JP2001296547A - 液晶基板用プローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査作業の効率化を図る。 【解決手段】 液晶基板１２のゲート電極に接触する探
針４３を有するゲートプローブ４１と、１辺のデータ電
極に接触する探針４７を有する第１データプローブ４５
と、他の１辺のデータ電極に接触する探針６１を有する
第２データプローブ５８と、液晶基板１２内のピクセル
電極に接触する探針５１を有するピクセルプローブ４９
とを備えた液晶基板用プローバ１１である。第１及び第
２データプローブ４５，５８の間隔を液晶基板１２の大
きさに合わせて調整するデータプローブ移動機構５９を
備えた。データプローブ移動機構５９側の第２データプ
ローブ５８とピクセルプローブ４９とは連動させた。ピ
クセルプローブ４９と第２データプローブ５８との相対
位置を微調整する相対位置調整機構６０を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板のゲート
電極、データ電極及びピクセル電極に探針を当てて行わ
れるトランジスタの特性検査や、データ線又はゲート線
のオープンショート検査等に用いる液晶基板用プローバ
に関し、特に液晶基板の大きさの違いに対して迅速に対
応できる液晶基板用プローバに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶基板用プローバは、図２に
示すように、基板ステージ１上に、ゲートプローブ２
と、第１データプローブ３と、第２データプローブ４
と、ピクセルプローブ５とを備えている。

【０００３】液晶基板６には、その１辺（図中の下側
辺）にデータ電極、このゲート電極に直交する２辺（図
中の左右側辺）にデータ電極、その内部にピクセル電極
がそれぞれ設けられている。

【０００４】ゲートプローブ２は、液晶基板６の１辺６
Ａに位置するゲート電極に接触する探針２Ａを備えてい
る。このゲートプローブ２はＸ軸移動機構７に取り付け
られている。このＸ軸移動機構７によって、ゲートプロ
ーブ２の探針２Ａが液晶基板６上の１辺６Ａに配列され
たゲート電極のうちの検査対象電極に位置合わせされ
る。

【０００５】第１データプローブ３は、液晶基板６のう
ち上記ゲート電極に直交する１辺６Ｂ（図中の左側辺）
に位置するデータ電極に接触する探針３Ａを備えてい
る。この第１データプローブ３はＹ軸移動機構８に取り
付けられている。このＹ軸移動機構８によって、第１デ
ータプローブ３の探針３Ａが液晶基板６上の１辺６Ｂに
配列されたデータ電極のうちの検査対象電極に位置合わ
せされる。

【０００６】第２データプローブ４は、液晶基板６のう
ち上記ゲート電極に直交する他の１辺６Ｃ（図中の右
辺）に位置するデータ電極に接触する探針４Ａを備えて
いる。この第２データプローブ４はＹ軸移動機構９に取
り付けられている。このＹ軸移動機構９によって、第２
データプローブ４の探針４Ａが液晶基板６上の他の１辺
６Ｃに配列されたデータ電極のうちの検査対象電極に位
置合わせされる。

【０００７】ピクセルプローブ５は、液晶基板６中に位
置するピクセル電極に接触する探針５Ａを備えている。
このピクセルプローブ５はＸＹ軸移動機構１０に取り付
けられている。このＸＹ軸移動機構１０によって、ピク
セルプローブ５の探針５Ａが、液晶基板６中の検査対象
位置のピクセル電極に位置合わせされる。

【０００８】基板ステージ１は、その上側面に液晶基板
６を載置するための部材である。この基板ステージ１
は、前後、左右、上下及び回転方向の微調整を行う調整
機構を備えている。

