JP2003294801A - 被検査基板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検査基板の大型化にともなう装置の専
有面積の増大及び原価のアップを可能な限り少なくする
ことにある。 【解決手段】 被検査基板を受渡装置から受ける検査ス
テージを変位機構により、受けた被検査基板が水平とな
る受渡位置及び受けた被検査基板が斜めとなる検査位置
とに選択的に変位させるようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような被検査基板の通電試験をする検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルのような表示用パネルの
目視点灯検査装置において、被検査基板としての表示用
パネルを、基板用カセットから検査ステージに搬送し
て、その検査ステージにおいて斜めの状態で検査し、検
査ステージから基板用カセットに搬送するものがある。

【０００３】そのような検査装置においては、カセット
に対し水平状態で搬送される未検査の表示用パネルや検
査ステージに対し斜めに搬送される検査済みの表示用パ
ネルを、いつの時点で水平状態から傾斜状態の搬送に、
及び傾斜状態から水平状態に変更するかが大きな問題で
ある。

【０００４】この種の検査装置の１つとして、未検査の
パネルを水平搬送のロボットアームにより基板用カセッ
トから水平に取り出してプリアライメント機構に水平状
態で渡し、そのパネルをプリアライメント機構において
水平状態から傾斜状態に変更し、傾斜状態のパネルを中
継機構により傾斜状態で搬送して検査ステージに傾斜状
態で渡し、検査済みのパネルを前記と逆に搬送及び変更
して基板用カセットに搬送するものがある（特開平１１
−１８３８６４号公報）。

【０００５】この検査装置において、プリアライメント
機構は、パネルを水平と斜めとに選択的に変更する機能
のみならず、パネルを９０度回転させてその長手方向を
変更するターンテーブルの機能をも備えている。

【０００６】

【解決しようとする課題】しかし、パネルの傾斜状態の
搬送は水平状態の搬送に比べて不安定要素が多く、その
ような不安定要素はパネルのサイズが大型化するほど顕
著になる。また、パネルが大型化すると、装置のサイズ
がパネルサイズの倍のオーダで大きくなり、装置の占有
面積が増大し、原価のアップを招き、搬送距離が長くな
り、搬送時間が長くなる等の種々の問題を生じる。

【０００７】本発明の目的は、被検査基板の大型化にと
もなう装置の専有面積の増大及び原価のアップを可能な
限り少なくすることにある。

【０００８】

【解決手段、作用および効果】本発明の検査装置は、被
検査基板を受ける検査ステージであって受けた被検査基
板が水平となる受渡位置及び受けた被検査基板が斜めと
なる検査位置とに選択的に変位可能の検査ステージと、
該検査ステージを受渡位置と検査位置とに選択的に変位
させる変位機構と、検査位置に変位されている検査ステ
ージ上に受けられている被検査基板の電極に接触される
接触子を備える１以上のプローブユニットと、前記検査
ステージが受渡位置に変位されているとき、前記検査ス
テージに対する被検査基板の受け渡しをする受渡装置と
を含む。

【０００９】未検査の被検査基板は、受渡装置により水
平状態で搬送されて、受渡位置に変位されている検査ス
テージに水平状態で渡され、検査ステージが変位機構に
より受渡位置から検査位置に変位されることにより傾斜
状態に変更され、その状態で点灯検査をされる。

【００１０】検査済みの被検査基板は、検査ステージが
変位機構により検査位置から受渡位置に移動されること
により傾斜状態から水平状態に変更され、その状態で受
渡装置に渡されて、水平状態で搬送される。

【００１１】本発明によれば、検査ステージを変位させ
ることにより被検査基板を水平状態及び傾斜状態に選択
的に変更するから、被検査基板を傾斜状態で搬送する装
置が不要になり、その結果被検査基板の大型化にともな
う装置の専有面積の増大及び原価のアップが少ない。

