JP7442181B2 - ノズル、塗布装置および調整機構 - Google Patents

Description

本発明は、ノズル、塗布装置および調整機構に関する。

ステージ上に載置された基板上を、所定のギャップを維持しながらスリットノズルを移動させて基板表面にレジスト液等の塗布液を塗布する塗布装置が知られている。

例えば、特許文献１には、塗布液の吐出口の大きさを調整する差動ねじを備えた調整機構が開示されている。差動ねじは、フロントリップの上側部分と下側部分とを相互に連結している。差動ねじの軸線は、スリットに沿い上下方向に延びている。差動ねじは、フロントリップの上側部分のねじ孔に上方からねじ込まれた親ねじと、親ねじ内のねじ孔に下方からねじ込まれた子ねじと、を備える。親ねじは、フロントリップの上面から突出したヘッドを有する。このヘッドを回すことで、親ねじはフロントリップのねじ孔内を差動ねじの軸線に沿って進退（移動）することができる。子ねじの下端は、フロントリップの下側部分に固定されたナットにねじ込まれている。親ねじのねじピッチは、子ねじのねじピッチよりも大きく設定されている。例えば、親ねじが一回転されると、子ねじは、親ねじのねじピッチと子ねじのねじピッチとの差に基づき進退する。この進退により、フロントリップのネック部が弾性的に撓み、吐出口の幅が調整される。

特開平９－１３１５６１号公報

しかし、差動ねじの軸方向の位置（差動ねじの軸線に沿う子ねじの位置）は、親ねじのねじピッチと子ねじのねじピッチとの公約数に依存する。この場合、差動ねじの軸方向の位置を任意に決めることができず、吐出口の幅を自由に調整することが困難となる。そのため、吐出口の幅を自由に調整することが要求されている。

以上のような事情に鑑み、本発明は、吐出口の幅を自由に調整することが可能なノズルを提供することを目的とする。加えて、このようなノズルを備えることで、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することを目的とする。加えて、対象の部材を自由な位置で止めることが可能な調整機構を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るノズルは、塗布液の吐出口を有するノズル本体と、前記吐出口の幅を調整可能な調整機構と、を備え、前記調整機構は、ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじを有する第一部材と、前記複数の雄ねじのいずれかに噛み合う雌ねじを有し、前記第一部材の軸回りに回転可能な第二部材と、を備える。

この構成によれば、第二部材が第一部材の軸回りに回転可能であることにより、第一部材に設けられた複数の雄ねじの各ねじピッチの公約数を無視することができる。そのため、各ねじピッチの公約数に依存することなく、第一部材の軸方向の位置を任意に決めることができる。したがって、吐出口の幅を自由に調整することができる。

上記のノズルにおいて、複数の雄ねじは、第一雄ねじと、前記第一雄ねじとは前記ねじピッチが異なる第二雄ねじと、であり、前記雌ねじは、前記第二雄ねじに噛み合い、前記ノズル本体は、前記第一雄ねじに噛み合うとともに前記第一部材を支持する第一支持部と、前記第二部材を支持する第二支持部と、を備えてもよい。
この構成によれば、第一部材が二種類の雄ねじ（第一雄ねじ及び第二雄ねじ）を備えた簡単な構成で吐出口の幅を自由に調整することができる。

上記のノズルにおいて、前記第二雄ねじは、前記第一雄ねじよりも前記ねじピッチが小さくてもよい。
この構成によれば、第二雄ねじが第一雄ねじよりもねじピッチが大きい場合と比較して、第二部材を小さくしやすい。そのため、調整機構の小型化及び軽量化を図ることができる。

上記のノズルにおいて、前記第一部材は、前記第一雄ねじと前記第二雄ねじとの間に設けられ、前記第一雄ねじと前記第二雄ねじとを連結する連結部を更に備え、前記ノズル本体は、前記第一支持部と前記第二支持部との間に設けられ、前記ノズル本体の外面に開口して前記連結部を露出させる凹部を有してもよい。
この構成によれば、凹部から露出する連結部を利用して第一部材を回すことができる。例えば、レンチ（スパナ）等の工具で連結部を保持して第一部材を回すことにより、第一部材の軸方向の位置を容易に調整することができる。加えて、連結部が第一部材の軸方向両側で支持されているため、第一部材の軸方向の位置を安定して調整することができ、作業性が向上する。

上記のノズルにおいて、前記連結部は、前記第一部材の軸方向の位置を示すための目印を備えてもよい。
この構成によれば、凹部から露出する連結部の目印を視認することで、第一部材の軸方向の位置を把握することができる。

上記のノズルにおいて、前記連結部は、角柱状に形成されていてもよい。
この構成によれば、連結部が円柱状に形成されている場合と比較して、第一部材の軸方向の位置を調整する際に連結部を保持しやすいため、作業性が向上する。

上記のノズルにおいて、前記凹部の底部は、湾曲状に形成されていてもよい。
この構成によれば、第一部材の軸方向の位置を調整する際に凹部の底部に応力が集中することを抑制することができるため、永久歪みの発生を抑制することができる。

上記のノズルにおいて、前記第一部材の軸方向の端部は、前記第一部材の径方向に延びるスリットを有してもよい。
この構成によれば、スリットを利用して第一部材を回すことができる。例えば、マイナスドライバー等の工具でスリット部分を保持して第一部材を回すことにより、第一部材の軸方向の位置を容易に調整することができる。

上記のノズルにおいて、前記第二部材の軸方向の端部は、テーパ状に形成され、前記第二支持部は、前記第二部材の前記端部に対応するテーパ部を備えてもよい。
この構成によれば、テーパ部により第二部材のテーパ状部分を支持することができるため、第二部材の軸方向の位置決めを行うことができる。

上記のノズルにおいて、前記第二部材の外周部は、前記第二部材の径方向に開口する切欠きを有してもよい。
この構成によれば、切欠きを利用して第二部材を回すことができるため、第二部材の軸方向の位置を自由に変更することができる。

上記のノズルは、前記第二部材の軸方向の位置を固定する第三部材を更に備え、前記ノズル本体は、前記第三部材を支持する第三支持部を更に備えてもよい。
この構成によれば、第三部材により第二部材の軸方向の位置が固定されるため、第一部材の軸方向の位置を自由に変更することができる。

上記のノズルにおいて、前記調整機構の軸線は、前記塗布液の吐出方向と平行に配置されていてもよい。
この構成によれば、調整機構の軸線が塗布液の吐出方向と交差する場合と比較して、吐出口の幅を微調整しやすい。加えて、ノズルの厚み（移動方向の長さ）を可及的に小さくすることができ、ノズルの小型化及び軽量化を図ることができる。

