B2 (ja) | 2017-11-10 | 2017-11-10 | ノズルおよび塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6986934B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7316717B2 (ja) | 2019-05-14 | 2023-07-28 | Aiメカテック株式会社 | シム、ノズルおよび塗布装置 |
CN215390401U (zh) * | 2019-12-19 | 2022-01-04 | 株式会社斯库林集团 | 狭缝喷嘴以及基板处理装置 |
JP7162994B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2022-10-31 | 株式会社Screenホールディングス | スリットノズルおよび基板処理装置 |
KR102608277B1 (ko) * | 2023-06-01 | 2023-11-30 | 주식회사 준성테크 | 슬릿 코터 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040247794A1 (en) * | 2003-06-03 | 2004-12-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Coating method and coater |
JP5625299B2 (ja) * | 2009-09-29 | 2014-11-19 | 凸版印刷株式会社 | 塗布装置 |
JP5494788B2 (ja) * | 2012-12-06 | 2014-05-21 | 大日本印刷株式会社 | ダイヘッド及びこれを備えたダイコーター |
JP6046573B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2016-12-21 | オリジン電気株式会社 | ダイヘッド、塗工液塗布装置、塗工液塗布部材の製造方法及び塗工液塗布方法 |
JP6367075B2 (ja) * | 2014-10-08 | 2018-08-01 | 株式会社ヒラノテクシード | ダイとダイの空気抜き方法 |
JP6419000B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2018-11-07 | タツモ株式会社 | 膜厚推定装置、塗布装置、膜厚推定方法、およびスリットノズル調整方法 |
-
2017
- 2017-11-10 JP JP2017217667A patent/JP6986934B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019089008A (ja) | 2019-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6986934B2 (ja) | ノズルおよび塗布装置 | |
TWI636301B (zh) | Method and device for manufacturing plate-shaped laminated body | |
JP2016107401A (ja) | ヘッドモジュール、インクジェット記録装置及びヘッドモジュールの組み立て方法 | |
KR20150004272A (ko) | 블레이드 도포 설비 | |
JP6196916B2 (ja) | ノズルおよび塗布装置 | |
JP6564648B2 (ja) | ノズルおよび塗布装置 | |
JP4710673B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
WO2016104126A1 (ja) | インクジェットヘッドの取付構造、キャリッジ及びインクジェット記録装置 | |
TWI505390B (zh) | Floating on the coating device | |
JP5188759B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
EP3747652B1 (en) | Method for manufacturing joined member | |
JP6979574B2 (ja) | ディスプレイ製造装置および製造方法、ディスプレイ | |
TWI548465B (zh) | 浮上式塗佈裝置 | |
JP7316717B2 (ja) | シム、ノズルおよび塗布装置 | |
JP6134201B2 (ja) | プリント基板用作業装置 | |
JP2021122810A (ja) | ノズル、塗布装置およびノズルの製造方法 | |
TWI452436B (zh) | 塗佈裝置 | |
KR20170033563A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP4315796B2 (ja) | スリットノズルおよび基板処理装置 | |
JP7442181B2 (ja) | ノズル、塗布装置および調整機構 | |
KR102187198B1 (ko) | 기판 인쇄 장치 및 방법 | |
KR102321818B1 (ko) | 슬릿 노즐 및 기판 처리 장치 | |
JP2006043562A (ja) | スリットノズルおよびそれを用いた基板処理装置 | |
JP2002086045A (ja) | 液状物塗布装置 | |
JP2022018628A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6986934 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |