KR20060113396A

KR20060113396A - 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치 및 표시용기판의 검사장치

Info

Publication number: KR20060113396A
Application number: KR1020060032547A
Authority: KR
Inventors: 신지 후지와라; 타께시 사이토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2005-04-28
Filing date: 2006-04-11
Publication date: 2006-11-02
Also published as: KR100754846B1; TW200710398A; JP2006308450A; TWI304886B; JP4768309B2

Abstract

본 발명에 따른 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치 및 표시용 기판의 검사장치는, 워크 테이블(work table)의 교환 작업을 보조하는 장치를 제공하기 위한 것이다. 교환장치는, 바닥을 이동 가능한 대차(台車)와, 상기 대차에 배치된 반송장치와, 워크 테이블을 교환해야 하는 검사장치에 대한 반송장치의 위치 결정을 하는 제1 위치결정장치를 포함하고, 반송장치는 워크 테이블의 반송(搬送)을 위해, 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내를 X방향으로 이동 가능하게 대차에 지지된 반송 틀로서 안쪽 공간을 형성하는 반송 틀을 포함한다.

워크 테이블, 교환장치, 위치결정장치, 검사장치, 표시용 기판, 반송장치

Description

표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치 및 표시용 기판의 검사장치{Apparatus for Exchanging Work Table that Receives Display Panel and Apparatus for Inspecting Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 교환장치의 한 실시예를 나타내는 평면도이다.

도2는 도1에 나타낸 교환장치에 있어서의 측면도이다.

도3은 도1에 나타낸 교환장치에서의 반송장치 및 가이드 장치 근방의 한 실시예를 나타내는 측면도이다.

도4는 도1에서의 4-4선 확대 단면도로서 반송장치 및 가이드 장치 근방의 한 실시예를 나타내는 도면이다.

도5는 도1에 나타낸 교환장치에 있어서의 반송 틀과 이것에 받아진 워크 테이블의 한 실시예를 나타내는 평면도이다.

도6은 도5에서의 6-6선 확대 단면도로서 반송 틀 및 수도(受渡)기구 근방의 한 실시예를 나타내는 도면이다.

도7은 도1에 나타낸 교환장치에 있어서의 수도부재 근방의 한 실시예를 나타내는 저면도이다.

도8은 도1에 나타낸 교환장치에 있어서의 반송장치의 한 실시예를 나타내는 평면도로서 반송 틀을 최대로 이동시킨 상태로 나타낸 도면이다.

도9는 도8에 나타낸 반송장치의 정면도이다.

도10은 본 발명에 따른 검사장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.

도11은 도10에서의 11-11선 단면도이다.

도12는 도10에 나타낸 검사장치의 측면도이다.

도13은 반송 틀을 도10에 나타낸 검사장치 내로 이동시킨 상태를 나타내는 도11과 동일한 도면이다.

도14는 도13에서의 A부분의 확대도이다.

도15는 도10에 나타낸 검사장치에 있어서의 워크 테이블과 테이블 장착장치와의 조립상태를 나타내는 분해 사시도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

10: 교환장치 12: 워크 테이블

14: 검사장치 16: 표시용 기판

18: 워크 테이블의 틀부재 20: 워크 테이블의 판상부재

22, 24: 워크 테이블의 개구 26: 워크 테이블의 절흠부

28: 워크 테이블의 접촉부 30: 대차(台車)

32: 반송장치 34, 74: 제1 및 제2 위치결정장치

36: 반송 틀 38: 수도(受渡)부재(수도기구)

40: 제1 액츄에이터(수도기구) 42: 반송 틀의 안쪽 공간

44: 반송 틀의 요소(凹所) 46: 고정구

50: 프레임 52: 베이스 부재

54: 가이드 장치 56: 제2 액츄에이터

58, 82: 캐스터 60: 레일

62: 가이드 64: 테이블 받이

66, 70: 블라켓 68: 위치결정 핀

72: 하우징 74: 제2 위치결정장치

76: 테이블 장착장치 78: 스테이지

80: 프로브 장치 84: 경사면

86: 개구 88: 판부재

90: 소켓 92: 승강대

94: 백라이트 장치 96: 테이블 장착부

98: 백라이트 유닛 100: 나사구멍

102: 위치결정 핀 104: 나사부재

106: 틀 받이 108: 단부(段部)

110, 116: 스토퍼 112: 베어링

114: 푸셔

발명의 분야

본 발명은 표시용 기판을 받는 워크 테이블(work table)의 교환장치 및 표시용 기판의 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시패널(liquid crystal display panel)이나 박막 트랜지스터(thin-film transistor(TFT))를 갖춘 유리기판(glass base plate) 등의 표시용 기판은 직사각형의 형상을 갖고 있고, 또 직사각형의 적어도 하나의 변에 대응하는 가장자리에 복수의 전극을 갖추고 있다.

그와 같은 표시용 기판은 이것이 사양서대로 제조되어 있는지 여부의 통전시험(즉 검사)을 거친다. 그와 같은 검사는 일반적으로 표시용 기판에 설치되어 있는 복수의 전극에 눌리는 복수의 접촉자(즉 프로브)를 갖춘 프로브 유닛(probe unit)을 이용하여 행해진다.

이러한 종류의 검사장치의 하나로서, 프로브 유닛을 검사해야 하는 표시용 패널의 종류에 따라 변경함으로써, 하나의 검사장치를 종류가 다른 표시용 기판의 검사에 적용 가능하게 한 것이 있다(특허문헌 1). 이 검사장치에 있어서는 프로브 유닛은 교환 가능하지만 표시용 패널을 받아 지지하는 워크 테이블은 교환 불가능하게 되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개평10-10153호 공보

최근 표시용 패널에는 치수가 작은 것과 치수가 큰 것이 혼재하고 있다. 하나의 검사장치를 치수가 다른 표시용 패널의 검사에 적용할 때는 최소한 워크 테이블을 교환하지 않으면 안된다.

그러나 종래에는 워크 테이블의 교환은 인력에 의해 행해졌다. 이 때문에, 대형이고 중량이 있는 워크 테이블을 혼자서 교환하는 것은 어렵고, 또한 설령 교환 가능하더라도 워크 테이블을 손상할 우려가 있다.

상기의 이유로, 종래에는 대형이고 중량이 있는 워크 테이블의 교환작업은 복수의 작업자의 공동작업에 의해 행해지고 있었다. 이 때문에, 교환작업에 시간을 요할 뿐만 아니라, 복수의 작업자를 준비해야만 한다.

본 발명의 목적은, 워크 테이블의 교환작업을 보조하는 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치는 바닥이 이동 가능한 대차와, 상기 대차에 배치된 반송장치와, 상기 워크 테이블을 교환해야 하 는 검사장치 즉 워크 테이블의 교환을 필요로 하는 검사장치에 대한 상기 반송장치의 위치 결정을 하는 제1 위치결정장치를 포함하고, 상기 반송장치는 상기 워크 테이블의 반송을 위해 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내를 X방향으로 이동 가능하게 상기 대차에 지지된 반송 틀로서 안쪽 공간을 형성하는 반송 틀을 포함한다.

본 발명의 교환장치에 의하면, 교환장치를 검사장치의 부근에 이동시킨 상태로, 워크 테이블을 교환할 수 있다. 이 때문에 소수의 작업자라도 워크 테이블의 교환을 용이하게 행할 수 있다.

상기 반송 틀은 상기 대차의 바깥쪽으로 이동 가능하게 할 수 있다. 그와 같이 하면, 반송 틀을 검사장치 내로 이동시킨 상태로, 교환장치와 검사장치 간의 워크 테이블의 수도(受渡)를 할 수 있기 때문에, 워크 테이블의 수도가 안정적이다.

상기 반송장치는 상기 반송 틀에 배치된 수도기구로서 상기 검사장치에 대하여 상기 워크 테이블의 수도를 하는 수도기구를 포함할 수 있다.

상기 워크 테이블은 상기 안쪽 공간에 배치되고, 상기 수도기구는 상기 워크 테이블의 수도를 함께 행하는 복수의 수도부재로서 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에서 상기 안쪽 공간에 출입 가능하게 상기 반송 틀에 배치된 복수의 수도부재와, 상기 수도부재를 상기 안쪽 공간에 출입시키는 제1 액츄에이터(actuator)를 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 수도부재를 안쪽 공간에 돌출시킴으로써 워크 테이블을 수도부재에 받아 반송 틀에 의해 반송할 수 있고, 수 도부재를 안쪽 공간의 바깥쪽으로 변위시킴으로써 수도부재에 받고 있는 워크 테이블을 검사장치와 같은 다른 장치에 옮길 수 있다.

상기 반송 틀은 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간의 바깥쪽으로 변위되었을 때, 상기 수도부재를 받아들이는 요소(凹所)를 가질 수 있다. 그와 같이 하면, 수도부재가 워크 테이블의 수도에 지장이 없다.

상기 워크 테이블은 상기 수도부재에 1대1의 형태로 대응된 복수의 절흠부(切欠部)로서, 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간 내에 변위된 때, 대응하는 수도부재를 받아들이는 절흠부와, 상기 수도부재에 1대1의 형태로 대응된 복수의 접촉(當接)부로서 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간 내에 변위된 때, 상기 복수의 수도부재가 그들의 공동작용에 의해 상기 워크 테이블을 파지(把持)하도록, 대응하는 복수의 수도부재에 접촉되는 접촉부를 가질 수 있다. 그와 같이 하면, 수도부재를 제1 액츄에이터로 안쪽 공간의 돌출시킨 상태로 유지하면, 워크 테이블이 복수의 수도부재에 의해 파지되기 때문에, 반송장치로부터 워크 테이블의 탈락이 방지된다.

상기 대차는 복수의 캐스터(caster)를 갖춘 프레임(frame)과, 상기 프레임에 지지된 베이스 부재(base member)와, 상기 반송 틀을 이동 가능하게 받는 복수의 가이드 장치(guiding device)로서 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에서 상기 X방향과 교차하는 Y방향으로 간격을 두고 상기 베이스 부재에 배치된 복수의 가이드 장치를 포함할 수 있다.

상기 베이스 부재는 상기 프레임에 대하여 상기 Y방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 설치되어 있어도 좋고, 또 상기 대차는 베이스 부 재를 상기 Y방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전시키는 제2 액츄에이터를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 반송 틀을 경사시킨 상태로 반송할 수 있기 때문에, 워크 테이블을 경사시킨 상태로 배치하는 검사장치에 교환장치를 적용할 수 있다.

상기 제2 액츄에이터는 실린더(cylinder) 및 피스톤(piston)을 갖는 실린더 기구로서 실린더 및 피스톤의 한쪽이 상기 프레임에 추축(樞軸) 연결되고 다른 쪽이 상기 베이스 부재에 추축 연결된 실린더 기구를 포함할 수 있다.

상기 대차는, 상기 프레임에 배치된 복수의 테이블 받이로서 상기 워크 테이블을 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면과 교차하는 Z방향에서의 상기 수도기구에 의한 받는 위치와 같은 위치에 받는 복수의 테이블 받이를 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 워크 테이블을 테이블 받이에 일시적으로 받은 후, 수도장치로 건넬 수 있다.

각 가이드 장치는 각각이 상기 X방향으로 연장하는 레일(rail)과 상기 레일에 상기 X방향으로 이동 가능하게 결합된 가이드를 갖춘 한 쌍의 가이드 기구를 포함하고, 한쪽 가이드 기구의 레일 또는 가이드의 어느 한쪽은 상기 베이스 부재에 설치되어 있으며, 다른 쪽 가이드 기구의 레일 및 가이드의 다른 쪽은 서로 결합되어 있어도 좋다. 그와 같이 하면, 반송 틀을 대차의 바깥까지 완전히 안내할 수 있다.