上記のノズルにおいて、前記調整機構は、長尺の前記ノズル本体の長手方向に複数設けられていてもよい。
この構成によれば、複数の調整機構により、吐出口の幅をノズル本体の長手方向に均一に調整することができる。

本発明の一態様に係る塗布装置は、基板を搬送する基板搬送部と、上記ノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから前記塗布液を塗布する塗布部と、を含む。

この構成によれば、上記ノズルを備えることで、吐出口の幅を自由に調整することができ、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。

本発明の一態様に係る調整機構は、ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじを有する第一部材と、前記複数の雄ねじのいずれかに噛み合う雌ねじを有し、前記第一部材の軸回りに回転可能な第二部材と、を備える。

この構成によれば、第二部材が第一部材の軸回りに回転可能であることにより、第一部材に設けられた複数の雄ねじの各ねじピッチの公約数を無視することができる。そのため、各ねじピッチの公約数に依存することなく、第一部材の軸方向の位置を任意に決めることができる。したがって、対象の部材を自由な位置で止めることができる。

本発明によれば、吐出口の幅を自由に調整することが可能なノズルを提供することができる。加えて、このようなノズルを備えることで、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置を提供することができる。加えて、対象の部材を自由な位置で止めることが可能な調整機構を提供することができる。

実施形態に係る塗布装置の斜視図。 実施形態に係る塗布装置の正面図。 実施形態に係るノズルの分解斜視図。 実施形態に係るノズルの正面図。 図４のＶ－Ｖ断面を含む図。 実施形態に係るノズルの下面図。 実施形態に係る第一部材の斜視図。 実施形態に係る第二部材の斜視図。 実施形態に係る第一部材に取り付けられた状態の第二部材を軸方向から見た図。 実施形態に係る調整機構の説明図。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ方向、水平面内においてＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ方向とする。

＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、基板５に塗布液を塗布する装置である。例えば、基板５は、液晶パネルなどに用いられるガラス基板である。基板５は、矩形板状をなしている。塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、塗布液を塗布する塗布部３と、塗布部３を管理する管理部４と、を備える。

＜基板搬送部＞
基板搬送部２は、Ｙ方向に長手を有する。基板搬送部２は、Ｙ方向に基板５を搬送する。Ｙ方向は、塗布装置１における基板搬送方向である。
基板搬送部２は、架台７、ステージ８および搬送機構９を備える。

＜架台＞
架台７は、Ｙ方向に長手を有する。架台７は、ステージ８及び搬送機構９を支持する。例えば、架台７は、床面上に載置されている。
架台７は、Ｘ方向の中央に位置する架台本体７ａと、架台本体７ａの－Ｘ方向側に位置する第一架台側部７ｂと、架台本体７ａの＋Ｘ方向側に位置する第二架台側部７ｃと、を備える。

架台本体７ａは、ステージ８を支持する。
第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃは、搬送機構９を支持する。第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれには、Ｙ方向に延在する一対の溝７ｄ，７ｅ（図２参照）が設けられている。

図２に示すように、一対の溝７ｄ，７ｅは、Ｘ方向に並んで配置されている。以下、一対の溝７ｄ，７ｅのうちＸ方向内側に位置する溝７ｄを「内溝７ｄ」、Ｘ方向外側に位置する溝７ｅを「外溝７ｅ」ともいう。内溝７ｄは、外溝７ｅよりも上方に位置している。内溝７ｄは、外溝７ｅよりもステージ８寄りに位置している。

＜搬送機構＞
搬送機構９は、基板５をＹ方向に搬送する。搬送機構９は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれの上部に一つずつ設けられている。搬送機構９は、ステージ８を挟んで一対設けられている。一対の搬送機構９は、ステージ８のＸ方向中央に対して線対称となっている。

図１に示すように、搬送機構９は、スライダ９ａと、基板５を保持する基板保持部９ｂと、ステージ８の側方でＹ方向に延びるレール９ｃと、を備える。
例えば、スライダ９ａは、リニアモータ（不図示）を内蔵している。スライダ９ａは、リニアモータの駆動によって、レール９ｃに沿って移動するようになっている。

図２に示すように、基板保持部９ｂは、基板５のＸ方向側の側縁部を片持ちで保持する。基板保持部９ｂは、基板５においてステージ８よりもＸ方向外側にはみ出した部分を保持する。
基板保持部９ｂは、スライダ９ａにおけるステージ８側の端部に設けられている。図１に示すように、基板保持部９ｂは、Ｙ方向に並んで複数（例えば本実施形態では４つ）設けられる。例えば、基板保持部９ｂには、基板５を吸着して保持する吸着パッド（不図示）が設けられていてもよい。

レール９ｃは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃのそれぞれにおけるステージ８側の上端部に設けられている。

各搬送機構９は、それぞれ独立して基板５を搬送可能である。そのため、第一架台側部７ｂ側の搬送機構９と、第二架台側部７ｃ側の搬送機構９とによって、異なる基板５を保持することができる。これにより、各搬送機構９によって基板５を交互に搬送することができるため、スループット（例えば、単位時間当たりの基板の搬送速度）を向上することができる。
なお、上記基板５の半分程度の面積を有する基板を搬送する場合には、２つの搬送機構９で基板を１枚ずつ保持することができるため、２つの搬送機構９をＹ方向に並進させることによって、２枚の基板を同時に搬送することができる。

＜塗布部＞
図１に示すように、塗布部３は、門型フレーム１０、ノズル５０、基板間距離測定部１５、供給部２０および廃液部３０を備える。

＜門型フレーム＞
図２に示すように、門型フレーム１０は、Ｚ方向に延びる柱状をなす一対の支柱部材１０ａと、Ｘ方向に延びて一対の支柱部材１０ａの間をわたす架橋部材１０ｂと、を備える。
各支柱部材１０ａは、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃにそれぞれ支持されている。

架橋部材１０ｂのＸ方向両端部は、一対の支柱部材１０ａの上端部にそれぞれ接続されている。これにより、門型フレーム１０は、ステージ８をＸ方向に跨ぐように設けられている。架橋部材１０ｂは、支柱部材１０ａに対してＺ方向に昇降可能（図２中矢印ｕ方向に移動可能）とされている。例えば、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられていてもよい。

門型フレーム１０は、フレーム移動機構１１に接続されている。フレーム移動機構１１は、Ｙ方向に延びるレール部材１２と、駆動機構１３と、を備える。
レール部材１２は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの外溝７ｅ内に１つずつ設けられている。
駆動機構１３は、門型フレーム１０に接続されている。塗布部３は、駆動機構１３の駆動によって、レール部材１２に沿ってＹ方向（図１中矢印ｎ方向）に移動可能とされている。

＜ノズル＞
図２に示すように、ノズル５０は、Ｘ方向（図中矢印ｖ方向）に長手を有する長尺状をなしている。ノズル５０は、スリットノズルである。ノズル５０は、門型フレーム１０の架橋部材１０ｂの下端部（－Ｚ方向側の端部）に着脱可能に取り付けられている。

＜基板間距離測定部＞
架橋部材１０ｂの下端部には、Ｘ方向に沿って複数（例えば本実施形態では３つ）の基板間距離測定部１５が設けられている。基板間距離測定部１５は、ノズル先端５１ａと、ノズル先端５１ａに対向する面（例えばノズル５０の下方に配置された基板５の上面）との間の距離（Ｚ方向の間隔）を測定する。例えば、基板間距離測定部１５は、レーザセンサである。

＜供給部＞
図１に示すように、供給部２０は、ノズル５０に塗布液を供給可能なポンプ２１と、ポンプ２１に塗布液を供給可能な供給源２２と、を備える。

供給源２２は、塗布液を貯留する貯留タンク２２ａを備える。貯留タンク２２ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管２４が接続されている。配管２４は、不図示のバルブを介して加圧源２３に接続されている。バルブの開閉制御によって、貯留タンク２２ａ内の圧力が調整される。供給源２２は、貯留タンク２２ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液をポンプ２１に向けて供給する。

例えば、塗布液は、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。本実施形態において、塗布液は、１～１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液として、ポリイミドを含む液状体以外の液状体を用いてもよい。例えば、塗布液として、フォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。なお、塗布液の粘度は、例えば０.３Ｐａ以上２０Ｐａ・ｓ以下の範囲である。

供給部２０は、塗布液の供給路（流路）を形成する複数の配管２４～２６を備える。上述の通り、塗布液は、供給源２２からノズル５０に向けて流れる。供給源２２は、塗布液が流れる方向において上流側から順に、配管２５、ポンプ２１および供給配管２６を介してノズル５０に接続されている。

＜廃液部＞
廃液部３０は、ノズル５０からの廃液を貯留する第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２を備える。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２は、供給部２０を挟んでノズル５０の長手方向に離反している。第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれには、塗布液の廃液路（流路）を形成する第一廃液配管３３および第二廃液配管３４が接続されている。ノズル５０からの廃液は、第一廃液配管３３および第二廃液配管３４のそれぞれを通じて第一廃液ボトル３１および第二廃液ボトル３２のそれぞれに向けて流れる。

＜管理部＞
管理部４は、基板５に吐出される塗布液の吐出量が一定になるようにノズル５０を管理する。図１に示すように、管理部４は、塗布部３よりも－Ｙ方向側に設けられている。管理部４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２、ノズル洗浄装置４３、収容部４４および保持部材４５を備える。

予備吐出機構４１は、塗布液を予備的に吐出する。例えば、予備吐出機構４１は、塗布部３が塗布処理領域に配置される状態で、ノズル５０に最も近くなる位置に設けられている。
ディップ槽４２の内部には、シンナーなどの溶剤が貯留されている。

ノズル洗浄装置４３は、ノズル５０の吐出口６０（図２参照）近傍をリンス洗浄する。ノズル洗浄装置４３は、Ｘ方向に移動する洗浄機構と、洗浄機構を移動させる移動機構（何れも不図示）と、を備える。

収容部４４は、予備吐出機構４１、ディップ槽４２およびノズル洗浄装置４３を収容している。
図２に示すように、収容部４４のＸ方向の長さは、門型フレーム１０の支柱部材１０ａ間の距離よりも小さい。門型フレーム１０は、収容部４４の上方で、収容部４４を跨いでＹ方向に移動可能とされている。門型フレーム１０を収容部４４の上方に移動した状態で、ノズル５０は、収容部４４内の予備吐出機構４１、ディップ槽４２及びノズル洗浄装置４３（図１参照）に接近可能である。

図２に示すように、保持部材４５は、収容部４４のＸ方向両端部を下方から支持している。
保持部材４５は、管理部移動機構４６に接続されている。管理部移動機構４６は、Ｙ方向に延びるレール部材４７と、駆動機構４８と、を備える。
レール部材４７は、第一架台側部７ｂ及び第二架台側部７ｃの内溝７ｄ内に１つずつ設けられている。
駆動機構４８は、保持部材４５に接続されている。管理部４は、駆動機構４８の駆動によって、レール部材４７に沿ってＹ方向（図１中矢印ｍ方向）に移動可能とされている。

＜ノズル詳細＞
図４に示すように、ノズル５０は、長尺のノズル本体５１と、ノズル本体５１の上端に設けられた連結部材５２と、ノズル本体５１の長手方向（以下「ノズル長手方向」ともいう。）の両端に設けられた一対のサイドプレート５３，５４と、調整機構１００と、を備える。

図５の断面視で、ノズル本体５１は、Ｙ方向中央ほど下方に位置するように突出する下方突出部を備える。下方突出部の下端（以下「ノズル先端５１ａ」という。）には、塗布液を吐出する吐出口６０が形成されている。吐出口６０は、ノズル長手方向に延びている。ノズル本体５１は、ノズル先端５１ａの側方に基板５（図１参照）と対向する対向面５１ｂを有する。

図５に示すように、ノズル本体５１には、塗布液を吐出する吐出口６０と、吐出口６０に連通する流路６１と、吐出口６０と流路６１とを接続する吐出用接続路６９と、流路６１に連通する脱気路６２（図４参照）と、流路６１に塗布液を供給させる供給路６３と、吐出口６０の幅を調整するための凹溝７２（凹部）と、が設けられている。

図５に示すように、ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を備える。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６は、シム８０を挟んでＹ方向に対向して配置されている。ノズル本体５１は、第一ノズル本体５５の面５５ｆ（Ｙ方向内側面）と、第二ノズル本体５６の面５６ｆ（Ｙ方向内側面）と、を対向させ、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６との間にシム８０を挟持した状態で組み立てられている。図３においては、シム８０を簡略化して図示している。

＜第一ノズル本体＞
図３に示すように、第一ノズル本体５５は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第一ノズル本体５５の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第一ノズル本体５５の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

例えば、第一ノズル本体５５は、ステンレス鋼などの金属材料で形成されている。図５に示すように、第一ノズル本体５５において、第二ノズル本体５６と対向する面５５ｆ（Ｙ方向内側面）には、ノズル５０において流路６１を構成する流通部５５ａが設けられている。すなわち、流路６１は、第一ノズル本体５５に設けられている。

