KR101292261B1 - 평면 디스플레이 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 스테이지의 중앙으로 각기 다른 사이즈의 단위 패널이 셋팅될 때 그와 대응되게 장착된 각 프로브를 구비한 테이터 베이스와 게이트 베이스를 회전방식에 의해 선택적으로 위치시켜 셋팅되는 단위 패널의 검사시간을 현저하게 줄일 수 있도록 하기 위하여,
스테이지의 상면에 세로방향으로 이송되도록 다수 개의 데이터 프로브가 장착된 데이터 베이스와, 상기 스테이지의 상면에 가로방향으로 이송되도록 다수 개의 게이트 프로브가 장착되는 게이트 베이스를 포함하는 평면 디스플레이 검사장치에 있어서, 상기 데이터 베이스와 게이트 베이스를 서로 다른 갯수의 각 프로브가 장착되어 서로 다른 길이를 가지는 데이터 베이스와 게이트 베이스를 각각으로 구비하고; 상기 각 데이터 베이스와 게이트 베이스는 구동원에 의해 베어링 유닛으로 장착되어 회전되는 회전블록 상에 장착되어 상기 스테이지의 중앙으로 셋팅되는 각기 다른 사이즈의 패널에 따라 대응되는 각 데이터 베이스와 게이트 베이스를 위치시키는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.

Description

평면 디스플레이 검사장치{Flat panel display tester}
본 발명은 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 스테이지의 중앙으로 각기 다른 사이즈의 단위 패널이 셋팅될 때 그와 대응되게 장착된 각 프로브를 구비한 테이터 베이스와 게이트 베이스를 회전방식에 의해 선택적으로 위치시켜 셋팅되는 단위 패널의 검사시간을 현저하게 줄일 수 있도록 한 평면 디스플레이 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 평면 디스플레이(FPD, Flat Panel Display)라 함은 TV나 컴퓨터의 모니터에 사용되는 음극전선관(CRT, Cathode Ray Tube)을 대체하기 위해 개발된 차세대 표시장치로, 경량이면서 박형설계가 용이하고 고화질은 물론 저소비전력 등의 장점을 가짐에 따라 여러 분야의 산업에 널리 이용되고 있는 실정이다.
근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 또는 OLED(Orhanic Light-Emitting Diode) 등의 다양한 표시장치가 출시되고 있는 데, 이러한 표시장치는 제조과정에서 완성된 패널의 외관 및 전기적인 결함을 검사하는 공정을 거치게 된다.
상기와 같은 검사공정은 검사장치에서 각 단위 패널에 구비된 데이터 라인과 게이트 라인에 전원을 인가하여 작업자가 패널의 불량 여부를 육안으로 검사하는 방식으로 이루어지며, 통상적인 구조는 다음과 같다.
스테이지의 상면에는 가로방향으로 데이터 베이스가 장착되고, 세로방향의 양측에는 게이트 베이스가 장착되며, 상기 데이터 베이스 및 게이트 베이스에는 각각 데이터 니들이 구비된 데이터 프로브 및 게이트 니들이 구비된 게이트 프로브가 다수 개로 장착되어 있다.
그에 따라 상기 스테이지의 중앙에 패널이 셋팅되면 데이터 니들 및 게이트 니들이 상기 패널의 측부에 형성된 컨텍 패드(contact pad)에 접촉하여 상기 패널의 데이터 라인과 게이트 라인에 전원을 인가하여 검사를 실시하게 되는 것이다.
그러나, 상기 스테이지에 구비되는 각각의 데이터 프로브와 게이트 프로브가 장착된 데이터 베이스와 게이트 베이스는 상기 스테이지 상으로 장착 고정됨에 따라 검사하고자 하는 패널의 사이즈가 다를 경우에는 데이터 베이스와 게이트 베이스 상에 별도의 어댑터(adapter)를 설치하여 검사를 행해야 하는 번거롭고 불편한 문제점을 가지고 있었다.
다시 말해서, 패널의 각기 다른 사이즈에 따라 어댑터를 선택 및 설치해야 함으로 인해 그에 따른 시간과 인력의 낭비가 발생함은 물론 어댑터의 설치 및 프로브의 위치 셋팅과정에서 위치 상의 오차가 발생되어 검사의 정밀도 또한 저하되는 문제점도 초래되었다.
또한, 스테이지에 장착할 수 있는 패널의 최대 사이즈와 최소 사이즈의 차이가 클 경우에는 패널의 검사시 어댑터를 2장 내지 3장씩을 겹쳐서 설치해야 함으로써, 작업의 편의성 및 검사의 정밀도가 현저하게 저하되는 등의 여러 문제점도 발생하였다.
이러한 문제점을 해소하고자 본 출원인에 의하여 선출원하여 등록된 등록특허 제10-0560162호에 개시된 바와 같이 스테이지 상에서 데이터 베이스와 게이트 베이스를 이동 및 회전가능하게 구성하여 각기 다른 패널의 사이즈에 따라 각 프로브의 위치를 손쉽게 셋팅할 수 있도록 하면서 데이더 베이스와 게이트 베이스의 직각도를 정밀하게 조정할 수 있도록 한 평면 디스플레이 검사장치를 등록 받은 바 있다.
그러나, 이러한 등록특허의 경우에도 데이터 베이스와 게이트 베이스에 구비되는 각각의 데이터 프로브 및 게이트 프로브가 각기 다른 패널의 사이즈가 셋팅될 때 그 데이터 베이스와 게이트 베이스를 이동시켜 좌,우 폭을 조절하여 컨텍할 수 있는 장점을 가지고 있었으나, 상기 각 데이터 베이스 및 게이트 베이스에 장착되어 있는 각 프로브의 갯수는 검사하고자 하는 패널의 사이즈에 따라 알맞는 갯수로 장착되어 있는 관계로, 각기 다른 사이즈의 패널이 셋팅되어질 때에는 각 데이터 베이스와 게이트 베이스를 검사하고자 하는 패널의 사이즈에 따라 교체해주어야 하는 단점을 가지고 있었다.
다시 말해서, 각 데이터 베이스나 게이트 베이스에 구비된 각각의 데이터 프로브나 게이트 프로브의 경우에는 검사하고자 하는 패널의 사이즈와 대응되는 갯수로 장착 고정되어 있는 관계로, 다른 사이즈의 패널을 검사하고자 할 때는 그 검사하고자 하는 패널과 대응되는 갯수의 각 프로브가 장착된 각 테이터 베이스나 게이트 베이스로 교체해주어야 하는 번거롭고 불편한 문제점을 가지고 있었다.
등록특허 제10-0560162호
본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하고자 등록특허 제10-0560162호 "평면 디스플레이 검사장치"를 토대로 개량한 것으로, 그 주된 목적은 스테이지의 중앙으로 각기 다른 사이즈의 단위 패널이 셋팅될 때 그와 대응되게 장착된 각 프로브를 구비한 테이터 베이스와 게이트 베이스를 회전방식에 의해 선택적으로 위치시켜 셋팅되는 단위 패널의 검사시간을 현저하게 줄일 수 있도록 한 평면 디스플레이 검사장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 데이터 베이스와 게이트 베이스의 세로 또는 가로의 이동이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 스테이지의 상면에 세로방향으로 이송되도록 다수 개의 데이터 프로브가 장착된 데이터 베이스와, 상기 스테이지의 상면에 가로방향으로 이송되도록 다수 개의 게이트 프로브가 장착되는 게이트 베이스를 포함하는 평면 디스플레이 검사장치에 있어서, 상기 데이터 베이스와 게이트 베이스를 서로 다른 갯수의 각 프로브가 장착되어 서로 다른 길이를 가지는 데이터 베이스와 게이트 베이스를 각각으로 구비하고; 상기 각 데이터 베이스와 게이트 베이스는 구동원에 의해 베어링 유닛으로 장착되어 회전되는 회전블록 상에 장착되어 상기 스테이지의 중앙으로 셋팅되는 각기 다른 사이즈의 패널에 따라 대응되는 각 데이터 베이스와 게이트 베이스를 위치시키는 것을 특징으로 한다.