상기 제1 위치결정장치는 상기 제1 방향으로 돌출한 상태로 상기 프레임에 설치된 복수의 위치결정 핀(positioning pin)을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 표시용 기판의 검사장치는 하우징과, 상기 하우징에 배치된 제2 위치결정장치로서 상기 제1 위치결정장치와 함께 상기 교환장치와 상기 검사장치와의 위치결정을 하는 제2 위치결정장치와, 상기 하우징에 배치된 테이블 장착부(table mounting portion)로서 상기 워크 테이블이 탈착 가능하게 설치되는 테이블 장착부와, 상기 테이블 장착부를 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면에 교차하는 방향으로 연장하는 Z방향으로 이동시키는 스테이지(stage)를 포함한다. 상기 하우징은 상기와 같은 교환장치에 의한 상기 워크 테이블의 출입이 가능한 개구 또는 해제 가능한 판부재를 포함한다.

상기 제1 위치결정장치는 상기 X방향으로 돌출한 상태로 상기 대차에 설치된 복수의 위치결정 핀을 포함할 수 있고, 또 상기 제2 위치결정장치는 상기 위치결정을 핀 각각에 받아들이는 복수의 수입(受入) 구멍을 갖는 소켓(socket)을 포함할 수 있다. 그와 같이 하면 위치결정 핀이 소켓에 삽입되도록 대차를 이동시킴으로써 교환장치와 검사장치의 위치결정이 행해지고, 위치결정 작업이 용이해진다. 또 위치결정 핀이 교환장치 쪽에 배치되어 있기 때문에, 검사 중 위치결정 핀이 작업자의 이동에 지장을 주지 않는다.

본 발명에 따른 검사장치에 있어서는, 워크 테이블의 탈착은 하우징의 개구를 통하여, 또는 판부재를 해제함으로써 하우징에 형성되는 개구를 통하여, 반송 틀을 검사장치에 대하여 출입함으로써 행해진다. 이 때문에, 워크 테이블의 교환작업이 안정적이다.

게다가 검사장치는 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에 서 상기 X방향과 교차하는 Y방향에서의 상기 반송 틀의 단부를 받는 틀 받이로서 상기 테이블 장착부로부터 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면과 교차하는 Z방향으로 간격을 두고 상기 하우징에 배치된 틀 받이를 포함할 수 있고, 또 상기 틀 받이는 상기 Y방향에서의 상기 반송 틀의 일단이 접촉하는 스토퍼(stopper)를 가질 수 있다. 그와 같이 하면, 워크 테이블의 수도 시, 반송 틀이 검사장치에 의해서도 받아지기 때문에, 반송 틀이 안정하게 유지되고, 워크 테이블의 수도가 안정함과 동시에 용이해진다.

[용어의 정의]

본 발명에 있어서는, 워크 테이블 또는 테이블 장착장치에 받아진 표시용 패널과 평행한 면내에서의 반송 틀의 이동방향을 X방향(또는 좌우방향)이라 하고, 그 면내에 있어서 X방향과 직각방향을 Y방향(또는 전후방향)이라 하며, X 및 Y방향으로 직각인 방향을 Z방향(상하)이라 한다.

그러나, 상기 방향은 실제 장치에 따라 X방향 및 Y방향이 수평면, 수평면에 대하여 경사하는 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면의 어느 한 면내가 되도록 결정해도 좋고, 그들 면의 조합이 되도록 결정해도 좋다.

[교환장치의 실시예]

먼저, 도1∼도9를 참조하여 교환장치(10)의 실시예에 대해서 설명한다.

교환장치(10)는 워크 테이블(12)(도5 내지 도9 참조)을 뒤에 도10부터 도15 를 참조하여 설명하는 검사장치(14)에 대하여 교환하기 위해 이용된다.

워크 테이블(12)은, 검사장치(14)에 있어서 검사해야할 표시용 기판(16)(도10 참조)을 받아, 그 표시용 기판(16)을 검사 중 이동 불가능하게 지지하는 부재로서 작용한다. 표시용 기판(16)은 장방형의 형상을 갖고 있고, 또 복수의 전극을 갖고 있다.

도5부터 도9에 나타낸 바와 같이, 워크 테이블(12)은 검사해야 하는 표시용 기판(16)과 거의 같은 크기를 갖는 장방형의 틀 부재(18)와, 틀 부재(18)가 설치된 장방형의 판상부재(20)를 포함한다.

판상부재(20)는 바깥을 향하는 프랜지(flange)의 형상을 갖고 있고, 또 틀부재(18)의 개구(22)에 정합(整合)된 개구(24)를 중앙영역에 갖고 있고, 뒤에 설명하는 절흠부(26) 및 접촉부(28)를 각 모서리에 더 갖고 있다.

각 절흠부(26)는 도6에 나타낸 바와 같이, 판상부재(20)의 아래쪽과 옆쪽으로 개방되어 있고, 또 각 절흠부(26)의 안쪽 바닥면은 도7에 나타낸 바와 같이 활 형상의 평면형상으로 되어 있다. 각 접촉부(28)는 절흠부(26)를 형성하는 하나의 면이고, 또 판상부재(20)의 길이방향의 단부(段部)쪽으로 향해 있다(도5 및 도7 참조).

교환장치(10)는, 검사공장의 바닥을 이동 가능한 대차(30)와, 대차(30)에 배치된 반송장치(32)와, 워크 테이블(12)을 교환해야 하는 검사장치(14)에 대한 반송장치(32)의 위치결정을 하는 제1 위치결정장치(34)를 포함한다.

반송장치(32)는 워크 테이블(12)의 반송을 위해, X방향에서의 대차(30)의 내 외로 이동 가능하게 대차(30)에 지지된 반송 틀(36)을 포함한다. 반송 틀(36)은 각주상의 복수의 장척(長尺)부재에 의해 장방형으로 제작되어 있다.