【０００９】以上の構成により、基板ステージ１上に液
晶基板６が載置されて位置合わせをされた状態で、ゲー
トプローブ２と第１データプローブ３と第２データプロ
ーブ４の各探針が液晶基板６の３つの辺６Ａ，６Ｂ，６
Ｃの特定の電極（ゲート電極及びデータ電極）にそれぞ
れ接触され、またピクセルプローブ５の探針が特定のピ
クセル電極に接触されて、トランジスタの特性検査等が
行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の液
晶基板用プローバでは、大型の液晶基板６の場合は、図
２に示すように、左右の第１及び第２データプローブ
３，４に整合するが、図３及び図４に示すように、液晶
基板６が小型の場合は、第１及び第２データプローブ
３，４を同時に接触させることができない。

【００１１】このため、図３のように、液晶基板６の左
側のデータ電極を第１データプローブ３で検査した後、
図４に示すように、基板ステージ１で液晶基板６を右側
へ移動させて、液晶基板６の右側のデータ電極を第２デ
ータプローブ４で検査しなければならない。このため、
検査に時間がかかり、検査作業の効率が悪いという問題
点がある。

【００１２】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たもので、検査作業の効率化を図った液晶基板用プロー
バを提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係る液晶基
板用プローバは、液晶基板の１辺に位置するゲート電極
に接触する探針を有するゲートプローブと、上記ゲート
電極に直交する１辺に位置するデータ電極に接触する探
針を有する第１データプローブと、上記ゲート電極に直
交する他の１辺に位置するデータ電極に接触する探針を
有する第２データプローブと、上記液晶基板中に位置す
るピクセル電極に接触する探針を有するピクセルプロー
ブとを備えた液晶基板用プローバにおいて、上記第１及
び第２データプローブの一方又は両方に、各データプロ
ーブの間隔を液晶基板の大きさに合わせて調整するデー
タプローブ移動機構を備えたことを特徴とする。

【００１４】前記構成により、検査する液晶基板の大き
さが変わったときは、データプローブ移動機構によって
第１及び第２データプローブの間隔をその液晶基板の大
きさに合わせて調整する。これにより、液晶基板の両側
のデータ電極に第１及び第２データプローブを同時に接
触させることができる。この結果、大きさの異なる液晶
基板を効率的に検査することができる。

【００１５】第２の発明に係る液晶基板用プローバは、
第１の発明に係る液晶基板用プローバにおいて、上記デ
ータプローブ移動機構が、上記ピクセルプローブと連結
して設けられ、データプローブ移動機構に備えられたデ
ータプローブと上記ピクセルプローブとが連動すること
を特徴とする。

【００１６】前記構成により、データプローブ移動機構
によって第１及び第２データプローブの間隔を液晶基板
の大きさに合わせた状態で、データプローブ移動機構に
備えられたデータプローブと上記ピクセルプローブとを
連動させることで、複数箇所を連続的に検査する場合
に、各プローブをＹ軸方向に一体的に移動させて各探針
を検査対象位置のデータ電極及びピクセル電極に連続的
に接触させることができる。これにより、検査作業の効
率化を図ることができる。

【００１７】第３の発明に係る液晶基板用プローバは、
第２の発明に係る液晶基板用プローバにおいて、上記ピ
クセルプローブと、このピクセルプローブに連動するデ
ータプローブとの相対位置を微調整する相対位置調整機
構を備えたことを特徴とする。

【００１８】前記構成により、相対位置調整機構でピク
セルプローブとデータプローブとの相対位置を微調整す
ることで、各探針をピクセル電極とデータ電極に正確に
接触させることができる。即ち、同時に動くピクセルプ
ローブとデータプローブの各探針を、それぞれが接触す
べきピクセル電極及びデータ電極に正確に接触させるこ
とができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る液晶基板用プ
ローバについて、添付図面を参照しながら説明する。図
１は本実施形態に係る液晶基板用プローバのプローブユ
ニットを示す斜視図、図５は本実施形態に係る液晶基板
用プローバのプローブユニットを示す平面図、図６は本
実施形態に係る液晶基板用プローバのプローブユニット
を示す正面図、図７は本実施形態に係る液晶基板用プロ
ーバを示す平面図、図８は本実施形態に係る液晶基板用
プローバを示す正面図、図９は本実施形態に係る液晶基
板用プローバのプローブユニットでの検査時の動作状態
を示す平面図、図１０は図９のプローブユニットに小さ
な液晶基板を載置した時の動作状態を示す平面図であ
る。