상기 구동원에 의해 회전되는 회전블록은 각각의 데이터 베이스와 게이트 베이스가 장착되는 다각형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 데이터 베이스의 세로방향으로의 이송은, 상기 회전블록이 장착된 베어링 유닛이 상기 스테이지에 설치된 가이드레일 상에서 상기 스테이지에 장착된 서보모터와, 상기 서보모터에 의해 회전되는 나선축과, 상기 나선축 상에 구비되는 이송블록과 연결되는 받침플레이트 상에 장착되는 것을 특징으로 한다.
상기 게이트 베이스의 가로방향으로의 이송은, 상기 회전블록이 장착된 베이링 유닛이 상기 받침플레이트에 설치된 가이드레일 상에서 상기 받침플레이트에 장착된 서보모터와, 상기 서보모터에 의해 회전되는 나선축과, 상기 나선축 상에 구비되는 이송블록과 연결되게 장착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 스테이지의 중앙으로 각기 다른 사이즈의 단위 패널이 셋팅될 때 그와 대응되게 장착된 각 프로브를 구비한 테이터 베이스와 게이트 베이스를 회전방식에 의해 선택적으로 위치시켜 셋팅되는 단위 패널의 검사시간을 현저하게 줄일 수 있도록 함으로써, 서로 다른 사이즈의 패널이 셋팅되더라도 별도의 어댑터 등 없이도 각 프로브에 의한 컨텍이 단시간 내에 신속하고 정확하게 이루어질 수 있는 효과를 가지는 것이고 그로 인해 패널의 검사시간을 현저하게 줄여 검사 효율성을 극대화할 수 있는 효과를 동반하는 것이다.
또한, 이터 베이스와 게이트 베이스의 세로 또는 가로의 이동이 순차적으로 원활하게 이루어질 수 있도록 함으로써, 셋팅되는 패널의 컨텍이 더욱더 안정적으로 이루어질 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명을 개략적으로 나타낸 요부 사시도.
도 2는 도 1에 따른 개략적인 요부 평면도.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 따른 개략적인 요부 정면도 및 측면도.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 사용 상태를 개략적으로 나타낸 것으로,
도 4a는 데이터 베이스가 이송되어 패널을 컨텍하는 상태의 요부도.
도 4b는 게이트 베이스가 이송되어 패널을 컨텍하는 상태의 요부도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참고하여 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명을 개략적으로 나타낸 요부 사시도이며, 도 2는 도 1에 따른 개략적인 요부 평면도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 1에 따른 개략적인 요부 정면도 및 측면도이다.
도시된 바와 같이 스테이지(110)의 상면에 세로방향으로 이송되도록 데이터 니들이 구비된 다수 개의 데이터 프로브(122)가 장착된 데이터 베이스(120)와, 상기 스테이지(110)의 상면에 가로방향으로 이송되도록 게이트 니들이 구비된 다수 개의 게이트 프로브(132)가 장착되는 게이트 베이스(130)를 포함하는 평면 디스플레이 검사장치(100)에 있어서,
본 발명은, 스테이지의 중앙으로 각기 다른 사이즈의 단위 패널이 셋팅될 때 그와 대응되는 장착된 각 프로브를 회전방식에 의해 선택적으로 위치시켜 셋팅되는 단위 패널의 검사시간을 현저하게 줄일 수 있도록 하기 위하여,
상기 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 각기 다른 사이즈를 가지는 단위 패널(200)을 컨텍할 수 있도록 서로 다른 갯수의 각 프로브(122)(132)가 장착되어 서로 다른 길이를 가지는 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 각각으로 구비하고;
상기 각 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)는 통상적인 구동원(12)에 의해 베어링 유닛(14)으로 장착되어 회전되는 회전블록(10) 상에 장착되어 상기 스테이지(110)의 중앙으로 셋팅되는 각기 다른 사이즈의 패널(200)에 따라 대응되는 각 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 위치시키는 것을 나타낸 것이다.