【００１２】検査装置は、さらに、被検査基板を有する
１以上のカセットが設置されるカセット設置台を含み、
前記受渡装置は前記検査ステージと前記カセットとに対
する被検査基板を受け渡すようにすることができる。そ
のようにすれば、被検査基板を、カセット及び検査ステ
ージの両者に対し、水平の状態で受け渡すことができ
る。

【００１３】前記検査ステージは検査部に配置され、前
記カセット設置台は前記検査部から左右方向に間隔をお
いたカセット設置部に配置され、前記受渡装置は前記検
査部と前記カセット設置部との間に位置するローダ部に
配置されていてもよい。そのようにすれば、検査部、ロ
ーダ部及びカセット設置部を前後方向に配置した場合に
比べ、検査部、ローダ部及びカセット設置部の後に空間
が形成されるから、その空間を制御装置等の配置空間と
して有効に利用することができる。

【００１４】前記変位機構は、水平方向へ伸びる状態に
ベースに配置されたリードスクリューと、該リードスク
リューに螺合されたリードナットと、前記リードスクリ
ューの延在方向と直交する方向へ伸びる軸線の周りに枢
軸運動可能に一端部においてリードナットに組み付けら
れた１以上のリンクアームとを含み、前記検査ステージ
は、前記両リンクアームの他端部と前記ベースとに枢軸
的に組み付けられていてもよい。そのようにすれば、リ
ードスクリューの回転にともなってリードナットが移動
することにより、検査ステージが受け渡し位置と検査位
置とに選択的に確実に変位される。

【００１５】検査装置は、さらに、前記プローブユニッ
トを前記検査ステージが検査位置に変位されているとき
の被検査基板と交差するＺ方向へ移動させる移動機構を
含むことができる。そのようにすれば、被検査基板とプ
ローブユニットとをＺ方向へ相対的に移動させるための
移動機構を検査ステージに設ける必要がないから、Ｚ方
向における検査ステージの高さ寸法が小さくなり、プロ
ーブユニットに対する被検査基板の位置が安定する。

【００１６】好ましい実施例においては、移動機構は、
前記プローブユニットを受ける可動テーブルと、該可動
テーブルを前記Ｚ方向へ移動可能に本体に組み付けてい
る１以上のリニアガイドと、前記可動テーブルを前記Ｚ
方向へ移動させる移動機構とを備えることができる。

【００１７】前記検査ステージは、前記被検査基板を受
けるチャックトップと、該チャックトップが組み付けら
れたバックライトユニットと、該バックライトユニット
を前記被検査基板と平行の面内で二次元的に移動させる
と共に前記Ｚ方向へ伸びるＺ軸線の周りに角度的に回転
させるアライメントステージとを備えることができる。
そのようにすれば、バックライトユニットを備えた点灯
検査装置として用いることができるにも関わらず、Ｚ方
向における検査ステージの高さ寸法をより小さくするこ
とができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１から図３を参照するに、検査
装置１０は、長方形の液晶表示パネルを被検査基板１２
とする目視点灯検査装置として用いられる。被検査基板
１２は斜めの状態で検査される。

【００１９】以下、説明を簡略にし、かつ、容易に理解
し得るようにするために、検査装置１０に斜め配置され
た被検査基板１２と平行の面内における左右方向及び斜
め上下の方向（斜め前後方向）をそれぞれＸ方向及びＹ
方向といい、その被検査基板１２に垂直の方向をＺ方向
という。また、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向へ伸びる軸線
を、それぞれ、Ｘ軸線、Ｙ軸線及びＺ軸線という。

【００２０】検査装置１０は本体１４を含む。本体１４
の前面上部の左端側領域は、斜め上向きの傾斜面部１６
とされている。本体１４は、複数のチャンネル部材を組
み立てた本体フレームと、該本体フレームに取り外し可
能に取り付けられた複数のパネルとにより筐体の形に形
成されている。

【００２１】本体１４のうち、傾斜面部１６の配置領域
に対応する領域は被検査基板を検査する検査部２０とさ
れており、右端側の領域はカセット設置部２２とされて
おり、検査部２０とカセット設置部２２との間の領域は
被検査基板のためのローダ部２４とされている。傾斜面
部１６は、被検査基板１２より大きい矩形の開口２６を
有している。

【００２２】検査部２０には、被検査基板１２への通電
のための複数のプローブユニット２８と、被検査体１２
を受ける検査ステージ３０と、検査ステージ３０を変位
させる変位機構３２とが配置されている。

【００２３】これに対し、カセット設置部２２には被検
査基板１２を収容する複数のカセット３４を設置するカ
セット設置台３６が配置されており、ローダ部２４には
検査ステージ３０とカセット３４とに対する被検査基板
１２の受け渡しをする受渡装置として機能するロボット
３８が配置されている。

【００２４】カセット３４は、被検査基板１２を水平に
収容するように、未検査の被検査基板１２用のカセット
と、検査済みの被検査基板１２用のカセットとに分けら
れている。

【００２５】図示の例では、プローブユニット２８は、
被検査基板１２の長方形の対向する２つの長辺（Ｘ辺）
及び１つの短辺（Ｙ辺）のいずれか１つに個々に対応さ
れており、またプローブユニット２８毎のＺ移動装置４
０によりＺ方向へ移動可能に組み付けられている。図４
に示す例では、Ｚ駆動装置４０を残りの短辺にも配置し
ている。

【００２６】しかし、実際には、プローブユニット２８
及びＺ移動装置４０は、検査すべき被検査基板１２の電
極の配置位置及び検査の種類に応じて、１つの辺、隣り
合う２つの辺又は全ての辺に配置される。

【００２７】図４及び図５に示すように、各プローブユ
ニット２８は、複数のプローブブロック４２を矩形の板
状プローブベース４４に取り付け、プローブベース４４
をＺ移動装置４０に備えられた板状の可動テーブル４６
の上に配置している。可動テーブル４６については、後
にＺ移動装置４０と共に説明する。

【００２８】各プローブブロック４２は、その下側に並
列的に組み付けられた複数のプローブを有する。各プロ
ーブは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプロー
ブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタ
イプのプローブ（プローブ針）、若しくは、電気絶縁性
フィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部又
はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフィ
ルム状プローブ（プローブ要素）である。そのような各
プローブブロックの１つとして、特開平１０−１３２８
５３号公報に記載されている公知のものを用いることが
できる。

【００２９】Ｘ辺に配置された各プローブユニット２８
のプローブベース４４は、少なくともプローブブロック
４２が可動テーブル４６から本体１４内に突出するよう
に、Ｘ方向へ伸びるリニアガイド４８によりＸ方向へ移
動可能に可動テーブル４６に組み付けられていると共
に、Ｘ駆動機構５０によりＸ方向における位置を調整さ
れる。

【００３０】リニアガイド４８は、Ｘ方向へ伸びるガイ
ドレールと、該ガイドレールにこれの長手方向へ移動可
能に嵌合されたスライドガイドとを備える市販されてい
る一般的なリニアガイドである。

【００３１】図示の例では、ガイドレールは可動テーブ
ル４６に組み付けられており、スライドガイドはプロー
ブベース４４に組み付けられている。しかし、ガイドレ
ールをプローブベース４４に組み付け、スライドガイド
を可動テーブル４６に組み付けてもよい。

【００３２】Ｙ辺に配置されたプローブユニット２８
は、少なくともプローブブロック４２が可動テーブル４
６から本体１４内に突出するように、プローブベース４
４において図５に示すスペーサ５２を介して可動テーブ
ル４６に組み付けられている。

【００３３】各Ｘ駆動機構５０は、Ｘ軸モータ５４を可
動テーブル４６に組み付け、Ｘ方向へ伸びるリードスク
リュー５６をＸ軸モータ５４に結合させ、リードナット
５８をリニアガイド４８のスライドガイドに組み付ける
と共に、リードスクリュー５６に螺合させている。