【００２０】図７及び図８に示す本実施形態の液晶基板
用プローバ１１は、液晶表示パネル（ＬＣＤ）等の液晶
基板１２の検査に用いられる装置である。なお、液晶基
板１２は、上述した従来の技術の液晶基板６と同様に、
その１辺１２Ａにゲート電極、このゲート電極に直交す
る２辺１２Ｂ，１２Ｃにデータ電極、その内部にピクセ
ル電極がそれぞれ設けられている。液晶基板用プローバ
１１は、この液晶基板１２に対して３辺から探針を接触
させて検査を行う。

【００２１】液晶基板用プローバ１１は主に、カセット
設置部１４と、ローダ・アンローダ部１５と、測定部１
６とから構成されている。

【００２２】カセット設置部１４は、未検査の液晶基板
１２及び検査済みの液晶基板１２を収納した液晶基板収
納カセット１７を設置する装置である。

【００２３】ローダ・アンローダ部１５は、カセット設
置部１４と測定部１６との間で液晶基板１２を搬送する
ための装置である。このローダ・アンローダ部１５は、
液晶基板１２を支持してカセット設置部１４と測定部１
６との間で搬送する搬送ロボット１８と、この搬送ロボ
ット１８の前後への移動を案内する搬送レール１９とか
ら構成されている。この搬送ロボット１８によって、カ
セット設置部１４に設置された液晶基板収納カセット１
７内の液晶基板１２が取り出されて測定部１６に搬送さ
れ、検査終了後の液晶基板１２が液晶基板収納カセット
１７に戻されるようになっている。

【００２４】測定部１６は、液晶基板１２を検査するた
めの装置である。この測定部１６は主に、基板ステージ
２０と、プローブユニット２１と、顕微鏡２２と、操作
部２３と、アライメント用カメラ２４とから構成されて
いる。

【００２５】基板ステージ２０は、検査のために液晶基
板１２を支持するための載置台である。この基板ステー
ジ２０は、載置された液晶基板１２を左右方向に移動さ
せて左右位置調整を行うＸ移動機構２５と、載置された
液晶基板１２を前後方向に移動させて前後位置調整を行
うＹ移動機構２６と、載置された液晶基板１２を上下方
向に移動させて高さ調整を行うＺ移動機構２７と、載置
された液晶基板１２を回転させて角度調整を行うθ移動
機構２８と、液晶基板１２を直接に支持してずれないよ
うに吸着するチャック部２９とから構成されている。

【００２６】顕微鏡２２は、探針の接触状態等を確認す
るための装置である。この顕微鏡２２は、顕微鏡レール
３０に取り付けられて、プローブユニット２１の上側を
前後左右に移動できるようになっている。

【００２７】操作部２３は、装置全体を操作するための
部位である。作業者は、この操作部２３で、ローダ・ア
ンローダ部１５、測定部１６等を操作して、検査を行
う。

【００２８】アライメント用カメラ２４は、基板ステー
ジ２０のチャック部２９に載置された液晶基板１２の位
置合わせを行うための装置である。液晶基板１２にはア
ライメントマーク（図示せず）が形成されており、アラ
イメント用カメラ２４はこのアライメントマークを撮影
しながら液晶基板１２の位置合わせを行う。

【００２９】プローブユニット２１は、基板ステージ２
０に載置された液晶基板１２に直接探針を接触させて検
査を行うための装置である。このプローブユニット２１
は、図１、図５及び図６に示すように構成されている。
プローブユニット２１は、ベースプレート３２に載置さ
れた状態で、基板ステージ２０に臨ませて設けられてい
る。ベースプレート３２は、装置本体側に一体的に取り
付けられて、プローブユニット２１を堅固に支持してい
る。ベースプレート３２には、基板ステージ２０のチャ
ック部２９に面する位置に四角形の開口３３が設けられ
ている。プローブユニット２１の後述する各探針４３，
４７，６１は、この開口３３を介して、チャック部２９
に載置された液晶基板１２に臨まされている。