図４に示すように、流路６１は、供給路６３に連通し、供給路６３から供給される塗布液を分散させる分散路６４を含む。
分散路６４は、ノズル長手方向に沿って直線状に形成されている。分散路６４は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中心位置を基準として、ノズル長手方向において対称な形状を有する。

＜第二ノズル本体＞
図３に示すように、第二ノズル本体５６は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。第二ノズル本体５６の長手方向は、ノズル長手方向と一致する。以下、第二ノズル本体５６の長手方向を「ノズル長手方向」ともいう。

例えば、第二ノズル本体５６は、ステンレス鋼などの金属材料で形成されている。第二ノズル本体５６は、第一ノズル本体５５と同じ材料を用いて形成されている。第二ノズル本体５６において、第一ノズル本体５５と対向する面５６ｆ（Ｙ方向内側面）は、平面状となっている。第二ノズル本体５６には、ノズル５０において供給路６３および脱気路６２を構成する複数（例えば本実施形態では３つ）の貫通孔５６ａが設けられている。すなわち、供給路６３および脱気路６２は、第二ノズル本体５６に設けられている。

例えば、供給路６３は、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、供給路６３は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の中央部に位置している。供給路６３は、第一ノズル本体５５の分散路６４の長手方向中央部に連通している。

図４に示すように、脱気路６２は、ノズル長手方向に離反して一対設けられている。一対の脱気路６２は、ノズル長手方向における第一ノズル本体５５の両端部に位置している。以下、一対の脱気路６２のうちノズル長手方向において第二ノズル本体５６の第一端部に位置する脱気路６２ａを「第一脱気路６２ａ」、第二ノズル本体５６の第二端部に位置する脱気路６２ｂを「第二脱気路６２ｂ」ともいう。

図３に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第二ノズル本体５６の厚み方向（Ｙ方向）に延在する直線状をなしている。図４に示すように、第一脱気路６２ａおよび第二脱気路６２ｂのそれぞれは、第一ノズル本体５５の分散路６４の端部に連通している。第一脱気路６２ａは、第一ノズル本体５５の第一端部における分散路６４に接続されている。第二脱気路６２ｂは、第一ノズル本体５５の第二端部における分散路６４に接続されている。第一脱気路６２ａには、第一廃液配管３３（図１参照）が接続されている。第二脱気路６２ｂには、第二廃液配管３４（図１参照）が接続されている。

図３に示すように、第二ノズル本体５６において、供給路６３および脱気路６２の下方には、凹溝７２が設けられている。図５に示すように、凹溝７２は、第二ノズル本体５６のＹ方向外側面からＹ方向内側に向けて窪んでいる。図３に示すように、凹溝７２は、ノズル長手方向に延在する直線状をなしている。

＜ノズル本体の内部構造＞
図５の断面視で、ノズル本体５１においては、第一ノズル本体５５の流通部５５ａと第二ノズル本体５６の面５６ｆとで囲まれた空間が流路６１となる。図５の断面視で、流通部５５ａは、Ｙ方向外側に向けて凸の湾曲形状（半円形状）を有する。図５の断面視で、第一ノズル本体５５の面５５ｆと第二ノズル本体５６の面５６ｆとの間の隙間であって、流路６１と吐出口６０との間に形成される隙間は、吐出用接続路６９となる。

吐出口６０は、第一ノズル本体５５と第二ノズル本体５６とシム８０とが組み合わされた状態において流路６１の－Ｚ側端部に形成された開口である。吐出口６０は、ノズル長手方向に沿ってスリット状に形成されている。
例えば、ノズル長手方向における吐出口６０の寸法は、基板５（図２参照）のＸ方向の寸法よりも小さくてもよい。これにより、基板５の周辺領域に塗布液が塗布されることを抑制することができる。

＜連結部材＞
図５に示すように、連結部材５２は、ノズル本体５１の吐出口６０とは反対側の面（上面）に設けられている。連結部材５２は、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結する。図４に示すように、連結部材５２は、ノズル長手方向に延在する長尺の部材である。例えば、連結部材５２は、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。連結部材５２は、ノズル本体５１と同じ材料を用いて形成されている。

連結部材５２は、ノズル本体５１の上面の外形と同一の外形の矩形板状をなす天板である。図３に示すように、連結部材５２の四隅のそれぞれには、連結部材５２を厚み方向に貫通する貫通孔５２ｈが設けられている。第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６のそれぞれの上面の隅部には、各貫通孔５２ｈに対応する位置に雌ネジ部５５ｍ，５６ｍが設けられている。例えば、連結部材５２の各貫通孔５２ｈにボルト（不図示）を挿通して第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６の各雌ネジ部５５ｍ，５６ｍに螺着することによって、第一ノズル本体５５および第二ノズル本体５６を連結することができる。連結部材５２の上面には、供給部２０および廃液部３０が設けられている（図２参照）。

＜サイドプレート＞
図４に示すように、一対のサイドプレート５３，５４は、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に位置している。以下、一対のサイドプレート５３，５４のうちノズル長手方向においてノズル本体５１の第一端部に位置するサイドプレート５３を「第一サイドプレート５３」、ノズル本体５１の第二端部に位置するサイドプレート５４を「第二サイドプレート５４」ともいう。

図３に示すように、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ノズル本体５１をＹ方向に見た断面の輪郭形状と同一の形状を有している。例えば、第一サイドプレート５３および第二サイドプレート５４のそれぞれは、ステンレス鋼などの金属材料を用いて形成されている。

図３に示すように、第一サイドプレート５３は、流路６１及び凹溝７２の第一端部側を閉じる板部材である。
第二サイドプレート５４は、流路６１及び凹溝７２の第二端部側を閉じる板部材である。

＜調整機構＞
図６に示すように、第二ノズル本体５６には、吐出口６０の幅を調整可能な調整機構１００が設けられている。図６においては、ノズル本体５１における第二サイドプレート５４の側の端部を示す。図示はしないが、ノズル本体５１における第一サイドプレート５３の側の端部においても、第二サイドプレート５４の側の端部と同一の構成を有するため、説明を省略する。

調整機構１００は、ノズル長手方向に間隔をあけて複数設けられている。図５に示すように、各調整機構１００は、Ｚ方向で凹溝７２と重なる位置に位置されている。各調整機構１００は、供給路６３および脱気路６２（図４参照）を避けた位置に配置されている。

図６に示すように、隣り合う２つの調整機構１００の間隔は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど狭くなっている。すなわち、複数の調整機構１００は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の端部側ほど密になるように配置されている。複数の調整機構１００は、ノズル長手方向における第二ノズル本体５６の両端部以外の部分（ノズル長手方向中央寄りの部分）において等間隔に配置されている。