【００３４】各Ｘ駆動機構５０は、リードスクリュー５
６をＸ軸モータ５４により回転させて、リードスナット
５８をＸ方向へ移動させることにより、プローブベース
４４を可動テーブル４６に対してＸ方向へ変位させる。
これにより、長方形の短辺に配置されたプローブユニッ
ト２８の接触子に対する長辺に配置されたプローブユニ
ット２８の接触子の位置を調整することができる。

【００３５】Ｙ辺に配置されたプローブユニット２８は
その長手方向の各端部にテレビカメラ６０を有してお
り、またＸ辺に配置された各プローブユニット２８はＹ
辺に配置されたプローブユニット２８の側と反対の側の
端部にテレビカメラ６０を有している。

【００３６】各テレビカメラ６０は、表示用パネル１２
に形成されているアライメントマークを撮影するよう
に、プローブベース４４に支持されている。テレビカメ
ラ６０の出力信号は、表示用パネル１２とプローブユニ
ット２８との相対的な位置決め（アライメント）に用い
られる。位置決めは、表示用パネル１２のアライメント
マークがテレビカメラ６０の視野内の所定の座標位置に
なるように、表示用パネル１２を検査ステージ３０のア
ライメントステージ７４により移動させることにより行
われる。

【００３７】各Ｚ移動装置４０は、前記した可動テーブ
ル４６のほかに、さらに、可動テーブル４６を本体１４
に装着している一対のリニアガイド６２と、傾斜面部１
６の開口１６を形成する面に配置された中空モータ６４
と、中空モータ６４の回転される中空部に螺合されたリ
ードスクリュー６６とを備えている。中空モータ６４と
リードスクリュー６６とは、可動テーブル４６をＺ方向
へ移動させるＺ移動機構を形成している。

【００３８】各可動テーブル４６は、長方形の対応する
辺の方向へ伸びる板状部材から形成されており、またリ
ニアガイド６２及びＺ移動機構６４により本体１４の傾
斜面部１６と平行に支持されている。

【００３９】各リニアガイド６２は、Ｚ方向へ伸びるガ
イドレールと、ガイドレールにＺ方向へ移動可能に嵌合
されたスライドガイドとを含む一般的なリニアガイドで
ある。ガイドレールは開口１６を形成する面に組み付け
られており、スライドガイドは可動テーブル４６に組み
付けられている。

【００４０】各中空モータ６４は中空部の回転軸線がＺ
方向へ伸びるように傾斜面部１６に組み付けられてお
り、各リードスクリュー６６はＺ方向へ伸びるように可
動テーブル４６に組み付けられている。

【００４１】図６及び図７に示すように、検査ステージ
３０は、被検査基板１２を受けて解除可能に真空的に吸
着するチャックトップ７０と、チャックトップ７０が組
み付けられたバックライトユニット７２と、チャックト
ップ７０及びバックライトユニット７２を被検査基板１
２と平行の面内で二次元的に移動させると共にＺ軸線の
周りに角度的に回転させる機能を有する一体的なアライ
メントステージ７４と、ロボット３８への被検査基板１
２の受け渡し時に被検査基板１２をチャックトップ７０
に対し昇降させる複数の基板リフター７６とを備えてい
る。

【００４２】図６及び図７に示すように、変位機構３２
は、水平方向へ伸びる状態に本体１４に配置された板状
のベース８０と、ベース８０にＹ方向へ伸びる状態に配
置されたリードスクリュー８２と、リードスクリュー８
２に螺合されたリードナット８４と、Ｘ方向へ伸びる軸
線の周りに枢軸運動可能に一端部においてリードナット
８４に組み付けられた１以上のリンクアーム８６と、リ
ードスクリュー８２を回転させる回転機構８８とを含
む。図示の例では、一対のリンクアーム８６が用いられ
ている。