【００３０】プローブユニット２１は、ゲート検査部３
６と、第１データ検査部３７と、第２データ検査部３８
と、ピクセル検査部３９とから構成されている。

【００３１】ゲート検査部３６は、ゲートプローブ４１
と、ゲートプローブ用Ｘ軸駆動装置４２とから構成され
ている。ゲートプローブ４１は、液晶基板１２の１辺１
２Ａに位置するゲート電極に接触して検査を行うための
部材である。このゲートプローブ４１はゲート電極に直
接に接触する探針４３を備えて構成されている。ゲート
プローブ用Ｘ軸駆動装置４２は、ゲートプローブ４１を
支持してＸ軸方向（図５及び図６の左右方向）に移動さ
せるための装置である。このゲートプローブ用Ｘ軸駆動
装置４２によって、ゲートプローブ４１のＸ軸方向の位
置が正確に調整され、液晶基板１２の測定対象となる特
定のゲート電極に探針４３の先端を正確に位置合わせで
きるようになっている。

【００３２】第１データ検査部３７は、第１データプロ
ーブ４５と、第１データプローブ用Ｙ軸駆動装置４６と
から構成されている。第１データプローブ４５は、液晶
基板１２のゲート電極に直交する１辺１２Ｂに位置する
データ電極に接触して検査を行うための部材である。こ
の第１データプローブ４５はデータ電極に直接に接触す
る探針４７を備えて構成されている。第１データプロー
ブ用Ｙ軸駆動装置４６は、第１データプローブ４５を支
持してＹ軸方向に移動させるための装置である。この第
１データプローブ用Ｙ軸駆動装置４６によって、第１デ
ータプローブ４５のＹ軸方向の位置が正確に調整され、
液晶基板１２の測定対象となる特定のデータ電極に探針
４７の先端を正確に位置合わせできるようになってい
る。

【００３３】ピクセル検査部３９は、ピクセルプローブ
４９と、ピクセルプローブ用ＸＹ軸駆動装置５０とから
構成されている。ピクセルプローブ４９は、液晶基板１
２の内部に位置するピクセル電極に接触して検査を行う
ための部材である。このピクセルプローブ４９はピクセ
ル電極に直接に接触する探針５１を備えて構成されてい
る。

【００３４】ピクセルプローブ用ＸＹ軸駆動装置５０
は、ピクセルプローブ４９を支持してＸＹ軸方向に移動
させるための装置である。このピクセルプローブ用ＸＹ
軸駆動装置５０は、Ｘ軸駆動部５２と、Ｙ軸駆動部５３
とから構成されている。Ｘ軸駆動部５２は、ピクセルプ
ローブ４９を直接に支持してＸ軸方向に移動させるため
の装置である。このＸ軸駆動部５２は、支持梁５４の下
側面に取り付けられている。この支持梁５４は、Ｙ軸駆
動部５３に掛け渡して取り付けられている。Ｙ軸駆動部
５３は、ピクセルプローブ４９をＹ軸方向に移動させる
ための装置である。このＹ軸駆動部５３は、ベースプレ
ート３２の開口３３を挟んだ左右にそれぞれ設けられた
左側駆動機構５５及び右側駆動機構５６によって構成さ
れている。これら左側駆動機構５５及び右側駆動機構５
６は、支持梁５４をその両側から支持してＹ軸方向に移
動させるようになっている。これにより、ピクセルプロ
ーブ４９は、Ｘ軸方向の位置をＸ軸駆動部５２で、Ｙ軸
方向の位置をＹ軸駆動部５３で調整されて、正確に位置
合わせされるようになっている。即ち、液晶基板１２の
内側の測定対象となる特定のピクセル電極に探針５１の
先端を正確に位置合わせできるようになっている。