또 반송장치(32)는 검사장치(14)에 대하여 워크 테이블(12)의 수도를 하도록 반송 틀(36)에 배치된 수도기구를 포함한다.

수도기구는 워크 테이블(12)의 수도를 공동하여 행하도록 반송 틀(36)에 배치된 복수의 수도부재(38)와 각 수도부재(38)를 반송 틀(36)의 안쪽 공간(42)에 출입시키는 로터리 액츄에이터(rotary actuator)와 같은 제1 액츄에이터(40)를 포함한다.

각 수도부재(38)는 Z방향으로 연장하는 축선 주위의 추축운동이 가능하게 반송 틀(36)의 모서리에 지지되어 있고, 대응하는 제1 액츄에이터(40)에 의해 워크 테이블(12)에 받아진 표시용 기판(16)과 평행한 면내에서 안쪽 공간(42)에 출입된다.

반송 틀(36)은 수도부재(38)가 안쪽 공간(42)의 바깥으로 후퇴된 때, 수도부재(38)를 받아들이는 복수의 요소(凹所)(44)를 갖는다. 요소(44)는 안쪽 공간(42)에 개방되어 있고, 또 수도부재(38)에 1대1의 형태로 대응되어 있다.

도시한 예에서는, 도6에 나타낸 바와 같이, 각 제1 액츄에이터(40)는 이것의 출력축이 요소(44)를 관통한 상태로 반송 틀(36)에 지지되어 있고, 각 수도부재(38)는 대응하는 제1 액츄에이터(40)의 출력축에 고정구(46)에 의해 상대적 회전이 불가능하게 설치되어 있다.

쌍을 이루는 절흠부(26) 및 접촉부(28)는, 수도부재(38)에 1대1의 형태로 대 응되어 있다. 각 수도부재(38)는 이것이 안쪽 공간(42) 내에 돌출된 때, 절흠부(26)에 받아들여짐과 동시에, 접촉부(28)에 접촉되고, 워크 테이블(12)을 받는다.

도시한 예에서는, 도5에 있어서, 왼쪽 아래 및 오른쪽 위의 각 수도부재(38)는 대응하는 제1 액츄에이터(40)에 의해, 시계방향으로 회전됨으로써 요소(44)로부터 안쪽 공간(42)으로 돌출되고, 반시계방향으로 회전됨으로써 안쪽 공간(42)에서 요소(44) 내로 후퇴된다.

이에 대하여, 도5에 있어서, 왼쪽 위 및 오른쪽 아래의 각 수도부재(38)는 대응하는 제1 액츄에이터(40)에 의해, 반시계방향으로 회전됨으로써 요소(44)로부터 안쪽 공간(42)으로 돌출되고, 시계방향으로 회전됨으로써 안쪽 공간(42)에서 요소(44) 내로 후퇴된다.

그와 같은 수도부재(38)는 이들이 안쪽 공간(42)에 돌출됨으로써, 대응하는 접촉부(28)에 접촉되고 공동으로 워크 테이블(12)을 파지한다. 이 때문에 수도부재(38)는 테이블 파지부재로서도 작용한다. 또 수도부재(38)는 안쪽 공간(42)으로 후퇴됨으로써 워크 테이블(12)을 해방한다.

이 때문에, 수도부재(38)는 그들이 대응하는 요소(44)로부터 안쪽 공간(42) 내에 돌출되어 있는 상태로, 공동으로 워크 테이블(12)을 받아서 지지한다. 또 수도부재(38)는 그들이 안쪽 공간(42)의 바깥(대응하는 요소(44) 내)으로 후퇴됨으로써, 지지하고 있는 워크 테이블(12)을 검사장치(14)와 같은 다른 장치에 공동으로 건넨다.

대차(30)는, 복수의 장척부재에 의해 입체적인 틀 형상으로 조립된 프레임(50)과, X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 프레임(50)에 지지된 틀 형상의 베이스 부재(52)와, 반송 틀(36)을 X방향으로 이동 가능하게 받는 복수의 가이드 장치(54)와, 베이스 부재(52)를 Y방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전시키는 제2 액츄에이터(56)를 포함한다.

프레임(50)은 이것이 바닥 위를 이동할 수 있도록, 복수의 캐스터(58)를 하부에 설치하고 있다. 베이스 부재(52)는 복수의 장척부재에 의해 평탄한 틀 형상으로 조립되어 있다.

도시한 예에서는, 한 쌍의 가이드 장치(54)가 워크 테이블(12)에 받아진 표시용 기판(16)과 평행한 면내에서 Y방향으로 간격을 둔 상태로, 베이스 부재(52)에 배치되어 있다.

제2 액츄에이터(56)는 도시한 예에서는 실린더 및 피스톤을 갖는 실린더 기구이고, 또 교환장치(10)의 X방향에서의 중앙에 위치되어 있다.

제2 액츄에이터(56)의 실린더 및 피스톤 중, 어느 한쪽은 프레임(50)에 추축적으로 연결되어 있고, 다른 쪽은 베이스 부재(52)에 추축적으로 연결되어 있다. 도3에 나타낸 예에서는, 실린더가 프레임(50)에 연결되고, 피스톤이 베이스 부재(52)에 연결되어 있다.

베이스 부재(52)는, 제2 액츄에이터(56)가 수축되어 있으면, 도2에 나타낸 바와 같이 수평상태로 유지되고, 제2 액츄에이터(56)가 신장되어 있으면, 도3에 나타낸 바와 같이 수평면에 대하여 경사진 상태로 유지된다.

베이스 부재(52)가 수평면에 대하여 경사진 상태로 유지되고 있는 상태에 있어서는, 워크 테이블(12)에 받아진 표시용 기판(16)과 평행한 면이 수평면에 대하여 경사져 있기 때문에, Y방향은 도3에 있어서 비스듬한 상하방향이 된다.