【００４３】検査ステージ３０は、Ｙ方向に間隔をおい
た２箇所において、両リンクアーム８６の他端部とベー
ス８０とに枢軸的に組み付けられている。ベース８０
は、Ｘ方向に間隔をおいた一対の組付台部９０を前端部
に有しており、両組付台９０にステージ３０を枢軸的に
組み付けている。リードスクリュー８２とリンクアーム
８６とは、一対のガイド９２にＹ方向へ移動可能に受け
られた支持台９４を介して枢軸運動可能に結合されてい
る。

【００４４】検査ステージ３０は、リードナット８４が
図７に実線で示すように後退されていると、被検査基板
１２をロボット３８に対し水平状態で受け渡すように変
位され、リードスクリュー８２が回転されてリードナッ
ト８４が図７に一点鎖線で示す位置に前進されると、受
けている被検査基板１２が本体１４の傾斜面部１６と平
行の傾斜状態となるように変位される。

【００４５】被検査体１２は、検査ステージ３０が図７
に一点鎖線で示す傾斜状態において検査される。それゆ
えに、検査ステージ３０は、変位機構３２により、図７
に実線で示す受渡位置と、図７に一点鎖線で示す検査位
置とに選択的に変位される。

【００４６】図１及び図２に示すように、ロボット３８
は、ローダ部２４をＹ方向へ平行に伸びる一対のガイド
レール１００に移動可能に支持されており、また、モー
タ１０２とモータ１０２により回転されるリードスクリ
ュー１０４とを備えるロボット移動機構によりＹ方向の
適宜な位置へ移動されて、カセット３４及び検査ステー
ジ３０に対する被検査基板１２の受け渡し及び搬送をす
る。

【００４７】ロボット３８は、ガイドレール１００に沿
って移動されるスライダ１０６と、スライダ１０６の上
に取り付けられた駆動機構１０８と、駆動機構１０４に
より駆動されて被検査基板１２の受け渡しをするロボッ
トアーム１１０とを備えている。被検査基板１２は、そ
の長手方向がロボットアーム１１０の長手方向と一致す
るように水平の状態で、ロボット３８により搬送される
と共に、受け渡しをされる。

【００４８】検査装置１０は、検査ステージ３０がプリ
アライメントステージとして作用するように、２組のス
トッパ１１２と、２組のプッシャー１１４とをチャック
トップ７０に配置している（図６参照）。ストッパ１１
２は仮想的な長方形の隣り合う２つの縁部に対応する箇
所に設けられており、プッシャー１１４はその長方形の
他の隣り合う縁部に対応する箇所に設けられている。

【００４９】Ｘ方向（長手方向）の縁部に位置するスト
ッパ１１２は、斜め下方側となる縁部に配置されてい
る。各プッシャー１１５は、図示しないアクチュエータ
によりチャックトップ７０上の被検査基板１２に当接し
ない位置と、その被検査基板１２を対向する縁部のスト
ッパ１１２に押圧する位置とに角度的に回転される。

【００５０】具体的には、各プッシャー１１４は、搬送
ロボット３８に対する被検査基板１２の受け渡しをする
とき、被検査基板１２に当接しない位置に後退され、被
検査基板１２を受け取った後その被検査基板１２をチャ
ックトップ７０に吸着する前に、その被検査基板１２を
ストッパ１１２に押圧する。これにより、被検査基板１
２は、その縁部がストッパ１１２に接触することによ
り、検査ステージ３０上においてプリアライメントをさ
れる。