【００３５】第２データ検査部３８は、第２データプロ
ーブ５８と、データプローブ移動機構５９と、相対位置
調整機構６０とから構成されている。第２データプロー
ブ５８は、液晶基板１２のゲート電極に直交する他の１
辺１２Ｃに位置するデータ電極に接触して検査を行うた
めの部材である。この第２データプローブ５８はデータ
電極に直接に接触する探針６１を備えて構成されてい
る。

【００３６】データプローブ移動機構５９は、第１デー
タプローブ４５及び第２データプローブ５８の間隔を液
晶基板１２の大きさに合わせて調整するための機構であ
る。このデータプローブ移動機構５９は具体的には、第
２データプローブ５８を支持してＸ軸方向に移動させて
第１データプローブ４５と第２データプローブ５８の間
隔を調整する。データプローブ移動機構５９は、ピクセ
ルプローブ用ＸＹ軸駆動装置５０の支持梁５４の上側
に、Ｘ軸方向に配設して取り付けられている。これによ
り、相対位置調整機構６０を支持してＸ軸方向へ移動さ
せることで、第１データプローブ４５と第２データプロ
ーブ５８の間隔を調整するようになっている。このデー
タプローブ移動機構５９による相対位置調整機構６０の
移動範囲は、最大寸法の液晶基板１２に合わせて設定さ
れている。即ち、データプローブ移動機構５９によって
第１データプローブ４５と第２データプローブ５８との
間隔を最大にしたときに、各データプローブ４５，５８
が最大寸法の液晶基板１２に整合するように設定されて
いる。

【００３７】データプローブ移動機構５９は、支持梁５
４に固定されることで、ピクセルプローブ４９と連結
し、一体的にＹ軸方向に移動するようになっている。こ
れにより、ピクセルプローブ４９と第２データプローブ
５８とが、Ｘ軸駆動部５２、支持梁５４、データプロー
ブ移動機構５９及び相対位置調整機構６０を介して、互
いに連結され、検査に際してＹ軸方向に連動するように
なっている。

【００３８】相対位置調整機構６０は、互いに連結され
たピクセルプローブ４９と第２データプローブ５８との
相対位置を微調整するための装置である。この相対位置
調整機構６０は、水平梁部６０Ａと、垂直梁部６０Ｂと
から構成されている。水平梁部６０Ａは、データプロー
ブ移動機構５９に支持された状態で、それ自体がＹ軸方
向に移動できるようになっている。垂直梁部６０Ｂは、
水平梁部６０Ａの端部から下方へ垂下して設けられ、そ
の下端部に第２データプローブ５８が取り付けられてい
る。

【００３９】［動作］以上のように構成された液晶基板
用プローバ１１では、次のようにして液晶基板１２の検
査が行われる。

【００４０】カセット設置部１４の液晶基板収納カセッ
ト１７に収納された液晶基板１２が、搬送ロボット１８
によって取り出され、測定部１６に搬送される。測定部
１６に搬送された液晶基板１２は、基板ステージ２０の
チャック部２９に載置される。チャック部２９に載置さ
れた液晶基板１２は位置合わせが行われる。具体的に
は、アライメント用カメラ２４で液晶基板１２のアライ
メントマークを確認しながら、基板ステージ２０でチャ
ック部２９に載置された液晶基板１２をＸ方向及びＹ方
向に移動させることにより行われる。

【００４１】このとき、液晶基板１２が最大寸法の場合
は、図９に示すようにして検査される。

【００４２】ゲート検査部３６では、ゲートプローブ４
１がゲートプローブ用Ｘ軸駆動装置４２によって設定位
置に移動され、探針４３の先端が検査対象位置のゲート
電極に位置合わせされる。また、第１データ検査部３７
では、第１データプローブ４５が第１データプローブ用
Ｙ軸駆動装置４６によって設定位置に移動され、探針４
７の先端が検査対象位置のデータ電極に位置合わせされ
る。さらに、ピクセル検査部３９では、ピクセルプロー
ブ４９がＸ軸駆動部５２によって設定位置に移動され、
探針５１の先端が検査対象位置のピクセル電極に位置合
わせされる。