図５に示すように、調整機構１００は、Ｚ方向に延びる第一部材１１０と、第一部材１１０の軸回りに回転可能な第二部材１２０と、を備える。調整機構１００の軸線Ｃ１は、塗布液の吐出方向（上下方向）と平行に配置されている。
以下、第一部材１１０が延びる方向（調整機構１００の軸線Ｃ１に沿う方向）を「軸方向」、調整機構１００の軸線Ｃ１と直交する方向を「径方向」、軸線Ｃ１周りの方向を「周方向」とする。

＜第一部材＞
図７に示すように、第一部材１１０は、ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじ１１１，１１２と、複数の雄ねじ１１１，１１２を連結する連結部１１３と、を備える。複数の雄ねじ１１１，１１２は、第一雄ねじ１１１と、第一雄ねじ１１１よりもねじピッチが小さい第二雄ねじ１１２と、である。第一雄ねじ１１１の外径（ねじ径）は、第二雄ねじ１１２の外径（ねじ径）よりも大きい。第一雄ねじ１１１の軸方向の長さは、第二雄ねじ１１２の軸方向の長さよりも小さい。例えば、第一雄ねじ１１１は、Ｍ１０（外径１０ｍｍ）、Ｐ１．２５（ピッチ１．２５ｍｍ）のメートルねじである。例えば、第二雄ねじ１１２は、Ｍ６（外径６ｍｍ）、Ｐ１．０（ピッチ１．０ｍｍ）のメートルねじである。

連結部１１３は、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２との間に設けられている。連結部１１３は、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２とを互いに連結している。連結部１１３は、軸方向に延びる六角柱状に形成されている。連結部１１３の外径（最大直径）は、第二雄ねじ１１２の外径よりも大きくかつ第一雄ねじ１１１の外径よりも小さい。第一雄ねじ１１１、連結部１１３及び第二雄ねじ１１２は、軸方向の一方側からこの順に配置されている。第一雄ねじ１１１、連結部１１３及び第二雄ねじ１１２は、それぞれ同軸に設けられている。

連結部１１３は、第一部材１１０の軸方向の位置を示すための目印１１４を備える。目印１１４は、連結部１１３の軸方向の中央に設けられている。目印１１４は、連結部１１３の６つの角部のそれぞれに設けられている。本実施形態において、目印１１４は、連結部１１３の角部に設けられた切欠きである。

第一部材１１０の軸方向の端部は、第一部材１１０の径方向に延びるスリット１１５を有する。スリット１１５は、第二雄ねじ１１２の軸方向の端部（具体的には、第二雄ねじ１１２において連結部１１３とは反対側の端部）に設けられている。スリット１１５は、第二雄ねじ１１２の軸方向の端部の径方向全体にわたって直線状に延びている。例えば、スリット１１５の幅は、マイナスドライバーを差し込み可能な大きさに設定されている。

＜第二部材＞
図８に示すように、第二部材１２０は、第一部材１１０の第二雄ねじ１１２に噛み合う雌ねじ１２１を有する。第二部材１２０は、第一部材１１０の軸回りに回動可能である。第二部材１２０は、第一部材１１０と同軸の筒状に形成されている。第二部材１２０の外径（最外径）は、第一部材１１０の第一雄ねじ１１１の外径よりも大きい（図１０参照）。第二部材１２０は、第一部材１１０の第二雄ねじ１１２に対して着脱可能に設けられている。

図１０に示すように、第二部材１２０の軸方向の一端部（具体的には、第二部材１２０の取付状態において連結部１１３の側の端部）は、テーパ状に形成されている。第二部材１２０の軸方向の一端部は、軸方向において連結部１１３の側に向かうに従って外径が徐々に小さくなるテーパ面１２２を有する。テーパ面１２２は、第二部材１２０の軸方向の一端部の全周にわたって設けられている。

第二部材１２０の軸方向の他端部（具体的には、第二部材１２０の取付状態において連結部１１３とは反対側の端部）には、切欠き１２３が形成されている。切欠き１２３は、第二部材１２０の径方向に開口している。図９に示すように、切欠き１２３は、第二部材１２０の取付状態において第一部材１１０のスリット１１５と同じ側に開口している。切欠き１２３は、第二部材１２０の周方向に実質的に等間隔をあけて２つ設けられている。例えば、切欠き１２３の幅は、マイナスドライバーを差し込み可能な大きさに設定されている。

図１０に示すように、ノズル５０は、第二部材１２０の軸方向の位置を固定する第三部材１３０を更に備える。
例えば、第三部材１３０は、第二部材１２０と同軸の筒状（環状）に形成されている。例えば、第三部材１３０の外周には、複数のねじ山（不図示）が軸方向に間隔をあけて設けられている。

＜支持部＞
図１０に示すように、第二ノズル本体５６は、第一雄ねじ１１１に噛み合うとともに第一部材１１０を支持する第一支持部１５０と、第二支持部１６０を支持する第二支持部１６０と、第三部材１３０を支持する第三支持部１７０と、凹溝７２の側方において第一支持部１５０と第二支持部１６０とを連結する連結支持部１８０（以下「ネック部１８０」という。）と、を備える。

第一支持部１５０は、凹溝７２の上方に設けられ軸方向に開口する上側ねじ孔１５１を有する。上側ねじ孔１５１には、第一雄ねじ１１１に噛み合う雌ねじ１５２が設けられている。上側ねじ孔１５１の軸方向の長さは、第一雄ねじ１１１の軸方向の長さよりも大きい。第一雄ねじ１１１は、第一支持部１５０の上側ねじ孔１５１に下方からねじ込まれている。

第二支持部１６０は、軸方向に開口する第一貫通孔１６１及び第二貫通孔１６２を有する。第一貫通孔１６１及び第二貫通孔１６２は、軸方向からみてそれぞれ円形状に形成されている。

第一貫通孔１６１は、凹溝７２を介して上側ねじ孔１５１と同軸に設けられている。第一貫通孔１６１は、第一雄ねじ１１１の外径よりも大きく第二部材１２０の外径よりも小さい内径を有する。第一貫通孔１６１は、第一雄ねじ１１１（第一部材１１０）を軸方向に移動可能かつ第二部材１２０を軸方向に移動不能な大きさに開口している。

第二貫通孔１６２は、第一貫通孔１６１と軸方向に連通している。第二貫通孔１６２は、第一貫通孔１６１と同軸に設けられている。第二貫通孔１６２は、第二部材１２０の外径に沿う内径を有する。第二貫通孔１６２は、第二部材１２０を軸方向に移動可能な大きさに開口している。第二貫通孔１６２は、第二部材１２０が独立して軸線Ｃ１周りに回転可能な大きさに開口している。