【００５１】次に図８から図１１を参照して、検査装置
１０による被検査基板１２の受け渡し及びその被検査基
板１２の点灯検査について説明する。

【００５２】先ず、ロボット３８が未検査の被検査基板
１２をロボットアーム１１０によりカセット３４から取
り出して検査ステージ３０に搬送する。

【００５３】この時点までに、検査ステージ３０は、図
８に示すように、被検査基板１２を水平に受けるように
受渡位置に変位されていると共に、基板リフター７６を
チャックトップ７０から突出させている。また、各プロ
ーブユニット２８はＺ方向へ上昇されており、各プッシ
ャー１１４は被検査基板に接触しない位置に後退されて
いる。

【００５４】次いで、図８に示すように、ロボットアー
ム１１０が、前進されて基板リフター７６の間に移動さ
れた後、わずかに下降される。これにより、被検査基板
１２が基板リフター７６に載せられる。

【００５５】次いで、ロボットアーム１１０が後退さ
れ、基板リフター７６が下降される。これにより、図９
に示すように、被検査基板１２がチャックトップに載せ
られる。

【００５６】次いで、各プッシャー１１４が作動されて
被検査基板１２を対向するストッパ１１２に押す。これ
により、被検査基板１２はプリアライメントをされる。

【００５７】次いで、被検査基板１２がチャックトップ
７０に真空的に吸着され、その状態で変位機構３２の回
転機構８８が作動される。これにより、図１０に示すよ
うに、検査ステージ３０が斜めに、すなわち検査位置に
変位される。この状態において、被検査基板１２は、そ
の下端縁がＸ方向のストッパ１１２に当接されているか
ら、チャックトップ７０から滑落することを防止されて
いる。

【００５８】次いで、精密アライメントがテレビカメラ
６０及びアライメントステージ７４を利用して行われ
る。

【００５９】次いで、各プローブユニット２８が被検査
基板１２に対して移動されて、各プローブユニット２８
の接触子が被検査基板１２の電極に押圧される。この状
態で、被検査基板１２に通電されて、被検査基板１２の
点灯検査が行われる。

【００６０】次いで、検査済みの被検査基板１２が除去
される。この除去作業は、各機器が上記と逆に作動する
ことにより行われる。

【００６１】上記のように、検査ステージ３０を変位さ
せることにより被検査基板１２を水平状態及び傾斜状態
に選択的に変更するならば、被検査基板１２を傾斜状態
で搬送する装置が不要になり、その結果被検査基板１２
の大型化にともなう装置の専有面積の増大及び原価のア
ップが少なくなる。また、図２から明らかなように、検
査部２０、ローダ部２４及びカセット設置部２２の後に
空間を制御装置等の配置空間として有効に利用すること
ができる。

【００６２】上記実施例では、１つのロボットアーム１
１０を備えたロボット３８を用いているが、駆動機構１
０８により別々に駆動されて被検査基板１２を別々に受
け渡す２以上のロボットアーム１１０を備えたロボット
を用いてもよい。

【００６３】２つのロボットアームを備えたロボットを
用いる場合、カセットに対する被検査基板の受け渡し
は、一方のロボットアームに受けている検査済みの被検
査基板を適宜なカセット群のカセットに渡すと共に、他
のカセット内の未検査の被検査基板を同じロボットアー
ム又は他方のロボットアームに受け取るように、制御す
ることができる。

【００６４】また、検査ステージ３０に対する被検査基
板の受け渡しは、検査済みの被検査基板を一方のロボッ
トアームに受け取ると共に、他方のロボットアームに受
けている未検査の被検査基板を検査ステージ３０に渡す
ように、制御することができる。

【００６５】上記の実施例では、被検査基板の長手方向
を変更するターンテーブルを備えていないが、そのよう
なターンテーブルを備えていてもよい。

【００６６】本発明は上記実施例に限定されない。例え
ば、搬送ロボットを被検査基板の受け渡し経路の系列毎
に設けてもよい。また、本発明は、目視点灯検査装置の
みならず、自動点灯検査装置や、液晶表示パネル用のガ
ラス基板の検査装置等、他の検査装置にも適用すること
ができる。

【００６７】本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種
々変更することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図
であってカセット設置部及びローダ部の前面パネルを除
去した状態の図である。