【００４３】一方、第２データ検査部３８では、まずデ
ータプローブ移動機構５９で、相対位置調整機構６０を
Ｘ軸方向に移動させて、第１データプローブ４５と第２
データプローブ５８との間隔を調整し、液晶基板１２の
大きさに合わせる。液晶基板１２は、アライメント用カ
メラ２４による位置合わせで、その一方の辺１２Ｂを第
１データプローブ４５に合わせて調整されているため、
データプローブ移動機構５９によって第２データプロー
ブ５８を液晶基板１２の他方の辺１２Ｃに合わせる。こ
のとき、液晶基板１２は最大寸法であるため、第２デー
タプローブ５８はほとんど移動されることはなく、微調
整だけ行われる。

【００４４】さらに、相対位置調整機構６０で、第２デ
ータプローブ５８をＹ軸方向に移動させて、第２データ
プローブ５８とピクセルプローブ４９との位置調整を行
う。通常、ピクセル電極とデータ電極の位置は整合し、
Ｙ軸方向に同じ間隔で配設されているため、それらの電
極位置に合わせて相対位置調整機構６０で、第２データ
プローブ５８とピクセルプローブ４９との位置調整を行
う。

【００４５】以上のようにして各探針の位置を液晶基板
１２に合わせて調整した後、基板ステージ２０のＺ移動
機構２７によってチャック部２９に載置された液晶基板
１２を上昇させて、各探針と各電極とを接触させ、検査
を行う。

【００４６】複数箇所を検査する場合は、基板ステージ
２０のＺ移動機構２７で液晶基板１２を降下させ、ゲー
トプローブ用Ｘ軸駆動装置４２、第１データプローブ用
Ｙ軸駆動装置４６及びピクセルプローブ用ＸＹ軸駆動装
置５０で各プローブを設定量だけずらして各探針と各電
極とを整合させる。このとき、ピクセルプローブ４９と
第２データプローブ５８は、ピクセルプローブ用ＸＹ軸
駆動装置５０によって一体的に移動され、ピクセルプロ
ーブ４９及び第２データプローブ５８の各探針５１，６
１が各電極に同時に整合される。次いで、Ｚ移動機構２
７で液晶基板１２を上昇させて検査を行う。

【００４７】一方、液晶基板１２が小型である場合は、
図１０に示すようにして検査される。

【００４８】この場合、小型の液晶基板１２がチャック
部２９に載置された後、アライメント用カメラ２４とＸ
移動機構２５とＹ移動機構２６とで、ゲート検査部３６
側の左端部に位置合わせされる。

【００４９】次いで、上記同様に、ゲート検査部３６で
は、ゲートプローブ用Ｘ軸駆動装置４２でゲートプロー
ブ４１の探針４３の先端が検査対象位置のゲート電極に
位置合わせされる。第１データ検査部３７では、第１デ
ータプローブ用Ｙ軸駆動装置４６で第１データプローブ
４５の探針４７の先端が検査対象位置のデータ電極に位
置合わせされる。ピクセル検査部３９では、Ｘ軸駆動部
５２によってＸ軸方向が、Ｙ軸駆動部５３によってＹ軸
方向が調整されて、ピクセルプローブ４９が設定位置に
移動され、探針５１の先端が検査対象位置のピクセル電
極に位置合わせられる。

【００５０】一方、第２データ検査部３８では、データ
プローブ移動機構５９で、相対位置調整機構６０がＸ軸
方向に移動されて、第１データプローブ４５と第２デー
タプローブ５８との間隔が調整され、小型の液晶基板１
２の大きさに合わされる。