도4에 나타낸 바와 같이, 각 가이드 장치(54)는 X방향으로 연장하는 레일(60)과 레일(60)에 X방향으로 이동 가능하게 결합된 가이드(62)를 갖춘 한 쌍의 가이드 기구를 포함한다.

한쪽 가이드 기구의 레일(60) 및 가이드(62)의 어느 한 쪽은 베이스 부재(52)에 설치되어 있고, 다른 쪽 가이드 기구의 레일(60) 및 가이드(62)의 어느 한쪽은 반송 틀(36)에 설치되어 있다. 한쪽 및 다른 쪽 가이드 기구의 레일(60) 및 가이드(62)의 다른 쪽은 상대적으로 이동이 불가능하게 서로 결합되어 있다.

도4에 나타낸 예에서는, 한쪽 가이드 기구의 레일(60)이 베이스 부재(52)에 설치되어 있고, 다른 쪽 가이드 기구의 레일(60)이 반송 틀(36)에 설치되어 있다. 양 가이드 기구의 가이드(62)가 상대적 이동이 불가능하게 서로 결합되어 있다.

게다가 대차(30)는 워크 테이블(12)을 Z방향에서의 수도기구에 의한 워크 테이블(12)의 받는 위치와 같은 위치에 받는 4개의 테이블 받이(64)를 포함한다. 각 테이블 받이(64)는 블라켓(bracket)(66)에 의해 프레임(50)에 지지되어 있다.

제1 위치결정장치(34)는 프레임(50)으로부터 X방향의 한쪽으로 돌출한 한 쌍의 위치결정 핀(68)을 포함한다. 양 위치결정 핀(68)은 이들이 Y방향으로 간격을 둔 상태로 블라켓(70)에 의해 프레임(50)의 X방향에서의 일단측 하단부에 설치되어 있다.

[검사장치의 실시예]

이어서, 도10부터 도15를 참조하여, 표시용 기판(16)을 검사하는 검사장치(14)의 실시예에 대해서 설명한다.

검사장치(14)는, 하우징(72)과, 제1 위치결정장치(34)와 함께 교환장치(10)와 검사장치(14)와의 위치결정을 하는 제2 위치결정장치(74)와, 워크 테이블(12)을 탈착 가능하게 지지하는 테이블 장착장치(76)와, 테이블 장착장치(76)를 이동시키는 스테이지(78)와, 하우징(72)에 배치된 프로브 장치(80)를 포함한다.

테이블 장착장치(76), 스테이지(78) 및 프로브 장치(80)는 그들의 축선이 수평면에 대하여 경사진 상태로 하우징(72)에 배치되어 있다.

이 때문에 검사장치(14)에 있어서는, 테이블 장착장치(76)에 받아진 표시용 기판(16)과 평행한 면이 수평면에 대하여 경사져있기 때문에, Y방향은 도3에 있어서 비스듬히 상하방향이 된다.

하우징(72)은, 복수의 장척부재와 복수의 판부재에 의해 상자형상으로 제작되어 있고, 또 복수의 캐스터(82)를 저면에 갖추고 있다. 하우징(72)의 전면 상부는 수평면에 대하여 경사진 경사면(84)으로 되어 있다. 또 하우징(72)은 X방향이 길이방향이 되는 장방형의 개구(86)를 경사면(84)에 갖고 있다.

하우징(72)의 X방향에서의 일단면을 형성하는 판부재(88)는 교환장치(10)에 의한 워크 테이블(12)의 교환을 가능하게 하기 위해 해제 가능하게 되어 있다.

제2 위치결정장치(74)는 제1 위치결정장치(34)의 위치결정 핀(68)이 각각에 끼워지는 복수의 구멍을 갖는 소켓(90)을 갖추고 있다. 제2 위치결정장치(72)는 하우징(72)의 판부재(78)를 분리한 상태로, 제1 위치결정장치(34)의 위치결정 핀(68)을 소켓(90)에 받아들일 수 있도록 하우징(72)에 설치되어 있다.

테이블 장착장치(76)는 스테이지(78)에 지지된 승강대(92)와, 승강대(92)에 지지된 백라이트 장치(94)와, 백라이트 장치(94)에 설치된 테이블 장착부(96)를 구비한다.

승강대(92)는 스테이지(78)에 의해 최소한 Z방향으로 이동된다. 백라이트 장치(94)는 백라이트 유닛(backlight unit)(98)을 갖추고 있다.

테이블 장착부(96)는 도15에 나타낸 바와 같이, 복수의 장척부재를 U자상으로 조합시키고 있고, 또 워크 테이블(12) 측으로 개방하는 복수의 나사구멍(100)과, 워크 테이블(12) 측으로 돌출하는 복수의 위치결정 핀(102)을 갖추고 있다.

워크 테이블(12)은 이것의 판상부재(20)를 관통하여 나사구멍(100)에 결합된 나사부재(104)에 의해 테이블 장착부(96)에 탈착 가능하게 설치된다. 위치결정 핀(102)은 워크 테이블(12)의 판상부재(20)를 관통함으로써 테이블 장착부(94)에 대하여 위치 결정된다.

스테이지(78)는 테이블 장착장치(76) 나아가서는 테이블 장착부(96)를 X, Y 및 Z의 3방향으로 이동시킴과 동시에, Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 각도적으로 회전시킨다.

프로브 장치(80)는 각각이 복수의 프로브를 갖춘 복수의 프로브 유닛을 갖추고 있다. 각 프로브 유닛은 검사해야할 표시용 기판(16)의 크기 및 종류에 따라 하 우징(72)에의 설치위치 및 프로브 유닛 자체를 변경 가능하게 하우징(72)에 설치되어 있다.

상기와 같은 프로브 장치(80)는, 예를 들어 일본특허공개공보 2000-286754호에 기재되어 있다. 그 때문에 프로브 장치(80)에 관한 상세한 설명은 생략한다.