第二支持部１６０は、第二部材１２０の軸方向の一端部に対応するテーパ部１６３を備える。テーパ部１６３は、第二部材１２０のテーパ面１２２に沿って傾斜している。テーパ部１６３は、第二支持部１６０のうち第一貫通孔１６１と第二貫通孔１６２との境界部分の全周にわたって設けられている。

第三支持部１７０は、凹溝７２の下方に設けられ軸方向に開口する下側ねじ孔１７１を有する。下側ねじ孔１７１は、第二貫通孔１６２と軸方向に連通している。下側ねじ孔１７１は、第二貫通孔１６２と同軸に設けられている。下側ねじ孔１７１の内径は、第二貫通孔１６２の内径よりも大きい。下側ねじ孔１７１は、第二部材１２０を軸方向に移動可能な大きさに開口している。下側ねじ孔１７１には、第三部材１３０のねじ山に噛み合う雌ねじ１７２が設けられている。第三部材１３０は、第三支持部１７０の下側ねじ孔１７１に下方からねじ込まれている。

凹溝７２は、第一支持部１５０と第二支持部１６０との間に設けられている。凹溝７２は、第二ノズル本体５６のＹ方向外側面（外面）に開口して連結部１１３を露出させている。凹溝７２のＹ方向内端部（底部）は、断面視で弧状（湾曲状）に形成されている。断面視で、凹溝７２は、Ｙ方向に直線状に延びる第一直線部７２ａと、第一直線部７２ａの下方で第一直線部７２ａと実質的に平行に延びる第二直線部７２ｂと、Ｙ方向内側に向けて弧状に湾曲し第一直線部７２ａのＹ方向内端と第二直線部７２ｂのＹ方向内端とを接続する湾曲部７２ｃと、を有する。湾曲部７２ｃは、ネック部１８０のＹ方向外側面に設けられている。

＜調整機構の取付方法＞
例えば、調整機構１００は、以下の手順で第二ノズル本体５６に取り付けられる。
先ず、第二ノズル本体５６の下方から下側ねじ孔１７１、各貫通孔１６１，１６２及び凹溝７２を通じて第一部材１１０を軸方向に挿入し、第一部材１１０の第一雄ねじ１１１を上側ねじ孔１５１にねじ込む。例えば、マイナスドライバー等の工具でスリット１１５部分（図７参照）を保持して第一部材１１０を回すことにより、第一部材１１０を第二ノズル本体５６に取り付ける。このとき、連結部１１３の目印１１４を、凹溝７２の軸方向中央に配置する。

次に、第二ノズル本体５６の下方から下側ねじ孔１７１を通じて第二部材１２０を軸方向に挿入する。次に、第一部材１１０の第二雄ねじ１１２を第二部材１２０の雌ねじ１２１にねじ込む（図９参照）。これにより、第二部材１２０を第二貫通孔１６２内に配置する。このとき、第二部材１２０のテーパ面１２２を第二支持部１６０のテーパ部１６３に当接させる。

次に、第二部材１２０を第二貫通孔１６２に配置した状態で、第二ノズル本体５６の下方から第三部材１３０を下側ねじ孔１７１にねじ込む。これにより、第二部材１２０の軸方向の位置が固定される。
以上により、調整機構１００を第二ノズル本体５６に取り付けることができる。

＜吐出口の幅の調整方法＞
例えば、吐出口６０の幅は、以下の方法で調整する。
凹溝７２から露出する連結部１１３を利用して第一部材１１０を回すことでネック部１８０を弾性的に撓ませることにより、吐出口６０の幅を調整する。例えば、レンチ（スパナ）等の工具で連結部１１３を保持して第一部材１１０を回すことにより、第一部材１１０を軸方向に移動させることができる。
なお、第二部材１２０は、第一部材１１０が軸方向に移動する間も軸方向には移動しない。第二部材１２０は、第一部材１１０が軸方向に移動する間も独立して軸線Ｃ１周りに回転可能である。

例えば、第一部材１１０を軸回りの一方に回すと、第一部材１１０は軸方向に沿って上方に移動する。第一部材１１０の上方への移動により、ネック部１８０が図１０の矢印Ｖ１方向に弾性的に撓み、吐出口６０の幅が初期状態よりも大きく調整される。
例えば、第一部材１１０を軸回りの他方に回すと、第一部材１１０は軸方向に沿って下方に移動する。第一部材１１０の下方への移動により、ネック部１８０が図１０の矢印Ｖ２方向に弾性的に撓み、吐出口６０の幅が初期状態よりも小さく調整される。

上述の通り、初期状態において、連結部１１３の目印１１４は、凹溝７２の軸方向中央に配置されている。そのため、連結部１１３の目印１１４が凹溝７２の軸方向上方に位置する場合は、吐出口６０の幅が初期状態よりも大きく調整されたことを目視で確認することができる。一方、連結部１１３の目印１１４が凹溝７２の軸方向下方に位置する場合は、吐出口６０の幅が初期状態よりも小さく調整されたことを目視で確認することができる。

＜作用効果＞
以上のように、本実施形態のノズル５０は、塗布液の吐出口６０を有するノズル本体５１と、吐出口６０の幅を調整可能な調整機構１００と、を備える。調整機構１００は、ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじ１１１，１１２を有する第一部材１１０と、複数の雄ねじ１１１，１１２のいずれかに噛み合う雌ねじ１２１を有し、第一部材１１０の軸回りに回転可能な第二部材１２０と、を備える。

この構成によれば、第二部材１２０が第一部材１１０の軸回りに回転可能であることにより、第一部材１１０に設けられた複数の雄ねじ１１１，１１２の各ねじピッチの公約数を無視することができる。そのため、各ねじピッチの公約数に依存することなく、第一部材１１０の軸方向の位置を任意に決めることができる。したがって、吐出口６０の幅を自由に調整することができる。

複数の雄ねじ１１１，１１２は、第一雄ねじ１１１と、第一雄ねじ１１１とはねじピッチが異なる第二雄ねじ１１２と、である。雌ねじ１２１は、第二雄ねじ１１２に噛み合う。ノズル本体５１は、第一雄ねじ１１１に噛み合うとともに第一部材１１０を支持する第一支持部１５０と、第二部材１２０を支持する第二支持部１６０と、を備える。
この構成によれば、第一部材１１０が二種類の雄ねじ１１１，１１２（第一雄ねじ１１１及び第二雄ねじ１１２）を備えた簡単な構成で吐出口６０の幅を自由に調整することができる。

第二雄ねじ１１２は、第一雄ねじ１１１よりもねじピッチが小さい。
この構成によれば、第二雄ねじ１１２が第一雄ねじ１１１よりもねじピッチが大きい場合と比較して、第二部材１２０を小さくしやすい。そのため、調整機構１００の小型化及び軽量化を図ることができる。