【００５１】さらに、相対位置調整機構６０で、第２デ
ータプローブ５８をＹ軸方向に移動させて、第２データ
プローブ５８とピクセルプローブ４９との位置調整を行
う。

【００５２】以上のようにして各探針の位置を調整した
後、上記同様に、基板ステージ２０のＺ移動機構２７に
よってチャック部２９に載置された液晶基板１２を上昇
させて、各探針と各電極とを接触させ、検査を行う。複
数箇所を検査する場合は、Ｚ移動機構２７で液晶基板１
２を降下させ、ゲートプローブ用Ｘ軸駆動装置４２、第
１データプローブ用Ｙ軸駆動装置４６及びピクセルプロ
ーブ用ＸＹ軸駆動装置５０で各プローブを設定量だけず
らして各探針と各電極とを整合させる。ピクセルプロー
ブ４９及び第２データプローブ５８の各探針５１，６１
はピクセルプローブ用ＸＹ軸駆動装置５０によって各電
極に同時に整合される。そして、Ｚ移動機構２７で液晶
基板１２を上昇させて検査を行う。

【００５３】［効果］以上のように、データプローブ移
動機構５９で、液晶基板１２の大きさに合わせて第１デ
ータプローブ４５と第２データプローブ５８との間隔を
調整するようにしたので、大きさの異なる液晶基板１２
に対して、その両側のデータ電極に第１及び第２データ
プローブ４５，５８を確実に接触させて、同時に検査す
ることができる。この結果、大きさの異なる液晶基板１
２を効率的に検査することができる。

【００５４】また、ピクセルプローブ４９と第２データ
プローブ５８とを連動させるようにしたので、複数箇所
を連続的に検査する場合は、ピクセルプローブ用ＸＹ軸
駆動装置５０で各プローブ４９，５８をＹ軸方向に一体
的に移動させて各探針５１，６１を検査対象位置のピク
セル電極及びデータ電極に連続的に接触させることがで
きる。これにより、検査作業の効率化を図ることができ
る。

【００５５】さらに、相対位置調整機構６０でピクセル
プローブ４９と第２データプローブ５８との相対位置を
微調整するようにしたので、同時に動くピクセルプロー
ブとデータプローブの各探針を、ピクセル電極とデータ
電極に正確に接触させることができ、検査作業の効率化
を図ることができる。

【００５６】［変形例］ （１） 上記実施形態では、データプローブ移動機構５
９を、第２データプローブ５８側に設けたが、第１デー
タプローブ４５側に設けてもよい。この場合も、上記実
施形態と同様の作用、効果を奏することができる。

【００５７】（２） 上記実施形態では、各プローブ４
１，４５，４９，５８に１本の探針を備えたが、複数本
の探針を備えてもよい。この場合も、上記実施形態と同
様の作用、効果を奏することができる。

【００５８】（３） 上記実施形態では、相対位置調整
機構６０を第２データプローブ５８側に設けたが、ピク
セルプローブ４９側に設けてもよい。この場合も、上記
実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。

【００５９】

【発明の効果】以上、詳述したように本発明によれば、
次のような効果を奏する。

【００６０】（１） データプローブ移動機構で、液晶
基板の大きさに合わせて第１データプローブと第２デー
タプローブとの間隔を調整するようにしたので、大きさ
の異なる液晶基板に対して、その両側のデータ電極に第
１及び第２データプローブを確実に接触させて、同時に
検査することができる。この結果、大きさの異なる液晶
基板１２を効率的に検査することができる。

【００６１】（２） 第２データプローブとピクセルプ
ローブとを連動させるようにしたので、検査に際して、
一方のデータ電極とピクセル電極に同時に探針を接触さ
せることができ、検査作業の効率化を図ることができ
る。

【００６２】（３） 相対位置調整機構でピクセルプロ
ーブと第２データプローブとの相対位置を微調整するよ
うにしたので、同時に動くピクセルプローブとデータプ
ローブの各探針を、ピクセル電極とデータ電極に正確に
接触させることができ、検査作業の効率化を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバの
プローブユニットを示す斜視図である。