게다가 검사장치(14)는 도13에 나타낸 바와 같이, Y방향에서의 반송 틀(36)의 단부를 받아 X방향으로 안내하는 한 쌍의 틀 받이(106)(즉, 틀 가이드)를 포함한다. 양 틀 받이(106)는 Y방향으로 간격을 두고 X방향으로 연장하는 상태로 프레임(72)에 설치되어 있다.

각 틀 받이(106)는, 도14에 나타낸 바와 같이, 반송 틀(36)을 X방향으로 이동 가능하게 받는 L자상의 단부(108)를 갖고 있고, 이 단부(108)에 Y방향에서의 반송 틀(36)의 일단이 접촉하는 스토퍼(110)를 가짐과 동시에, 반송 틀(36)을 위한 복수의 베어링(bearing)(112)을 갖고 있다.

도시한 예에서는 단부(108)는 Z방향 위쪽으로 향해져 있고, 스토퍼(110)는 틀 받이(106)의 X방향으로 향하는 면으로서 단부(108)를 향하는 면이고, 베어링(112)은 볼(ball)이다.

[교환동작의 설명]

이어서, 워크 테이블의 교환 시에 있어서의 교환장치(10) 및 검사장치(14)의 동작에 대해서 설명한다.

[검사장치로부터의 워크 테이블의 제거]

미리 검사장치(14)의 판부재(88)가 분리된다.

이어서 제1 위치결정장치(34)의 위치결정 핀(68)이 그리고 제2 위치결정장치(74)의 소켓(94)에 삽입되도록, 교환장치(10)가 검사장치(14)에 대하여 수동으로 또는 동력에 의해 이동되고, 교환장치(10) 및 검사장치(14)가 제1 및 제2 위치결정장치(34 및 74)에 의해 결합된다.

상기 시점까지 교환장치(10)의 수도부재(38)가 도7에 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 제2 액츄에이터(40)에 의해 반송 틀(36)의 안쪽 공간(42)으로부터 후퇴되어 있음과 동시에, 베이스 부재(52)가 도3에 나타낸 바와 같이 제2 액츄에이터(56)에 의해 경사진다. 이에 따라, 안쪽 공간(42)이 완전히 개방됨과 동시에, 반송 틀(36)이 가이드 장치(54)와 함께 경사진다.

또, 도13에 실선으로 나타낸 바와 같이, 검사장치(14)의 테이블 장착장치(76)가 스테이지(78)에 의해 Z방향으로 비스듬하게 하강된다. 이에 의해, 테이블 장착부(96)에 장착되어 있는 워크 테이블(12)도 Z방향 경사 아래쪽의 위치로 내려간다.

계속해서, 반송 틀(36)이 수동으로 또는 동력에 의해, 검사장치(14)의 틀 받이(106)를 향해 진출된다. 이에 의해, 반송 틀(36)은 그 Y방향에서의 각 가장자리를 틀 받이(106)의 단부(108)에 받아진 상태로, X방향의 선단이 틀 받이(106)의 스토퍼(110)에 접촉할 때까지 전진된다.

반송 틀(36)이 스토퍼(110)에 접촉한 상태에 있어서, 반송 틀(36)은 워크 테 이블(12)을 안쪽 공간(42)에 받아들일 수 있도록 워크 테이블(12)의 위쪽에 위치된다(도13 참조).

이어서, 테이블 장착장치(76)가 스테이지(78)에 의해 Z방향으로 비스듬하게 상승된다. 이에 의해, 워크 테이블(12)은 테이블 장착부(96)에 장착된 상태로, Z방향에서의 판상부재(20)의 절흠부(26)의 높이 위치가 교환장치(10)의 수도부재(38)의 그것과 거의 같아지는 위치까지 비스듬히 상승되고, 반송 틀(36)의 안쪽 공간(42) 내에 위치된다.

상기와 같이 수도부재(38)가 안쪽 공간(42)의 바깥으로, 즉 요소(44) 내에 변위되어 있는 상태로, 테이블 장착부(96)를 상승시키면, 수도부재(38)가 테이블 장착부(96)의 상승, 나아가서는 워크 테이블(12)의 수도에 지장을 주지 않는다.

이어서, 도6에 실선으로 나타낸 바와 같이, 각 수도부재(38)가 제1 액츄에이터(40)에 의해 반송 틀(36)의 안쪽 공간(42) 내로 진출된다. 이에 의해, 수도장치(38)는 공동하여 워크 테이블(12)을 받아 파지한다.

계속해서, 나사부재(104)가 제거됨으로써 워크 테이블(12)은 테이블 장착부(96)로부터 분리된다.

이어서, 도13에 실선으로 나타낸 바와 같이, 다시 검사장치(14)의 테이블 장착장치(76)가 스테이지(78)에 의해 Z방향 비스듬히 하강된다. 이에 의해, 테이블 장착부(96)가 다시 Z방향 경사 아래쪽의 위치로 내려가고, 워크 테이블(12)이 도13에 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 반송 틀(36)로 건네진다.

계속해서, 반송 틀(36)은 경사진 상태로 교환장치(10) 내로 후퇴되고, 교환 장치(10)는 검사장치(14)로부터 떨어진 대기위치로 이동된다. 반송 틀(36) 및 교환장치(10)가 이동하는 동안, 워크 테이블(12)이 수도부재(38)에 의해 파지되어 있기 때문에, 반송 틀(36)로부터의 워크 테이블(12)의 탈락이 방지된다.

이어서, 도2에 나타낸 바와 같이, 베이스 부재(52)가 제2 액츄에이터(56)에 의해 수평으로 되돌려진다. 이에 의해, 반송 틀(36) 및 가이드 장치(54)도 수평으로 되돌려진다.