상기 구동원(12)에 의해 회전되는 회전블록(10)은 각각의 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)가 장착되는 다각형으로 형성되는 것이 바람직한 것으로, 이때 상기 다각형의 회전블록은 도시된 바와 같이 사각형 뿐만 아니라 경우에 따라서는 삼각 또는 사각형 이상의 형태로 형성하여도 무방하며, 양 측단은 베어링 유닛에 장착되어 원활하게 회전이 이루어질 수 있는 원통형으로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 데이터 베이스(120)의 세로방향으로의 이송은, 상기 회전블록(10)이 장착된 베어링 유닛(14)이 상기 스테이지(110)에 설치된 가이드레일 상에서 상기 스테이지(110)에 장착된 서보모터(22)와, 상기 서보모터(22)에 의해 회전되는 나선축(24)과, 상기 나선축(24) 상에 구비되는 이송블록(26)과 연결되는 받침플레이트(20) 상에 장착되어 서보모터(22)의 구동에 따라 받침플레이트(20) 전체가 스테이지(110)의 상부에서 세로방향으로 이송되는 것이다.
상기 게이트 베이스(130)의 가로방향으로의 이송은, 상기 회전블록(10)이 장착된 베이링 유닛(14)이 상기 받침플레이트(20)에 설치된 가이드레일 상에서 상기 받침플레이트(20)에 장착된 서보모터(22)와, 상기 서보모터(22)에 의해 회전되는 나선축(24)과, 상기 나선축(24) 상에 구비되는 이송블록(26)과 연결되게 장착되어, 상기 받침플레이트(20)의 상부에서 가로방향으로의 이송이 원활하게 이루어질 수 있는 것이다.
상기에서, 각 서보모터와 나선축 대신에 통상적인 각종 기계장치에 구비되어 정밀이송에 사용되는 유/공압 실린더장치 등의 공지수단을 적용하여도 무방하다.
상기와 같이 구성된 본 발명을 첨부된 도면 도 4a 내지 도 4b을 참고하여 좀더 구체적으로 설명하면,
먼저, 스테이지(110)의 중앙으로 검사하고자 하는 패널(200)이 셋팅되어 지면 그 스테이지(110)의 상면에 이송수단인 서보모터(22)를 구동하여 받침플레이트(20)의 상면에 구비된 데이터 베이스(110)에 장착되어 있는 데이터 프로브(122)를 셋팅되는 패널(200)의 선단과 컨텍되도록 하는 데, 이때 상기 데이터 베이스(110)는 스테이지(110)의 중앙으로 셋팅되는 패널(200)과 대응되는 길이를 가지는 데이터 베이스(110)가 구동원(12)에 의해 위치한다.
다시 말해서, 구동원(12)에 의해 베어링 유닛(14)으로 지지되어 회전 가능하도록 구비되는 회전블록(10) 상에 서로 다른 갯수의 데이터 프로브(122)가 장착되며 서로 다른 길이를 가지는 데이터 베이스(120)를 셋팅되는 패널(200)의 사이즈와 대응되는 데이터 베이스(120)를 위치시켜 컨텍이 이루어질 수 있도록 한다.
그런 다음 상기 받침플레이트(20)에 구비된 게이트 베이스(130)를 패널(200)의 양측으로 위치하여 컨텍하도록 이송수단인 서보모터(22)와 나선축(24) 및 이송블록(26)에 의하여 이송시키는 데, 이때도 상기 게이트 베이스(130)는 베어링 유잇(14)에 지지되는 회전블록(10) 상에 서로 다른 갯수의 게이트 프로브(132)가 장착되며 서로 다른 길이를 가지는 게이트 베이스(130)를 셋팅되는 패널(200)의 사이즈와 대응되는 게이트 베이스(130)를 위치시켜 컨텍이 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
그에 따라 데이터 베이스와 게이트 베이스의 좌,우로의 이동은 각 이동수단인 서보모터, 나선축, 이송블록 및 받침플레이트에 의하여 이송이 이루어질 수 있도록 한 후, 셋팅되는 서로 다른 사이즈의 패널에 따라 데이터 베이스와 게이트 베이스를 회전 방식에 의하여 대응되는 각각의 데이터 베이스와 게이트 베이스를 위치시킴에 따라 번거로움 없이 단시간 내에 신속하게 패널을 검사할 수 있는 조건을 가지게 되는 것이다.