【図２】従来の液晶基板用プローバのプローブユニット
を示す平面図である。

【図３】従来の液晶基板用プローバのプローブユニット
での検査時の動作状態を示す平面図である。

【図４】従来の液晶基板用プローバのプローブユニット
での検査時の動作状態を示す平面図である。

【図５】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバの
プローブユニットを示す平面図である。

【図６】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバの
プローブユニットを示す正面図である。

【図７】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバを
示す平面図である。

【図８】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバを
示す正面図である。

【図９】本発明の実施形態に係る液晶基板用プローバの
プローブユニットでの検査時の動作状態を示す平面図で
ある。

【図１０】図９のプローブユニットに小さな液晶基板を
載置した時の動作状態を示す平面図である。

【符号の説明】

１１：液晶基板用プローバ、１２：液晶基板、１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃ：辺、１４：カセット設置部、１５：ロ
ーダ・アンローダ部、１６：測定部、１７：液晶基板収
納カセット、１８：搬送ロボット、１９：搬送レール、
２０：基板ステージ、２１：プローブユニット、２２：
顕微鏡、２３：操作部、２４：アライメント用カメラ、
２５：Ｘ移動機構、２６：Ｙ移動機構、２７：Ｚ移動機
構、２８：θ移動機構、２９：チャック部、３０：顕微
鏡レール、３２：ベースプレート、３３：開口、３６：
ゲート検査部、３７：第１データ検査部、３８：第２デ
ータ検査部、３９：ピクセル検査部、４１：ゲートプロ
ーブ、４２：ゲートプローブ用Ｘ軸駆動装置、４３：探
針、４５：第１データプローブ、４６：第１データプロ
ーブ用Ｙ軸駆動装置、４７：探針、４９：ピクセルプロ
ーブ、５０：ピクセルプローブ用ＸＹ軸駆動装置、５
１：探針、５２：Ｘ軸駆動部、５３：Ｙ軸駆動部、５
４：支持梁、５５：左側駆動機構、５６：右側駆動機
構、５８：第２データプローブ、５９：データプローブ
移動機構、６０：相対位置調整機構、６０Ａ：水平梁
部、６０Ｂ：垂直梁部、６１：探針。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AC02 AC06 AC09 AE03 2G032 AA00 AB01 AD08 AE01 AF02 AF04 AK04 AL04 2H088 EA03 FA10 FA12 FA16 FA24 FA30 GA02 HA02 HA08 JA05 MA16 2H092 JB77 MA57 NA14 NA25 NA27 NA30 PA06 QA07 9A001 BB06 KK37 LL05

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶基板の１辺に位置するゲート電極に
   接触する探針を有するゲートプローブと、上記ゲート電
   極に直交する１辺に位置するデータ電極に接触する探針
   を有する第１データプローブと、上記ゲート電極に直交
   する他の１辺に位置するデータ電極に接触する探針を有
   する第２データプローブと、上記液晶基板中に位置する
   ピクセル電極に接触する探針を有するピクセルプローブ
   とを備えた液晶基板用プローバにおいて、 上記第１及び第２データプローブの一方又は両方に、各
   データプローブの間隔を液晶基板の大きさに合わせて調
   整するデータプローブ移動機構を備えたことを特徴とす
   る液晶基板用プローバ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の液晶基板用プローバに
   おいて、 上記データプローブ移動機構が、上記ピクセルプローブ
   と連結して設けられ、データプローブ移動機構に備えら
   れたデータプローブと上記ピクセルプローブとが連動す
   ることを特徴とする液晶基板用プローバ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の液晶基板用プローバに
   おいて、 上記ピクセルプローブと、このピクセルプローブに連動
   するデータプローブとの相対位置を微調整する相対位置
   調整機構を備えたことを特徴とする液晶基板用プロー
   バ。