【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図であ
る。

【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図であ
る。

【図４】プローブユニット及びその近傍部の詳細を示す
平面図である。

【図５】図４における５−５線に沿って得た断面図であ
る。

【図６】検査ステージ及び変位機構の一実施例を示す平
面図である。

【図７】図６に示す検査ステージ及び変位機構の正面図
である。

【図８】検査装置の動作を説明するための図である。

【図９】図８に続く動作を説明するための図である。

【図１０】図９に続く動作を説明するための図である。

【図１１】図１０に続く動作を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 被検査基板 １４ 本体 １６ 傾斜面部 ２０ 検査部 ２２ カセット設置部 ２４ ローダ部 ２６ 開口 ２８ プローブユニット ３０ 検査ステージ ３２ 変位機構 ３４ カセット ３６ カセット設置台 ３８ ロボット（受渡装置） ４０ Ｚ移動装置 ４６ 可動テーブル ６４ 中空モータ ６６ リードスクリュー ７０ チャックトップ ７２ バックライトユニット ７４ アライメントステージ ７６ 基板リフター ８０ ベースプレート ８２ リードスクリュー ８４ リードナット ８６ リンクアーム ８８ 回転機構 １１０ ロボットアーム

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古川 順一 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G014 AA02 AB21 AC00 AC09 AC10 AC12 2G036 AA27 BA33 CA02 CA03 2G086 EE10 2G132 AA00 AA20 AD15 AE01 AE04 AF01

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査基板を受ける検査ステージであっ
   て受けた被検査基板が水平となる受渡位置及び受けた被
   検査基板が斜めとなる検査位置とに選択的に変位可能の
   検査ステージと、該検査ステージを受渡位置と検査位置
   とに選択的に変位させる変位機構と、検査位置に変位さ
   れている検査ステージ上に受けられている被検査基板の
   電極に接触される接触子を備える１以上のプローブユニ
   ットと、前記検査ステージが受渡位置に変位されている
   とき、前記検査ステージに対する被検査基板の受け渡し
   をする受渡装置とを含む、被検査基板の検査装置。
2. 【請求項２】 さらに、被検査基板を有する１以上のカ
   セットが設置されるカセット設置台を含み、前記受渡装
   置は前記検査ステージと前記カセットとに対する被検査
   基板の受け渡しをする、請求項１に記載の検査装置。
3. 【請求項３】 前記検査ステージは検査部に配置され、
   前記カセット設置台は前記検査部から左右方向に間隔を
   おいたカセット設置部に配置され、前記受渡装置は前記
   検査部と前記カセット設置部との間に位置するローダ部
   に配置されている、請求項１又は２に記載の検査装置。
4. 【請求項４】 前記変位機構は、水平方向へ伸びる状態
   にベースに配置されたリードスクリューと、該リードス
   クリューに螺合されたリードナットと、前記リードスク
   リューの延在方向と直交する方向へ伸びる軸線の周りに
   枢軸運動可能に一端部においてリードナットに組み付け
   られた１以上のリンクアームとを含み、前記検査ステー
   ジは、前記両リンクアームの他端部と前記ベースとに枢
   軸的に組み付けられている、請求項１，２又は３に記載
   の検査装置。
5. 【請求項５】 さらに、前記プローブユニットを前記検
   査ステージが検査位置に変位されているときの被検査基
   板と交差するＺ方向へ移動させる移動機構を含む、請求
   項１に記載の検査装置。
6. 【請求項６】 さらに、前記検査ステージは、前記被検
   査基板を受けるチャックトップと、該チャックトップが
   組み付けられたバックライトユニットと、該バックライ
   トユニットを前記被検査基板と平行の面内で二次元的に
   移動させると共に前記Ｚ方向へ伸びるＺ軸線の周りに角
   度的に回転させるアライメントステージとを備える、請
   求項５に記載の検査装置。