따라서, 본 발명은 각기 다른 사이즈를 가지는 패널에 따라 좌,우 이동은 물론 회전방식에 의하여 해당되는 데이터 베이스와 게이트 베이스를 위치시킴으로써, 패널을 검사하기 위한 전체적인 검사시간을 현저하게 단축할 수 있을 뿐만 아니라 그로 인한 검사작업의 효율성을 극대화할 수 있는 것이다.
10 : 회전블록 12 : 구동원
14 : 베어링 유닛 20 : 받침플레이트
22 : 서보모터 24 : 나선축
26 : 이송블록
100 : 평면 디스플레이 검사장치
110 : 스테이지 120 : 데이터 베이스
122 : 데이터 프로브 130 : 게이트 베이스
132 : 게이트 프로브 200 : 패널

Claims (4)

  1. 스테이지(110)의 상면에 세로방향으로 이송되도록 다수 개의 데이터 프로브(122)가 장착된 데이터 베이스(120)와, 상기 스테이지(110)의 상면에 가로방향으로 이송되도록 다수 개의 게이트 프로브(132)가 장착되는 게이트 베이스(130)를 포함하는 평면 디스플레이 검사장치(100)에 있어서,
    상기 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 서로 다른 갯수의 각 프로브(122)(132)가 장착되어 서로 다른 길이를 가지는 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 각각으로 구비하고;
    상기 각 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)는 구동원(12)에 의해 베어링 유닛(14)으로 장착되어 회전되는 회전블록(10) 상에 장착되어 상기 스테이지(110)의 중앙으로 셋팅되는 각기 다른 사이즈의 패널(200)에 따라 대응되는 각 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)를 위치시키는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동원(12)에 의해 회전되는 회전블록(10)은 각각의 데이터 베이스(120)와 게이트 베이스(130)가 장착되는 다각형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 데이터 베이스(120)의 세로방향으로의 이송은, 상기 회전블록(10)이 장착된 베어링 유닛(14)이 상기 스테이지(110)에 설치된 가이드레일 상에서 상기 스테이지(110)에 장착된 서보모터(22)와, 상기 서보모터(22)에 의해 회전되는 나선축(24)과, 상기 나선축(24) 상에 구비되는 이송블록(26)과 연결되는 받침플레이트(20) 상에 장착되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 게이트 베이스(130)의 가로방향으로의 이송은, 상기 회전블록(10)이 장착된 베이링 유닛(14)이 상기 받침플레이트(20)에 설치된 가이드레일 상에서 상기 받침플레이트(20)에 장착된 서보모터(22)와, 상기 서보모터(22)에 의해 회전되는 나선축(24)과, 상기 나선축(24) 상에 구비되는 이송블록(26)과 연결되게 장착되는 것을 특징으로 하는 평면 디스플레이 검사장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050096717A (ko) * 2004-03-31 2005-10-06 주식회사 디이엔티 평면 디스플레이 검사장치
KR20060069043A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치
KR20100058395A (ko) * 2008-11-24 2010-06-03 주식회사 코디에스 평판 디스플레이 패널의 검사장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050096717A (ko) * 2004-03-31 2005-10-06 주식회사 디이엔티 평면 디스플레이 검사장치
KR20060069043A (ko) * 2004-12-17 2006-06-21 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치
KR20100058395A (ko) * 2008-11-24 2010-06-03 주식회사 코디에스 평판 디스플레이 패널의 검사장치

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