계속해서, 각 수도부재(38)가 안쪽 공간(42)의 바깥으로 후퇴되고, 워크 테이블(12)이 테이블 받이(64)에 일시적으로 건네진다. 이 상태에 있어서, 워크 테이블(12)은 로봇에 의해 교환장치(10)로부터 제거된다.

[새로운 워크 테이블의 설치]

계속해서, 각 수도부재(38)가 안쪽 공간(42)의 바깥으로 후퇴된 상태에 있어서, 새로운 워크 테이블(12)이 로봇에 의해 테이블 받이(64)에 일시적으로 건네진다.

이어서 로봇이 새로운 워크 테이블(12)을 해방하고, 교환장치(10)로부터 멀어진다. 이에 의해 새로운 워크 테이블(12)이 교환장치(10)에 건네진다.

이어서 각 수도부재(38)는 안쪽 공간(42) 내에 진출되고, 워크 테이블(12)을 받음과 동시에 파지한다.

이어서 상기와 같이 교환장치(10)가 검사장치(14)에 대하여 이동되고, 교환장치(10) 및 검사장치(14)가 결합된다.

상기 시점까지 상기한 바와 같이, 베이스 부재(52)가 도3에 나타낸 바와 같이 제2 액츄에이터(56)에 의해 경사진다. 이에 의해, 반송 틀(36), 가이드 장치(54) 및 새로운 워크 테이블(12)이 경사진다.

이어서, 반송 틀(36)이 새로운 워크 테이블(12)을 지지한 상태로 검사장치(14)의 틀 받이(106)를 향해 진출된다. 이에 의해, 반송 틀(36)은 그 Y방향에서의 각 가장자리를 틀 받이(106)의 단부(108)에 받아진 상태로, X방향의 선단이 틀 받이(106)의 스토퍼(110)에 접촉할 때까지 전진된다.

상기의 경우에도, 반송 틀(36) 및 교환장치(10)가 이동하는 동안, 워크 테이블(12)이 수도부재(38)에 의해 파지되어 있기 때문에, 반송 틀(36)로부터의 워크 테이블(12)의 탈락이 방지된다.

반송 틀(36)이 스토퍼(110)에 접촉한 상태에 있어서, 반송 틀(36)은 워크 테이블(12)을 안쪽 공간(42)에 받아들일 수 있도록, 테이블 장착부(96)의 위쪽에 위치된다(도13 참조).

이어서, 테이블 장착장치(76)가 스테이지(78)에 의해 Z방향으로 비스듬히 상승된다. 이것에 의해, 테이블 장착부(96)는 이것에 새로운 워크 테이블(12)을 받을 수 있는 높이까지 비스듬히 상승된다.

이어서, 각 수도부재(38)가 반송 틀(36)의 안쪽 공간(42) 내로 다시 후퇴된다. 이에 의해, 수도부재(38)가 새로운 워크 테이블(12)을 해방하고, 새로운 워크 테이블(12)은 검사장치(14)에 건네진다.

이어서, 새로운 워크 테이블(12)이 나사부재(104)에 의해 테이블 장착부(96) 에 설치된다.

계속해서, 반송 틀(36)은 경사된 상태로 교환장치(10) 내에 후퇴되며, 교환장치(10)는 검사장치(14)로부터 떨어진 대기위치로 이동된다.

상기와 같이 교환장치(10)에 의하면, 소수의 작업자라도 워크 테이블(12)의 교환을 용이하게 행할 수 있다. 또 반송 틀(36)은 대차(30) 내에서 검사장치(14) 내까지의 사이를 가이드 장치(54)에 의해 완전히 안내된다.

상기와 같이, 반송 틀(36)이 검사장치(14) 내에 이동된 상태로, 교환장치(10)와 검사장치(14)와의 사이의 워크 테이블(12)의 수도가 행해지면, 워크 테이블(12)의 수도가 안정한다.

또, 검사장치(14) 내에서의 반송 틀(36)의 이동시 및 워크 테이블(12)의 수도 시, 반송 틀(36)이 검사장치(14)의 틀 받이(106)에 의해서도 받아져 있으면, 반송 틀(12)이 안정하게 유지되고, 반송 틀(36)의 이동이 안정되고, 워크 테이블(12)의 수도가 안정됨과 동시에 용이해진다.

검사장치(14)에 의하면, 워크 테이블(12)의 탈착이 하우징(14)의 판부재(78)를 분리함으로써 하우징에 형성되는 개구를 통하여, 반송 틀(36)을 검사장치(14)에 대하여 출입함으로써 행해진다. 이 때문에, 워크 테이블(12)의 교환작업이 안정적이다.

[표시용 기판에 대해서]

검사장치(14)에 의해 검사되는 표시용 기판은 장방형의 평면형상을 갖는다.

도15에 나타낸 바와 같이, 워크 테이블(12)은 장방형의 서로 이웃하는 두변에 대응하는 틀부재(18) 부분의 각각에 설치된 푸셔(114)와, 장방형의 서로 이웃하는 2개의 변에 대응하는 틀부재(18) 부분의 각각에 설치된 복수의 스토퍼(116)를 더 갖춘다.

표시용 기판은, 도15에 나타낸 바와 같이, 워크 테이블(12)의 틀부재(18)에 놓여지고, 그 상태로 각 푸셔(114)에 의해 대응하는 스토퍼(116)에 눌림으로써 위치 결정된다.

검사 시, 표시용 기판은 워크 테이블(12)이 스테이지(78)에 의해 상승되고, 전극을 프로브 장치(80)의 프로브에 눌린다.

검사장치(14)의 판부재(88)를 해제 가능하게 하는 대신에, 반송 틀(36) 및 워크 테이블(12)을 검사장치(14)에 대하여 출입하는 개구를 판부재(78)에 설치해도 좋다.