第一部材１１０は、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２との間に設けられ、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２とを連結する連結部１１３を備える。ノズル本体５１は、第一支持部１５０と第二支持部１６０との間に設けられ、ノズル本体５１の外面に開口して連結部１１３を露出させる凹溝７２を有する。
この構成によれば、凹溝７２から露出する連結部１１３を利用して第一部材１１０を回すことができる。例えば、レンチ（スパナ）等の工具で連結部１１３を保持して第一部材１１０を回すことにより、第一部材１１０の軸方向の位置を容易に調整することができる。加えて、連結部１１３が第一部材１１０の軸方向両側で支持されているため、第一部材１１０の軸方向の位置を安定して調整することができ、作業性が向上する。

連結部１１３は、第一部材１１０の軸方向の位置を示すための目印１１４を備える。
この構成によれば、凹溝７２から露出する連結部１１３の目印１１４を視認することで、第一部材１１０の軸方向の位置を把握することができる。

連結部１１３は、角柱状に形成されている。
この構成によれば、連結部１１３が円柱状に形成されている場合と比較して、第一部材１１０の軸方向の位置を調整する際に連結部１１３を保持しやすいため、作業性が向上する。

凹溝７２の底部は、湾曲状に形成されている。
この構成によれば、第一部材１１０の軸方向の位置を調整する際に凹溝７２の底部に応力が集中することを抑制することができるため、永久歪みの発生を抑制することができる。

第一部材１１０の軸方向の端部は、第一部材１１０の径方向に延びるスリット１１５を有する。
この構成によれば、スリット１１５を利用して第一部材１１０を回すことができる。例えば、マイナスドライバー等の工具でスリット１１５部分を保持して第一部材１１０を回すことにより、第一部材１１０の軸方向の位置を容易に調整することができる。

第二部材１２０の軸方向の端部は、テーパ状に形成されている。第二支持部１６０は、第二部材１２０の端部に対応するテーパ部１６３を備える。
この構成によれば、テーパ部１６３により第二部材１２０のテーパ状部分を支持することができるため、第二部材１２０の軸方向の位置決めを行うことができる。

第二部材１２０の外周部は、第二部材１２０の径方向に開口する切欠き１２３を有する。
この構成によれば、切欠き１２３を利用して第二部材１２０を回すことができるため、第二部材１２０の軸方向の位置を自由に変更することができる。

ノズル５０は、第二部材１２０の軸方向の位置を固定する第三部材１３０を備える。ノズル本体５１は、第三部材１３０を支持する第三支持部１７０を備える。
この構成によれば、第三部材１３０により第二部材１２０の軸方向の位置が固定されるため、第一部材１１０の軸方向の位置を自由に変更することができる。

調整機構１００の軸線Ｃ１は、塗布液の吐出方向と平行に配置されている。
この構成によれば、調整機構１００の軸線Ｃ１が塗布液の吐出方向と交差する場合と比較して、吐出口６０の幅を微調整しやすい。加えて、ノズル５０の厚み（移動方向の長さ）を可及的に小さくすることができ、ノズル５０の小型化及び軽量化を図ることができる。

調整機構１００は、長尺のノズル本体５１の長手方向に複数設けられている。
この構成によれば、複数の調整機構１００により、吐出口６０の幅をノズル本体５１の長手方向に均一に調整することができる。

本実施形態の塗布装置１は、基板５を搬送する基板搬送部２と、上記ノズル５０を備え、搬送される基板５にノズル５０から塗布液を塗布する塗布部３と、を含む。

この構成によれば、上記ノズル５０を備えることで、吐出口６０の幅を自由に調整することができ、高品質の塗布膜を形成することが可能な塗布装置１を提供することができる。

本実施形態の調整機構１００は、ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじ１１１，１１２を有する第一部材１１０と、複数の雄ねじ１１１，１１２のいずれかに噛み合う雌ねじ１２１を有し、第一部材１１０の軸回りに回転可能な第二部材１２０と、を備える。

この構成によれば、第二部材１２０が第一部材１１０の軸回りに回転可能であることにより、第一部材１１０に設けられた複数の雄ねじ１１１，１１２の各ねじピッチの公約数を無視することができる。そのため、各ねじピッチの公約数に依存することなく、第一部材１１０の軸方向の位置を任意に決めることができる。したがって、対象の部材を自由な位置で止めることができる。例えば、本実施形態では、第一支持部１５０及び第二支持部１６０の軸方向の相対位置を自由に選択することができる。

なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、ノズル５０が所定の方向に移動可能である例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル５０を定位置に配置し、基板５のみをＹ方向に移動してもよい。例えば、駆動機構１３は、ノズル５０を門型フレーム１０と共にＹ方向に移動してもよい。すなわち、基板５とノズル５０とは、Ｙ方向に相対的に移動可能であってもよい。

上記実施形態においては、複数の雄ねじ１１１，１１２は、第一雄ねじ１１１と、第一雄ねじ１１１とはねじピッチが異なる第二雄ねじ１１２と、である例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、複数の雄ねじは、３種類以上の雄ねじを含んでいてもよい。 例えば、雄ねじの種類は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第二雄ねじ１１２は、第一雄ねじ１１１よりもねじピッチが小さい例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二雄ねじ１１２は、第一雄ねじ１１１よりもねじピッチが大きくてもよい。例えば、ねじピッチの大きさは、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第一部材１１０は、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２との間に設けられ、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２とを連結する連結部１１３を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一部材１１０は、連結部１１３を備えていなくてもよい。例えば、第一雄ねじ１１１と第二雄ねじ１１２とは、直接的に連結されていてもよい。例えば、第一部材１１０は、ノズル本体５１の下面から突出したヘッド（ボルト頭）を有していてもよい。例えば、第一部材１１０の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、連結部１１３は、第一部材１１０の軸方向の位置を示すための目印１１４を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、連結部１１３は、目印１１４を備えていなくてもよい。例えば、目印１１４は、突起等の切欠き以外の目印であってもよい。例えば、目印１１４の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、連結部１１３は、角柱状に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、連結部１１３は、円柱状に形成されていてもよい。例えば、連結部１１３は、直方体状等の六角柱状以外の形状を有していてもよい。例えば、連結部１１３の形状は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、凹溝７２の底部は、湾曲状に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、凹溝７２の底部は、矩形凹形状に形成されていてもよい。例えば、凹溝７２の底部の形状は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第一部材１１０の軸方向の端部は、第一部材１１０の径方向に延びるスリット１１５を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第一部材１１０の軸方向の端部は、スリット１１５を有しなくてもよい。例えば、第一部材１１０の軸方向の端部は、ノズル本体５１の下面から突出したヘッド（ボルト頭）を有していてもよい。例えば、第一部材１１０の軸方向の端部の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第二部材１２０の軸方向の端部は、テーパ状に形成されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二部材１２０の軸方向の端部は、テーパ状に形成されていなくてもよい。例えば、第二部材１２０は、軸方向全体にわたって同一の外径を有していてもよい。例えば、第二部材１２０の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第二部材１２０の外周部は、第二部材１２０の径方向に開口する切欠き１２３を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二部材１２０の外周部は、切欠き１２３を有しなくてもよい。例えば、第二部材１２０の外周部の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、ノズル５０は、第二部材１２０の軸方向の位置を固定する第三部材１３０を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル５０は、第三部材１３０を備えていなくてもよい。例えば、第二部材１２０の軸方向の位置は固定されていなくてもよい。例えば、第二部材１２０の固定の態様は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、調整機構１００の軸線Ｃ１は、塗布液の吐出方向と平行に配置されている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、調整機構１００の軸線Ｃ１は、塗布液の吐出方向と交差していてもよい。例えば、調整機構１００の軸線Ｃ１の向きは、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、調整機構１００は、長尺のノズル本体５１の長手方向に複数設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、調整機構１００は、長尺のノズル本体５１の長手方向に１つのみ設けられていてもよい。例えば、調整機構１００の設置数及び配置間隔は、要求仕様に応じて変更することができる。