본 발명은 액정표시패널용으로 표시용 기판의 검사장치에 이용하는 워크 테이블의 교환장치 및 그 표시용 기판의 검사장치뿐만 아니라, 유기 EL과 같은 다른 평판상 표시용 기판의 검사장치에 이용하는 워크 테이블의 교환장치 및 그 표시용 기판의 검사장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명의 교환장치에 의하면, 교환장치를 검사장치의 부근에 이동시킨 상태로, 워크 테이블을 교환할 수 있다. 이 때문에, 소수의 작업자라도 워크 테이블의 교환을 용이하게 행할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치로서, 바닥이 이동 가능한 대차(台車)와, 상기 대차에 배치된 반송장치와, 상기 워크 테이블을 교환해야 하는 검사장치에 대한 상기 반송장치의 위치 결정을 하는 제1 위치결정장치를 포함하고, 상기 반송장치는 상기 워크 테이블의 반송을 위해, 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내를 X방향으로 이동 가능하게 상기 대차에 지지된 반송 틀로서 안쪽 공간을 형성하는 반송 틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제1항에 있어서, 상기 반송 틀은 상기 대차의 내외로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제1항에 있어서, 상기 반송장치는 상기 반송 틀에 배치된 수도(受渡)기구로서 상기 검사장치에 대하여 상기 워크 테이블의 수도를 하는 수도기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제3항에 있어서, 상기 워크 테이블은 상기 안쪽 공간에 배치되고,

상기 수도기구는, 상기 워크 테이블의 수도를 함께 행하는 복수의 수도부재로서 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에서 상기 안쪽 공간으로 출입 가능하게 상기 반송 틀에 배치된 복수의 수도부재와, 상기 수도부재를 상기 안쪽 공간에 출입시키는 제1 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제4항에 있어서, 상기 반송 틀은 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간의 바깥으로 변위되었을 때, 상기 수도부재를 받아들이는 요소를 갖는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제4항에 있어서, 상기 워크 테이블은, 상기 수도부재에 1대1의 형태로 대응된 복수의 절흠부로서, 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간 내로 변위되었을 때, 대응하는 수도부재를 받아들이는 절흠부와, 상기 수도부재에 1대1의 형태로 대응된 복수의 접합부로서 상기 수도부재가 상기 안쪽 공간 내로 변위되었을 때, 상기 복수의 수도부재가 그들의 공동작용에 의해 상기 워크 테이블을 파지(把持)하도록, 대응하는 복수의 수도부재에 접하는 접합부를 갖는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제1항에 있어서, 상기 대차는, 복수의 캐스터를 갖춘 프레임과, 상기 프레임에 지지된 베이스 부재와, 상기 반송 틀을 이동 가능하게 받는 복수의 가이드 장치로서 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에 있고 상기 X방향과 교차하는 Y방향으로 간격을 두고 상기 베이스 부재에 배치된 복수의 가이드 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제7항에 있어서, 상기 베이스 부재는 상기 프레임에 대하여 상기 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전 가능하게 설치되어 있고,

상기 대차는 베이스 부재를 상기 X방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전시키는 제2 액츄에이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제8항에 있어서, 상기 제2 액츄에이터는 실린더 및 피스톤을 갖는 실린더 기구(cylinder mechanism)로서 실린더 및 피스톤의 한쪽이 상기 프레임에 추축 연결되고 다른 쪽이 상기 베이스 부재에 추축 연결된 실린더 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제7항에 있어서, 상기 대차는 상기 프레임에 배치된 복수의 테이블 받이로서 상기 워크 테이블을 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면과 교차하는 Z방향에서의 상기 수도기구에 의한 받는 위치와 같은 위치에 받는 복수의 테이블 받이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제7항에 있어서, 각 가이드 장치는 상기 X방향으로 연장하는 레일과 상기 레일에 상기 X방향으로 이동 가능하게 결합된 가이드를 갖춘 한 쌍의 가이드 기구를 포함하고,

한쪽 가이드 기구의 레일 또는 가이드의 어느 한 쪽은 상기 베이스 부재에 설치되어 있고, 다른 쪽 가이드 기구의 레일 및 가이드의 어느 한 쪽은 상기 반송 틀에 설치되어 있고 한쪽 및 다른 쪽 가이드 기구의 레일 및 가이드의 다른 쪽은 서로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 위치결정장치는 상기 X방향으로 돌출한 상태로 상 기 프레임에 설치된 복수의 위치결정 핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판을 받는 워크 테이블의 교환장치.
하우징과, 상기 하우징에 배치된 제2 위치결정장치로서 상기 제1 위치결정장치와 함께 상기 교환장치와 상기 검사장치와의 위치 결정을 하는 제2 위치결정장치와, 상기 하우징에 배치된 테이블 장착부로서 상기 워크 테이블을 탈착 가능하게 설치되는 테이블 장착부와, 상기 테이블 장착부를 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면에 교차하는 방향으로 연장하는 Z방향으로 이동시키는 스테이지를 포함하고,

상기 하우징은 청구항 1 내지 12 중 어느 한 항에 기재된 교환장치에 의한 상기 워크 테이블의 출입이 가능한 개구 또는 해제 가능한 판부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판의 검사장치.
제13항에 있어서, 상기 제1 위치결정장치는 상기 X방향으로 돌출한 상태로 상기 대차에 설치된 복수의 위치결정 핀을 포함하고,

상기 제2 위치결정장치는 상기 위치결정을 핀 각각에 받아들이는 복수의 수입(受入) 구멍을 갖는 소켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시용 기판의 검사장치.
제13항에 있어서, 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면내에 있어서 상기 X방향과 교차하는 Y방향에서의 상기 반송 틀의 단부를 받는 틀 받이로서, 상기 테이블 장착부로부터 상기 워크 테이블에 받아진 표시용 기판과 평행한 면과 교차하는 Z방향으로 간격을 두고 상기 하우징에 배치된 틀 받이를 포함하고,

상기 틀 받이는 상기 Y방향에서의 상기 반송 틀의 일단이 접하는 스토퍼를 갖는 것을 특징으로 하는 표시용 기판의 검사장치.