上記実施形態においては、第二ノズル本体５６に吐出口６０の幅を調整可能な調整機構１００を設けた例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、第二ノズル本体５６に調整機構１００が設けられていなくてもよい。例えば、調整機構１００は、第一ノズル本体５５に設けられていてもよい。例えば、厚みの異なる複数のシムを用意しておき、シムを取り替えることで、吐出口６０の幅を調整してもよい。

上記実施形態においては、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル本体５１の上面に連結部材５２が設けられていなくてもよい。例えば、ノズル本体５１の上面を供給部２０および廃液部３０の設置スペースとして活用してもよい。

上記実施形態においては、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部に一対のサイドプレート５３，５４が設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ノズル長手方向におけるノズル本体５１の両端部にサイドプレートが設けられていなくてもよい。

上記実施形態においては、架橋部材１０ｂには、一対の支柱部材１０ａに対して架橋部材１０ｂを上下移動可能なスライダが設けられている例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ステージ８には、基板５を昇降可能な昇降ピンが設けられていていてもよい。

上記実施形態においては、調整機構１００をノズル５０及び塗布装置１に適用した例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、調整機構は、ジャッキ等の対象物を持ち上げるための装置に適用してもよい。この場合、調整機構により、対象物を持ち上げる際に自由な位置で止めることができる。

なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。

１…塗布装置 ２…基板搬送部 ３…塗布部 ５…基板（塗布対象） ５０…ノズル ５１…ノズル本体 ６０…吐出口 ７２…凹溝（凹部） １００…調整機構 １１０…第一部材 １１１…第一雄ねじ（雄ねじ） １１２…第二雄ねじ（雄ねじ） １１３…連結部 １１４…目印 １１５…スリット １２０…第二部材 １２１…雌ねじ １２３…切欠き １３０…第三部材 １５０…第一支持部 １６０…第二支持部 １６３…テーパ部 １７０…第三支持部 Ｃ１…軸線（第一部材の軸）

Claims (15)

1. 塗布液の吐出口を有するノズル本体と、
   前記吐出口の幅を調整可能な調整機構と、を備え、
   前記調整機構は、
   ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじを有する第一部材と、
   前記複数の雄ねじのいずれかに噛み合う雌ねじを有し、前記第一部材の軸回りに回転可能な第二部材と、を備える
   ノズル。
2. 前記複数の雄ねじは、
   第一雄ねじと、
   前記第一雄ねじとは前記ねじピッチが異なる第二雄ねじと、であり、
   前記雌ねじは、前記第二雄ねじに噛み合い、
   前記ノズル本体は、
   前記第一雄ねじに噛み合うとともに前記第一部材を支持する第一支持部と、
   前記第二部材を支持する第二支持部と、を備える
   請求項１に記載のノズル。
3. 前記第二雄ねじは、前記第一雄ねじよりも前記ねじピッチが小さい
   請求項２に記載のノズル。
4. 前記第一部材は、前記第一雄ねじと前記第二雄ねじとの間に設けられ、前記第一雄ねじと前記第二雄ねじとを連結する連結部を更に備え、
   前記ノズル本体は、前記第一支持部と前記第二支持部との間に設けられ、前記ノズル本体の外面に開口して前記連結部を露出させる凹部を有する
   請求項２または３に記載のノズル。
5. 前記連結部は、前記第一部材の軸方向の位置を示すための目印を備える
   請求項４に記載のノズル。
6. 前記連結部は、角柱状に形成されている
   請求項４または５に記載のノズル。
7. 前記凹部の底部は、湾曲状に形成されている
   請求項４から６のいずれか一項に記載のノズル。
8. 前記第一部材の軸方向の端部は、前記第一部材の径方向に延びるスリットを有する
   請求項２から７のいずれか一項に記載のノズル。
9. 前記第二部材の軸方向の端部は、テーパ状に形成され、
   前記第二支持部は、前記第二部材の前記端部に対応するテーパ部を備える
   請求項２から８のいずれか一項に記載のノズル。
10. 前記第二部材の外周部は、前記第二部材の径方向に開口する切欠きを有する
    請求項２から９のいずれか一項に記載のノズル。
11. 前記第二部材の軸方向の位置を固定する第三部材を更に備え、
    前記ノズル本体は、前記第三部材を支持する第三支持部を更に備える
    請求項２から１０のいずれか一項に記載のノズル。
12. 前記調整機構の軸線は、前記塗布液の吐出方向と平行に配置されている
    請求項１から１１のいずれか一項に記載のノズル。
13. 前記調整機構は、長尺の前記ノズル本体の長手方向に複数設けられている
    請求項１から１２のいずれか一項に記載のノズル。
14. 基板を搬送する基板搬送部と、
    請求項１から１３のいずれか一項に記載のノズルを備え、搬送される前記基板に前記ノズルから前記塗布液を塗布する塗布部と、を含む
    塗布装置。
15. 塗布液を塗布する塗布装置に用いられる調整機構であって、
    ねじピッチが互いに異なる複数の雄ねじを有する第一部材と、
    前記複数の雄ねじのいずれかに噛み合う雌ねじを有し、前記第一部材の軸回りに回転可能な第二部材と、を備える
    調整機構。

Images